JP2002266811A - 真空チャンバ用空気圧シリンダおよびそれを用いたｘ線分析装置 - Google Patents
真空チャンバ用空気圧シリンダおよびそれを用いたｘ線分析装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空チャンバの外壁に直接取り付けられる空
気圧シリンダにおいて、ピストンロッドが軸回りに回転
せず、しかも、真空チャンバ内への空気漏れを十分に防
止できるもの等を提供する。 【解決手段】 ピストンロッド4 の円柱状の部分が密接
して貫通する円環状のロッドパッキン5 をシリンダ2 の
前部2bに設け、ピストンロッド4 が挿入されることによ
り、ピストンロッド4 の軸回りの回転を阻止する回り止
め孔2fを、シリンダ2 の後部2cに設ける。
気圧シリンダにおいて、ピストンロッドが軸回りに回転
せず、しかも、真空チャンバ内への空気漏れを十分に防
止できるもの等を提供する。 【解決手段】 ピストンロッド4 の円柱状の部分が密接
して貫通する円環状のロッドパッキン5 をシリンダ2 の
前部2bに設け、ピストンロッド4 が挿入されることによ
り、ピストンロッド4 の軸回りの回転を阻止する回り止
め孔2fを、シリンダ2 の後部2cに設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバに用
いられる空気圧シリンダおよびそれを用いたＸ線分析装
置に関するものである。
いられる空気圧シリンダおよびそれを用いたＸ線分析装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば、真空またはヘリウム
雰囲気を形成する真空チャンバを備える蛍光Ｘ線分析装
置において、過剰なＸ線を減衰させる櫛状の減衰板を検
出器の直前で進退させるためや、Ｘ線光路にフィルタや
分光素子を進退させるために、空気圧シリンダが用いら
れている。特に、図６に右側面断面図を示すように、真
空チャンバの外壁（壁の外側の面）１ａに直接取り付け
られる簡単な構造のものがある。この空気圧シリンダ２
７では、筒状で軸方向Ａの前後にカバーを有するシリン
ダ２２の前面２２ａが、真空チャンバの外壁１ａに密接
するように取り付けられる。そのシリンダの前部２２ｂ
および後部２２ｃに設けられたポート２２ｄ，２２ｅに
供給される空気の圧力により、シリンダ２２内を前記軸
方向Ａにピストン３が往復移動する。
雰囲気を形成する真空チャンバを備える蛍光Ｘ線分析装
置において、過剰なＸ線を減衰させる櫛状の減衰板を検
出器の直前で進退させるためや、Ｘ線光路にフィルタや
分光素子を進退させるために、空気圧シリンダが用いら
れている。特に、図６に右側面断面図を示すように、真
空チャンバの外壁（壁の外側の面）１ａに直接取り付け
られる簡単な構造のものがある。この空気圧シリンダ２
７では、筒状で軸方向Ａの前後にカバーを有するシリン
ダ２２の前面２２ａが、真空チャンバの外壁１ａに密接
するように取り付けられる。そのシリンダの前部２２ｂ
および後部２２ｃに設けられたポート２２ｄ，２２ｅに
供給される空気の圧力により、シリンダ２２内を前記軸
方向Ａにピストン３が往復移動する。
【０００３】すなわち、シリンダの後部のポート２２ｅ
への空気の供給が停止し、シリンダの前部のポート２２
ｄへ空気が供給されると、ピストン３は後方へ押されて
移動し（図６の状態）、逆に、シリンダの前部のポート
２２ｄへの空気の供給が停止し、シリンダの後部のポー
ト２２ｅへ空気が供給されると、ピストン３は前方へ押
されて移動する。そのピストン３に棒状のピストンロッ
ド１４の後端部が固定され、前部がシリンダの前部２２
ｂおよび真空チャンバの壁１を貫通することにより、先
端部１４ａが真空チャンバ内で前記軸方向Ａに往復移動
する。ここで、シリンダの前部のポート２２ｄに供給さ
れる空気が、ピストンロッド１４を通すために設けたシ
リンダの前部２２ｂの孔２２ｆおよび真空チャンバの壁
１の孔から、真空チャンバ内に漏れないように、シリン
ダの前部２２ｂには、ピストンロッド１４が密接して貫
通するロッドパッキン１５が設けられている。
への空気の供給が停止し、シリンダの前部のポート２２
ｄへ空気が供給されると、ピストン３は後方へ押されて
移動し（図６の状態）、逆に、シリンダの前部のポート
２２ｄへの空気の供給が停止し、シリンダの後部のポー
ト２２ｅへ空気が供給されると、ピストン３は前方へ押
されて移動する。そのピストン３に棒状のピストンロッ
ド１４の後端部が固定され、前部がシリンダの前部２２
ｂおよび真空チャンバの壁１を貫通することにより、先
端部１４ａが真空チャンバ内で前記軸方向Ａに往復移動
する。ここで、シリンダの前部のポート２２ｄに供給さ
れる空気が、ピストンロッド１４を通すために設けたシ
リンダの前部２２ｂの孔２２ｆおよび真空チャンバの壁
１の孔から、真空チャンバ内に漏れないように、シリン
ダの前部２２ｂには、ピストンロッド１４が密接して貫
通するロッドパッキン１５が設けられている。
【０００４】さて、ピストンロッド１４が軸回りに回転
すると、例えばピストンロッドの先端部１４ａに前記櫛
状の減衰板を取り付けた場合には、その減衰板も回転し
て検出器に入射するＸ線の減衰率が変化するという不具
合があるので、シリンダの前部２２ｂの前記孔２２ｆ
は、ピストンロッド１４が挿入されることにより、ピス
トンロッド１４の軸回りの回転を阻止する回り止め孔２
２ｆになっている。すなわち、ピストンロッド１４を円
柱状とせずに、図７の正面図に示すように、軸に垂直な
断面を例えば小判型とするとともに、回り止め孔２２ｆ
も、ピストンロッド１４に合致する小判型（大きさは、
ピストンロッド１４が前記軸方向Ａに往復移動できるよ
うに、ピストンロッド１４の断面よりもわずかに大き
い）とし、ロッドパッキン１５もピストンロッド１４に
密接する形の環状としている。なお、図６のピストンロ
ッド１４が通る真空チャンバの壁１の孔は、ピストンロ
ッド１４に合致する小判型である必要はない。
すると、例えばピストンロッドの先端部１４ａに前記櫛
状の減衰板を取り付けた場合には、その減衰板も回転し
て検出器に入射するＸ線の減衰率が変化するという不具
合があるので、シリンダの前部２２ｂの前記孔２２ｆ
は、ピストンロッド１４が挿入されることにより、ピス
トンロッド１４の軸回りの回転を阻止する回り止め孔２
２ｆになっている。すなわち、ピストンロッド１４を円
柱状とせずに、図７の正面図に示すように、軸に垂直な
断面を例えば小判型とするとともに、回り止め孔２２ｆ
も、ピストンロッド１４に合致する小判型（大きさは、
ピストンロッド１４が前記軸方向Ａに往復移動できるよ
うに、ピストンロッド１４の断面よりもわずかに大き
い）とし、ロッドパッキン１５もピストンロッド１４に
密接する形の環状としている。なお、図６のピストンロ
ッド１４が通る真空チャンバの壁１の孔は、ピストンロ
ッド１４に合致する小判型である必要はない。
【０００５】以上のように、真空チャンバ内への空気漏
れ防止の機能のみならずピストンロッド１４回転阻止の
機能もシリンダの前部２２ｂにもたせたため、シリンダ
の前部２２ｂに設けるロッドパッキン１５が、断面小判
型のピストンロッド１４に密接するように、円環状でな
く、角のある異形になる。
れ防止の機能のみならずピストンロッド１４回転阻止の
機能もシリンダの前部２２ｂにもたせたため、シリンダ
の前部２２ｂに設けるロッドパッキン１５が、断面小判
型のピストンロッド１４に密接するように、円環状でな
く、角のある異形になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空チャンバ
内は真空またはほぼ大気圧（ヘリウム雰囲気時）である
のに対し、シリンダのポート２２ｄ，２２ｅに供給され
る空気の圧力はゲージ圧で４〜５kgf/cm2 （約４〜５気
圧）であるので、角のある異形のロッドパッキン１５で
は、ピストンロッド１４への密接が不十分で、シリンダ
の前部のポート２２ｄに供給される空気が真空チャンバ
内に漏れるのを十分に防止できず、蛍光Ｘ線分析の結果
が、いまひとつ安定せず、十分正確でなくなるおそれが
あった。ピストンロッド１４の断面形状を六角形等とし
ても同様の問題がある。
内は真空またはほぼ大気圧（ヘリウム雰囲気時）である
のに対し、シリンダのポート２２ｄ，２２ｅに供給され
る空気の圧力はゲージ圧で４〜５kgf/cm2 （約４〜５気
圧）であるので、角のある異形のロッドパッキン１５で
は、ピストンロッド１４への密接が不十分で、シリンダ
の前部のポート２２ｄに供給される空気が真空チャンバ
内に漏れるのを十分に防止できず、蛍光Ｘ線分析の結果
が、いまひとつ安定せず、十分正確でなくなるおそれが
あった。ピストンロッド１４の断面形状を六角形等とし
ても同様の問題がある。
【０００７】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、真空チャンバの外壁に直接取り付けられる空
気圧シリンダにおいて、ピストンロッドが軸回りに回転
せず、しかも、真空チャンバ内への空気漏れを十分に防
止できるもの、および、それを用いて十分正確な分析が
できるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
たもので、真空チャンバの外壁に直接取り付けられる空
気圧シリンダにおいて、ピストンロッドが軸回りに回転
せず、しかも、真空チャンバ内への空気漏れを十分に防
止できるもの、および、それを用いて十分正確な分析が
できるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本願第１の発明の真空チャンバ用空気圧シリンダ
は、真空チャンバに用いられるものであって、まず、筒
状で軸方向の前後にカバーを有し、前面が前記真空チャ
ンバの外壁に密接するように取り付けられるシリンダ
と、そのシリンダの前部および後部に設けられたポート
に供給される空気の圧力により、前記シリンダ内を前記
軸方向に往復移動するピストンとを備えている。また、
前記真空チャンバの壁およびシリンダの前部を貫通し、
前記ピストンに固定されることにより、先端部が前記真
空チャンバ内で前記軸方向に往復移動する棒状のピスト
ンロッドと、前記シリンダの前部に設けられ、前記ピス
トンロッドの円柱状の部分が密接して貫通するロッドパ
ッキンとを備えている。さらに、前記ピストンロッドが
挿入されることにより、前記ピストンロッドの軸回りの
回転を阻止する回り止め孔が、前記シリンダの後部に設
けられている。
に、本願第１の発明の真空チャンバ用空気圧シリンダ
は、真空チャンバに用いられるものであって、まず、筒
状で軸方向の前後にカバーを有し、前面が前記真空チャ
ンバの外壁に密接するように取り付けられるシリンダ
と、そのシリンダの前部および後部に設けられたポート
に供給される空気の圧力により、前記シリンダ内を前記
軸方向に往復移動するピストンとを備えている。また、
前記真空チャンバの壁およびシリンダの前部を貫通し、
前記ピストンに固定されることにより、先端部が前記真
空チャンバ内で前記軸方向に往復移動する棒状のピスト
ンロッドと、前記シリンダの前部に設けられ、前記ピス
トンロッドの円柱状の部分が密接して貫通するロッドパ
ッキンとを備えている。さらに、前記ピストンロッドが
挿入されることにより、前記ピストンロッドの軸回りの
回転を阻止する回り止め孔が、前記シリンダの後部に設
けられている。
【０００９】本願第１の発明の真空チャンバ用空気圧シ
リンダにおいては、ピストンロッド回転阻止の機能をシ
リンダの後部に、真空チャンバ内への空気漏れ防止の機
能をシリンダの前部にもたせたため、シリンダの前部に
設けるロッドパッキンが、ピストンロッドの断面円形の
部分に十分に密接する円環状になるので、シリンダの前
部のポートに供給される空気が真空チャンバ内に漏れる
のを十分に防止できる。すなわち、真空チャンバの外壁
に直接取り付けられる空気圧シリンダにおいて、ピスト
ンロッドが軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内
への空気漏れを十分に防止できるものとなる。
リンダにおいては、ピストンロッド回転阻止の機能をシ
リンダの後部に、真空チャンバ内への空気漏れ防止の機
能をシリンダの前部にもたせたため、シリンダの前部に
設けるロッドパッキンが、ピストンロッドの断面円形の
部分に十分に密接する円環状になるので、シリンダの前
部のポートに供給される空気が真空チャンバ内に漏れる
のを十分に防止できる。すなわち、真空チャンバの外壁
に直接取り付けられる空気圧シリンダにおいて、ピスト
ンロッドが軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内
への空気漏れを十分に防止できるものとなる。
【００１０】本願第２の発明の真空チャンバ用空気圧シ
リンダも真空チャンバに用いられるものであって、ま
ず、筒状で軸方向の前後にカバーを有し、前面が前記真
空チャンバの外壁に密接するように取り付けられるシリ
ンダと、そのシリンダに設けられたコイルばねの弾力お
よび前記シリンダの後部に設けられたポートに供給され
る空気の圧力により、前記シリンダ内を前記軸方向に往
復移動するピストンとを備えている。また、前記真空チ
ャンバの壁およびシリンダの前部を貫通し、前記ピスト
ンに固定されることにより、先端部が前記真空チャンバ
内で前記軸方向に往復移動する棒状のピストンロッド
と、前記シリンダの前部に設けられ、前記ピストンロッ
ドが密接して貫通するロッドパッキンとを備えている。
さらに、前記ピストンロッドが挿入されることにより、
前記ピストンロッドの軸回りの回転を阻止する回り止め
孔が、前記シリンダの前部に設けられている。
リンダも真空チャンバに用いられるものであって、ま
ず、筒状で軸方向の前後にカバーを有し、前面が前記真
空チャンバの外壁に密接するように取り付けられるシリ
ンダと、そのシリンダに設けられたコイルばねの弾力お
よび前記シリンダの後部に設けられたポートに供給され
る空気の圧力により、前記シリンダ内を前記軸方向に往
復移動するピストンとを備えている。また、前記真空チ
ャンバの壁およびシリンダの前部を貫通し、前記ピスト
ンに固定されることにより、先端部が前記真空チャンバ
内で前記軸方向に往復移動する棒状のピストンロッド
と、前記シリンダの前部に設けられ、前記ピストンロッ
ドが密接して貫通するロッドパッキンとを備えている。
さらに、前記ピストンロッドが挿入されることにより、
前記ピストンロッドの軸回りの回転を阻止する回り止め
孔が、前記シリンダの前部に設けられている。
【００１１】本願第２の発明の真空チャンバ用空気圧シ
リンダにおいては、ピストンを後方へ移動させるのはコ
イルばねであり、シリンダの前部には高圧の空気は供給
されずたかだか大気圧であるので、シリンダの前部に設
けるロッドパッキンが、ピストンロッド回転阻止に対応
して角のある異形であっても、真空チャンバ内への空気
漏れを十分に防止できる。すなわち、真空チャンバの外
壁に直接取り付けられる空気圧シリンダにおいて、ピス
トンロッドが軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ
内への空気漏れを十分に防止できるものとなる。
リンダにおいては、ピストンを後方へ移動させるのはコ
イルばねであり、シリンダの前部には高圧の空気は供給
されずたかだか大気圧であるので、シリンダの前部に設
けるロッドパッキンが、ピストンロッド回転阻止に対応
して角のある異形であっても、真空チャンバ内への空気
漏れを十分に防止できる。すなわち、真空チャンバの外
壁に直接取り付けられる空気圧シリンダにおいて、ピス
トンロッドが軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ
内への空気漏れを十分に防止できるものとなる。
【００１２】本願第３の発明のＸ線分析装置は、真空チ
ャンバを備え、前記本願第１または第２の発明の真空チ
ャンバ用空気圧シリンダを用いたものである。このＸ線
分析装置によれば、真空チャンバに前記本願第１または
第２の発明の真空チャンバ用空気圧シリンダを用いてい
るので、真空チャンバ内への空気漏れを十分に防止で
き、Ｘ線分析の結果が、十分安定し、正確なものとな
る。
ャンバを備え、前記本願第１または第２の発明の真空チ
ャンバ用空気圧シリンダを用いたものである。このＸ線
分析装置によれば、真空チャンバに前記本願第１または
第２の発明の真空チャンバ用空気圧シリンダを用いてい
るので、真空チャンバ内への空気漏れを十分に防止で
き、Ｘ線分析の結果が、十分安定し、正確なものとな
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態の真
空チャンバ用空気圧シリンダを図面にしたがって説明す
る。この空気圧シリンダ７は、真空チャンバに用いられ
るものであって、図１の右側面断面図に示すように、ま
ず、筒状で軸方向Ａの前後にカバーを有し、前面２ａが
真空チャンバの外壁１ａに密接するように取り付けられ
るシリンダ２と、後述するピストンロッド４が固定さ
れ、シリンダ２の前部２ｂおよび後部２ｃに設けられた
ポート２ｄ，２ｅに供給される空気の圧力によりシリン
ダ２内を前記軸方向Ａに往復移動するピストン３とを備
えている。シリンダ２は、円筒状のシリンダチューブと
その開口を塞ぐように軸方向Ａの前後に取り付けられた
カバーからなるが、ここでは一体的に図示している。前
カバーはシリンダ２の前部２ｂを構成し、後カバーはシ
リンダ２の後部２ｃを構成する。ピストン３の往復移動
の原理は、従来の技術で述べたのと同様である。
空チャンバ用空気圧シリンダを図面にしたがって説明す
る。この空気圧シリンダ７は、真空チャンバに用いられ
るものであって、図１の右側面断面図に示すように、ま
ず、筒状で軸方向Ａの前後にカバーを有し、前面２ａが
真空チャンバの外壁１ａに密接するように取り付けられ
るシリンダ２と、後述するピストンロッド４が固定さ
れ、シリンダ２の前部２ｂおよび後部２ｃに設けられた
ポート２ｄ，２ｅに供給される空気の圧力によりシリン
ダ２内を前記軸方向Ａに往復移動するピストン３とを備
えている。シリンダ２は、円筒状のシリンダチューブと
その開口を塞ぐように軸方向Ａの前後に取り付けられた
カバーからなるが、ここでは一体的に図示している。前
カバーはシリンダ２の前部２ｂを構成し、後カバーはシ
リンダ２の後部２ｃを構成する。ピストン３の往復移動
の原理は、従来の技術で述べたのと同様である。
【００１４】この空気圧シリンダ７が備える棒状のピス
トンロッド４は、前部が真空チャンバの壁１ａおよびシ
リンダの前部２ｂを貫通し、後部がピストン３に固定さ
れることにより、先端部４ａが真空チャンバ内で前記軸
方向Ａに往復移動する。シリンダの前部２ｂには、ピス
トンロッド４の円柱状の部分が密接して貫通するロッド
パッキン５が設けられている。さらに、ピストンロッド
４の後端部４ｂが挿入されることにより、ピストンロッ
ド４の軸回りの回転を阻止する回り止め孔２ｆが、シリ
ンダの後部２ｃに設けられている。
トンロッド４は、前部が真空チャンバの壁１ａおよびシ
リンダの前部２ｂを貫通し、後部がピストン３に固定さ
れることにより、先端部４ａが真空チャンバ内で前記軸
方向Ａに往復移動する。シリンダの前部２ｂには、ピス
トンロッド４の円柱状の部分が密接して貫通するロッド
パッキン５が設けられている。さらに、ピストンロッド
４の後端部４ｂが挿入されることにより、ピストンロッ
ド４の軸回りの回転を阻止する回り止め孔２ｆが、シリ
ンダの後部２ｃに設けられている。
【００１５】すなわち、ピストンロッドの後端部４ｂを
円柱状とせずに、図３の背面図に示すように、軸に垂直
な断面を例えば小判型とするとともに、回り止め孔２ｆ
も、ピストンロッドの後端部４ｂに合致する小判型（大
きさは、ピストンロッド４が前記軸方向Ａに往復移動で
きるように、ピストンロッドの後端部４ｂの断面よりも
わずかに大きい）としている。そして、ピストンロッド
４の他の部分については、図２の正面図に示すように、
先端部４ａを、減衰板等の取り付けのために、軸に垂直
な断面を例えば半円型とする以外は、円柱状とするとと
もに、ロッドパッキン５もピストンロッド４の円柱状の
部分に密接する円環状としている。ピストンロッドの後
端部４ｂの断面形状および回り止め孔２ｆの形状は、六
角形等でもよい。
円柱状とせずに、図３の背面図に示すように、軸に垂直
な断面を例えば小判型とするとともに、回り止め孔２ｆ
も、ピストンロッドの後端部４ｂに合致する小判型（大
きさは、ピストンロッド４が前記軸方向Ａに往復移動で
きるように、ピストンロッドの後端部４ｂの断面よりも
わずかに大きい）としている。そして、ピストンロッド
４の他の部分については、図２の正面図に示すように、
先端部４ａを、減衰板等の取り付けのために、軸に垂直
な断面を例えば半円型とする以外は、円柱状とするとと
もに、ロッドパッキン５もピストンロッド４の円柱状の
部分に密接する円環状としている。ピストンロッドの後
端部４ｂの断面形状および回り止め孔２ｆの形状は、六
角形等でもよい。
【００１６】以上のように、第１実施形態の真空チャン
バ用空気圧シリンダ７においては、ピストンロッド回転
阻止の機能をシリンダの後部２ｃに、真空チャンバ内へ
の空気漏れ防止の機能をシリンダの前部２ａにもたせた
ため、シリンダの前部２ａに設けるロッドパッキン５
が、ピストンロッド４の断面円形の部分に十分に密接す
る円環状になるので、シリンダの前部のポート２ｄに供
給される空気が真空チャンバ内に漏れるのを十分に防止
できる。すなわち、真空チャンバの外壁１ａに直接取り
付けられる空気圧シリンダにおいて、ピストンロッド４
が軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内への空気
漏れを十分に防止できるものとなる。
バ用空気圧シリンダ７においては、ピストンロッド回転
阻止の機能をシリンダの後部２ｃに、真空チャンバ内へ
の空気漏れ防止の機能をシリンダの前部２ａにもたせた
ため、シリンダの前部２ａに設けるロッドパッキン５
が、ピストンロッド４の断面円形の部分に十分に密接す
る円環状になるので、シリンダの前部のポート２ｄに供
給される空気が真空チャンバ内に漏れるのを十分に防止
できる。すなわち、真空チャンバの外壁１ａに直接取り
付けられる空気圧シリンダにおいて、ピストンロッド４
が軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内への空気
漏れを十分に防止できるものとなる。
【００１７】次に、本発明の第２実施形態の真空チャン
バ用空気圧シリンダについて説明する。この空気圧シリ
ンダ１７も真空チャンバに用いられるものであって、図
４の右側面断面図に示すように、まず、筒状で軸方向Ａ
の前後にカバーを有し、前面１２ａが真空チャンバの外
壁１ａに密接するように取り付けられるシリンダ１２
と、後述するピストンロッド１４が固定され、シリンダ
１２に設けられたコイルばね６の弾力およびシリンダ１
２の後部１２ｃに設けられたポート１２ｅに供給される
空気の圧力によりシリンダ１２内を前記軸方向Ａに往復
移動するピストン３とを備えている。シリンダ１２は、
円筒状のシリンダチューブとその開口を塞ぐように軸方
向Ａの前後に取り付けられたカバーからなるが、ここで
は一体的に図示している。前カバーはシリンダ１２の前
部１２ｂを構成し、後カバーはシリンダ１２の後部１２
ｃを構成する。
バ用空気圧シリンダについて説明する。この空気圧シリ
ンダ１７も真空チャンバに用いられるものであって、図
４の右側面断面図に示すように、まず、筒状で軸方向Ａ
の前後にカバーを有し、前面１２ａが真空チャンバの外
壁１ａに密接するように取り付けられるシリンダ１２
と、後述するピストンロッド１４が固定され、シリンダ
１２に設けられたコイルばね６の弾力およびシリンダ１
２の後部１２ｃに設けられたポート１２ｅに供給される
空気の圧力によりシリンダ１２内を前記軸方向Ａに往復
移動するピストン３とを備えている。シリンダ１２は、
円筒状のシリンダチューブとその開口を塞ぐように軸方
向Ａの前後に取り付けられたカバーからなるが、ここで
は一体的に図示している。前カバーはシリンダ１２の前
部１２ｂを構成し、後カバーはシリンダ１２の後部１２
ｃを構成する。
【００１８】ピストン３の往復移動の原理は、従来の技
術や第１実施形態で述べたのと異なり、以下のようであ
る。すなわち、シリンダの前部１２ｂに設けられた凹部
に前端部が嵌まり込んだコイルばね６は、後端部でピス
トン３を後方へ付勢しているが（図４に示す状態）、シ
リンダの後部のポート１２ｅへ空気が供給されると、ピ
ストン３は空気圧で前方へ押されて移動し、シリンダの
後部のポート１２ｅへの空気の供給が停止すると、ピス
トン３はコイルばね６の弾力（伸張力）により後方へ押
されて移動する。第２実施形態の真空チャンバ用空気圧
シリンダ１７では、シリンダの前部１２ｂに設けられた
ポート１２ｇには、ピストン３を移動させるための空気
は供給されず、単にシリンダ１２内部を大気と連通させ
るための孔である。
術や第１実施形態で述べたのと異なり、以下のようであ
る。すなわち、シリンダの前部１２ｂに設けられた凹部
に前端部が嵌まり込んだコイルばね６は、後端部でピス
トン３を後方へ付勢しているが（図４に示す状態）、シ
リンダの後部のポート１２ｅへ空気が供給されると、ピ
ストン３は空気圧で前方へ押されて移動し、シリンダの
後部のポート１２ｅへの空気の供給が停止すると、ピス
トン３はコイルばね６の弾力（伸張力）により後方へ押
されて移動する。第２実施形態の真空チャンバ用空気圧
シリンダ１７では、シリンダの前部１２ｂに設けられた
ポート１２ｇには、ピストン３を移動させるための空気
は供給されず、単にシリンダ１２内部を大気と連通させ
るための孔である。
【００１９】この空気圧シリンダ１７が備える棒状のピ
ストンロッド１４は、従来の技術で述べたのと同じもの
であり、前部が真空チャンバの壁１ａの孔およびシリン
ダの前部１２ｂの孔１２ｆを貫通し、後端部がピストン
３に固定されることにより、先端部１４ａが真空チャン
バ内で前記軸方向Ａに往復移動する。シリンダの前部１
２ｂには、ピストンロッド１４が密接して貫通するロッ
ドパッキン１５が設けられている。さらに、シリンダの
前部１２ｂの前記孔１２ｆは、ピストンロッド１４が挿
入されることにより、ピストンロッド１４の軸回りの回
転を阻止する回り止め孔１２ｆになっている。
ストンロッド１４は、従来の技術で述べたのと同じもの
であり、前部が真空チャンバの壁１ａの孔およびシリン
ダの前部１２ｂの孔１２ｆを貫通し、後端部がピストン
３に固定されることにより、先端部１４ａが真空チャン
バ内で前記軸方向Ａに往復移動する。シリンダの前部１
２ｂには、ピストンロッド１４が密接して貫通するロッ
ドパッキン１５が設けられている。さらに、シリンダの
前部１２ｂの前記孔１２ｆは、ピストンロッド１４が挿
入されることにより、ピストンロッド１４の軸回りの回
転を阻止する回り止め孔１２ｆになっている。
【００２０】すなわち、従来の技術で述べたのと同様
に、ピストンロッド１４を円柱状とせずに、図５の正面
図に示すように、軸に垂直な断面を例えば小判型とする
とともに、回り止め孔１２ｆも、ピストンロッド１４に
合致する小判型（大きさは、ピストンロッド１４が前記
軸方向Ａに往復移動できるように、ピストンロッド１４
の断面よりもわずかに大きい）とし、ロッドパッキン１
５もピストンロッド１４に密接する形の環状としてい
る。なお、ピストンロッドの先端部１４ａは、減衰板等
の取り付けのために、軸に垂直な断面を例えば半小判型
とする。ピストンロッド１４の断面形状および回り止め
孔１２ｆの形状は、六角形等でもよく、ロッドパッキン
１５もそのピストンロッド１４に密接する形の環状とす
ればよい。
に、ピストンロッド１４を円柱状とせずに、図５の正面
図に示すように、軸に垂直な断面を例えば小判型とする
とともに、回り止め孔１２ｆも、ピストンロッド１４に
合致する小判型（大きさは、ピストンロッド１４が前記
軸方向Ａに往復移動できるように、ピストンロッド１４
の断面よりもわずかに大きい）とし、ロッドパッキン１
５もピストンロッド１４に密接する形の環状としてい
る。なお、ピストンロッドの先端部１４ａは、減衰板等
の取り付けのために、軸に垂直な断面を例えば半小判型
とする。ピストンロッド１４の断面形状および回り止め
孔１２ｆの形状は、六角形等でもよく、ロッドパッキン
１５もそのピストンロッド１４に密接する形の環状とす
ればよい。
【００２１】以上のように、第２実施形態の真空チャン
バ用空気圧シリンダ１７においては、ピストン３を後方
へ移動させるのはコイルばね６であり、シリンダの前部
１２ｂには高圧の空気は供給されずたかだか大気圧であ
るので、シリンダの前部１２ｂに設けるロッドパッキン
１５が、ピストンロッド１４回転阻止に対応して角のあ
る異形であっても、真空チャンバ内への空気漏れを十分
に防止できる。すなわち、真空チャンバの外壁１ａに直
接取り付けられる空気圧シリンダにおいて、ピストンロ
ッド１４が軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内
への空気漏れを十分に防止できるものとなる。
バ用空気圧シリンダ１７においては、ピストン３を後方
へ移動させるのはコイルばね６であり、シリンダの前部
１２ｂには高圧の空気は供給されずたかだか大気圧であ
るので、シリンダの前部１２ｂに設けるロッドパッキン
１５が、ピストンロッド１４回転阻止に対応して角のあ
る異形であっても、真空チャンバ内への空気漏れを十分
に防止できる。すなわち、真空チャンバの外壁１ａに直
接取り付けられる空気圧シリンダにおいて、ピストンロ
ッド１４が軸回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内
への空気漏れを十分に防止できるものとなる。
【００２２】次に、本発明の第３実施形態のＸ線分析装
置について説明する。まず、その構成について説明す
る。図８に示すように、この装置は、真空またはヘリウ
ム雰囲気を形成する真空チャンバ１１（真空チャンバの
壁１およびその内部空間）を備え、前記第１または第２
実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ７，１７を用
いた蛍光Ｘ線分析装置である。具体的には、まず、真空
チャンバ１１内に、Ｘ線管３１の少なくとも先端部、試
料台３２、分光素子３３および検出器３４を備えてい
る。
置について説明する。まず、その構成について説明す
る。図８に示すように、この装置は、真空またはヘリウ
ム雰囲気を形成する真空チャンバ１１（真空チャンバの
壁１およびその内部空間）を備え、前記第１または第２
実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ７，１７を用
いた蛍光Ｘ線分析装置である。具体的には、まず、真空
チャンバ１１内に、Ｘ線管３１の少なくとも先端部、試
料台３２、分光素子３３および検出器３４を備えてい
る。
【００２３】また、検出器３４への過剰なＸ線３９を減
衰させる櫛状の減衰板３５を検出器３４の直前で進退さ
せるために、前記第１または第２実施形態の真空チャン
バ用空気圧シリンダ７，１７を、真空チャンバの外壁１
ａに直接取り付けている。すなわち、空気圧シリンダ
７，１７の前面２ａ，１２ａが、真空チャンバの外壁１
ａに密接するように取り付けられ、真空チャンバ１１内
で、ピストンロッドの先端部４ａ，１４ａおよびそこに
取り付けられた減衰板３５が、シリンダの軸方向Ａ（分
光素子３３から検出器３４へのＸ線光路に直交する）に
往復移動される。図８では、減衰板３５が検出器３４の
直前に進出した状態を示している。なお、減衰板３５
は、分光素子３３と検出器３４との間において検出器３
４の直前以外でＸ線光路に進退させてもよく、Ｘ線管３
１と試料３６との間や、試料３６と分光素子３３との間
においてＸ線光路に進退させてもよい。また、減衰板３
５に限らず、Ｘ線光路にフィルタを進退させるためや、
複数備えた分光素子から選択的に１つをＸ線光路に進出
させるために、空気圧シリンダ７，１７を用いてもよ
い。
衰させる櫛状の減衰板３５を検出器３４の直前で進退さ
せるために、前記第１または第２実施形態の真空チャン
バ用空気圧シリンダ７，１７を、真空チャンバの外壁１
ａに直接取り付けている。すなわち、空気圧シリンダ
７，１７の前面２ａ，１２ａが、真空チャンバの外壁１
ａに密接するように取り付けられ、真空チャンバ１１内
で、ピストンロッドの先端部４ａ，１４ａおよびそこに
取り付けられた減衰板３５が、シリンダの軸方向Ａ（分
光素子３３から検出器３４へのＸ線光路に直交する）に
往復移動される。図８では、減衰板３５が検出器３４の
直前に進出した状態を示している。なお、減衰板３５
は、分光素子３３と検出器３４との間において検出器３
４の直前以外でＸ線光路に進退させてもよく、Ｘ線管３
１と試料３６との間や、試料３６と分光素子３３との間
においてＸ線光路に進退させてもよい。また、減衰板３
５に限らず、Ｘ線光路にフィルタを進退させるためや、
複数備えた分光素子から選択的に１つをＸ線光路に進出
させるために、空気圧シリンダ７，１７を用いてもよ
い。
【００２４】次に、この装置の動作について説明する。
真空チャンバ１１内に真空またはヘリウム雰囲気を形成
し、試料台３２に載置した試料３６に、Ｘ線管３１から
１次Ｘ線３７を照射し、試料３６から発生した蛍光Ｘ線
３８を分光素子３３で分光し、測定対象の波長の蛍光Ｘ
線３９を得る。ここで、この分光した蛍光Ｘ線３９が検
出器３４に対し過剰な強度であると考えられる場合に
は、空気圧シリンダ７，１７により、減衰板３５を検出
器３４の直前に進出させておき、減衰板３５により強度
を適切に減衰させた蛍光Ｘ線４０を検出器３４に入射さ
せてその強度を測定する。もとの蛍光Ｘ線３９の強度
は、減衰板３５の減衰比に基づいて計算される。分光し
た蛍光Ｘ線３９が検出器３４に対し適切な強度であると
考えられる場合には、空気圧シリンダ７，１７により、
減衰板３５を検出器３４の直前から退避させておき、分
光した蛍光Ｘ線３９をそのまま検出器３４に入射させて
その強度を測定する。
真空チャンバ１１内に真空またはヘリウム雰囲気を形成
し、試料台３２に載置した試料３６に、Ｘ線管３１から
１次Ｘ線３７を照射し、試料３６から発生した蛍光Ｘ線
３８を分光素子３３で分光し、測定対象の波長の蛍光Ｘ
線３９を得る。ここで、この分光した蛍光Ｘ線３９が検
出器３４に対し過剰な強度であると考えられる場合に
は、空気圧シリンダ７，１７により、減衰板３５を検出
器３４の直前に進出させておき、減衰板３５により強度
を適切に減衰させた蛍光Ｘ線４０を検出器３４に入射さ
せてその強度を測定する。もとの蛍光Ｘ線３９の強度
は、減衰板３５の減衰比に基づいて計算される。分光し
た蛍光Ｘ線３９が検出器３４に対し適切な強度であると
考えられる場合には、空気圧シリンダ７，１７により、
減衰板３５を検出器３４の直前から退避させておき、分
光した蛍光Ｘ線３９をそのまま検出器３４に入射させて
その強度を測定する。
【００２５】さて、真空チャンバ１１内への空気漏れが
あると、測定される蛍光Ｘ線３９，４０の強度が徐々に
低下するが、その影響は、真空チャンバ１１内を真空ポ
ンプで引きながら真空雰囲気として測定する場合より
も、真空チャンバ１１内にヘリウムを流入させながらヘ
リウム雰囲気として測定する場合の方が、現れやすい。
そこで、真空チャンバ１１内をヘリウム雰囲気として、
第１、第２実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ
７，１７の他に、対比のため前記従来の空気圧シリンダ
２７（図６）をも用いて、それぞれの場合について、減
衰板３５を取り外した状態でピストンロッドの先端部４
ａ，１４ａを往復移動させ、時間の経過につれ蛍光Ｘ線
３９の測定強度が低下する勾配を調べると、第１、第２
実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ７，１７を用
いた場合とも、従来の空気圧シリンダ２７を用いた場合
の約３分の１であった。
あると、測定される蛍光Ｘ線３９，４０の強度が徐々に
低下するが、その影響は、真空チャンバ１１内を真空ポ
ンプで引きながら真空雰囲気として測定する場合より
も、真空チャンバ１１内にヘリウムを流入させながらヘ
リウム雰囲気として測定する場合の方が、現れやすい。
そこで、真空チャンバ１１内をヘリウム雰囲気として、
第１、第２実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ
７，１７の他に、対比のため前記従来の空気圧シリンダ
２７（図６）をも用いて、それぞれの場合について、減
衰板３５を取り外した状態でピストンロッドの先端部４
ａ，１４ａを往復移動させ、時間の経過につれ蛍光Ｘ線
３９の測定強度が低下する勾配を調べると、第１、第２
実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ７，１７を用
いた場合とも、従来の空気圧シリンダ２７を用いた場合
の約３分の１であった。
【００２６】以上のように、第１、第２実施形態の真空
チャンバ用空気圧シリンダ７，１７は、従来の空気圧シ
リンダ２７に比べ、真空チャンバ１１内への空気漏れが
少ないことが検証された。したがって、真空チャンバ１
１に第１、第２実施形態の真空チャンバ用空気圧シリン
ダ７，１７を用いる第３実施形態のＸ線分析装置によれ
ば、真空チャンバ１１内への空気漏れを十分に防止で
き、Ｘ線分析の結果が、十分安定し、正確なものとな
る。なお、真空チャンバを備え、上述したのと同様に第
１、第２実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ７，
１７を用いたＸ線回折装置も本発明に含まれる。
チャンバ用空気圧シリンダ７，１７は、従来の空気圧シ
リンダ２７に比べ、真空チャンバ１１内への空気漏れが
少ないことが検証された。したがって、真空チャンバ１
１に第１、第２実施形態の真空チャンバ用空気圧シリン
ダ７，１７を用いる第３実施形態のＸ線分析装置によれ
ば、真空チャンバ１１内への空気漏れを十分に防止で
き、Ｘ線分析の結果が、十分安定し、正確なものとな
る。なお、真空チャンバを備え、上述したのと同様に第
１、第２実施形態の真空チャンバ用空気圧シリンダ７，
１７を用いたＸ線回折装置も本発明に含まれる。
【００２７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の真
空チャンバ用空気圧シリンダによれば、真空チャンバの
外壁に直接取り付けることができ、ピストンロッドが軸
回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内への空気漏れ
を十分に防止できる。また、本発明のＸ線分析装置によ
れば、真空チャンバに前記本発明の真空チャンバ用空気
圧シリンダを用いているので、真空チャンバ内への空気
漏れを十分に防止でき、Ｘ線分析の結果が、十分安定
し、正確なものとなる。
空チャンバ用空気圧シリンダによれば、真空チャンバの
外壁に直接取り付けることができ、ピストンロッドが軸
回りに回転せず、しかも、真空チャンバ内への空気漏れ
を十分に防止できる。また、本発明のＸ線分析装置によ
れば、真空チャンバに前記本発明の真空チャンバ用空気
圧シリンダを用いているので、真空チャンバ内への空気
漏れを十分に防止でき、Ｘ線分析の結果が、十分安定
し、正確なものとなる。
【図１】本発明の第１実施形態の真空チャンバ用空気圧
シリンダを示す右側面断面図である。
シリンダを示す右側面断面図である。
【図２】同空気圧シリンダを示す正面図である。
【図３】同空気圧シリンダを示す背面図である。
【図４】本発明の第２実施形態の真空チャンバ用空気圧
シリンダを示す右側面断面図である。
シリンダを示す右側面断面図である。
【図５】同空気圧シリンダを示す正面図である。
【図６】従来の空気圧シリンダの一例を示す右側面断面
図である。
図である。
【図７】同空気圧シリンダを示す正面図である。
【図８】本発明の第３実施形態のＸ線分析装置を示す概
略図である。
略図である。
１…真空チャンバの壁、１ａ…真空チャンバの外壁、
２，１２…シリンダ、２ａ，１２ａ…シリンダの前面、
２ｂ，１２ｂ…シリンダの前部、２ｃ，１２ｃ…シリン
ダの後部、２ｄ…シリンダの前部に設けられた空気供給
ポート、２ｅ，１２ｅ…シリンダの後部に設けられた空
気供給ポート、２ｆ，１２ｆ…回り止め孔、３…ピスト
ン、４，１４…ピストンロッド、４ａ，１４ａ…ピスト
ンロッドの先端部、５，１５…ロッドパッキン、６…コ
イルばね、７，１７…真空チャンバ用空気圧シリンダ、
１１…真空チャンバ、Ａ…シリンダの軸方向。
２，１２…シリンダ、２ａ，１２ａ…シリンダの前面、
２ｂ，１２ｂ…シリンダの前部、２ｃ，１２ｃ…シリン
ダの後部、２ｄ…シリンダの前部に設けられた空気供給
ポート、２ｅ，１２ｅ…シリンダの後部に設けられた空
気供給ポート、２ｆ，１２ｆ…回り止め孔、３…ピスト
ン、４，１４…ピストンロッド、４ａ，１４ａ…ピスト
ンロッドの先端部、５，１５…ロッドパッキン、６…コ
イルばね、７，１７…真空チャンバ用空気圧シリンダ、
１１…真空チャンバ、Ａ…シリンダの軸方向。
Claims (3)
- 【請求項１】 真空チャンバに用いられる空気圧シリン
ダであって、 筒状で軸方向の前後にカバーを有し、前面が前記真空チ
ャンバの外壁に密接するように取り付けられるシリンダ
と、 そのシリンダの前部および後部に設けられたポートに供
給される空気の圧力により、前記シリンダ内を前記軸方
向に往復移動するピストンと、 前記真空チャンバの壁およびシリンダの前部を貫通し、
前記ピストンに固定されることにより、先端部が前記真
空チャンバ内で前記軸方向に往復移動する棒状のピスト
ンロッドと、 前記シリンダの前部に設けられ、前記ピストンロッドの
円柱状の部分が密接して貫通するロッドパッキンとを備
え、 前記ピストンロッドが挿入されることにより、前記ピス
トンロッドの軸回りの回転を阻止する回り止め孔が、前
記シリンダの後部に設けられている真空チャンバ用空気
圧シリンダ。 - 【請求項２】 真空チャンバに用いられる空気圧シリン
ダであって、 筒状で軸方向の前後にカバーを有し、前面が前記真空チ
ャンバの外壁に密接するように取り付けられるシリンダ
と、 そのシリンダに設けられたコイルばねの弾力および前記
シリンダの後部に設けられたポートに供給される空気の
圧力により、前記シリンダ内を前記軸方向に往復移動す
るピストンと、 前記真空チャンバの壁およびシリンダの前部を貫通し、
前記ピストンに固定されることにより、先端部が前記真
空チャンバ内で前記軸方向に往復移動する棒状のピスト
ンロッドと、 前記シリンダの前部に設けられ、前記ピストンロッドが
密接して貫通するロッドパッキンとを備え、 前記ピストンロッドが挿入されることにより、前記ピス
トンロッドの軸回りの回転を阻止する回り止め孔が、前
記シリンダの前部に設けられている真空チャンバ用空気
圧シリンダ。 - 【請求項３】 真空チャンバを備え、請求項１または２
の真空チャンバ用空気圧シリンダを用いたＸ線分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001060035A JP3620023B2 (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 蛍光ｘ線分析装置の真空チャンバ用空気圧シリンダおよびそれを用いた蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001060035A JP3620023B2 (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 蛍光ｘ線分析装置の真空チャンバ用空気圧シリンダおよびそれを用いた蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002266811A true JP2002266811A (ja) | 2002-09-18 |
| JP3620023B2 JP3620023B2 (ja) | 2005-02-16 |
Family
ID=18919508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001060035A Expired - Fee Related JP3620023B2 (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 蛍光ｘ線分析装置の真空チャンバ用空気圧シリンダおよびそれを用いた蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3620023B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103422767A (zh) * | 2013-07-29 | 2013-12-04 | 中国原子能科学研究院 | 一种气动双行程屏蔽快门 |
| CN109490332A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-03-19 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 测试转台 |
-
2001
- 2001-03-05 JP JP2001060035A patent/JP3620023B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103422767A (zh) * | 2013-07-29 | 2013-12-04 | 中国原子能科学研究院 | 一种气动双行程屏蔽快门 |
| CN103422767B (zh) * | 2013-07-29 | 2016-06-29 | 中国原子能科学研究院 | 一种气动双行程屏蔽快门 |
| CN109490332A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-03-19 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 测试转台 |
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|---|---|
| JP3620023B2 (ja) | 2005-02-16 |
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