JP2002275601A

JP2002275601A - 低損失珪素鋼板とその製造方法

Info

Publication number: JP2002275601A
Application number: JP2001081206A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Omori; 浩志大森; Tatsuya Tomioka; 達也冨岡
Original assignee: Daido Steel Co Ltd
Current assignee: Daido Steel Co Ltd
Priority date: 2001-03-21
Filing date: 2001-03-21
Publication date: 2002-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】高Ｓｉ含有量のＦｅ−Ｓｉ合金の粉末とＦｅ
の粉末とを混合する粉末混合工程（Ａ）、粉末混合物を
圧延して薄板とする粉末圧延工程（Ｂ）、薄板を焼結す
る焼結工程（Ｃ）、焼結した薄板に冷間圧延を施す冷間
圧延工程（Ｄ）、非酸化性雰囲気下に加熱する拡散焼鈍
工程（Ｅ）、およびスキンパス圧延を行なって所定の厚
さにする仕上圧延工程（Ｆ）、の諸工程により製造され
る珪素鋼板において、鉄損が改善されたものを提供する
こと。【解決手段】Ｆｅ−Ｓｉ合金の粉末とＦｅの粉末とを
混合するに当たり、平均のＳｉ量が６．８〜７．２重量
％となるように配合し、かつ、上記各工程の操作条件を
選択することにより、ＥＰＭＡ法により測定した面積率
にして、Ｓｉ含有量が６．２５〜６．７５重量％の領域
が２５％以上、６．７５〜７．２５重量％の領域が１０
％以上を占めるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、低損失珪素鋼板と
その製造方法に関する。本発明により、粉末圧延法によ
るＳｉ含有量７．０％の珪素鋼板であって、とくに１０
ｋＨｚ程度の高周波領域における鉄損が改善されたもの
が提供される。

【０００２】

【従来の技術】変圧器の鉄心のような電磁気材料として
の珪素鋼板において、６．５％Ｓｉ−Ｆｅが、磁歪がゼ
ロであるため鉄損が小さいという点で好適な合金組成と
してよく知られ、使用されている。ところが、Ｆｅ−Ｓ
ｉ系においては、Ｓｉ含有量が高くなるにつれて合金の
加工性が悪くなり、４．５％を超えると冷間圧延が不可
能になるから、６．５％Ｓｉ−Ｆｅ合金の薄板は、溶製
材の圧延以外の方法で製造するほかない。

【０００３】そのひとつの方策として、いわゆる浸珪法
が提案された。これは、加工性のよい合金、たとえばＦ
ｅ−３％Ｓｉ合金を圧延して薄板をつくり、ＳｉＣｌ₄
を使用したＣＶＤ法により表面のＳｉ量を高め、続く加
熱によってＳｉを拡散させ、全体のＳｉ量を６．５％近
辺にもって行く方法である。この技術は高性能な製品を
与えるが、有毒なガスを使用するため、設備上ガス漏洩
対策が必要であり、十分な事故対策を前提とするには、
設備・操業の両面において、コスト高となることを免れ
ない。

【０００４】別の方法として、粉末冶金法による高いＳ
ｉ含有量をもった珪素鋼板の実現が試みられている。し
かし、６．５％Ｓｉ−Ｆｅ合金の粉末を焼結して板材に
しても、得られた板材が高珪素含有量のため加工性が低
く、冷間圧延は困難であって任意の厚さの薄板を得るこ
とができない点で、やはり限界がある。

【０００５】粉末圧延法を利用する薄板製造技術とし
て、Ｆｅ−Ｓｉ合金の微粉末を適宜のバインダーと混練
し、混練物をドクターブレードで一定の厚さにしたもの
を圧延する、という手段がある。この技術は、とくに微
細な粉末を必要とすることと、バインダーを用いること
とから、コストがかかる。バインダーは工程の途中で除
去しなければならず、除去には長時間を要する。その
上、焼結を高温度で行なわなければならないなどの制約
があり、薄板の量産には不向きである。

【０００６】粉末圧延を容易にする目的で、加工性のよ
い材料たとえば軟鋼の缶に合金粉末を入れ、密封して熱
間で加工するという方策もある。ただし、加工後に脱キ
ャンする必要があり、これがコスト高の要因になる。ま
た、熱間加工後の冷間圧延ができず、そのため、厚さ
０．５mm以下の薄板を製造することはできない。

【０００７】発明者らは、さきに、粉末圧延法を変形し
て、高Ｓｉ含有量のＦｅ−Ｓｉ合金の粉末と純Ｆｅ粉末
とを混合し、この粉末混合物を粉末圧延することによ
り、高Ｓｉ含有量の珪素鋼板を製造する技術を開発し、
すでに提案した（特開２００１−２６８２２）。その珪
素鋼板の製造方法は、上記の粉末混合物が少量の高Ｓｉ
含有量のＦｅ−Ｓｉ合金粉末を大量の純Ｆｅ粉末が取り
囲む形態であり、したがって後者のもつ高い加工性を利
用することができ、平均組成の合金がもつ加工性の低さ
をカバーする、という手法によっている。

【０００８】この技術を確立するための研究過程におい
て、発明者らは、粉末混合物のＳｉ含有量が、磁歪の最
小となる６．５％Ｓｉよりも若干高い側、たとえば７．
０％Ｓｉにおいて、得られる珪素鋼板の損失（鉄損）が
むしろ低いことを発見し、その理由を追及するととも
に、鉄損が改善されたものの内部構造と、その製造方法
とを確立した。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、発明者らのこうした新しい知見を活用し、上記し
た粉末圧延技術により提供される６．５％Ｓｉ珪素鋼板
にくらべ、鉄損が改善されたものを提供すること、およ
びその製造方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の低損失珪素鋼板
は、Ｆｅ−Ｓｉ合金の粉末と、Ｆｅの粉末との混合物を
粉末圧延法により薄板にしてなる珪素鋼板であって、平
均のＳｉ量が６．８〜７．２重量％であり、かつ、図１
に見るように、ＥＰＭＡ法により測定した面積率にし
て、Ｓｉ含有量が６．２５〜６．７５重量％の領域
（Ｉ）が２５％以上、６．７５〜７．２５重量％の領域
（II）が１０％以上を、それぞれ占めることを特徴とす
る。

【００１１】本発明の低損失珪素鋼板の製造方法は、基
本的には下記の諸工程からなる：Ａ）１０〜５０重量％のＳｉを含有するＦｅ−Ｓｉ合金
の粉末およびＦｅの粉末を、混合物中のＳｉ量が６．８
〜７．２重量％となるような割合で混合する粉末混合工
程、Ｂ）この混合物を粉末圧延法により薄板に成形する粉末
圧延工程、Ｃ）粉末圧延によって得た薄板を、９５０〜１２５０℃
の温度で焼結する焼結工程、Ｄ）焼結した薄板に圧下率３〜１０％の冷間圧延を施す
冷間圧延工程、Ｅ）冷間圧延後の薄板を、非酸化性雰囲気下に、１３０
０〜１３５０℃の温度に数分間〜数１０分間加熱して、
ＥＰＭＡ法により測定した面積率にして、Ｓｉ含有量が
６．２５〜６．７５％の領域が２５％以上、６．７５〜
７．２５％の領域が１０％以上を占めるように拡散させ
る拡散焼鈍工程、およびＦ）拡散焼鈍をへた薄板に圧下率０．５〜５％のスキン
パス圧延を行なって、０．０５〜０．５mm範囲内の所定
の厚さにする仕上圧延工程。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の珪素鋼板には、その特性
をさらに改善する目的で、ＦｅおよびＳｉに加えて若干
の第三成分を含有させることができる。そのひとつは、
Ｓｂ：０．０５〜０．３％、好ましくは０．１〜０．２
％を含有するものであって、Ｓｂの添加により、表面の
耐酸化性を改善した珪素鋼板が得られる。

【００１３】いまひとつは、下記のグループに属する合
金元素の少なくとも一つをさらに含有するものであり
（併用の場合は合計量）、Ａｌ：０．０５〜６．０％、好ましくは０．１〜０．３
％ＭｏおよびＮｉの１種または２種：０．０５〜２．０
％、好ましくは０．１〜１．０％、Ｗ，ＣｏおよびＶの１種または２種以上：０．０５〜
１．０％、好ましくは０．１〜０．５％、ＮｂおよびＰの１種または２種：０．０５〜１．０％、
好ましくは０．１〜０．３％、ならびに、ＴｉおよびＢの１種または２種：０．０５〜２．０％、
好ましくは０．１〜０．５％、これらの合金成分の添加により、電気抵抗を高めた珪素
鋼板が与えられる。

【００１４】上記した、表面の耐酸化性の改善または電
気抵抗の増大を意図して行なう第三の成分の添加は、任
意の手段で実現できる。もっとも代表的な手段は、いう
までもなく、添加しようとする第三の成分の金属粉末を
Ｆｅ−Ｓｉ合金の粉末およびＦｅ粉末と混合し、三成分
の混合物を粉末圧延することである。別法として、第三
の成分をあらかじめＦｅとの合金にしておいて、その粉
末を使用することである。したがって、「任意添加元素
の粉末」とは、これらの態様をすべて包含する意味に解
すべきである。

【００１５】本発明の低損失珪素鋼板の製造方法には、
基本的な態様にせよ、第三の成分を添加する態様にせ
よ、さまざまな変更態様が可能である。そのひとつの例
は、仕上圧延工程（Ｆ）に続いて、下記の工程を行なう
ことである：Ｇ）薄板に対しその長手方向に張力を加えつつ焼鈍、い
わゆる「テンションアニ−リング」を行なう平坦化処
理。

【００１６】いまひとつの例は、とくに薄い板を高い板
厚精度で得ようとする場合、拡散焼鈍工程（Ｅ）に先立
って、下記の工程のいずれかを、少なくとも１回行なう
ことである：Ｈ）冷間圧延と、それに後続する６００℃以上９５０℃
未満の温度に加熱する中間焼鈍の組み合わせ、またはＩ）６００℃以上９００℃以下の温度における温間圧
延。

【００１７】本発明の低損失珪素鋼板の製造方法におい
て、上記の各工程を付加した場合のフローチャートを、
図２に示す。

【００１８】低損失珪素鋼板の原料とするＦｅの粉末
は、いわゆる還元鉄粉およびアトマイズ鉄粉が好適であ
る。鉄カルボニル化合物から製造した鉄粉があるが、高
価である上に、粒度が微細に過ぎることと、形状が球に
近く圧粉成形性がよくないことから、適切とはいえな
い。Ｓｉ−Ｆｅ合金粉末は、合金溶湯の水噴霧により製
造したものが適当である。Ｆｅ粉末もＳｉ−Ｆｅ合金粉
末も、粒度が１００メッシュ通過程度の微細なものが好
適である。２種の原料粉末の平均粒度および粒度分布
は、なるべく近似していることが好ましい。大きく異な
ると、混合粉末の取り扱い中に、二成分が分離するおそ
れがある。

【００１９】Ｆｅ−Ｓｉ合金粉末中のＳｉ量を１０〜５
０重量％にえらんだ理由は、この範囲であれば、Ｆｅ粉
末との配合割合を実施上適切にできるからである。Ｆｅ
粉末のもつ高い加工性を利用するという観点からは、で
きるだけＳｉ量の高いＦｅ−Ｓｉ合金粉末を少量使用し
て、Ｆｅ粉末の配合割合を高くするほうが有利なようで
ある。しかし、あまりＳｉ量の高いＦｅ−Ｓｉ合金を使
用すると、多量のＳｉを拡散させなければならず、その
ために長い加熱時間が必要になって、実際的でなくな
る。５０％の上限は、この観点から定めた。

【００２０】一方、低いＳｉ量（６．５％を超えること
が当然の条件であるが）を選択すると、Ｆｅ粉末の配合
割合が低下して、粉末混合物の加工性が低くなる。これ
はいうまでもなく、粉末圧延にとって不都合である。Ｓ
ｉ量１０％の下限は、この実際的な理由から設けた。

【００２１】焼結を行なうときの非酸化性の雰囲気は、
アルゴン、窒素、水素などのガスの雰囲気、または真空
を使用すればよい。そのほか、本発明の実施に当たって
は、すでに開示した粉末圧延法による珪素鋼板の製造技
術が利用できる。

【００２２】本発明の低損失珪素鋼板の製造方法を構成
する各工程は、つぎに説明するような意義を有する。す
なわち、粉末混合工程（Ａ）は、すでに述べたところか
ら理解されるように、Ｓｉ含有量が高いＳｉ−Ｆｅ合金
粉末の加工性の低さを、それと混合するＦｅ粉末の加工
性の高さで緩和し、混合物全体としては比較的高い加工
性を有する状態で、粉末圧延工程（Ｂ）を行なえるよう
にすることにある。

【００２３】粉末圧延によって成形した薄板を焼結する
焼結工程（Ｃ）は、混合物としての加工性は維持したま
まで、続く冷間圧延の結果得られる製品が、強度を発現
できるようにする工程である。焼結工程はまた、拡散を
あまり進行させず、かつ後続の冷間圧延において、空孔
が効果的につぶされる焼結体を得ることを目的とする工
程である。温度範囲の上限１２５０℃は、この作業をコ
ントロールしやすいように選んだ。この限度を超える温
度では、急速に結晶の粗大化がすすみ、いちじるしい脆
化を引き起こす。下限９５０℃は、これに達しない温度
では焼結が実用的な速度で進行しないため定めた。

【００２４】焼結工程（Ｃ）は、後続の工程における加
工性を確保するため、Ｓｉ含有率が５．５％以下の部分
が面積率で３０％以上８０％以下を占めるような条件で
実施することが好ましい。「Ｓｉ含有率が５．５％以下
の部分」は、いうまでもなく、拡散があまり進まず、圧
延に耐える加工性を保っている部分である。その割合が
３０％を下回るほど拡散を進めてしまうと、薄板の加工
性が著しく低下する。一方、８０％を超えるほど未拡散
部分が残っている焼結では、焼結体の強度が不充分であ
って、圧延加工そのものが困難である。

【００２５】冷間圧延工程（Ｄ）は、所定の板厚を実現
するとともに、焼結体内部の空孔をつぶして、カサ密度
を高める工程である。冷間で加工して内部歪みエネルギ
ーを与えることにより、次工程の拡散焼鈍の条件を軽減
することができる。この目的を達するには、冷間圧延の
圧下率を３％以上、好ましくは５〜１０％にすべきであ
る。

【００２６】圧延により密度を高めた薄板は、拡散焼鈍
工程（Ｅ）によって、ミクロな組成が、前記したような
構成、すなわち、ＥＰＭＡ法により測定した面積率にし
て、Ｓｉ含有量が６．２５〜６．７５％の領域が２５％
以上、６．７５〜７．２５％の領域が１０％以上を占め
るようなものとなる。前者は、２８％以上を占めること
が望ましい。

【００２７】拡散焼鈍の工程は、磁気特性を確保するた
め、Ｓｉ含有率が６％以上７％以下の部分が面積率で５
０％以上を占めるとともに、結晶粒を過度に粗大化させ
ず、次工程における加工性が確保できるような条件で実
施すべきである。拡散焼鈍の段階における焼結パラメー
タＰは、つぎの式で表わされ、Ｐ＝Ｔ×（１０＋Ｌｏｇ₁₀ｔ）Ｔ：絶対温度ｔ：時間（分）焼結パラメータＰとＳｉの拡散の面積率との関係は、図
３によって整理されることがわかった。図３において、
「Ｓｉ含有率が６％以上７％以下の部分」の面積率が上
記した５０％以上という適正範囲に入るような焼結パラ
メータＰの値は、（１７０〜２００）×１０^２であり、
これに対応する焼結条件は、それぞれ、１２００℃×３
０分間（または１１５０℃×６０分）および１３５０℃
×１２０分間である。したがって、実際の操業条件は、
この範囲内の温度と時間の組み合わせとして選択すれば
よい。とくに好ましいＰの値は、図３からわかるとお
り、約１１８０〜２００）×１０^２である。

【００２８】本発明の方法にしたがって製造した珪素鋼
板においては、Ｓｉ含有量と面積率との関係を示した図
１にみるように、面積率が最も高い最頻値部分のＳｉ量
は、平均のＳｉ含有量（７％前後）よりも低い、６．５
％内外のところにあり、カーブがグラフの右側に、つま
り、高Ｓｉ含有量の側に裾を引く分布であることが実測
されている。このようになる理由は、粉末混合物の内部
では高Ｓｉ量の合金粉末をＦｅ粉末が取り囲んでいるこ
とと、Ｓｉの拡散がＦｅの拡散より速やかであることか
ら、説明可能である。逆にいえば、粉末混合物中のＳｉ
量を７％前後となるようにすることによって、６．５％
内外にピークのあるＳｉ量分布が実現するのである。

【００２９】このようなＳｉの分布は、磁歪がゼロであ
る６．５％Ｓｉが主体であることにより、磁心として使
用したときの振動が少ないという利益をもたらす。それ
と同時に、より高Ｓｉ量である部分の存在が、この珪素
鋼板の電気抵抗を高める。よく知られているように、Ｆ
ｅ−Ｓｉ合金の電気抵抗は、Ｓｉ量の増大に伴って著し
く増大する。これらの作用があいまって、本発明の珪素
鋼板の鉄損を小さくしているものと解される。

【００３０】仕上のためのスキンパス圧延は、得られる
珪素鋼板の板厚精度を向上させて、所定の板厚の製品を
得るための工程であるが、それだけでなく、製品の可撓
性を高めるという利点もある。可撓性の改善は予期して
いなかった利益であって、可撓性の向上が打ちぬき性を
高め、複雑な形状の、または細い部分をもつ製品の製造
を可能にする。

【００３１】前述した焼結工程に対し、拡散焼鈍の工程
は、主としてＳｉの拡散による前記のＳｉ分布の実現を
図り、かつ密度の向上を目指す工程であるから、１３０
０℃以上の高い温度に加熱することが必要である。これ
より低い温度でも、拡散はある程度進行するが、密度の
上昇がほとんど望めず、製品鋼板の磁気特性が向上しな
い。磁気特性向上の効果は、加熱温度を高めるとともに
高まるが、１３５０℃付近で飽和する。

【００３２】

【実施例１】原料粉末として、Ｆｅ粉末および１８％Ｓ
ｉ−Ｆｅ粉末を、いずれも水噴霧法により製造し、１０
０メッシュ通過粉を採取した。平均粒径は、どちらも約
４０μｍである。これら２種の粉末原料を使用し、下記
の工程に従って加工することにより、珪素鋼板を製造し
た。Ａ）粉末混合：混合物中のＳｉ量が、重量で、それぞれ
６．５％、６．７５％、７．０％または７．５％になる
ような重量比で、タンブラーにより混合Ｂ）粉末圧延：直径２００mm、長さ２４０mmのロール２
本をもつ水平方向圧延ロールに、振動板上から供給し
て、圧力７０トンの一定値で、キスロール方式により圧
延。板厚０．１１mm Ｃ）焼結：１２００℃×２分間Ｄ）冷間圧延：板厚０．１０５mm Ｅ）拡散焼鈍：１３００℃×４分間Ｆ）スキンパス圧延：板厚０．１０mm

【００３３】製造した４種の珪素鋼板について、配合さ
れたＳｉ量と、Ｓｉ量が６．２５〜６．７５％の部分が
占める面積率との関係を調べて、図４のデータを得た。
配合Ｓｉ量が７．０％のものにおいて、Ｓｉ量６．２５
〜６．７５％の部分が占める面積率が最大（２９．６
％）であった。

【００３４】製品の各珪素鋼板に対し、１２００℃×２
時間の焼鈍（磁気焼鈍）を施したうえで、１ｋＨｚおよ
び１０ｋＨｚにおける鉄損を測定した。その結果は、つ
ぎの表１のとおりである。表１（Ｂ＝１Ｔ，Ｗ／ｋｇ）Ｓｉ量周波数６．５％６．７５％７．０％７．５％１ｋＨｚ３３２６２６２８１０ｋＨｚ６８５５５０５２０５８０１ｋＨｚでは、配合Ｓｉ量６．７５％のものと７．０％
のものとが同じ鉄損を示したが、１０ｋＨｚになると、
配合Ｓｉ量７．０％のものが最小の鉄損であった。

【００３５】

【実施例２】Ｓｉ配合量が７．０％の粉末混合物につい
て、拡散焼鈍の時間を２５分間としたほかは実施例１と
同様な条件で珪素鋼板を製造し、１〜１０ｋＨｚにおけ
る鉄損を測定した。比較のため、現に使用されている市
販の６．５％Ｓｉ珪素鋼板についても同じ測定を行なっ
た。両者のデータをプロットして、図５のグラフを得
た。低い周波数では、従来品も本発明も鉄損の値がほぼ
同じであるが、７ｋＨｚを超える高周波領域では次第に
差が出て、１０ｋＨｚにおいては、本発明の珪素鋼板
は、当面の開発目標である５００ｗ／ｋｇ以下を達成し
た。この周波数における本発明の鉄損は、従来品にくら
べて１０％の改善に相当する。この差は、より高い周波
数においては、いっそう拡大すると予測される。

【００３６】

【発明の効果】本発明により、粉末圧延法により製造さ
れる珪素鋼の薄板において、配合Ｓｉ量を、磁歪ゼロと
なるはずの６．５％より高い６．８〜７．２％の範囲に
えらぶとともに、焼結および拡散焼鈍の条件を適切に選
択して、Ｓｉ：６．２５〜６．７５％の部分がＥＰＭＡ
による面積率で２５％以上、Ｓｉ：６．７５〜７．２５
％の部分が１０％以上であるようなミクロ構造を実現す
ることによって、とくに高い周波数領域で鉄損が改善さ
れた磁性材料が実現した。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従う低損失珪素鋼板の内部構造を説
明するための図であって、横軸にＳｉ含有量をとり、縦
軸に面積率をとったグラフ。

【図２】本発明の低損失珪素鋼板の製造方法におい
て、付加的な諸工程を付加した場合のフローチャート。

【図３】本発明の工程（Ｅ）すなわち拡散焼鈍工程の
実施条件を確立するために利用したデータであって、焼
結パラメータＰと、焼結体のＳｉ含有率が６％以上７％
以下の部分が占める面積率との関係を実測したグラフ。

【図４】本発明の実施例１において製造した珪素鋼板
について、配合されたＳｉ量と、Ｓｉ量が６．２５〜
６．７５％の部分が占める面積率との関係を示す棒グラ
フ。

【図５】本発明の実施例２において製造した珪素鋼板
の、周波数１〜１０ｋＨｚにおける鉄損を、市販の６．
５％Ｓｉ鋼板と比較して示したグラフ。

フロントページの続きＦターム(参考） 4K018 AA26 CA38 DA21 FA02 FA09 KA43 5E041 AA02 AA19 CA02 HB03 HB05 HB11 NN01 NN18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｆｅ−Ｓｉ合金の粉末と、Ｆｅの粉末と
の混合物を粉末圧延法により薄板にしてなる珪素鋼板で
あって、平均のＳｉ量が６．８〜７．２重量％であり、
かつ、ＥＰＭＡ法により測定した面積率にして、Ｓｉ含
有量が６．２５〜６．７５重量％の領域が２５％以上、
６．７５〜７．２５重量％の領域が１０％以上を占める
ことを特徴とする低損失珪素鋼板。
【請求項２】ＦｅおよびＳｉに加え、第三の合金成分
として、Ｓｂ：０．０５〜０．３％をさらに含有し、表
面の耐酸化性を改善した請求項１の低損失珪素鋼板。
【請求項３】ＦｅおよびＳｉに加え、第三の合金成分
として、Ａｌ：０．０５〜６．０％、ＭｏおよびＮｉの
１種または２種（併用の場合は合計量。以下同じ）：
０．０５〜２．０％、Ｗ，ＣｏおよびＶの１種または２
種以上：０．０５〜１．０％、ＮｂおよびＰの１種また
は２種：０．０５〜１．０％、ならびにＴｉおよびＢの
１種または２種：０．０５〜２．０％のグループに属す
る合金元素の少なくとも一つをさらに含有し、電気抵抗
を高めた請求項１または２の低損失珪素鋼板。
【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の低
損失珪素鋼板を製造する方法であって、下記の諸工程か
らなる製造方法：Ａ）１０〜５０重量％のＳｉを含有するＦｅ−Ｓｉ合金
の粉末、Ｆｅの粉末、および請求項２または３に挙げた
任意添加元素を含有する場合はその粉末を、混合物中の
Ｓｉ量が６．８〜７．２重量％となるような割合で混合
する粉末混合工程、Ｂ）この混合物を粉末圧延法により薄板に成形する粉末
圧延工程、Ｃ）粉末圧延によって得た薄板を、９５０〜１２５０℃
の温度で焼結する焼結工程、Ｄ）焼結した薄板に圧下率３〜１０％の冷間圧延を施す
冷間圧延工程、Ｅ）冷間圧延後の薄板を、非酸化性雰囲気下に、１３０
０〜１３５０℃の温度に数分間〜数１０分間加熱して、
ＥＰＭＡ法により測定した面積率にして、Ｓｉ含有量が
６．２５〜６．７５％の領域が２５％以上、６．７５〜
７．２５％の領域が１０％以上を占めるように拡散させ
る拡散焼鈍工程、およびＦ）拡散焼鈍をへた薄板に圧下率０．５〜５％のスキン
パス圧延を行なって、０．０５〜０．５mm範囲内の所定
の厚さにする仕上圧延工程。
【請求項５】仕上圧延工程（Ｆ）に続いて、下記の工
程を行なう請求項４の低損失珪素鋼板の製造方法：Ｇ）薄板に対しその長手方向に張力を加えつつ焼鈍を行
なう平坦化処理。
【請求項６】拡散焼鈍工程（Ｅ）に先立って、下記の
工程のいずれかを行なう請求項４または５の低損失珪素
鋼板の製造方法：Ｈ）６００℃以上９５０℃未満の温度に加熱する焼鈍
と、それに後続する冷間圧延との組み合わせ、またはＩ）６００以上９００℃以下の温度における温間圧延。