JP2002292221A - エアフィルタ用濾材、エアフィルタユニット、及びその製造方法、並びにその包装体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム等の外調機で用いる粗塵除去
用のエアフィルタ用濾材であり、その後段の中性能フィ
ルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの塵埃に対
する濾過寿命を延ばしつつ、クリーンルーム等への汚染
ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガ
ス除去寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシ
ステムの運転維持経費の削減に寄与する。 【解決手段】 熱接着性繊維によって結合しており、発
生する総有機物質の量が、熱接着性繊維の面密度に換算
して、１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ^２
・ｈｒ）以下であるエアフィルタ用濾材を提供する。ま
た、アウトガス発生の少ないエアフィルタ用濾材を得る
ため、熱接着性繊維を含むウェブを加熱接着処理の後に
加熱除去処理を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の生
産施設などのクリーンルームなどにおいて、主に該クリ
ーンルーム内に流入する外気中に含まれる粉塵を除去す
るエアフィルタ用濾材であり、主として中性能フィルタ
やＨＥＰＡフィルタ（高性能フィルタ）の前段や、該ク
リーンルーム内のガス状汚染物質を除去するケミカルフ
ィルタの前段で用いる、アウトガス発生の少ない粗塵除
去用のエアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット、
及びその製造方法、並びにその包装体に関する。

【0002】

【従来の技術】半導体や液晶の生産施設、または半導体
や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルーム等におい
ては、該生産施設内または該クリーンルーム内の空気や
雰囲気に対して高い清浄度が要求される。しかし、これ
ら空気や雰囲気中には粉塵や有機系ガス状汚染物質や無
機系ガス状汚染物質が含まれているのみならず、クリー
ンルーム構成部材や作業員等からも粉塵や有機系ガス状
汚染物質や無機系ガス状汚染物質が発生するため、この
ような粉塵やガス状汚染物質を除去するフィルタシステ
ムが図１に例示するように設置されている。外気空気は
外調機１の粗塵除去用のプレフィルタ２、中性能フィル
タ３、エアワッシャー４、ＨＥＰＡフィルタ（高性能フ
ィルタ）６の順に通過した後、さらに循環系のＨＥＰＡ
フィルタ８を通過して、空気中の塵埃が除去される。ま
た、クリーンルーム内に流入するガス状汚染物質は必要
に応じて循環系に設置されたケミカルフィルタ７によっ
て除去される。特に、外気中にガス状汚染物質が多く含
まれる場合は、外調機１のＨＥＰＡフィルタ６と中性能
フィルタ３の間に更にケミカルフィルタ５が設置されて
いる。

【0003】前記ガス状汚染物質には、有機系ガス状汚染物
質や、無機系ガス状汚染物質が含まれるが、特に有機系
ガス状汚染物質は、半導体基板であるシリコンウェハ表
面上に付着すると、シリコンウェハ表面上に形成される
絶縁酸化膜の絶縁耐圧が低下したり、空気中に浮遊する
微粒子が静電吸着し易くなり、絶縁破壊が起こり易くな
る等、半導体や液晶の製造に悪影響を及ぼす。これら、
有機系ガス状汚染物質のウェハ表面への吸着を防止する
には、クリーンルーム雰囲気中の該有機物質の濃度をで
きるだけ低いレベルで管理しなければならない。このよ
うな管理濃度は次のようにして求めることができる。す
なわち、１９９９年版ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）ロ
ードマップによれば、西暦２０００年のウェハ表面上で
の有機物質管理レベルは６．６×１０^１３Ｃａｔｏｍｓ
／ｃｍ^２と言われている。これをトルエン換算すると１
４．４μｇ／ｍ^２となる。これらウェハ表面上での管理
レベルの値と、一般に知られている付着確率から、下記
の算出式１によりクリーンルーム空気中での管理レベル
の推定値を算出すると、総有機物質は４１．７μｇ／ｍ
^３の管理濃度となる。 算出式１：Ｎ＝Ａｓ／（ｖ・ｔ・γ） Ｎ；空気中の汚染物質濃度（空気中の管理濃度）（μｇ
／ｍ^３） Ａｓ；ウェハ表面の汚染物質濃度（ウェハ表面上での管
理レベル）（μｇ／ｍ^２） ｖ；クリーンルーム空気の流速（０．４ｍ／ｓｅｃ） ｔ；ウェハの空気中暴露時間（８６４００ｓｅｃ） γ；付着確率 （芳香族炭化水素類の付着確率１×１０
^-５）

【0004】このような汚染物質を吸着除去するケミカルフ
ィルタには、例えば活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、
イオン交換樹脂、その他化学吸着材等の吸着材が利用さ
れており、これら吸着材が単独で用いられたり、ネット
状物や不織布等の基材に吸着材等が担持されている。そ
して該ケミカルフィルタは前記フィルタシステム中の循
環系に設置され、また必要に応じて外調機にも設置され
ている。

【0005】しかし、ガス状汚染物質の中でも有機系のガス
状汚染物質は、外気中のみならず、ケミカルフィルタの
下流位置に配置されるＨＥＰＡフィルタ自体からも発生
していることが判ってきた。しかもＨＥＰＡフィルタは
クリーンルームでは多用され、濾材の使用面積が非常に
多いため、特にＨＥＰＡフィルタからの発生ガスの防止
が課題とされてきた。

【0006】

【発明が解決しようとする課題】これに対して、ＨＥＰ
Ａフィルタの上流位置の外調機に主として配置される粗
塵除去用のプレフィルタについては、ＨＥＰＡフィルタ
と比較して濾材の使用面積が少なく、またケミカルフィ
ルタの上流位置に配置される場合はプレフィルタよりの
発生ガスがケミカルフィルタによって除去されるため大
きな問題とは考えられていなかった。しかし、本発明者
によって、熱接着性の有機質繊維によって繊維間が熱接
着された粗塵除去用のプレフィルタであっても多量の有
機系のガス状汚染物質が発生していることが新たに判
り、その原因を追求したところ、以下のことに気が付い
た。すなわち粗塵除去用のプレフィルタは、その下流に
位置する中性能フィルタや、ＨＥＰＡフィルタや、ケミ
カルフィルタが空気中の塵埃によって、すぐに目詰まり
するのを防ぐため設置されるが、特に低い圧力損失で多
量の塵埃を保持できるよう、嵩高なマット状の不織布が
使用されている。このような嵩高な不織布は繊維を３次
元的に配向させた後、繊維間を接着して作られている
が、その接着のために接着剤を使用すると有機質のガス
状汚染物質が著しく発生するため接着剤ではなく、熱接
着性の有機質繊維によって繊維間が熱接着されている。
しかし、これら接着性の有機質繊維から、特に有機質の
ガス状汚染物質が多く発生することを見出した。しか
も、クリーンルーム内の管理基準は年々厳しくなる一方
であり、上記のように粗塵除去用のプレフィルタから有
機系のガス状汚染物質が多量に発生すると、クリーンル
ーム内に有機質のガス状汚染物質が多量に進入したり、
その後段にケミカルフィルタが設置されている場合はケ
ミカルフィルタの寿命を縮めてしまい、クリーンルーム
等のフィルタシステムの運転経費が大きくかかってしま
うという問題があることを見出した。そこで、有機質の
ガス状汚染物質の発生量が少ない粗塵除去用のプレフィ
ルタとしてのエアフィルタ用濾材や、そのエアフィルタ
用濾材を成型してフィルタ枠に装着したエアフィルタユ
ニットを検討することを課題とした。

【0007】すなわち、本発明は、クリーンルーム等で使用
される粗塵除去用のエアフィルタ用濾材であり、主とし
て中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィル
タの前段で用いるアウトガス発生の少ない粗塵除去用の
エアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット、及びそ
の製造方法、並びにその包装体を提供することによっ
て、該中性能フィルタや該ＨＥＰＡフィルタのみならず
該ケミカルフィルタの塵埃に対する負担を少なくして寿
命を延ばしつつクリーンルーム等への汚染ガスの進入を
軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関す
る負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなど
のフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与するこ
とを課題とする。

【0008】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段は、請求項１の発明では、質量法による粒子捕集
平均効率が５０〜９９％であるエアフィルタ用濾材であ
って、該エアフィルタ用濾材の繊維が熱接着性繊維によ
って結合しており、且つ該エアフィルタ用濾材から発生
する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推
測法により２３℃において算出して、次に該エアフィル
タ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ
^２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物
質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上４
（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であることを特徴とする粗塵
除去用のエアフィルタ用濾材であり、該エアフィルタ用
濾材をフィルタ枠に装着したエアフィルタユニットをク
リーンルーム等のフィルタシステムの外調機内に設置す
ることによって、該フィルタシステム中に設置された中
性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの
塵埃に対する負担を少なくして寿命を延ばしつつクリー
ンルーム等への汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカ
ルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿
命を延ばし、該フィルタシステムの運転維持経費の削減
に寄与することができる。

【0009】また、請求項２の発明では、請求項１に記載の
エアフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されていること
を特徴とするエアフィルタユニットである。

【0010】また、請求項３の発明では、エアフィルタ用濾
材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を
発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エア
フィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生
する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０
（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）
以下であることを特徴とする請求項２に記載のエアフィ
ルタユニットであり、該エアフィルタユニットをクリー
ンルーム等のフィルタシステムの外調機内に設置するこ
とにより、該フィルタシステム中に設置された中性能フ
ィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの塵埃に
対する負担を少なくして寿命を延ばしつつクリーンルー
ム等への汚染ガスの進入を特に軽減し、また該ケミカル
フィルタの汚染ガス除去に関する負担を特に少なくして
寿命を延ばし、該フィルタシステムの運転維持経費の削
減に寄与することができる。

【0011】また、請求項４の発明では、熱接着性繊維が５
重量％以上である繊維ウェブを形成し、該繊維ウェブを
該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同
士接着した後、さらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊
維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理する
ことを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法であ
り、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量
（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃に
おいて算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる
熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生す
る、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると
１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）以下である粗塵除去用のエアフィルタ用濾材を製造
することができる。

【0012】また、請求項５の発明では、請求項４に記載の
製造方法によって得られたエアフィルタ用濾材をフィル
タ枠に装着してエアフィルタユニットとすることを特徴
とするエアフィルタユニットの製造方法であり、総有機
物質の発生量が少ない濾材をフィルタ枠に装着してエア
フィルタユニットとすることによって、総有機物質の発
生量が少ないエアフィルタユニットを得ることができ
る。

【0013】また、請求項６の発明では、熱接着性繊維が５
重量％以上である繊維ウェブを形成し、該繊維ウェブを
該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同
士接着し、エアフィルタ用素材とした後、該エアフィル
タ用素材をフィルタ枠に装着してエアフィルタユニット
中間体とし、該エアフィルタユニット中間体を８０℃以
上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度
の気体中で加熱処理することを特徴とするエアフィルタ
ユニットの製造方法であり、ユニット加工した後に、本
発明による条件で加熱処理することにより、ユニット加
工後にエアフィルタ用素材に付着する有機物質をも除去
することができ、総有機物質の発生量が少ないエアフィ
ルタユニットを得ることができる。

【0014】また、請求項７の発明では、質量法による粒子
捕集平均効率が５０〜９９％である粗塵除去用のエアフ
ィルタ用濾材が、通気性を有しないシート状物によって
包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生
する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推
測法により２３℃において算出すると、該シート状物の
単位面積あたり（１ｍ^２あたり）から発生する、単位時
間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフ
ィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出す
ると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ^２
あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、
総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィル
タ用濾材包装体であり、該エアフィルタ用濾材を使用す
るまでに、該エアフィルタ用濾材にガス状汚染物質が付
着するのを防ぐことができる。尚、該エアフィルタ用濾
材の単位面積とは、該エアフィルタ用濾材を使用する場
合の通風面の見かけの表面の単位面積（１ｍ^２）のこと
をいう。

【0015】また、請求項８の発明では、フィルタ枠に質量
法による粒子捕集平均効率が５０〜９９％である粗塵除
去用のエアフィルタ用濾材が装着されたエアフィルタユ
ニットが、通気性を有しないシート状物によって包装さ
れてなる包装体であって、該シート状物から発生する総
有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法に
より２３℃において算出すると、該シート状物の単位面
積あたり（１ｍ^２あたり）から発生する、単位時間（１
ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ
用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を発生ガス推測法により２３℃において算出する
と、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ^２あ
たり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総
有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタ
ユニット包装体であり、該エアフィルタ用ユニットを使
用するまでに、該エアフィルタ用ユニットにガス状汚染
物質が付着するのを防ぐことができる。

【0016】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるエアフィル
タ用濾材、エアフィルタユニット、及びその製造方法、
並びにその包装体の好ましい実施の形態について詳細に
説明する。

【0017】本発明のエアフィルタ用濾材は、質量法による
粒子捕集平均効率が５０〜９９％であるエアフィルタ用
濾材であって、該エアフィルタ用濾材の繊維が熱接着性
繊維によって結合しており、且つ該エアフィルタ用濾材
から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発
生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エ
アフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１０
０ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間における、該
総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であることを特徴
とする粗塵除去用のエアフィルタ用濾材である。

【0018】また、本発明のエアフィルタ用濾材がフィルタ
枠に装着されている本発明のエアフィルタユニットは、
図１に例示するように、半導体や液晶の生産施設などの
クリーンルーム９などにおいて、該クリーンルーム内に
流入する外気中に含まれる粉塵を除去するＨＥＰＡフィ
ルタ（高性能フィルタ）６の前段や、該外気中のガス状
汚染物質を除去するケミカルフィルタ５の前段で用いる
アウトガス発生の少ない粗塵除去用のプレフィルタとし
て主に用いられ、主として外調機に設置されるプレフィ
ルタ２として用いられるエアフィルタユニットである。

【0019】上記エアフィルタユニットは質量法によって測
定評価される濾過性能を有する粗塵用のエアフィルタ用
濾材をジグザグ状の形状にプリーツ加工して通風面積を
増やしてからフィルタ枠に装着したり、又は平板のまま
でフィルタ枠に装着したものであり、外気中の粗塵を捕
捉して、その後段に配置する中性能フィルタやＨＥＰＡ
フィルタの濾過寿命を長く保つことを主目的とする。
尚、中性能フィルタは主として比色法によって測定評価
される濾過性能を有するエアフィルタ用濾材を、例えば
プリーツ折りに加工するなど通風面積を増やしてからフ
ィルタ枠に装着したものであり、外気中の微塵を捕捉し
て、その後段に配置する主として計数法によって測定評
価される濾過性能を有するＨＥＰＡフィルタの濾過寿命
を長く保つことを主目的としている。

【0020】本発明のエアフィルタ用濾材は粗塵用のエアフ
ィルタ用濾材であり、ＡＳＨＲＡＥ ５２.１−１９９
２に準じた試験方法において、質量法による粒子捕集平
均効率が５０〜９９％であり、好ましくは粒子捕集平均
効率が７０〜９５％である。粒子捕集平均効率が５０％
未満である場合は粗塵除去が不十分であり、下流位置に
配置される中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカ
ルフィルタの寿命を延ばすよりも、むしろ設置の費用が
掛かり過ぎるため使用できない。また、粒子捕集平均効
率が９９％を超える場合は、濾材の開孔径が細かくなり
過ぎるため、すぐに濾材前後の圧力損失が限界に達して
寿命が短くなり粗塵用のフィルタとして使用できない。
また、本発明のエアフィルタ用濾材の圧力損失は面風速
が１ｍ／ｓｅｃのとき１００Ｐａ以下であることが好ま
しい。

【0021】本発明のエアフィルタ用濾材の構造は不織布が
好ましく、例えば乾式法、エアレイ法、スパンボンド法
等によって得ることができる。このうち乾式法による不
織布は、厚み方向に繊維が配向しているので、厚みが大
きく、且つ厚みがつぶれ難いため、嵩高な構造を必要と
する粗塵用のエアフィルタ用濾材として特に適してい
る。

【0022】本発明のエアフィルタ用濾材の繊維は、不織布
の製造で一般的に用いられる合成繊維、半合成繊維、無
機繊維、天然繊維等である。また、熱接着性繊維には、
例えば他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着する
ことのできる単一樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よ
りも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる低融
点成分を繊維表面に有する複合繊維がある。このような
複合繊維には、その横断面形状が例えば、低融点成分を
繊維表面に有する芯鞘型やサイドバイサイド型等の複合
繊維があり、またその材質は例えば、共重合ポリエステ
ル／ポリエステル、共重合ポリプロピレン／ポリプロピ
レン、ポリプロピレン／ポリアミド、ポリエチレン／ポ
リプロピレン、ポリプロピレン／ポリエステル、ポリエ
チレン／ポリエステルなどの繊維形成性重合体の組み合
わせからなる複合繊維がある。また、該熱接着性繊維の
全体の繊維に占める割合は好ましくは１００〜５重量％
であり、更に好ましくは１００〜５０重量％であり、最
も好ましくは１００〜７５重量％である。熱接着性繊維
の割合が５重量％未満であると熱接着による結合力が弱
く、エアフィルタ用濾材として使用しても、風圧で容易
に厚みがつぶれてしまい、不具合を生じる場合がある。
また、本発明のエアフィルタ用濾材の繊維の平均繊度
は、３〜５０デシテックスが好ましく、１０〜３０デシ
テックスが更に好ましい。

【0023】本発明のエアフィルタ用濾材は上記の熱接着性
繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と
他の繊維が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処
理されることにより結合している。この加熱接着処理に
は、例えば熱風吹き出し型乾燥機を用いるか、エアスル
ー型の乾燥機を用いる方法がある。

【0024】本発明のエアフィルタ用濾材の面密度は５０〜
１０００ｇ／ｍ^２が好ましく、平板で用いる場合は面密
度が１００〜１０００ｇ／ｍ^２が好ましく、１５０〜６
００ｇ／ｍ^２が更に好ましい。またプリーツ加工や袋形
状に加工する場合は５０〜３００ｇ／ｍ^２の面密度が好
ましく、１００〜２００ｇ／ｍ^２が更に好ましい。ま
た、本発明のエアフィルタ用濾材の厚さは、５〜５０ｍ
ｍであることが好ましく、１０〜３０ｍｍが更に好まし
い。５ｍｍ以下である場合は塵埃の保持容量が少なくな
り濾過寿命が短くなってしまう。また、５０ｍｍ以上の
場合は圧力損失が高くなり過ぎるため、やはり濾過寿命
が短くなってしまう。

【0025】本発明のエアフィルタ用濾材は、エアフィルタ
用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、
次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面
密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間にお
ける、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ
^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である、好
ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）以上２（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である、更に好ま
しくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）
以上１（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である。このように、
エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量を少な
くするには、前記熱接着性繊維によって、熱接着性繊維
同士、又は熱接着性繊維と他の繊維が、該熱接着性繊維
の融点以上の温度で加熱処理されることにより結合して
いるエアフィルタ用素材をさらに８０℃以上で、且つ該
熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加
熱処理することによって得ることができる。

【0026】本発明では、有機質ガス状汚染物質の定量に
は、ダイナミックヘッドスペース法によって、加熱状態
で促進試験を行ない、発生ガス量を定量した後、その値
を発生ガス推測法によって、室温時の値に換算した値を
使用している。

【0027】次に、ダイナミックヘッドスペース法を説明す
る。図２はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエ
ルサイエンス(株)製 ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）の説明図で
ある。まず、測定したい素材を直径７ｃｍの円形に切
り、試料１４を作成する。試料１４をチャンバー１０内
の中央のガス吹き出し口１３の上に設置する。次に、清
浄なヘリウムガス１１をチャンバー内に流速１２０ｍｌ
／ｍｉｎで連続的に流通させながら所定の温度（６０℃
または８０℃）で加熱する。ヘリウムガス１１は試料１
４と接触する際、試料１４から発生する汚染物質がヘリ
ウムガス中に混入するので、気体濃度が平衡になった
後、捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１２（成
分；2,6-diphenylene oxide）に捕集する。次いで、固
体吸着材１２に捕集した物質をガスクロマトグラフ質量
分析計で分析する。（(株)島津製作所製 ＱＰ−５０５
０を使用）加熱の温度は６０℃と８０℃の２条件で測定
する。

【0028】次に、発生ガス推測法とは、高温下で発生ガス
の促進試験を行ない、実験式を用いて、室温での結果を
推測する方法であり、以下、発生ガス推測法について具
体的に説明する。実際のクリーンルームの室温２３℃で
の発生ガスは極微量なので実測では分析感度の点で長時
間の測定が必要になるなど、現実的には測定困難なた
め、前述のダイナミックヘッドスペース法により、試験
条件を例えば６０℃、８０℃の高温下に設定して、試料
から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果
から下記の式を用いて室温２３℃での結果を推測する。
（株）住化分析センターの竹田らによれば、試験温度と
発生ガスの関係については、経験則として下記の式が成
り立つことがわかっている。（平成１１年第１７回コン
タミネーションコントロール研究大会予稿集などに記
載） lｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２ M；トルエン換算の発生ガス量（μｇ） A；測定試料面積（ｍ²） h；捕集に要した時間（ｈ） T；試験温度（絶対温度K） C１およびC２；定数

【0029】また、本発明のエアフィルタ用濾材は上記のエ
アフィルタ用濾材と同じもの又は異なるものが複数積層
していても構わない。また、上記のエアフィルタ用濾材
と他の通気性を有するシート状物が積層していても構わ
ない。このような通気性を有するシート状物には、例え
ば織物、編物、ネット、不織布、ろ紙等があるが、ガス
状汚染物質を多く発生しないものが好ましい。

【0030】本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエ
アフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されていることを
特徴とするエアフィルタユニットである。このようなエ
アフィルタユニットの形態には、エアフィルタ用濾材が
平板状にカットされてフィルター枠に装着されている平
板型、エアフィルタ用濾材がプリーツ折の型、エアフィ
ルタ用濾材が袋形状の型等がある。プリーツ折の型の場
合、エアフィルタ用濾材の面積はユニットの間口面積あ
たり最大６倍程度まで、また袋形状の型の場合、エアフ
ィルタ用濾材の面積は最大２０倍程度まで増加できる。
また、エアフィルタユニットに用いる枠体としては、有
機質ガス状汚染物質の発生が少ない合成樹脂の板や、該
汚染物質の発生がほとんど無いアルミ等の金属であるこ
とが好ましい。

【0031】本発明のエアフィルタユニットは、前述のよう
な本発明のエアフィルタ用濾材を用いているため、要求
される塵埃に関する濾過性能に応じて適宜使用面積を変
えたとしても、該エアフィルタ用濾材から発生する総有
機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法によ
り２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの
間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間にお
ける、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）
以上１００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である、好ましく
は該総有機物物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以
上５０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である、更に好ましく
は該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上
２５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であるエアフィルタユニ
ットとすることができる。

【0032】次に、本発明の請求項３に係るエアフィルタユ
ニットをクリーンルームに使用した場合の効果を示す。
例えば、エアフィルタユニットをケミカルフィルタを有
する外調機に設置して、その時のユニット間口を通過す
る風速を２．５ｍ／ｓｅｃに設定したとすると、エアフ
ィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出す
ると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あた
りから発生する、単位時間における、該総有機物質の量
が１００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である場合、空気中の汚
染物質濃度は１００μｇ／ｍ^２・ｈｒ÷２．５ｍ／ｓｅ
ｃ＝１．１×１０^−２μｇ／ｍ^３となり、前述の管理基
準値の４１．７μｇ／ｍ^３を十分に満足できる。また、
本発明のエアフィルタユニットを、ケミカルフィルタの
前に設置する場合はエアフィルタ用濾材から発生する有
機物質は、該ケミカルフィルタによって除去されるの
で、クリーンルーム中の空気中の汚染物質濃度は実質的
に０μｇ／ｍ^３であるが、後述の実施例で示すように、
本発明によるエアフィルタ用濾材からの発生ガス量は、
従来タイプのエアフィルタ用濾材からの発生ガス量と比
較して、極めて少なく、ケミカルフィルタへの負担を格
段に軽減して、ケミカルフィルタの寿命を大きく延ばす
ことができる。尚、このように本発明のエアフィルタ用
濾材またはエアフィルタユニットからの発生ガスは従来
タイプより極めて少ないため、例えばケミカルフィルタ
等を配置しなくても良いような管理基準のあまり厳しく
ない室内用途にも用いることができる。

【0033】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法は、熱
接着性繊維が５重量％以上である繊維ウェブを形成し、
該繊維ウェブを該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱
処理して繊維同士接着した後、さらに８０℃以上で、且
つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中
で加熱処理することを特徴とするエアフィルタ用濾材の
製造方法である。

【0034】上記繊維ウェブの形成法は不織布の製法に準じ
て行えばよく、例えば乾式法、エアレイ法、スパンボン
ド法等を用いることができる。このうち乾式法では、熱
接着性繊維を他の繊維と均一に混合することもでき、又
厚み方向に繊維が配向し易いので、厚みを出し易く、且
つ厚みがつぶれ難くなり、嵩高な構造を必要とする粗塵
用のエアフィルタ用濾材を製造するのに特に適してい
る。

【0035】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法で用い
る繊維は、不織布の製造で一般的に用いられる合成繊
維、半合成繊維、無機繊維、天然繊維等である。また、
熱接着性繊維には、例えば他の繊維よりも融点が低く他
の繊維を熱接着することのできる単一樹脂成分からなる
繊維や、他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着す
ることのできる低融点成分を繊維表面に有する複合繊維
を用いることができる。このような複合繊維には、その
横断面形状が例えば、低融点成分を繊維表面に有する芯
鞘型やサイドバイサイド型等の複合繊維があり、またそ
の材質は例えば、共重合ポリエステル／ポリエステル、
共重合ポリプロピレン／ポリプロピレン、ポリプロピレ
ン／ポリアミド、ポリエチレン／ポリプロピレン、ポリ
プロピレン／ポリエステル、ポリエチレン／ポリエステ
ルなどの繊維形成性重合体の組み合わせからなる複合繊
維がある。また、該熱接着性繊維の配合比率は１００〜
５重量％であり、好ましくは１００〜５０重量％であ
り、更に好ましくは１００〜７５重量％である。熱接着
性繊維の配合比率が５重量％未満であると熱接着力が弱
く、エアフィルタ用濾材として使用しても、風圧で容易
に厚みがつぶれてしまい、不具合を生じてしまう。

【0036】上記繊維ウェブの形成に際しては、繊維ウェブ
に用いる繊維の平均繊度は、３〜５０デシテックスが好
ましく、１０〜３０デシテックスが更に好ましい。ま
た、繊維ウェブの面密度は５０〜１０００ｇ／ｍ^２が好
ましく、本発明の製造方法で得られるエアフィルター用
濾材を平板で用いる場合は面密度が１００〜１０００ｇ
／ｍ^２が好ましく、１５０〜６００ｇ／ｍ^２が更に好ま
しい。また本発明の製造方法で得られるエアフィルター
用濾材をプリーツ加工や袋形状に加工する場合は５０〜
３００ｇ／ｍ^２の面密度が好ましく、１００〜２００ｇ
／ｍ^２が更に好ましい。

【0037】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、
次に上記繊維ウェブを該繊維ウェブに含まれている熱接
着性繊維の低融点成分の融点以上の温度で加熱接着処理
を行う。この加熱接着処理は、例えば熱風吹き出し型乾
燥機を用いて、コンベアー上にある繊維ウェブの上から
熱風を静かに吹きつけ、風圧で厚みがあまりつぶれない
ようにして、熱接着繊維同士接着するか、または熱接着
繊維と他の繊維とを接着する方法や、エアースルー型の
乾燥機を用いて、網状コンベアー上にある繊維ウェブの
上から該コンベア−の下へ熱風を通して接着する方法な
どがある。

【0038】しかし、上記の加熱接着処理を行うだけでは、
上記熱接着性繊維の表面にガス状汚染物質となる有機物
質が生成してしまい、上記融点以上の温度から室温まで
徐々に温度が降下しても、その間の加熱状態においては
生成した該有機物質が除去されないことが判った。そこ
で本発明による製造方法では、上記の加熱接着処理の次
に、加熱接着処理した繊維ウェブを８０℃以上の温度
で、且つ熱接着性繊維の低融点成分の融点より１０℃以
下、より好ましくは２０℃以下の気体中で加熱処理を行
う。この２回目の加熱処理は、例えば上記熱風吹き出し
型乾燥機を用いて、上記と同様に、コンベアー上にある
繊維ウェブの上から熱風を吹きつける方法によって行う
ことができる。そして、この２回目の加熱処理によって
該熱接着性繊維の表面に生成した該有機物質を除去する
ことができる。この加熱除去処理に要する時間は５分間
以上が好ましい。また、この加熱除去処理温度が８０℃
未満であるならば、該有機物質を十分に除去することが
できない。また、上記低融点成分の融点よりも低い温度
であり、該融点との差が１０℃未満である場合には、熱
接着性繊維の表面から該有機物質を除去するどころか、
かえって熱接着性繊維の表面に新たにガス状汚染物質と
なる有機物質を生成してしまい、有機物質の発生量が少
ないエアフィルタ用濾材を得ることはできない。尚、熱
接着性繊維の低融点成分の融点近くの温度で加熱するこ
とによって、熱接着性繊維の表面にガス状汚染物質とな
る有機物質が生成する理由としては、該融点成分の一部
が分解することによるか、低融点成分に含まれていた繊
維の可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤等の
添加剤が繊維表面に溶出することが考えられる。また、
十分に接着するため熱接着性繊維の溶融時間を長く保っ
ていることなどが考えられる。

【0039】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、
上記の加熱接着処理を行った後に引き続いて上記の加熱
除去処理を行うことができるが、加熱接着処理を行った
後に一旦繊維ウェブを室温近くまで冷却してから加熱除
去処理を行うこともできる。また別法として、加熱接着
処理によってエアフィルタ用素材とした後、該エアフィ
ルタ用素材にプリーツ加工やユニット加工を行い一旦エ
アフィルタ中間体として、その後に該エアフィルタユニ
ット中間体を８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点
より１０℃以下の温度の気体中で加熱除去処理すること
もできる。プリーツ加工やユニット加工した後に加熱除
去処理する場合は、加熱処理対象全体を上記所定の温度
の乾燥機中に放置するか、ユニットに上記所定の温度の
熱風を通過させる等の方法で行うことができる。このよ
うに、プリーツ加工やユニット加工した後に加熱除去処
理した場合は、熱接着によって熱接着繊維表面に生成し
た有機物質のみならず、該プリーツ加工や該ユニット加
工までに、大気中よりエアフィルタ用素材やエアフィル
タユニット中間体に付着した有機物質をも除去すること
ができる。

【0040】このようにして得られるエアフィルタ用濾材の
厚さは、５〜５０ｍｍであることが好ましく、１０〜３
０ｍｍが更に好ましい。５ｍｍ以下である場合は塵埃の
保持容量が少なくなり濾過寿命が短くなってしまう。ま
た、５０ｍｍ以上の場合は圧力損失が高くなり過ぎるた
め、やはり濾過寿命が短くなってしまう。

【0041】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、
上記のように加熱除去処理を行うことによって、エアフ
ィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出し
て、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維
の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間
における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ
／ｍ^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であ
る、好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２
・ｈｒ）以上２（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である、更に
好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）以上１（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であるエアフィル
タ用濾材を得ることができる。

【0042】本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法によって得られ
たエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフィ
ルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユニ
ットの製造方法である。

【0043】本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法によって得られ
たエアフィルタ用濾材を平板状にカットした後フィルタ
枠に装着することにより、或いは得られたエアフィルタ
用素材を平板状にカットした後フィルタ枠に装着してか
ら前述の加熱除去処理を行うことにより、平板型の本発
明のエアフィルタユニットとすることができる。また、
例えば得られたエアフィルタ用濾材をプリーツ状に多数
折り曲げてからフィルタ枠に装着することによって、或
いは得られたエアフィルタ用素材をプリーツ状に多数折
り曲げてからフィルタ枠に装着してから前述の加熱除去
処理を行うことにより、プリーツ折型の本発明のエアフ
ィルタユニットとすることができる。エアフィルタユニ
ットの形態には、プリーツ折の型の外に、濾材を袋形状
に成型してフィルタ枠に装着した袋形状型等がある。こ
のようにして、エアフィルタ用濾材の面積はユニットの
間口面積あたり最大６倍程度まで、また袋形状に加工す
るとエアフィルタ用濾材の面積は最大２０倍程度まで増
加することができる。また、エアフィルタユニットに用
いる枠体としては、有機質ガス状汚染物質の発生が少な
い合成樹脂の板や、該汚染物質の発生がほとんど無いア
ルミ等の金属を用いることが好ましい。また、本発明の
エアフィルタ用濾材の製造方法で得られたエアフィルタ
用濾材を、要求される塵埃に関する濾過性能に応じて適
宜使用面積を定めて用いることにより、エアフィルタ用
濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）
を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エ
アフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発
生する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０
（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）
以下である、好ましくは該総有機物物質の量が１．０
（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上５０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以
下である、更に好ましくは該総有機物質の量が１．０
（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上２５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以
下であるエアフィルタユニットを得ることができる。

【0044】本発明のエアフィルタ用濾材包装体は、質量法
による粒子捕集平均効率が５０〜９９％である粗塵除去
用のエアフィルタ用濾材が、通気性を有しないシート状
物によって包装されてなる包装体であって、該シート状
物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を
発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シ
ート状物の単位面積あたり（１ｍ^２あたり）から発生す
る、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量
が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量
（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃に
おいて算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あ
たり（１ｍ^２あたり）から発生する、単位時間（１ｈ
ｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴と
するエアフィルタ用濾材包装体であり、該エアフィルタ
用濾材を使用するまでに、該エアフィルタ用濾材にガス
状汚染物質が付着するのを防ぐことができる。尚、該エ
アフィルタ用濾材の単位面積とは、該エアフィルタ用濾
材を使用する場合の通風面の見かけの表面の単位面積
（１ｍ^２）のことをいう。

【0045】また、本発明のエアフィルタユニット包装体
は、フィルタ枠に質量法による粒子捕集平均効率が５０
〜９９％である粗塵除去用のエアフィルタ用濾材が装着
されたエアフィルタユニットが、通気性を有しないシー
ト状物によって包装されてなる包装体であって、該シー
ト状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を発生ガス推測法により２３℃において算出する
と、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ^２あたり）か
ら発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物
質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２
３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位
面積あたり（１ｍ^２あたり）から発生する、単位時間
（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを
特徴とするエアフィルタユニット包装体であり、該エア
フィルタユニットを使用するまでに、該エアフィルタユ
ニットにガス状汚染物質が付着するのを防ぐことができ
る。このような包装体としては、例えば、該エアフィル
タユニットのエアフィルタ用濾材から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）が、４（μｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）である場合、該シート状物から発生する総有機物質
の量（トルエン換算重量）が４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）未
満の該シート状物によって、該エアフィルタユニットが
包装されているエアフィルタユニット包装体がある。

【0046】本発明で用いられるシート状物としては、アル
ミ箔等の金属箔、ポリエステル樹脂等の樹脂フィルム、
アルミ蒸着樹脂フィルム等があり、通気性を有しないシ
ート状のものが適している。また、包装体の形態として
は、対象となるエアフィルタ用濾材やエアフィルタユニ
ットをシート状物で包みこんだ形態や、シート状物から
なる袋に対象となるエアフィルタ用濾材やエアフィルタ
ユニットを入れて、袋の口を止める形態など、該エアフ
ィルタ用濾材や該エアフィルタユニットが直接外気に触
れないようにすればよい。また、必ずしも密封している
必要はないが、密封すれば該エアフィルタ用濾材や該エ
アフィルタユニットに大気中のガス状汚染物質が付着す
るのをより効果的に防ぐことができる。また、該シート
状物の単位面積あたり（１ｍ^２あたり）から発生する、
単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量（トル
エン換算重量）が、該エアフィルタ用濾材の単位面積あ
たり（１ｍ^２あたり）から発生する、単位時間（１ｈ
ｒ）における、総有機物質の量（トルエン換算重量）よ
り少ないので、該シート状物によって包装されている該
エアフィルタ用濾材や該エアフィルタユニットに対し
て、該シート状物から発生するガス状汚染物質が付着す
ることがないか、又は付着することがあっても、その量
は極めて少ない。

【0047】以下、本発明の実施例につき説明するが、これ
は発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本願
発明はこれら実施例の内容に限定されるものではない。

【0048】（実施例１）芯成分が融点１６０℃のポリプロ
ピレン、鞘成分が融点１３０℃のポリエチレンからな
る、繊度が２０デシテックス、繊維長が７６ｍｍの複合
繊維である熱接着性繊維１００％からなる繊維原料を開
繊した後、カード機にかけてウェブを形成した。このウ
ェブに１４５℃の乾燥機で３分間加熱接着処理を行な
い、鞘成分のポリエチレンを溶融して、そのウェブの繊
維交点で繊維接着を行ない、その後空冷して面密度２０
０ｇ／ｍ^２、厚さ２０ｍｍのエアフィルタ用素材を作製
した。次に、このエアフィルタ用素材に、１１０℃の乾
燥機で１０分間加熱除去処理を行ない、面密度２００ｇ
／ｍ^２、厚さ２０ｍｍのエアフィルタ用濾材を得た。こ
のエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（ト
ルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃におい
て算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接
着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、
単位時間における、該総有機物質の量を算出すると０．
１５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。次に、このエアフ
ィルタ用濾材を５０ｃｍ×５０ｃｍの大きさにカットし
た後、内側の寸法が５０ｃｍ×５０ｃｍのアルミ製のフ
ィルタ枠に装着して、エアフィルタユニットを得た。こ
のエアフィルタユニットは、ＡＳＨＲＡＥ ５２.１−
１９９２に準じた試験方法によると風速２．５ｍ／ｓｅ
ｃの試験条件で、質量法による粒子捕集平均効率が８０
％であり、圧力損失が面風速が１ｍ／ｓｅｃのとき１５
Ｐａであり、粗塵用フィルタとしての性能を満足するも
のであって、クリーンルーム用フィルタシステムの外調
機に取り付けるプレフィルタとして好適であった。

【0049】（実施例２）エアフィルタ用素材に１００℃で
５分間加熱除去処理を行なったこと以外は実施例１と同
様にしてエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ
用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を実施例１と同様にして算出すると、０．４８（μ
ｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。

【0050】（比較例１）エアフィルタ用素材に加熱除去処
理を行なわなかったこと以外は実施例１と同様にしてエ
アフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から
発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を実施例
１と同様にして算出すると、５．１３（μｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）であった。

【0051】（比較例２）エアフィルタ用素材に１５０℃で
３分間加熱除去処理を行なったこと以外は実施例１と同
様にしてエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ
用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重
量）を実施例１と同様にして算出すると、１２．８（μ
ｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。

【0052】以上のように、実施例１では、本発明による加
熱除去処理を行うことによって得られたエアフィルタ用
濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）
を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に
該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度
１００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間におけ
る、該総有機物質の量を算出すると０．１５（μｇ／ｍ
^２・ｈｒ）である。また実施例２では、０．４８（μｇ
／ｍ^２・ｈｒ）である。これに対して、加熱接着処理し
か行わなかった従来タイプの比較例１では５.１３（μ
ｇ／ｍ^２・ｈｒ）である。このように本発明のエアフィ
ルタ用濾材は該総有機物質の発生量が従来タイプのエア
フィルタ用濾材の約３０分の１及び約１０分の１と極め
て少なく、クリーンルーム等への汚染ガスの進入を大幅
に軽減し、また下流にケミカルフィルタが配置される場
合はケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、ケミ
カルフィルタの寿命を大きく延ばすことができる。ま
た、比較例２において、総有機物質の量が多くなった理
由としては、ポリエチレンの融点１３０℃以上の温度で
の加熱除去処理であったため、熱接着性繊維表面のガス
状汚染物質となる有機物質が除去されるよりは、むしろ
熱接着性繊維表面にガス状汚染物質となる有機物質が新
たに生成したためと考えられる。

【0053】

【発明の効果】本発明によるエアフィルタ用濾材、エア
フィルタユニット、及びその製造方法によって、アウト
ガス発生量の少ないエアフィルタ用濾材を提供すること
ができ、このエアフィルタ用濾材又はエアフィルタユニ
ットをクリーンルームなどで使用される中性能フィルタ
やＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの前段で用いる
ことにより、該中性能フィルタや該ＨＥＰＡフィルタの
みならず該ケミカルフィルタの塵埃に対する負担を少な
くして寿命を延ばしつつクリーンルーム等への汚染ガス
の進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除
去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンル
ームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄
与することができる。また、本発明によるエアフィルタ
用濾材包装体により、エアフィルタ用濾材を使用するま
でに、該エアフィルタ用濾材にガス状汚染物質が付着す
るのを防ぐことができる。更にまた、本発明によるエア
フィルタユニット包装体により、エアフィルタユニット
を使用するまでに、該エアフィルタユニットにガス状汚
染物質が付着するのを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルームなどのフィルタシステム

【図２】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガ
ス捕集装置の説明図

【符号の説明】

１ 外調機 ２ プレフィルタ ３ 中性能フィルタ ４ エアワッシャ− ５ ケミカルフィルタ ６ ＨＥＰＡフィルタ ７ ケミカルフィルタ ８ ＨＥＰＡフィルタ ９ クリーンルーム １０ チャンバー １１ ヘリウムガス １２ 固体吸着剤 １３ ガス吹出し口 １４ 試料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B154 AA09 AA17 AB22 BA60 BB12 BF01 BF12 BF30 DA10 DA30 4D019 AA01 BA13 BB03 DA01 4L047 AA14 AA27 BA09 BB01 BB02 BB09 CB10 CC12

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項1】 質量法による粒子捕集平均効率が５０〜
   ９９％であるエアフィルタ用濾材であって、該エアフィ
   ルタ用濾材の繊維が熱接着性繊維によって結合してお
   り、且つ該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質
   の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３
   ℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含ま
   れる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発
   生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出す
   ると１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・
   ｈｒ）以下であることを特徴とする粗塵除去用のエアフ
   ィルタ用濾材。
2. 【請求項2】 請求項１に記載のエアフィルタ用濾材が
   フィルタ枠に装着されていることを特徴とするエアフィ
   ルタユニット。
3. 【請求項3】 エアフィルタ用濾材から発生する総有機
   物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により
   ２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間
   口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間におけ
   る、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以
   上１００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であることを特徴と
   する請求項２に記載のエアフィルタユニット。
4. 【請求項4】 熱接着性繊維が５重量％以上である繊維
   ウェブを形成し、該繊維ウェブを該熱接着性繊維の融点
   以上の温度で加熱処理して繊維同士接着した後、さらに
   ８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以
   下の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエア
   フィルタ用濾材の製造方法。
5. 【請求項5】 請求項４に記載の製造方法によって得ら
   れたエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフ
   ィルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユ
   ニットの製造方法。
6. 【請求項6】 熱接着性繊維が５重量％以上である繊維
   ウェブを形成し、該繊維ウェブを該熱接着性繊維の融点
   以上の温度で加熱処理して繊維同士接着し、エアフィル
   タ用素材とした後、該エアフィルタ用素材をフィルタ枠
   に装着してエアフィルタユニット中間体とし、該エアフ
   ィルタユニット中間体を８０℃以上で、且つ該熱接着性
   繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理す
   ることを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法。
7. 【請求項7】 質量法による粒子捕集平均効率が５０〜
   ９９％である粗塵除去用のエアフィルタ用濾材が、通気
   性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体
   であって、該シート状物から発生する総有機物質の量
   （トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃に
   おいて算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１
   ｍ^２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）におけ
   る、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発
   生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス
   推測法により２３℃において算出すると、該エアフィル
   タ用濾材の単位面積あたり（１ｍ^２あたり）から発生す
   る、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より
   少ないことを特徴とするエアフィルタ用濾材包装体。
8. 【請求項8】 フィルタ枠に質量法による粒子捕集平均
   効率が５０〜９９％である粗塵除去用のエアフィルタ用
   濾材が装着されたエアフィルタユニットが、通気性を有
   しないシート状物によって包装されてなる包装体であっ
   て、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエ
   ン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算
   出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ^２あた
   り）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総
   有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総
   有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法に
   より２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材
   の単位面積あたり（１ｍ ^２あたり）から発生する、単位
   時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないこ
   とを特徴とするエアフィルタユニット包装体。