JP2002221251A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
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- JP2002221251A JP2002221251A JP2001016477A JP2001016477A JP2002221251A JP 2002221251 A JP2002221251 A JP 2002221251A JP 2001016477 A JP2001016477 A JP 2001016477A JP 2001016477 A JP2001016477 A JP 2001016477A JP 2002221251 A JP2002221251 A JP 2002221251A
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- 238000013016 damping Methods 0.000 title abstract description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 3
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は除振装置に関し、装置全体の高さを
上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位置に除振器を
取り付けることができる除振装置を提供することを目的
としている。 【解決手段】 その上に物体が載置されるベースプレー
ト１０と、該ベースプレート１０を支持する架体２と、
前記ベースプレート１０に固定して取り付けられた第１
の除振器１１と、前記架体２に設けられた、第２の除振
器１３を取り付けるためのタップと、を設け、前記第１
の除振器１１はスペーサ１８を介して前記架体と接合さ
れるように構成する。
上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位置に除振器を
取り付けることができる除振装置を提供することを目的
としている。 【解決手段】 その上に物体が載置されるベースプレー
ト１０と、該ベースプレート１０を支持する架体２と、
前記ベースプレート１０に固定して取り付けられた第１
の除振器１１と、前記架体２に設けられた、第２の除振
器１３を取り付けるためのタップと、を設け、前記第１
の除振器１１はスペーサ１８を介して前記架体と接合さ
れるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、除振装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば電子顕微鏡では、振動を受ける
と、測定精度に悪影響を与えるため、除振機構を設ける
ようになっている。
と、測定精度に悪影響を与えるため、除振機構を設ける
ようになっている。
【０００３】図３は従来装置の構成例を示す図である。
図において、１は電子顕微鏡の鏡筒、２は該鏡筒１を支
持する架体、３は架体２に取り付けられた除振器一段
目、４は該除振器一段目３が取り付けられた中間フレー
ム、５は該中間フレーム４を支持する除振器二段目、６
は該除振器二段目５が載置される床部である。
図において、１は電子顕微鏡の鏡筒、２は該鏡筒１を支
持する架体、３は架体２に取り付けられた除振器一段
目、４は該除振器一段目３が取り付けられた中間フレー
ム、５は該中間フレーム４を支持する除振器二段目、６
は該除振器二段目５が載置される床部である。
【０００４】この装置では、架体２の下に剛性のある中
間フレーム４を設け、除振器を３、５と直列二段構成と
している。除振器を直列二段に構成することにより、従
来の一段構成の除振器に比べて良い除振効果を得ること
ができる。
間フレーム４を設け、除振器を３、５と直列二段構成と
している。除振器を直列二段に構成することにより、従
来の一段構成の除振器に比べて良い除振効果を得ること
ができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記した従来装置の場
合、架体下に直列に除振器を並べるため、装置の高さが
標準よりも高くなってしまうという問題がある。また、
除振器の位置が装置全体の重心位置から遠く離れている
ため、水平方向の２次の固有振動が発生してしまう。
合、架体下に直列に除振器を並べるため、装置の高さが
標準よりも高くなってしまうという問題がある。また、
除振器の位置が装置全体の重心位置から遠く離れている
ため、水平方向の２次の固有振動が発生してしまう。
【０００６】図４は振動伝達率の特性曲線を示す図であ
る。横軸は周波数ｆ（Ｈｚ）を、縦軸はゲインを示す。
特性曲線ｆ１は通常時の特性曲線、ｆ２は固有振動数を
２個持つ場合をそれぞれ示している。特性曲線ｆ１の場
合、固有振動数はＰ１のみであるのに比較して、ｆ２の
場合には固有振動数がＰ２、Ｐ３の２個あることにな
り、その分除振特性が悪くなってしまう。
る。横軸は周波数ｆ（Ｈｚ）を、縦軸はゲインを示す。
特性曲線ｆ１は通常時の特性曲線、ｆ２は固有振動数を
２個持つ場合をそれぞれ示している。特性曲線ｆ１の場
合、固有振動数はＰ１のみであるのに比較して、ｆ２の
場合には固有振動数がＰ２、Ｐ３の２個あることにな
り、その分除振特性が悪くなってしまう。
【０００７】また、架体重量もバネ上の重量となるた
め、除振器にかかる重量が増えてしまうため、除振マウ
ントの耐荷重の大きな物を使用する必要がある。本発明
はこのような課題に鑑みてなされたものであって、装置
全体の高さを上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位
置に除振器を取り付けることができる除振装置を提供す
ることを目的としている。
め、除振器にかかる重量が増えてしまうため、除振マウ
ントの耐荷重の大きな物を使用する必要がある。本発明
はこのような課題に鑑みてなされたものであって、装置
全体の高さを上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位
置に除振器を取り付けることができる除振装置を提供す
ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
る本発明は、その上に物体が載置されるベースプレート
と、該ベースプレートを支持する架体と、前記ベースプ
レートに固定して取り付けられた第１の除振器と、前記
架体に設けられた、第２の除振器を取り付けるためのタ
ップと、を設け、前記第１の除振器はスペーサを介して
前記架体と接合されるように構成されることを特徴とす
る。
る本発明は、その上に物体が載置されるベースプレート
と、該ベースプレートを支持する架体と、前記ベースプ
レートに固定して取り付けられた第１の除振器と、前記
架体に設けられた、第２の除振器を取り付けるためのタ
ップと、を設け、前記第１の除振器はスペーサを介して
前記架体と接合されるように構成されることを特徴とす
る。
【０００９】このように構成すれば、必要に応じて第２
の除振器を取り付けることができ、除振機能を保持する
ことができる。また、本発明において、前記第２の除振
器は、前記第１の除振器を支えるように設けられ、かつ
該第２の除振器は、前記架体のタップに固定されること
を特徴とする。
の除振器を取り付けることができ、除振機能を保持する
ことができる。また、本発明において、前記第２の除振
器は、前記第１の除振器を支えるように設けられ、かつ
該第２の除振器は、前記架体のタップに固定されること
を特徴とする。
【００１０】このように構成すれば、装置全体の高さを
上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位置に除振器を
取り付けることができる。
上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位置に除振器を
取り付けることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形
態例を示す構成図である。図３と同一のものは、同一の
符号を付して示す。図において、１は鏡筒、１０は該鏡
筒１が載置されるベースプレート、２は鏡筒１及びベー
スプレート１０を支持する架体である。１１はベースプ
レート１０の下部に取り付けられ、固定された一段目除
振器（標準除振器）、１２は二段目除振器を取り付ける
ための中間フレーム、１３は該中間フレーム１２の下部
に取り付けられた二段目除振器である。中間フレーム１
２は二段目除振器１３を後から取り付けることができる
ように、２ピース化されている。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形
態例を示す構成図である。図３と同一のものは、同一の
符号を付して示す。図において、１は鏡筒、１０は該鏡
筒１が載置されるベースプレート、２は鏡筒１及びベー
スプレート１０を支持する架体である。１１はベースプ
レート１０の下部に取り付けられ、固定された一段目除
振器（標準除振器）、１２は二段目除振器を取り付ける
ための中間フレーム、１３は該中間フレーム１２の下部
に取り付けられた二段目除振器である。中間フレーム１
２は二段目除振器１３を後から取り付けることができる
ように、２ピース化されている。
【００１２】１４は二段目除振器１３が取り付けられた
ブラケット、１５は二段目除振器１３が取り付けられた
構造体を架体２に固定するための取り付け部である。架
体２の取り付け部１５には、二段目除振器１３を取り付
けるためのタップ２０が予め設けられている。１６はカ
メラ室であり、透過顕微鏡の透過画像を撮影するカメラ
が取り付けられている。１７は該カメラ室１６の下部に
取り付けられるアタッチメントである。
ブラケット、１５は二段目除振器１３が取り付けられた
構造体を架体２に固定するための取り付け部である。架
体２の取り付け部１５には、二段目除振器１３を取り付
けるためのタップ２０が予め設けられている。１６はカ
メラ室であり、透過顕微鏡の透過画像を撮影するカメラ
が取り付けられている。１７は該カメラ室１６の下部に
取り付けられるアタッチメントである。
【００１３】この図において、円Ａを拡大したものが円
Ｂである。この円Ｂは、標準時の状態を示している。ベ
ースプレート１０の下部に標準除振器１１が取り付けら
れ、該標準除振器１１はスペーサ１８を介して架体２に
接合している。このように構成された装置の動作を説明
すれば、以下の通りである。
Ｂである。この円Ｂは、標準時の状態を示している。ベ
ースプレート１０の下部に標準除振器１１が取り付けら
れ、該標準除振器１１はスペーサ１８を介して架体２に
接合している。このように構成された装置の動作を説明
すれば、以下の通りである。
【００１４】先ず、本発明装置は、一段目除振器１１だ
けを取り付けた状態とすることができる。この場合に、
標準除振器１１は、スペーサ１８を介して架体２に接合
し、固定されている。この段階では、二段目除振器１３
は取り付けられていない。この結果、装置は標準除振器
１１のみで架体２と接合され、外部からの振動は、標準
除振器１１のみで除振される。一方、架体２の１５に示
す位置に二段目除振器１３を取り付けるためのタップ２
０が設けられている。
けを取り付けた状態とすることができる。この場合に、
標準除振器１１は、スペーサ１８を介して架体２に接合
し、固定されている。この段階では、二段目除振器１３
は取り付けられていない。この結果、装置は標準除振器
１１のみで架体２と接合され、外部からの振動は、標準
除振器１１のみで除振される。一方、架体２の１５に示
す位置に二段目除振器１３を取り付けるためのタップ２
０が設けられている。
【００１５】外部からの振動がそれほど強くない場合に
は、除振器一段の構成で必要な安定度の除振装置を構成
することができる。また、本発明によれば、架体２に二
段目除振器１３を取り付けるためのタップ２０が設けら
れているので、必要に応じて二段目除振器１３を取り付
けることができ、除振機能を保持することができる。
は、除振器一段の構成で必要な安定度の除振装置を構成
することができる。また、本発明によれば、架体２に二
段目除振器１３を取り付けるためのタップ２０が設けら
れているので、必要に応じて二段目除振器１３を取り付
けることができ、除振機能を保持することができる。
【００１６】本発明によれば、必要な場合に、後から二
段目除振器１３を取り付けることができる。この場合に
は、中間フレーム１２を架体２に取り付け部１５で固定
する。この固定は、例えば図に示すようにボルト締めす
ることにより可能である。そして、円Ｂに記載されてい
るスペーサ１８を除去し、このスペーサ１８が存在して
いた空間に中間フレーム１２の部材を滑り込ませるよう
にする。
段目除振器１３を取り付けることができる。この場合に
は、中間フレーム１２を架体２に取り付け部１５で固定
する。この固定は、例えば図に示すようにボルト締めす
ることにより可能である。そして、円Ｂに記載されてい
るスペーサ１８を除去し、このスペーサ１８が存在して
いた空間に中間フレーム１２の部材を滑り込ませるよう
にする。
【００１７】この結果、後から取り付けた二段目除振器
１３が一段目除振器１１を支える構造となり、一段目除
振器１１と二段目除振器１３とが直列に接続されたもの
となり、除振機能を一段の場合に比較して向上させるこ
とができる。本発明によれば、二段目除振器１３を装置
の重心位置に近づけて取り付けることができるために、
水平方向の２次の共振の発生を防止することができる。
また、標準マウントと同じ高さに二段目の除振器を取り
付けることができるため、標準構成時と高さの変化がな
い。更に、架体重量は、バネ下となるため、従来より対
荷重の小さいものが利用できる。
１３が一段目除振器１１を支える構造となり、一段目除
振器１１と二段目除振器１３とが直列に接続されたもの
となり、除振機能を一段の場合に比較して向上させるこ
とができる。本発明によれば、二段目除振器１３を装置
の重心位置に近づけて取り付けることができるために、
水平方向の２次の共振の発生を防止することができる。
また、標準マウントと同じ高さに二段目の除振器を取り
付けることができるため、標準構成時と高さの変化がな
い。更に、架体重量は、バネ下となるため、従来より対
荷重の小さいものが利用できる。
【００１８】上述の実施の形態例では、本発明装置とし
て電子顕微鏡の場合を例にとって説明したが、本発明は
これに限るものではない。その他の精密機器を載置する
構成の装置に同様に適用することができる。
て電子顕微鏡の場合を例にとって説明したが、本発明は
これに限るものではない。その他の精密機器を載置する
構成の装置に同様に適用することができる。
【００１９】
【実施例】図２は本発明の効果の説明図で、振動伝達率
を示している。図において、横軸は周波数（Ｈｚ）、縦
軸はゲイン（ｄＢ）を示している。図の細い実線は一段
除振の場合の振動伝達率を、太い実線は二段除振の場合
の振動伝達率を示している。共振周波数は３Ｈｚ程度で
あり、一般に全周波数範囲で二段除振の方に除振効果が
出ていることがわかる。特に８Ｈｚ以上は、６ｄＢから
１０ｄＢを超えるような大幅な改善が見られる。
を示している。図において、横軸は周波数（Ｈｚ）、縦
軸はゲイン（ｄＢ）を示している。図の細い実線は一段
除振の場合の振動伝達率を、太い実線は二段除振の場合
の振動伝達率を示している。共振周波数は３Ｈｚ程度で
あり、一般に全周波数範囲で二段除振の方に除振効果が
出ていることがわかる。特に８Ｈｚ以上は、６ｄＢから
１０ｄＢを超えるような大幅な改善が見られる。
【００２０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下の効果が得られる。本発明によれば、必要
に応じて第２の除振器を取り付けることができ、除振機
能を保持することができる。
よれば、以下の効果が得られる。本発明によれば、必要
に応じて第２の除振器を取り付けることができ、除振機
能を保持することができる。
【００２１】また、本発明において、装置全体の高さを
上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位置に除振器を
取り付けることができる。
上げる必要がなく、かつ装置重心に近い位置に除振器を
取り付けることができる。
【図１】本発明の一実施の形態例を示す構成図である。
【図２】本発明の効果の説明図である。
【図３】従来装置の構成例を示す図である。
【図４】振動伝達率の特性曲線を示す図である。
１ 鏡筒 ２ 架体 １０ ベースプレート １１ 一段目除振器 １２ 中間フレーム １３ 二段目除振器 １４ ブラケット １５ 取り付け部 １６ カメラ室 １７ アタッチメント １８ スペーサ ２０ タップ
Claims (2)
- 【請求項１】 その上に物体が載置されるベースプレー
トと、 該ベースプレートを支持する架体と、 前記ベースプレートに固定して取り付けられた第１の除
振器と、 前記架体に設けられた、第２の除振器を取り付けるため
のタップと、を設け、前記第１の除振器はスペーサを介
して前記架体と接合されるように構成された除振装置。 - 【請求項２】 前記第２の除振器は、前記第１の除振器
を支えるように設けられ、 かつ該第２の除振器は、前記架体のタップに固定される
ことを特徴とする除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001016477A JP2002221251A (ja) | 2001-01-25 | 2001-01-25 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001016477A JP2002221251A (ja) | 2001-01-25 | 2001-01-25 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002221251A true JP2002221251A (ja) | 2002-08-09 |
Family
ID=18882844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001016477A Withdrawn JP2002221251A (ja) | 2001-01-25 | 2001-01-25 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002221251A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015053209A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
-
2001
- 2001-01-25 JP JP2001016477A patent/JP2002221251A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015053209A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
| JPWO2015053209A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2017-03-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080401 |