JP2002267781A - サンプル保持装置 - Google Patents
サンプル保持装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 サンプルをサイズ毎で再現よく、ステージ上
の一定位置に保持できる安価なサンプル保持装置を提供
する。 【解決手段】 サイズの異なる矩形状のサンプルの保持
装置であって、最大サイズのサンプル８Ａを保持するた
めの第１の保持手段１８を、サンプルの隣り合う二辺の
端面ａ，ｂを位置決めするための第１及び第２の固定ガ
イド２０，２１，２１と、それぞれの固定ガイド２０，
２１，２１に向けてサンプルを移動させる第１及び第２
の可動ガイド２２，２３，２３とから構成し、最大サイ
ズ以下のサンプル８Ｂを保持するための第２の保持手段
１９を、サイズの異なるサンプルの隣り合う二辺の端面
端面ａ，ｂを位置決めするための取り外し可能なアタッ
チメントタイプの固定ガイド２７と、上記の第１及び第
２の可動ガイド２２，２３，２３とから構成している。
の一定位置に保持できる安価なサンプル保持装置を提供
する。 【解決手段】 サイズの異なる矩形状のサンプルの保持
装置であって、最大サイズのサンプル８Ａを保持するた
めの第１の保持手段１８を、サンプルの隣り合う二辺の
端面ａ，ｂを位置決めするための第１及び第２の固定ガ
イド２０，２１，２１と、それぞれの固定ガイド２０，
２１，２１に向けてサンプルを移動させる第１及び第２
の可動ガイド２２，２３，２３とから構成し、最大サイ
ズ以下のサンプル８Ｂを保持するための第２の保持手段
１９を、サイズの異なるサンプルの隣り合う二辺の端面
端面ａ，ｂを位置決めするための取り外し可能なアタッ
チメントタイプの固定ガイド２７と、上記の第１及び第
２の可動ガイド２２，２３，２３とから構成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、サイズの異なる矩
形状のサンプル（例えば液晶ディスプレイのガラス基板
など）をステージ上の所定位置に保持するためのサンプ
ル保持装置に関するものである。
形状のサンプル（例えば液晶ディスプレイのガラス基板
など）をステージ上の所定位置に保持するためのサンプ
ル保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記のサンプル保持装置は、例えばエリ
プソメータのステージに装備されるもので、このエリプ
ソメータは、物質の表面で光が反射する際の偏光状態の
変化を観測して、その物質の光学定数（屈折率、消衰係
数）を、また、物質の表面に吸着層、酸化膜などの薄膜
が存在する場合は、その膜厚、光学定数を測定するよう
に構成されている。
プソメータのステージに装備されるもので、このエリプ
ソメータは、物質の表面で光が反射する際の偏光状態の
変化を観測して、その物質の光学定数（屈折率、消衰係
数）を、また、物質の表面に吸着層、酸化膜などの薄膜
が存在する場合は、その膜厚、光学定数を測定するよう
に構成されている。
【０００３】具体的には、表面に薄膜を有するサンプル
の表面に、直線偏光を斜め上方から入射させれば、サン
プル表面上の薄膜厚さや屈折率によって反射光の偏光状
態が変化する。これは、Ｐ偏光とＳ偏光で反射の位相の
ずれ方と反射率によって反射光に差があるためで、この
反射光の偏光変化量を測定し、解析計算を行うことによ
って、サンプル表面の薄膜の厚さや屈折率を求めること
ができるのである。
の表面に、直線偏光を斜め上方から入射させれば、サン
プル表面上の薄膜厚さや屈折率によって反射光の偏光状
態が変化する。これは、Ｐ偏光とＳ偏光で反射の位相の
ずれ方と反射率によって反射光に差があるためで、この
反射光の偏光変化量を測定し、解析計算を行うことによ
って、サンプル表面の薄膜の厚さや屈折率を求めること
ができるのである。
【０００４】この測定に際しては、サンプルをロボット
によってステージ上に搬入して、このサンプルをバキュ
ームによってステージ上に吸着保持し、かつ、ロボット
によるサンプルの搬入では、ステージ上でのサンプルの
位置ずれが生じ易いことから、サンプルのコーナーに予
めオリフラを形成しておいて、サンプルがステージ上に
吸着保持された時点で、上記のオリフラを検出器で読み
取り、この情報を基にしてサンプルの傾きと位置ずれを
検出して、傾きと位置の補正を実施するようにステージ
を移動させている。
によってステージ上に搬入して、このサンプルをバキュ
ームによってステージ上に吸着保持し、かつ、ロボット
によるサンプルの搬入では、ステージ上でのサンプルの
位置ずれが生じ易いことから、サンプルのコーナーに予
めオリフラを形成しておいて、サンプルがステージ上に
吸着保持された時点で、上記のオリフラを検出器で読み
取り、この情報を基にしてサンプルの傾きと位置ずれを
検出して、傾きと位置の補正を実施するようにステージ
を移動させている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、サンプルと
しての液晶ディスプレイのガラス基板は、年々大きくな
る傾向にあり、上記のバキュームによる吸着保持の形態
では、最大サイズのサンプルを保持できる大きさに構成
しておくことで、最大サイズ以下のサンプルであって
も、これを保持対象にすることができるのであるが、サ
ンプルの搬入位置が一定しないことから、サンプルをス
テージ上に搬入する度に、上記のオリフラを検出器で読
み取って、サンプルの傾きと位置補正を実施しなければ
ならず、かつ、その補正実施のために、高価な検出器を
要する点で問題があった。
しての液晶ディスプレイのガラス基板は、年々大きくな
る傾向にあり、上記のバキュームによる吸着保持の形態
では、最大サイズのサンプルを保持できる大きさに構成
しておくことで、最大サイズ以下のサンプルであって
も、これを保持対象にすることができるのであるが、サ
ンプルの搬入位置が一定しないことから、サンプルをス
テージ上に搬入する度に、上記のオリフラを検出器で読
み取って、サンプルの傾きと位置補正を実施しなければ
ならず、かつ、その補正実施のために、高価な検出器を
要する点で問題があった。
【０００６】本発明は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、その目的は、従来とは全く異なる保持形態
をとることで、サイズの異なるサンプルであっても、こ
れをサイズ毎で、常にステージ上の一定位置に搬入する
ことができ、従って、高価な検出器を要する傾きと位置
補正の実施が不要なサンプル保持装置を安価に提供する
点にある。
のであって、その目的は、従来とは全く異なる保持形態
をとることで、サイズの異なるサンプルであっても、こ
れをサイズ毎で、常にステージ上の一定位置に搬入する
ことができ、従って、高価な検出器を要する傾きと位置
補正の実施が不要なサンプル保持装置を安価に提供する
点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、サイズの異なる矩形状のサンプルを膜
厚測定装置のステージ上の所定位置に保持するためのサ
ンプル保持装置を次のように構成している。
めに、本発明は、サイズの異なる矩形状のサンプルを膜
厚測定装置のステージ上の所定位置に保持するためのサ
ンプル保持装置を次のように構成している。
【０００８】即ち、サイズの異なるサンプル保持装置と
して、そのうちの最大サイズのサンプルを保持するため
の第１の保持手段を、サンプルの隣り合う二辺の端面を
位置決めするための第１及び第２の固定ガイドと、それ
ぞれの固定ガイドに向けてサンプルを移動させる第１及
び第２の可動ガイドとから構成し、最大サイズ以下のサ
ンプルを保持するための第２の保持手段を、サイズの異
なるサンプルの隣り合う二辺の端面を位置決めするため
の取り外し可能なアタッチメントタイプの固定ガイド
と、上記の第１及び第２の可動ガイドとから構成してい
る。
して、そのうちの最大サイズのサンプルを保持するため
の第１の保持手段を、サンプルの隣り合う二辺の端面を
位置決めするための第１及び第２の固定ガイドと、それ
ぞれの固定ガイドに向けてサンプルを移動させる第１及
び第２の可動ガイドとから構成し、最大サイズ以下のサ
ンプルを保持するための第２の保持手段を、サイズの異
なるサンプルの隣り合う二辺の端面を位置決めするため
の取り外し可能なアタッチメントタイプの固定ガイド
と、上記の第１及び第２の可動ガイドとから構成してい
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１にこの発明のサンプル保持装
置を備えた膜厚測定装置の一実施例を示す。図１におい
て、１は入射光学系で、たとえば１９０〜８３０ｎｍの
広い波長領域の光を入射するキセノンランプ等よりなる
白色光源２と、スリット３と、ビーム縮小光学系４と、
偏光方位を一定に保つための偏光子としてのプリズム５
とからなる。
に基づいて説明する。図１にこの発明のサンプル保持装
置を備えた膜厚測定装置の一実施例を示す。図１におい
て、１は入射光学系で、たとえば１９０〜８３０ｎｍの
広い波長領域の光を入射するキセノンランプ等よりなる
白色光源２と、スリット３と、ビーム縮小光学系４と、
偏光方位を一定に保つための偏光子としてのプリズム５
とからなる。
【００１０】この入射光学系１は、光源２からの光を縮
小し、かつ、所定の偏光方位の直線偏光６にして、これ
をステージ７上のサンプル８の表面８ａに、所定角度斜
め上方から入射するもので、上記のステージ７は、水平
のＸ方向ならびにＹ方向と鉛直のＺ方向の三次元方向に
駆動可能に構成されており、かつ、サイズの異なる矩形
状のサンプル８を共通に保持するためのサンプル保持装
置９を備えている。
小し、かつ、所定の偏光方位の直線偏光６にして、これ
をステージ７上のサンプル８の表面８ａに、所定角度斜
め上方から入射するもので、上記のステージ７は、水平
のＸ方向ならびにＹ方向と鉛直のＺ方向の三次元方向に
駆動可能に構成されており、かつ、サイズの異なる矩形
状のサンプル８を共通に保持するためのサンプル保持装
置９を備えている。
【００１１】１０は検出光学系で、ステージ７上のサン
プル表面８ａで反射した楕円偏光１１の偏光変化量の情
報をたとえば分光器１２に出力するもので、位相変調素
子１３と、検光子１４と、分光器１２への信号取り出し
用のファイバー１５とからなる。
プル表面８ａで反射した楕円偏光１１の偏光変化量の情
報をたとえば分光器１２に出力するもので、位相変調素
子１３と、検光子１４と、分光器１２への信号取り出し
用のファイバー１５とからなる。
【００１２】白色光源２より出た複数の波長を有する入
射光は、ビーム縮小光学系４によりビーム径を絞られ、
かつ、偏光子５により一定方向に偏光され、かくして直
線偏光６となった入射光は、サンプル表面８ａ（反射
面）での反射により、サンプル８やサンプル表面８ａの
物性特性の結果である振幅及び位相を有する楕円偏光１
１となる。この楕円偏光１１は、位相変調素子１３に入
り、楕円偏光から直線偏光となるように位相変調され、
検光子１４に入る。その後、光ファイバー１５を経て、
分光器１２へ送られる。
射光は、ビーム縮小光学系４によりビーム径を絞られ、
かつ、偏光子５により一定方向に偏光され、かくして直
線偏光６となった入射光は、サンプル表面８ａ（反射
面）での反射により、サンプル８やサンプル表面８ａの
物性特性の結果である振幅及び位相を有する楕円偏光１
１となる。この楕円偏光１１は、位相変調素子１３に入
り、楕円偏光から直線偏光となるように位相変調され、
検光子１４に入る。その後、光ファイバー１５を経て、
分光器１２へ送られる。
【００１３】位相変調素子１３とは、典型的には、圧電
変換器によってつくられた周期的なストレスを受けたガ
ラスのバーからなる。これによって位相ずれを発生させ
て、上記楕円偏光１１を位相変調し、直線偏光とするも
ので、このほか、回転偏光子を用いて、楕円偏光１１を
直線偏光とすることも可能である。また、この位相変調
素子１３や回転偏光子を入射光学系に設けても効果は同
じである。
変換器によってつくられた周期的なストレスを受けたガ
ラスのバーからなる。これによって位相ずれを発生させ
て、上記楕円偏光１１を位相変調し、直線偏光とするも
ので、このほか、回転偏光子を用いて、楕円偏光１１を
直線偏光とすることも可能である。また、この位相変調
素子１３や回転偏光子を入射光学系に設けても効果は同
じである。
【００１４】１６はサンプル８の収容ケース、１７はサ
ンプル８の搬送用ロボットで、ケース１８内のサンプル
８を上記のステージ７に搬送し、ここでの膜厚測定後
に、このサンプル８をケース１８に戻すようにシーケン
スが組まれる。
ンプル８の搬送用ロボットで、ケース１８内のサンプル
８を上記のステージ７に搬送し、ここでの膜厚測定後
に、このサンプル８をケース１８に戻すようにシーケン
スが組まれる。
【００１５】上記のシーケンスは一例であって、例えば
膜厚測定後のサンプル８を、それが不良品の場合は、上
記のケース１８に戻し、良品の場合は、別途用意の例え
ば良品収容ケースに収容するようなシーケンスなどが適
宜に選択される。
膜厚測定後のサンプル８を、それが不良品の場合は、上
記のケース１８に戻し、良品の場合は、別途用意の例え
ば良品収容ケースに収容するようなシーケンスなどが適
宜に選択される。
【００１６】図２及び図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すよう
に、サイズの異なる矩形状のサンプル８を共通に保持す
るためのサンプル保持装置９は、最大サイズのサンプル
８Ａを保持するための第１の保持手段１８と、最大サイ
ズ以下のサイズの異なるサンプル８Ｂを保持するための
第２の保持手段１９とから成り、第１の保持手段１８
は、サンプル８Ａの隣り合う二辺の端面ａ，ｂを位置決
めするための第１及び第２の固定ガイド２０，２１，２
１と、それぞれの固定ガイド２０，２１，２１に向けて
サンプル８Ａを移動させる第１及び第２の可動ガイド２
２，２３，２３とによって構成されている。
に、サイズの異なる矩形状のサンプル８を共通に保持す
るためのサンプル保持装置９は、最大サイズのサンプル
８Ａを保持するための第１の保持手段１８と、最大サイ
ズ以下のサイズの異なるサンプル８Ｂを保持するための
第２の保持手段１９とから成り、第１の保持手段１８
は、サンプル８Ａの隣り合う二辺の端面ａ，ｂを位置決
めするための第１及び第２の固定ガイド２０，２１，２
１と、それぞれの固定ガイド２０，２１，２１に向けて
サンプル８Ａを移動させる第１及び第２の可動ガイド２
２，２３，２３とによって構成されている。
【００１７】第２の保持手段１９は、サイズの異なるサ
ンプル８Ｂの隣り合う二辺の端面ａ，ｂを位置決めする
ための取り外し可能なアタッチメントタイプの固定ガイ
ド２４と、上記の第１及び第２の可動ガイド２２，２
３，２３とによって構成されている。
ンプル８Ｂの隣り合う二辺の端面ａ，ｂを位置決めする
ための取り外し可能なアタッチメントタイプの固定ガイ
ド２４と、上記の第１及び第２の可動ガイド２２，２
３，２３とによって構成されている。
【００１８】より具体的には、膜厚の測定対象とする最
大サイズのサンプル８Ａよりもやゝ小さな矩形状のサン
プルホルダー２５をステージ７上にセットし、このホル
ダー２５にサンプル移載手段２６を備える一方、ホルダ
ー２５の第１側辺に相対峙させて、その側辺の長さ方向
中間部に、例えば円形ピンによる第１固定ガイド２０を
立設し、かつ、第１側辺に隣る第２側辺に相対峙させ
て、その側辺の長さ方向中間部に、例えば円形ピンによ
る２本の第２固定ガイド２１，２１を立設して、これら
の固定ガイド２０，２１，２１の上端をホルダー２５の
上面よりもやゝ上方に突出させている。
大サイズのサンプル８Ａよりもやゝ小さな矩形状のサン
プルホルダー２５をステージ７上にセットし、このホル
ダー２５にサンプル移載手段２６を備える一方、ホルダ
ー２５の第１側辺に相対峙させて、その側辺の長さ方向
中間部に、例えば円形ピンによる第１固定ガイド２０を
立設し、かつ、第１側辺に隣る第２側辺に相対峙させ
て、その側辺の長さ方向中間部に、例えば円形ピンによ
る２本の第２固定ガイド２１，２１を立設して、これら
の固定ガイド２０，２１，２１の上端をホルダー２５の
上面よりもやゝ上方に突出させている。
【００１９】そして、ホルダー２５を挟んで第１及び第
２の固定ガイド２０，２１，２１とは反対側に、出力軸
を上方に向けた状態で例えばパルスモータＭを配置する
と共に、図４（Ａ），（Ｂ）を参照して、各モータＭの
出力軸に例えば円形の偏心カム２７を設け、かつ、この
偏心カム２７の上端をホルダー２５の上面よりも上方に
突出させて、第１及び第２の可動ガイド２２，２３，２
３を構成している。
２の固定ガイド２０，２１，２１とは反対側に、出力軸
を上方に向けた状態で例えばパルスモータＭを配置する
と共に、図４（Ａ），（Ｂ）を参照して、各モータＭの
出力軸に例えば円形の偏心カム２７を設け、かつ、この
偏心カム２７の上端をホルダー２５の上面よりも上方に
突出させて、第１及び第２の可動ガイド２２，２３，２
３を構成している。
【００２０】即ち、第１及び第２の固定ガイド２０，２
１，２１を基準にして、この固定ガイド２０，２１，２
１とカムタイプの第１及び第２の可動ガイド２２，２
３，２３とによって、ホルダー２５上に搬入された最大
サイズのサンプル８Ａを位置決め保持するように構成し
ているのである。
１，２１を基準にして、この固定ガイド２０，２１，２
１とカムタイプの第１及び第２の可動ガイド２２，２
３，２３とによって、ホルダー２５上に搬入された最大
サイズのサンプル８Ａを位置決め保持するように構成し
ているのである。
【００２１】一方、アタッチメントタイプの固定ガイド
２４は、第１及び第２の固定ガイド２０，２１，２１と
機能的に同じガイド体ｃ，ｄ，ｄを、平面視でＬ字状の
板状部材２８に突出させて成るもので、この板状部材２
８に複数個のネジ挿通孔ｅを貫設する一方、ネジ挿通孔
ｅと同位相のネジ孔ｆをホルダー２５に形成して、最大
サイズ以下のサンプル８Ｂの保持に際しては、固定ガイ
ド２４をホルダー２５にネジｈ止めして、この固定ガイ
ド２４を基準にして、この固定ガイド２４のガイド体
ｃ，ｄ，ｄと第１及び第２の可動ガイド２２，２３，２
３とによって、最大サイズ以下のサンプル８Ｂを位置決
め保持するように構成している。
２４は、第１及び第２の固定ガイド２０，２１，２１と
機能的に同じガイド体ｃ，ｄ，ｄを、平面視でＬ字状の
板状部材２８に突出させて成るもので、この板状部材２
８に複数個のネジ挿通孔ｅを貫設する一方、ネジ挿通孔
ｅと同位相のネジ孔ｆをホルダー２５に形成して、最大
サイズ以下のサンプル８Ｂの保持に際しては、固定ガイ
ド２４をホルダー２５にネジｈ止めして、この固定ガイ
ド２４を基準にして、この固定ガイド２４のガイド体
ｃ，ｄ，ｄと第１及び第２の可動ガイド２２，２３，２
３とによって、最大サイズ以下のサンプル８Ｂを位置決
め保持するように構成している。
【００２２】ここで、ガイド体ｃ，ｄ，ｄを備えた固定
ガイド２４は、サイズの異なる保持対象のサンプル８Ｂ
に対応させるように、種々の形状のものが設計されるこ
とは言うまでもなく、即ち、サイズの異なる各種サンプ
ル８Ｂの保持のために、その保持対象のサンプル数分の
固定ガイド２４を用意して、各種サンプル８Ｂの位置決
め保持に備えるのである。
ガイド２４は、サイズの異なる保持対象のサンプル８Ｂ
に対応させるように、種々の形状のものが設計されるこ
とは言うまでもなく、即ち、サイズの異なる各種サンプ
ル８Ｂの保持のために、その保持対象のサンプル数分の
固定ガイド２４を用意して、各種サンプル８Ｂの位置決
め保持に備えるのである。
【００２３】上記のホルダー２５に装備のサンプル移載
手段２６は、ロボット１７のフォーク状ハンド２９を、
例えば第１可動ガイド２２側から挿抜することを許容す
るもので、フォーク状ハンド２９をホルダー２５上に位
置させた状態で、このハンド２９の幅方向両側に、それ
ぞれ複数個の貫通孔ｉを貫設すると共に、この貫通孔ｉ
内に没入する状態とホルダー２５上方に突出する状態と
に、それぞれ切り換え可能にサンプル移載部材３０を設
けて成る。
手段２６は、ロボット１７のフォーク状ハンド２９を、
例えば第１可動ガイド２２側から挿抜することを許容す
るもので、フォーク状ハンド２９をホルダー２５上に位
置させた状態で、このハンド２９の幅方向両側に、それ
ぞれ複数個の貫通孔ｉを貫設すると共に、この貫通孔ｉ
内に没入する状態とホルダー２５上方に突出する状態と
に、それぞれ切り換え可能にサンプル移載部材３０を設
けて成る。
【００２４】この移載手段２６によるステージ７ひいて
はホルダー２５へのサンプル８の搬入に際しては、それ
が最大サイズのサンプル８Ａの場合は、アタッチメント
タイプの固定ガイド２４を取り外しておき、最大サイズ
以下のサンプル８Ｂの場合は、そのサイズに対応する形
状の固定ガイド２４をホルダー２５にネジｈ止めして、
サンプル移載部材３０をホルダー２５の上方に突出させ
た状態で、ロボット１７のフォーク状ハンド２９を操作
し、このハンド２９に乗せたサンプル８をサンプル移載
部材３０に預け持たせて、フォーク状ハンド２９をホル
ダー２５の外部に引き出し、かつ、サンプル移載部材３
０を貫通孔ｉ内に没入させる。
はホルダー２５へのサンプル８の搬入に際しては、それ
が最大サイズのサンプル８Ａの場合は、アタッチメント
タイプの固定ガイド２４を取り外しておき、最大サイズ
以下のサンプル８Ｂの場合は、そのサイズに対応する形
状の固定ガイド２４をホルダー２５にネジｈ止めして、
サンプル移載部材３０をホルダー２５の上方に突出させ
た状態で、ロボット１７のフォーク状ハンド２９を操作
し、このハンド２９に乗せたサンプル８をサンプル移載
部材３０に預け持たせて、フォーク状ハンド２９をホル
ダー２５の外部に引き出し、かつ、サンプル移載部材３
０を貫通孔ｉ内に没入させる。
【００２５】これによって、フォーク状ハンド２９によ
るホルダー２５へのサンプル８の移載を完了するのであ
るが、この状態では、ホルダー２５に対するサンプル８
の移載位置が不確定であることから、ここで第１及び第
２の可動ガイド２２，２３，２３によって、サンプル８
を第１及び第２の固定ガイド２０，２１，２１に向けて
移動させるのである。
るホルダー２５へのサンプル８の移載を完了するのであ
るが、この状態では、ホルダー２５に対するサンプル８
の移載位置が不確定であることから、ここで第１及び第
２の可動ガイド２２，２３，２３によって、サンプル８
を第１及び第２の固定ガイド２０，２１，２１に向けて
移動させるのである。
【００２６】これによってサンプル８は、それが最大サ
イズのサンプル８Ａの場合は、固定ガイド２０，２１，
２１を基準にして、この固定ガイド２０，２１，２１と
第１及び第２の可動ガイド２２，２３，２３とによって
位置決め保持されるのであり、最大サイズ以下のサンプ
ル８Ｂの場合は、固定ガイド２４を基準にして、この固
定ガイド２４のガイド体ｃ，ｄ，ｄと第１及び第２の可
動ガイド２２，２３，２３とによって位置決め保持され
るのである。
イズのサンプル８Ａの場合は、固定ガイド２０，２１，
２１を基準にして、この固定ガイド２０，２１，２１と
第１及び第２の可動ガイド２２，２３，２３とによって
位置決め保持されるのであり、最大サイズ以下のサンプ
ル８Ｂの場合は、固定ガイド２４を基準にして、この固
定ガイド２４のガイド体ｃ，ｄ，ｄと第１及び第２の可
動ガイド２２，２３，２３とによって位置決め保持され
るのである。
【００２７】従って、上記の構成にかゝるサンプル保持
装置９によれば、サイズの如何にかかわりなく、サンプ
ル８をサイズ毎で再現よく、常にステージ（ひいてはホ
ルダー２５）７上の一定位置に搬入できるのであって、
これによって、入射光学系１からの直線偏光６のビーム
を、サンプル８の測定パターンに正確にスポット入射す
ることが容易に可能となる。
装置９によれば、サイズの如何にかかわりなく、サンプ
ル８をサイズ毎で再現よく、常にステージ（ひいてはホ
ルダー２５）７上の一定位置に搬入できるのであって、
これによって、入射光学系１からの直線偏光６のビーム
を、サンプル８の測定パターンに正確にスポット入射す
ることが容易に可能となる。
【００２８】尚、第２の可動ガイド２３，２３を２体と
しているが、第２の固定ガイド２１，２１間、及び、固
定ガイド２４のガイド体ｄ，ｄ間に対応させて位置させ
るならば、第２の可動ガイド２３を１体にして実施可能
である。
しているが、第２の固定ガイド２１，２１間、及び、固
定ガイド２４のガイド体ｄ，ｄ間に対応させて位置させ
るならば、第２の可動ガイド２３を１体にして実施可能
である。
【００２９】また、図５に示すように、固定ガイド２４
を２体のガイド２４ａ，２４ｂに分割して、それぞれを
複数本のネジｈ，ｈによってホルダー２５に固定するよ
うにしてもよく、この場合、最大サイズ以下のサンプル
８Ａにおいて、矩形サンプル８の一辺の長さのみが異な
るものについては、ガイド２４ａ，２４ｂの一方を兼用
することが可能となる。
を２体のガイド２４ａ，２４ｂに分割して、それぞれを
複数本のネジｈ，ｈによってホルダー２５に固定するよ
うにしてもよく、この場合、最大サイズ以下のサンプル
８Ａにおいて、矩形サンプル８の一辺の長さのみが異な
るものについては、ガイド２４ａ，２４ｂの一方を兼用
することが可能となる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかゝるサ
ンプル保持装置によれば、従来のバキュームによる吸着
保持の形態とは異なるサンプルの保持形態をとったこと
で、サイズの如何にかかわりなく、サンプルをサイズ毎
で再現よく、常にステージ上の一定位置に搬入できるよ
うになり、延いては、膜厚測定装置のビームをサンプル
の測定パターンに正確に入射できるのであって、従って
本発明によれば、従来の高価な検出器を要する傾きと位
置補正の実施が一切不要な使用面で有用なサンプル保持
装置が安価に提供される。
ンプル保持装置によれば、従来のバキュームによる吸着
保持の形態とは異なるサンプルの保持形態をとったこと
で、サイズの如何にかかわりなく、サンプルをサイズ毎
で再現よく、常にステージ上の一定位置に搬入できるよ
うになり、延いては、膜厚測定装置のビームをサンプル
の測定パターンに正確に入射できるのであって、従って
本発明によれば、従来の高価な検出器を要する傾きと位
置補正の実施が一切不要な使用面で有用なサンプル保持
装置が安価に提供される。
【図１】膜厚測定装置の構成図である。
【図２】サンプル保持装置の平面図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）はサイズの異なるサンプルの保
持説明図である。
持説明図である。
【図４】（Ａ）は可動ガイドと移載手段の構成図、
（Ｂ）は可動ガイドの動作説明図である。
（Ｂ）は可動ガイドの動作説明図である。
【図５】別の実施の形態にかゝる分割構造の固定ガイド
の斜視図である。
の斜視図である。
７…ステージ、８Ａ…最大サイズのサンプル、８Ｂ…最
大サイズ以下のサンプル、１８…第１の保持手段、１９
…第２の保持手段、２０，２１…固定ガイド、２２，２
３…可動ガイド、２４…アタッチメントタイプの固定ガ
イド、ａ，ｂ…サンプルの隣り合う二辺の端面。
大サイズ以下のサンプル、１８…第１の保持手段、１９
…第２の保持手段、２０，２１…固定ガイド、２２，２
３…可動ガイド、２４…アタッチメントタイプの固定ガ
イド、ａ，ｂ…サンプルの隣り合う二辺の端面。
Claims (1)
- 【請求項１】 サイズの異なる矩形状のサンプルをステ
ージ上の所定位置に保持するためのサンプル保持装置で
あって、最大サイズのサンプルを保持するための第１の
保持手段を、サンプルの隣り合う二辺の端面を位置決め
するための第１及び第２の固定ガイドと、それぞれの固
定ガイドに向けてサンプルを移動させる第１及び第２の
可動ガイドとから構成し、最大サイズ以下のサンプルを
保持するための第２の保持手段を、サイズの異なるサン
プルの隣り合う二辺の端面を位置決めするための取り外
し可能なアタッチメントタイプの固定ガイドと、上記の
第１及び第２の可動ガイドとから構成して成ることを特
徴とするサンプル保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001071787A JP2002267781A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | サンプル保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001071787A JP2002267781A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | サンプル保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267781A true JP2002267781A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18929464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001071787A Pending JP2002267781A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | サンプル保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267781A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170039745A (ko) | 2014-09-30 | 2017-04-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 다층 기판 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0465317A (ja) * | 1990-02-02 | 1992-03-02 | Tosoh Corp | 塩化アルカリ水溶液中の塩素酸塩の除去方法 |
-
2001
- 2001-03-14 JP JP2001071787A patent/JP2002267781A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0465317A (ja) * | 1990-02-02 | 1992-03-02 | Tosoh Corp | 塩化アルカリ水溶液中の塩素酸塩の除去方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170039745A (ko) | 2014-09-30 | 2017-04-11 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 다층 기판 |
| CN107079592A (zh) * | 2014-09-30 | 2017-08-18 | 株式会社村田制作所 | 多层基板 |
| US10187970B2 (en) | 2014-09-30 | 2019-01-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer substrate |
| CN107079592B (zh) * | 2014-09-30 | 2019-06-18 | 株式会社村田制作所 | 多层基板 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071225 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100219 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111101 |