JP2002234157A - インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法Info
- Publication number
- JP2002234157A JP2002234157A JP2002001325A JP2002001325A JP2002234157A JP 2002234157 A JP2002234157 A JP 2002234157A JP 2002001325 A JP2002001325 A JP 2002001325A JP 2002001325 A JP2002001325 A JP 2002001325A JP 2002234157 A JP2002234157 A JP 2002234157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- island portion
- etching
- ink
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐久性と信頼性を備えたインクジェット式記
録ヘッドを提供すること。 【解決手段】 振動板が、金属薄板と高分子延伸フィル
ム２２との接合板材からなり、金属薄板２２をエッチン
グしてアイランド部９が形成され、またアイランド部９
の形成領域の外周を囲むように金属薄板がエッチングに
より除去されている。
録ヘッドを提供すること。 【解決手段】 振動板が、金属薄板と高分子延伸フィル
ム２２との接合板材からなり、金属薄板２２をエッチン
グしてアイランド部９が形成され、またアイランド部９
の形成領域の外周を囲むように金属薄板がエッチングに
より除去されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、縦振動モードの圧電振
動子を駆動源とするインクジェット式記録ヘッド、より
詳細には圧電振動子の伸縮を受けて圧力発生室を収縮、
膨張させる振動板の構造と、その製造方法に関する。
動子を駆動源とするインクジェット式記録ヘッド、より
詳細には圧電振動子の伸縮を受けて圧力発生室を収縮、
膨張させる振動板の構造と、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】記録ヘッドの記録密度の向上を図るため
にノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあり、この
ためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチングし、
これに他の方法で製作されたノズルプレートや振動板を
接着剤で固定して流路ユニットを構成し、これに圧電振
動子の変位を伝達して圧力発生室に圧力を発生させ、こ
の圧力によりインク滴をノズル開口から吐出させるよう
に構成されている。
にノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあり、この
ためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチングし、
これに他の方法で製作されたノズルプレートや振動板を
接着剤で固定して流路ユニットを構成し、これに圧電振
動子の変位を伝達して圧力発生室に圧力を発生させ、こ
の圧力によりインク滴をノズル開口から吐出させるよう
に構成されている。
【０００３】このように圧力発生室の配列密度が大きく
なると、圧力発生室の幅が極めて小さくなるるため、圧
力発生室の長手方向全体を効率的に変形させる必要上、
弾性変形可能な板材に圧力発生室の長手方向に延びる凸
部、いわゆるアイランド部を形成し、このアイランド部
を介して圧電振動子の変位を振動板に伝達している。
なると、圧力発生室の幅が極めて小さくなるるため、圧
力発生室の長手方向全体を効率的に変形させる必要上、
弾性変形可能な板材に圧力発生室の長手方向に延びる凸
部、いわゆるアイランド部を形成し、このアイランド部
を介して圧電振動子の変位を振動板に伝達している。
【０００４】このような振動板としては、金属の薄板の
一方の表面に、浸漬法、ロールコート法、スプレー法等
により高分子材料の層を形成し、金属の薄板をエッチン
グしてアイランド部を形成するとともに、エッチングに
より露出した高分子材料層をダイヤフラム部としたもの
が提案されている（ＷＯ９３／２５３９０号）。
一方の表面に、浸漬法、ロールコート法、スプレー法等
により高分子材料の層を形成し、金属の薄板をエッチン
グしてアイランド部を形成するとともに、エッチングに
より露出した高分子材料層をダイヤフラム部としたもの
が提案されている（ＷＯ９３／２５３９０号）。
【０００５】しかしながら、造膜法により形成された高
分子材料層をダイヤフラム部とする関係上、ダイヤフラ
ム部にピンホールが発生しやすく、圧力発生室のインク
の漏れ出しの虞や、また強度が低く破損の虞を抱えてい
る。このような問題を解消するために、高分子材料層を
厚めに造膜することも考えられるが、ダイヤフラム部の
剛性が高くなって吐出効率が低下するという新たな問題
が発生する。また、振動ユニットから漏れ出した電流に
より、振動板を構成する金属薄板が電蝕により破損する
という問題もある。
分子材料層をダイヤフラム部とする関係上、ダイヤフラ
ム部にピンホールが発生しやすく、圧力発生室のインク
の漏れ出しの虞や、また強度が低く破損の虞を抱えてい
る。このような問題を解消するために、高分子材料層を
厚めに造膜することも考えられるが、ダイヤフラム部の
剛性が高くなって吐出効率が低下するという新たな問題
が発生する。また、振動ユニットから漏れ出した電流に
より、振動板を構成する金属薄板が電蝕により破損する
という問題もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは金属を構成部材とする振動板を備えた耐久性と信頼
性の高いインクジェット式記録ヘッドを提供することで
ある。
題に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは金属を構成部材とする振動板を備えた耐久性と信頼
性の高いインクジェット式記録ヘッドを提供することで
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及び共通
のインク室を形成するスペーサと、及び前記圧力発生室
に対向するアイランド部を備えた振動板とを接合して形
成された流路ユニットと、前記アイランド部に当接して
インク滴を吐出させる縦振動モードの圧電振動子とから
なるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板
が、金属薄板と高分子延伸フィルムとの接合板材からな
り、前記金属薄板をエッチングして前記アイランド部が
形成され、また前記アイランド部の形成領域の外周を囲
むように前記金属薄板がエッチングにより除去されてい
る。
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及び共通
のインク室を形成するスペーサと、及び前記圧力発生室
に対向するアイランド部を備えた振動板とを接合して形
成された流路ユニットと、前記アイランド部に当接して
インク滴を吐出させる縦振動モードの圧電振動子とから
なるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板
が、金属薄板と高分子延伸フィルムとの接合板材からな
り、前記金属薄板をエッチングして前記アイランド部が
形成され、また前記アイランド部の形成領域の外周を囲
むように前記金属薄板がエッチングにより除去されてい
る。
【０００８】
【作用】フィルムヘの加工時に圧延を受けている高分子
延伸フィルムをダイヤフラム部として使用できるため、
ダイヤフラム部のピンホールを可及的に無くし、また圧
電振動子が当接する領域と他の領域とを電気的に絶縁し
て振動ユニットからの電流の流れ出しを防止して、電蝕
による振動板を破損を防止する。
延伸フィルムをダイヤフラム部として使用できるため、
ダイヤフラム部のピンホールを可及的に無くし、また圧
電振動子が当接する領域と他の領域とを電気的に絶縁し
て振動ユニットからの電流の流れ出しを防止して、電蝕
による振動板を破損を防止する。
【０００９】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１、図２は、それぞれ本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、図中符号１は、ノズル開口２、２、２‥‥が穿設
されたノズルプレート、３は、圧力発生室４、４、４、
インク供給口５、５、５‥‥、及びリザーバ６を区画す
るスペーサ、７は、本発明が特徴とする振動板で、これ
らノズルプレート１、及び振動板７は、スペーサ部材３
の両面を封止するように接着剤により接合されて流路ユ
ニットを構成している。
に基づいて説明する。図１、図２は、それぞれ本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、図中符号１は、ノズル開口２、２、２‥‥が穿設
されたノズルプレート、３は、圧力発生室４、４、４、
インク供給口５、５、５‥‥、及びリザーバ６を区画す
るスペーサ、７は、本発明が特徴とする振動板で、これ
らノズルプレート１、及び振動板７は、スペーサ部材３
の両面を封止するように接着剤により接合されて流路ユ
ニットを構成している。
【００１０】振動板７は、高分子延伸フィルム８の表面
に接着剤２１を介して積層された金属薄板２０をエッチ
ングして形成された、圧力発生室４の幅方向の中心領域
に、圧力発生室４の長手方向に延びるアイランド部９を
備え、このアイランド部９を介して後述する圧電振動子
１１により変位を受けるようになっている。
に接着剤２１を介して積層された金属薄板２０をエッチ
ングして形成された、圧力発生室４の幅方向の中心領域
に、圧力発生室４の長手方向に延びるアイランド部９を
備え、このアイランド部９を介して後述する圧電振動子
１１により変位を受けるようになっている。
【００１１】図中符号１０は、縦振動モードを有する複
数の圧電振動子１１、１１を固定板１２に固定して構成
された振動子ユニットで、基台１３に形成された振動子
ユニット収容孔１４に収容され、先端を振動板７のアイ
ランド部９に当接するように位置決めされて固定板１２
を介して基台１３に固定されている。
数の圧電振動子１１、１１を固定板１２に固定して構成
された振動子ユニットで、基台１３に形成された振動子
ユニット収容孔１４に収容され、先端を振動板７のアイ
ランド部９に当接するように位置決めされて固定板１２
を介して基台１３に固定されている。
【００１２】基台１３には、図示しないインクタンクに
接続するインク供給管１５が設けられており、インク供
給管１５は、その先端を振動板７のインク供給口３２を
介してスペーサ３により構成された共通のインク室６に
連通されている。なお、図中符号１６は、ノズルプレー
ト１、スペーサ３、及び振動板７により構成される流路
ユニットと基台１３とを固定する枠体であり、また符号
１７は、ヘッドをキャリッジに固定する基板をそれぞれ
示す。
接続するインク供給管１５が設けられており、インク供
給管１５は、その先端を振動板７のインク供給口３２を
介してスペーサ３により構成された共通のインク室６に
連通されている。なお、図中符号１６は、ノズルプレー
ト１、スペーサ３、及び振動板７により構成される流路
ユニットと基台１３とを固定する枠体であり、また符号
１７は、ヘッドをキャリッジに固定する基板をそれぞれ
示す。
【００１３】図３、図４は、前述の振動板７の一実施例
を示すものであって、図３は、複数個の振動板７、７、
７‥‥を１枚のラミネート材に一括して作り付けた状態
を、また図４は、ラミネート材から切り離された１つの
振動板を示すものである。
を示すものであって、図３は、複数個の振動板７、７、
７‥‥を１枚のラミネート材に一括して作り付けた状態
を、また図４は、ラミネート材から切り離された１つの
振動板を示すものである。
【００１４】次ぎに、上述した振動板の製造方法を図５
に基づいて説明する。インクに対して耐久性を備えた厚
さ３０μｍの金属薄板２０、例えばステンレス鋼の一方
の面に接着剤２１を塗布し、接着剤をプレ乾燥させた後
に厚さ４μｍ程度の高分子延伸フィルム２２、例えばポ
リフェニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂の延伸フィル
ムを接着してラミネート材を構成する（図５（I））。
に基づいて説明する。インクに対して耐久性を備えた厚
さ３０μｍの金属薄板２０、例えばステンレス鋼の一方
の面に接着剤２１を塗布し、接着剤をプレ乾燥させた後
に厚さ４μｍ程度の高分子延伸フィルム２２、例えばポ
リフェニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂の延伸フィル
ムを接着してラミネート材を構成する（図５（I））。
【００１５】このラミネート材を所要のサイズに切断し
て大判を切り出し、エッチングパターン露光時の基準と
なる孔２４、２４と、プレスにセットする時の位置決め
用の基準孔２５、２６、２７、２８と、大判から切断さ
れた単独の振動板７としての位置決め用の基準孔３０、
３１と、インク供給口となる孔３２等の通孔３３を予め
プレス加工により穿設しておく（図５（II））。
て大判を切り出し、エッチングパターン露光時の基準と
なる孔２４、２４と、プレスにセットする時の位置決め
用の基準孔２５、２６、２７、２８と、大判から切断さ
れた単独の振動板７としての位置決め用の基準孔３０、
３１と、インク供給口となる孔３２等の通孔３３を予め
プレス加工により穿設しておく（図５（II））。
【００１６】ついでラミネート材の金属薄板２０が表面
となるようにガラス基板Ｂにセットし、端部がガラス基
板Ｂの表面に及ぶように金属薄板２０の表面に感光性樹
脂フィルムＦを貼り付け、ラミネート材全体をフィルム
Ｆでもってガラス基板Ｂに固定する。
となるようにガラス基板Ｂにセットし、端部がガラス基
板Ｂの表面に及ぶように金属薄板２０の表面に感光性樹
脂フィルムＦを貼り付け、ラミネート材全体をフィルム
Ｆでもってガラス基板Ｂに固定する。
【００１７】このような工程を採ることにより、感光性
樹脂フィルムＦの密着工程とワークのガラス基板Ｂへの
固定とを１つの工程で済ませることが可能となる。また
プレス加工により予めラミネート材に穴が形成されてい
るため、この穴の端面をエッチング液から保護する必要
があるが、液体フォトレジストに比較してエッチング液
に対する保護能力の高い樹脂フィルムの使用により、エ
ッチング時の穴の変形を確実に防止することができる。
樹脂フィルムＦの密着工程とワークのガラス基板Ｂへの
固定とを１つの工程で済ませることが可能となる。また
プレス加工により予めラミネート材に穴が形成されてい
るため、この穴の端面をエッチング液から保護する必要
があるが、液体フォトレジストに比較してエッチング液
に対する保護能力の高い樹脂フィルムの使用により、エ
ッチング時の穴の変形を確実に防止することができる。
【００１８】この状態で、エッチングすべきパターンを
形成したマスクを、基準孔２４、２４を用いて位置決め
して感光性樹脂フィルムＦを露光する。これにより、プ
レス加工により正確に穿設された基準孔２４、２４に対
して可及的に小さな相対誤差でエッチング用の窓Ｗ、Ｗ
が形成されることになる（図５（III））。
形成したマスクを、基準孔２４、２４を用いて位置決め
して感光性樹脂フィルムＦを露光する。これにより、プ
レス加工により正確に穿設された基準孔２４、２４に対
して可及的に小さな相対誤差でエッチング用の窓Ｗ、Ｗ
が形成されることになる（図５（III））。
【００１９】ついで、この窓Ｗ、Ｗを用いて金属薄板を
エッチングすることにより、金属薄板が除去されて接着
剤２１が露出して、ダイヤフラム部となる領域Ｄ、Ｄに
囲まれたアイランド部９が形成されることになる（図５
（IV））。
エッチングすることにより、金属薄板が除去されて接着
剤２１が露出して、ダイヤフラム部となる領域Ｄ、Ｄに
囲まれたアイランド部９が形成されることになる（図５
（IV））。
【００２０】図３は、エッチング終了後の大判の構造を
示すものであって、この実施例のおいては、上述のエッ
チング工程で、アイランド部９、９の形成に合わせて各
振動板７、７、７の周囲の金属薄板２０を貫通するよう
にエッチングして、高分子延伸フィルム２２だけの溝３
４が形成されており、各振動板７、７、７‥‥は、高分
子延伸フィルム２２を介して接続されている。
示すものであって、この実施例のおいては、上述のエッ
チング工程で、アイランド部９、９の形成に合わせて各
振動板７、７、７の周囲の金属薄板２０を貫通するよう
にエッチングして、高分子延伸フィルム２２だけの溝３
４が形成されており、各振動板７、７、７‥‥は、高分
子延伸フィルム２２を介して接続されている。
【００２１】エッチングが終了した段階で、ラミネート
材をガラス基板Ｂから取り外し、大判としての位置決め
用の基準孔２５、２６、２７、２８ををプレスの位置決
めピンに挿入し、各振動板７、７、７‥‥を溝３４で切
断して、個々の振動板７、７、７に切分ける。このよう
に切断領域の金属薄板がエッチングにより除去されてい
るため、高分子延伸フィルム２２を切断するだけでよい
から、プレスのダイの寿命が延長されることになる。
材をガラス基板Ｂから取り外し、大判としての位置決め
用の基準孔２５、２６、２７、２８ををプレスの位置決
めピンに挿入し、各振動板７、７、７‥‥を溝３４で切
断して、個々の振動板７、７、７に切分ける。このよう
に切断領域の金属薄板がエッチングにより除去されてい
るため、高分子延伸フィルム２２を切断するだけでよい
から、プレスのダイの寿命が延長されることになる。
【００２２】図４は、切断された振動板７を示すもので
あって、振動ユニットが当接する領域、つまり図中符号
９、９、４０、４０で示す領域は、金属薄板２０がエッ
チングにより除去され、接着剤２１が露出する掘状の領
域により囲まれていて、振動ユニットが当接しない領域
と電気的に絶縁されているため、圧電振動子１１の先端
やまたダミーの圧電振動子の電極からの電流の流れ出し
を防止して、電蝕による振動板を破損を防止することが
できる。なお、図中符号４１は、流路３内に存在するイ
ンク溜り部のインクの振動を吸収するための窓で、ラミ
ネート材の金属薄板２０だけをエッチングして、高分子
延伸性フィルム２２と接着剤との層だけとして形成され
ている。
あって、振動ユニットが当接する領域、つまり図中符号
９、９、４０、４０で示す領域は、金属薄板２０がエッ
チングにより除去され、接着剤２１が露出する掘状の領
域により囲まれていて、振動ユニットが当接しない領域
と電気的に絶縁されているため、圧電振動子１１の先端
やまたダミーの圧電振動子の電極からの電流の流れ出し
を防止して、電蝕による振動板を破損を防止することが
できる。なお、図中符号４１は、流路３内に存在するイ
ンク溜り部のインクの振動を吸収するための窓で、ラミ
ネート材の金属薄板２０だけをエッチングして、高分子
延伸性フィルム２２と接着剤との層だけとして形成され
ている。
【００２３】図６は、上述の振動板の断面構造を示すも
のであって、高分子延伸性フィルム８の表面に接着剤２
１の層を介してアイランド部９が固定されており、その
周囲には接着剤２１が表面に露出した高分子延伸フィル
ム８からなるダイヤフラム部が形成されている。
のであって、高分子延伸性フィルム８の表面に接着剤２
１の層を介してアイランド部９が固定されており、その
周囲には接着剤２１が表面に露出した高分子延伸フィル
ム８からなるダイヤフラム部が形成されている。
【００２４】このようにアイランド部９が接着剤２１の
層を介して高分子延伸フィルム８に固定されているた
め、アイランド部９先端での応力が接着剤２１により拡
散され、高分子延伸フィルムへの応力集中が緩和される
ばかりでなく、表面の接着剤２１が一種のシール材とな
って万一、高分子延伸性フィルム８に傷や欠陥が存在し
たとしても、インクの漏れ出しを防止することができ
る。
層を介して高分子延伸フィルム８に固定されているた
め、アイランド部９先端での応力が接着剤２１により拡
散され、高分子延伸フィルムへの応力集中が緩和される
ばかりでなく、表面の接着剤２１が一種のシール材とな
って万一、高分子延伸性フィルム８に傷や欠陥が存在し
たとしても、インクの漏れ出しを防止することができ
る。
【００２５】一般的に延伸性フィルムは、その製造工程
上、ピンホール等の欠陥が存在すると、製造工程で破断
するため、製品に仕上げることができない。このため、
十分に吟味された材料を延伸したフィルムにあっては、
厚みが数μｍ程度と極めて薄くなっても、ピンホール等
の欠陥がほとんど皆無で、信頼性が極めて高い材料であ
る。このため、溶剤キャステング法等により金属薄板に
高分子フィルムの層を形成する従来法に比較して極めて
信頼性の高い製品を提供することができる。
上、ピンホール等の欠陥が存在すると、製造工程で破断
するため、製品に仕上げることができない。このため、
十分に吟味された材料を延伸したフィルムにあっては、
厚みが数μｍ程度と極めて薄くなっても、ピンホール等
の欠陥がほとんど皆無で、信頼性が極めて高い材料であ
る。このため、溶剤キャステング法等により金属薄板に
高分子フィルムの層を形成する従来法に比較して極めて
信頼性の高い製品を提供することができる。
【００２６】なお、上述の実施例のおいては、金属薄板
としてステンレス鋼を用いているが、エッチングが可能
で、しかも接着性の高い他の金属、例えば銅、ニッケ
ル、鉄、ステンレス、シリコンの薄板を用いることがで
きる。
としてステンレス鋼を用いているが、エッチングが可能
で、しかも接着性の高い他の金属、例えば銅、ニッケ
ル、鉄、ステンレス、シリコンの薄板を用いることがで
きる。
【００２７】また、高分子延伸フィルムとしてポリフェ
ニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂を用いているが、延
伸可能な他の高分子材料、例えば、ポリイミド（ＰＩ）
樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ボリアミド
イミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリバラバン酸（ＰＰＡ）樹
脂、ボリサルホン（ＰＳＦ）樹脂、ポリエーテルサルホ
ン（ＰＥＳ）樹脂樹脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）
樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、
ポリオレフィン（ＡＰＯ）樹脂、ポリエチレンナフタレ
ート（ＰＥＮ）樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹
脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリカーネート樹脂等を用い
ることもできる。
ニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂を用いているが、延
伸可能な他の高分子材料、例えば、ポリイミド（ＰＩ）
樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ボリアミド
イミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリバラバン酸（ＰＰＡ）樹
脂、ボリサルホン（ＰＳＦ）樹脂、ポリエーテルサルホ
ン（ＰＥＳ）樹脂樹脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）
樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、
ポリオレフィン（ＡＰＯ）樹脂、ポリエチレンナフタレ
ート（ＰＥＮ）樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹
脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリカーネート樹脂等を用い
ることもできる。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
欠陥が無く、かつ耐久性の高い高分子延伸性フィルムを
振動板として使用することができ、また圧電振動子が当
接しない領域と、圧電振動子が当接する領域との境界の
金属薄板が除去されていて電気的に絶縁されているた
め、圧電振動子の電極からの電流の流れ出しを防止し
て、電蝕による振動板を破損を防止して、信頼性の高い
記録ヘッドを実現することができる。
欠陥が無く、かつ耐久性の高い高分子延伸性フィルムを
振動板として使用することができ、また圧電振動子が当
接しない領域と、圧電振動子が当接する領域との境界の
金属薄板が除去されていて電気的に絶縁されているた
め、圧電振動子の電極からの電流の流れ出しを防止し
て、電蝕による振動板を破損を防止して、信頼性の高い
記録ヘッドを実現することができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
例を示す組み立て斜視図である。
【図２】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図３】本発明のインクジェット式記録ヘッドに使用す
る振動板を、同一のラミネート材に複数形成した状態を
示す図である。
る振動板を、同一のラミネート材に複数形成した状態を
示す図である。
【図４】同上振動板を拡大して示す図である。
【図５】図（I）乃至（IV）は、それぞれ同上振動板の
製造工程を示す図である。
製造工程を示す図である。
【図６】同上振動板の断面構造を、アイランド部近傍を
拡大して示す断面図である。
拡大して示す断面図である。
１ ノズルプレート ３ スペーサ ４ 圧力発生室 ５ インク供給口 ６ 共通のインク室 ７ 振動板 ８ 高分子延伸フィルム ９ アイランド部 １０ 圧電振動ユニット １１ 圧電振動子 ２１ 接着剤 ２２ 高分子延伸フィルム ２４ 露光マスクセット用の位置決め用基準孔 ２５〜２８ プレスセット時の位置決め用基準孔 ３０、３１ 組立時の ３４ プレス切断用の溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 和彦 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF65 AG52 AG55 AP25 AP31
Claims (3)
- 【請求項１】 ノズル開口が穿設されたノズルプレート
と、圧力発生室、インク供給口、及び共通のインク室を
形成するスペーサと、及び前記圧力発生室に対向するア
イランド部を備えた振動板とを接合して形成された流路
ユニットと、 前記アイランド部に当接してインク滴を吐出させる縦振
動モードの圧電振動子とからなるインクジェット式記録
ヘッドにおいて、 前記振動板が、金属薄板と高分子延伸フィルムとの接合
板材からなり、前記金属薄板をエッチングして前記アイ
ランド部が形成され、また前記アイランド部の形成領域
の外周を囲むように前記金属薄板がエッチングにより除
去されているインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】ノズル開口が穿設されたノズルプレート
と、圧力発生室、インク供給口、及び共通のインク室を
形成するスペーサと、及び前記圧力発生室に対向するア
イランド部を備えた振動板とを接合して形成された流路
ユニットと、 前記アイランド部に当接してインク滴を吐出させる縦振
動モードの圧電振動子とダミーの振動子とからなる圧電
振動ユニットをを備えたインクジェット式記録ヘッドに
おいて、 前記振動板が、金属薄板と高分子延伸フィルムとの接合
板材からなり、前記金属薄板をエッチングして前記アイ
ランド部と前記ダミーの振動子とが当接する領域とが形
成され、前記アイランド部及び前記ダミーの振動子が当
接する領域のそれぞれの外周を囲むように前記金属薄板
がエッチングにより除去されているインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項３】 金属薄板と高分子延伸フィルムとからな
るラミネート材を感光性樹脂フィルムにより基台に固定
して、アイランド部、及びダミーの振動子が当接する領
域等の所要のエッチングパターンを形成する工程と、 前記金属薄板を貫通するまでエッチングする工程と、 からなるインクジェット式記録ヘッドの振動板の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002001325A JP3508861B2 (ja) | 2002-01-08 | 2002-01-08 | インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002001325A JP3508861B2 (ja) | 2002-01-08 | 2002-01-08 | インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1755395A Division JP3503661B2 (ja) | 1995-01-09 | 1995-01-09 | インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002234157A true JP2002234157A (ja) | 2002-08-20 |
| JP3508861B2 JP3508861B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=19190605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002001325A Expired - Lifetime JP3508861B2 (ja) | 2002-01-08 | 2002-01-08 | インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3508861B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006315310A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Sony Corp | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
-
2002
- 2002-01-08 JP JP2002001325A patent/JP3508861B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006315310A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Sony Corp | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3508861B2 (ja) | 2004-03-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8458903B2 (en) | Method of producing an elastic plate member for a liquid jet head | |
| EP1204534B1 (en) | Droplet deposition apparatus | |
| JP2007216633A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| EP0854038B1 (en) | Ink jet head method of production thereof, and jig for producing ink jet head | |
| US9731507B2 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting head unit, and liquid ejecting apparatus | |
| JP4904910B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド | |
| US7581825B2 (en) | Inkjet head and a method of manufacturing thereof | |
| JP3503661B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 | |
| JP3508861B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びその振動板の製造方法 | |
| JP3374893B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2009066797A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3374899B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法 | |
| JPH08174825A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2007307791A (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP3405392B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びその弾性板の製造方法 | |
| JP3552899B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法 | |
| JP3603934B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法 | |
| JP2008062626A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2000043261A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 | |
| JP2008049521A (ja) | 液体吐出記録ヘッド | |
| JP2009061589A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド | |
| EP2749423B1 (en) | Inkjet head and method for manufacturing inkjet head | |
| JPH11129465A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2001010045A (ja) | 流体噴射装置とその製造方法 | |
| JP2006231797A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031203 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031216 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140109 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |