JP2002231784A - ウェハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱処理装置の受入口の外側でウェハを搭載し
たボートを待ち受けるボート受けに、ボートが規定通り
の姿勢を保って乗り移るようにする。 【解決手段】 ウェハ６を搭載するボート５に車輪７
Ｌ、７Ｒを装着する。熱処理装置１の受入口の外側でボ
ート５を待ち受けるボート受け８には、車輪７Ｌ、７Ｒ
をガイドするガイド構造１０を備えさせる。ガイド構造
１０の存在により、ボート５はボート受け８の上で傾斜
を生じることなく、ガイド構造１０により規定される通
りの姿勢でボート受け８から熱処理装置１へ、またその
逆へと乗り移る。ガイド構造１０は、例えば車輪７Ｌ、
７Ｒの内側に位置するレール１１Ｌ、１１Ｒにより構成
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造工程で使
用するウェハ搬送装置に関し、特に、ウェハをボートに
搭載して横型の熱処理装置に出し入れするようにしたウ
ェハ搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、ウェハをボー
トと呼ばれる支持部材に搭載して搬送することがある。
拡散炉等の熱処理装置に出し入れする際にこの手法が良
く用いられる。そのようなボートの使用例を図２３に示
す。１は横型の、すなわち全体の中心軸が水平になった
熱処理装置で、一端には反応ガスの導入口２、他端には
ウェハを受け入れる受入口３を有する。受入口３にはこ
れを閉ざす蓋４がヒンジ結合されている。５は複数枚の
ウェハ６を搭載するボートで、左右１対ずつ前後に配置
された車輪７によって、すなわち合計４個の車輪７によ
って支持される。８はボート５を熱処理装置１の受入口
３に向かい合う位置に運び、またウェハ６の熱処理を終
えたボート５が熱処理装置１から引き出されてくるのを
待ち受けるボート受けである。９はボート受け８に支持
されたボート５を熱処理装置１へ押し込み、またウェハ
６の熱処理終了後、熱処理装置１からボート受け８へと
ボート５を引き出すボートローダで、図２３にはその先
端のロッドのみ示されている。

【０００３】上記装置においては、まず蓋４を開いて受
入口３を開放状態とし、ここへ、ボート５を積んだボー
ト受け８を接近させる。ボート受け８の高さは熱処理装
置１の床面の高さに揃える。所定距離まで接近したとこ
ろでボート受け８を止め、ボートローダ９でボート５を
押してボート５を熱処理装置１に乗り移らせる。乗り移
り完了後、ボート受け８を引き、蓋４を閉じ、導入口２
から反応ガスを供給しつつ熱処理装置１の中でウェハ６
の熱処理を行う。熱処理完了後、蓋４を開き、ボート受
け８を受入口３に接近させ、ボートローダ９でボート５
を引き出してボート受け８に乗り移らせ、その後、ボー
ト受け８を図示しないボート取り出し位置へと移動させ
るものである。

【０００４】ところで、熱処理装置１は通常断面形状が
円形であり、これに合わせてボート受け８の断面形状
も、熱処理装置１と同半径の円弧となっている。その状
況を図２４に示す。熱処理装置１とボート受け８の幾何
学的形状が真円及び真円弧であり、熱処理装置１とボー
ト受け８の軸線が正しく整列し、車輪７の幾何学的形状
及び配置位置、配置角度ともに狂いがなく、さらに、ボ
ート自身及びこれに載置したウェハ６を含めてボート５
に偏荷重が生じていず、加えて、ボートローダ９が正し
くボート５の中心線上を押し引きするようになっていれ
ば、ボート５は往復とも同じ軌跡をたどる筈である。言
い換えれば、ボート５のウェハ載置面に直交する線Ｖｂ
を鉛直状態にしてボート５を熱処理装置１に入れた場
合、熱処理装置１から再び引き出したときも線Ｖｂは鉛
直状態を保っている筈である。

【０００５】ところが実際には、上記のような形状的要
素及びつり合いの要素をすべて設定数値の範囲内にコン
トロールするのは難しい。このような形状的要素におけ
る形状不整、及びつり合いの要素における不つり合いに
より、またボート５がボート受け８から熱処理装置１へ
と、及びその逆へと乗り移る場合に生じる振動により、
ボート５の走行軌跡は容易に乱れる。そのため、図２５
に示すように、線Ｖｂが真の垂直線Ｖに対し傾斜した状
態でボート５がボート受け８に戻るケースが多々発生す
る。このようなボート５の傾斜をそのままにしておいて
熱処理装置１への出し入れを繰り返していれば、傾斜は
ますますひどくなり、甚だしい場合にはボート５が倒れ
たり、あるいはボートローダ９の駆動系に過大な負荷が
かかったりしていた。

【０００６】上述の問題に関しては、ボート受けとボー
トローダによるボートの受け渡しをやめ、大きな「へ
ら」状のフォークをボートの下に差し込んでボートを持
ち上げ、目的の場所までボートを運んで静かに降ろすと
いう、いわゆる「ソフトランディング」の方式に改める
のが一つの解決策である。しかしながらこの方式は、装
置の価格が大幅に上昇し、また装置の占有面積も大きく
なり、設備投資費用及び装置設置面積に制約がある場合
には採用が難しい。そのためこれまでは、図２３〜２５
に示したボートローダ方式の使用を続行し、ボートに傾
斜が生じた場合には作業者が手で補正するというやり方
がとられてきた。

【０００７】しかしながら、ボート受けの上でボートの
角度を手で補正するのは作業工数が一段階増えることに
なり、製造コストの増大を招く。またボート及びその車
輪に無理な力を加えることにもなり、ボートが破損した
り、ボートの角度を無理矢理補正するのに伴う振動でウ
ェハがダメージを受け、製造歩留まりが低下するといっ
た問題が発生する。製造歩留まりの低下は、最終製品で
ある半導体の価格にはね返り、コスト競争力を低下させ
る。しかも近年では大直径のウェハが多くなり、また処
理能率向上のため１台のボートに搭載されるウェハの枚
数も増し、これらが相まってボートの総重量は増大の一
途をたどっており、手でボートの角度を変えるのはます
ます困難になってきている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ウェハを搭
載したボートを横型の熱処理装置に挿入し、またそこか
ら引き出すにあたり、熱処理装置の受入口の外側でボー
トを待ち受けるボート受けの形状に改良を加え、ボート
が規定通りの姿勢でボート受けから熱処理装置へ、また
その逆へと乗り移るようにすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ボートに装着された車輪をガイドする
ガイド構造をボート受けに備えさせることとした。これ
により、ボートは傾斜を生じることもなく、ガイド構造
により規定される通りの姿勢でボート受けから熱処理装
置へ、またその逆へと乗り移るものである。

【００１０】また本発明では、左右の車輪の内側に位置
するレールによりガイド構造を構成した。これにより、
必要最小限の資材でガイド構造を構成できることにな
る。

【００１１】また本発明では、左右の車輪の内側に位置
するレールによりガイド構造を構成したものにおいて、
熱処理装置の受入口に向き合うレール端部を、該受入口
に近づくにつれレールの外面間隔が狭くなって行くよう
に形成した。この構造により、熱処理装置からボート受
けにボートを乗り移らせるとき、車輪がスムーズにレー
ルの外側へと誘導される。

【００１２】また本発明では、左右の車輪の外側に位置
するレールによりガイド構造を構成した。これによって
も、必要最小限の資材でガイド構造を構成することがで
きることになる。

【００１３】また本発明では、左右の車輪の外側に位置
するレールによりガイド構造を構成したものにおいて、
熱処理装置の受入口に向き合うレール端部を、該受入口
に近づくにつれレールの内面間隔が広くなって行くよう
に形成した。この構造により、熱処理装置からボート受
けにボートを乗り移らせるとき、車輪がスムーズにレー
ルの内側へと誘導される。

【００１４】また本発明では、車輪を受け入れるわだち
によりガイド構造を構成した。これにより、ガイド構造
が一層堅牢化した。

【００１５】また本発明では、車輪を受け入れるわだち
によりガイド構造を構成したものにおいて、熱処理装置
の受入口に向き合うわだち端部を、該受入口に近づくに
つれわだちの幅が広くなって行くように形成した。この
構造により、熱処理装置からボート受けにボートを乗り
移らせるとき、車輪がスムーズにわだちの中に入り込
む。

【００１６】また本発明では、ボート受けの熱処理装置
に近い方の端のみにガイド構造が設けられているものと
した。これにより、ガイド構造構成資材を節約できる。

【００１７】また本発明では、ボート受け上の車輪支持
面を水平面とした。これにより、ガイド構造との接触を
強制するような分力が車輪に作用するのを排除できる。

【００１８】また本発明では、ガイド構造を交換可能と
した。これにより、異なる種類のボートにボート受けを
適合させるのが容易になる。

【００１９】また本発明では、ガイド構造と車輪支持面
とを併せて交換可能とした。これにより、異なる種類の
ボートにボート受けを容易に適合させることができると
ともに、車輪支持面に摩耗が生じたりしたときの保守も
容易になる。

【００２０】また本発明では、車輪を装着したボート
の、車輪以外の箇所を誘導するガイド構造をボート受け
に備えさせることとした。これにより、ボートは傾斜を
生じることもなく、ガイド構造により規定される通りの
姿勢でボート受けから熱処理装置へ、またその逆へと乗
り移るものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施形態を
図１に基づき説明する。なお、この第１の実施形態を含
む以下の実施形態の説明において、

【従来の技術】の項で紹介した構成要素と共通する要素
には前と同じ符号を付し、説明は省略する。

【００２２】図１に示すボート受け８は、熱処理装置１
と同半径の円弧断面を有し、全体としては中空円筒の外
壁の一部を該円筒の中心線を含む２個の平面で切り取っ
た形状となっている。ボート受け８は、その上面にボー
ト５の車輪をガイドするガイド構造１０を備える。ガイ
ド構造１０は、前記円筒の中心線と平行に、ボート受け
８の全長にわたって延びる直線状の２条のレール１１
Ｌ、１１Ｒにより構成される。このレール１１Ｌ、１１
Ｒはボート５の左右の車輪７Ｌ、７Ｒの内側に位置す
る。車輪７Ｌ、７Ｒの内面同士の間隔はレール１１Ｌ、
１１Ｒの外面同士の間隔より僅かに大きい。またレール
１１Ｌ、１１Ｒの高さはボート５の下面よりも低い。

【００２３】レール１１Ｌ、１１Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒが
所定の軌道から逸れるのを阻止し、ボート５のウェハ載
置面に直交する線Ｖｂを鉛直に保つ。このため、ボート
５は規定された通りの姿勢を保ちつつボート受け８から
真っ直ぐ熱処理装置１に乗り移る。ウェハ６の熱処理が
終了し、ボート５がボート受け８に乗り移る際も、ボー
ト５の軌道又は姿勢に不整が生じていた場合、それはレ
ール１１Ｌ、１１Ｒによって正されるものである。なお
レール１１Ｌ、１１Ｒはボート受け８に一体成形しても
良く、別体として成形したものをボート受け８に固定し
ても良い。また２条のレールを間隔を置いて配置する代
わりに、幅の広い１本のレールを用いても良い。

【００２４】図２、３には本発明の第２の実施形態を示
す。この実施形態は、第１の実施形態におけるレール１
１Ｌ、１１Ｒの形状に変更を加えたものである。すなわ
ちレール１１Ｌ、１１Ｒの熱処理装置１の受入口３に向
き合う側の端部に、該受入口に近づくにつれレールの外
面間隔が狭くなって行くような誘導部１２Ｌ、１２Ｒを
形成した。このため、ウェハ６の熱処理を終えたボート
５をボート受け８に乗り移らせるとき、車輪７Ｌ、７Ｒ
は誘導部１２Ｌ、１２Ｒに誘導され、スムーズにレール
１１Ｌ、１１Ｒの外側に進入する。

【００２５】図４には本発明の第３の実施形態を示す。
第１、第２の実施形態と同様、ボート受け８は熱処理装
置１と同半径の円弧断面を有し、全体としては中空円筒
の外壁の一部を該円筒の中心線を含む２個の平面で切り
取った形状となっている。ボート受け８は、その上面に
ボート５の車輪をガイドするガイド構造１０を備える
が、このガイド構造１０は、左右の車輪７Ｌ、７Ｒの外
側に位置する直線状の２条のレール１３Ｌ、１３Ｒによ
り構成される。レール１３Ｌ、１３Ｒも前記円筒の中心
線と平行に、ボート受け８の全長にわたって延びる。車
輪７Ｌ、７Ｒの外面同士の間隔はレール１１Ｌ、１１Ｒ
の内面同士の間隔より僅かに小さい。またレール１１
Ｌ、１１Ｒの高さはボート５の下面よりも低い。

【００２６】レール１３Ｌ、１３Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒが
所定の軌道から逸れるのを阻止し、ボート５のウェハ載
置面に直交する線Ｖｂを鉛直に保つ。このため、ボート
５は規定の姿勢を保ちつつボート受け８から真っ直ぐ熱
処理装置１に乗り移る。ウェハ６の熱処理が終了し、ボ
ート５がボート受け８に乗り移る際も、ボート５の軌道
又は姿勢に不整が生じていた場合、それはレール１３
Ｌ、１３Ｒによって正されるものである。なおレール１
３Ｌ、１３Ｒはボート受け８に一体成形しても良く、別
体として成形したものをボート受け８に固定しても良
い。

【００２７】図５、６には本発明の第４の実施形態を示
す。この実施形態は、第３の実施形態におけるレール１
３Ｌ、１３Ｒの形状に変更を加えたものである。すなわ
ちレール１３Ｌ、１３Ｒの熱処理装置１の受入口３に向
き合う側の端部に、該受入口に近づくにつれレールの内
面間隔が広くなって行くような誘導部１４Ｌ、１４Ｒを
形成した。このため、ウェハ６の熱処理を終えたボート
５をボート受け８に乗り移らせるとき、車輪７Ｌ、７Ｒ
は誘導部１４Ｌ、１４Ｒに誘導され、スムーズにレール
１３Ｌ、１３Ｒの内側に進入する。

【００２８】図７には本発明の第５の実施形態を示す。
これまでの実施形態と同様、ボート受け８は熱処理装置
１と同半径の円弧断面を有し、全体としては中空円筒の
外壁の一部を該円筒の中心線を含む２個の平面で切り取
った形状となっている。ボート受け８は、その上面にボ
ート５の車輪をガイドするガイド構造１０を備えるが、
このガイド構造１０を構成するのは左右の車輪７Ｌ、７
Ｒを受け入れる直線状のわだち１５Ｌ、１５Ｒである。
わだち１５Ｌ、１５Ｒは各々２条のレール１６の間に形
成される。レール１６は前記円筒の中心線と平行に、ボ
ート受け８の全長にわたって延び、その高さはボート５
の下面よりも低い。またわだち１５Ｌ、１５Ｒの幅は車
輪７Ｌ、７Ｒの幅より僅かに広く、わだちの全長にわた
って均一である。

【００２９】わだち１５Ｌ、１５Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒが
所定の軌道から逸れるのを阻止し、ボート５のウェハ載
置面に直交する線Ｖｂを鉛直に保つ。このため、ボート
５は規定の姿勢を保ちつつボート受け８から真っ直ぐ熱
処理装置１に乗り移る。ウェハ６の熱処理が終了し、ボ
ート５がボート受け８に乗り移る際も、ボート５の軌道
又は姿勢に不整が生じていた場合、それはわだち１５
Ｌ、１５Ｒによって正されるものである。なおわだち１
５Ｌ、１５Ｒを構成するレール１６はボート受け８に一
体成形しても良く、別体として成形したものをボート受
け８に固定しても良い。また２条のレールを並べてその
間隙をわだちとするという方法の他、幅の広いレールの
上面にわだちを彫り込むという手法も採用可能である。

【００３０】図８、９には本発明の第６の実施形態を示
す。この実施形態は、第５の実施形態におけるわだち１
５Ｌ、１５Ｒの形状に変更を加えたものである。すなわ
ちわだち１５Ｌ、１５Ｒの熱処理装置１の受入口３に向
き合う側の端部に、該受入口に近づくにつれわだちの幅
が広くなって行くような誘導部１７Ｌ、１７Ｒを形成し
た。この実施形態では、わだち１５Ｌ、１５Ｒを構成す
る２条づつのレール１６の内、ボート受け８の中心側に
位置するレールの端を内側に折り曲げることにより、ボ
ート受け８の中心方向に広がって行く形の誘導部１７
Ｌ、１７Ｒを実現した。この誘導部１７Ｌ、１７Ｒが存
在するため、ウェハ６の熱処理を終えたボート５をボー
ト受け８に乗り移らせるとき、車輪７Ｌ、７Ｒは誘導部
１７Ｌ、１７Ｒに誘導され、スムーズにわだち１５Ｌ、
１５Ｒの中に入り込む。

【００３１】図１０、１１には本発明の第７の実施形態
を示す。この実施形態も第６の実施形態と同様、わだち
１５Ｌ、１５Ｒの熱処理装置１の受入口３に向き合う側
の端部に、該受入口に近づくにつれわだちの幅が広くな
って行くような誘導部１７Ｌ、１７Ｒを形成したもので
あるが、今度はわだち１５Ｌ、１５Ｒを構成する２条づ
つのレール１６の内、ボート受け８の中心と反対の側に
位置するレールの端を外側に折り曲げることにより、ボ
ート受け８の中心から離れる方向に広がって行く形の誘
導部１７Ｌ、１７Ｒを実現したものである。

【００３２】図１２、１３には本発明の第８の実施形態
を示す。この実施形態も第６、第７の実施形態と同様、
わだち１５Ｌ、１５Ｒの熱処理装置１の受入口３に向き
合う側の端部に、該受入口に近づくにつれわだちの幅が
広くなって行くような誘導部１７Ｌ、１７Ｒを形成した
ものであるが、今度はわだち１５Ｌ、１５Ｒを構成する
２条づつのレール１６の内、ボート受け８の中心側に位
置するレールの端は内側に折り曲げ、ボート受け８の中
心と反対の側に位置するレールの端は外側に折り曲げる
ことにより、わだち中心から左右均等に広がって行く形
の誘導部１７Ｌ、１７Ｒを実現した。

【００３３】図１４に本発明の第９の実施形態を示す。
この実施形態では、ボート受け８の断面を逆台形のトラ
フ形にし、全体が一つの大きなわだちを構成する形とし
た。すなわちボート受け８の形状そのものがガイド構造
１０を形成する。ボート受け８の底部は車輪支持面１８
となる。車輪支持面１８は一つの水平面であり、その幅
は車輪７Ｌ、７Ｒの外面間隔に等しいか、あるいは僅か
に広く設定されている。車輪支持面１８の両脇には傾斜
面１９Ｌ、１９Ｒが形設され、車輪７Ｌ、７Ｒは車輪支
持面１８と傾斜面１９Ｌ、１９Ｒとのなすコーナー部２
０Ｌ、２０Ｒを伝って移動する。傾斜面１９Ｌ、１９Ｒ
は車輪７Ｌ、７Ｒが所定の軌道から逸れるのを阻止し、
ボート５のウェハ載置面に直交する線Ｖｂを鉛直に保
つ。

【００３４】車輪７Ｌ、７Ｒが一時的に傾斜面１９Ｌ、
１９Ｒに乗り上げても、重力により車輪７Ｌ、７Ｒはす
ぐに水平な車輪支持面１８に戻り、元の軌道と姿勢を回
復する。このコーナー部２０Ｌ、２０Ｒは熱処理装置１
の内面に整列しており、ボート５の乗り移りがスムーズ
に行われるようになっている。また傾斜面１９Ｌ、１９
Ｒはボート５の側面に接触しないような角度となってい
る。車輪支持面１８が水平面なので、車輪支持面に傾斜
がついている場合と異なり、ガイド構造１０、この場合
には傾斜面１９Ｌ、１９Ｒとの接触を強制するような分
力が車輪７Ｌ、７Ｒに作用せず、ボート５を安定して支
持できる。

【００３５】図１５、１６に本発明の第１０の実施形態
を示す。この実施形態は、第９の実施形態におけるボー
ト受け８の形状に変更を加えたものである。すなわち熱
処理装置１の受入口３に向き合う側のボート受け８の端
部を広げ、該受入口に近づくにつれ車輪支持面１８の幅
が広くなるような誘導部２１を形成した。このため、ウ
ェハ６の熱処理を終えたボート５をボート受け８に乗り
移らせるとき、車輪７Ｌ、７Ｒは誘導部２１に誘導さ
れ、スムーズに車輪支持面１８の本来の幅部分に進入す
る。

【００３６】図１７に本発明の第１１の実施形態を示
す。この実施形態では、ボート受け８の熱処理装置１に
近い方の端にのみガイド構造１０を設けた。図１７に示
すボート受け８は熱処理装置１と同半径の円弧断面を有
し、全体としては中空円筒の外壁の一部を該円筒の中心
線を含む２個の平面で切り取った形状のものであり、そ
の上面の一方の端に、第２の実施形態の誘導部１２Ｌ、
１２Ｒのみを移設したような形状のガイド構造１０を備
えている。このガイド構造１０がウェハ６の熱処理を終
えたボート５の車輪７Ｌ、７Ｒを誘導し、ボート受け８
の中央にボート５を位置させる。

【００３７】図１８に本発明の第１２の実施形態を示
す。この実施形態はガイド構造１０が交換可能となって
いることを特徴とする。別成形したレールをボート受け
８に固定してガイド構造１０を構成する方式であって
も、固定手段によっては、例えば固定手段としてねじが
用いられていれば、交換可能と言い得るものであるが、
図１８の実施形態ではさらに一歩を進め、ごく簡単に交
換を行えるようにした。すなわち２条のレール２２Ｌ、
２２Ｒによりガイド構造１０を構成するのであるが、こ
のレール２２Ｌ、２２Ｒの下面に適当間隔でほぞ２３を
形設し、ボート受け８にはこのほぞ２３を差し込む穴２
４を形設し、レール２２Ｌ、２２Ｒを適宜他の種類のレ
ールに差し替えられるようにした。これにより、異なる
種類のボート５にボート受け８を適合させるのが容易に
なる。なお穴２４の列の数は図１８では左右２列づつ合
計４列となっており、レール２２Ｌ、２２Ｒの位置を２
段階に切り替えることができるが、穴の列数をもっと増
やし、レール２２Ｌ、２２Ｒの位置をさらに多段階に切
替可能とすることもできる。

【００３８】図１９に本発明の第１３の実施形態を示
す。この実施形態では、円弧断面を有するボート受け８
の上面に別体のデッキ２５を固定し、このデッキ２５の
上面に、水平面である車輪支持面２６と、ガイド構造１
０を構成するレール２７Ｌ、２７Ｒを形設した。レール
２７Ｌ、２７Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒの内側に位置する。レ
ール２７Ｌ、２７Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒが所定の軌道から
逸れるのを阻止し、ボート５のウェハ載置面に直交する
線Ｖｂを鉛直に保つ。このため、ボート５は規定の姿勢
を保ちつつボート受け８から真っ直ぐ熱処理装置１に乗
り移る。ウェハ６の熱処理が終了し、ボート５がボート
受け８に乗り移る際も、ボート５の軌道又は姿勢に不整
が生じていた場合、それはレール２７Ｌ、２７Ｒによっ
て正されるものである。車輪支持面２６が水平面なの
で、ガイド構造１０との接触を強制するような分力が車
輪７Ｌ、７Ｒに作用せず、ボート５を安定して支持でき
る。

【００３９】図２０に本発明の第１４の実施形態を示
す。この実施形態では、第１３の実施形態のデッキ２５
を交換可能とした。すなわちデッキ２５の支柱２８の下
面にほぞ２９を形設し、ボート受け８にはこのほぞ２９
を差し込む穴３０を形設した。これにより、ガイド構造
１０と車輪支持面２６とを併せて交換することができ、
異なる種類のボート５にボート受け８を適合させるのが
容易になる。

【００４０】図２１に本発明の第１５の実施形態を示
す。この実施形態では、円弧断面を有するボート受け８
の両側縁に立ち上がらせた垂直壁３１Ｌ、３１Ｒをもっ
てガイド構造１０を構成した。垂直壁３１Ｌ、３１Ｒは
ボート５の、車輪７Ｌ、７Ｒ以外の箇所をガイドするも
のである。垂直壁３１Ｌ、３１Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒが所
定の軌道から逸れるのを阻止し、ボート５のウェハ載置
面に直交する線Ｖｂを鉛直に保つ。このため、ボート５
は規定の姿勢を保ちつつボート受け８から真っ直ぐ熱処
理装置１に乗り移る。ウェハ６の熱処理が終了し、ボー
ト５がボート受け８に乗り移る際も、ボート５の軌道又
は姿勢に不整が生じていた場合、それは垂直壁３１Ｌ、
３１Ｒによって正されるものである。

【００４１】図２２に本発明の第１６の実施形態を示
す。この実施形態では、円弧断面を有するボート受け８
に、車輪７Ｌ、７Ｒの外側に位置するレール３２Ｌ、３
２Ｒを形設してガイド構造１０とするものであるが、そ
のレール３２Ｌ、３２Ｒをボート受け８の両側縁から、
ボート５の上面に水平に張り出すような形で成形したも
のである。レール３２Ｌ、３２Ｒは車輪７Ｌ、７Ｒが所
定の軌道から逸れるのを阻止し、ボート５のウェハ載置
面に直交する線Ｖｂを鉛直に保つ。このため、ボート５
は規定の姿勢を保ちつつボート受け８から真っ直ぐ熱処
理装置１に乗り移る。ウェハ６の熱処理が終了し、ボー
ト５がボート受け８に乗り移る際も、ボート５の軌道又
は姿勢に不整が生じていた場合、それはレール３２Ｌ、
３２Ｒによって正されるものである。

【００４２】以上、本発明の各種実施形態につき説明し
たが、この他、発明の主旨を逸脱しない範囲で更に種々
の変更を加えて実施することができる。例えば、図１７
の第１１の実施形態において、ガイド構造１０を図５、
６の第４の実施形態の誘導部１４Ｌ、１４Ｒを移設した
形状のものとすることができる。あるいは、図１８の第
１２の実施形態、図１９の第１３の実施形態、図２０の
第１４の実施形態において、それぞれレールを図２の形
状や図５の形状にすることが可能である。その他上記実
施形態の要素を様々にミックスした形態のものとするこ
とができる。

【００４３】

【発明の効果】本発明は以下に掲げるような効果を奏す
るものである。

【００４４】ウェハを搭載したボートを横型の熱処理装
置に挿入し、またそこから引き出すにあたり、熱処理装
置の受入口の外側でボートを待ち受けるボート受けに、
ボートに装着された車輪をガイドするガイド構造を備え
させたので、ボートは傾斜を生じることもなく、ガイド
構造により規定される通りの姿勢でボート受けから熱処
理装置へ、またその逆へと乗り移るものである。このた
め、ウェハの熱処理後、ボートをボート受けの上に引き
出したとき、従来のようにボートの傾斜を作業者が手で
補正する必要がなくなり、工数低減を図ることができ
た。また、ボート及びその車輪に無理な力を加えること
もなくなり、ボートが破損したり、ボートの角度を無理
矢理補正するのに伴う振動でウェハがダメージを受け、
製造歩留まりが低下するといった問題も解消した。ウェ
ハの大直径化、ボートへのウェハ搭載枚数の増加といっ
た半導体生産能率向上のための諸施策にも対応できた。
さらに、ガイド構造を追加したことにより、ボート受け
のコストは多少上昇したが、従来ソフトランディング方
式でしか行えなかったボート傾斜補正なしの自動処理作
業が、ボートローダ方式の装置でも可能となり、設備投
資費用を大幅に削減できた。

【００４５】また、左右の車輪の内側に位置するレール
によりガイド構造を構成したから、必要最小限の資材で
ガイド構造を構成できる。

【００４６】また、左右の車輪の内側に位置するレール
によりガイド構造を構成するに際し、熱処理装置の受入
口に向き合うレール端部を、該受入口に近づくにつれレ
ールの外面間隔が狭くなって行くように形成したから、
熱処理装置からボート受けにボートを乗り移らせると
き、車輪がスムーズにレールの外側へと誘導される。

【００４７】また、左右の車輪の外側に位置するレール
によりガイド構造を構成したから、必要最小限の資材で
ガイド構造を構成できる。

【００４８】また、左右の車輪の外側に位置するレール
によりガイド構造を構成するに際し、熱処理装置の受入
口に向き合うレール端部を、該受入口に近づくにつれレ
ールの内面間隔が広くなって行くように形成したから、
熱処理装置からボート受けにボートを乗り移らせると
き、車輪がスムーズにレールの内側へと誘導される。

【００４９】また、車輪を受け入れるわだちによりガイ
ド構造を構成したから、ガイド構造が一層堅牢化する。

【００５０】また、車輪を受け入れるわだちによりガイ
ド構造を構成するに際し、熱処理装置の受入口に向き合
うわだち端部を、該受入口に近づくにつれわだちの幅が
広くなって行くように形成したから、熱処理装置からボ
ート受けにボートを乗り移らせるとき、車輪がスムーズ
にわだちの中に入り込む。

【００５１】また、ボート受けの熱処理装置に近い方の
端のみにガイド構造が設けられているものとしたから、
ガイド構造構成資材を節約できる。

【００５２】また、ボート受け上の車輪支持面を水平面
としたから、ガイド構造との接触を強制するような分力
が車輪に作用するのを排除し、ボートを安定して支持で
きる。

【００５３】また、ガイド構造を交換可能としたから、
異なる種類のボートにボート受けを適合させるのが容易
になる。

【００５４】また、ガイド構造と車輪支持面とを併せて
交換可能としたから、異なる種類のボートにボート受け
を容易に適合させることができるとともに、車輪支持面
に摩耗が生じたりしたときの保守も容易になる。

【００５５】また、ウェハを搭載したボートを横型の熱
処理装置に挿入し、またそこから引き出すにあたり、熱
処理装置の受入口の外側でボートを待ち受けるボート受
けに、車輪を装着したボートの、車輪以外の箇所をガイ
ドするガイド構造をボート受けに備えさせたから、ボー
トは傾斜を生じることもなく、ガイド構造により規定さ
れる通りの姿勢でボート受けから熱処理装置へ、またそ
の逆へと乗り移るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明ウェハ搬送装置の第１実施形態を示す
ボート受けの正面図

【図２】 本発明ウェハ搬送装置の第２実施形態を示す
ボート受けの上面図

【図３】 上記第２実施形態のボート受けの正面図

【図４】 本発明ウェハ搬送装置の第３実施形態を示す
ボート受けの正面図

【図５】 本発明ウェハ搬送装置の第４実施形態を示す
ボート受けの上面図

【図６】 上記第４実施形態のボート受けの正面図

【図７】 本発明ウェハ搬送装置の第５実施形態を示す
ボート受けの正面図

【図８】 本発明ウェハ搬送装置の第６実施形態を示す
ボート受けの上面図

【図９】 上記第６実施形態のボート受けの正面図

【図１０】 本発明ウェハ搬送装置の第７実施形態を示
すボート受けの上面図

【図１１】 上記第７実施形態のボート受けの正面図

【図１２】 本発明ウェハ搬送装置の第８実施形態を示
すボート受けの上面図

【図１３】 上記第８実施形態のボート受けの正面図

【図１４】 本発明ウェハ搬送装置の第９実施形態を示
すボート受けの正面図

【図１５】 本発明ウェハ搬送装置の第１０実施形態を
示すボート受けの上面図

【図１６】 上記第１０実施形態のボート受けの正面図

【図１７】 本発明ウェハ搬送装置の第１１実施形態を
示すボート受けの上面図

【図１８】 本発明ウェハ搬送装置の第１２実施形態を
示すボート受けの正面図

【図１９】 本発明ウェハ搬送装置の第１３実施形態を
示すボート受けの正面図

【図２０】 本発明ウェハ搬送装置の第１４実施形態を
示すボート受けの正面図

【図２１】 本発明ウェハ搬送装置の第１５実施形態を
示すボート受けの正面図

【図２２】 本発明ウェハ搬送装置の第１６実施形態を
示すボート受けの正面図

【図２３】 従来から用いられているウェハ搬送装置の
概略構成説明図

【図２４】 図２３のＡ−Ａ矢視図に相当するボート受
けの正面図

【図２５】 図２４のボート受けに起こり得る問題を説
明するボート受けの正面図

【符号の説明】

１ 熱処理装置 ２ 反応ガスの導入口 ３ 受入口 ４ 蓋 ５ ボート ６ ウェハ ７（７Ｌ、７Ｒ） 車輪 ８ ボート受け ９ ボートローダ １０ ガイド構造 １１Ｌ、１１Ｒ レール １２Ｌ、１２Ｒ 誘導部 １３Ｌ、１３Ｒ レール １４Ｌ、１４Ｒ 誘導部 １５Ｌ、１５Ｒ わだち １６ レール １７Ｌ、１７Ｒ 誘導部 １８ 車輪支持面 １９Ｌ、１９Ｒ 傾斜面 ２０Ｌ、２０Ｒ コーナー部 ２２Ｌ、２２Ｒ レール ２３ ほぞ ２４ 穴 ２５ デッキ ２６ 車輪支持面 ２７Ｌ、２７Ｒ レール ２８ 支柱 ２９ ほぞ ３０ 穴 ３１Ｌ、３１Ｒ 垂直壁 ３２Ｌ、３２Ｒ レール

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハをボートに搭載して横型の熱処理
   装置に出し入れするようにしたウェハ搬送装置におい
   て、 前記熱処理装置の受入口の外側に、前記ボートを支持す
   るボート受けを配置するとともに、このボート受けは、
   ボートに装着された車輪をガイドするガイド構造を備え
   ていることを特徴とするウェハ搬送装置。
2. 【請求項２】 左右の車輪の内側に位置するレールによ
   りガイド構造を構成したことを特徴とする請求項１に記
   載のウェハ搬送装置。
3. 【請求項３】 熱処理装置の受入口に向き合うレール端
   部が、該受入口に近づくにつれレールの外面間隔が狭く
   なって行くように形成されていることを特徴とする請求
   項２に記載のウェハ搬送装置。
4. 【請求項４】 左右の車輪の外側に位置するレールによ
   りガイド構造を構成したことを特徴とする請求項１に記
   載のウェハ搬送装置。
5. 【請求項５】 熱処理装置の受入口に向き合うレール端
   部が、該受入口に近づくにつれレールの内面間隔が広く
   なって行くように形成されていることを特徴とする請求
   項４に記載のウェハ搬送装置。
6. 【請求項６】 車輪を受け入れるわだちによりガイド構
   造を構成したことを特徴とする請求項１に記載のウェハ
   搬送装置。
7. 【請求項７】 熱処理装置の受入口に向き合うわだち端
   部が、該受入口に近づくにつれわだちの幅が広くなって
   行くように形成されていることを特徴とする請求項６に
   記載のウェハ搬送装置。
8. 【請求項８】 ガイド構造が、ボート受けの熱処理装置
   に近い方の端のみに設けられていることを特徴とする請
   求項１〜請求項７のいずれかに記載のウェハ搬送装置。
9. 【請求項９】 ボート受け上の車輪支持面が水平面とな
   っていることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれ
   かに記載のウェハ搬送装置。
10. 【請求項１０】 ガイド構造が交換可能な構造となって
    いることを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれかに
    記載のウェハ搬送装置。
11. 【請求項１１】 ガイド構造と車輪支持面とを併せて交
    換可能な構造となっていることを特徴とする請求項９に
    記載のウェハ搬送装置。
12. 【請求項１２】 ウェハをボートに搭載して横型の熱処
    理装置に出し入れするようにしたウェハ搬送装置におい
    て、 前記熱処理装置の受入口の外側に、前記ボートを支持す
    るボート受けを配置するとともに、このボート受けは、
    車輪を装着したボートの、車輪以外の箇所をガイドする
    ガイド構造を備えていることを特徴とするウェハ搬送装
    置。