JPH08189899A - 検査支援装置 - Google Patents
検査支援装置Info
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- JPH08189899A JPH08189899A JP7258272A JP25827295A JPH08189899A JP H08189899 A JPH08189899 A JP H08189899A JP 7258272 A JP7258272 A JP 7258272A JP 25827295 A JP25827295 A JP 25827295A JP H08189899 A JPH08189899 A JP H08189899A
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- JP
- Japan
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- inspection
- cursor
- support apparatus
- lens
- camera
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品実装基板等の検査、修理等を支援するの
に適した検査支援装置に関し、拡大画像上の不良箇所を
実基板上で容易に検出でき、また同一の装置上で検査、
修正を容易に行えるようにする。 【解決手段】 レンズまたはカメラ２とその前面に設け
られたハーフミラー３とを一体化して備え、ハーフミラ
ー３からの透過光に基づいて検査対象物体の拡大画像を
得るとともに、検査対象物体５を載置した面に対して上
下方向に移動可能な撮像部１と、撮像部１の下降時に検
査対象物体５の拡大画像を表示するとともに、表示画面
上の任意の点を指定することによって載置面における対
応する位置の座標値を出力する拡大表示部６と、この座
標値に応じて投射光の進行方向を制御することによって
撮像部１の上昇時に、ハーフミラー３からの反射光に基
づいて検査対象物体５上の指定位置に光点１０を形成す
る投光装置８とを備える。
に適した検査支援装置に関し、拡大画像上の不良箇所を
実基板上で容易に検出でき、また同一の装置上で検査、
修正を容易に行えるようにする。 【解決手段】 レンズまたはカメラ２とその前面に設け
られたハーフミラー３とを一体化して備え、ハーフミラ
ー３からの透過光に基づいて検査対象物体の拡大画像を
得るとともに、検査対象物体５を載置した面に対して上
下方向に移動可能な撮像部１と、撮像部１の下降時に検
査対象物体５の拡大画像を表示するとともに、表示画面
上の任意の点を指定することによって載置面における対
応する位置の座標値を出力する拡大表示部６と、この座
標値に応じて投射光の進行方向を制御することによって
撮像部１の上昇時に、ハーフミラー３からの反射光に基
づいて検査対象物体５上の指定位置に光点１０を形成す
る投光装置８とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体の拡大検査を
支援する検査支援装置に関し、特に部品実装基板等の拡
大検査および修正等を支援するのに適した検査支援装置
に関するものである。
支援する検査支援装置に関し、特に部品実装基板等の拡
大検査および修正等を支援するのに適した検査支援装置
に関するものである。
【０００２】例えば、プリント基板の製作時において
は、プリント基板自体の欠陥の有無、およびプリント基
板に搭載されている部品の実装状態やはんだ付け、配線
の不良の有無等を拡大して検査するための支援装置が必
要である。
は、プリント基板自体の欠陥の有無、およびプリント基
板に搭載されている部品の実装状態やはんだ付け、配線
の不良の有無等を拡大して検査するための支援装置が必
要である。
【０００３】このような拡大検査を支援する装置は、拡
大画像上で発見した不良箇所を実基板上で容易に検出す
ることができるとともに、同一の装置上で検査および修
正等を行えるものであることが要求されている。
大画像上で発見した不良箇所を実基板上で容易に検出す
ることができるとともに、同一の装置上で検査および修
正等を行えるものであることが要求されている。
【０００４】
【従来の技術】物品の検査を行う際には、所望の箇所を
拡大して検査できるようにするために、顕微鏡等の拡大
装置またはモニタテレビ等の拡大表示装置を有し、これ
と、検査対象物体上の任意の箇所を、顕微鏡等の拡大装
置のレンズ、または拡大表示装置（モニタ）のカメラレ
ンズの真下に移動するための、Ｘ−Ｙテーブル等の制御
機構を組み合わせたものが広く用いられているが、従
来、プリント基板自体の検査や、基板の部品実装状態の
検査、はんだ付け状態の目視検査等にも、このような装
置が一般に利用されている。
拡大して検査できるようにするために、顕微鏡等の拡大
装置またはモニタテレビ等の拡大表示装置を有し、これ
と、検査対象物体上の任意の箇所を、顕微鏡等の拡大装
置のレンズ、または拡大表示装置（モニタ）のカメラレ
ンズの真下に移動するための、Ｘ−Ｙテーブル等の制御
機構を組み合わせたものが広く用いられているが、従
来、プリント基板自体の検査や、基板の部品実装状態の
検査、はんだ付け状態の目視検査等にも、このような装
置が一般に利用されている。
【０００５】このような拡大表示装置を用いて物品の目
視検査を行っているとき、拡大表示されている部分に、
不具合（はんだ付け不良、実装不良、配線不良等）箇所
があった場合には、その箇所をその場で、または後工程
で修正するために、検査対象物体（実基板）上でなんら
かの方法で指示して特定することが必要である。
視検査を行っているとき、拡大表示されている部分に、
不具合（はんだ付け不良、実装不良、配線不良等）箇所
があった場合には、その箇所をその場で、または後工程
で修正するために、検査対象物体（実基板）上でなんら
かの方法で指示して特定することが必要である。
【０００６】従来、このような不良箇所の指示（特定）
方法としては、次のような各種の方法が用いられてい
る。
方法としては、次のような各種の方法が用いられてい
る。
【０００７】（１）拡大画像を見ながら、拡大表示する
ためのレンズまたはカメラの下で、シールの貼付等の方
法で、不良箇所を示すマークを付ける。
ためのレンズまたはカメラの下で、シールの貼付等の方
法で、不良箇所を示すマークを付ける。
【０００８】（２）Ｘ−Ｙテーブル上における不良箇所
の座標を記憶して、次工程で、指示機構によって、その
不良箇所を指示する。
の座標を記憶して、次工程で、指示機構によって、その
不良箇所を指示する。
【０００９】（３）拡大画像を記憶して固定的に表示
し、この画像と現物を照合して目的の不良箇所を探す。
または基板レイアウトを表示し、その不良箇所が全体の
レイアウト上のどの位置にあたるかを画面上に示すこと
によって、それを見ながら、目的の不良箇所を探す。
し、この画像と現物を照合して目的の不良箇所を探す。
または基板レイアウトを表示し、その不良箇所が全体の
レイアウト上のどの位置にあたるかを画面上に示すこと
によって、それを見ながら、目的の不良箇所を探す。
【００１０】またプリント基板や部品実装プリント板ユ
ニットの外観検査においては、はんだ付け形状の検査の
ように、限度見本と比較して判定する官能検査を行う場
合と、部品やリードの位置ずれ量の判定のように、定量
的に判断して良否を決定する計測的な検査を行う場合と
がある。
ニットの外観検査においては、はんだ付け形状の検査の
ように、限度見本と比較して判定する官能検査を行う場
合と、部品やリードの位置ずれ量の判定のように、定量
的に判断して良否を決定する計測的な検査を行う場合と
がある。
【００１１】はんだ付け状態を限度見本と見比べて良否
を判定する官能検査については、予め良品と不良品に関
する限度見本品の拡大画像をメモリに格納して起き、こ
れを検査中の拡大表示部に必要に応じて併示する方法
が、特開平５−３３２９４８号公報によって開示されて
いる。
を判定する官能検査については、予め良品と不良品に関
する限度見本品の拡大画像をメモリに格納して起き、こ
れを検査中の拡大表示部に必要に応じて併示する方法
が、特開平５−３３２９４８号公報によって開示されて
いる。
【００１２】しかしながら、部品やリードの位置ずれ量
の判定を、定量的に判断して良否を決定する計測的な検
査を、拡大画像を用いて行う方法については、従来、表
示画面に実際にスケールをあてて、長さを測って判定す
る方法が知られているだけである。
の判定を、定量的に判断して良否を決定する計測的な検
査を、拡大画像を用いて行う方法については、従来、表
示画面に実際にスケールをあてて、長さを測って判定す
る方法が知られているだけである。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術における第１
の問題点として、上記の（１）〜（３）に示す従来の不
良箇所指示（特定）方法において、次の諸点を上げるこ
とができる。
の問題点として、上記の（１）〜（３）に示す従来の不
良箇所指示（特定）方法において、次の諸点を上げるこ
とができる。
【００１４】上記（１）に示す方法では、例えばはんだ
付け部分の検査の場合、２倍程度に拡大して不良箇所を
確認するため、焦点を合わせた状態では、レンズまたは
カメラと検査対象物体との距離がかなり小さくなる。一
方検査対象物体上にマークを付けるためには、レンズま
たはカメラと検査対象物体との間に、ある程度の距離を
持たせることが必要であるが、このような状態では画像
が不明瞭になって、拡大画像と検査対象物体上の点との
対応をつけることが困難になる。
付け部分の検査の場合、２倍程度に拡大して不良箇所を
確認するため、焦点を合わせた状態では、レンズまたは
カメラと検査対象物体との距離がかなり小さくなる。一
方検査対象物体上にマークを付けるためには、レンズま
たはカメラと検査対象物体との間に、ある程度の距離を
持たせることが必要であるが、このような状態では画像
が不明瞭になって、拡大画像と検査対象物体上の点との
対応をつけることが困難になる。
【００１５】上記（２）に示す方法では、拡大表示装置
の他に、指示装置等が別に必要になり、また、これに座
標情報を転送するシステムが必要となるため、装置が大
掛かりになる。
の他に、指示装置等が別に必要になり、また、これに座
標情報を転送するシステムが必要となるため、装置が大
掛かりになる。
【００１６】上記（３）に示す方法では、大まかな位置
はわかるが、細かい部分の特定が難しい。特に配線ピッ
チが微細なＩＣの場合に、多数のリード中の不良リード
を特定するのが難しい。
はわかるが、細かい部分の特定が難しい。特に配線ピッ
チが微細なＩＣの場合に、多数のリード中の不良リード
を特定するのが難しい。
【００１７】また第２の問題点として、部品やリードの
位置ずれ量の判定を、定量的に判断して良否を決定する
計測的な検査を、スケール等を用いることなく、拡大画
面上において簡単かつ確実に行うことができる方法は提
案されていないという問題があった。
位置ずれ量の判定を、定量的に判断して良否を決定する
計測的な検査を、スケール等を用いることなく、拡大画
面上において簡単かつ確実に行うことができる方法は提
案されていないという問題があった。
【００１８】本発明は、このような従来技術の課題を解
決しようとするものであって、拡大画面上で検出した不
良箇所を検査対象物体上で容易に特定することができ、
同一の装置上で、検査の他に不良箇所の修正等を行うこ
とが容易な、検査支援装置を提供することを目的として
いる。
決しようとするものであって、拡大画面上で検出した不
良箇所を検査対象物体上で容易に特定することができ、
同一の装置上で、検査の他に不良箇所の修正等を行うこ
とが容易な、検査支援装置を提供することを目的として
いる。
【００１９】
［１］ 図１は、本発明の原理的構成（１）を示したも
のである。この発明は、レンズまたはカメラ２とその前
面に設けられたハーフミラー３とを一体化して備え、ハ
ーフミラー３からの透過光に基づいて検査対象物体５の
拡大画像を得るとともに、検査対象物体５を載置した面
に対して上下方向に移動可能な撮像部１と、撮像部１の
下降時において、検査対象物体５の拡大画像を表示する
とともに、表示画面上の任意の点を指定することによっ
て、載置面における対応する位置の座標値を出力する拡
大表示部６と、この座標値に応じて投射光の進行方向を
制御することによって、撮像部１の上昇時において、ハ
ーフミラー３からの反射光に基づいて検査対象物体５上
の指定位置に光点を形成する投光装置８とを備えてなる
ものである。
のである。この発明は、レンズまたはカメラ２とその前
面に設けられたハーフミラー３とを一体化して備え、ハ
ーフミラー３からの透過光に基づいて検査対象物体５の
拡大画像を得るとともに、検査対象物体５を載置した面
に対して上下方向に移動可能な撮像部１と、撮像部１の
下降時において、検査対象物体５の拡大画像を表示する
とともに、表示画面上の任意の点を指定することによっ
て、載置面における対応する位置の座標値を出力する拡
大表示部６と、この座標値に応じて投射光の進行方向を
制御することによって、撮像部１の上昇時において、ハ
ーフミラー３からの反射光に基づいて検査対象物体５上
の指定位置に光点を形成する投光装置８とを備えてなる
ものである。
【００２０】［２］ 図２は、本発明の原理的構成
（２）を示したものである。この発明は、レンズまたは
カメラ２によってＸ−Ｙテーブル４上に載置された検査
対象物体５の拡大画像を表示する拡大表示部６と、レン
ズまたはカメラ２の中心を原点とするＸ−Ｙテーブル４
の位置座標上予め定められた座標値だけ離れた特定位置
Ｐを指示する指示機構とを備え、レンズまたはカメラ２
の中心が拡大画像上における検査対象物体５上の指定位
置に一致するようにＸ−Ｙテーブル４を位置させたとき
のＸ−Ｙテーブル４の位置座標値から、指示機構の座標
値だけＸ−Ｙテーブル４を移動させることによって、指
示機構の指示する特定位置Ｐと検査対象物体５上の指示
位置とを一致させるようにしたものである。
（２）を示したものである。この発明は、レンズまたは
カメラ２によってＸ−Ｙテーブル４上に載置された検査
対象物体５の拡大画像を表示する拡大表示部６と、レン
ズまたはカメラ２の中心を原点とするＸ−Ｙテーブル４
の位置座標上予め定められた座標値だけ離れた特定位置
Ｐを指示する指示機構とを備え、レンズまたはカメラ２
の中心が拡大画像上における検査対象物体５上の指定位
置に一致するようにＸ−Ｙテーブル４を位置させたとき
のＸ−Ｙテーブル４の位置座標値から、指示機構の座標
値だけＸ−Ｙテーブル４を移動させることによって、指
示機構の指示する特定位置Ｐと検査対象物体５上の指示
位置とを一致させるようにしたものである。
【００２１】［３］ ［２］の場合に、指示機構２５
が、光点によって特定位置を指示するようにする。
が、光点によって特定位置を指示するようにする。
【００２２】［４］ ［２］の場合に、指示機構２５
が、指示針によって特定位置を指示するようにする。
が、指示針によって特定位置を指示するようにする。
【００２３】［５］ ［２］の場合に、指示機構２５
が、指示位置に対応する座標値を出力するエンコーダ３
４を備え、この座標値に応じてＸ−Ｙテーブル４を移動
させることによって、指示する特定位置を任意に設定で
きるようにする。
が、指示位置に対応する座標値を出力するエンコーダ３
４を備え、この座標値に応じてＸ−Ｙテーブル４を移動
させることによって、指示する特定位置を任意に設定で
きるようにする。
【００２４】［６］ 図３は、本発明の原理的構成
（３）を示したものである。この発明は、レンズまたは
カメラ２によって検査対象物体５の拡大画像を表示する
拡大表示部６に対して、この拡大表示部６の画面上に、
検査対象物体の部品種と拡大倍率に応じて異なる間隔を
有する判定用カーソルを表示させるカーソル出力装置１
８を設けたものである。
（３）を示したものである。この発明は、レンズまたは
カメラ２によって検査対象物体５の拡大画像を表示する
拡大表示部６に対して、この拡大表示部６の画面上に、
検査対象物体の部品種と拡大倍率に応じて異なる間隔を
有する判定用カーソルを表示させるカーソル出力装置１
８を設けたものである。
【００２５】ここで判定用カーソルとは、画面上の任意
の位置を指示する通常のカーソルの機能に加え、長さの
基準となり得る幾何学的形状を有し、この基準形状を用
いて、画面上の任意の部分の長さ、例えば部品実装基板
における実装部品リード部の基板パッド部に対するズレ
量、の基準値に対する大小関係を判定することができる
カーソルのことである。
の位置を指示する通常のカーソルの機能に加え、長さの
基準となり得る幾何学的形状を有し、この基準形状を用
いて、画面上の任意の部分の長さ、例えば部品実装基板
における実装部品リード部の基板パッド部に対するズレ
量、の基準値に対する大小関係を判定することができる
カーソルのことである。
【００２６】［７］ ［６］の場合に、カーソル出力装
置１８が、拡大表示部６の画面上における判定用カーソ
ルの位置と向きとを変化し得るようにする。
置１８が、拡大表示部６の画面上における判定用カーソ
ルの位置と向きとを変化し得るようにする。
【００２７】［８］ ［６］または［７］の場合に、判
定用カーソルを、直交する２組の２本線から構成する。
定用カーソルを、直交する２組の２本線から構成する。
【００２８】［９］ ［６］または［７］の場合に、判
定用カーソルを、円形状の図形によって構成する。
定用カーソルを、円形状の図形によって構成する。
【００２９】［１０］ ［６］または［７］の場合に、
判定用カーソルを、その内部を単一色で一様に彩色され
た図形によって構成する。
判定用カーソルを、その内部を単一色で一様に彩色され
た図形によって構成する。
【００３０】図１に示された本発明の原理的構成（１）
は、前述の第１の問題点を解決しようとするものであ
る。１は撮像部であって、対象を拡大表示するためのレ
ンズまたはカメラ２と、その光軸上に固定されたハーフ
ミラー３とを有し、上下方向に移動できるように構成さ
れている。撮像部１は、レンズまたはカメラ２を介し
て、Ｘ−Ｙテーブル４上に置かれた検査対象物体５の拡
大画像信号を出力する。
は、前述の第１の問題点を解決しようとするものであ
る。１は撮像部であって、対象を拡大表示するためのレ
ンズまたはカメラ２と、その光軸上に固定されたハーフ
ミラー３とを有し、上下方向に移動できるように構成さ
れている。撮像部１は、レンズまたはカメラ２を介し
て、Ｘ−Ｙテーブル４上に置かれた検査対象物体５の拡
大画像信号を出力する。
【００３１】６は拡大表示部であって、撮像部１からの
画像信号によって、監査対象物体の拡大画像を表示す
る。７は視野内座標コントローラであって、拡大表示部
６からの座標値の情報によって投光装置８を制御し、こ
れによって投光装置８は、その投射光の位置または方向
を変化させる。
画像信号によって、監査対象物体の拡大画像を表示す
る。７は視野内座標コントローラであって、拡大表示部
６からの座標値の情報によって投光装置８を制御し、こ
れによって投光装置８は、その投射光の位置または方向
を変化させる。
【００３２】検査時には、撮像部１を下げてレンズまた
はカメラ２の合焦位置にすることによって、ハーフミラ
ー３からの透過光によって、検査対象物体の拡大画像を
拡大表示部６において表示する。この状態で、表示画面
上において検出された不良箇所の位置を示す、不良箇所
指定点９の座標値情報を拡大表示部６から出力する。
はカメラ２の合焦位置にすることによって、ハーフミラ
ー３からの透過光によって、検査対象物体の拡大画像を
拡大表示部６において表示する。この状態で、表示画面
上において検出された不良箇所の位置を示す、不良箇所
指定点９の座標値情報を拡大表示部６から出力する。
【００３３】不良箇所指示時には、撮像部１を上げるこ
とによって、投光装置８からの光がハーフミラー３によ
って反射して、検査対象物体５上に投射される。この
際、視野内座標コントローラ７によって、不良箇所指定
点９の座標値情報に応じて、投光装置８を制御すること
によって、検査対象物体５上に生じる光点が、検査対象
物体５の不良箇所の位置と一致するようになる。
とによって、投光装置８からの光がハーフミラー３によ
って反射して、検査対象物体５上に投射される。この
際、視野内座標コントローラ７によって、不良箇所指定
点９の座標値情報に応じて、投光装置８を制御すること
によって、検査対象物体５上に生じる光点が、検査対象
物体５の不良箇所の位置と一致するようになる。
【００３４】従って、作業者は、この光点によって不良
箇所を知ることができるので、例えば修正作業を行う場
合は、この箇所に対して所要の作業を行えば良い。この
場合、撮像部１は上げられているので、作業者は、撮像
部１によって妨げられることなく、作業を行うことがで
きる。
箇所を知ることができるので、例えば修正作業を行う場
合は、この箇所に対して所要の作業を行えば良い。この
場合、撮像部１は上げられているので、作業者は、撮像
部１によって妨げられることなく、作業を行うことがで
きる。
【００３５】図２に示された本発明の原理的構成（２）
も、前述の第１の問題点を解決しようとするものであ
り、（ａ）はＸ−Ｙテーブルの移動前を示し、（ｂ）は
Ｘ−Ｙテーブルの移動後を示している。図１におけると
同じものを同じ番号で示し、Ｐはレンズまたはカメラ２
から一定の距離だけ離れた位置に設けられた指示機構の
位置を示している。Ｐは、Ｘ−Ｙテーブル４の移動位置
を規定する直交座標系（Ｘ，Ｙ）において、レンズまた
はカメラ２の中心（光軸）位置を原点（０，０）とした
とき、座標位置（−ＸP ，−ＹP ）にあるものとし、こ
の値を予め記憶しておく。
も、前述の第１の問題点を解決しようとするものであ
り、（ａ）はＸ−Ｙテーブルの移動前を示し、（ｂ）は
Ｘ−Ｙテーブルの移動後を示している。図１におけると
同じものを同じ番号で示し、Ｐはレンズまたはカメラ２
から一定の距離だけ離れた位置に設けられた指示機構の
位置を示している。Ｐは、Ｘ−Ｙテーブル４の移動位置
を規定する直交座標系（Ｘ，Ｙ）において、レンズまた
はカメラ２の中心（光軸）位置を原点（０，０）とした
とき、座標位置（−ＸP ，−ＹP ）にあるものとし、こ
の値を予め記憶しておく。
【００３６】図２（ａ）に示すように、Ｘ−Ｙテーブル
の移動前において、検査対象物体５はＸ−Ｙテーブル４
上に載置されていて、検査対象物体５の特定部分（例え
ば不良箇所）Ａが、レンズまたはカメラ２の真下にある
とき、座標位置（ＸA ，ＹA）をとるものとする。
の移動前において、検査対象物体５はＸ−Ｙテーブル４
上に載置されていて、検査対象物体５の特定部分（例え
ば不良箇所）Ａが、レンズまたはカメラ２の真下にある
とき、座標位置（ＸA ，ＹA）をとるものとする。
【００３７】検査中または検査終了後に、作業者による
スイッチ操作等の指示によって、図２（ｂ）に示すよう
に、Ｘ−Ｙテーブル４を座標位置（ＸA −ＸP ，ＹA −
ＹP）になるように移動すると、不良箇所ＡはＰに移動
し、指示機構の真下にくる。
スイッチ操作等の指示によって、図２（ｂ）に示すよう
に、Ｘ−Ｙテーブル４を座標位置（ＸA −ＸP ，ＹA −
ＹP）になるように移動すると、不良箇所ＡはＰに移動
し、指示機構の真下にくる。
【００３８】従って、作業者は、指示機構の示す位置に
よって不良箇所を知ることができるので、例えば修正作
業を行う場合は、この箇所に対して所要の作業を行えば
よい。この場合、不良箇所はレンズまたはカメラ２から
離れた位置にあるので、作業者は、レンズまたはカメラ
２によって妨げられることなく、作業を行うことができ
る。また、この際、作業条件に合わせて指示機構の位置
を任意に設定して、その位置に不良箇所を移動させるこ
とができるので、作業性をよくすることができる。
よって不良箇所を知ることができるので、例えば修正作
業を行う場合は、この箇所に対して所要の作業を行えば
よい。この場合、不良箇所はレンズまたはカメラ２から
離れた位置にあるので、作業者は、レンズまたはカメラ
２によって妨げられることなく、作業を行うことができ
る。また、この際、作業条件に合わせて指示機構の位置
を任意に設定して、その位置に不良箇所を移動させるこ
とができるので、作業性をよくすることができる。
【００３９】図３に示された本発明の原理的構成（３）
は、前述の第２の問題点を解決しようとするものであ
る。拡大表示部６の画面上には、リード部１６と、各リ
ードをはんだ付けすべきパッド部１７とが示されてい
る。１８はカーソル出力装置であって、拡大表示部６の
画面上に、２本線からなる判定用カーソル１９を併示す
る。
は、前述の第２の問題点を解決しようとするものであ
る。拡大表示部６の画面上には、リード部１６と、各リ
ードをはんだ付けすべきパッド部１７とが示されてい
る。１８はカーソル出力装置であって、拡大表示部６の
画面上に、２本線からなる判定用カーソル１９を併示す
る。
【００４０】カーソル出力装置１８は、各部品種ごとの
ズレ限度値（１画素を単位として表す）、および画面上
の１画素あたりの距離（長さ）ｌを予め記憶している。
いま、拡大表示中の部品種が例えば０１であって、これ
をレンズまたはカメラの倍率Ｂで拡大して表示している
ものとすると、カーソル出力装置１８は、拡大表示画面
上において、判定用カーソル１９として、０．０７５
（ズレ限度値）×Ｂ（倍率）の間隔を有する２本線を表
示する。
ズレ限度値（１画素を単位として表す）、および画面上
の１画素あたりの距離（長さ）ｌを予め記憶している。
いま、拡大表示中の部品種が例えば０１であって、これ
をレンズまたはカメラの倍率Ｂで拡大して表示している
ものとすると、カーソル出力装置１８は、拡大表示画面
上において、判定用カーソル１９として、０．０７５
（ズレ限度値）×Ｂ（倍率）の間隔を有する２本線を表
示する。
【００４１】このように、予め部品種に応じたズレ限度
値を記憶しておき、これを拡大倍率に応じた長さとし
て、拡大表示画面上において、必要に応じて判定用カー
ソルとして部品等の画像とともに表示するので、作業者
は、判定用カーソルをズレの検査を行いたい箇所と見比
べることによって、そのズレが許容限度内であるか否か
を簡単に判定できる。
値を記憶しておき、これを拡大倍率に応じた長さとし
て、拡大表示画面上において、必要に応じて判定用カー
ソルとして部品等の画像とともに表示するので、作業者
は、判定用カーソルをズレの検査を行いたい箇所と見比
べることによって、そのズレが許容限度内であるか否か
を簡単に判定できる。
【００４２】従って、スケール等を用いて拡大画像上の
長さを測定したり、さらに拡大率から実際のズレ量を計
算したりする必要がなくなる。カーソルの形態は、長さ
の基準となり得る形状を有するものであれば任意であっ
て、例えば判定基準となる長さをもった矢印でもよく、
表示されている検査対象物体の形状に応じて設定するこ
とができる。また表示されている画像の状態に応じて、
任意に移動、回転等の操作を行って、比較すべき箇所に
合わせて判定を行うことができる。
長さを測定したり、さらに拡大率から実際のズレ量を計
算したりする必要がなくなる。カーソルの形態は、長さ
の基準となり得る形状を有するものであれば任意であっ
て、例えば判定基準となる長さをもった矢印でもよく、
表示されている検査対象物体の形状に応じて設定するこ
とができる。また表示されている画像の状態に応じて、
任意に移動、回転等の操作を行って、比較すべき箇所に
合わせて判定を行うことができる。
【００４３】判定用カーソルとして、直交する、同一間
隔を有する２本線からなるものを用いてもよく、このよ
うにすることによって、直交する各辺にリードを有する
ＩＣ（ＱＦＰ）における、直交する各辺のリード部とパ
ッド部のズレ限度値の検査を行う場合に、その都度、判
定用カーソルを回転させる必要がなくなる。
隔を有する２本線からなるものを用いてもよく、このよ
うにすることによって、直交する各辺にリードを有する
ＩＣ（ＱＦＰ）における、直交する各辺のリード部とパ
ッド部のズレ限度値の検査を行う場合に、その都度、判
定用カーソルを回転させる必要がなくなる。
【００４４】また判定用カーソルとして、円形状の図形
を用いてもよく、このようにすることによって、拡大画
像上において、画像の水平方向に対して斜め方向に、そ
の直交する各辺が表示されたＩＣ（ＱＦＰ）における、
直交する各辺のリード部とパッド部のズレ限度値の検査
を行う場合に、その都度、判定用カーソルを回転させる
必要がなくなる。
を用いてもよく、このようにすることによって、拡大画
像上において、画像の水平方向に対して斜め方向に、そ
の直交する各辺が表示されたＩＣ（ＱＦＰ）における、
直交する各辺のリード部とパッド部のズレ限度値の検査
を行う場合に、その都度、判定用カーソルを回転させる
必要がなくなる。
【００４５】さらに判定用カーソルとして、その内部を
単一色で一様に彩色されたものを用いてもよく、このよ
うにすることによって、上記の直交する、同一間隔を有
する２本線からなる判定用カーソルや、円形状の判定用
カーソル等を用いる場合に、判定用カーソル内部にリー
ド部やパッド部等の拡大画像が表示されることがなくな
るため、判定用カーソルの輪郭部を見誤ることがなく、
判定がしやすくなる。
単一色で一様に彩色されたものを用いてもよく、このよ
うにすることによって、上記の直交する、同一間隔を有
する２本線からなる判定用カーソルや、円形状の判定用
カーソル等を用いる場合に、判定用カーソル内部にリー
ド部やパッド部等の拡大画像が表示されることがなくな
るため、判定用カーソルの輪郭部を見誤ることがなく、
判定がしやすくなる。
【００４６】
【発明の実施の形態】図４は、本発明の実施形態（１）
のシステム構成を示したものであって、原理的構成
（１）に対応する検査支援装置を示し、図１におけると
同じものを同じ番号で示している。投光装置８におい
て、２１はレーザダイオード（ＬＤ）等からなる光源、
２２、２３は光進行方向可変ミラーである。また２４
は、光進行方向可変ミラー２２、２３のＸ軸およびＹ軸
の角度を制御するミラー制御装置である。
のシステム構成を示したものであって、原理的構成
（１）に対応する検査支援装置を示し、図１におけると
同じものを同じ番号で示している。投光装置８におい
て、２１はレーザダイオード（ＬＤ）等からなる光源、
２２、２３は光進行方向可変ミラーである。また２４
は、光進行方向可変ミラー２２、２３のＸ軸およびＹ軸
の角度を制御するミラー制御装置である。
【００４７】実施形態（１）のシステムは、検査対象物
体５を撮像するレンズまたはカメラ２とハーフミラー３
とを一体化して垂直方向に移動可能にした撮像部１と、
検査対象物体５における検査対象箇所を検査支援装置の
視野範囲内に移動させるためのＸ−Ｙテーブル４と、拡
大像を表示するとともに、画面内の位置座標を取得する
ためのタッチパネルからなる拡大表示部６と、取得した
座標をもとに視野内の任意の位置に対応する検査対象物
体の位置を光指示するための光源２１と光進行方向可変
ミラー２２、２３とを有する投光装置８と、光進行方向
可変ミラー２２、２３を制御するミラー制御装置２４等
から構成されている。
体５を撮像するレンズまたはカメラ２とハーフミラー３
とを一体化して垂直方向に移動可能にした撮像部１と、
検査対象物体５における検査対象箇所を検査支援装置の
視野範囲内に移動させるためのＸ−Ｙテーブル４と、拡
大像を表示するとともに、画面内の位置座標を取得する
ためのタッチパネルからなる拡大表示部６と、取得した
座標をもとに視野内の任意の位置に対応する検査対象物
体の位置を光指示するための光源２１と光進行方向可変
ミラー２２、２３とを有する投光装置８と、光進行方向
可変ミラー２２、２３を制御するミラー制御装置２４等
から構成されている。
【００４８】はじめ、撮像部１は点線で示す下降位置に
あり、撮像部１はハーフミラー３からの透過光によっ
て、検査対象物体５の拡大画像を拡大表示部６において
表示する。拡大表示部６の画面内で不良箇所を発見した
ときは、作業者がペン等によって画面上の不良箇所指定
点９をタッチすることによって、この点の座標情報がミ
ラー制御装置２４へ転送させる。これに伴って、撮像部
１が実線で示す位置に上昇するとともに、投光装置８か
らの光がハーフミラー３に投射されるようになる。
あり、撮像部１はハーフミラー３からの透過光によっ
て、検査対象物体５の拡大画像を拡大表示部６において
表示する。拡大表示部６の画面内で不良箇所を発見した
ときは、作業者がペン等によって画面上の不良箇所指定
点９をタッチすることによって、この点の座標情報がミ
ラー制御装置２４へ転送させる。これに伴って、撮像部
１が実線で示す位置に上昇するとともに、投光装置８か
らの光がハーフミラー３に投射されるようになる。
【００４９】ミラー制御装置２４は、取得した画面内の
座標値をもとに投光装置８に対して制御信号を出力し、
これによって投光装置８において、光進行方向可変ミラ
ー２２、２３の、それぞれＸ軸とＹ軸の角度を変化させ
ることによって、光源２１からの光がハーフミラー３で
反射して、検査対象物体５上の不良指示箇所に投射され
て、これを指示する。ミラー制御装置２４は、光進行方
向可変ミラー２２、２３を制御して光の進行方向を変化
させるが、この際、拡大表示時の拡大率に応じて制御量
を変化させることによって、つねに正しく不良指示箇所
を照射できる機能を有している。
座標値をもとに投光装置８に対して制御信号を出力し、
これによって投光装置８において、光進行方向可変ミラ
ー２２、２３の、それぞれＸ軸とＹ軸の角度を変化させ
ることによって、光源２１からの光がハーフミラー３で
反射して、検査対象物体５上の不良指示箇所に投射され
て、これを指示する。ミラー制御装置２４は、光進行方
向可変ミラー２２、２３を制御して光の進行方向を変化
させるが、この際、拡大表示時の拡大率に応じて制御量
を変化させることによって、つねに正しく不良指示箇所
を照射できる機能を有している。
【００５０】この状態で、作業者は、検査対象物体５上
において光指示された箇所に対して、修正等の所要の作
業を行えばよい。この際、撮像部１は上昇した位置にあ
るので、作業の妨げになることはない、なお、実施形態
（１）で、不良箇所を発見したとき、Ｘ−Ｙテーブル４
を移動させて不良箇所を画面上に設定されている原点に
一致させるようにすれば、投光装置８からの光は一定方
向でよくなる。これにより、ミラー制御装置２４と光進
行方向可変ミラー２２、２３は不要になるので、装置を
シンプルに構成することが可能になる。
において光指示された箇所に対して、修正等の所要の作
業を行えばよい。この際、撮像部１は上昇した位置にあ
るので、作業の妨げになることはない、なお、実施形態
（１）で、不良箇所を発見したとき、Ｘ−Ｙテーブル４
を移動させて不良箇所を画面上に設定されている原点に
一致させるようにすれば、投光装置８からの光は一定方
向でよくなる。これにより、ミラー制御装置２４と光進
行方向可変ミラー２２、２３は不要になるので、装置を
シンプルに構成することが可能になる。
【００５１】図５は、本発明の実施形態（２）のシステ
ム構成を示したものであって、（ａ）は全体の構成を示
し、（ｂ）光学的指示機構による指示方法、（ｃ）は機
械的指示機構による指示方法である。図５は、原理的構
成（２）に対応する検査支援装置を示し、図４における
と同じものを同じ番号で示している。２５は検査対象物
体上の任意の位置を指示する指示装置、２６は画像信号
の入出力の制御と記憶を行う制御記憶装置、２７はＸ−
Ｙテーブル４の移動を制御するＸ−Ｙコントローラ、２
８はＸ−Ｙテーブル４の移動を指示する手元スイッチで
ある。
ム構成を示したものであって、（ａ）は全体の構成を示
し、（ｂ）光学的指示機構による指示方法、（ｃ）は機
械的指示機構による指示方法である。図５は、原理的構
成（２）に対応する検査支援装置を示し、図４における
と同じものを同じ番号で示している。２５は検査対象物
体上の任意の位置を指示する指示装置、２６は画像信号
の入出力の制御と記憶を行う制御記憶装置、２７はＸ−
Ｙテーブル４の移動を制御するＸ−Ｙコントローラ、２
８はＸ−Ｙテーブル４の移動を指示する手元スイッチで
ある。
【００５２】実施形態（２）のシステムは、検査対象物
体５における検査対象箇所を検査支援装置の視野範囲内
に移動させるためのＸ−Ｙテーブル４と、検査対象物体
を拡大表示するためのレンズまたはカメラ２と、レンズ
またはカメラ２から一定距離離れた指定点を指示する指
示機構２５と、画像信号や入出力や座標値の記憶、Ｘ−
Ｙコントローラ２７への座標値の転送等の処理を行う制
御記憶装置２６と、拡大画像を表示する拡大表示部６等
から構成されている。
体５における検査対象箇所を検査支援装置の視野範囲内
に移動させるためのＸ−Ｙテーブル４と、検査対象物体
を拡大表示するためのレンズまたはカメラ２と、レンズ
またはカメラ２から一定距離離れた指定点を指示する指
示機構２５と、画像信号や入出力や座標値の記憶、Ｘ−
Ｙコントローラ２７への座標値の転送等の処理を行う制
御記憶装置２６と、拡大画像を表示する拡大表示部６等
から構成されている。
【００５３】レンズまたはカメラ２の中心（光軸）を原
点とする、指示機構２５の指示する点の位置座標
（ＸP ，ＹP ）を、予め制御記憶装置２６に記憶させて
おく。作業者が、拡大表示部６において、Ｘ−Ｙテーブ
ル４上に載せたプリント基板等の、検査対象物体５の拡
大画像を見ながら検査を行って、不良箇所を発見したと
き、Ｘ−Ｙコントローラ２７を介して、Ｘ−Ｙテーブル
４を移動させて、不良箇所を画面上に設定されている座
標の原点に一致させる。
点とする、指示機構２５の指示する点の位置座標
（ＸP ，ＹP ）を、予め制御記憶装置２６に記憶させて
おく。作業者が、拡大表示部６において、Ｘ−Ｙテーブ
ル４上に載せたプリント基板等の、検査対象物体５の拡
大画像を見ながら検査を行って、不良箇所を発見したと
き、Ｘ−Ｙコントローラ２７を介して、Ｘ−Ｙテーブル
４を移動させて、不良箇所を画面上に設定されている座
標の原点に一致させる。
【００５４】この状態で、手元スイッチ２８を操作する
ことによって、制御記憶装置２６は、そのときのＸ−Ｙ
テーブル４の位置座標（ＸA ，ＹA ）に応じて、Ｘ−Ｙ
テーブル４を位置座標（ＸA −ＸP ，ＹA −ＹP ）に移
動させる。これによって、検査対象物体５上の不良箇所
が指示機構２５の真下にくるので、作業者は、指示機構
２５によって指定される箇所に対して所要の作業を行え
ばよい。この際、レンズまたはカメラ２は不良箇所から
離れた位置にあるので、作業の妨げになることはない。
ことによって、制御記憶装置２６は、そのときのＸ−Ｙ
テーブル４の位置座標（ＸA ，ＹA ）に応じて、Ｘ−Ｙ
テーブル４を位置座標（ＸA −ＸP ，ＹA −ＹP ）に移
動させる。これによって、検査対象物体５上の不良箇所
が指示機構２５の真下にくるので、作業者は、指示機構
２５によって指定される箇所に対して所要の作業を行え
ばよい。この際、レンズまたはカメラ２は不良箇所から
離れた位置にあるので、作業の妨げになることはない。
【００５５】指示機構２５は、図５（ａ）に示すよう
に、投光器からなる指示部３１によって、検査対象物体
５上の不良箇所に光点を投射して指示する形式のもので
もよく、または図５（ｂ）に示すように、指示針からな
る指示部３２によって、その先端に検査対象物体５上の
不良箇所を指示する形式のものでもよい。
に、投光器からなる指示部３１によって、検査対象物体
５上の不良箇所に光点を投射して指示する形式のもので
もよく、または図５（ｂ）に示すように、指示針からな
る指示部３２によって、その先端に検査対象物体５上の
不良箇所を指示する形式のものでもよい。
【００５６】図６は、支持機構の他の例を示したもので
あって、図５におけると同じものを同じ番号で示してい
る。３３は支持部３１を支持するアーム、３４は支持部
３１の座標値をディジタル値として出力するエンコー
ダ、３５はディジタル値を計数して座標値を出力する計
数装置である。
あって、図５におけると同じものを同じ番号で示してい
る。３３は支持部３１を支持するアーム、３４は支持部
３１の座標値をディジタル値として出力するエンコー
ダ、３５はディジタル値を計数して座標値を出力する計
数装置である。
【００５７】図６に示された装置において、指示部３１
を移動させて任意の位置を指示させたとき、計数装置３
５はエンコーダ３４からの信号によって、レンズまたは
カメラ２の中心（光軸）を原点（０，０）としたとき
の、指示部３１の指示する点の座標値（ＸP ，ＹP ）を
出力し、制御記憶装置２６はこの座標値を記憶する。Ｘ
−Ｙテーブルを移動させるとき、この座標値を検査対象
物体上の不良箇所の座標値とともにＸ−Ｙコントローラ
２７に出力することによって、指示部３１によって、検
査対象物体上の指定点を正しく指示させることができ
る。
を移動させて任意の位置を指示させたとき、計数装置３
５はエンコーダ３４からの信号によって、レンズまたは
カメラ２の中心（光軸）を原点（０，０）としたとき
の、指示部３１の指示する点の座標値（ＸP ，ＹP ）を
出力し、制御記憶装置２６はこの座標値を記憶する。Ｘ
−Ｙテーブルを移動させるとき、この座標値を検査対象
物体上の不良箇所の座標値とともにＸ−Ｙコントローラ
２７に出力することによって、指示部３１によって、検
査対象物体上の指定点を正しく指示させることができ
る。
【００５８】図７は、本発明の実施形態（３）のシステ
ム構成を示すものであって、原理的構成（３）に対応す
る検査支援装置を示し、図３および図５におけると同じ
ものを同じ番号で示している。３７はズレ限度値等を格
納するメモリ、３８は判定用カーソルの位置と方向を制
御するための入力手段（例えばジョイスティック）であ
る。
ム構成を示すものであって、原理的構成（３）に対応す
る検査支援装置を示し、図３および図５におけると同じ
ものを同じ番号で示している。３７はズレ限度値等を格
納するメモリ、３８は判定用カーソルの位置と方向を制
御するための入力手段（例えばジョイスティック）であ
る。
【００５９】実施形態（３）のシステムは、検査対象物
体５を拡大表示するためのレンズまたはカメラ２と、画
像、倍率、Ｘ−Ｙテーブル４の座標値等の入出力、記憶
を行う制御記憶装置２６と、拡大画像を表示するための
拡大表示部６と、倍率に応じたズレ限度を示す判定用カ
ーソルを拡大表示部６の画面上に併示するためのカーソ
ル出力装置１８等から構成されている。
体５を拡大表示するためのレンズまたはカメラ２と、画
像、倍率、Ｘ−Ｙテーブル４の座標値等の入出力、記憶
を行う制御記憶装置２６と、拡大画像を表示するための
拡大表示部６と、倍率に応じたズレ限度を示す判定用カ
ーソルを拡大表示部６の画面上に併示するためのカーソ
ル出力装置１８等から構成されている。
【００６０】制御記憶装置２６は、レンズまたはカメラ
２を介して得られた検査対象物体５の拡大画像を、拡大
表示部６の画面上に表示する。図７においては、複数の
リードからなるＩＣ等のリード部１６と、各リードをは
んだ付けすべき複数のパッドからなるパッド部１７とが
示されている。各リードを対応するパッド上にはんだ付
けする際の、位置ズレと平行度のズレは、許容限度内で
あることが必要である。
２を介して得られた検査対象物体５の拡大画像を、拡大
表示部６の画面上に表示する。図７においては、複数の
リードからなるＩＣ等のリード部１６と、各リードをは
んだ付けすべき複数のパッドからなるパッド部１７とが
示されている。各リードを対応するパッド上にはんだ付
けする際の、位置ズレと平行度のズレは、許容限度内で
あることが必要である。
【００６１】作業者の指示によって、表示中の部品の部
品種および拡大倍率の情報がメモリ３７からカーソル出
力装置１８に読み込まれる。カーソル出力装置１８は、
これらの情報に応じて、倍率に応じたズレ限度値を示す
間隔を有する２本線からなる判定用カーソルの信号を発
生し、制御記憶装置２６は、これによって拡大表示部６
の画面上に、リード部１６およびパッド部１７とともに
判定用カーソル１９を表示する。
品種および拡大倍率の情報がメモリ３７からカーソル出
力装置１８に読み込まれる。カーソル出力装置１８は、
これらの情報に応じて、倍率に応じたズレ限度値を示す
間隔を有する２本線からなる判定用カーソルの信号を発
生し、制御記憶装置２６は、これによって拡大表示部６
の画面上に、リード部１６およびパッド部１７とともに
判定用カーソル１９を表示する。
【００６２】作業者は、判定用カーソルをズレの検査を
行いたい箇所と見比べることによって、そのズレが許容
限度内であるか否かを簡単に判定できる。この際、ジョ
イスティック３８を用いてカーソル出力装置１８に入力
を与えることによって、カーソルの間隔を変えずに、リ
ード部１６およびパッド部１７の画像に合わせて、カー
ソルの位置と向きを制御することができるので、許容限
度の判定を容易に行うことができる。
行いたい箇所と見比べることによって、そのズレが許容
限度内であるか否かを簡単に判定できる。この際、ジョ
イスティック３８を用いてカーソル出力装置１８に入力
を与えることによって、カーソルの間隔を変えずに、リ
ード部１６およびパッド部１７の画像に合わせて、カー
ソルの位置と向きを制御することができるので、許容限
度の判定を容易に行うことができる。
【００６３】なお、判定用カーソルの形状として、直交
する、同一間隔を有する２本線からなるものを用いても
よい。ＩＣ（ＱＦＰ）は、直交する各辺にリードを有し
ているが、このようなカーソルを使用することによっ
て、直交する各辺のリード部とパッド部のズレ限度値の
検査を行う場合に、その都度、判定用カーソルを回転さ
せる必要がなくなる。
する、同一間隔を有する２本線からなるものを用いても
よい。ＩＣ（ＱＦＰ）は、直交する各辺にリードを有し
ているが、このようなカーソルを使用することによっ
て、直交する各辺のリード部とパッド部のズレ限度値の
検査を行う場合に、その都度、判定用カーソルを回転さ
せる必要がなくなる。
【００６４】また判定用カーソルの形状として、円形状
の図形を用いてもよい。プリント基板に斜めに実装され
たＩＣ（ＱＦＰ）は、拡大画像上においても、画像の水
平方向に対して斜め方向に、その直交する各辺が表示さ
れるが、このようなカーソルを使用することによって、
斜めに実装されたＩＣ（ＱＦＰ）に対しても、直交する
各辺のリード部とパッド部のズレ限度値の検査を行う場
合に、その都度、判定用カーソルを回転させる必要がな
くなる。
の図形を用いてもよい。プリント基板に斜めに実装され
たＩＣ（ＱＦＰ）は、拡大画像上においても、画像の水
平方向に対して斜め方向に、その直交する各辺が表示さ
れるが、このようなカーソルを使用することによって、
斜めに実装されたＩＣ（ＱＦＰ）に対しても、直交する
各辺のリード部とパッド部のズレ限度値の検査を行う場
合に、その都度、判定用カーソルを回転させる必要がな
くなる。
【００６５】さらに判定用カーソルとして、その内部を
単一色で一様に彩色されたものを用いてもよく、このよ
うにすることによって、上記の直交する、同一間隔を有
する２本線からなる判定用カーソルや、円形状の判定用
カーソル等を用いる場合に、判定用カーソル内部にリー
ド部やパッド部等の拡大画像が表示されることがなくな
るため、判定用カーソルの輪郭部を見誤ることがなく、
判定がしやすくなる。
単一色で一様に彩色されたものを用いてもよく、このよ
うにすることによって、上記の直交する、同一間隔を有
する２本線からなる判定用カーソルや、円形状の判定用
カーソル等を用いる場合に、判定用カーソル内部にリー
ド部やパッド部等の拡大画像が表示されることがなくな
るため、判定用カーソルの輪郭部を見誤ることがなく、
判定がしやすくなる。
【００６６】図８は上記の判定用カーソルの一例を示す
ものである。
ものである。
【００６７】図８に示す各判定用カーソルにおいて、Ａ
は基準寸法を示す。
は基準寸法を示す。
【００６８】（ｃ）、（ｄ）、（ｇ）は直交する、同一
間隔を有する２本線による判定用カーソルであり、
（ｅ）、（ｆ）は円形状の判定用カーソルである。
間隔を有する２本線による判定用カーソルであり、
（ｅ）、（ｆ）は円形状の判定用カーソルである。
【００６９】また（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）は内部を単一
色で一様に彩色された判定用カーソルである。
色で一様に彩色された判定用カーソルである。
【００７０】本発明の検査支援装置は、拡大画像上にお
ける任意の位置を検査対象物体上において指示すること
ができるので、物体の検査支援のみでなく、修正支援に
おいても適用することができる。
ける任意の位置を検査対象物体上において指示すること
ができるので、物体の検査支援のみでなく、修正支援に
おいても適用することができる。
【００７１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、部
品実装基板等の物体を拡大して表示し、拡大画面上で検
出した特定箇所を、その物体（実基板）上で指示するこ
とができるので、同一の装置上で、不良箇所の検査、修
正を容易に行うことができる。
品実装基板等の物体を拡大して表示し、拡大画面上で検
出した特定箇所を、その物体（実基板）上で指示するこ
とができるので、同一の装置上で、不良箇所の検査、修
正を容易に行うことができる。
【００７２】すなわち本発明の検査支援装置では、検査
対象物体からレンズまたはカメラを上昇させた状態で、
または検査対象物体をレンズまたはカメラの位置から平
面的に移動させた状態で、検査対象物体上の特定箇所を
指示することができるので、不良箇所の修正等の作業を
行いやすくなる。
対象物体からレンズまたはカメラを上昇させた状態で、
または検査対象物体をレンズまたはカメラの位置から平
面的に移動させた状態で、検査対象物体上の特定箇所を
指示することができるので、不良箇所の修正等の作業を
行いやすくなる。
【００７３】この場合、検査対象物体を、レンズまたは
カメラから移動させる位置を任意に指定して記憶させる
ことができるので、作業者の利き腕や、修理用具等の条
件に合わせて作業を行うのが容易になる。
カメラから移動させる位置を任意に指定して記憶させる
ことができるので、作業者の利き腕や、修理用具等の条
件に合わせて作業を行うのが容易になる。
【００７４】さらに、本発明によれば、検査対象物体を
拡大表示している画面上に、拡大倍率に応じたズレ限度
を併示することができるので、ズレ量の測定が不必要に
なり、良否の判定が容易になる。
拡大表示している画面上に、拡大倍率に応じたズレ限度
を併示することができるので、ズレ量の測定が不必要に
なり、良否の判定が容易になる。
【図１】本発明の原理的構成（１）を示す図である。
【図２】本発明の原理的構成（２）を示す図であって、
（ａ）はＸ−Ｙテーブルの移動前を示し、（ｂ）はＸ−
Ｙテーブルの移動後を示す。
（ａ）はＸ−Ｙテーブルの移動前を示し、（ｂ）はＸ−
Ｙテーブルの移動後を示す。
【図３】本発明の原理的構成（３）を示す図である。
【図４】本発明の実施形態（１）のシステム構成を示す
図である。
図である。
【図５】本発明の実施形態（２）のシステム構成を示す
図であって、（ａ）は全体の構成を示し、（ｂ）は光学
的指示機構による指示方法、（ｃ）は機械的指示機構に
よる指示方法である。
図であって、（ａ）は全体の構成を示し、（ｂ）は光学
的指示機構による指示方法、（ｃ）は機械的指示機構に
よる指示方法である。
【図６】指示機構の他の例を示す図である。
【図７】本発明の実施形態（３）のシステム構成を示す
図である。
図である。
【図８】本発明の実施形態（３）において用いられる判
定用カーソルの一例を示す図である。
定用カーソルの一例を示す図である。
１ 撮像部 ２ レンズまたはカメラ ３ ハーフミラー ４ Ｘ−Ｙテーブル ５ 検査対象物体 ６ 拡大表示部 ８ 投光装置 １８ カーソル出力装置 ２５ 指示機構 ３４ エンコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柿沢 貞雄 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 関屋 幸雄 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 田中 光一 京都府京都市右京区山ノ内山ノ下町24番地 株式会社オムロンライフサイエンス研究 所内 (72)発明者 山本 則仁 京都府京都市右京区山ノ内山ノ下町24番地 株式会社オムロンライフサイエンス研究 所内 (72)発明者 澤野井 幸哉 京都府京都市右京区山ノ内山ノ下町24番地 株式会社オムロンライフサイエンス研究 所内
Claims (10)
- 【請求項１】 レンズまたはカメラとその前面に設けら
れたハーフミラーとを一体化して備え、該ハーフミラー
からの透過光に基づいて検査対象物体の拡大画像を得る
とともに、該検査対象物体を載置した面に対して上下方
向に移動可能な撮像部と、 該撮像部の下降時において、前記検査対象物体の拡大画
像を表示するとともにに、表示画面上の任意の点を指定
することによって、前記載置面における対応する位置の
座標値を出力する拡大表示部と、 該座標値に応じて投射光の進行方向を制御することによ
って、前記撮像部の上昇時において、前記ハーフミラー
からの反射光に基づいて検査対象物体上の前記指定位置
に光点を形成する投光装置とを備えたことを特徴とする
検査支援装置。 - 【請求項２】 レンズまたはカメラによってＸ−Ｙテー
ブル上に載置された検査対象物体の拡大画像を表示する
拡大表示部と、 該レンズまたはカメラの中心を原点とする前記Ｘ−Ｙテ
ーブルの位置座標上予め定められた座標値だけ離れた特
定位置を指示する指示機構とを備え、 前記レンズまたはカメラの中心が前記拡大画像上におけ
る検査対象物体上の指定位置に一致するように、前記Ｘ
−Ｙテーブルを移動させることによって、該指示機構の
指示する特定位置と検査対象物体上の指示位置とを一致
させるようにしたことを特徴とする検査支援装置。 - 【請求項３】 前記指示機構が、光点によって前記特定
位置を指示することを特徴とする請求項２に記載の検査
支援装置。 - 【請求項４】 前記指示機構が、指示針によって前記特
定位置を指示することを特徴とする請求項２に記載の検
査支援装置。 - 【請求項５】 前記指示機構が、指示位置に対応する座
標値を出力するエンコーダを備え、該座標値に応じて前
記Ｘ−Ｙテーブルを移動させることによって、指示する
特定位置を任意に設定できるようにしたことを特徴とす
る請求項２に記載の検査支援装置。 - 【請求項６】 レンズまたはカメラによって検査対象物
体の拡大画像を表示する拡大表示部に対して、 該拡大表示部の画面上に、該検査対象物体の部品種と拡
大倍率とに応じて異なる間隔を有する判定用カーソルを
表示させるカーソル出力装置を設けたことを特徴とする
検査支援装置。 - 【請求項７】 前記カーソル出力装置が、拡大表示部の
画面上における前記判定用カーソルの位置と向きとを変
化し得るようにしたことを特徴とする請求項６に記載の
検査支援装置。 - 【請求項８】 前記判定用カーソルが、直交する２組の
２本線からなることを特徴とする請求項６または７に記
載の検査支援装置。 - 【請求項９】 前記判定用カーソルが、円形状であるこ
とを特徴とする請求項６または７に記載の検査支援装
置。 - 【請求項１０】 前記判定用カーソルが、その内部を単
一色で一様に彩色されたものであることを特徴とする請
求項６または７に記載の検査支援装置。
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|---|---|---|---|
| JP25827295A JP3183811B2 (ja) | 1994-09-14 | 1995-09-12 | 検査支援装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21994594 | 1994-09-14 | ||
| JP6-219945 | 1994-09-14 | ||
| JP25827295A JP3183811B2 (ja) | 1994-09-14 | 1995-09-12 | 検査支援装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001041625A Division JP2001305065A (ja) | 1994-09-14 | 2001-02-19 | 検査支援装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08189899A true JPH08189899A (ja) | 1996-07-23 |
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Family
ID=26523420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25827295A Expired - Fee Related JP3183811B2 (ja) | 1994-09-14 | 1995-09-12 | 検査支援装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3183811B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1995
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2008193566A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Konica Minolta Opto Inc | 撮像装置用検査装置及び撮像装置の検査方法 |
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