JP2002267620A - 板状物体目視検査装置 - Google Patents
板状物体目視検査装置Info
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- JP2002267620A JP2002267620A JP2001067677A JP2001067677A JP2002267620A JP 2002267620 A JP2002267620 A JP 2002267620A JP 2001067677 A JP2001067677 A JP 2001067677A JP 2001067677 A JP2001067677 A JP 2001067677A JP 2002267620 A JP2002267620 A JP 2002267620A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 目視検査装置において、欠陥位置発見したと
き、人の記憶に頼ることなく欠陥位置の位置データを取
込むこと。また、この欠陥位置データを他装置に転送
し、他装置によって詳細に検査できるようにすること。 【解決手段】 被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、
及び回転させる被測定物位置決め部と、被測定物を照明
する照明部と、検出された被測定物の欠陥位置を指示す
るレーザビームを発生するレーザビーム照明部と、レー
ザビーム照明部からのレーザビームが被測定物の欠陥位
置を照明するよう制御するレーザビーム位置決め部と、
レーザビーム位置決め部の各回転角と被測定物位置決め
部の傾斜、回転角とに基づき、被測定物上の欠陥位置を
算出するコンピュータ部からなる板状物体目視検査装置
である。
き、人の記憶に頼ることなく欠陥位置の位置データを取
込むこと。また、この欠陥位置データを他装置に転送
し、他装置によって詳細に検査できるようにすること。 【解決手段】 被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、
及び回転させる被測定物位置決め部と、被測定物を照明
する照明部と、検出された被測定物の欠陥位置を指示す
るレーザビームを発生するレーザビーム照明部と、レー
ザビーム照明部からのレーザビームが被測定物の欠陥位
置を照明するよう制御するレーザビーム位置決め部と、
レーザビーム位置決め部の各回転角と被測定物位置決め
部の傾斜、回転角とに基づき、被測定物上の欠陥位置を
算出するコンピュータ部からなる板状物体目視検査装置
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明装置は、液晶装置のガ
ラス基板や、プラズマディスプレイ装置のガラス基板
等、板状物体の目視検査に関するものである。また、目
視で検出した欠陥位置を特定し、その欠陥位置を詳細に
検査するための欠陥データを他装置に送信する機能を有
する、いわゆるマクロ検査装置に関するものである。
ラス基板や、プラズマディスプレイ装置のガラス基板
等、板状物体の目視検査に関するものである。また、目
視で検出した欠陥位置を特定し、その欠陥位置を詳細に
検査するための欠陥データを他装置に送信する機能を有
する、いわゆるマクロ検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のマクロ検査装置は、図２に示す様
に、検査するガラス基板９を水平位置からほぼ垂直位置
にまで傾斜させるガラス基板傾斜部１’と、ガラス基板
９を照明する照明部３’と、ガラス基板９をほぼ垂直位
置に位置決めしたときに図示しない顕微鏡でガラス基板
９の表面上を観察するための顕微鏡位置決め部から構成
されていた。検査方法としては、照明されたガラス基板
９をいろいろな角度に傾斜させながら基板上の欠陥位置
を目視で検出し、欠陥位置を検査者が記憶する。 その
後、ガラス基板９をほぼ垂直に立てて、ほぼ垂直な面と
平行な面内の直交座標系上で任意に位置決めできる顕微
鏡を操作して、記憶していた欠陥部へ手動で位置決め
し、顕微鏡で詳しく観察していた。
に、検査するガラス基板９を水平位置からほぼ垂直位置
にまで傾斜させるガラス基板傾斜部１’と、ガラス基板
９を照明する照明部３’と、ガラス基板９をほぼ垂直位
置に位置決めしたときに図示しない顕微鏡でガラス基板
９の表面上を観察するための顕微鏡位置決め部から構成
されていた。検査方法としては、照明されたガラス基板
９をいろいろな角度に傾斜させながら基板上の欠陥位置
を目視で検出し、欠陥位置を検査者が記憶する。 その
後、ガラス基板９をほぼ垂直に立てて、ほぼ垂直な面と
平行な面内の直交座標系上で任意に位置決めできる顕微
鏡を操作して、記憶していた欠陥部へ手動で位置決め
し、顕微鏡で詳しく観察していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の技術は、ガ
ラス基板が傾斜した状態で見つけた欠陥位置を、一旦、
検査者が記憶する方法である。 したがって、詳しく顕
微鏡で検査する際、欠陥位置を見失いやすく、どこが欠
陥位置か分からなくなってしまうという致命的な欠点を
有していた。 また、顕微鏡位置決め機構が大掛かりに
なり、高価になってしまうという欠点もあった。 更
に、多くの欠陥箇所を記録できない、欠陥位置間の移動
に時間がかかるなどの欠点もあった。本発明は従来の装
置のように、欠陥位置を発見したとき、人の記憶に頼る
ことなく、欠陥位置の位置データを取込むことを目的と
する。また、本発明は、板状物体測定装置、すなわちマ
クロ検査装置によって記録した欠陥位置座標データを、
顕微鏡によって詳細に自動検査する、いわゆるミクロ検
査装置へ転送することにより、自動かつ高速で欠陥位置
を再現して詳細に検査し、多数の欠陥位置を高速で正確
に記録することを目的とする。
ラス基板が傾斜した状態で見つけた欠陥位置を、一旦、
検査者が記憶する方法である。 したがって、詳しく顕
微鏡で検査する際、欠陥位置を見失いやすく、どこが欠
陥位置か分からなくなってしまうという致命的な欠点を
有していた。 また、顕微鏡位置決め機構が大掛かりに
なり、高価になってしまうという欠点もあった。 更
に、多くの欠陥箇所を記録できない、欠陥位置間の移動
に時間がかかるなどの欠点もあった。本発明は従来の装
置のように、欠陥位置を発見したとき、人の記憶に頼る
ことなく、欠陥位置の位置データを取込むことを目的と
する。また、本発明は、板状物体測定装置、すなわちマ
クロ検査装置によって記録した欠陥位置座標データを、
顕微鏡によって詳細に自動検査する、いわゆるミクロ検
査装置へ転送することにより、自動かつ高速で欠陥位置
を再現して詳細に検査し、多数の欠陥位置を高速で正確
に記録することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、及
び回転させる被測定物位置決め部と、被測定物の欠陥部
分を強調するため照明する照明部と、欠陥位置を指示す
るレーザビームを発生するレーザビーム照明部と、レー
ザビーム照明部をＸ、Ｙ軸の周りに回転させてレーザビ
ームを被測定物の任意の点に照明するレーザビーム位置
決め部で構成する。また、レーザビーム位置決め部の回
転角と被測定物位置決め部の傾斜、回転角に基づき、被
測定物上の欠陥位置をコンピュータ部によって算出す
る。このとき、レーザビームを発生するレーザビーム照
明部は、照明部の照明光と干渉しない様に配置されてい
る。また、欠陥位置を含む欠陥情報を他装置へ転送する
インタフェース部、欠陥位置情報を含む欠陥情報を保持
するメモリ部、欠陥位置を表示する表示部を具備する。
検査方法としては、被測定物であるガラス基板を、様々
な照明光下において、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の周りに傾斜、回転
させ、目視によって欠陥部分を発見する。次に、レーザ
ビーム位置決め部で、レーザビームが欠陥位置を照明す
るように位置決めして、そのレーザビーム位置決め部の
回転位置データと、被測定物位置決め部の回転位置デー
タに基づき、コンピュータによって欠陥位置を直ちに算
出する。また、計算した欠陥位置はメモリ部に保存さ
れ、さらに、インタフェース部によって、欠陥位置を含
む欠陥情報を他装置へ転送することができる。 このよ
うにして、従来装置の欠陥位置を見失うという問題を解
消している。
成するため、被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、及
び回転させる被測定物位置決め部と、被測定物の欠陥部
分を強調するため照明する照明部と、欠陥位置を指示す
るレーザビームを発生するレーザビーム照明部と、レー
ザビーム照明部をＸ、Ｙ軸の周りに回転させてレーザビ
ームを被測定物の任意の点に照明するレーザビーム位置
決め部で構成する。また、レーザビーム位置決め部の回
転角と被測定物位置決め部の傾斜、回転角に基づき、被
測定物上の欠陥位置をコンピュータ部によって算出す
る。このとき、レーザビームを発生するレーザビーム照
明部は、照明部の照明光と干渉しない様に配置されてい
る。また、欠陥位置を含む欠陥情報を他装置へ転送する
インタフェース部、欠陥位置情報を含む欠陥情報を保持
するメモリ部、欠陥位置を表示する表示部を具備する。
検査方法としては、被測定物であるガラス基板を、様々
な照明光下において、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の周りに傾斜、回転
させ、目視によって欠陥部分を発見する。次に、レーザ
ビーム位置決め部で、レーザビームが欠陥位置を照明す
るように位置決めして、そのレーザビーム位置決め部の
回転位置データと、被測定物位置決め部の回転位置デー
タに基づき、コンピュータによって欠陥位置を直ちに算
出する。また、計算した欠陥位置はメモリ部に保存さ
れ、さらに、インタフェース部によって、欠陥位置を含
む欠陥情報を他装置へ転送することができる。 このよ
うにして、従来装置の欠陥位置を見失うという問題を解
消している。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明によるマクロ検査装置の一
実施例の外観図を図１に示し、以下、詳細に説明する。
本発明は、被測定物位置決め部１、レーザビーム位置
決め部２、照明部３、コンピュータ部４で構成されてい
る。被測定物位置決め部１は、ステージを移動させるＸ
軸位置決め部１１、Ｙ軸位置決め部１２、θ軸位置決め
部１３と各軸の回転量を検出するＸ軸ロータリエンコー
ダ１４、Ｙ軸ロータリエンコーダ１５、θ軸ロータリエ
ンコーダ１６から構成されている。レーザビーム位置決
め部２は、レーザビーム照明部２１と、レーザビームを
移動させるＸ軸位置決め部２２、Ｙ軸位置決め部２３
と、移動量を計算するＸ軸ロータリエンコーダ２４、Ｙ
軸ロータリエンコーダ２５から構成されている。被測定
物位置決め部１、レーザビーム位置決め部２は、各軸の
移動量から位置座標を計算するコンピュータ部４と接続
されている。また、コンピュータ部４は、Ａ／Ｄ変換器
４１を介して被測定物位置決め部１を操作するポジショ
ン決め部４２、レーザビーム位置決め部２を操作するポ
インタ決め部４３に接続されている。次に、このマクロ
検査の動作について説明する。被測定物位置決め部１
に、測定する、例えば、ガラス基板９を載せて固定した
後、ポジション決め部４２を用いてＸ軸位置決め部１
１、Ｙ軸位置決め部１２、θ軸位置決め部１３を操作す
る。 そして、被測定物位置決め部１を種々の角度に傾
斜、回転させ、照明部３からの照明光をガラス基板９に
照射して欠陥位置の目視検査を行う。 このとき被測定
物の中心位置は常にレーザビーム照明部２１の真下にあ
る。目視検査中に、欠陥位置を発見したら、ポインタ決
め部４３を用いてＸ軸位置決め部２２、Ｙ軸位置決め部
２３を操作し、レーザビームを任意の角度に傾斜させ
て、欠陥位置をレーザビームで指示する。このとき、被
測定物位置決め部１の回転量を、Ｘ軸ロータリエンコー
ダ１４、Ｙ軸ロータリエンコーダ１５、θ軸ロータリエ
ンコーダ１６により、各軸の移動量を検出し、この信号
をコンピュータ部４に送る。 コンピュータ部４は各軸
の変化角度を算出する。 また、レーザビーム位置決め
部２も同様、Ｘ軸ロータリエンコーダ２４、Ｙ軸ロータ
リエンコーダ２５により各軸の移動量を計算する。この
とき、コンピュータ部４によって各軸の変化角度を算出
する。以上の検査、及び計算結果を用いて、三角関数に
より、レーザビームで指示された位置を、平面座標（Ｘ
Ｙ座標）として算出する。算出した座標データは、コン
ピュータ部４のメモリ部４４によって保存され、表示部
４５によって表示される。また、他装置に、検出した座
標データを転送する場合は、インターフェース部４６を
介して、データを転送できる。
実施例の外観図を図１に示し、以下、詳細に説明する。
本発明は、被測定物位置決め部１、レーザビーム位置
決め部２、照明部３、コンピュータ部４で構成されてい
る。被測定物位置決め部１は、ステージを移動させるＸ
軸位置決め部１１、Ｙ軸位置決め部１２、θ軸位置決め
部１３と各軸の回転量を検出するＸ軸ロータリエンコー
ダ１４、Ｙ軸ロータリエンコーダ１５、θ軸ロータリエ
ンコーダ１６から構成されている。レーザビーム位置決
め部２は、レーザビーム照明部２１と、レーザビームを
移動させるＸ軸位置決め部２２、Ｙ軸位置決め部２３
と、移動量を計算するＸ軸ロータリエンコーダ２４、Ｙ
軸ロータリエンコーダ２５から構成されている。被測定
物位置決め部１、レーザビーム位置決め部２は、各軸の
移動量から位置座標を計算するコンピュータ部４と接続
されている。また、コンピュータ部４は、Ａ／Ｄ変換器
４１を介して被測定物位置決め部１を操作するポジショ
ン決め部４２、レーザビーム位置決め部２を操作するポ
インタ決め部４３に接続されている。次に、このマクロ
検査の動作について説明する。被測定物位置決め部１
に、測定する、例えば、ガラス基板９を載せて固定した
後、ポジション決め部４２を用いてＸ軸位置決め部１
１、Ｙ軸位置決め部１２、θ軸位置決め部１３を操作す
る。 そして、被測定物位置決め部１を種々の角度に傾
斜、回転させ、照明部３からの照明光をガラス基板９に
照射して欠陥位置の目視検査を行う。 このとき被測定
物の中心位置は常にレーザビーム照明部２１の真下にあ
る。目視検査中に、欠陥位置を発見したら、ポインタ決
め部４３を用いてＸ軸位置決め部２２、Ｙ軸位置決め部
２３を操作し、レーザビームを任意の角度に傾斜させ
て、欠陥位置をレーザビームで指示する。このとき、被
測定物位置決め部１の回転量を、Ｘ軸ロータリエンコー
ダ１４、Ｙ軸ロータリエンコーダ１５、θ軸ロータリエ
ンコーダ１６により、各軸の移動量を検出し、この信号
をコンピュータ部４に送る。 コンピュータ部４は各軸
の変化角度を算出する。 また、レーザビーム位置決め
部２も同様、Ｘ軸ロータリエンコーダ２４、Ｙ軸ロータ
リエンコーダ２５により各軸の移動量を計算する。この
とき、コンピュータ部４によって各軸の変化角度を算出
する。以上の検査、及び計算結果を用いて、三角関数に
より、レーザビームで指示された位置を、平面座標（Ｘ
Ｙ座標）として算出する。算出した座標データは、コン
ピュータ部４のメモリ部４４によって保存され、表示部
４５によって表示される。また、他装置に、検出した座
標データを転送する場合は、インターフェース部４６を
介して、データを転送できる。
【０００６】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によるマクロ
検査装置は、人の記憶に頼ることなく正確に多くの欠陥
位置を記録できる。 また、記録した欠陥位置座標デー
タを、他の装置、例えばミクロ検査装置に転送できるの
で、この欠陥位置座標データに基づき欠陥位置を高速に
再現し、顕微鏡によって詳細に自動検査できる等、多数
の欠陥の高速で正確な検査、及び位置の記録が実現でき
る。
検査装置は、人の記憶に頼ることなく正確に多くの欠陥
位置を記録できる。 また、記録した欠陥位置座標デー
タを、他の装置、例えばミクロ検査装置に転送できるの
で、この欠陥位置座標データに基づき欠陥位置を高速に
再現し、顕微鏡によって詳細に自動検査できる等、多数
の欠陥の高速で正確な検査、及び位置の記録が実現でき
る。
【図１】本発明の全体構成を示す模式図
【図２】従来技術の概略構成を示す模式図
１：被測定物位置決め部、１１：Ｘ軸位置決め部、１
２：Ｙ軸位置決め部、１３：θ軸位置決め部、１４：Ｘ
軸ロータリエンコーダ、１５：Ｙ軸ロータリエンコー
ダ、１６：θ軸ロータリエンコーダ、２：レーザビーム
位置決め部、２１：レーザビーム照明部、２２：Ｘ軸位
置決め部、２３：Ｙ軸位置決め部、２４：Ｘ軸ロータリ
エンコーダ、２５：Ｙ軸ロータリエンコーダ、３：照明
部、４：コンピュータ部、４１：Ａ／Ｄ変換器、４２：
ボジション決め部、４３：ポインタ決め部、４４：メモ
リ部、４５：表示部、４６インターフェィス部。
２：Ｙ軸位置決め部、１３：θ軸位置決め部、１４：Ｘ
軸ロータリエンコーダ、１５：Ｙ軸ロータリエンコー
ダ、１６：θ軸ロータリエンコーダ、２：レーザビーム
位置決め部、２１：レーザビーム照明部、２２：Ｘ軸位
置決め部、２３：Ｙ軸位置決め部、２４：Ｘ軸ロータリ
エンコーダ、２５：Ｙ軸ロータリエンコーダ、３：照明
部、４：コンピュータ部、４１：Ａ／Ｄ変換器、４２：
ボジション決め部、４３：ポインタ決め部、４４：メモ
リ部、４５：表示部、４６インターフェィス部。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA04 AA19 AA49 BB13 CC00 DD06 FF09 FF24 HH04 HH18 MM04 PP05 PP13 PP24 QQ23 SS04 SS13 2G051 AA73 AB07 BA01 BA10 CA11 CB01 DA08 EA11 FA02
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定物をＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りを傾斜、
及び回転させる被測定物位置決め部と、上記被測定物を
照明する照明部と、上記被測定物の欠陥位置を指示する
レーザビームを発生するレーザビーム照明部と、該レー
ザビーム照明部からのレーザビームが上記被測定物の欠
陥位置を照明するよう制御するレーザビーム位置決め部
と、該レーザビーム位置決め部の各回転角と上記被測定
物位置決め部の傾斜、回転角とに基づき、上記被測定物
上の欠陥位置を算出するコンピュータ部を具備している
ことを特徴とする板状物体目視検査装置。 - 【請求項２】 請求項１の板状物体目視検査装置におい
て、上記レーザビーム位置決め部が被測定物の中央直上
にあり、上記照明部と干渉しない様に配置されているこ
とを特徴とする板状物体目視検査装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の板状物体目視
検査装置において、欠陥位置を含む欠陥情報を他の装置
へ転送するインタフェース部を具備することを特徴とす
る板状物体目視検査装置。 - 【請求項４】 請求項１乃至３に記載の板状物体目視検
査装置において、欠陥位置情報を含む欠陥情報を保持す
るメモリ部と、表示する表示部を具備することを特徴と
する板状物体目視検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001067677A JP2002267620A (ja) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | 板状物体目視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001067677A JP2002267620A (ja) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | 板状物体目視検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267620A true JP2002267620A (ja) | 2002-09-18 |
| JP2002267620A5 JP2002267620A5 (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=18925992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001067677A Pending JP2002267620A (ja) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | 板状物体目視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267620A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006200917A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Olympus Corp | 座標検出装置及び被検体検査装置 |
| JP2006208150A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Opto One Kk | 液晶基板目視検査装置 |
| CN103604815A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-02-26 | 上海海事大学 | 玻璃晶片检测装置与标定方法 |
| CN110006903A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | 皓琪科技股份有限公司 | 印刷电路板复检系统、标示方法与复检方法 |
| JP2021528339A (ja) * | 2018-06-29 | 2021-10-21 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | フリッパー装置及びこれを用いた対象物検査方法 |
-
2001
- 2001-03-09 JP JP2001067677A patent/JP2002267620A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006200917A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Olympus Corp | 座標検出装置及び被検体検査装置 |
| JP4653500B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2011-03-16 | オリンパス株式会社 | 座標検出装置及び被検体検査装置 |
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| JP2021528339A (ja) * | 2018-06-29 | 2021-10-21 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | フリッパー装置及びこれを用いた対象物検査方法 |
| JP7140354B2 (ja) | 2018-06-29 | 2022-09-21 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | フリッパー装置及びこれを用いた対象物検査方法 |
| US11908123B2 (en) | 2018-06-29 | 2024-02-20 | Koh Young Technology Inc. | Object inspection apparatus and object inspection method using same |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040318 |
|
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050905 |
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| A521 | Written amendment |
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