JP2002260267A - ミラーアクチュエータ - Google Patents

ミラーアクチュエータ

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JP2002260267A
JP2002260267A JP2001052655A JP2001052655A JP2002260267A JP 2002260267 A JP2002260267 A JP 2002260267A JP 2001052655 A JP2001052655 A JP 2001052655A JP 2001052655 A JP2001052655 A JP 2001052655A JP 2002260267 A JP2002260267 A JP 2002260267A
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piezoelectric element
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mirrors
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JP2001052655A
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Masaki Hiroi
正樹 廣居
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Ricoh Co Ltd
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Ricoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 情報を読み書きすることに不具合を生じさせ
るチルトの影響を、収差補正用の分割ミラーを積層型圧
電素子で動かすことで、より高速で低電圧で駆動して低
減させる。 【解決手段】 ミラーアクチュエータは、分割ミラー1
a〜1dと、動作部分の積層型圧電素子4a,4bと、
積層型圧電素子固定部6からなっている。分割されてい
る各々のミラー1a〜1dは正面図(図1(B))の上
下方向に独立して動く。ただし、1aと1cが同一方
向、1bと1dが同一方向に動く。ミラー1aとミラー
1cはミラー固定部材3aと3cによって積層型圧電素
子4bに固定され、ミラー1bとミラー1dはミラー固
定部材3bと3dによって積層型圧電素子4aに固定さ
れ、積層型圧電素子4b,4aは積層型圧電素子固定部
6に固定されている。このようにすると駆動源である積
層型圧電素子4a,4bはミラー1a〜1dの数より少
なくてすむ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク装置に
おける光ピックアップのアクチュエータ、より詳細に
は、光ディスクを用いた情報入出力装置における光ピッ
クアップのアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、光ディスクを用いた情報記憶装
置として、CDやDVDなどがあるが、DVDなどはC
Dに比べ記録密度が高いため、情報を読み書きするとき
の条件が厳しくなっている。例えば、光ピックアップの
光軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実
際には、ディスクが樹脂製のため、かなりうねりを持っ
ており、これを回転させると光ピックアップの光軸とデ
ィスク面が垂直ではなくなり、チルトが生じる。
【0003】図12は、チルトの例を説明するための概
念図で、図12(A)にCDの例、図12(B)にDV
Dの例を示す。図示のように、光ディスクは、記録層1
08a(108b)が樹脂層102a(102b)を介
して設けられているため、ディスク面が垂直でなくなる
と光路が曲げられディスク上に正しくスポットを絞れな
くなり、コマ収差103a(103b)が発生する。こ
の収差が許容される量よりも大きくなると、正しく読み
書きができなくなるという不具合が生じる。チルトの影
響を少なくする手段としては、対物レンズと記録層の間
の樹脂層を薄くすることである。実際に、図12(B)
に示すDVDの対物レンズ101bと記録層108bの
間の樹脂層102bの厚さが、図12(A)に示すCD
の対物レンズ101aと記録層108aの間の樹脂層1
02aの半分であるのは、この効果を狙ったものであ
る。しかし、この方法の場合、DVDよりも高密度記録
をしようとした場合には、樹脂層をもっと薄くしてさら
にチルトの影響を少なくすることになるが、今度は、デ
ィスク上にゴミや傷が付いた場合、信号が正しく読み書
きできなくなるという不具合が生じる。このため、アク
チュエータによって光軸側を傾けて対応しているのが現
状である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】チルトを光学的に補正
する手段として、液晶を用いた特開平10−79135
号公報や透明圧電素子を用いた特開平5−333274
号公報や可変ミラーを用いた特開平5−333274号
公報などが提案されている。
【0005】特開平10−79135号公報に記載のよ
うに、液晶板を用いて位相制御することによりコマ収差
補正をする方法もあるが、この方法であるとレーザが液
晶板を通過するため光量が減衰し、書き込みに必要なエ
ネルギーを得ることが困難であり、また、液晶の特性か
ら、特にタンジェンシャルチルト制御に要求される高周
波動作に使用するのは困難であると思われる。
【0006】特開平5−144056号公報に記載のよ
うに、透明圧電素子を用いる場合、実際に、透明圧電素
子単体で必要変位を得るためには高電圧が必要となり、
光ピックアップなどに用いるには現実的ではない。
【0007】また、特開平5−333274号公報に
は、ミラー自体を積層型圧電素子で変形させ位相制御す
る方法が記載されているが、光ピックアップなどの小さ
い部品に用いるには配線などの考慮がされておらず、複
雑になりかつ組み付けコストも高くなる。また、配線な
どの問題が解決できたとしても、積層型圧電素子をかな
り小さくしなければならなくなるため、技術的にもコス
ト的にもなかなか困難である。
【0008】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、情報を読み書きするときに不具合を生じさ
せるチルトの影響を、収差補正用の分割ミラーを積層型
圧電素子で動かすことで、より高速で低電圧で駆動して
低減させるようにし、また、積層型圧電素子の使用個数
を減らして小型化、コスト的にも容易にミラー分割型の
アクチュエータを作れることを可能にしたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、光デ
ィスクに情報を読み書きする装置であって、レーザ光の
光軸上にレーザ光の収差を補正する収差補正手段をもつ
光ピックアップのアクチュエータにおいて、前記収差補
正手段は、分割された複数のミラーと積層型圧電素子で
構成されており、複数のミラーを同一駆動源で動かすこ
とを特徴としたものである。
【0010】請求項2の発明は、請求項1に記載のアチ
ュータにおいて、1方向1駆動源であることを特徴とし
たものである。
【0011】請求項3の発明は、請求項1に記載のアク
チュエータにおいて、駆動源とミラーの間に櫛形形状の
駆動伝達用固定部材を有することを特徴としたものであ
る。
【0012】請求項4の発明は、請求項1に記載のアク
チュエータにおいて、駆動源が1個で複数のミラーを互
い違いに同時に上下方向に動かすことを特徴としたもの
である。
【0013】請求項5の発明は、請求項4に記載のアク
チュエータにおいて、積層型圧電素子の伸縮方向の両端
に固定された板バネが積層型圧電素子の側面に配置さ
れ、かつ伸縮方向の一端が固定部材に固定され、もう一
端が側面に配置した板バネと同一形状の板バネを介して
固定部に固定されており、それぞれの板バネの中央部に
駆動伝達用固定部材があることを特徴としたものであ
る。
【0014】請求項6の発明は、請求項5に記載のアク
チュエータにおいて、固定部の幅が調整可能であること
を特徴としたものである。
【0015】請求項7の発明は、請求項4に記載のアク
チュエータにおいて、積層型圧電素子の伸縮方向の両端
に固定された板バネが対向する側面に2枚配置され、か
つ側面に配置された一方の板バネは駆動伝達用固定部材
に固定され、もう一方はコの字状の駆動伝達用固定部材
に固定され、伸縮方向の一端が固定部に固定されている
ことを特徴としたものである。
【0016】請求項8の発明は、請求項7に記載のアク
チュエータにおいて、駆動伝達用固定部材の長さが調整
できる構造であることを特徴としたものである。
【0017】請求項9の発明は、請求項1に記載のアク
チュエータにおいて、ミラー固定部材に圧電材料を使用
していることを特徴としたものである。
【0018】請求項10の発明は、請求項9に記載のア
クチュエータにおいて、ミラー裏面に電極が設けられて
いることを特徴としたものである。
【0019】請求項11の発明は、請求項1に記載のア
クチュエータにおいて、駆動伝達用固定部材のミラーと
は反対側に振動減衰部材を配置したことを特徴としたも
のである。
【0020】
【発明の実施の形態】図1は、本発明によるミラーアク
チュエータの一例を説明するための要部構成図で、図1
(A)は平面図、図1(B)は正面図、図1(C)は側
面図で、本ミラーアクチュエータは、分割ミラー1a〜
1dと、動作部分の積層型圧電素子4a,4bと、積層
型圧電素子固定部6からなっている。分割されている各
々のミラーは正面図(図1(B))の上下方向に独立し
て動くことが可能である。ただし、1aと1cが同一方
向、1bと1dが同一方向に動くことになる。
【0021】図1(D)は、同一方向に動くものを抜き
出して表現した図で、ミラー1aとミラー1cはミラー
固定部材3aと3cによって積層型圧電素子4bに固定
され、積層型圧電素子4bは積層型圧電素子固定部6に
固定されている。同様に図示していないが、ミラー1b
とミラー1dはミラー固定部材3bと3dによって積層
型圧電素子4aに固定され、積層型圧電素子4aは積層
型圧電素子固定部6に固定されている。このようにする
と駆動源である積層型圧電素子はミラーの数より少なく
てすむ。
【0022】図2は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図で、図2(A)は、斜視図、図2(B)は、図2
(A)をA方向から見た図で、積層型圧電素子4a,4
bとミラー1a〜1dを接合するために駆動伝達用固定
部材5a,5bを設けてある。駆動伝達用固定部材5
a,5bを図示のように、互い違いに櫛形状にして、ミ
ラー固定部3a〜3dをA方向からみて1列になるよう
にする。このミラー固定部3a〜3dに各々のミラー1
a〜1dの重心を固定すると、駆動点と重心が一致する
ためバランスが良くなり不要な振動を低減することがで
きる。
【0023】図3は、コマ収差を低減する方法の一例を
説明するための図で、上述のようなミラーアクチュエー
タを、図3に示すような光ピックアップの光軸上に設け
て制御することによりチルトによるコマ収差を低減する
ことが可能になる。図3において、10はミラーアクチ
ュエータ、11は光ディスク、12は対物レンズ及び対
物光学系、13は立ち上げミラー、14は偏向ビームス
プリッタ、15はレーザ素子及びレーザ光学系、16は
光検出素子及び光検出光学系で、レーザ素子から発せら
れたレーザ光はレーザ光学系15により平行光にされ、
偏向ビームスプリッタ14を通り、ミラーアクチュエー
タ10で反射され、立ち上げミラー13でさらに反射さ
れ、対物レンズ及び対物光学系12で集光され、光ディ
スク11に焦点を結ぶ。また、光ディスク11から反射
したレーザ光は、対物レンズ及び対物光学系12を通
り、立ち上げミラー13で反射され、ミラーアクチュエ
ータ10で反射され、偏向ビームスプリッタ14を通
り、光検出光学系で集光され、光検出素子16で検出す
る。この検出素子にはチルト検出用の検出素子も設置さ
れている。
【0024】上述のような光学系で、光ディスク11が
レーザ光の光軸対し垂直な位置からから傾くと、光ディ
スク11から反射して戻ってきたレーザ光の波面は乱
れ、例えば、図4(A)に示すような波面収差(コマ収
差)が発生する。ここで、横軸は図1(A)で示したミ
ラーアクチュエータのX−X断面と同一断面であり、縦
軸は波面収差である、つまり、図3の光学系で光ディス
ク11がチルトしたときにミラーアクチュエータ10の
ミラー面は平らであり、そこで反射した反射光の波面収
差である。ちなみに、光ディスク11がレーザ光の光軸
対し垂直であれば、波面は図4(A)で示したような収
差は発生せず、横軸と同じでまっすぐになる。
【0025】図4(B)は、図1で示したミラーアクチ
ュエータを故意に収差を発生させるよう動作させ、その
反射光の波面収差を表した図である。ここで、横軸は図
1で示したミラーアクチュエータのミラー表面のX−X
断面と同一断面であり、縦軸は波面収差である。いま、
仮に、光ディスク11が傾き、光ディスク11からの反
射光の波面が図4(A)であったとする。この時、光デ
ィスク11が傾いていない時の反射光の波面が図4
(B)のようになるようミラーアクチュエータを制御す
れば、ミラーアクチュエータ10から反射された反射光
の波面は図4(C)のようになり、図4(A)にくらべ
波面収差を低減させることが可能となる。
【0026】ところで、一般的に、積層型圧電素子は、
圧電材1層だけではその変位量があまりにも小さいた
め、その変位量を積層することで拡大し、実用的な変位
量を得るためのものである。このような積層型圧電素子
を小型化し、そのまま分割ミラーアクチュエータに使用
するためには、積層型圧電素子をミラーに合わせて小型
化しなければならず、側面の電極同士を絶縁するためや
線の引き回しなど考えると、技術的にもコスト的にもミ
ラーに合わせた小型化はなかなか困難であるが、本発明
では積層型圧電素子をミラーサイズに合わせて小型化す
ることなく分割ミラーアクチュエータをつくることが可
能である。
【0027】図5は、本発明の他の例を説明するための
図で、図5(A)は平面図、図5(B)は正面図で、図
5(B)に示す正面図において、積層型圧電素子4bの
伸縮方向の両端に固定された板バネ7bが積層型圧電素
子4の側面に配置され、かつ伸縮方向の一端が固定部材
6に固定され、もう一端が側面に配置した板バネ7bと
同一形状の板バネ7aを介して固定部6に固定されてお
り、それぞれの板バネ7a,7bの中央部に駆動伝達用
固定部材5a,5bがある。この機構においては、積層
型圧電素子は1個でミラー1a,1cとミラー1b,1
dは常に反対方向に平行移動する。つまり、例えば、図
5において、積層型圧電素子4が縮んだ場合、板バネ7
bの横方向からみた長さが縮むので、板バネ7b側のミ
ラー1b,1dはその分上方向に移動する。同時に、板
バネ7aは積層型圧電素子4に引っ張られ板バネ7aの
横方向からみた長さが伸びるので、板バネ7a側のミラ
ー1a,1cはその分下方向に移動する。チルトによっ
て発生する波面収差はコマ収差であり、図4(A)で示
たように、光軸に対し点対称である。つまり、図5に示
したように、常に反対方向に動くミラーの組合せ構造で
補正が可能である。積層型圧電素子が1個ですむため、
コストダウンが見込める。
【0028】図6は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図で、この実施例は、図5の固定部6に幅方向の調
整機構を設けたものである。板バネは折り曲げて使用す
るため、ミラー1a,1cとミラー1b,1dとの高さ
を初期状態(同じ高さ)に合わせるのは困難である。こ
のため、本発明のように、板バネ7a側の固定部分に調
整機構を設けて、調整ネジ20によって調整固定部62
を移動させ、板バネ7aの横方向からみた長さを変え高
さ方向を調整し、板バネ7bと板バネ7aの高さをそろ
える。このようにすれば簡単に調整できる。
【0029】図7は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図で、図7(A)は平面図、図7(B)は正面図
で、図7(B)に示す正面図において、積層型圧電素子
4の伸縮方向の両端に固定された板バネ7a,7bが対
向する側面に2枚配置され、かつ側面に配置された一方
の板バネ7bは駆動伝達用固定部材5bに固定され、も
う一方の板バネ7aはコの字状の駆動伝達用固定部材5
aに固定され、伸縮方向の一端が固定部6に固定されて
いる。
【0030】図7に示した機構においては、積層型圧電
素子は1個でミラー1a,1cとミラー1b,1dは常
に反対方向に平行移動する。つまり、例えば、図7にお
いて、積層型圧電素子4が縮んだ場合、板バネ5a,5
bの横方向からみた長さは共に縮むので、板バネ5b側
のミラー1b,1dはその分上方向に移動する。同時
に、板バネ5a側のミラー1a,1cはその分下方向に
移動する。チルトにより発生する波面収差はコマ収差で
あり、図4(A)に示したように、光軸に対し点対称で
ある。つまり、図7に示したように、常に反対方向に動
くミラーの組合せ構造で補正が可能である。積層型圧電
素子が1個ですむため、コストダウンが見込める。
【0031】図8は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図で、この実施例は、図7に示した駆動伝達用固定
部材5bに高さ方向の調整機構を設けたものである。図
7において、板バネは折り曲げて使用するため、ミラー
1a,1cとミラー1b,1dとの高さを初期状態(同
じ高さ)に合わせるのは困難である。このため、本発明
のように、板バネ7a側の駆動伝達用固定部材5aに調
整機構を設けて、調整ネジ20によって調整駆動伝達用
固定部材5a-2を移動させ、高さ方向を調整し、駆動
伝達用固定部材5a,5bの高さをそろえる。このよう
にすれば簡単に調整できる。
【0032】図9は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図で、以上に述べてきた発明では、図9(A)に示
すように、ミラー1との接合部すなわちミラー固定部材
3を使用してミラー1と駆動伝達用固定部材5を接合し
てきたが、精度良く組み付けないとミラー自体が傾いて
しまう。このため、本実施例では、さらに組み付け安く
するために、図9(B)に示すように、ミラー固定部材
3として圧電材料2a,2bを使用している。このた
め、たとえ組み付け状態が悪かったとしても圧電材料2
a,2bを常に独立して変位させ、図9(B)の弧矢印
Bのような動きをさせ傾きなどを補正する、つまり、あ
おり調整をすることができ、この調整を動的に行うこと
が可能である。なお、図9(B)の奥行き方向にも同じ
ように圧電材料を設ければ、図の奥行き方向の調整も可
能である。また、圧電材料が別々に動作可能のときは、
高さ調整も可能である。
【0033】図10は、上述のごときあおり機構を実現
するための一例を説明するための図で、ミラー1の裏面
に引き出し用電極パターン8aを形成している。同様に
駆動伝達用固定部材5側にも電極パターン8bを設けて
いる。圧電材料2a,2bの極性は図中に矢印で示して
ある通りお互い逆向きにしており、圧電材料の表面には
電極8c,8dを設けてあるので同一面の電極は一緒に
できる。このため配線が楽になっている。ミラー固定部
分近傍で配線できるため、配線によるミラーの影響は押
さえれられる。
【0034】図11は、本発明の他の実施例を説明する
ための図で、図11(A)に示した例は、図2に示たミ
ラーアクチュエータに、駆動伝達用固定部材5(5a,
5b)のミラーとは反対側に振動減衰部材9を配置した
もので、図11(B)に示した例は、図5で示したミラ
ーアクチュエータに、駆動伝達用固定部材5のミラーと
は反対側に振動減衰部材9を配置したものである。この
ため不要な振動が発生しても減衰させることが可能であ
る。
【0035】以上に、ミラー分割数を4分割にした場合
の例について説明したが、ミラーの分割数は目的に応
じ、何分割でも良いことはいうまでもない。
【0036】また、以上に述べてきたように、本発明を
用いれば、チルトの影響をより高速で低電圧で低減させ
ることができ、積層型圧電素子数をミラー数にあわせる
必要がなく小型化、コスト的にも容易にミラー分割型の
アクチュエータを作れることが可能となる。
【0037】
【発明の効果】請求項1に対する効果 光ディスクに情報を読み書きする装置であって、レーザ
光の光軸上にレーザ光の収差を補正する収差補正手段を
もつ光ピックアップアクチュエータにおいて、前記収差
補正手段は、分割された複数のミラーと積層型圧電素子
で構成されており、複数のミラーを同一駆動源で動かす
ようにしたので、複数のミラーを同一駆動源で動かすこ
とができ、駆動源の個数を減らせることができ、従来サ
イズの積層型圧電素子を使用でき、ミラーアクチュエー
タのコストを下げることができる。
【0038】請求項2に対する効果 請求項1のアクチュエータにおいて、1方向1駆動源と
したので、駆動源個数を減らし、従来の積層型圧電素子
を使用することができ、コストを下げられる。
【0039】請求項3に対する効果 請求項1のアクチュエータにおいて、駆動源とミラーの
間に櫛形形状の駆動伝達用固定部材を有するので、ミラ
ー重心で固定でき、不要な振動が発生せず良好な補正が
できる。
【0040】請求項4に対する効果 請求項1のアクチュエータにおいて、駆動源が1個で複
数のミラーを互い違いに同時に上下方向に動かすように
したので、駆動源が1個でミラーを同時に上下方向に動
かすことができ、駆動源を減らし、さらにコストを下げ
ることができる。
【0041】請求項5に対する効果 請求項4のアクチュエータにおいて、積層型圧電素子の
伸縮方向の両端に固定された板バネが積層型圧電素子の
側面に配置され、かつ伸縮方向の一端が固定部材に固定
され、もう一端が側面に配置した板バネと同一形状の板
バネを介して固定部に固定されており、それぞれの板バ
ネの中央部に駆動伝達用固定部材があるので、それぞれ
の板バネの中央部に駆動伝達用固定部材があるので、駆
動源を減らし、さらにコストを下げることができ、しか
も、小型化できる。
【0042】請求項6に対する効果 請求項5のアクチュエータにおいて、固定部の幅が調整
可能であるので、固定部の幅が調整でき、ミラー高さの
調整が容易に行える。
【0043】請求項7に対する効果 請求項4のアクチュエータにおいて、積層型圧電素子の
伸縮方向の両端に固定された板バネが対向する側面に2
枚配置され、かつ側面に配置された一方の板バネは駆動
伝達用固定部材に固定され、もう一方はコの字状の駆動
伝達用固定部材に固定され、伸縮方向の一端が固定部に
固定されているので、駆動源を減らし、コストを下げる
こができ、さらに小型化できる。
【0044】請求項8に対する効果 請求項7のアクチュエータにおいて、駆動伝達用固定部
材の長さが調整できる構造となっているので、ミラー高
さの調整が容易に行える。
【0045】請求項9に対する効果 請求項1のアクチュエータにおいて、ミラー固定部材に
圧電材料を使用しているので、ミラーの高さ調整やあお
り調整が動的に行うことが可能となる。
【0046】請求項10に対する効果 請求項9のアクチュエータにおいて、ミラー裏面に電極
が設けられているので、圧電材料にかける電圧の一方は
ミラーから供給でき、配線が楽になる。
【0047】請求項11に対する効果 請求項1のアクチュエータにおいて、駆動伝達用固定部
材のミラーとは反対側に振動減衰部材を配置したので、
駆動伝達用固定部材のミラーとは反対側に振動減衰部材
を配置したので、不要振動を効果的に減衰することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるミラーアクチュエータの一例を
説明するための要部構成図である。
【図2】 本発明の他の実施例を説明するための図であ
る。
【図3】 コマ収差を低減する方法の一例を説明するた
めの概略図である。
【図4】 波面収差を説明するための図である。
【図5】 本発明の他の例を説明するための図である。
【図6】 本発明の他の例を説明するための図である。
【図7】 本発明の他の例を説明するための図である。
【図8】 本発明の他の例を説明するための図である。
【図9】 本発明の他の例を説明するための図である。
【図10】 あおり機構を実現するための一例を説明す
るための図である。
【図11】 本発明の他の例を説明するための図であ
る。
【図12】 チルトの例を説明するための概念図であ
る。
【符号の説明】
1a〜1d…ミラー、2a,2b…圧電材料、3a〜3
d…ミラー固定部材、4a,4b…積層型圧電素子、5
a,5b…駆動伝達用固定部材、6…積層型圧電素子固
定部、7a,7b…板バネ、8a,8b…電極、9…振
動減衰材、10…ミラーアクチュエータ、11…光ディ
スク、12…対物レンズ及び対物光学系、13…立ち上
げミラー、14…偏向ビームスプリッタ、15…レーザ
素子及びレーザ光学系、16…光検出素子及び光検出光
学系、20…調整用ネジ、101…対物レンズ(101
a:CD用、101b:DVD用)、102…ディスク
(102a:CD用、102b:DVD用)、103…
スポット(コマ収差)(103a:CD、103b:D
VD)、108…記録層(108a:CD、108b:
DVD)。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ディスクに情報を読み書きする装置で
    あって、レーザ光の光軸上にレーザ光の収差を補正する
    収差補正手段をもつ光ピックアップのアクチュエータに
    おいて、前記収差補正手段は、分割された複数のミラー
    と積層型圧電素子で構成されており、複数のミラーを同
    一駆動源で動かすことを特徴とするミラーアクチュエー
    タ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、1方向1駆動源であ
    ることを特徴とするミラーアクチュエータ。
  3. 【請求項3】 請求項1において、駆動源とミラーの間
    に櫛形形状の駆動伝達用固定部材を有することを特徴と
    するミラーアクチュエータ。
  4. 【請求項4】 請求項1において、駆動源が1個で複数
    のミラーを互い違いに同時に上下方向に動かすことを特
    徴とするミラーアクチュエータ。
  5. 【請求項5】 請求項4において、積層型圧電素子の伸
    縮方向の両端に固定された板バネが積層型圧電素子の側
    面に配置され、かつ伸縮方向の一端が固定部材に固定さ
    れ、もう一端が側面に配置した板バネと同一形状の板バ
    ネを介して固定部に固定されており、それぞれの板バネ
    の中央部に駆動伝達用固定部材があることを特徴とする
    ミラーアクチュエータ。
  6. 【請求項6】 請求項5において、固定部の幅が調整可
    能であることを特徴とするミラーアクチュエータ。
  7. 【請求項7】 請求項4において、積層型圧電素子の伸
    縮方向の両端に固定された板バネが対向する側面に2枚
    配置され、かつ側面に配置された一方の板バネは駆動伝
    達用固定部材に固定され、もう一方はコの字状の駆動伝
    達用固定部材に固定され、伸縮方向の一端が固定部に固
    定されていることを特徴とするミラーアクチュエータ。
  8. 【請求項8】 請求項7において、駆動伝達用固定部材
    の長さが調整できる構造であることを特徴とするミラー
    アクチュエータ。
  9. 【請求項9】 請求項1において、ミラー固定部材に圧
    電材料を使用していることを特徴とするミラーアクチュ
    エータ。
  10. 【請求項10】 請求項9において、ミラー裏面に電極
    が設けられていることを特徴とするミラーアクチュエー
    タ。
  11. 【請求項11】 請求項1において、駆動伝達用固定部
    材のミラーとは反対側に振動減衰部材を配置したことを
    特徴とするミラーアクチュエータ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100987779B1 (ko) * 2008-06-30 2010-10-13 경원훼라이트공업 주식회사 홀로그래피 정보 저장 장치용 액츄에이터
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