JP2002244097A

JP2002244097A - 液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システム

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Publication number: JP2002244097A
Application number: JP2001041292A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Nozu; 恵一野津; Yoshiaki Maruyama; 嘉昭丸山; Kenichi Nagaoka; 謙一長岡
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2001-02-19
Filing date: 2001-02-19
Publication date: 2002-08-28
Anticipated expiration: 2021-02-19
Also published as: JP4443779B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、液晶表示パネル点灯表示検査方法及
び検査システムに関し、液晶表示パネル点灯表示検査の
検査時間を短縮させた液晶表示パネル点灯表示検査方法
及び検査システムを提供することを目的とする。【解決手段】被検査対象の液晶表示パネル２に所定の検
査表示パターンを表示させ、液晶表示パネル２の表示欠
陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査方法であっ
て、前工程のＴＦＴ基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥
種の欠陥情報をＴＦＴ基板欠陥情報データベース２４か
ら取得して、当該欠陥種を検出する検査を省略するよう
に構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル点
灯表示検査装置を用いた液晶表示パネル点灯表示検査方
法及び検査システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置（ＬＣＤ；Ｌｉｑｕｉｄ
ＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）を構成する薄膜トラ
ンジスタ（ＴＦＴ；ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉ
ｓｔｏｒ）基板は、ＴＦＴ基板の製造工程終了後に行わ
れるＴＦＴ基板欠陥検査装置を用いたＴＦＴ基板欠陥検
査工程で欠陥の有無が検査されている。ＴＦＴ基板欠陥
検査工程では、ＴＦＴ／ＬＣＤセルコンデンサに電荷を
蓄積し、一定時間保持した後に積分器によって蓄積され
た電荷を読み取ることにより、ＴＦＴ基板内の全ての欠
陥が検出される。その後ＴＦＴ基板は、欠陥の個数や位
置等により良否判定される。

【０００３】ＴＦＴ基板とカラーフィルタ（ＣＦ；Ｃｏ
ｌｏｒＦｉｌｔｅｒ）基板を貼り合わせて液晶を注入
した後には、液晶表示パネル点灯表示検査が行われる。
図１１は、従来の液晶表示パネル点灯表示検査工程を示
す概略構成図である。まず、被検査対象の液晶表示パネ
ル１０２の全ての端子にプローブ１０４のプローブピン
１０６を接触させる。次に、処理系Ｂ１１６は、信号発
生器１１４、コントロール基板１１２、プローブ１０４
及びプローブピン１０６を介して液晶表示パネル１０２
の端子に所定の表示信号を供給する。この表示信号によ
り、液晶表示パネル１０２の全ての欠陥を検出するのに
必要な全ての検査表示パターンを液晶表示パネル１０２
に表示させている。また、液晶表示パネル１０２は、裏
面からバックライト１０８により照明されている。次
に、電荷結合素子（ＣＣＤ；ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌ
ｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメラ１１０により得られた液晶
表示パネル１０２の検査表示パターンの画像を処理系Ｂ
１１６で解析して液晶表示パネル１０２の全ての表示欠
陥を検出し、液晶表示パネル１０２を良否判定する。ま
た、液晶表示パネル点灯表示検査工程では、ムラや異物
の有無等も検査する。

【０００４】検出された欠陥情報を含む液晶表示パネル
１０２の検査結果は、処理系Ｂ１１６から処理系Ａ１１
８に送出される。処理系Ａ１１８は、液晶表示パネル１
０２の検査結果を液晶表示パネル点灯表示検査装置用デ
ータベース（ＤＢ）１２０に書き込む。ＴＦＴ基板欠陥
検査と液晶表示パネル点灯表示検査はそれぞれ独立して
取扱われており、液晶表示パネル点灯表示検査工程での
検査結果はＴＦＴ基板欠陥検査工程での検査結果とは別
のＤＢに格納される。

【０００５】図１２は、従来の他の液晶表示パネル点灯
表示検査工程を示す概略構成図である。図１２に示す液
晶表示パネル点灯表示検査工程は、図１１に示すように
ＣＣＤカメラ１１０を用いずに、オペレータ１２２が液
晶表示パネル１０２に表示される検査表示パターンを目
視して液晶表示パネル１０２の欠陥を検出し、液晶表示
パネル１０２を良否判定する。液晶表示パネル１０２の
検査結果は、オペレータ１２２により処理系Ａ１１８へ
入力される。処理系Ａ１１８は、液晶表示パネル１０２
の検査結果を液晶表示パネル点灯表示検査装置用ＤＢ１
２０に書き込む。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の液晶表示パネル
点灯表示検査工程では、液晶表示パネル１０２の全ての
表示欠陥を検出するのに必要な全ての検査表示パターン
が液晶表示パネル１０２に表示される。そのため、液晶
表示パネル点灯表示検査に長時間を要してしまうという
問題を有している。

【０００７】本発明の目的は、液晶表示パネル点灯表示
検査の検査時間を短縮させた液晶表示パネル点灯表示検
査方法及び検査システムを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、被検査対象
の液晶表示パネルに所定の検査表示パターンを表示さ
せ、前記液晶表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示
パネル点灯表示検査方法であって、前工程のＴＦＴ基板
欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の欠陥情報をＴＦＴ基
板欠陥情報データベースから取得して、前記欠陥種を検
出する検査を省略することを特徴とする液晶表示パネル
点灯表示検査方法によって達成される。

【０００９】また、上記目的は、被検査対象の液晶表示
パネルに所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶
表示パネルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表
示検査システムであって、前工程のＴＦＴ基板欠陥検査
工程で検出済みの欠陥種の欠陥情報をＴＦＴ基板欠陥情
報データベースから取得して、前記欠陥種を検出する検
査を省略することを特徴とする液晶表示パネル点灯表示
検査システムによって達成される。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態による液晶
表示パネル点灯表示検査方法及び検査システムについて
図１乃至図１０を用いて説明する。まず、本実施の形態
による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査システ
ムの概略の構成について図１を用いて説明する。図１
は、本実施の形態による液晶表示パネル点灯表示検査方
法及び検査システムを示す概略構成図である。被検査対
象の液晶表示パネル２は、バックライト８上に位置決め
されており、液晶表示パネル２の全ての端子にはプロー
ブ４のプローブピン６が接触できるようになってい
る。。液晶表示パネル２上方には液晶表示パネル２の表
示状態を撮影するＣＣＤカメラ１０が配置されており、
ＣＣＤカメラ１０は撮影した画像情報を処理系Ｂ１６へ
送出するようになっている。処理系Ｂ１６は、信号発生
器１４、コントロール基板１２、プローブ４及びプロー
ブピン６を介して液晶表示パネル２の各端子に所定の表
示信号を供給するとともに、ＣＣＤカメラ１０から送ら
れる画像情報を解析するようになっている。

【００１１】処理系Ｂ１６は、処理系Ａ１８に接続され
ている。処理系Ａ１８は、液晶表示パネル点灯表示検査
の検査結果を格納する液晶表示パネル点灯表示検査装置
用ＤＢ２０にローカル・エリア・ネットワーク（ＬＡ
Ｎ；ＬｏｃａｌＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ）２８を介
して接続されている。ＬＡＮ２８上には、前工程のＴＦ
Ｔ基板欠陥検査工程に用いるＴＦＴ基板欠陥検査装置２
６と、ＴＦＴ基板欠陥検査の検査結果を格納しているＴ
ＦＴ基板欠陥情報ＤＢ２４とがさらに接続されている。

【００１２】次に、本実施の形態による液晶表示パネル
点灯表示検査方法について説明する。まず、ＴＦＴ基板
欠陥検査を通過したＴＦＴ基板とＣＦ基板とを貼り合わ
せ、両基板間に液晶を注入して形成した液晶表示パネル
２を搬送装置（図示せず）を用いてバックライト８上に
搬送し、位置決めを行い、液晶表示パネル２の全ての端
子にプローブピン６を接触させる。次いで処理系Ｂ１６
は、液晶表示パネル２の全ての端子に、液晶表示パネル
２が所定の検査表示パターンを表示するような表示信号
を供給する。液晶表示パネル２の上方に配置されている
ＣＣＤカメラ１０は、液晶表示パネル２に表示された検
査表示パターンを撮影する。ＣＣＤカメラ１０は撮影し
た画像情報を処理系Ｂ１６へ送出する。処理系Ｂ１６
は、画像情報を画像解析して表示欠陥を検出し、液晶表
示パネル２の表示欠陥の検出結果をＬＡＮ２８に接続さ
れている処理系Ａ１８に送出する。

【００１３】ここで、液晶表示パネル点灯表示検査工程
で検出される表示欠陥の中には、前工程であるＴＦＴ基
板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種も含まれている。次
に、ＴＦＴ基板欠陥検査工程で検出される欠陥種であっ
て、液晶表示パネル点灯表示検査工程でも検出可能な４
つの欠陥種について図２乃至図８を用いて説明する。

【００１４】図２は第１の欠陥種を示す画素領域の平面
図である。絶縁性を有するガラス基板３２上には、図中
左右方向へ延びるゲートバスライン３６と図中上下方向
へ延びるドレインバスライン３８とで画素領域が画定さ
れている。画素領域には画素電極３４が形成されてい
る。画素領域のほぼ中央部には、蓄積容量バスライン４
０が画素領域を横切って形成されている。蓄積容量バス
ライン４０上には中間電極５１が形成されており、中間
電極５１と画素電極３４はコンタクトホール５２を介し
て接続されている。画素領域の図中左上方には、ゲート
バスライン３６と、ドレインバスライン３８から延出し
ているドレイン電極４２と、ドレイン電極４２と所定の
間隙で対向して形成されているソース電極４４とでＴＦ
Ｔ４５が形成されている。ＴＦＴ４５の図中下方の楕円
で囲まれた領域は第１の欠陥種を示している。この欠陥
種は、ドレインバスライン３８と中間電極５１が接続さ
れた状態で形成されており、ドレインバスライン３８と
画素電極３４が中間電極５１とコンタクトホール５２を
介して短絡している状態を示している。

【００１５】図３は、液晶表示パネル点灯表示検査工程
で表示される検査表示パターンの１つである白黒上下２
分割検査表示パターンを示している。図３に示すよう
に、表示領域４６は上下２領域に分割されている。上部
は白（又は黒）表示されており、下部は黒（又は白）表
示されている。表示領域４６の左下部には、黒を表示し
ている領域の中に中間調の輝点欠陥５０が生じている。
なお、この表示は、ＣＣＤカメラ１０の撮影に要する時
間（例えば数秒）程度の間隔で白黒が反転される。

【００１６】図２に示した欠陥種は、画素電極３４とド
レインバスライン３８が短絡しているため、ドレインバ
スライン３８上の階調電圧の電圧変化がそのまま画素電
極３４の電圧変化となる。図３に示した白黒上下２分割
検査表示パターンを表示させると、例えばフレーム反転
駆動されるノーマリーブラックモードの液晶表示パネル
におけるドレインバスライン３８の階調電圧は、フレー
ム毎にフレームの前半が例えば±５Ｖで後半が例えば±
１Ｖとなる。１フレーム周期が１／６０ｓｅｃ（秒）で
あれば、図２に示した欠陥種を有する画素は、１／１２
０ｓｅｃずつ白表示と黒表示を繰り返すため中間調の点
として視認される。したがって、図２に示した欠陥種を
有する画素は、白表示領域中にあれば暗点欠陥となり、
黒表示領域中にあれば輝点欠陥となる。これはドット反
転駆動でも同様であり、また、ノーマリーホワイトモー
ドでも同様である。

【００１７】図４は第２の欠陥種を示す画素領域の平面
図である。ＴＦＴ４５上の円で囲まれた領域は、ドレイ
ン電極４２とソース電極４４が短絡している状態を示し
ている。図４に示した欠陥種を有する画素は、図２に示
した欠陥種を有する画素と同様に、ドレインバスライン
３８の階調電圧の電圧変化がそのまま画素電極３４の電
圧変化となる。したがって、図３に示した白黒上下２分
割検査表示パターンを表示させることによって、白表示
領域中にあれば暗点欠陥となり、黒表示領域中にあれば
輝点欠陥となる。

【００１８】図５は第３の欠陥種を示す画素領域の平面
図である。ＴＦＴ４５の図中左下の楕円で囲まれた領域
は、ドレインバスライン３８が図中左側の中間電極５１
と接続された状態で形成されており、ドレインバスライ
ン３８と図中左側の画素電極３４が中間電極５１とコン
タクトホール５２を介して短絡している状態を示してい
る。図５に示した欠陥種を有する画素は、ドレインバス
ライン３８の階調電圧の電圧変化がそのまま図中左側の
画素電極３４の電圧変化となる。したがって、図３に示
した白黒上下２分割検査表示パターンを表示させること
によって、白表示領域中にあれば暗点欠陥となり、黒表
示領域中にあれば輝点欠陥となる。

【００１９】図６は第４の欠陥種を示す画素領域の平面
図である。ＴＦＴ４５の図中右側の円で囲まれた領域
は、画素電極３４が図中上側の画素領域の画素電極３４
と短絡している状態を示している。

【００２０】図７は、液晶表示パネル点灯表示検査工程
で表示される検査表示パターンの１つである横縞模様検
査表示パターンを示している。図７に示すように、表示
領域４６は図中横方向の１画素分の太さを有するライン
が１ラインおきに白黒交互に表示されている。図中左上
部には、黒を表示するラインが一部途切れている輝点欠
陥４８が生じている。図８は、図７に示した表示領域４
６における輝点欠陥４８付近の拡大図を示している。表
示領域４６に表示されている黒を表示するラインのう
ち、図中上から２番目のラインは１画素分途切れてい
る。図６に示した欠陥種を有する画素は、液晶表示パネ
ル点灯表示検査工程で、ゲートバスライン３６方向のラ
インを１ライン置きに白黒交互に表示させる横縞模様検
査表示パターンを表示領域４６に表示させることにより
検出される。この検査表示パターンは、ＣＣＤカメラ１
０の撮影に要する時間（例えば数秒）程度の間隔で反転
して表示される。

【００２１】図６に示した欠陥種は図中上下に隣接する
画素領域に形成された画素電極３４が短絡しているた
め、上部画素の画素電位は下部画素の画素電位と同電位
になる。すなわち、図中下側の画素が白を表示している
ライン上にあるときは、図中上側の画素は黒を表示する
ライン上にあるにも関わらず白を表示するため、図７及
び図８に示すように輝点欠陥４８となる。逆に、図中下
側の画素が黒を表示しているライン上にあるときは、図
中上側の画素は白を表示するライン上にあるにも関わら
ず黒を表示するため暗点欠陥となる。これらはノーマリ
ーブラックモードでもノーマリーホワイトモードでも同
様であり、また、フレーム反転駆動でもドット反転駆動
でも同様である。

【００２２】上述の４つの欠陥種は、前工程であるＴＦ
Ｔ基板欠陥検査工程で既に検出されている。またこれら
の欠陥種は、液晶表示パネル点灯表示検査工程では、白
黒上下２分割検査表示パターンあるいは横縞模様検査表
示パターンを表示させたときのみ検出される。したがっ
て、液晶表示パネル点灯表示検査工程では、ＴＦＴ基板
欠陥検査工程で検出済みのこれらの欠陥種の欠陥情報を
ＴＦＴ基板欠陥情報ＤＢ２４から取得することによっ
て、これらの欠陥種を検出するための検査を省略するこ
とができる。

【００２３】図１に戻って、ＴＦＴ基板欠陥検査の検査
結果は、ＴＦＴ基板欠陥情報ＤＢ２４に書き込まれてい
る。検査結果に含まれている欠陥情報は、例えば検査年
月日、ロット番号、シリアル番号、欠陥を有する画素を
特定するゲートバスライン番号及びドレインバスライン
番号、欠陥種等のデータで構成されている。処理系Ａ１
８は、ＬＡＮ２８を介してＴＦＴ基板欠陥情報ＤＢ２４
から上述の第１乃至第４の４つの欠陥種についての欠陥
情報を検索して取得し、処理系Ｂ１６へ送る。処理系Ｂ
１６はそれらの欠陥種を液晶表示パネル点灯表示検査で
も検出される欠陥と判断して、それらの欠陥種を検出す
る検査表示パターンを表示しないことで検査を省略し、
送られた欠陥情報と液晶表示パネル点灯表示検査結果と
を併せて液晶表示パネル２を良否判定する。次いで、処
理系Ｂ１６は、ＴＦＴ基板欠陥情報を含んだ最終的な液
晶表示パネル点灯表示検査結果を処理系Ａへ送る。処理
系Ａは、最終的な液晶表示パネル点灯表示検査結果を液
晶表示パネル点灯表示検査装置用ＤＢ２０に書き込む。

【００２４】本実施の形態による液晶表示パネル点灯表
示検査方法及び検査システムによれば、液晶表示パネル
点灯表示検査工程において、ＴＦＴ基板欠陥検査工程で
検出されている欠陥種を検出するための検査を省略する
ことができる。そのため、表示される検査表示パターン
を減らすことにより液晶表示パネル点灯表示検査の検査
時間を短縮できる。本実施の形態による液晶表示パネル
点灯表示検査方法及び検査システムをある液晶表示パネ
ル点灯表示検査工程に適用したところ、液晶表示パネル
１枚当たりの点灯表示検査時間は、従来１５０ｓｅｃか
かっていたのに対し９０ｓｅｃとなり４０％短縮するこ
とができた。また、不良パネルの後工程への流出もこれ
まで以上に少なくすることができた。

【００２５】図９は、上記実施の形態による液晶表示パ
ネル点灯表示検査方法及び検査システムの変形例を示す
概略構成図である。本変形例は、処理系Ａ１８がＴＦＴ
基板欠陥情報ＤＢ２４から検索して取得した欠陥情報を
処理系Ｂ１６へは送らない点に特徴を有している。この
ため処理系Ｂ１６は、最終的な液晶表示パネル点灯表示
検査結果による良否判定をせず、液晶表示パネル点灯表
示検査工程での検査結果のみを処理系Ａ１８へ送る。処
理系Ａ１８は、処理系Ｂ１６から送られてくる液晶表示
パネル点灯表示検査結果と欠陥情報とを併せて液晶表示
パネル２を良否判定する。本変形例によっても上記実施
の形態と同様の効果が得られる。

【００２６】図１０は、上記実施の形態による液晶表示
パネル点灯表示検査方法及び検査システムの他の変形例
を示す概略構成図である。本変形例は、ＣＣＤカメラ１
０で得られた画像を処理系Ｂ１６で解析するのではな
く、オペレータ２２が液晶表示パネル２に表示される検
査表示パターンを目視することにより液晶表示パネル２
の欠陥を検出することを特徴としている。液晶表示パネ
ル２の検査結果は、オペレータ２２により処理系Ａ１８
へ入力される。処理系Ａ１８は、入力された液晶表示パ
ネル２の検査結果と、ＴＦＴ基板欠陥情報ＤＢ２４から
検索して取得した欠陥情報とを併せて液晶表示パネル２
を良否判定する。本変形例によっても上記実施例と同様
な効果が得られる。

【００２７】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。例えば、図１に示した上記実施の形
態による液晶表示パネル点灯表示検査方法及び検査シス
テムでは、ＣＣＤカメラ１０から送られてくる画像情報
は、処理系Ｂ１６により解析されているが、本発明はこ
れに限られない。処理系Ｂ１６の負荷が大きければ処理
系Ｂ１６とは別に画像処理解析用の処理系を設けてもよ
い。その場合、専用インターフェイス経由となるため処
理速度は低下するが、非常に負荷の大きい画像処理解析
を他の処理系で行うため、処理系Ｂ１６の負荷を軽くす
ることができるようになる。

【００２８】以上説明した実施の形態による液晶表示パ
ネル点灯表示方法及び表示システムは、以下のようにま
とめられる。（付記１）被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査表
示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠陥
を検出する液晶表示パネル点灯表示検査方法であって、
前工程のＴＦＴ基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の
欠陥情報をＴＦＴ基板欠陥情報データベースから取得し
て、前記欠陥種を検出する検査を省略することを特徴と
する液晶表示パネル点灯表示検査方法。

【００２９】（付記２）付記１記載の液晶表示パネル点
灯表示検査方法において、前記省略する検査は、前記液
晶表示パネルに検査表示パターンを表示させて表示欠陥
を検出することを内容とすることを特徴とする液晶表示
パネル点灯表示検査方法。

【００３０】（付記３）付記１又は２に記載の液晶表示
パネル点灯表示検査方法において、前記欠陥種は、ＴＦ
Ｔ基板上に形成された画素電極と、前記画素電極に階調
電圧を印加するドレインバスラインとが短絡しているこ
とを示していることを特徴とする液晶表示パネル点灯表
示検査方法。

【００３１】（付記４）付記１又は２に記載の液晶表示
パネル点灯表示検査方法において、前記欠陥種は、ＴＦ
Ｔ基板上に形成されたＴＦＴのドレイン電極とソース電
極とが短絡していることを示していることを特徴とする
液晶表示パネル点灯表示検査方法。

【００３２】（付記５）付記１又は２に記載の液晶表示
パネル点灯表示検査方法において、前記欠陥種は、ＴＦ
Ｔ基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素
領域に隣接する画素領域に形成された画素電極に階調電
圧を印加するドレインバスラインとが短絡していること
を示していることを特徴とする液晶表示パネル点灯表示
検査方法。

【００３３】（付記６）付記１又は２に記載の液晶表示
パネル点灯表示検査方法において、前記欠陥種は、ＴＦ
Ｔ基板上の画素領域に形成された画素電極と、前記画素
電極に階調電圧を印加するドレインバスラインの延びる
方向に隣接する画素領域に形成された画素電極とが短絡
していることを示していることを特徴とする液晶表示パ
ネル点灯表示検査方法。

【００３４】（付記７）被検査対象の液晶表示パネルに
所定の検査表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネ
ルの表示欠陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査シ
ステムであって、前工程のＴＦＴ基板欠陥検査工程で検
出済みの欠陥種の欠陥情報をＴＦＴ基板欠陥情報データ
ベースから取得して、前記欠陥種を検出する検査を省略
することを特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査シス
テム。

【００３５】（付記８）付記７記載の液晶表示パネル点
灯表示検査システムにおいて、前記省略する検査は、前
記液晶表示パネルに検査表示パターンを表示させて表示
欠陥を検出することを内容とすることを特徴とする液晶
表示パネル点灯表示検査システム。

【００３６】（付記９）付記７又は８に記載の液晶表示
パネル点灯表示検査システムにおいて、前記欠陥種は、
ＴＦＴ基板上に形成された画素電極と、前記画素電極に
階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡してい
ることを示していることを特徴とする液晶表示パネル点
灯表示検査システム。

【００３７】（付記１０）付記７又は８に記載の液晶表
示パネル点灯表示検査システムにおいて、前記欠陥種
は、ＴＦＴ基板上に形成されたＴＦＴのドレイン電極と
ソース電極とが短絡していることを示していることを特
徴とする液晶表示パネル点灯表示検査システム。

【００３８】（付記１１）付記７又は８に記載の液晶表
示パネル点灯表示検査システムにおいて、前記欠陥種
は、ＴＦＴ基板上の画素領域に形成された画素電極と、
前記画素領域と隣接する画素領域に形成された画素電極
に階調電圧を印加するドレインバスラインとが短絡して
いることを示していることを特徴とする液晶表示パネル
点灯表示検査システム。

【００３９】（付記１２）付記７又は８に記載の液晶表
示パネル点灯表示検査システムにおいて、前記欠陥種
は、ＴＦＴ基板上の画素領域に形成された画素電極と、
前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスライン
の延びる方向に隣接する画素領域に形成された画素電極
とが短絡していることを示していることを特徴とする液
晶表示パネル点灯表示検査システム。

【００４０】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、液晶表示
パネル点灯表示検査の検査時間を短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点
灯表示検査方法及び検査システムを示す概略構成図であ
る。

【図２】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点
灯表示検査方法及び検査システムが適用される第１の欠
陥種を示す画素領域の平面図である。

【図３】液晶表示パネル点灯検査工程において表示され
る白黒上下２分割検査表示パターンを示す図である。

【図４】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点
灯表示検査方法及び検査システムが適用される第２の欠
陥種を示す画素領域の平面図である。

【図５】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点
灯表示検査方法及び検査システムが適用される第３の欠
陥種を示す画素領域の平面図である。

【図６】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点
灯表示検査方法及び検査システムが適用される第４の欠
陥種を示す画素領域の平面図である。

【図７】液晶表示パネル点灯検査工程において表示され
る横縞模様検査表示パターンを示す図である。

【図８】液晶表示パネル点灯検査工程において表示され
る横縞模様検査表示パターンを示す拡大図である。

【図９】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル点
灯表示検査方法及び検査システムの変形例を示す概略構
成図である。

【図１０】本発明の一実施の形態による液晶表示パネル
点灯表示検査方法及び検査システムの他の変形例を示す
概略構成図である。

【図１１】従来の液晶表示パネル点灯表示検査工程を示
す構成図である。

【図１２】従来の他の液晶表示パネル点灯表示検査工程
を示す構成図である。

【符号の説明】

２液晶表示パネル４プローブ６プローブピン８バックライト１０ＣＣＤカメラ１２コントロール基板１４信号発生器１６処理系Ｂ１８処理系Ａ２０液晶表示パネル点灯表示検査装置用ＤＢ２２オペレータ２４ＴＦＴ基板欠陥情報ＤＢ２６ＴＦＴ基板欠陥検査装置２８ＬＡＮ３２ガラス基板３４画素電極３６ゲートバスライン３８ドレインバスライン４０蓄積容量バスライン４２ドレイン電極４４ソース電極４５ＴＦＴ４６表示領域４８、５０輝点欠陥５１中間電極５２コンタクトホール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長岡謙一神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内Ｆターム(参考） 2G014 AA03 AB21 AB59 AC07 2G036 AA22 BA33 BB12 CA07 2H088 FA13 FA14 FA24 HA06 MA20 5G435 AA17 BB12 EE33 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査対象の液晶表示パネルに所定の検査
表示パターンを表示させ、前記液晶表示パネルの表示欠
陥を検出する液晶表示パネル点灯表示検査方法であっ
て、前工程のＴＦＴ基板欠陥検査工程で検出済みの欠陥種の
欠陥情報をＴＦＴ基板欠陥情報データベースから取得し
て、前記欠陥種を検出する検査を省略することを特徴とする
液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【請求項２】請求項１記載の液晶表示パネル点灯表示検
査方法において、前記欠陥種は、ＴＦＴ基板上に形成された画素電極と、
前記画素電極に階調電圧を印加するドレインバスライン
とが短絡していることを示していることを特徴とする液
晶表示パネル点灯表示検査方法。
【請求項３】請求項１記載の液晶表示パネル点灯表示検
査方法において、前記欠陥種は、ＴＦＴ基板上に形成されたＴＦＴのドレ
イン電極とソース電極とが短絡していることを示してい
ることを特徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。
【請求項４】請求項１記載の液晶表示パネル点灯表示検
査方法において、前記欠陥種は、ＴＦＴ基板上の画素領域に形成された画
素電極と、前記画素領域に隣接する画素領域に形成され
た画素電極に階調電圧を印加するドレインバスラインと
が短絡していることを示していることを特徴とする液晶
表示パネル点灯表示検査方法。
【請求項５】請求項１記載の液晶表示パネル点灯表示検
査方法において、前記欠陥種は、ＴＦＴ基板上の画素領域に形成された画
素電極と、前記画素電極に階調電圧を印加するドレイン
バスラインの延びる方向に隣接する画素領域に形成され
た画素電極とが短絡していることを示していることを特
徴とする液晶表示パネル点灯表示検査方法。