JP2002264335A

JP2002264335A - インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

Info

Publication number: JP2002264335A
Application number: JP2001067687A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Furuhata; 豊古畑
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-03-09
Filing date: 2001-03-09
Publication date: 2002-09-18

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電素子の電流を確実に供給でき、且つ小型
化できるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェッ
ト式記録装置を提供する。【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１
２が画成された流路形成基板１０と、該流路形成基板１
０の一方面側に振動板を介して下電極６０、圧電体層７
０及び上電極８０からなる圧電素子３００とを具備する
インクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基
板１０には、前記圧電素子３００へ駆動信号を送る信号
配線１４１に接続する信号接続部１１２と、前記圧電素
子３００へ電流を供給する電流配線１４０に接続する電
流接続部１１１とを有し、前記信号接続部１１２には外
部からの前記信号配線１４１を異方性導電性接着剤を介
して接続し、且つ前記電流接続部１１１には基端部に外
部からの前記電流配線１４０を接続した接続ピン１３０
の先端を弾性力により付勢して当接させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を吐出す
るノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構
成し、この振動板を介して圧電素子を設けて、圧電素子
の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記
録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インク滴を吐出するノズル開口と連通す
る圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧
電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧して
ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式
記録ヘッドには、圧電素子が軸方向に伸長、収縮する縦
振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、た
わみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの
２種類が実用化されている。

【０００３】前者は圧電素子の端面を振動板に当接させ
ることにより圧力発生室の容積を変化させることができ
て、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反
面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛
歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた
圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必
要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。

【０００４】これに対して後者は、圧電材料のグリーン
シートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼
成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作
り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関
係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難
であるという問題がある。

【０００５】一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消す
べく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるよう
に、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧
電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法に
より圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生
室毎に独立するように圧電素子を形成したものが提案さ
れている。

【０００６】これによれば圧電素子を振動板に貼付ける
作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で、か
つ簡便な手法で圧電素子を作り付けることができるばか
りでなく、圧電素子の厚みを薄くできて高速駆動が可能
になるという利点がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなインクジェット式記録ヘッドでは、印刷動作前のク
リーニング時など、全てのノズル開口からインクを吐出
する場合がある。このとき、例えば、ノズル開口数が１
２８個のインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子に
印加する電流が略２０Ａととても大きくなってしまい、
外部電流の接続された電流接続部は、通常、異方性導電
膜（ＡＣＦ）等で形成されているため、大きな電流には
耐えられず、焼き切れてしまうという虞がある。

【０００８】また、このような問題は、圧電素子を高速
駆動した場合にも同様に発生する虞がある。

【０００９】さらに、このような問題は、幅広の電流接
続部を複数設けることにより解決することができるが、
電流接続部を設ける面積が広くなってしまい、インクジ
ェット式記録ヘッドが大型化してしまうという問題があ
る。

【００１０】本発明はこのような事情に鑑み、圧電素子
の電流を確実に供給でき、且つ小型化できるインクジェ
ット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供
することを課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が
画成された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側
に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる
圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにお
いて、前記流路形成基板には、前記圧電素子へ駆動信号
を送る信号配線に接続する信号接続部と、前記圧電素子
へ電流を供給する電流配線に接続する電流接続部とを有
し、前記信号接続部には外部からの前記信号配線が異方
性導電性接着剤を介して接続され、且つ前記電流接続部
には基端部が外部からの前記電流配線と接続された接続
ピンの先端が弾性力により付勢されて当接されているこ
とを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。

【００１２】かかる第１の態様では、電流接続部に接続
ピンで電流を供給することで狭い面積の電流接続部で大
きな電流を確実に供給することができ電流接続部の焼き
切れ等の破壊を防止することができる。また、信号接続
部の接続に異方性導電接着剤を使用することで小型化す
ることができる。

【００１３】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記圧電素子近傍には、当該圧電素子を駆動する駆
動ＩＣが設けられており、該駆動ＩＣの端子が前記信号
接続部に接続されていることを特徴とするインクジェッ
ト式記録ヘッドにある。

【００１４】かかる第２の態様では、駆動ＩＣを搭載す
ることにより小型化できる。

【００１５】本発明の第３の態様は、第１又は２の態様
において、前記接続ピンが、筒状のハウジング内に軸方
向に移動自在に設けられ、当該ハウジングと前記接続ピ
ンとの間に付勢されたバネ部材により軸方向に付勢され
ていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドに
ある。

【００１６】かかる第３の態様では、接続ピンにより確
実に電流を供給できると共に小型化することができる。

【００１７】本発明の第４の態様は、第１又は２の態様
において、前記接続ピンが撓み変形する部材であり、こ
の撓み変形を利用して先端が当接されていることを特徴
とするインクジェット式記録ヘッドにある。

【００１８】かかる第４の態様では、接続ピンにより確
実に電流を供給できると共に小型化することができる。

【００１９】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、前記流路形成基板の前記圧電素子側に
は、当該流路形成基板を保持する保持部材を有し、該保
持部材に前記接続ピンが設けられていることを特徴とす
るインクジェット式記録ヘッドにある。

【００２０】かかる第５の態様では、保持部材に接続ピ
ンを設けることによって確実に電流を供給できる。

【００２１】本発明の第６の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、前記接続ピンの先端が、前記電流接続
部に少なくとも二点以上で接触していることを特徴とす
るインクジェット式記録ヘッドにある。

【００２２】かかる第６の態様では、二点以上で接触さ
せることで、さらに確実に電流を供給することができ
る。

【００２３】本発明の第７の態様は、第１〜６の何れか
の態様において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基
板からなると共に前記圧力発生室が異方性エッチングに
より形成されていることを特徴とするインクジェット式
記録ヘッドにある。

【００２４】かかる第７の態様では、圧力発生室を容易
に且つ高精度に形成することができる。

【００２５】本発明の第８の態様は、第１〜７の何れか
の態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを
特徴とするインクジェット式記録装置にある。

【００２６】かかる第８の態様では、高速印刷を可能と
したインクジェット式記録装置を実現できる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施形態に基づい
て詳細に説明する。

【００２８】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図
であり、図２は、リザーバ形成基板の上面図、図３は、
図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。

【００２９】図示するように、流路形成基板１０は、本
実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板か
らなる。流路形成基板１０としては、通常、１５０〜３
００μｍ程度の厚さのものが用いられ、望ましくは１８
０〜２８０μｍ程度、より望ましくは２２０μｍ程度の
厚さのものが好適である。これは、隣接する圧力発生室
間の隔壁の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるから
である。

【００３０】流路形成基板１０の一方の面は開口面とな
り、他方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリ
コンからなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が形成され
ている。

【００３１】一方、流路形成基板１０の開口面には、シ
リコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより、
複数の隔壁１１により区画された圧力発生室１２が幅方
向に並設され、その長手方向外側には、後述するリザー
バ形成基板のリザーバ部に連通して各圧力発生室１２の
共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する
連通部１３が形成され、各圧力発生室１２の長手方向一
端部とそれぞれインク供給路１４を介して連通されてい
る。なお、このインク供給路１４も圧力発生室１２と同
様に隔壁１１によって区画されている。

【００３２】ここで、異方性エッチングは、シリコン単
結晶基板をＫＯＨ等のアルカリ溶液に浸漬すると、徐々
に侵食されて（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面
と、この第１の（１１１）面と約７０度の角度をなし且
つ上記（１１０）面と約３５度の角度をなす第２の（１
１１）面とが出現し、（１１０）面のエッチングレート
と比較して（１１１）面のエッチングレートが約１／１
８０であるという性質を利用して行われるものである。
かかる異方性エッチングにより、二つの第１の（１１
１）面と斜めの二つの第２の（１１１）面とで形成され
る平行四辺形状の深さ加工を基本として精密加工を行う
ことができ、圧力発生室１２を高密度に配列することが
できる。

【００３３】本実施形態では、各圧力発生室１２の長辺
を第１の（１１１）面で、短辺を第２の（１１１）面で
形成している。この圧力発生室１２は、流路形成基板１
０をほぼ貫通して弾性膜５０に達するまでエッチングす
ることにより形成されている。ここで、弾性膜５０は、
シリコン単結晶基板をエッチングするアルカリ溶液に侵
される量がきわめて小さい。また各圧力発生室１２の一
端に連通する各インク供給路１４は、圧力発生室１２よ
り浅く形成されており、圧力発生室１２に流入するイン
クの流路抵抗を一定に保持している。すなわち、インク
供給路１４は、シリコン単結晶基板を厚さ方向に途中ま
でエッチング（ハーフエッチング）することにより形成
されている。なお、ハーフエッチングは、エッチング時
間の調整により行われる。

【００３４】この流路形成基板１０の開口面側には、各
圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通す
るノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接
着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。な
お、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．１〜１
ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜
４．５［×１０^-6／℃］であるガラスセラミックス、又
は不錆鋼などからなる。ノズルプレート２０は、一方の
面で流路形成基板１０の一面を全面的に覆い、シリコン
単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果
たす。また、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０
と熱膨張係数が略同一の材料で形成するようにしてもよ
い。この場合には、流路形成基板１０とノズルプレート
２０との熱による変形が略同一となるため、熱硬化性の
接着剤等を用いて容易に接合することができる。

【００３５】ここで、インク滴吐出圧力をインクに与え
る圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズ
ル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出
スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、
１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノ
ズル開口２１は数十μｍの直径で精度よく形成する必要
がある。

【００３６】一方、流路形成基板１０の開口面とは反対
側の弾性膜５０の上には、厚さが例えば、約０．２μｍ
の下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体層
７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０と
が、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３０
０を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極
膜６０、圧電体層７０、及び上電極膜８０を含む部分を
いう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極
を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力
発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、こ
こではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体
層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電
歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態で
は、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上
電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、
駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部
が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素
子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じ
る振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。

【００３７】また、流路形成基板１０の圧電素子３００
側には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリ
ザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０が接合され
ている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、リザ
ーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２
の幅方向に亘って形成されている。そして、上述のよう
に流路形成基板１０の連通部１３と弾性膜５０に形成さ
れた貫通孔５１とを介して連通されて各圧力発生室１２
の共通のインク室となるリザーバ１００を構成してい
る。

【００３８】このリザーバ形成基板３０としては、例え
ば、ガラス、セラミック材料等の流路形成基板１０の熱
膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施
形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結
晶基板を用いて形成した。これにより、上述のノズルプ
レート２０の場合と同様に、両者を熱硬化性の接着剤を
用いた高温での接着であっても両者を確実に接着するこ
とができる。したがって、製造工程を簡略化することが
できる。

【００３９】さらに、このリザーバ形成基板３０には、
封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス
基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛
性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍの
ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）フィルム）からな
り、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が
封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の
材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵ
Ｓ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１０
０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口
部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可
撓性を有する封止膜４１のみで封止され、内部圧力の変
化によって変形可能な可撓部３２となっている。

【００４０】また、このリザーバ１００の長手方向略中
央部外側のコンプライアンス基板４０上には、リザーバ
１００にインクを供給するためのインク導入口３５が形
成されている。さらに、リザーバ形成基板３０には、イ
ンク導入口３５とリザーバ１００の側壁とを連通するイ
ンク導入路３６が設けられている。なお、本実施形態で
は、一つのインク導入口３５及びインク導入路３６によ
って、リザーバ１００にインクを供給するようにしてい
るが、これに限定されず、例えば、所望のインク供給量
に応じて、複数のインク導入口及びインク導入路を設け
るようにしてもよいし、あるいはインク導入口の開口面
積を大きくしてインク流路を拡大するようにようにして
もよい。

【００４１】また、リザーバ形成基板３０は、圧電素子
３００を外部環境と遮断する封止板を兼ねており、圧電
素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動
を阻害しない程度の空間を確保した状態でその空間を密
封可能な圧電素子保持部３３が設けられている。本実施
形態では、圧電素子保持部３３は、圧電素子３００の並
設方向に亘って設けられているが、これに限定されず、
例えば、各圧電素子３００のそれぞれを密封するように
してもよく、圧電素子３００の２列を一つの空間で密封
するようにしてもよい。

【００４２】圧電素子保持部３３内には、上電極膜８０
に対向する領域に配線パターン９０が形成され、この配
線パターン９０の一端部には、異方性導電膜９１を介し
てそれぞれ上電極膜８０の一端部が接合されている。

【００４３】また、配線パターン９０の他端部は、リザ
ーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通してリザーバ形成基
板３０の表面まで延設されており、この延設された他端
部がＩＣ接続部９２となっている。

【００４４】さらに、リザーバ形成基板３０のＩＣ接続
部９２側には、ＩＣ接続部９２とボンディングワイヤ９
３により各端子が接続された駆動ＩＣ１１０が実装され
ている。

【００４５】また、リザーバ形成基板３０上には、図示
しない配線パターンが形成されている。この配線パター
ンは、電流用及び信号用からなり、配線パターンの一端
はそれぞれ駆動ＩＣ１１０に接続されている。また、配
線パターンの他端は、リザーバ形成基板３０の一端まで
延設されており、延設された配線パターンの内、電源用
の配線パターンの端部が外部から電流を供給する配線に
接続される電流接続部１１１となっており、信号用の配
線パターンが外部から駆動信号を送る配線に接続される
信号接続部１１２となっている。本実施形態では、複数
の信号接続部１１２を並設し、その両側に電流接続部１
１１を設けた。

【００４６】このリザーバ形成基板３０上に設けられた
信号接続部１１２には、フレキシブルケーブル等の外部
からの信号配線１４１が異方性導電接着剤を介して接続
されている。

【００４７】また、コンプライアンス基板４０上には、
図１及び図３に示すように、流路形成基板１０を保持す
る保持部材１２０が設けられている。この保持部材１２
０には、流路形成基板１０の外周を覆う大きさの凹部１
２１が設けられており、凹部１２１に流路形成基板１０
を嵌合することで流路形成基板１０を保持している。

【００４８】この保持部材１２０には、リザーバ形成基
板３０に設けられたインク導入口３５に連通して外部か
らのインクを供給する貫通孔１２２が設けられており、
インク導入口３５と貫通孔１２２とを連通する流路シー
ル材１５０が、保持部材１２０とコンプライアンス基板
４０との間に設けられている。

【００４９】また、保持部材１２０には、リザーバ形成
基板３０上に設けられた電流接続部１１１に先端が弾性
力により付勢されて当接する接続ピン１３０が設けられ
ている。

【００５０】ここで、本実施形態の接続ピンの一例につ
いて詳細に説明する。なお、図４（ａ）は、接続ピンの
断面図である。

【００５１】図示するように、接続ピン１３０は、保持
部材１２０に固定されるハウジング１３５に対して軸方
向移動自在に設けられている。また、ハウジング１３５
と接続ピン１３０との間には、接続ピン１３０を先端方
向に付勢するバネ部材１３１が設けられている。

【００５２】接続ピン１３０の基端部１３０ａは、ハウ
ジング１３５の後端から突出するように設けられてお
り、この基端部１３０ａには外部からの電流を供給する
電流配線１４０の接続されたコネクタ１３２が嵌合され
ている。

【００５３】また、接続ピン１３０の先端部１３０ｂは
略０．３〜１．０ｍｍの外径を有する円柱状となってい
る。この先端部１３０ｂの先端形状は、電流接続部１１
１と当接して電流を確実に供給できれば特に限定され
ず、尖状、球状及び半球状等が挙げられる。本実施形態
では、先端に尖状の２つの突起を設けた。

【００５４】なお、接続ピン１３０の先端は、接続ピン
１３０の先端が電流接続部１１１に当接して確実に電流
を供給できれば、特に限定されず、少なくとも二点以上
で当接するのが好ましい。

【００５５】また、接続ピン１３０の先端部１３０ｂの
材料は、特に限定されないが、例えば、タングステン等
が好ましく、接続ピン１３０の先端部１３０ｂ以外の部
分は、銅や鋼等で形成すればよい。

【００５６】また、このような接続ピン１３０を付勢保
持したハウジング１３５は、保持部材１２０の電流接続
部１１１に対向する位置に設けられた保持孔１２３に圧
入されている。

【００５７】また、接続ピンの形状は、特に限定され
ず、接続ピン自体の撓み変形による弾性力で先端を電流
接続部に当接させるようにしてもよい。ここで、このよ
うな接続ピンの他の例を図４（ｂ）に示す。なお、図４
（ｂ）は、接続ピン及び保持部材の断面図である。

【００５８】図示するように、接続ピン１３０Ａは、例
えば、タングステン、パラジウム合金等からなる棒状部
材で形成されている。この接続ピン１３０Ａは、保持部
材１２０に斜めに設けられた保持孔１２３Ａに熱溶解樹
脂（ワックス）又は接着剤等を充填することで形成され
た保持層１３６により斜めに保持されており、先端部１
３０ｂと基端部１３０ａとはそれぞれ屈曲部１３０ｃを
介して略直交する方向に突出している。また、接続ピン
１３０Ａは、本実施形態では、保持部材１２０の底面に
設けられた保持層１３６と同様の材料で形成されたバン
プ１３７によっても固定されているが、このバンプ１３
７は、特に設けなくてもよい。

【００５９】このような接続ピン１３０Ａは、先端部１
３０ａ側が撓み変形することによる弾性力で付勢されて
先端を所定の圧力で電流接続部１１１に当接することが
できる。

【００６０】このような接続ピン１３０Ａとしても、弾
性力により先端を電流接続部１１１に当接させて確実に
圧電素子３００に外部からの電流を供給することができ
る。また、何れの接続ピン１３０、１３０Ａを用いて
も、先端と電流接続部１１１との当接する領域に大きな
電流を流すことができ、電流接続部１１１等の配線が焼
き切れるのを確実に防止することができる。

【００６１】ここで、外部からの電流は、接続ピン１３
０、電流接続部１１１及び電流用の配線パターンを介し
て駆動ＩＣ１１０に供給される。一方、外部からの駆動
信号は、信号接続部１１２及び信号用の配線パターンを
介して駆動ＩＣ１１０に送られる。駆動ＩＣ１１０は、
外部からの駆動信号に基づいて電流接続部１１１を介し
て供給された電流を上電極膜８０に供給するためのスイ
ッチングを行い圧電素子３００を選択的に駆動させて所
望のノズル開口２１からインクを吐出させている。

【００６２】なお、駆動ＩＣ１１０は必ずしも各インク
ジェット式記録ヘッドに搭載する必要はなく、駆動ＩＣ
を外部に設けるようにしてもよい。

【００６３】このように信号接続部１１２には、異方性
導電接着剤を介して駆動ＩＣ１１０の信号配線１４１を
接合するようにしたため、確実に接合することができる
と共に信号接続部１１２を狭い面積で形成することがで
き、インクジェット式記録ヘッドの小型化を図ることが
できる。

【００６４】（他の実施形態）以上、本発明の各実施形
態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的
構成は上述したものに限定されるものではない。

【００６５】これら各実施形態のインクジェット式記録
ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路
を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、イン
クジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのイン
クジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

【００６６】図５に示すように、インクジェット式記録
ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、イ
ンク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着
脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１
Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けら
れたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられてい
る。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、
それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物
を吐出するものとしている。

【００６７】そして、駆動モータ６の駆動力が図示しな
い複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリ
ッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及
び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿っ
て移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に
沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ロ
ーラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シ
ートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるように
なっている。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、圧
電素子に外部電流を供給する電流接続部に基端部が外部
電流と接続された接続ピンの先端が弾性力により当接す
るようにしたため、電流接続部の面積を小さくしても電
流の許容値を大きくすることができ、配線の焼き切れ等
を防止して確実に電流を供給することができると共に小
型化することができる。また、許容電流値を大きくでき
ることから高速駆動及び高速印刷を実行することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの概略斜視図である。

【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
憶ヘッドのリザーバ形成基板の上面図である。

【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの断面図であり、図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ
−Ｂ′断面図である。

【図４】本発明の実施形態１に係る接続ピンの断面図で
ある。

【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録装置の概略図である。

【符号の説明】

１０流路形成基板１１隔壁１２圧力発生室１３連通部１４インク供給路２０ノズルプレート２１ノズル開口３０リザーバ形成基板３３圧電素子保持部４０コンプライアンス基板５０弾性膜６０下電極膜７０圧電体層８０上電極膜１００リザーバ１１０駆動ＩＣ１１１電流接続部１１２信号接続部１２０保持部材１３０、１３０Ａ接続ピン１４０電流配線１４１信号配線１５０流路シール材３００圧電素子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズル開口に連通する圧力発生室が画成
された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振
動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電
素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおい
て、前記流路形成基板には、前記圧電素子へ駆動信号を送る
信号配線に接続する信号接続部と、前記圧電素子へ電流
を供給する電流配線に接続する電流接続部とを有し、前
記信号接続部には外部からの前記信号配線が異方性導電
性接着剤を介して接続され、且つ前記電流接続部には基
端部が外部からの前記電流配線と接続された接続ピンの
先端が弾性力により付勢されて当接されていることを特
徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】請求項１において、前記圧電素子近傍に
は、当該圧電素子を駆動する駆動ＩＣが設けられてお
り、該駆動ＩＣの端子が前記信号接続部に接続されてい
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】請求項１又は２において、前記接続ピン
が、筒状のハウジング内に軸方向に移動自在に設けら
れ、当該ハウジングと前記接続ピンとの間に付勢された
バネ部材により軸方向に付勢されていることを特徴とす
るインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】請求項１又は２において、前記接続ピン
が撓み変形する部材であり、この撓み変形を利用して先
端が当接されていることを特徴とするインクジェット式
記録ヘッド。
【請求項５】請求項１〜４の何れかにおいて、前記流
路形成基板の前記圧電素子側には、当該流路形成基板を
保持する保持部材を有し、該保持部材に前記接続ピンが
設けられていることを特徴とするインクジェット式記録
ヘッド。
【請求項６】請求項１〜５の何れかにおいて、前記接
続ピンの先端が、前記電流接続部に少なくとも二点以上
で接触していることを特徴とするインクジェット式記録
ヘッド。
【請求項７】請求項１〜６の何れかにおいて、前記流
路形成基板がシリコン単結晶基板からなると共に前記圧
力発生室が異方性エッチングにより形成されていること
を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項８】請求項１〜７の何れかのインクジェット
式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェッ
ト式記録装置。