JP2002229468A - 平板ディスプレーパネル用ガス排気装置及びその方法 - Google Patents

平板ディスプレーパネル用ガス排気装置及びその方法

Info

Publication number
JP2002229468A
JP2002229468A JP2001019266A JP2001019266A JP2002229468A JP 2002229468 A JP2002229468 A JP 2002229468A JP 2001019266 A JP2001019266 A JP 2001019266A JP 2001019266 A JP2001019266 A JP 2001019266A JP 2002229468 A JP2002229468 A JP 2002229468A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display panel
gas
pressure
flat
panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001019266A
Other languages
English (en)
Inventor
Zenu Park
善 宇 朴
Eikoku Ken
英 国 權
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UPD Corp
Original Assignee
UPD Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UPD Corp filed Critical UPD Corp
Publication of JP2002229468A publication Critical patent/JP2002229468A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/385—Exhausting vessels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/26—Sealing together parts of vessels
    • H01J9/261—Sealing together parts of vessels the vessel being for a flat panel display
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
    • H01J2209/26—Sealing parts of the vessel to provide a vacuum enclosure
    • H01J2209/264—Materials for sealing vessels, e.g. frit glass compounds, resins or structures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平板ディスプレーパネルの内部と外部との圧
力差を利用して、パネルの内部に存在するガス成分を容
易に排気できるようになる平板ディスプレーパネル用ガ
ス排気装置及びその方法を提供する。 【解決手段】 ＰＤＰ、ＬＣＤ、ＦＥＤ、有機ＥＬなど
のように上板と下板とから構成され、上板と下板との間
のガスを排気する工程を行う平板ディスプレーに適用さ
れ、不純ガスの放出がない赤外線（ＩＲ）ハロゲンヒー
ターを利用してパネルを排気に必要な温度で加熱し、そ
れぞれ分離された真空計を利用してチャンバーとパネル
内部の圧力差を発生させ、この時、パネル内部の圧力を
チャンバーの圧力より一定レベル高く設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平板ディスプレー用
ガス排気装置に係り、特に上板と下板とから構成される
パネル間に存在する不純ガスを排気するにあたって、パ
ネル間の間隔が広がるようにパネルの外部圧力とパネル
の内部圧力を違えて設定してガスの排気コンダクタンス
を大きく確保することによって、パネル内部の不純ガス
を容易に排気できる平板ディスプレーパネル用ガス排気
装置及びそのガス排気方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、表示装置は人間と電子装置と
の情報交換のための重要なインターフェースにおいて、
情報化社会の発展に伴って人間の接することができる情
報量が膨大になるにつれこれを利用した情報化機器の多
様化が求められ、このような情報化機器の表示装置に関
する特性が重要視されている。また、既存のＣＲＴ（Ｃ
ａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）に比べて薄型化が可
能で、かつ軽くて画質も優れ、多様な付加機能が可能な
環境親和型のＰＤＰ、ＬＣＤ、ＦＥＤ、有機ＥＬ等の平
板ディスプレーに対する研究が活発になされ、今まで表
示装置の主流であったＣＲＴに代わる次世代ディスプレ
ーとして脚光を浴びている。
【０００３】前記の平板ディスプレーは、各機能膜が積
層形成された上板と下板が互いに向かい合うように一定
間隔で接合されており、製造工程中において内部に存在
する不純ガスを除去する段階を経るものである。例え
ば、プラズマディスプレーパネル（以下、ＰＤＰと称す
る）の製造工程は、上部ガラスと下部ガラスに所定の電
極及び誘電体膜、隔壁などを設置する前工程と、前工程
後に上部ガラスと下部ガラスとを封着させ、所定のガス
を排気及び注入させて一枚のパネルを形成する後工程と
に大別される。
【０００４】図１は従来のＰＤＰの上部ガラスと下部ガ
ラスの前工程過程を説明するための図面である。図１に
おいて、上部ガラス１０は透明電極１１及びバス電極１
２が一面に形成され、この透明電極１１及びバス電極１
２上には放電時に放電電流を制限して壁電荷の生成を容
易にする誘電層１３が均一な厚さで形成され、この誘電
層１３上には放電時に生ずるスパッタリングから前記透
明電極１１とバス電極１２及び誘電層１３を保護するよ
うに酸化マグネシウム（ＭｇＯ）保護膜１４が蒸着形成
される。
【０００５】また、図１において下部ガラス２０は前記
上部ガラス１０に形成された透明電極１１及びバス電極
１２と所定距離隔てて直交するようにアドレス電極２１
を形成し、前記上部ガラス１０と下部ガラス２０との間
には前記アドレス電極２１を複数の放電セルで分離して
セル間混色を防止して放電空間を確保することができる
ように隔壁２２が配列形成され、前記アドレス電極２１
上には蛍光体２３が塗布形成される。すなわち、図１に
図示されている通りの上部ガラス１０と下部ガラス２０
を各々形成することによって、プラズマディスプレーパ
ネルの前工程を終了するようになる。
【０００６】次に、図２を参照してＰＤＰの後工程を説
明する。まず、後工程では図１に示されているような下
部ガラス２０の上面縁部に所定のフリットガラス３０を
塗布して図１のような上部ガラス１０を封着するように
なる。この時、下部ガラス２０に形成された隔壁２２に
より所定のセル（言わば、放電セル）が形成されるが、
下部ガラス２０と上部ガラス１０との距離Ｈａは約１２
０〜１４０μｍになり、下部ガラス２０の蛍光体２３と
上部ガラス１０との距離Ｈｂは約１００μｍになる。
【０００７】一方、上部ガラス１０と下部ガラス２０の
封着工程が終了されれば、排気孔３１に結合されたチッ
プ管３３を介して隔壁２２間に形成された放電セル３２
に存在する不純ガス成分を排気するようになり、以後排
気孔３１を介して真空状態の放電セル３２に所定の放電
ガスを注入するようになる。そして、ガスの排気及び注
入のための排気孔３１を封入処理することによって、後
工程を終了するようになる。ここで、前記ガス排気工程
は隔壁２２間に形成された放電セル３２に存する不純成
分を排気して真空状態に設定することであって、放電セ
ル３２を通した排気経路Ｓは図３に示すように形成され
る。
【０００８】しかし、図２に示した通り、上部ガラス１
０と下部ガラス２０との距離Ｈｂは約１００μｍであっ
て非常に微細な空間なので、図３のように形成される排
気経路を通した不純ガスの排気処理はその工程時間が延
びるという問題を引き起こす。また、かかる過程が例え
ば大気圧の熱風循環型の炉内でなされることにより温度
の上昇と冷却に長時間かかり、特にパネル内部固有の非
常に低い排気コンダクタンスによって不純ガスの排気に
長時間かかることにより生産性が低下され、エネルギー
消耗が多くなるという問題点がある。
【０００９】ここで、前述した問題はＰＤＰのみに限ら
れず、上板と下板とから構成されるパネル内部の不純ガ
スを処理する平板ディスプレーパネルの共通的な問題で
ある。前述した問題はＰＤＰを含む平板ディスプレーパ
ネルの生産時間を遅らせて生産競争力を低下させる問題
が生じる。また、前記排気工程においては、微細な空間
を介して不純ガスの排気処理を行うことにより不純ガス
の排気が正しくなされない場合が生じ、この場合は平板
ディスプレーパネルの画質を劣化させる原因となる問題
点がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の問題点
を解決するためになされたものであり、その目的は平板
ディスプレーパネルの外部圧力と内部圧力とを違えて設
定し、パネルの排気空間、すなわち排気コンダクタンス
が圧力差によって一層大きく確保された状態で排気工程
を行うことによって不純ガスの排気時間を短縮させると
共に、不純ガスの排気効率を向上できる平板ディスプレ
ーパネル用ガス排気装置及びその方法を提供することに
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めの本発明の第１観点にともなう平板ディスプレーパネ
ル用ガス排気方法は、平板ディスプレーパネル内部の不
純ガスを除去するための排気工程を行う平板ディスプレ
ーパネル用排気装置を利用した排気方法において、チャ
ンバー内部の圧力よりも、該チャンバー内部に位置する
平板ディスプレーパネル内部の圧力を高く設定した状態
で平板ディスプレーパネル内部の不純ガスを排気する工
程を備えることを特徴とする。
【００１２】この時、前記平板ディスプレーパネル用ガ
ス排気方法は、チャンバー内部に位置する平板ディスプ
レーパネル内部に所定のガスを注入して平板ディスプレ
ーパネル内部の圧力を高く設定して不純ガスを排気する
工程を繰り返して行うことを特徴とする。
【００１３】また、前記平板ディスプレーパネル用ガス
排気方法は、チャンバー内部に位置する平板ディスプレ
ーパネル内部に所定のガスを注入してチャンバー内部の
圧力よりパネル内部の圧力を一定レベル高く設定した状
態で平板ディスプレーパネル内部に一定速度で所定ガス
を注入しつつ一定速度でパネル内部の不純ガスを排気
し、チャンバー内部の圧力とパネル内部の圧力差が一定
時間の間一定レベルを維持するようにして排気工程を行
うことを特徴とする。
【００１４】また、前述した目的を達成するための本発
明の第２観点にともなう平板ディスプレーパネル用ガス
排気装置は、排気工程を行うための平板ディスプレーパ
ネルを安着するための支持台を備えると共に、一側に第
１貫通孔及び前記平板ディスプレーパネルのチップ管と
結合された第２貫通孔を備えて構成されるチャンバー
と、前記チャンバーの第１貫通孔に結合されガス注入及
びガス排気を通したチャンバー内部の圧力を調節するた
めの第１圧力調節手段と、前記チャンバーの第２貫通孔
に結合されガス注入及びガス排気を通じ平板ディスプレ
ーパネル内部の圧力を調節するための第２圧力調節手
段、及び前記第１及び第２圧力調節手段を通じチャンバ
ー内部の圧力より平板ディスプレーパネル内部の圧力が
高くなるよう設定した状態で平板ディスプレーパネル内
部の不純ガス排気動作を行うように制御する制御手段と
を含んで構成されることを特徴とする。この時、前記平
板ディスプレーパネル用ガス排気装置は、チャンバー内
部に所定の排気温度を設定するための赤外線ハロゲンヒ
ーターを備えて構成されることを特徴とする。
【００１５】また、本発明の第３観点にともなう平板デ
ィスプレーパネル用ガス排気装置は、下部ガラスに第１
及び第２排気孔が形成された平板ディスプレーパネル
と、排気工程を行うための平板ディスプレーパネルを安
着するための支持台を備えると共に、一側に第１貫通孔
及び前記平板ディスプレーパネルの第１及び第２排気孔
の第１及び第２チップ管と結合される第２及び第３貫通
孔を備えて構成されるチャンバーと、前記チャンバーの
第１貫通孔に結合されガス排気動作を通したチャンバー
内部の圧力を調節するための第１圧力調節手段と、前記
チャンバーの第２貫通孔に結合されガス排気動作を通し
た平板ディスプレーパネル内部の圧力を調節するための
第２圧力調節手段と、前記チャンバーの第３貫通孔に結
合されてガス注入動作を通した平板ディスプレーパネル
内部の圧力を調節するための第３圧力調節手段、及び前
記第１ないし第３圧力調節手段を通じチャンバー内部の
圧力より平板ディスプレーパネル内部の圧力を高く設定
した状態で平板ディスプレーパネル内部の不純ガス排気
動作を行うように制御する制御手段とを含んで構成され
ることを特徴とする。
【００１６】すなわち、本発明によれば、チャンバー内
部の圧力より平板ディスプレーパネル内部の圧力を高く
設定して平板ディスプレーパネルの排気コンダクタンス
を大きく確保した状態で不純ガスの排気工程を行わせる
ことによって、排気時間が従来の排気時間に比べて短縮
され、排気工程後、内部に残存する不純ガスの確率を減
少させ、光学的及び電気的特性が良好な平板ディスプレ
ーパネルを得ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図４
〜１２に基づいて説明する。本発明に係る平板ディスプ
レーパネルとしては、平板ディスプレーパネルのうちＰ
ＤＰ（プラズマディスプレーパネル）の場合について記
載したものであり、本発明に係る平板ディスプレーパネ
ル用ガス排気装置及び方法は記載されていないが、上板
と下板とから構成される平板ディスプレーパネル、例え
ばＬＣＤ、ＦＥＤ、有機ＥＬ等に適用しても同様に実施
できるものである。
【００１８】実施の形態１．図４は本発明の実施の形態
１による平板ディスプレーパネル、特にＰＤＰ用ガス排
気装置の構成を示した図である。図４において、本発明
に係るガス排気装置は、ガス排気工程段階のプラズマデ
ィスプレーパネル５０を安着するための支持台１０１
と、真空雰囲気で発熱時不純ガスの放出がなく、プラズ
マディスプレーパネル５０内部の構造物材料から不純物
の放出に必要な所定熱を発散するための赤外線（ＩＲ）
ハロゲンヒーター１０２を内部に備えて構成されると共
に、一面に第１及び第２貫通孔１０３、１０４が形成さ
れて構成されるチャンバー１００と、このチャンバー１
００の第１貫通孔１０３に一体型で結合された第１管１
０５と結合されチャンバー１００内部の圧力を調節する
ための第１圧力調節手段１１０と、チャンバー１００の
第２貫通孔１０４を介してプラズマディスプレーパネル
５０のチップ管３３（図２参照）と結合されプラズマデ
ィスプレーパネル５０内部の圧力を調節するための第２
圧力調節手段１２０とを含んで構成される。
【００１９】ここで、前記赤外線ハロゲンヒーター１０
２は図４に示されている通り、プラズマディスプレーパ
ネル５０が安着した上部に複数個のハロゲンヒータ１０
２ａ〜１０２ｎが配列されるように構成され、この赤外
線ハロゲンヒーター１０２は所定電源部に印加される電
圧レベルによって発熱温度が調節されるように構成され
る。また、図４に示されている通り、本発明に係るガス
排気装置は、前記第１圧力調節手段１１０と第２圧力調
節手段１２０を制御してチャンバー１００とプラズマデ
ィスプレーパネル５０内部を排気すると共に、所定のガ
ス注入動作を行うように制御してチャンバー１００とプ
ラズマディスプレーパネル５０内部間の圧力差によるパ
ネル内部の排気空間、すなわち排気コンダクタンスを大
きく確保するように制御する制御装置１３０とを含んで
構成され、この時、前記制御装置１３０は、所定の情
報、例えば運用者により設定されるチャンバー及びパネ
ル内部の基準圧力と排気圧力比率情報を保存するための
所定メモリーと、チャンバー及びパネル内部の圧力を表
示するための所定表示手段を含んで構成され、運用者に
より設定された基準圧力情報に基づき第１及び第２圧力
調節手段１１０、１２０を通じ、ガス排気及びガス注入
動作を制御するようになる。
【００２０】図５は図４に示した第１圧力調節手段１１
０、第２圧力調節手段１２０の内部構成を機能的に分離
して表した機能ブロック図である。図５に示したよう
に、第１及び第２圧力調節手段１１０、１２０はガス排
気動作にともなう所定制御信号に応じてオープン／クロ
ーズされる第１バルブ１１１と、この第１バルブ１１１
と結合され、第１または第２貫通孔１０３、１０４を通
したガス排気動作を行うための排気ポンプ１１２、ガス
注入動作にともなう所定制御信号に応じてオープン／ク
ローズされる第２バルブ１１３、この第２バルブ１１３
と結合され第１または第２貫通孔１０３、１０４を通し
たガス注入動作を行うためのガスシリンダー１１４、及
び第１または第２貫通孔１０３、１０４を通した該当装
置、すなわちチャンバー１００またはプラズマディスプ
レーパネル５０内部の圧力を測定するための圧力測定器
１１５を含んで構成され、この時、前記ガスシリンダー
１１４には所定の洗浄ガス、例えばＨｅ、Ａｒ、Ｎｅ、
Ｘｅ、Ｎ２等の不活性ガスが貯蔵される。
【００２１】次に、前述した構成よりなる装置の動作を
図４を参照しながら説明する。まず、前工程処理が完了
して上部ガラス５１と下部ガラス５２との間に所定のフ
リットガラス５３が形成されたプラズマディスプレーパ
ネル５０をチャンバー１００内部の支持台１０１に位置
させた状態で、チャンバー１００内部に備わった赤外線
ハロゲンヒーター１０２を制御してチャンバー１００内
部の温度をプラズマディスプレーパネル５０の封着に必
要な温度、例えば約３００〜４００℃になるようにす
る。すなわち、チャンバー１００の内部を真空状態にし
た後、前記封着に求められる温度に設定して短時間に上
部ガラス５１と下部ガラス５２とを封着させる。そし
て、赤外線ハロゲンヒーター１０２を制御してチャンバ
ー１００の内部の温度を所定の排気温度に冷却させる。
【００２２】次に、チャンバー１００の内部温度が排気
温度に冷却された状態で、制御装置１３０が第１及び第
２圧力調節手段１１０、１２０を制御して所定の排気動
作を行う。すなわち、制御手段１３０が第１圧力調節手
段１１０を通じチャンバー１００内部の圧力を初期設定
された真空の圧力に維持させると共に、第２圧力調節手
段１２０を通じプラズマディスプレーパネル５０の内部
に清浄な洗浄ガス、例えばＨｅ、Ａｒ、Ｎｅ、Ｘｅ、Ｎ
２のような不活性ガスが注入される。この時、制御手段
１３０は第２圧力調節手段１２０のガスシリンダー１１
４及び第２バルブ１１３を制御してガスを注入するよう
になるが、プラズマディスプレーパネル５０内部へのガ
ス注入時にはチャンバー１００内部の圧力より高い圧力
で所定の洗浄ガスを注入するように制御する。
【００２３】これに伴い、洗浄ガスの注入時、チャンバ
ー１００の圧力よりプラズマディスプレーパネル５０内
部の圧力が高く設定されることによって、図４に点線で
示した通り、プラズマディスプレーパネル５０ａ自体が
所定レベル膨脹される。すなわち、プラズマディスプレ
ーパネル５０それ自体の排気空間（μｍ単位）がより大
きい排気空間（ｍｍ単位）を形成する。
【００２４】図４の点線で表示された通り、プラズマデ
ィスプレーパネル５０ａの排気空間が大きく確保された
状態で、制御装置１３０は運用者により予め設定された
圧力変化比率情報に基づき第１圧力調節手段１１０と第
２圧力調節手段１２０を通したガス排気動作を行う。こ
の時、第１及び第２圧力調節手段１１０、１２０を通し
たガス排気動作は図６に示したようになり、第１及び第
２圧力調節手段１１０、１２０の第１バルブ１１１及び
排気ポンプ１１２を制御してチャンバー１００とプラズ
マディスプレーパネル５０内部のガスを排気するが、周
期的に第２圧力調節手段１２０の第２バルブ１１３及び
ガスシリンダー１１４を制御して所定の洗浄ガスを高い
圧力で注入することによって、チャンバー１００とプラ
ズマディスプレーパネル５０の内部間に図６に示すよう
な所定レベルの圧力差（ΔＰ）を設定させた後、第２圧
力調節手段１２０を制御して排気動作を行う。すなわ
ち、パネルの排気空間を大きく確保した状態で排気動作
を行うように施す。
【００２５】また、図７に示した通り、前記ガス排気動
作は第１及び第２圧力調節手段１１０、１２０を通じチ
ャンバー１００とプラズマディスプレーパネル５０の内
部間の圧力差（ΔＰ）が一定レベルになるように設定
し、所定時間の間その状態を維持した後、第２圧力調節
手段１２０を通じ不純ガスを排気するように実施でき
る。すなわち、図４に点線で示した通り、プラズマディ
スプレーパネル５０ａの排気コンダクタンスが大きく設
定された状態でチャンバー１００とプラズマディスプレ
ーパネル５０の内部間の圧力差（ΔＰ）状態を一定時間
維持して、プラズマディスプレーパネル５０の隔壁間に
存在する不純ガスをプラズマディスプレーパネル５０の
広まった排気領域へ誘導した後、第２圧力調節手段１２
０を通じ不純ガス排気動作を行うようにして実施でき
る。
【００２６】一方、制御装置１３０は前述した排気動作
を行うと同時に、第２圧力調節手段１２０の圧力測定器
１１５を周期的に確認して所定レベル、例えば１０―６
〜１０―７Ｔｏｒｒになる場合、第１圧力調節手段１１
０を通じて排気動作を終了し、第１圧力調節手段１１０
の第２バルブ１１３及びガスシリンダー１１３を制御し
てチャンバー１００に所定のガスを注入することによっ
て、チャンバー１００を大気圧状態に設定する。
【００２７】引き続き、チャンバー１００の内部圧力が
大気圧の状態で制御装置１３０は第２圧力調節手段１２
０を通した排気動作を行い続けながら、チャンバー１０
０の内部に設けられた赤外線ハロゲンヒーター１０２を
調節してチャンバー１００の内部を常温に設定する。そ
の後、制御装置１３０は第２圧力調節手段１２０の第２
バルブ１１３及びガスシリンダー１１４を制御してプラ
ズマディスプレーパネル５０の内部に放電に求められる
所定の放電ガス、例えばＸｅ、Ｎｅ、Ｈｅ、Ａｒ等の混
合ガスを注入して、チップ管３３を封止することにより
ガス排気及び注入工程が仕上げられる。
【００２８】一方、前述した平板ディスプレーパネル用
ガス排気装置及びそのガス排気方法は、図８及び図９に
示した通り、大量生産システムに適用され実施できる。
すなわち、図８に示すように、図４に示したようなチャ
ンバー２１０（２１０ａ〜２１０ｎ）を複数個備えて置
き、複数のチャンバー２１０の各第１貫通孔と結合され
る第１圧力調節手段２２０と、複数のチャンバー２１０
の各第２貫通孔と結合される第２圧力調節手段２３０、
第１及び第２圧力調節手段２２０、２３０を通じ図６及
び図７のような排気動作を行うように制御する制御手段
２００を備えて構成できる。すなわち、平板ディスプレ
ーパネルが備わった複数のチャンバーを通じ大量の平板
ディスプレーパネルの不純ガス排気工程を容易に行え
る。
【００２９】また、図９に示すように、一つのチャンバ
ー３１０に複数個の平板ディスプレーパネル５０（５０
ａ〜５０ｎ）を具備して置き、チャンバー３１０の第１
貫通孔と結合される第１圧力調節手段３２０と平板ディ
スプレーパネル５０の内部圧力を調節するための第２圧
力調節手段３３０、複数の平板ディスプレーパネル５０
の各第２貫通孔及び前記第２圧力調節手段３３０と結合
され、第２圧力調節手段３３０から印加されるガスを複
数の平板ディスプレーパネル５０に同一に注入すると共
に、第２圧力調節手段３３０からの制御に基づき複数の
平板ディスプレーパネル５０内部の不純ガスを排気する
マニフォールド３４０、前記第１及び第２圧力調節手段
３２０、３３０を通じ図６及び図７と同じ排気動作を行
うように制御する制御装置３００を備えて構成できる。
すなわち、一つのチャンバーに複数の平板ディスプレー
パネルを設置して大量の平板ディスプレーパネルの不純
ガス排気工程を容易に行える。
【００３０】実施の形態２．図１０は本発明の実施の形
態２による平板ディスプレーパネル５０のガス排気装置
の構成を示した図面であって、図４に示した装置と同一
な部分に対しては同じ参照番号を付し、その詳細な説明
は省略する。
【００３１】図１０に示した通り、本発明に係る平板デ
ィスプレーパネル用ガス排気装置は、下部ガラスに第２
排気孔６１０がさらに形成され構成される平板ディスプ
レーパネル６００と、支持台１０１に位置した平板ディ
スプレーパネル６００の第２排気孔６１０に結合された
所定管５２１を外部に貫通させるための第３貫通孔５１
０が形成され構成されるチャンバー５００、前記チャン
バー５００の第３貫通孔５１０を通じパネルの第２排気
孔６１０と結合されると共に、所定管５２２を介してチ
ャンバー５００の第１貫通孔１０３と結合され前記チャ
ンバー５００、及び平板ディスプレーパネル６００の内
部に所定の圧力レベルでガス注入動作を行う第３圧力調
節手段５２０、及び前記第１、第２ないし第３圧力調節
手段１１０，１２０，５２０を通じチャンバー５００及
び平板ディスプレーパネル６００の圧力を調節するため
の制御装置５３０を含んで構成される。
【００３２】ここで、前記第１，２ないし第３圧力調節
手段１１０、１２０、５２０の内部構成は図１１に示し
た通りである。すなわち、第１及び第２圧力調節手段１
１０、１２０は第１及び第２貫通孔１０３、１０４に結
合され所定のガス排気動作を行うための第１バルブ１１
１及び排気ポンプ１１２、チャンバー５００または平板
ディスプレーパネル６００の圧力を測定するための圧力
測定器１１５を含んで構成される。そして、第３圧力調
節手段５２０は所定の洗浄ガスが保存されるガスシリン
ダー５２３と、チャンバー５００の第３貫通孔５１０と
結合され平板ディスプレーパネル６００へのガス注入動
作にともなう所定制御信号に基づきオープン／クローズ
される第２バルブ５２４、及びチャンバー５００の第１
貫通孔１０３と結合されチャンバー５００内部のガス注
入動作にともなう所定制御信号に基づきオープン／クロ
ーズされる第３バルブ５２５とを含んで構成される。
【００３３】一方、図１０において前記制御装置５３０
は、図６及び図７に示したようなプロファイルにともな
う平板ディスプレーパネル６００の不純ガス排気動作を
行う。すなわち、制御装置５３０は、第１圧力調節手段
１１０の第１バルブ１１１を制御してチャンバー５００
の内部圧力を一定レベルに維持させながら、第２圧力調
節手段１２０を通したパネル内部の不純ガス排気動作
と、第３圧力調節手段５２０の第２バルブ５２４を通じ
て平板ディスプレーパネル６００内部へのガス注入動作
を反復するように制御する。この時、前記制御装置５３
０は第３圧力調節手段５２０を通じ平板ディスプレーパ
ネル６００内部へのガス注入を制御するにあたって、図
６に示すようにチャンバー５００の内部圧力より平板デ
ィスプレーパネル６００の内部圧力が一定レベル（Δ
Ｐ）高くなるようにガス注入を制御する。
【００３４】また、制御装置５３０は、第１圧力調節手
段１１０の第１バルブ１１１を制御してチャンバー５０
０の内部圧力を初期設定された圧力に維持しながら、第
３圧力調節手段５２０の第２バルブ５２４を制御して平
板ディスプレーパネル６００内部に所定の洗浄ガスを注
入してチャンバー５００の内部圧力より平板ディスプレ
ーパネル６００の内部圧力が一定レベル（ΔＰ）高くな
るよう制御する。
【００３５】その後、第３圧力調節手段５２０の第２バ
ルブ５２４を制御して平板ディスプレーパネル６００の
内部に洗浄ガスを一定の圧力レベルを維持するように制
御して注入するが、同時に一定の圧力レベルを維持する
ように排気動作を行ってチャンバー５００の内部と平板
ディスプレーパネル６００内部の一定圧力差（ΔＰ）を
一定時間維持させて排気動作を行い、一定時間経過後第
３圧力調節手段５２０を制御して洗浄ガス注入を中止さ
せ第２圧力調節手段１２０を制御してパネル内部のガス
排気動作を行うように実施できる。
【００３６】すなわち、図７に示すように、平板ディス
プレーパネル６００の内部へのガス注入と排気を同時に
行ってチャンバー５００の内部と平板ディスプレーパネ
ル６００内部の圧力差（ΔＰ）を維持した後、一定時間
平板ディスプレーパネル６００内部の不純ガスを排気す
る過程を繰り返して行うことにより、パネル内部のガス
排気動作を行うことが可能である。
【００３７】一方、前記図１０に示されたディスプレー
パネル用ガス排気装置は、図１２に示したような方式で
排気工程を行える。すなわち、図１０の点線で示された
通り、チャンバー５００の内部の圧力より平板ディスプ
レーパネル６００内部の圧力を高く設定して平板ディス
プレーパネル６００ａの排気コンダクタンスを大きく設
定した状態で、制御装置５３０は第２圧力調節手段１２
０を通じ平板ディスプレーパネル６００ａ内部の不純ガ
スを所定圧力レベルに連続排気するように制御すると共
に、第３圧力調節手段５２０を通じ平板ディスプレーパ
ネル６００ａ内部に所定の洗浄ガスを所定圧力レベルに
連続注入するように制御するが、平板ディスプレーパネ
ル６００ａの不純ガス排気圧力レベルと洗浄ガス注入圧
力レベルを同一に設定してチャンバー５００と平板ディ
スプレーパネル６００ａ間の初期圧力差（ΔＰ）を維持
しつつ連続的な不純ガスの排気動作を行うようにするこ
とができる。
【００３８】また、前記実施の形態２にともなう平板デ
ィスプレーパネル用ガス排気装置は、図８及び図９に示
したような大型化システムに適用して実施できる。すな
わち、本発明によれば、熱源として赤外線ハロゲンヒー
ターを使用してチャンバー内部の圧力を真空状態に設定
し、平板ディスプレーパネル内部の圧力より一定レベル
低く維持することによって、パネルの排気コンダクタン
スを大きくし、この状態でパネル内部に存する不純ガス
の排気動作を行うことができる。
【００３９】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明によればチャン
バーの内部圧力より平板ディスプレーパネルの内部圧力
を高く設定し、平板ディスプレーパネルの排気コンダク
タンスを大きく確保した状態で不純ガスの排気工程を行
わせることにより、排気時間が従来の排気時間に比べて
短縮されることは勿論、排気工程後内部に残存する不純
ガスの確率を減少させ、光学的及び電気的特性が良好な
平板ディスプレーパネルを得られる。一方、本発明は前
記実施例に限らず、本発明の技術的思想を逸脱しない範
囲内で多様に変形実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のプラズマディスプレーパネルの前工程過
程を説明するための図面である。
【図２】従来のプラズマディスプレーパネルの後工程過
程を説明するための図面である。
【図３】従来のプラズマディスプレーパネルのガス排気
工程時のガス排気経路を表した図面である。
【図４】本発明の実施の形態１にともなう平板ディスプ
レーパネル用ガス排気装置の構成を表した図面である。
【図５】図４に示した第１及び第２圧力調節手段１１
０、１２０の内部構成を機能的に分離して表した機能ブ
ロック図である。
【図６】本発明に係るガス排気方法において、チャンバ
ーの内部圧力を一定レベルに維持させながら、パネル内
部のガス排気とガス注入を反復しするように制御する時
のパネル内部圧を説明するための図面である。
【図７】本発明に係るガス排気方法において、チャンバ
ーの内部圧力を初期設定された圧力に維持しながらパネ
ルの内部圧力がチャンバーの内部圧力よりも一定レベル
高くなるようにガス注入を制御する時のパネル内部圧を
説明するための図面である。
【図８】本発明の実施の形態１にともなう平板ディスプ
レーパネル用ガス排気装置を大量生産システムに適用
し、複数のチャンバーを備えた例を概略的に表した図面
である。
【図９】本発明の実施の形態１にともなう平板ディスプ
レーパネル用ガス排気装置を大量生産システムに適用
し、１つのチャンバーに複数の平板ディスプレーパネル
を備えた例を概略的に表した図面である。
【図１０】本発明の実施の形態２にともなう平板ディス
プレーパネル用ガス排気装置の構成を概略的に示した図
面である。
【図１１】図１０に示された第１、第２ないし第３圧力
調節手段１１０、１２０、５２０の内部構成を機能的に
分離して示した機能ブロック図である。
【図１２】図１０に示された装置を利用したガス排気方
法を説明するための図面である。
【符号の説明】 ３３ チップ管 ５０ プラズマディスプレーパネル ５０ａ〜５０ｎ プラズマディスプレーパネル ５１ 上部ガラス ５２ 下部ガラス ５３ フリットガラス １００ チャンバー １０１ 支持台 １０２ ハロゲンヒーター １０２ａ〜１０２ｎ ハロゲンヒーター １００ チャンバー １１１ 第１バルブ １１２ 排気ポンプ １１３ 第２バルブ １１４ ガスシリンダー １１５ 圧力測定器 １０３ 第１貫通孔 １０４ 第２貫通孔 １０５ 第１管 １１０ 第１圧力調節手段 １２０ 第２圧力調節手段 １３０ 制御装置 ２００ 制御手段 ２１０、３１０ チャンバー ２１０ａ〜２１０ｎ チャンバー ２２０、３２０ 第１圧力調節手段 ２３０、３３０ 第２圧力調節手段 ３００、５３０ 制御装置 ３４０ マニフォールド ５００ チャンバー ５１０ 第３貫通孔 ５２０ 第３圧力調節手段 ５２１、５２２ 所定管 ５２３ ガスシリンダー ５２４ 第２バルブ ５２５ 第３バルブ ６００、６００ａ 平板ディスプレーパネル ６１０ 第２排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K007 AB11 AB18 BB04 EB00 FA03 5C012 AA05 AA09 PP01 PP08 5C040 FA01 GB03 GB14 HA05 MA23 5G435 AA14 AA17 BB05 BB06 BB12 KK05 KK10

Claims (30)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 平板ディスプレーパネルの内部の不純ガ
    スを除去するための排気工程を行う平板ディスプレーパ
    ネル用排気装置を利用した排気方法において、 チャンバー内部の圧力よりも、該チャンバー内部に位置
    する平板ディスプレーパネル内部の圧力を高く設定した
    状態で平板ディスプレーパネル内部の不純ガスを排気す
    る工程を備えることを特徴とする平板ディスプレーパネ
    ル用ガス排気方法。
  2. 【請求項２】 前記チャンバー内部の圧力を初期圧力レ
    ベルと設定した状態で、平板ディスプレーパネル内部に
    高い圧力で所定の不活性ガスを注入して平板ディスプレ
    ーパネル内部の圧力をチャンバー内部の圧力より高く設
    定することを特徴とする請求項１に記載の平板ディスプ
    レーパネル用ガス排気方法。
  3. 【請求項３】 前記不純ガスの排気工程時、パネル内部
    に所定ガスを注入してパネル内部圧力を高める過程と、
    パネル内部の不純ガスを排気する過程とを繰り返して行
    うことを特徴とする請求項１に記載の平板ディスプレー
    パネル用ガス排気方法。
  4. 【請求項４】 前記パネルの内部圧力を高め、チャンバ
    ーの内部圧力より所定レベル高い圧力を一定時間維持し
    た後、前記不純ガス排気動作を行うことを特徴とする請
    求項３に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気方
    法。
  5. 【請求項５】 前記ガス排気工程はチャンバーと平板デ
    ィスプレーパネル内部との圧力差を一定に維持しつつ不
    純ガスを連続排気することを特徴とする請求項１に記載
    の平板ディスプレーパネル用ガス排気方法。
  6. 【請求項６】 前記ガス排気工程はチャンバーの圧力よ
    りパネル内部の圧力を高く設定した状態でパネル内部に
    所定ガスを第１圧力割合で注入すると共に、 パネル内部のガスを第１圧力割合で排気することを特徴
    とする請求項５に記載の平板ディスプレーパネル用ガス
    排気方法。
  7. 【請求項７】 前記平板ディスプレーパネルはプラズマ
    ディスプレーパネルであることを特徴とする請求項１に
    記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気方法。
  8. 【請求項８】 前記平板ディスプレーパネルは液晶ディ
    スプレー装置であることを特徴とする請求項１に記載の
    平板ディスプレーパネル用ガス排気方法。
  9. 【請求項９】 前記平板ディスプレーパネルは電界放出
    素子（ＦＥＤ）であることを特徴とする請求項１に記載
    の平板ディスプレーパネル用ガス排気方法。
  10. 【請求項１０】 前記平板ディスプレーパネルは有機電
    界発光装置（有機ＥＬ）であることを特徴とする請求項
    １に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気方法。
  11. 【請求項１１】 排気工程を行うための平板ディスプレ
    ーパネルを安着するための支持台を備えると共に、一側
    に第１貫通孔及び前記平板ディスプレーパネルのチップ
    管と結合された第２貫通孔とを備えて構成されるチャン
    バーと、 前記チャンバーの第１貫通孔に結合され、ガス注入及び
    ガス排気を通じてチャンバー内部の圧力を調節するため
    の第１圧力調節手段と、 前記チャンバーの第２貫通孔に結合され、ガス注入及び
    ガス排気を通じて平板ディスプレーパネル内部の圧力を
    調節するための第２圧力調節手段と、 前記第１及び第２圧力調節手段を通じてチャンバー内部
    の圧力より平板ディスプレーパネル内部の圧力が高くな
    るように設定した状態で平板ディスプレーパネル内部の
    不純ガス排気動作を行うように制御する制御手段とから
    構成されることを特徴とする平板ディスプレーパネル用
    ガス排気装置。
  12. 【請求項１２】 前記制御手段は前記排気動作を行うと
    きに、第２圧力調節手段を制御して平板ディスプレーパ
    ネル内部に所定のガスを注入する過程と、 平板ディスプレーパネル内部の不純ガスを排気する過程
    とを繰り返して行うように制御することを特徴とする請
    求項１１に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装
    置。
  13. 【請求項１３】 前記平板ディスプレーパネル内部に注
    入されるガスは不活性ガスであることを特徴とする請求
    項１２に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装
    置。
  14. 【請求項１４】 前記チャンバー内部には排気熱源とし
    て赤外線ハロゲンヒーターが備わることを特徴とする請
    求項１１に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装
    置。
  15. 【請求項１５】 前記第１及び第２圧力調節手段は、前
    記制御手段から印加される所定制御信号に応じてガス排
    気を行なう排気ポンプと、 該排気ポンプと結合され、前記制御手段から印加される
    制御信号に応じてオープン／クローズされる第１バルブ
    と、 前記制御手段から印加される所定制御信号に応じてガス
    注入を行なうガスシリンダーと、 該ガスシリンダーと結合され、前記制御手段から印加さ
    れる制御信号に応じてオープン／クローズされる第２バ
    ルブと、 所定の圧力測定を行なうための圧力測定器とを備えて構
    成され、前記第１バルブと第２バルブ、及び圧力測定器
    は前記チャンバーの第１または第２貫通孔と結合される
    ことを特徴とする請求項１１に記載の平板ディスプレー
    パネル用ガス排気装置。
  16. 【請求項１６】 平板ディスプレーパネルの安着された
    チャンバーが複数個備わり、前記第１圧力調節手段が複
    数のチャンバーの各第１貫通孔と結合され、前記第２圧
    力調節手段は複数のチャンバーの各第２貫通孔を介して
    平板ディスプレーパネルと結合されるように構成される
    ことを特徴とする請求項１１に記載の平板ディスプレー
    パネル用ガス排気装置。
  17. 【請求項１７】 前記チャンバー内部に複数個の平板デ
    ィスプレーパネルを備え、 前記第１圧力調節手段はチャンバーの第１貫通孔と結合
    され、前記第２圧力調節手段はチャンバーの第２貫通孔
    を介して複数の平板ディスプレーパネルと一対一対応す
    るように結合構成されることを特徴とする請求項１１に
    記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装置。
  18. 【請求項１８】 前記平板ディスプレーパネルはプラズ
    マプディスプレーパネル（ＰＤＰ）であることを特徴と
    する請求項１１に記載の平板ディスプレーパネル用ガス
    排気装置。
  19. 【請求項１９】 前記平板ディスプレーパネルは液晶デ
    ィスプレー装置（ＬＣＤ）であることを特徴とする請求
    項１１に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装
    置。
  20. 【請求項２０】 前記平板ディスプレーパネルは電界放
    出素子（ＦＥＤ）であることを特徴とする請求項１１に
    記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装置。
  21. 【請求項２１】 前記平板ディスプレーパネルは有機電
    界発光装置（有機ＥＬ）であることを特徴とする請求項
    １１に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装置。
  22. 【請求項２２】 下部ガラスに第１及び第２排気孔が形
    成された平板ディスプレーパネルと、 排気工程を行うための平板ディスプレーパネルを安着す
    るための支持台を備えると共に、一側に第１貫通孔及び
    前記平板ディスプレーパネルの第１及び第２排気孔の第
    １及び第２チップ管と結合される第２及び第３貫通孔を
    備えて構成されるチャンバーと、 前記チャンバーの第１貫通孔に結合されガス排気動作を
    通じてチャンバー内部の圧力を調節するための第１圧力
    調節手段と、 前記チャンバーの第２貫通孔に結合されガス排気動作を
    通じて平板ディスプレーパネル内部の圧力を調節するた
    めの第２圧力調節手段と、 前記チャンバーの第３貫通孔に結合されガス注入動作を
    通じて平板ディスプレーパネル内部の圧力を調節するた
    めの第３圧力調節手段と、 前記第１ないし第３圧力調節手段を通じ、チャンバー内
    部の圧力より平板ディスプレーパネル内部の圧力を高く
    設定した状態で平板ディスプレーパネル内部の不純ガス
    排気動作を行うように制御する制御手段とを含んで構成
    されることを特徴とする平板ディスプレーパネル用ガス
    排気装置。
  23. 【請求項２３】 前記第３圧力調節手段を通じ平板ディ
    スプレーパネルに注入されるガスは不活性ガスであるこ
    とを特徴とする請求項２２に記載の平板ディスプレーパ
    ネル用ガス排気装置。
  24. 【請求項２４】 前記制御手段はチャンバーとパネル内
    部との圧力レベル差が出るように制御した後、所定時間
    第３圧力調節手段を通じ、パネル内部に第１圧力割合の
    ガス注入を行うように制御しつつ第２圧力調節手段を通
    じ、パネル内部のガスを第１圧力割合で排気するように
    制御した後、所定時間第３圧力調節手段を通じパネル内
    部へのガス注入を中止するように制御する動作を繰り返
    して行うことを特徴とする請求項２２に記載の平板ディ
    スプレーパネル用ガス排気装置。
  25. 【請求項２５】 前記制御手段は第３圧力調節手段の平
    板ディスプレーパネルへのガス注入制御を通じ設定され
    た平板ディスプレーパネルの圧力レベルを一定時間維持
    するように制御することを特徴とする請求項２４に記載
    の平板ディスプレーパネル用ガス排気装置。
  26. 【請求項２６】 前記制御手段は第１ないし第３圧力調
    節手段を通じチャンバー内部の圧力より平板ディスプレ
    ーパネル内部の圧力を一定レベル高く設定した後、第２
    圧力調節手段を通じ第１圧力レベルで平板ディスプレー
    パネル内部の不純ガスを排気しつつ、第３圧力調節手段
    を通じ第１圧力レベルで平板ディスプレーパネル内部に
    所定ガスを注入するように制御することを特徴とする請
    求項２２に記載の平板ディスプレー パネル用ガス排気
    装置。
  27. 【請求項２７】 前記平板ディスプレーパネルはプラズ
    マディスプレーパネル（ＰＤＰ）であることを特徴とす
    る請求項２２に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排
    気装置。
  28. 【請求項２８】 前記平板ディスプレーパネルは液晶デ
    ィスプレー装置（ＬＣＤ）であることを特徴とする請求
    項２２に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装
    置。
  29. 【請求項２９】 前記平板ディスプレーパネルは電界放
    出素子（ＦＥＤ）であることを特徴とする請求項２２に
    記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装置。
  30. 【請求項３０】 前記平板ディスプレーパネルは有機電
    界発光装置（有機ＥＬ）であることを特徴とする請求項
    ２２に記載の平板ディスプレーパネル用ガス排気装置。
JP2001019266A 2001-01-12 2001-01-26 平板ディスプレーパネル用ガス排気装置及びその方法 Pending JP2002229468A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0001800A KR100394060B1 (ko) 2001-01-12 2001-01-12 평판 디스플레이 패널용 가스배기장치 및 그 방법
KR2001/P1800 2001-01-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002229468A true JP2002229468A (ja) 2002-08-14

Family

ID=19704557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001019266A Pending JP2002229468A (ja) 2001-01-12 2001-01-26 平板ディスプレーパネル用ガス排気装置及びその方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2002229468A (ja)
KR (1) KR100394060B1 (ja)
CN (1) CN1363945A (ja)
TW (1) TW594823B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010267436A (ja) * 2009-05-13 2010-11-25 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネルの製造方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100433992B1 (ko) * 2002-04-25 2004-06-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 듀얼패널타입 유기전계발광 소자 및 그의 제조방법
KR100482820B1 (ko) * 2002-10-29 2005-04-14 엘지전자 주식회사 Ｐｄｐ 모듈의 가스압력 조절장치 및 방법
KR100599412B1 (ko) * 2004-12-09 2006-07-10 두산메카텍 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법
KR100784012B1 (ko) * 2006-02-20 2007-12-07 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광표시장치 및 그의 제조방법
JP4837471B2 (ja) 2006-02-20 2011-12-14 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR101372691B1 (ko) * 2013-01-17 2014-03-11 주식회사 야스 진공유리 또는 그를 이용하는 반도체 소자의 진공 봉지 장치 및 진공 봉지 방법
CN108803753B (zh) * 2018-07-26 2021-03-02 合肥云联电子科技有限公司 一种工控设备内部环境的智能化调控系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0325826A (ja) * 1989-06-23 1991-02-04 Nec Corp プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2832510B2 (ja) * 1994-05-10 1998-12-09 双葉電子工業株式会社 表示装置の製造方法
KR19980043947A (ko) * 1996-12-05 1998-09-05 손욱 형광표시관 배기방법
JP3394173B2 (ja) * 1997-12-26 2003-04-07 富士通株式会社 ガス放電パネル及びその排気方法
KR100309275B1 (ko) * 1998-09-15 2001-12-17 구자홍 Pdp제조방법과pdp의가스주입및배기계
JP2000294135A (ja) * 1999-04-05 2000-10-20 Hitachi Ltd プラズマディスプレイとその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010267436A (ja) * 2009-05-13 2010-11-25 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネルの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020060808A (ko) 2002-07-19
CN1363945A (zh) 2002-08-14
TW594823B (en) 2004-06-21
KR100394060B1 (ko) 2003-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100431097C (zh) 上部电极、等离子体处理装置和等离子体处理方法
JP2002229468A (ja) 平板ディスプレーパネル用ガス排気装置及びその方法
JP2002222804A (ja) 熱処理方法及び熱処理装置
JPH09251839A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
KR100746440B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널
JP2007265768A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法及びその製造装置
WO2007032303A1 (ja) 保護膜の製造方法およびその製造装置
JP5014209B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
US7229519B2 (en) Burning equipment for green sheet of plasma display panel and method of burning the same
JP3615335B2 (ja) プラズマ・ディスプレイ・パネル用排気・封着炉
US7261610B2 (en) Method for producing a gas discharge vessel at superatmospheric pressure
JP3165453B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
KR20010002655A (ko) 할로겐 램프를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 소성 및 봉착장치와 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 소성 및 봉착방법
KR100313109B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
US6852646B2 (en) Method for forming a dielectric film
KR100575131B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법
KR100599412B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법
KR100728803B1 (ko) 배기 및 에이징 단일 공정 시스템 그리고 이를 사용한플라스마 표시 패널의 제조 방법
KR100575129B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법
JP4929080B2 (ja) プラズマディスプレイパネルおよびその製造装置
JP2008047350A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2002134019A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル
KR20080062847A (ko) 열처리 장치와 방법 및, 표시 패널의 열처리 방법
KR20040005218A (ko) 플라즈마 디스플레이 기판 제조 방법과 제조 장치
JP2002140988A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040511