JP2002233168A - パルス電源 - Google Patents

パルス電源

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JP2002233168A
JP2002233168A JP2001023365A JP2001023365A JP2002233168A JP 2002233168 A JP2002233168 A JP 2002233168A JP 2001023365 A JP2001023365 A JP 2001023365A JP 2001023365 A JP2001023365 A JP 2001023365A JP 2002233168 A JP2002233168 A JP 2002233168A
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Fumihiko Endo
文彦 遠藤
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】用品数の削減、装置の小型化、高信頼化を図る
こと。 【解決手段】充電電源10によりエネルギーが充電される
主コンデンサC0と、閉路することで主コンデンサC0のエ
ネルギーを次段の入力コンデンサC1,C2に移行するスイ
ッチSSWと、可飽和リアクトルSR1,SR2の飽和動作を利用
して入力コンデンサC1,C2のエネルギーをパルス圧縮し
て出力する複数段の磁気パルス圧縮手段MPC1,MPC2とを
備えて構成されるパルス電源において、複数個の可飽和
リアクトルSR1,SR2はそれぞれ、主回路に接続された第
1のコイルP1の他に第2のコイルS1を備えて成り、可飽
和リアクトルSR1,SR2の第2のコイルS1を、それぞれ直
列に接続してコイル群を構成し、コイル群の一方の端子
を、ブロッキングリアクトルLbを介して定電流電源Iの
正極端子に接続すると共に、コイル群の他方の端子を、
定電流電源Iの負極端子に直接接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば排ガス中の
有害物質をパルスコロナ放電を用いて分解処理する排ガ
ス処理装置や、各種加工に用いるパルスレーザ装置な
ど、パルスパワー応用装置を駆動するためのパルス電源
に係り、特に回路の簡素化および高信頼化を図るように
したパルス電源に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、例えばNOx、ダイオキシン類等
の有害物質をパルスコロナ放電を用いて分解処理する排
ガス処理装置や、物体の超精密加工に用いるエキシマレ
ーザ装置等、放電を利用したパルスパワー応用装置に対
する産業上の需要が高まってきている。
【0003】この種のパルスパワー応用装置を駆動する
には、波高値が数10kV〜数100kVの高電圧パル
スを発生するパルス電源が必要不可欠である。
【0004】これらパルス電源では、近年、長寿命、高
信頼性を図る目的から、半導体スイッチと磁気パルス圧
縮回路とを適用した全半導体化パルス電源が主流として
用いられてきている。
【0005】図6は、従来のパルス電源の構成例を示す
回路図である。
【0006】図6において、パルス電源は、充電電源1
0により充電リアクトルLcを通じてエネルギーが充電
される主コンデンサである第1のコンデンサC0と、閉
路することで第1のコンデンサC0のエネルギーをパル
ス電力として取り出し第2のコンデンサC1に移行する
半導体スイッチSSWと、可飽和リアクトルSR1の飽
和動作を利用して入力コンデンサである第2のコンデン
サC1のエネルギーをパルス圧縮して第3のコンデンサ
C2に移行する磁気パルス圧縮回路MPC1と、同様に
可飽和リアクトルSR2の飽和動作により入力コンデン
サである第3のコンデンサC2のエネルギーをパルス圧
縮して負荷20に移行する磁気パルス圧縮回路MPC2
とから構成されている。
【0007】また、2個の可飽和リアクトルSR1、S
R2はそれぞれ、主回路に接続された第1のコイルP1
の他に第2のコイルS1を備えて成っている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
なパルス電源においては、磁気パルス圧縮回路MPC
1、MPC2の動作点、すなわち可飽和リアクトルSR
1,SR2の飽和動作点を毎周期安定させるために、可
飽和リアクトルSR1,SR2に第2のコイルS1をそ
れぞれ設け、ブロッキングリアクトルLb1,Lb2を
通じて定電流電源I1,I2よりリセット電流を供給す
る、いわゆるリセット回路がそれぞれ設けられている。
【0009】しかしながら、このような構成のパルス電
源では、可飽和リアクトルSR1,SR2毎にリセット
回路が必要となるため、用品が多く回路の複雑化、装置
の大型化を招く結果となる。
【0010】また、上述のようなパルス電源において
は、定電流電源I1,I2に印加されるノーマルモード
のサージ、すなわち可飽和リアクトルSR1、SR2の
第1のコイルP1と第2のコイルS1がトランスとして
働くことにより、リセット回路側に誘導されるサージ電
圧をブロッキングリアクトルLb1,Lb2で抑制して
いる。
【0011】これにより、サージ電圧を定電流電源I
1,I2の出力端子間耐電圧以下にまで抑制することが
可能であるが、このサージ電圧発生に伴なって流れ込む
サージ電流は、定電流電源I1,I2の出力端子間に設
けられたフィルタコンデンサ(通常、電解コンデンサを
用いている)を劣化させる原因となり、結果的に装置の
信頼性を低下させることとなる。
【0012】さらに、第1のコイルP1と第2のコイル
S1との間の浮遊容量を介してリセット回路側に移行す
る静電移行サージ電圧(コモンモードのサージ)を抑制
することができず、定電流電源I1,I2の出力端子と
接地との間に数kVという大きな電位差を生じさせ、結
果的に定電流電源I1,I2を破壊せしめることとな
る。
【0013】本発明の目的は、リセット回路の簡素化を
図って用品数の削減、装置の小型化を図ることができ、
さらにリセット回路に発生するサージ電圧、電流を抑制
する適正な回路を設けて高信頼化を図ることが可能なパ
ルス電源を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に対応する発明では、充電電源によりエ
ネルギーが充電される主コンデンサと、閉路することで
主コンデンサのエネルギーを次段の入力コンデンサに移
行するスイッチと、可飽和リアクトルの飽和動作を利用
して入力コンデンサのエネルギーをパルス圧縮して出力
する複数段の磁気パルス圧縮手段とを備えて構成される
パルス電源において、複数個の可飽和リアクトルはそれ
ぞれ、主回路に接続された第1のコイルの他に第2のコ
イルを備えて成り、可飽和リアクトルの第2のコイル
を、それぞれ直列に接続してコイル群を構成し、コイル
群の一方の端子を、ブロッキングリアクトルを介して定
電流電源の正極端子に接続すると共に、コイル群の他方
の端子を、定電流電源の負極端子に直接接続している。
【0015】また、請求項2に対応する発明では、充電
電源によりエネルギーが充電される主コンデンサと、閉
路することで主コンデンサのエネルギーを次段のコンデ
ンサに移行するスイッチと、可飽和リアクトルの飽和動
作を利用して入力コンデンサのエネルギーをパルス圧縮
して出力する複数段の磁気パルス圧縮手段と、入力パル
ス電圧を昇圧するパルストランスとを備えて構成される
パルス電源において、複数個の可飽和リアクトルはそれ
ぞれ、主回路に接続された第1のコイルの他に第2のコ
イルを備えて成り、パルストランスは、主回路に接続さ
れた第1および第2のコイルの他に第3のコイルを備え
て成り、可飽和リアクトルの第2のコイルおよびパルス
トランスの第3のコイルを、それぞれ直列に接続してコ
イル群を構成し、コイル群の一方の端子を、ブロッキン
グリアクトルを介して定電流電源の正極端子に接続する
と共に、コイル群の他方の端子を、直接定電流電源の負
極端子に接続している。
【0016】ここで、特に例えば請求項3に記載したよ
うに、可飽和リアクトルの第2のコイル、およびパルス
トランスの第3のコイルの巻数を、1ターンとすること
が好ましい。
【0017】また、例えば請求項4に記載したように、
ブロッキングリアクトルの値Lbを、下記の関係式を満
たす値とすることが好ましい。 Lb≧20×(Nrn/Nln)2 ×Lusn ここで、Nrn:可飽和リアクトルの第2のコイルの巻
数、あるいはパルストランスの第3のコイルの巻数 Nln:可飽和リアクトルあるいはパルストランスの第1
のコイルの巻数 Lusn :可飽和リアクトルあるいはパルストランスの第
1のコイルの非飽和時インダクタンス 従って、請求項1乃至請求項4に対応する発明のパルス
電源においては、1台の定電流電源およびブロッキング
リアクトルでリセット回路を構成することが可能となる
ため、回路用品数を削減することができ、リセット回路
の簡素化を図ることができる。これにより、パルス電源
の小型化を図ることができる。
【0018】一方、請求項5に対応する発明では、上記
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に対応する発明の
パルス電源において、定電流電源の出力端子間に、サー
ジ抑制用のコンデンサを並列に接続している。
【0019】従って、請求項5に対応する発明のパルス
電源においては、サージ電流はサージ抑制用のコンデン
サを流れて、直接定電流電源に流れ込むことを防ぐこと
が可能となるため、定電流電源の劣化を抑制することが
できる。これにより、パルス電源の高信頼化を図ること
ができる。
【0020】また、請求項6に対応する発明では、上記
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に対応する発明の
パルス電源において、ブロッキングリアクトルと定電流
電源の正極端子との間の配線、およびコイル群と定電流
電源の負極端子との間の配線を、同一の磁性材料に、同
一方向に巻き回している。
【0021】さらに、請求項7に対応する発明では、上
記請求項1乃至請求項6のいずれか1項に対応する発明
のパルス電源において、ブロッキングリアクトルの定電
流電源側端子と接地との間、およびコイル群の定電流電
源側端子と接地との間のそれぞれに、コンデンサを設け
ている。
【0022】従って、請求項6および請求項7の発明の
パルス電源においては、定電流電源に印加されるコモン
モードのサージ電圧を抑制することが可能となるため、
定電流電源の破損を防ぐことができる。これにより、パ
ルス電源の高信頼化を図ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0024】(第1の実施の形態:請求項1、請求項
3、請求項4に対応)図1は、本実施の形態によるパル
ス電源の構成例を示す回路図であり、図6と同一部分に
は同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる
部分についてのみ述べる。
【0025】すなわち、図1に示すように、本実施の形
態のパルス電源は、前記図6における2個の可飽和リア
クトルSR1およびSR2の第2のコイルS1を、それ
ぞれ直列に接続してコイル群を構成し、当該コイル群の
一方の端子を、ブロッキングリアクトルLbを介して定
電流電源Iの正極端子に接続すると共に、コイル群の他
方の端子を、直接定電流電源Iの負極端子に接続した構
成としている。
【0026】ここで、特に可飽和リアクトルSR1、S
R2の第2のコイルS1の巻数を、1ターンとすること
が好ましい。
【0027】また、ブロッキングリアクトルLbの値
は、下記の関係式を満たす値とすることが好ましい。
【0028】Lb≧20×(Nrn/Nln)2 ×Lusn ここで、 Nrn:可飽和リアクトルSR1、SR2の第2のコイル
S1の巻数 Nln:可飽和リアクトルSR1、SR2の第1のコイル
P1の巻数 Lusn :可飽和リアクトルSR1、SR2の第1のコイ
ルP1の非飽和時インダクタンス 次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源
の作用について説明する。
【0029】ブロッキングリアクトルLbの値を、上記
式で示したような値以下にすると、トランス作用によっ
てリセット回路側に移行されるエネルギーが、主回路エ
ネルギーの5%以上を占めることになるため、パルス電
源のエネルギー効率を著しく低下させる結果となる。
【0030】この点、本実施の形態のパルス電源では、
ブロッキングリアクトルLbの値を、上記式で示したよ
うな値以上としていることにより、トランス作用によっ
てリセット回路側に移行されるエネルギーが、主回路エ
ネルギーの5%以上を占めることがなくなるため、パル
ス電源のエネルギー効率を向上させることができる。
【0031】これにより、従来では可飽和リアクトルS
R1、SR2個々に設けていたブロッキングリアクトル
および定電流電源を、それぞれ1つにすることができる
ため、大幅な用品数の削減、回路簡素化が図れ、パルス
電源の小型化を図ることができる。
【0032】上述したように、本実施の形態のパルス電
源では、1台の定電流電源Iおよびブロッキングリアク
トルLbでリセット回路を構成することが可能となるた
め、回路用品数を削減することができ、リセット回路の
簡素化を図ることができる。これにより、パルス電源の
小型化を図ることが可能となる。
【0033】(第2の実施の形態:請求項2乃至請求項
4に対応)図2は、本実施の形態によるパルス電源の構
成例を示す回路図であり、図6と同一部分には同一符号
を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分につい
てのみ述べる。
【0034】すなわち、図2に示すように、本実施の形
態のパルス電源は、前記図6に入力パルス電圧を昇圧す
るパルストランスPTを付加し、さらに当該パルストラ
ンスPTは、主回路に接続された第1および第2のコイ
ルP1およびS1の他に第3のコイルS2を備えて成
り、可飽和リアクトルSR1およびSR2の第2のコイ
ルS1およびパルストランスPTの第3のコイルS2
を、それぞれ直列に接続してコイル群を構成し、当該コ
イル群の一方の端子を、ブロッキングリアクトルLbを
介して定電流電源Iの正極端子に接続すると共に、コイ
ル群の他方の端子を、直接定電流電源Iの負極端子に接
続した構成としている。
【0035】ここで、特に可飽和リアクトルSR1、S
R2の第2のコイルS1、およびパルストランスPTの
第3のコイルS2の巻数を、1ターンとすることが好ま
しい。
【0036】また、ブロッキングリアクトルLbの値
は、下記の関係式を満たす値とすることが好ましい。
【0037】Lb≧20×(Nrn/Nln)2 ×Lusn ここで、 Nrn:可飽和リアクトルSR1、SR2の第2のコイル
S1の巻数、あるいはパルストランスPTの第3のコイ
ルS2の巻数 Nln:可飽和リアクトルSR1、SR2あるいはパルス
トランスPTの第1のコイルP1の巻数 Lusn :可飽和リアクトルSR1、SR2あるいはパル
ストランスPTの第1のコイルP1の非飽和時インダク
タンス 次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源
の作用について説明する。
【0038】ブロッキングリアクトルLbの値を、上記
式で示したような値以下にすると、トランス作用によっ
てリセット回路側に移行されるエネルギーが、主回路エ
ネルギーの5%以上を占めることになるため、パルス電
源のエネルギー効率を著しく低下させる結果となる。
【0039】この点、本実施の形態のパルス電源では、
ブロッキングリアクトルLbの値を、上記式で示したよ
うな値以上としていることにより、トランス作用によっ
てリセット回路側に移行されるエネルギーが、主回路エ
ネルギーの5%以上を占めることがなくなるため、パル
ス電源のエネルギー効率を向上させることができる。
【0040】これにより、従来では可飽和リアクトルS
R1、SR2個々に設けていたブロッキングリアクトル
および定電流電源を、それぞれ1つにすることができる
ため、大幅な用品数の削減、回路簡素化が図れ、パルス
電源の小型化を図ることができる。
【0041】上述したように、本実施の形態のパルス電
源では、1台の定電流電源Iおよびブロッキングリアク
トルLbでリセット回路を構成することが可能となるた
め、回路用品数を削減することができ、リセット回路の
簡素化を図ることができる。これにより、パルス電源の
小型化を図ることが可能となる。
【0042】(第3の実施の形態:請求項5に対応)図
3は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回
路図であり、図1と同一部分には同一符号を付してその
説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べ
る。
【0043】すなわち、図3に示すように、本実施の形
態のパルス電源は、前記図1における定電流電源Iの出
力端子間に、サージ抑制用のコンデンサCbを並列に接
続した構成としている。
【0044】次に、以上のように構成した本実施の形態
のパルス電源においては、定電流電源Iの出力端子間
に、サージ抑制用のコンデンサCbを並列に接続してい
ることにより、サージ電流はサージ抑制用のコンデンサ
Cbを流れ、前述した第1の実施の形態に比べて、直接
定電流電源Iに流れ込むサージ電流の値を低減すること
が可能となり、かつ定電流電源Iの両端子間に発生する
サージ電圧の抑制にも寄与することができる。
【0045】これにより、定電流電源Iの劣化を抑制し
て破損を防ぐことができ、結果としてパルス電源の高信
頼化を図ることができる。
【0046】上述したように、本実施の形態のパルス電
源では、リセット回路に発生するサージ電流を抑制する
適正な回路を設けて、サージ電流が直接定電流電源Iに
流れ込むことを防ぐことが可能となるため、定電流電源
Iの劣化を抑制することができる。これにより、パルス
電源の高信頼化を図ることが可能となる。
【0047】(第4の実施の形態:請求項6に対応)図
4は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回
路図であり、図1と同一部分には同一符号を付してその
説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べ
る。
【0048】すなわち、本実施の形態のパルス電源は、
図4に示すように、前記図1におけるブロッキングリア
クトルLbと定電流電源Iの正極端子との間の配線、お
よびコイル群と定電流電源Iの負極端子との間の配線
を、同一の磁性材料に、同一方向に巻き回したサージブ
ロッカSbを設けた構成としている。
【0049】次に、以上のように構成した本実施の形態
のパルス電源においては、ブロッキングリアクトルLb
と定電流電源Iの正極端子との間の配線、およびコイル
群と定電流電源Iの負極端子との間の配線を、同一の磁
性材料に、同一方向に巻き回したサージブロッカSbを
設けていることにより、可飽和リアクトルSR1および
SR2の第1のコイルP1と第2のコイルS1との間に
存在する浮遊容量を介して移行するコモンモードの静電
移行サージをブロックすることが可能となり、定電流電
源Iの出力端子と接地との間に発生する電位差を抑制す
ることができる。これにより、定電流電源Iの破損を防
ぐことができ、結果としてパルス電源の高信頼化を図る
ことができる。
【0050】上述したように、本実施の形態のパルス電
源では、リセット回路に発生するサージ電圧を抑制する
適正な回路を設けて、定電流電源Iの出力端子と接地と
の間に発生する電位差を抑制することが可能となるた
め、定電流電源Iの破損を防止することができる。これ
により、パルス電源の高信頼化を図ることが可能とな
る。
【0051】(第5の実施の形態:請求項7に対応)図
5は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回
路図であり、図1と同一部分には同一符号を付してその
説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べ
る。
【0052】すなわち、本実施の形態のパルス電源は、
図5に示すように、前記図1におけるブロッキングリア
クトルLbの定電流電源I側端子と接地との間、および
コイル群の定電流電源I側端子と接地との間のそれぞれ
に、コンデンサCp1,Cp2を設けた構成としてい
る。
【0053】次に、以上のように構成した本実施の形態
のパルス電源においては、ブロッキングリアクトルLb
の定電流電源I側端子と接地との間、およびコイル群の
定電流電源I側端子と接地との間のそれぞれに、コンデ
ンサCp1,Cp2を設けていることにより、可飽和リ
アクトルSR1およびSR2の第1のコイルP1と第2
のコイルS1との間に存在する浮遊容量を介して移行す
るコモンモードの静電移行サージを接地に逃がすことが
可能となり、定電流電源Iの出力端子と接地との間に発
生する電位差を抑制することができる。これにより、定
電流電源Iの破損を防ぐことができ、結果としてパルス
電源の高信頼化を図ることができる。
【0054】上述したように、本実施の形態のパルス電
源では、リセット回路に発生するサージ電圧を抑制する
適正な回路を設けて、定電流電源Iの出力端子と接地と
の間に発生する電位差を抑制することが可能となるた
め、定電流電源Iの破損を防止することができる。これ
により、パルス電源の高信頼化を図ることが可能とな
る。
【0055】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のパルス電
源によれば、リセット回路の用品数の削減、簡素化の図
れる回路構成とすることができるため、パルス電源の小
型化を図ることが可能となる。
【0056】また、主回路からリセット回路に移行し定
電流電源に印加するサージ電圧、電流を抑制する適正な
回路を設けるようにしたので、パルス電源の高信頼化を
図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるパルス電源の第1の実施の形態を
示す回路図。
【図2】本発明によるパルス電源の第2の実施の形態を
示す回路図。
【図3】本発明によるパルス電源の第3の実施の形態を
示す回路図。
【図4】本発明によるパルス電源の第4の実施の形態を
示す回路図。
【図5】本発明によるパルス電源の第5の実施の形態を
示す回路図。
【図6】従来のパルス電源の構成例を示す回路図。
【符号の説明】
10…充電電源 20…負荷 Lc…充電リアクトル C0…第1のコンデンサ C1…第2のコンデンサ C2…第3のコンデンサ SSW…半導体スイッチ SR1…可飽和リアクトル SR2…可飽和リアクトル MPC1…磁気パルス圧縮回路 MPC2…磁気パルス圧縮回路 P1…第1のコイル S1…第2のコイル S2…第3のコイル Lb…ブロッキングリアクトル I…定電流電源 PT…パルストランス Cb…サージ抑制用のコンデンサ Sb…サージブロッカ Cp1,…コンデンサ Cp2…コンデンサ。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 充電電源によりエネルギーが充電される
    主コンデンサと、閉路することで前記主コンデンサのエ
    ネルギーをパルス電力として取り出し次段の入力コンデ
    ンサに移行するスイッチと、可飽和リアクトルの飽和動
    作を利用して前記入力コンデンサのエネルギーをパルス
    圧縮して出力する複数段の磁気パルス圧縮手段とを備え
    て構成されるパルス電源において、 前記複数個の可飽和リアクトルはそれぞれ、主回路に接
    続された第1のコイルの他に第2のコイルを備えて成
    り、 前記可飽和リアクトルの第2のコイルを、それぞれ直列
    に接続してコイル群を構成し、 前記コイル群の一方の端子を、ブロッキングリアクトル
    を介して定電流電源の正極端子に接続すると共に、前記
    コイル群の他方の端子を、直接前記定電流電源の負極端
    子に接続したことを特徴とするパルス電源。
  2. 【請求項2】 充電電源によりエネルギーが充電される
    主コンデンサと、閉路することで前記主コンデンサのエ
    ネルギーをパルス電力として取り出し次段の入力コンデ
    ンサに移行するスイッチと、可飽和リアクトルの飽和動
    作を利用して前記入力コンデンサのエネルギーをパルス
    圧縮して出力する複数段の磁気パルス圧縮手段と、入力
    パルス電圧を昇圧するパルストランスとを備えて構成さ
    れるパルス電源において、 前記複数個の可飽和リアクトルはそれぞれ、主回路に接
    続された第1のコイルの他に第2のコイルを備えて成
    り、 前記パルストランスは、主回路に接続された第1および
    第2のコイルの他に第3のコイルを備えて成り、 前記可飽和リアクトルの第2のコイルおよび前記パルス
    トランスの第3のコイルを、それぞれ直列に接続してコ
    イル群を構成し、 前記コイル群の一方の端子を、ブロッキングリアクトル
    を介して定電流電源の正極端子に接続すると共に、前記
    コイル群の他方の端子を、直接前記定電流電源の負極端
    子に接続したことを特徴とするパルス電源。
  3. 【請求項3】 前記請求項1または請求項2に記載のパ
    ルス電源において、 前記可飽和リアクトルの第2のコイル、および前記パル
    ストランスの第3のコイルの巻数を、1ターンとしたこ
    とを特徴とするパルス電源。
  4. 【請求項4】 前記請求項1乃至請求項3のいずれか1
    項に記載のパルス電源において、 前記ブロッキングリアクトルの値Lbを、下記の関係式
    を満たす値としたことを特徴とするパルス電源。 Lb≧20×(Nrn/Nln)2 ×Lusn ここで、Nrn:可飽和リアクトルの第2のコイルの巻
    数、あるいはパルストランスの第3のコイルの巻数 Nln:可飽和リアクトルあるいはパルストランスの第1
    のコイルの巻数 Lusn :可飽和リアクトルあるいはパルストランスの第
    1のコイルの非飽和時インダクタンス
  5. 【請求項5】 前記請求項1乃至請求項4のいずれか1
    項に記載のパルス電源において、 前記定電流電源の出力端子間に、サージ抑制用のコンデ
    ンサを並列に接続したことを特徴とするパルス電源。
  6. 【請求項6】 前記請求項1乃至請求項5のいずれか1
    項に記載のパルス電源において、 前記ブロッキングリアクトルと前記定電流電源の正極端
    子との間の配線、および前記コイル群と前記定電流電源
    の負極端子との間の配線を、同一の磁性材料に、同一方
    向に巻き回したことを特徴とするパルス電源。
  7. 【請求項7】 前記請求項1乃至請求項6のいずれか1
    項に記載のパルス電源において、 前記ブロッキングリアクトルの定電流電源側端子と接地
    との間、および前記コイル群の定電流電源側端子と接地
    との間のそれぞれに、コンデンサを設けたことを特徴と
    するパルス電源。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009136122A (ja) * 2007-12-03 2009-06-18 Chuo Seisakusho Ltd 高速パルス電源装置

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