JP2002249304A - オゾン発生方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾナイザーに導入される原料酸素ガスを、
酸素ＰＳＡで発生した酸素ガスからバックアップ用の蒸
発式酸素ガス供給装置で得られた予備の酸素ガスに切換
えたときのオゾン発生効率の低下を抑え、オゾナイザー
を安定した状態で運転することができるオゾン発生方法
及び装置を提供する。 【解決手段】 圧力変動吸着式酸素発生装置（酸素ＰＳ
Ａ１２）に異常が生じて原料酸素ガスの供給が行えなく
なったときに、バックアップ用の酸素ガスに酸素以外の
添加ガスを添加した予備原料酸素ガスを放電式オゾン発
生装置（オゾナイザー１１）に供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン発生方法及
び装置に関し、詳しくは、パルプの漂白や排水処理等の
分野で使用されるオゾンを放電によって発生する方法及
び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】オゾン供給装置では、蒸発式酸素ガス供
給装置で液化酸素を蒸発させた酸素ガスや、圧力変動吸
着式酸素発生装置（酸素ＰＳＡ）で発生した酸素ガスを
オゾン原料として放電式オゾン発生装置（オゾナイザ
ー）に供給し、オゾナイザーでの無声放電によってオゾ
ンを発生させるようにしている。特に、連続的に大量の
オゾンを供給する装置では、オゾン原料供給源として酸
素ＰＳＡが広く用いられている。

【０００３】また、オゾン供給装置では、オゾン原料供
給源の不具合、例えば酸素ＰＳＡの故障等に対応するた
め、バックアップ用の酸素供給源を設置するようにして
おり、通常は、蒸発式酸素ガス供給装置をバックアップ
用として設置することが多い。通常、バックアップ用酸
素への切換えは、酸素ＰＳＡ自体に設けられている酸素
濃度計や圧力計、流量計、露点計における異常値、ある
いは、制御器におけるシーケンス異常等によって酸素Ｐ
ＳＡが緊急停止したときに行うようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、蒸発式酸素ガ
ス供給装置で使用する液化酸素は、一般に流通している
液化酸素を使用するため、この液化酸素を蒸発させて得
られる酸素ガスは、不純物濃度が０．５％未満の高純度
のものであり、しかも、アルゴン以外の不純物の濃度が
数ｐｐｍであるのに対し、酸素ＰＳＡで発生した酸素
は、オゾナイザーにとって好ましくない水分や炭化水素
は十分に除去されているものの、アルゴンや窒素を数％
含むため、酸素濃度が９０〜９５％程度の比較的低純度
のものとなっている。また、高圧ガス容器に充填した酸
素ガスを用いることも考えられるが、一般的に、この酸
素ガスは、充填工場において液化酸素を蒸発させた酸素
ガスを充填したものであるから、蒸発式酸素ガス供給装
置から得られる酸素ガスと実質的に同じものである。

【０００５】ところが、オゾナイザーにおいては、アル
ゴン以外の窒素等の不純物をある程度含んだ酸素ガスの
方がオゾン発生効率が高いため、酸素ＰＳＡが故障した
ときに、オゾナイザーに供給する酸素ガスを蒸発式酸素
ガス供給装置からのバックアップ用酸素に切換えると、
該酸素ガスがアルゴン以外の不純物をほとんど含んでい
ないため、オゾナイザーでのオゾンの発生効率が低下し
てしまい、オゾンの発生量が減少してしまうことがあ
る。なお、アルゴンは、放電によるオゾンの発生にはほ
とんど影響を与えないことが確認されている。

【０００６】また、バックアップ用酸素への切換えを、
酸素ＰＳＡの緊急停止によって行うようにしているの
で、オゾナイザーに導入されるオゾン原料としての原料
酸素ガスの圧力や流量が変化することもあり、これらが
変化すると、一時的に放電が不安定になってオゾン発生
効率が低下したり、オゾナイザーに負荷を与えることが
ある。さらに、酸素ＰＳＡが露点異常で停止した場合等
には、オゾナイザーにとって好ましくない水分等が侵入
するおそれもある。

【０００７】そこで本発明は、オゾナイザーに導入され
る原料酸素ガスを、酸素ＰＳＡで発生した酸素ガスから
バックアップ用の蒸発式酸素ガス供給装置で得られた予
備の酸素ガスに切換えたときのオゾン発生効率の低下を
抑え、オゾナイザーを安定した状態で運転することがで
きるオゾン発生方法及び装置を提供することを目的とし
ている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のオゾン発生方法は、圧力変動吸着式酸素発
生装置で発生させた酸素ガスを原料酸素ガスとして放電
式オゾン発生装置に供給し、該放電式オゾン発生装置で
放電によりオゾンを発生させる方法において、前記圧力
変動吸着式酸素発生装置に異常が生じて原料酸素ガスの
供給が行えなくなったときに、バックアップ用の酸素ガ
スに添加ガスを添加した予備原料酸素ガスを前記放電式
オゾン発生装置に供給することを特徴とし、前記添加ガ
スが、窒素又は二酸化炭素又は乾燥空気であり、予備原
料酸素ガス中の添加ガス濃度が０．０１〜５％の範囲で
あることを特徴としている。

【０００９】さらに、前記放電式オゾン発生装置に導入
される原料酸素ガスの流量、圧力及び露点の少なくとも
一つに異常を検知したときに、前記放電式オゾン発生装
置の放電を停止することを特徴とし、放電式オゾン発生
装置の放電を停止した後、前記圧力変動吸着式酸素発生
装置からの原料酸素ガスの供給を停止し、前記予備原料
酸素ガスの供給に切換えるとともに、該予備原料酸素ガ
スの流量、圧力及び露点が所定値を満足したときに、放
電式オゾン発生装置の放電を再開することを特徴として
いる。

【００１０】また、本発明のオゾン発生装置は、放電に
よりオゾンを発生させる放電式オゾン発生装置と、該放
電式オゾン発生装置に原料酸素ガスを供給する圧力変動
吸着式酸素発生装置と、前記放電式オゾン発生装置にバ
ックアップ用の酸素ガスを供給するためのバックアップ
用酸素供給装置と、該バックアップ用酸素ガスに添加ガ
スを添加する添加ガス供給手段とを備えていることを特
徴としている。

【００１１】さらに、本発明のオゾン発生装置は、前記
放電式オゾン発生装置の原料酸素導入経路に、原料酸素
ガスの流量を設定する流量調節手段を設けるとともに、
該流量調節手段の上流にバッファタンクを設け、該バッ
ファタンク内に、水分吸着剤を充填したことを特徴とし
ている。

【００１２】また、前記放電式オゾン発生装置の原料酸
素導入経路に、該放電式オゾン発生装置に導入されるガ
スの圧力を測定する圧力計と露点を測定する露点計とを
設けるとともに、該圧力計又は露点計が異常値を出力し
たときに、前記放電式オゾン発生装置の放電を停止する
制御手段を備えており、前記制御手段は、前記圧力計又
は露点計が異常値を出力したときに、前記放電式オゾン
発生装置に導入するガスを、前記原料酸素ガスから前記
予備原料酸素ガスに切換えること、前記制御手段は、前
記圧力計及び露点計が所定値を出力したときに前記放電
式オゾン発生装置の放電を再開することを特徴としてい
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一形態例を示すオ
ゾン発生装置の系統図である。このオゾン発生装置は、
放電によりオゾンを発生させる放電式オゾン発生装置
（オゾナイザー）１１と、該オゾナイザー１１にオゾン
原料（原料酸素ガス）を供給する圧力変動吸着式酸素発
生装置（酸素ＰＳＡ）１２と、バックアップ用の酸素ガ
スを供給するためのバックアップ用酸素供給装置である
蒸発式酸素ガス供給装置１３と、バックアップ用酸素ガ
スに添加ガスを添加する添加ガス供給手段１４とを備え
ている。

【００１４】酸素ＰＳＡ１２で発生した酸素ガスを供給
するための主酸素供給経路１５及び蒸発式酸素ガス供給
装置１３で蒸発させた酸素ガスを供給するための予備酸
素供給経路１６には、それぞれ遮断弁１７，１８が設け
られており、添加ガス供給手段１４から添加ガスを供給
するための添加ガス供給経路１９には、遮断弁２０に加
えて、添加ガスの流量を調節するための流量調節器２１
と流量計２２とが設けられている。

【００１５】前記３本の経路１５，１６，１９は、各遮
断弁１７，１８，２０の下流側でオゾナイザー１１の原
料酸素導入経路２３に合流しており、この原料酸素導入
経路２３には、上流側から順に、バッファタンク２４，
流量調節弁２５，流量計２６，圧力計２７，露点計２８
がそれぞれ設けられている。なお、オゾナイザー１１の
下流側のオゾン導出経路２９には、オゾナイザー１１で
発生したオゾン濃度を測定するためのオゾン濃度計３０
が設けられている。

【００１６】さらに、オゾナイザー１１の運転を制御す
るための制御手段３１が設けられており、この制御手段
３１には、入力信号として、酸素ＰＳＡ１２の運転情報
３２，流量計２６からの流量情報３３、圧力計２７から
の圧力情報３４，露点計２８からの露点情報３５がそれ
ぞれ入力され、出力信号として、遮断弁１７，１８，２
０の開閉信号３６，３７，３８と、オゾナイザー１１の
放電運転を制御する運転信号３９とが出力されている。

【００１７】酸素ＰＳＡ１２が正常運転中の通常時に
は、前記開閉信号３６，３７，３８によって主酸素供給
経路１５の遮断弁１７が開、予備酸素供給経路１６の遮
断弁１８及び添加ガス供給経路１９の遮断弁２０が共に
閉となっており、酸素ＰＳＡ１２で発生した酸素ガス
が、主酸素供給経路１５から原料酸素導入経路２３に供
給され、バッファタンク２４を経て流量調節弁２５で流
量を設定値に調節された後、流量計２６，圧力計２７及
び露点計２８でそれぞれ流量、圧力、露点を測定されて
からオゾナイザー１１に導入される。オゾナイザー１１
では、前記運転信号３９によって原料酸素ガスへの無声
放電が行われ、これによって一部の酸素からオゾンが発
生し、残りの酸素ガスに同伴されてオゾン導出経路２９
に導出され、オゾン濃度計３０で濃度を測定されて所定
の供給先に供給される。

【００１８】前記酸素ＰＳＡ１２は、空気中の窒素を優
先的に吸着する吸着剤を使用して窒素を分離するもので
あって、この酸素ＰＳＡ１２からオゾナイザー１１に供
給される原料酸素ガスの組成は、酸素ＰＳＡ１２の装置
構成や運転方法、吸着剤の種類等によって異なるが、一
般的には、酸素濃度９３％以上、アルゴン５％未満、窒
素２％未満となっている。また、オゾナイザー１１で
は、この組成の原料酸素ガスに無声放電処理を行うこと
により、オゾン濃度が１０重量（ｗｔ）％程度のオゾン
含有ガスを発生させている。

【００１９】さらに、前記酸素ＰＳＡ１２には、主酸素
供給経路１５に供給する酸素ガスの品質をチェックする
ため、前述のように、酸素濃度計、圧力計、流量計、露
点計等（図示せず）が設けられており、これらの計器か
ら異常値が出力されると、装置の運転を緊急停止させて
酸素ガスの発生を中断するように形成されており、この
酸素ＰＳＡ１２の運転停止の情報が、前記運転情報３２
として前記制御手段３１に入力される。

【００２０】制御手段３１は、運転情報３２として酸素
ＰＳＡ１２の運転停止の情報が入力されると、前記開閉
信号３６，３７，３８によって主酸素供給経路１５の遮
断弁１７を閉じるとともに、予備酸素供給経路１６の遮
断弁１８及び添加ガス供給経路１９の遮断弁２０を開
く。これにより、蒸発式酸素ガス供給装置１３からの酸
素ガスの供給と、添加ガス供給手段１４からの添加ガス
の供給とが開始される。

【００２１】蒸発式酸素ガス供給装置１３では、貯槽内
に貯留した液化酸素を蒸発器に導入し、蒸発させること
によって予備酸素供給経路１６へ酸素ガスを供給し、こ
の酸素ガスに、添加ガス供給経路１９の流量調節器２１
で流量調節された添加ガスが添加され、予備原料酸素ガ
スとなって原料酸素導入経路２３からオゾナイザー１１
に導入される。

【００２２】蒸発式酸素ガス供給装置１３から供給され
る酸素ガスは、一般的な工業用として流通している略１
００％の酸素濃度の液化酸素を蒸発させたものであるか
ら、通常は、酸素濃度が９９．５％以上で、アルゴン
０．５％未満、窒素等のアルゴン以外の不純物は１０ｐ
ｐｍ未満の高純度のものとなっている。なお、バックア
ップ用の酸素ガスには、高圧容器に充填した状態で流通
している酸素ガスを用いることも可能であるが、この酸
素ガスの組成も液化酸素の組成と略同じであり、アルゴ
ン以外の不純物、すなわち、オゾナイザー１１の放電効
率を高める成分はほとんど含まれていない。

【００２３】上記高純度酸素ガスに添加される添加ガス
は、オゾナイザー１１に悪影響を与える炭化水素等の成
分を含まずに、オゾナイザー１１での放電状態を安定化
できるものならば各種ガスを用いることができるが、入
手の容易性やコスト等の点から、通常は、市販の窒素ガ
ス又は二酸化炭素（炭酸ガス）が最適である。窒素及び
二酸化炭素は、液化窒素、液化炭酸ガスとして貯留して
おき、これを蒸発させて使用することもできるが、通常
は、添加ガスの使用量は少ないので、高圧ガス容器に充
填されたガスを使用すればよい。また、除湿処理を行っ
た空気を使用することも可能であり、計装用空気等の乾
燥空気使用設備があれば、ここからの乾燥空気を利用す
ることができる。

【００２４】添加ガスの添加量は、オゾナイザー１１に
おける放電状態を安定化させることができれば任意の量
を添加することができ、添加ガスの種類によっても異な
るが、通常は、０．０１〜５％、好ましくは０．１〜２
％の範囲が適当であり、添加量が０．０１％未満では添
加ガスを添加した効果を十分に得ることはできず、５％
を超えて添加した場合は、オゾナイザー１１に導入する
予備原料酸素ガスの酸素濃度が相対的に低下し、最終的
にオゾン利用設備に使用するオゾン含有ガスのオゾン濃
度が低下することがあり、また、添加ガス自体のコスト
も上昇するために好ましいものではなく、放電状態を安
定化できる範囲で最少量に設定することが望ましい。

【００２５】図２は、添加ガスとして二酸化炭素を使用
したときの酸素中の二酸化炭素濃度とオゾナイザー１１
での発生オゾン濃度との関係を示す図である。この図か
らわかるように、酸素中に含まれる二酸化炭素濃度が
０．０１％未満では二酸化炭素濃度の低下とともにオゾ
ナイザー１１での発生オゾン濃度が急激に低下し、二酸
化炭素濃度が０．０１％で発生オゾン濃度が約９ｗｔ％
を超え、０．１〜４％の範囲の場合は発生オゾン濃度が
約１０ｗｔ％となっている。そして、二酸化炭素濃度が
５％を超えたあたりから、ガス中の酸素濃度の低下に伴
って徐々に発生オゾン濃度が低下していることがわか
る。

【００２６】また、添加ガスの濃度は、厳密に制御する
必要はなく、オゾナイザー１１の放電が安定すればよい
ので、適当な中間値を選択して一定流量で添加すること
ができ、この場合は流量調節器２１や流量計２２を省
略、あるいは簡単なものにすることができる。さらに、
オゾナイザー１１の処理量が少ない場合は、添加ガスの
添加量も少なくなるので、酸素ガスの供給を酸素ＰＳＡ
１２から行う場合でも、添加ガスを常時一定量、例えば
０．５％程度になるように供給しておくこともでき、こ
の場合は、自動的に開閉する遮断弁２０を簡単な手動弁
にすることができる。

【００２７】このように、酸素ＰＳＡ１２が運転を停止
するのと同時に、所定量の添加ガスを添加した予備原料
酸素ガスに切換えることにより、オゾナイザー１１にお
ける放電が不安定になることを回避してオゾンの発生を
安定した状態で継続することができる。

【００２８】さらに、本形態例に示すオゾン発生装置で
は、オゾナイザー１１に導入される原料酸素ガスの状態
が変化したときに、オゾナイザー１１における放電を一
時停止させてオゾナイザー１１を保護する機能も有して
いる。

【００２９】すなわち、オゾナイザー１１に導入される
原料酸素ガスの流量、圧力及び露点を前記流量計２６、
圧力計２７及び露点計２８でそれぞれ測定し、流量が所
定の流量範囲から外れたり、圧力が所定の圧力範囲から
外れたり、露点が所定の上限温度を超えたりした場合、
例えば、流量基準値が１００Ｎｍ^３／ｈで許容範囲が７
５〜１２５Ｎｍ^３／ｈに設定されているときに原料酸素
ガスの流量がこの許容範囲を外れた場合には流量計２６
からの流量情報３３として流量値異常情報が、圧力基準
値が０．２０ＭＰａで許容範囲が０．１９〜０．２１Ｍ
Ｐａに設定されているときに原料酸素ガスの圧力がこの
許容範囲を外れた場合には圧力計２７からの圧力情報３
３として圧力値異常情報が、露点基準値が−６５℃で露
点上限温度が−６０℃に設定されているときに露点が−
６０℃を超えた場合には露点計２８からの露点情報３４
として露点異常情報が、それぞれ制御手段３１に出力さ
れる。

【００３０】制御手段３１は、前記流量情報３３や圧力
情報３４、露点情報３５として異常情報が入力される
と、オゾナイザー１１に対して放電運転を停止する運転
信号３９を出力し、流量異常や圧力異常、露点異常によ
る負荷がオゾナイザー１１にかかるのを回避する。ま
た、必要に応じて前記開閉信号３６，３７，３８を出力
し、各遮断弁１７，１８，２０を切換開閉することによ
り、オゾナイザー１１に導入するガスを予備原料酸素ガ
スに切換える。

【００３１】上記流量計２６、圧力計２７及び露点計２
８による原料酸素ガスの状態監視は、酸素ＰＳＡ１２の
故障時にも有効に機能し、ガス切換時において、蒸発式
酸素ガス供給装置１３からの酸素ガス供給が立上がるま
での僅かな時間の流量変動や圧力変動、露点変動に対し
ても前記同様に作動して放電を一時停止し、切換後の流
量、圧力及び露点が所定値を満足したときに、オゾナイ
ザー１１の放電運転を再開する。

【００３２】また、本形態例では、原料酸素導入経路２
３の最上流部に所定容量のバッファタンク２４を設けて
原料酸素ガス切換時の流量変動や圧力変動を抑制するよ
うにしている。さらに、このバッファタンク２４内に適
当量の水分吸着剤、例えば活性アルミナやシリカゲルを
入れておくことにより、酸素ＰＳＡ１２の故障等で水分
を含む酸素ガスが原料酸素導入経路２３に流入してきて
も、このバッファランク２４で除湿処理を行うことがで
き、水分を含むガスがオゾナイザー１１に流入すること
を確実に防止できる。

【００３３】このようなバッファタンク２４を設置する
場合、流量調節手段である流量調節弁２５及び流量計２
６や、圧力を監視する圧力計２７は、このバッファタン
ク２４の下流側で、オゾナイザー１１の入口部に設置し
てオゾナイザー１１に導入される原料酸素ガスが所定流
量、所定圧力であることを確認する必要がある。一方、
露点計２８も、オゾナイザー１１に導入される原料酸素
ガスの露点が所定の温度以下であることを確認する必要
があるが、バッファタンク２４の上流側にも露点計を設
けておくことにより、原料酸素導入経路２３に流入した
ガスの露点から、酸素ＰＳＡ１２や蒸発式酸素ガス供給
装置１３、添加ガス供給手段１４からのガスに水分が混
入しているといった異常の発生を知ることができる。

【００３４】なお、本形態例では、より確実に安定した
運転を行うとともにオゾナイザー１１への負荷を最小限
にできるように、バッファタンク２４，流量調節弁２
５，流量計２６，圧力計２７，露点計２８を設けて原料
酸素ガスの状態監視や圧力変動防止を図っているが、オ
ゾン供給先の条件によっては、これらの機器を省略する
ことも可能である。例えば、酸素ＰＳＡが露点異常で緊
急停止することがないと考えられるときには、バッファ
タンク２４への水分吸着剤の充填を省略することがで
き、これにより、バッファタンク２４による緩衝機能を
高めることができる。また、オゾナイザー１１が原料酸
素ガス切換時の圧力，流量，酸素濃度の変動に対して安
定性が高い場合には、バッファタンク２４自体を省略す
ることもできる。さらに、酸素ＰＳＡ１２の故障時に
は、オゾナイザー１１の放電を所定時間停止させた状態
でガス切換えを行うようにしてもよい。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放電式オゾン発生装置（オゾナイザー）に原料酸素ガス
を供給する圧力変動吸着式酸素発生装置（酸素ＰＳＡ）
が故障して予備のバックアップ用酸素ガスに切換えた際
に、放電式オゾン発生装置におけるオゾン発生効率が低
下したり、放電が不安定になったりすることがなくな
り、放電異常等に起因する放電式オゾン発生装置の不具
合の発生もなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一形態例を示すオゾン発生装置の系
統図である。

【図２】 酸素中の二酸化炭素濃度とオゾナイザーでの
発生オゾン濃度との関係を示す図である。

【符号の説明】 １１…放電式オゾン発生装置（オゾナイザー）、１２…
圧力変動吸着式酸素発生装置（酸素ＰＳＡ）、１３…蒸
発式酸素ガス供給装置、１４…添加ガス供給手段、１５
…主酸素供給経路、１６…予備酸素供給経路、１７，１
８…遮断弁、１９…添加ガス供給経路、２０…遮断弁、
２１…流量調節器、２２…流量計、２３…原料酸素導入
経路、２４…バッファタンク、２５…流量調節弁、２６
…流量計、２７…圧力計、２８…露点計、２９…オゾン
導出経路、３０…オゾン濃度計、３１…制御手段、３２
…運転情報、３３…流量情報、３４…圧力情報、３５…
露点情報、３６，３７，３８…開閉信号、３９…運転信
号

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力変動吸着式酸素発生装置で発生させ
   た酸素ガスを原料酸素ガスとして放電式オゾン発生装置
   に供給し、該放電式オゾン発生装置で放電によりオゾン
   を発生させる方法において、前記圧力変動吸着式酸素発
   生装置に異常が生じて原料酸素ガスの供給が行えなくな
   ったときに、バックアップ用の酸素ガスに添加ガスを添
   加した予備原料酸素ガスを前記放電式オゾン発生装置に
   供給することを特徴とするオゾン発生方法。
2. 【請求項２】 前記添加ガスが、窒素又は二酸化炭素又
   は乾燥空気であることを特徴とする請求項１記載のオゾ
   ン発生方法。
3. 【請求項３】 前記予備原料酸素ガス中の添加ガス濃度
   が０．０１〜５％の範囲であることを特徴とする請求項
   １記載のオゾン発生方法。
4. 【請求項４】 前記放電式オゾン発生装置に導入される
   原料酸素ガスの流量、圧力及び露点の少なくとも一つに
   異常を検知したときに、前記放電式オゾン発生装置の放
   電を停止することを特徴とする請求項１記載のオゾン発
   生方法。
5. 【請求項５】 前記放電式オゾン発生装置の放電を停止
   した後、前記圧力変動吸着式酸素発生装置からの原料酸
   素ガスの供給を停止し、前記予備原料酸素ガスの供給に
   切換えるとともに、該予備原料酸素ガスの流量、圧力及
   び露点が所定値を満足したときに、放電式オゾン発生装
   置の放電を再開することを特徴とする請求項４記載のオ
   ゾン発生方法。
6. 【請求項６】 放電によりオゾンを発生させる放電式オ
   ゾン発生装置と、該放電式オゾン発生装置に原料酸素ガ
   スを供給する圧力変動吸着式酸素発生装置と、前記放電
   式オゾン発生装置にバックアップ用の酸素ガスを供給す
   るためのバックアップ用酸素供給装置と、該バックアッ
   プ用酸素ガスに添加ガスを添加する添加ガス供給手段と
   を備えていることを特徴とするオゾン発生装置。
7. 【請求項７】 前記放電式オゾン発生装置の原料酸素導
   入経路に、原料酸素ガスの流量を設定する流量調節手段
   を設けるとともに、該流量調節手段の上流にバッファタ
   ンクを設けたことを特徴とする請求項６記載のオゾン発
   生装置。
8. 【請求項８】 前記バッファタンク内に、水分吸着剤を
   充填したことを特徴とする請求項７記載のオゾン発生装
   置。
9. 【請求項９】 前記放電式オゾン発生装置の原料酸素導
   入経路に、該放電式オゾン発生装置に導入されるガスの
   圧力を測定する圧力計と露点を測定する露点計とを設け
   るとともに、該圧力計又は露点計が異常値を出力したと
   きに、前記放電式オゾン発生装置の放電を停止する制御
   手段を備えていることを特徴とする請求項６，７又は８
   記載のオゾン発生装置。
10. 【請求項１０】 前記制御手段は、前記圧力計又は露点
    計が異常値を出力したときに、前記放電式オゾン発生装
    置に導入するガスを、前記原料酸素ガスから前記予備原
    料酸素ガスに切換えることを特徴とする請求項９記載の
    オゾン発生装置。
11. 【請求項１１】 前記制御手段は、前記圧力計及び露点
    計が所定値を出力したときに前記放電式オゾン発生装置
    の放電を再開することを特徴とする請求項９又は１０記
    載のオゾン発生装置。