JP2002243797A - デバイスキャリア及びオートハンドラ - Google Patents

デバイスキャリア及びオートハンドラ

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JP2002243797A
JP2002243797A JP2001047122A JP2001047122A JP2002243797A JP 2002243797 A JP2002243797 A JP 2002243797A JP 2001047122 A JP2001047122 A JP 2001047122A JP 2001047122 A JP2001047122 A JP 2001047122A JP 2002243797 A JP2002243797 A JP 2002243797A
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Yukio Yamashita
幸男 山下
Katsuhiro Otaka
克浩 大高
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 デバイス特性を精度良く安定して測定するこ
とができるデバイスキャリア及びオートハンドラを提供
することを目的とする。 【解決手段】 下面の複数位置に端子Bが設けられたI
Cを保持し、ICソケット10に設けられた接触子12
に端子Cを接触させるデバイスキャリア1は、ICの下
面のうち、端子Bが設けられている以外の部分を支持す
る線状部材4を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC等のデバイス
に設けられている端子をソケットの接触子に接触させる
ためのデバイスキャリア及びオートハンドラに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】BGA(Ball Grid Array)型パッケー
ジIC等のデバイスの電気的特性を測定する際、ICを
デバイスキャリアで保持してICソケット上に配設し、
ICに設けられている半田ボールからなる端子を、IC
ソケットに設けられている接触子に接触させることが行
われている。
【0003】図5はIC(デバイス)を保持するデバイ
スキャリアの従来例を示す側方断面図である。図5にお
いて、デバイスキャリア50は矩形状に形成された凹部
51とガイド穴53とを備えており、凹部51内にIC
(BGA型パッケージIC)が配置されるようになって
いる。デバイスキャリア50のガイド穴53にはICソ
ケット60に形成されたガイドピン61が挿入されるよ
うになっている。つまり、デバイスキャリア50とIC
ソケット60とはICソケット60のガイドピン61に
よって位置決めされる。ICの下面にはボール状の端子
(半田ボール)Bが複数設けられている。また、デバイ
スキャリア50の凹部51の底部には、凹部51に配置
されたICをデバイスキャリア50に対して位置決めす
るための位置決め板部52が設けられている。この位置
決め板部52には複数の位置決め孔部54が形成されて
おり、端子Bが位置決め孔部54に嵌合することによっ
て、ICとデバイスキャリア50との位置決めが行われ
る。位置決め板部52の位置決め孔部54には、その下
方側からICソケット60の接触子62が挿入されるよ
うになっている。ICソケット60の下部にはソケット
ボート70が配置されており、接触子62の下部はソケ
ットボード70の金座71に接触している。
【0004】ICの電気的特性を測定する際には、ま
ず、デバイスキャリア50によってICをICソケット
60上に搬送し、ICソケット60とデバイスキャリア
50との位置決めを行う。ICソケット60とデバイス
キャリア50とが位置決めされたら、ICソケット60
に設けられている接触子62とデバイスキャリア50に
保持されているICの端子Bとを接触させる。こうし
て、ICソケット60に設けられている接触子62とデ
バイスキャリア50に保持されているICの端子Bとが
接触した状態で、ICの電気的特性の測定が行われる。
このとき、ICソケット60上に配設されたデバイスキ
ャリア50のICは、ICソケット60のガイドピン6
1を挿入するガイド孔81を備えたコンタクトプッシャ
80によって押圧されるようになっており、このコンタ
クトプッシャ80の押圧動作によって端子Bと接触子6
2とが確実に接触するようになっている。
【0005】ところで、ICを載置する位置決め板部5
2は、ICの端子BとICソケット60の接触子62と
を接触させた際にショートしないように合成樹脂で形成
されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図5に示したICソケ
ット60を用いてICの電気的特性を測定する場合、I
Cの端子Bとソケットボート70の金座71との距離を
可能な限り短く設定したほうがノイズ低減などの観点か
ら好ましい。すなわち、接触子62の長さを可能な限り
短く設定したほうがICの電気的特性を精度良く安定し
て測定できる。
【0007】ところで、接触子62の長さを短く設定し
た場合、位置決め板部52の厚さLを薄く設定しなけれ
ばならないが、上述したように、位置決め板部52は合
成樹脂によって構成されているため、位置決め板部52
の厚さLを薄く設定すると位置決め板部52の強度は著
しく低下する。合成樹脂からなる位置決め板部52の厚
さLを薄く設定した状態でコンタクトプッシャ80によ
るICに対する押圧動作を行うと、例えば、凹部51内
の段部51a等に応力が集中してこの段部51aが撓
み、デバイスキャリア50はICを安定して保持するこ
とができないといった問題を生じる。また、この段部5
1aに支持されているICの端部も撓んでしまう場合が
あり、この場合、ICの電気的特性を精度良く安定して
測定できなくなる。
【0008】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、デバイス特性を精度良く安定して測定するこ
とができるデバイスキャリア及びオートハンドラを提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1に記載のデバイスキャリアは、所定面の複
数位置に端子が設けられたデバイスを保持し、ソケット
に設けられた接触子に前記端子を接触させるデバイスキ
ャリアにおいて、前記所定面のうち、前記端子が設けら
れている以外の部分を支持する線状部材を備えることを
特徴とする。
【0010】本発明によれば、デバイスの所定面のう
ち、端子が設けられている以外の部分を線状部材で支持
するようにしたので、デバイスをショートさせることな
く、デバイスの所定面全体を均一な力で安定して支持す
ることができる。このとき、デバイスを支持する支持部
(デバイスキャリアの底部)として線状部材を用いたこ
とにより、この支持部全体の厚さを薄くすることができ
る。したがって、ソケットに設けられた接触子を短く設
定することができ、デバイス特性を精度良く安定して測
定することができる。
【0011】請求項2に記載のデバイスキャリアは、請
求項1に記載のデバイスキャリアにおいて、前記線状部
材は、該線状部材の外周面で前記所定面を支持し、前記
所定面を支持した際、前記所定面を支持した側と反対側
に前記端子を突出可能な径に設定されていることを特徴
とする。
【0012】本発明によれば、線状部材はデバイスの所
定面をその外周面で支持した際、この所定面を支持した
側と反対側にデバイスの端子を突出可能な径(太さ)に
設定されているので、デバイスの端子をデバイスキャリ
アから外方に突出させることができる。したがって、ソ
ケットに設けられた接触子を短く設定しても端子と接触
子とは安定して接触することができる。
【0013】請求項3に記載のデバイスキャリアは、請
求項1又は2に記載のデバイスキャリアにおいて、前記
デバイスから前記線状部材に対して作用する力に応じ
て、前記線状部材の材質が設定されることを特徴とす
る。
【0014】本発明によれば、デバイスから線状部材に
対して作用する力に応じて、線状部材の材質を線状部材
が所望の強度を有するように設定することにより、デバ
イスを安定して保持することができる。
【0015】請求項4に記載のデバイスキャリアは、請
求項1〜3のいずれかに記載のデバイスキャリアにおい
て、前記線状部材は金属によって構成されていることを
特徴とする。
【0016】本発明によれば、線状部材を金属によって
構成したことにより、線状部材はデバイスを保持するの
に十分な強度を有することになる。
【0017】請求項5に記載のデバイスキャリアは、請
求項1〜4のいずれかに記載のデバイスキャリアにおい
て、前記線状部材は格子状に配設されていることを特徴
とする。
【0018】本発明によれば、線状部材を格子状に配設
することにより、デバイスの所定面を均一な力で支持す
ることができる。したがって、局所的に作用する力の発
生を低減することができるので、デバイスを安定して保
持することができる。
【0019】請求項6に記載のデバイスキャリアは、請
求項1〜5のいずれかに記載のデバイスキャリアにおい
て、前記デバイスの端面に接し、前記デバイスの位置決
めをするガイド部を備えることを特徴とする。
【0020】本発明によれば、デバイスの位置決めをす
るガイド部を備えたことにより、デバイスの端子とソケ
ットの接触子とを精度良く安定して接触させることがで
きる。したがって、デバイス特性を安定して測定するこ
とができる。
【0021】請求項7に記載のデバイスキャリアは、請
求項1〜6のいずれかに記載のデバイスキャリアにおい
て、前記デバイスは、ボール状の端子を有するBGA型
パッケージICであることを特徴とする。
【0022】本発明によれば、ボール状の端子を有する
BGA型パッケージICからなるデバイスに対しても、
ボール状の端子に接触子を確実に位置決めして接触させ
ることができる。
【0023】請求項8に記載のオートハンドラは、請求
項1〜請求項7のいずれか一項に記載のデバイスキャリ
アを複数備えることを特徴とする。
【0024】本発明によれば、ソケットの接触子が短く
てもデバイスの端子とソケットの接触子とを確実に接触
させることができるデバイスキャリアを複数備えている
ので、ノイズの影響を抑えながら接触不良を生じさせる
ことなく、複数のデバイスをソケットに取り付けて電気
的特性の安定した測定を行うことができる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明のデバイスキャリア
及びオートハンドラについて図面を参照しながら説明す
る。図1は本発明のデバイスキャリアの一実施形態を示
す側方端面図であってデバイスキャリアがソケット上に
配置されている様子を示す図であり、図2はデバイスキ
ャリアの斜視図である。
【0026】図1、図2に示すように、デバイスキャリ
ア1は、矩形状に形成された凹部2と、ガイド穴1aと
を備えている。図1に示すように、凹部2内にはBGA
(Ball Grid Array)型パッケージIC(デバイス)が
配置可能となっている。ICの下面(所定面)の複数位
置には、ボール状の端子(半田ボール)Bがそれぞれ設
けられている。
【0027】デバイスキャリア1の下方には、複数の接
触子12を備えたICソケット10が配置されるように
なっている。また、ICソケット10にはガイドピン1
0aが設けられている。このガイドビン10aはデバイ
スキャリア1のガイド穴1aに挿入可能となっている。
デバイスキャリア1のガイド穴1aにICソケット10
のガイドピン10aが挿入されることによって、ICソ
ケット10に対してデバイスキャリア1が位置決めされ
るようになっている。
【0028】ICソケット10の下部にはソケットボー
ト20が配置されており、接触子12の下部はソケット
ボード20の金座21に接触している。ソケットボード
20はICテスタ(測定装置)Sに接続している。
【0029】デバイスキャリア1の凹部2の底部には開
口が形成されており、この開口に複数の線状部材4が配
設されている。線状部材4はピアノ線など、鉄や鋼など
の金属によって構成される。線状部材4のそれぞれは、
図2に示すように、矩形状の開口の対向する辺どうしを
結ぶように互いに平行に設けられている。デバイスキャ
リア1の凹部2に配置されたICはその下面を線状部材
4の外周面によって支持されるようになっている。
【0030】凹部2の底部に配設された線状部材4のそ
れぞれの間隔はICの下面に設けられた端子Bの配置位
置に基づいて設定されている。具体的には、ICを凹部
2に配置した際、ICの下面のうち、端子Bが設けられ
ている以外の部分を支持するように線状部材4のそれぞ
れが配設されている。つまり、線状部材4は端子Bに接
触しないようにICの下面を支持するようになってい
る。なお、線状部材4はICの下面を均一な力で支持可
能なようにほぼ等間隔に配設されることが好ましい。
【0031】凹部2は、その水平方向の断面積が上部か
ら底部に向かって小さくなるように設定されている。す
なわち、図1に示すように、凹部2は上部から底部に向
かって小さくなるように断面視テーパ状に形成されてい
る。このとき、凹部2の上部の水平方向の断面積はIC
より大きく形成されており、凹部2に対するICの挿入
動作を容易にしている。
【0032】凹部2の底部における水平方向の断面形状
はICの平面視形状と略同一となるように設定されてい
る。そして、ICは凹部2の底部に配置されるようにな
っている。ICを凹部2の底部に配置した際、ICの端
面と凹部2の底部における内壁とが当接することによっ
て、ICはデバイスキャリア1に対して位置決めされ
る。すなわち、凹部2の底部における内壁が、ICの端
面に接し、ICのデバイスキャリア1に対する位置決め
をするガイド部2aとなっている。ここで、ガイド部2
aはICを位置決めする際、ICの端子Bと線状部材4
とを接触させないようにICを位置決めする。
【0033】線状部材4は、ガイド部2aに位置決めさ
れたICの下面をその外周面で支持した際、ICの下面
を支持した側と反対側に端子Bを突出可能な径(太さ)
に設定されている。つまり、線状部材4の外周面に支持
されたICは端子Bを線状部材4から下方側に突出させ
る。線状部材4より下方側に突出した端子Bのそれぞれ
はICソケット10の接触子12のそれぞれに接触する
ようになっている。
【0034】ICソケット10上に配設されたデバイス
キャリア1のICは、ICソケット10のガイドピン1
0aを挿入可能なガイド孔30aを備えたコンタクトプ
ッシャ30によって押圧されるようになっている。ガイ
ド孔30aにガイドピン10aを挿入することにより、
コンタクトプッシャ30はデバイスキャリア1及びIC
ソケット10に対して位置決めされつつ押圧動作を行う
ようになっている。コンタクトプッシャ30によってI
Cを上方から押圧することにより、ICの端子BとIC
ソケット10の接触子12とが確実に接触するようにな
っている。
【0035】ICを保持したデバイスキャリア1をIC
ソケット10上に配設する際、デバイスキャリア1は図
示しないハンドル機構によって把持されて水平に搬送さ
れるようになっている。そして、これらデバイスキャリ
ア1とハンドル機構とによってオートハンドラが構成さ
れている。
【0036】次に、上述したような構成を有するデバイ
スキャリア1によってICの端子Bを接触子12に接触
しICの電気的特性を測定する方法について説明する。
まず、恒温槽外でデバイスキャリア1の凹部2にICを
挿入する。このとき、凹部2の上部はICより大きく形
成されているので、凹部2に対するICの挿入動作が容
易に行えるようになっている。凹部2に挿入し凹部2の
底部に移動したICはガイド部2aによってデバイスキ
ャリア1に対する位置決めを行われるとともに、ICの
下面のうち、端子Bが設けられている以外の部分を線状
部材4の外周面に支持される。このとき、ICは端子B
を線状部材4に接触させないように位置決めされてい
る。
【0037】デバイスキャリア1にICを保持させた
ら、オートハンドラを構成するハンドル機構によって、
デバイスキャリア1を恒温槽内に設けられているICソ
ケット10上に搬送する。このとき、デバイスキャリア
1の上方にはコンタクトプッシャ30が配置される。
【0038】ICソケット10上に搬送されたデバイス
キャリア1はICソケット10に向かって下降される。
このとき、ICソケット10のガイドピン10aをデバ
イスキャリア1のガイド穴1aに挿入しつつデバイスキ
ャリア1を下降する。ICソケット10のガイドピン1
0aをデバイスキャリア1のガイド穴1aに挿入するこ
とによって、デバイスキャリア1がICソケット10に
対して位置決めされる。そして、デバイスキャリア1の
線状部材4より下方側に突出しているICの端子BがI
Cソケット10の接触子12に接触するまでデバイスキ
ャリア1をICソケット10に対して下降する。
【0039】次いで、コンタクトプッシャ30によって
デバイスキャリア1に保持されているICを下方に向か
って押圧する。ICソケット10上に配設されたデバイ
スキャリア1のICはコンタクトプッシャ30によって
押圧されることにより、接触子12に対して端子Bを確
実に接触させる。ICソケット10に設けられている接
触子12とデバイスキャリア1に保持されているICの
端子Bとが接触することによって導通し、この出力信号
がICテスタSに出力されてICの電気的特性の測定が
行われる。
【0040】このとき、ICの支持部である線状部材4
は端子Bを下方側に突出可能な程度の径に設定されてい
るので、端子Bはデバイスキャリア1の底部から外方に
向かって突出する。すなわち、デバイスキャリア1の底
部の厚さLは端子Bより小さく(薄く)設定されてお
り、ICソケット10の接触子12の長さが短く設定さ
れても、接触子12と端子Bとは安定して接触可能とな
っている。
【0041】以上説明したように、ICの下面のうち、
端子Bが設けられている以外の部分を線状部材4で支持
するようにしたので、デバイスキャリア1は、ICをシ
ョートさせることなく、且つ、デバイスキャリア1は線
状部材4やICに局所的な力を作用させることなく、I
Cを安定して保持することができる。このとき、ICを
支持する支持部として線状部材4を用いたことにより、
デバイスキャリア1の底部の厚さLを抑えることができ
る。したがって、ICソケット10に設けられた接触子
12の長さを短く設定することができるので、ノイズの
影響を抑えつつデバイス特性を精度良く安定して測定す
ることができる。
【0042】線状部材4は、ICの下面をその外周面で
支持した際、この下面を支持した側と反対側にICの端
子Bを突出可能な径(太さ)に設定されているので、I
Cの端子Bをデバイスキャリア1の底部から外方に突出
させることができる。したがって、ICソケット10に
設けられた接触子12を短く設定しても接触子12と端
子Bとは安定して接触可能であるので、ノイズの影響を
低減した状態でデバイス特性を精度良く安定して測定す
ることができる。
【0043】線状部材4をピアノ線などの金属によって
構成したことにより、線状部材4はICを保持するのに
十分な強度を有する。
【0044】デバイスキャリア1の凹部2の底部におけ
る内壁に、ICのデバイスキャリア1に対する位置決め
をするガイド部2aを備えたことにより、ICの端子B
とICソケット10の接触子12とを精度良く安定して
接触させることができる。したがって、デバイス特性を
安定して測定することができる。
【0045】次に、図3、図4を参照しながら本発明の
デバイスキャリアの他の実施形態について説明する。こ
こで、以下の説明において上述した実施形態と同一又は
同等の構成部分については同一の符号を付すとともにそ
の説明を簡略又は省略する。
【0046】図3において、デバイスキャリア1Bは、
凹部2に配置されるICの下面のうち、端子Bが設けら
れている以外の部分を支持する線状部材4を備えてい
る。ここで、図3に示す実施形態においては、線状部材
4はデバイスキャリア1の凹部2の底部に形成された開
口に格子状に配設されている。
【0047】このように、線状部材4を格子状に配設す
ることにより、ICの下面を更に均一な力で支持するこ
とができる。デバイスキャリア1BはICや線状部材4
に局所的に作用する力の発生を低減することができるの
で、ICを安定して保持することができる。
【0048】図4に示すデバイスキャリア1Cは、凹部
2に配置されるICの下面のうち、端子Bが設けられて
いる以外の部分を支持する支持部材4Aを備えている。
ここで、支持部材4Aはフィルム部材に複数の孔部を形
成したものであって、この孔部のそれぞれにICの端子
Bのそれぞれが配置されるようになっている。このと
き、孔部の大きさは、支持部材4AでICを支持した
際、端子Bとフィルム部材とが接触しない程度の大きさ
に設定されている。このフィルム部材としては金属製薄
板や、あるいは、GRP(ガラス強化プラスチック)や
FRP(繊維強化プラスチック)などからなるフィルム
部材を用いることができる。このような構成によって
も、デバイスキャリア1の底部を薄く設定することがで
き、ICソケット10の接触子12の長さを短く設定す
ることができる。
【0049】なお、上記各実施形態においては、線状部
材4は金属によって構成されているが、線状部材4を構
成する材質として、ICを支持した際やコンタクトプッ
シャ30にICを介して押圧された際に撓まない程度の
所定の強度を有する材質であれば任意の材質を用いても
よい。例えば、GRP(ガラス強化プラスチック)やF
RP(繊維強化プラスチック)等によって線状部材4を
構成することも可能である。すなわち、ICから線状部
材4に対して作用する力に応じて、線状部材4の材質を
任意に設定することができる。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、デバイスの所定面のうち、端子が設けら
れている以外の部分を線状部材で支持するようにしたの
で、デバイスをショートさせることなく、デバイスの所
定面全体を均一な力で安定して支持することができる。
このとき、デバイスを支持する支持部(デバイスキャリ
アの底部)として線状部材を用いたことにより、この支
持部全体の厚さを薄くすることができる。したがって、
ソケットに設けられた接触子を短く設定することがで
き、デバイス特性を精度良く安定して測定することがで
きる。
【0051】請求項2に記載の発明によれば、線状部材
はデバイスの所定面をその外周面で支持した際、この所
定面を支持した側と反対側にデバイスの端子を突出可能
な径(太さ)に設定されているので、デバイスの端子を
デバイスキャリアから外方に突出させることができる。
したがって、ソケットに設けられた接触子を短く設定し
ても端子と接触子とは安定して接触することができる。
【0052】請求項3に記載の発明によれば、デバイス
から線状部材に対して作用する力に応じて、線状部材の
材質を線状部材が所望の強度を有するように設定するこ
とにより、デバイスを安定して保持することができる。
【0053】請求項4に記載の発明によれば、線状部材
を金属によって構成したことにより、線状部材はデバイ
スを保持するのに十分な強度を有することになる。
【0054】請求項5に記載の発明によれば、線状部材
を格子状に配設することにより、デバイスの所定面を均
一な力で支持することができる。したがって、局所的に
作用する力の発生を低減することができるので、デバイ
スを安定して保持することができる。
【0055】請求項6に記載の発明によれば、デバイス
の位置決めをするガイド部を備えたことにより、デバイ
スの端子とソケットの接触子とを精度良く安定して接触
させることができる。したがって、デバイス特性を安定
して測定することができる。
【0056】請求項7に記載の発明によれば、ボール状
の端子を有するBGA型パッケージICからなるデバイ
スに対しても、ボール場の端子に接触子を確実に位置決
めして接触させることができる。
【0057】請求項8に記載の発明によれば、ソケット
の接触子が短くてもデバイスの端子とソケットの接触子
とを確実に接触させることができるデバイスキャリアを
複数備えているので、ノイズの影響を抑えながら接触不
良を生じさせることなく、複数のデバイスをソケットに
取り付けて電気的特性の安定した測定を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のデバイスキャリアの一実施形態を示
す側方断面図であって、ソケット上にデバイスキャリア
が配置された様子を示す図である。
【図2】 本発明のデバイスキャリアの一実施形態を示
す斜視図である。
【図3】 本発明のデバイスキャリアの他の実施形態を
示す斜視図である。
【図4】 本発明のデバイスキャリアの他の実施形態を
示す斜視図である。
【図5】 従来のデバイスキャリアを示す側方断面図で
ある。
【符号の説明】
1 デバイスキャリア 2 凹部 2a ガイド部 4 線状部材 10 ICソケット(ソケット) 12 接触子 B 端子

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定面の複数位置に端子が設けられたデ
    バイスを保持し、ソケットに設けられた接触子に前記端
    子を接触させるデバイスキャリアにおいて、 前記所定面のうち、前記端子が設けられている以外の部
    分を支持する線状部材を備えることを特徴とするデバイ
    スキャリア。
  2. 【請求項2】 前記線状部材は、該線状部材の外周面で
    前記所定面を支持し、前記所定面を支持した際、前記所
    定面を支持した側と反対側に前記端子を突出可能な径に
    設定されていることを特徴とする請求項1に記載のデバ
    イスキャリア。
  3. 【請求項3】 前記デバイスから前記線状部材に対して
    作用する力に応じて、前記線状部材の材質が設定される
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のデバイスキャ
    リア。
  4. 【請求項4】 前記線状部材は金属によって構成されて
    いることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の
    デバイスキャリア。
  5. 【請求項5】 前記線状部材は格子状に配設されている
    ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のデバ
    イスキャリア。
  6. 【請求項6】 前記デバイスの端面に接し、前記デバイ
    スの位置決めをするガイド部を備えることを特徴とする
    請求項1〜5のいずれかに記載のデバイスキャリア。
  7. 【請求項7】 前記デバイスは、ボール状の端子を有す
    るBGA型パッケージICであることを特徴とする請求
    項1〜6のいずれかに記載のデバイスキャリア。
  8. 【請求項8】 請求項1〜請求項7のいずれか一項に記
    載のデバイスキャリアを複数備えることを特徴とするオ
    ートハンドラ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100411298B1 (ko) * 2002-01-17 2003-12-24 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 장착용 포켓
WO2006038257A1 (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Renesas Technology Corp. 半導体装置の製造方法
KR100897306B1 (ko) 2007-11-29 2009-05-14 주식회사 프로메카 인쇄회로기판용 진공흡착 툴링 블록

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