JP2002267620A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、及び回転させる被測定物位置決め部と、上記被測定物を照明する照明部と、上記被測定物の欠陥位置を指示するレーザビームを発生するレーザビーム照明部と、該レーザビーム照明部からのレーザビームが上記被測定物の欠陥位置を照明するよう制御するレーザビーム位置決め部と、該レーザビーム位置決め部の各回転角と上記被測定物位置決め部の傾斜、回転角とに基づき、上記被測定物上の欠陥位置を算出するコンピュータ部を具備していることを特徴とする板状物体目視検査装置。
2. 請求項１の板状物体目視検査装置において、上記レーザビーム位置決め部が被測定物の中央直上にあり、上記照明部と干渉しない様に配置されていることを特徴とする板状物体目視検査装置。
3. 請求項１または２に記載の板状物体目視検査装置において、欠陥位置を含む欠陥情報を他の装置へ転送するインタフェース部を具備することを特徴とする板状物体目視検査装置。
4. 請求項１乃至３に記載の板状物体目視検査装置において、欠陥位置情報を含む欠陥情報を保持するメモリ部と、表示する表示部を具備することを特徴とする板状物体目視検査装置。
5. 被測定物を被測定物位置決め部に固定し、該被測定物位置決め部をポジション決め部を用いて種々の角度に傾斜、回転させ、照明光を該被測定物に照射して欠陥位置の目視検査を行う目視検査装置において、
   欠陥位置を発見した場合に、上記被測定物位置決め部を操作してレーザビームの角度に傾斜させて発見した該欠陥位置を該レーザビームで指示し、
   該指示されたレーザビームの移動量を計算し、
   上記被測定物位置決め部の移動量を計算し、
   上記被測定物位置決め部の移動量と上記レーザビームの移動量とから、上記レーザビームで指示された上記被測定物の平面位置座標を算出することを特徴とする目視検査装置の欠陥位置算出方法。