JP2002255564A - 多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法 - Google Patents
多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】多孔質ガラス母材を製造する際に形成される母
材両端の錐形部分をより一層短くして、歩留まりよく光
ファイバ化できる多孔質ガラス母材を、簡便に製造する
ための装置を提供する。 【解決手段】多孔質ガラス母材の製造装置１は、始発ガ
ラス棒４と平行に繰り返し往復動する主移動架２０上
に、始発ガラス棒４へガラス微粒子を吹き付けて堆積さ
せる複数のバーナー４０からなるバーナー列の載ってい
るバーナー台５０が設置され、この台５０にはバーナー
４０の間隔を可変制御する調整具４４が設けられてい
る。
材両端の錐形部分をより一層短くして、歩留まりよく光
ファイバ化できる多孔質ガラス母材を、簡便に製造する
ための装置を提供する。 【解決手段】多孔質ガラス母材の製造装置１は、始発ガ
ラス棒４と平行に繰り返し往復動する主移動架２０上
に、始発ガラス棒４へガラス微粒子を吹き付けて堆積さ
せる複数のバーナー４０からなるバーナー列の載ってい
るバーナー台５０が設置され、この台５０にはバーナー
４０の間隔を可変制御する調整具４４が設けられてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの原材
料である多孔質ガラス母材を製造する際に用いられ、歩
留まりよく光ファイバ化できる多孔質ガラス母材を製造
する装置に関するものである。
料である多孔質ガラス母材を製造する際に用いられ、歩
留まりよく光ファイバ化できる多孔質ガラス母材を製造
する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】多孔質ガラス母材は、焼結後、線引きさ
れて光ファイバ化される。この多孔質ガラス母材２は、
例えば図３に示すように、始発ガラス棒４と平行に往復
動するバーナー６０の火炎から生成するガラス微粒子
を、始発ガラス棒４の側面に吹き付けて堆積させる外付
け気相堆積法（ＯＶＤ法）により製造されるものであ
る。
れて光ファイバ化される。この多孔質ガラス母材２は、
例えば図３に示すように、始発ガラス棒４と平行に往復
動するバーナー６０の火炎から生成するガラス微粒子
を、始発ガラス棒４の側面に吹き付けて堆積させる外付
け気相堆積法（ＯＶＤ法）により製造されるものであ
る。
【０００３】火炎の干渉で不均一な堆積とならないよう
に一定の間隔をあけた複数のバーナー６０を用いること
により、堆積効率の向上を図っている。バーナー６０の
往復動の中程の堆積部分６では堆積効率が一定なので直
胴状になっており、一方往復動の両端近傍の堆積部分５
では端ほど堆積が少ないので錐形になっている。この錐
形部分は、その軸長Ｌ１が複数のバーナーの両端間の距
離Ｌ２とほぼ同じであるが、径が不均等なので、光ファ
イバ化しても特性が不十分なものとなるため廃棄され
る。そのため、同図の二点鎖線で示すように錐形部分の
軸長の短い多孔質ガラス母材を製造できることが望まれ
ていた。
に一定の間隔をあけた複数のバーナー６０を用いること
により、堆積効率の向上を図っている。バーナー６０の
往復動の中程の堆積部分６では堆積効率が一定なので直
胴状になっており、一方往復動の両端近傍の堆積部分５
では端ほど堆積が少ないので錐形になっている。この錐
形部分は、その軸長Ｌ１が複数のバーナーの両端間の距
離Ｌ２とほぼ同じであるが、径が不均等なので、光ファ
イバ化しても特性が不十分なものとなるため廃棄され
る。そのため、同図の二点鎖線で示すように錐形部分の
軸長の短い多孔質ガラス母材を製造できることが望まれ
ていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の課題を
解決するためになされたもので、多孔質ガラス母材を製
造する際に形成される母材両端の錐形部分をより一層短
くして、歩留まりよく光ファイバ化できる多孔質ガラス
母材を、簡便に製造するための装置および製造する方法
を提供することを目的とする。
解決するためになされたもので、多孔質ガラス母材を製
造する際に形成される母材両端の錐形部分をより一層短
くして、歩留まりよく光ファイバ化できる多孔質ガラス
母材を、簡便に製造するための装置および製造する方法
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明の多孔質ガラス母材の製造装置１
は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、始発
ガラス棒４と平行に繰り返し往復動する主移動架２０上
に、始発ガラス棒４へガラス微粒子を吹き付けて堆積さ
せる複数のバーナー４０からなるバーナー列の載ってい
るバーナー台５０が設置され、この台５０にはバーナー
４０の間隔を可変制御する調整具４４が設けられてい
る。
めになされた本発明の多孔質ガラス母材の製造装置１
は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、始発
ガラス棒４と平行に繰り返し往復動する主移動架２０上
に、始発ガラス棒４へガラス微粒子を吹き付けて堆積さ
せる複数のバーナー４０からなるバーナー列の載ってい
るバーナー台５０が設置され、この台５０にはバーナー
４０の間隔を可変制御する調整具４４が設けられてい
る。
【０００６】図１のように多孔質ガラス母材の製造装置
１は、主移動架２０の往復動と同期して往復動する副移
動架３０が主移動架２０上に搭載され、副移動架３０に
はバーナー台５０が設置されていることが好ましい。
１は、主移動架２０の往復動と同期して往復動する副移
動架３０が主移動架２０上に搭載され、副移動架３０に
はバーナー台５０が設置されていることが好ましい。
【０００７】この調整具４４は、図２に示すとおり、始
発ガラス棒４と平行な螺子棒４２に螺合する移動ナット
４７と、この移動ナット４７に断続する電磁クラッチ４
６が取り付けられ、始発ガラス棒４と平行な直線ガイド
４１に沿って移動可能なバーナー取付ブロック４５とか
らなっている。
発ガラス棒４と平行な螺子棒４２に螺合する移動ナット
４７と、この移動ナット４７に断続する電磁クラッチ４
６が取り付けられ、始発ガラス棒４と平行な直線ガイド
４１に沿って移動可能なバーナー取付ブロック４５とか
らなっている。
【０００８】本発明の多孔質ガラス母材２の製造方法
は、この装置１を用いて好適に実施される。この製造方
法は、図１に示すとおり、始発ガラス棒４と平行に、複
数のバーナー４０からなるバーナー列を繰り返し往復動
させながら、バーナー４０から生成されるガラス微粒子
を始発ガラス棒４に吹き付けて堆積させる多孔質ガラス
母材２の製造方法において、堆積の途中でバーナー４０
の間隔を可変制御するというものである。
は、この装置１を用いて好適に実施される。この製造方
法は、図１に示すとおり、始発ガラス棒４と平行に、複
数のバーナー４０からなるバーナー列を繰り返し往復動
させながら、バーナー４０から生成されるガラス微粒子
を始発ガラス棒４に吹き付けて堆積させる多孔質ガラス
母材２の製造方法において、堆積の途中でバーナー４０
の間隔を可変制御するというものである。
【０００９】この可変制御は、この往復動の両端近傍で
バーナー４０の間隔を減少するというものであることが
好ましい。
バーナー４０の間隔を減少するというものであることが
好ましい。
【００１０】バーナー４０の間隔は、この往復動の両端
近傍で、定められた値に制御される。また往復動の両端
近傍では、この間隔が狭く制御されるとともに、バーナ
ー４０へ供給する燃焼ガスやガラス原料ガス等のガス流
量が減少されることが好ましい。
近傍で、定められた値に制御される。また往復動の両端
近傍では、この間隔が狭く制御されるとともに、バーナ
ー４０へ供給する燃焼ガスやガラス原料ガス等のガス流
量が減少されることが好ましい。
【００１１】この装置を用いた多孔質ガラス母材の製造
方法によれば、往復動の両端近傍でバーナー間隔を狭く
する結果、光ファイバ化されない錐形部分５の軸長を一
層短くすることができる。さらに主移動架２０の往復動
と副移動架３０の移動とが同期しているので、主移動架
２０の往復動の幅よりも副移動架３０が余計に移動する
分だけ、直胴部分６の長い多孔質ガラス母材を製造する
ことができる。
方法によれば、往復動の両端近傍でバーナー間隔を狭く
する結果、光ファイバ化されない錐形部分５の軸長を一
層短くすることができる。さらに主移動架２０の往復動
と副移動架３０の移動とが同期しているので、主移動架
２０の往復動の幅よりも副移動架３０が余計に移動する
分だけ、直胴部分６の長い多孔質ガラス母材を製造する
ことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を、図面を参照して説明する。図１は本発明を適用す
る多孔質ガラス母材の製造装置１の概略構成を示したも
のである。
態を、図面を参照して説明する。図１は本発明を適用す
る多孔質ガラス母材の製造装置１の概略構成を示したも
のである。
【００１３】多孔質ガラス母材の製造装置１は、始発ガ
ラス棒４と平行に繰り返し往復動する主移動架２０上
に、この往復動に同期して往復動する副移動架３０が搭
載され、この副移動架３０上に、調整具４４を伴う４本
のバーナー４０の載っているバーナー台５０が設置され
ている。
ラス棒４と平行に繰り返し往復動する主移動架２０上
に、この往復動に同期して往復動する副移動架３０が搭
載され、この副移動架３０上に、調整具４４を伴う４本
のバーナー４０の載っているバーナー台５０が設置され
ている。
【００１４】始発ガラス棒４の一端には、モータ３が取
付けられている。主移動架２０には、始発ガラス棒４と
平行に配置されてモータ１３へ繋がっている主移動架用
螺子棒１１が螺合し、同じく平行に配置された主移動架
用ガイド棒１２が貫通している。
付けられている。主移動架２０には、始発ガラス棒４と
平行に配置されてモータ１３へ繋がっている主移動架用
螺子棒１１が螺合し、同じく平行に配置された主移動架
用ガイド棒１２が貫通している。
【００１５】この主移動架２０上には、モータ２３に繋
がる副移動架用螺子棒２１と、副移動架用ガイド棒２２
とが、始発ガラス棒４と平行に配置されている。副移動
架３０には、この螺子棒２１が螺合しこのガイド棒２２
が貫通している。
がる副移動架用螺子棒２１と、副移動架用ガイド棒２２
とが、始発ガラス棒４と平行に配置されている。副移動
架３０には、この螺子棒２１が螺合しこのガイド棒２２
が貫通している。
【００１６】バーナー台５０上にある調整具４４の要部
の概要図を図２に示す。バーナー台５０上には、始発ガ
ラス棒４と平行で壁際に取付けられたバーナー取付ブロ
ック用直線ガイド４１と、この直線ガイド４１に平行で
あってモータ４３へ繋がる移動ナット用螺子棒４２と
が、配置されている。
の概要図を図２に示す。バーナー台５０上には、始発ガ
ラス棒４と平行で壁際に取付けられたバーナー取付ブロ
ック用直線ガイド４１と、この直線ガイド４１に平行で
あってモータ４３へ繋がる移動ナット用螺子棒４２と
が、配置されている。
【００１７】燃焼ガスおよびガラス原料ガスの各供給管
（不図示）に接続された４本のバーナー４０ａ・・・４０
ｄの各々が、調整具４４に載置されている。調整具４４
は、バーナーを取付けているブロック４５を有してい
る。
（不図示）に接続された４本のバーナー４０ａ・・・４０
ｄの各々が、調整具４４に載置されている。調整具４４
は、バーナーを取付けているブロック４５を有してい
る。
【００１８】バーナー取付ブロック４５は、バーナー取
付ブロック用の直線ガイド４１に沿って移動できるもの
である。バーナー取付ブロック４５の下部には、電磁ク
ラッチ４６が設けられている。移動ナット４７が、移動
ナット用螺子棒４２と螺合しており、電磁クラッチ４６
の真下に配置されている。この移動ナット４７を介して
移動ナット用螺子棒４２と断続する位置に電磁クラッチ
４６が配置されている。
付ブロック用の直線ガイド４１に沿って移動できるもの
である。バーナー取付ブロック４５の下部には、電磁ク
ラッチ４６が設けられている。移動ナット４７が、移動
ナット用螺子棒４２と螺合しており、電磁クラッチ４６
の真下に配置されている。この移動ナット４７を介して
移動ナット用螺子棒４２と断続する位置に電磁クラッチ
４６が配置されている。
【００１９】移動ナット４７の両側に設けられたスラス
ト軸受け４８は、軸受けベアリングを介して移動ナット
４７に結合されている。
ト軸受け４８は、軸受けベアリングを介して移動ナット
４７に結合されている。
【００２０】この多孔質ガラス母材の製造装置１を用
い、以下のようにして、母材２を製造する。
い、以下のようにして、母材２を製造する。
【００２１】図１に示すとおり、モータ３を駆動して始
発ガラス棒４を回転させる。バーナー４０へ、燃焼ガス
を供給して点火しさらにガラス原料ガスを供給する。バ
ーナー４０の火炎から生成するガラス微粒子を、始発ガ
ラス棒４へ吹き付ける。
発ガラス棒４を回転させる。バーナー４０へ、燃焼ガス
を供給して点火しさらにガラス原料ガスを供給する。バ
ーナー４０の火炎から生成するガラス微粒子を、始発ガ
ラス棒４へ吹き付ける。
【００２２】主移動架用螺子棒１１に繋がっているモー
タ１３を駆動し、この螺子棒１１の順回転と逆回転とを
繰り返すことにより、主移動架２０は、始発ガラス棒４
に沿って一定速度で往復動を繰り返す。
タ１３を駆動し、この螺子棒１１の順回転と逆回転とを
繰り返すことにより、主移動架２０は、始発ガラス棒４
に沿って一定速度で往復動を繰り返す。
【００２３】副移動架用螺子棒２１に繋がっているモー
タ２３も駆動し、主移動架用螺子棒１１に同期して螺子
棒２１の順回転と逆回転とを繰り返すことにより、副移
動架３０は、主移動架２０の往復動に同期して、重畳し
た一定速度で移動する。
タ２３も駆動し、主移動架用螺子棒１１に同期して螺子
棒２１の順回転と逆回転とを繰り返すことにより、副移
動架３０は、主移動架２０の往復動に同期して、重畳し
た一定速度で移動する。
【００２４】主移動架２０が往復動の中程にあるとき、
図１の二点鎖線で示すように、バーナー４０は一定の等
間隔となっている。このとき、全ての調整具は、図２の
バーナー４０ｄが伴っている調整具４４に示されている
ように、電磁クラッチ４６が、移動ナット４７から離
れ、移動ナット用螺子棒４２から切断された状態になっ
ている。その結果、移動ナット４７は、移動ナット用螺
子棒４２の回転に合わせて一緒に回転するので、移動ナ
ット用螺子棒４２に沿って動かない。そのため、４本の
バーナー４０の間隔は変化しない。
図１の二点鎖線で示すように、バーナー４０は一定の等
間隔となっている。このとき、全ての調整具は、図２の
バーナー４０ｄが伴っている調整具４４に示されている
ように、電磁クラッチ４６が、移動ナット４７から離
れ、移動ナット用螺子棒４２から切断された状態になっ
ている。その結果、移動ナット４７は、移動ナット用螺
子棒４２の回転に合わせて一緒に回転するので、移動ナ
ット用螺子棒４２に沿って動かない。そのため、４本の
バーナー４０の間隔は変化しない。
【００２５】主移動架２０が往復動の両端近傍に達した
とき、図１の実線で示すように、バーナー４０の間隔を
狭くする。その動作途中を図２に示す。先ず、最も往復
動の端に近いバーナー４０ａの伴っている調整具４４の
電磁クラッチ４６を突き出させ、移動ナット４７に接続
させる。すると移動ナット用螺子棒４２と一緒に回転し
ていた移動ナット４７は、この接続のために回転が止ま
る。この移動ナット４７を介して、電磁クラッチ４６
は、回転し続けている移動ナット用螺子棒４２に繋が
る。その結果、バーナー取付ブロック４５は移動ナット
４７と一体となって、移動ナット用螺子棒４２に沿って
移動する。所定の間隔にまで狭まったら、同様に隣の調
整具を動作させる。この動作を順次行う。４本のバーナ
ー４０が、往復動の折り返し時には副移動架３０上のバ
ーナー台５０上で、往復動の中寄り側へ集まる。
とき、図１の実線で示すように、バーナー４０の間隔を
狭くする。その動作途中を図２に示す。先ず、最も往復
動の端に近いバーナー４０ａの伴っている調整具４４の
電磁クラッチ４６を突き出させ、移動ナット４７に接続
させる。すると移動ナット用螺子棒４２と一緒に回転し
ていた移動ナット４７は、この接続のために回転が止ま
る。この移動ナット４７を介して、電磁クラッチ４６
は、回転し続けている移動ナット用螺子棒４２に繋が
る。その結果、バーナー取付ブロック４５は移動ナット
４７と一体となって、移動ナット用螺子棒４２に沿って
移動する。所定の間隔にまで狭まったら、同様に隣の調
整具を動作させる。この動作を順次行う。４本のバーナ
ー４０が、往復動の折り返し時には副移動架３０上のバ
ーナー台５０上で、往復動の中寄り側へ集まる。
【００２６】この電磁クラッチ４６の断続は、機械的ま
たは光学的なリミットスイッチにより行ってもよく、時
間で制御して行ってもよい。
たは光学的なリミットスイッチにより行ってもよく、時
間で制御して行ってもよい。
【００２７】往復動の折り返し時に、モータ１３、２
３、４３を逆回転させる。最も往復動の中寄りにあるバ
ーナー４０ｄに備えられた調整具４４の電磁クラッチ４
６を引き込ませると、電磁クラッチ４６は移動ナット４
７から離れ、移動ナット用螺子棒４２から切断された状
態となる。その結果、移動ナット４７は、移動ナット用
螺子棒４２の回転に合わせて一緒に回転し、バーナー取
付ブロック４５の移動が停止する。バーナー４０ｃが移
動し、バーナー４０ｄとの間隔が所定の間隔にまで広が
ったら、バーナー４０ｃに備えられた調整具を同様に動
作させる。順次同様な動作を行うことにより、バーナー
４０ａ・・・４０ｄは等間隔となる。この操作を繰り返す
と、両端の錐形部分の短い多孔質ガラス母材が製造され
る。
３、４３を逆回転させる。最も往復動の中寄りにあるバ
ーナー４０ｄに備えられた調整具４４の電磁クラッチ４
６を引き込ませると、電磁クラッチ４６は移動ナット４
７から離れ、移動ナット用螺子棒４２から切断された状
態となる。その結果、移動ナット４７は、移動ナット用
螺子棒４２の回転に合わせて一緒に回転し、バーナー取
付ブロック４５の移動が停止する。バーナー４０ｃが移
動し、バーナー４０ｄとの間隔が所定の間隔にまで広が
ったら、バーナー４０ｃに備えられた調整具を同様に動
作させる。順次同様な動作を行うことにより、バーナー
４０ａ・・・４０ｄは等間隔となる。この操作を繰り返す
と、両端の錐形部分の短い多孔質ガラス母材が製造され
る。
【００２８】なお、往復動の両端近傍では、バーナーが
副移動架上で往復動の中寄り側に集まる実施例について
示したが、副移動架上で往復動の外側に集まるものであ
ってもよい。
副移動架上で往復動の中寄り側に集まる実施例について
示したが、副移動架上で往復動の外側に集まるものであ
ってもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
多孔質ガラス母材の製造装置を用いた製造方法によれ
ば、光ファイバ化されない錐形部分の軸長が短く、一方
光ファイバ化される直胴部分の軸長が一層長い多孔質ガ
ラス母材を簡便に製造することができる。そのため、多
孔質ガラス母材から効率良く光ファイバ化することがで
き、歩留まりを向上させることができる。
多孔質ガラス母材の製造装置を用いた製造方法によれ
ば、光ファイバ化されない錐形部分の軸長が短く、一方
光ファイバ化される直胴部分の軸長が一層長い多孔質ガ
ラス母材を簡便に製造することができる。そのため、多
孔質ガラス母材から効率良く光ファイバ化することがで
き、歩留まりを向上させることができる。
【図１】本発明を適用する多孔質ガラス母材の製造装置
を用いた製造途中を示す概要図である。
を用いた製造途中を示す概要図である。
【図２】本発明を適用する多孔質ガラス母材の製造装置
の要部を示す概要図である。
の要部を示す概要図である。
【図３】本発明を適用外の多孔質ガラス母材の製造装置
を用いた製造途中を示す概要図である。
を用いた製造途中を示す概要図である。
１は多孔質ガラス母材の製造装置、２は多孔質ガラス母
材、３はモータ、４は始発ガラス棒、５は錐形部分、６
は直胴部分、１１は主移動架用螺子棒、１２は主移動架
用ガイド棒、１３はモータ、２０は主移動架、２１は副
移動架用螺子棒、２２は副移動架用ガイド棒、２３はモ
ータ、３０は副移動架、４０、４０ａ・・・４０ｄはバー
ナー、４１は直線ガイド、４２は移動ナット用螺子棒、
４３はモータ、４４は調整具、４５はバーナー取付ブロ
ック、４６は電磁クラッチ、４７は移動ナット、４８は
スラスト軸受け、５０はバーナー台、６０はバーナー、
Ｌ １は錐形部分の軸長、Ｌ２はバーナーの両端間の距離
である。
材、３はモータ、４は始発ガラス棒、５は錐形部分、６
は直胴部分、１１は主移動架用螺子棒、１２は主移動架
用ガイド棒、１３はモータ、２０は主移動架、２１は副
移動架用螺子棒、２２は副移動架用ガイド棒、２３はモ
ータ、３０は副移動架、４０、４０ａ・・・４０ｄはバー
ナー、４１は直線ガイド、４２は移動ナット用螺子棒、
４３はモータ、４４は調整具、４５はバーナー取付ブロ
ック、４６は電磁クラッチ、４７は移動ナット、４８は
スラスト軸受け、５０はバーナー台、６０はバーナー、
Ｌ １は錐形部分の軸長、Ｌ２はバーナーの両端間の距離
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神尾 剛 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 山村 和市 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 飛坂 優二 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G014 AH15
Claims (5)
- 【請求項１】 始発ガラス棒と平行に繰り返し往復動
する主移動架上に、該始発ガラス棒へガラス微粒子を吹
き付けて堆積させる複数のバーナーからなるバーナー列
の載っているバーナー台が設置され、この台には該バー
ナーの間隔を可変制御する調整具が設けられていること
を特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。 - 【請求項２】 該往復動と同期して往復動する副移動
架が該主移動架上に搭載され、該副移動架には該バーナ
ー台が設置されていることを特徴とする請求項１に記載
の多孔質ガラス母材の製造装置。 - 【請求項３】 該調整具は、該始発ガラス棒と平行な
螺子棒に螺合する移動ナットと、該移動ナットに断続す
る電磁クラッチが取り付けられ、該始発ガラス棒と平行
な直線ガイドに沿って移動可能なバーナー取付ブロック
とからなることを特徴とする請求項１または２に記載の
多孔質ガラス母材の製造装置。 - 【請求項４】 始発ガラス棒と平行に、複数のバーナ
ーからなるバーナー列を繰り返し往復動させながら、該
バーナーから生成されるガラス微粒子を該始発ガラス棒
に吹き付けて堆積させる多孔質ガラス母材の製造方法に
おいて、該堆積の途中で該バーナーの間隔を可変制御す
ることを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項５】 該可変制御が、該往復動の両端近傍で
該バーナーの間隔を減少することである請求項４に記載
の多孔質ガラス母材の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP2001050440A JP4467197B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | 多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法 |
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| JP2001050440A JP4467197B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | 多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法 |
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|---|---|
| JP2002255564A true JP2002255564A (ja) | 2002-09-11 |
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| JP (1) | JP4467197B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2018145065A (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置 |
| KR102155361B1 (ko) * | 2019-05-03 | 2020-09-11 | 두산중공업 주식회사 | 단조성형재 등보온장치 |
-
2001
- 2001-02-26 JP JP2001050440A patent/JP4467197B2/ja not_active Expired - Fee Related
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