JP2002220251A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002220251A5 JP2002220251A5 JP2001008083A JP2001008083A JP2002220251A5 JP 2002220251 A5 JP2002220251 A5 JP 2002220251A5 JP 2001008083 A JP2001008083 A JP 2001008083A JP 2001008083 A JP2001008083 A JP 2001008083A JP 2002220251 A5 JP2002220251 A5 JP 2002220251A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- producing
- powder
- metal element
- glass powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (7)
- 金属元素を含有しプラズマ耐食性を増大した石英ガラスであり、内部に粒状構造が確認されず、該金属元素の濃度が０．１〜２０ｗｔ％、該石英ガラス体中の泡と異物の含有量が１００ｃｍ3当たりの投影面積で１００ｍｍ2未満で、可視光線の内部透過率が５０％／ｃｍ以上であることを特徴とする石英ガラス。
- 前記石英ガラス体のＯＨ濃度が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の石英ガラス。
- 前記金属元素が、Ａｌ、Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｃｅ及びＧｄからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１又は２記載の石英ガラス。
- 請求項１〜３のいずれか１項記載の石英ガラスを製造する方法であり、石英ガラス粉と、所定の金属元素を溶解した溶液を混合してスラリーを作成し、乾燥後焼結させて、透明石英ガラス体を製造する方法において、石英ガラス粉の粒度分布が０．０１〜１０００μｍの範囲内であり、５μｍ以下の粒子群の質量比が１ｗｔ％〜１００ｗｔ％であることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
- 請求項１〜３のいずれか１項記載の石英ガラスを製造する方法であり、石英ガラス粉と、所定の金属元素を含む金属化合物粉を混合し、この混合粉を加熱溶融落下させて、ベルヌイ法で透明石英ガラス体を作成する製造方法において、該金属化合物が酸化物であり、該金属酸化物の粒度分布が、０．０１〜５０μｍの範囲内であり、かつ、石英ガラス粉の粒度が０．０１〜５００μｍの範囲内であることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
- 前記ベルヌイ法における加熱法が、電気溶融法であることを特徴とする請求項５記載の石英ガラスの製造方法。
- 前記石英ガラス粉が合成石英ガラス粉であるか、又は非晶質石英ガラス粉であることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項記載の石英ガラスの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001008083A JP4132685B2 (ja) | 2001-01-16 | 2001-01-16 | 石英ガラス及びその製造方法 |
| TW90125703A TW534896B (en) | 2000-12-22 | 2001-10-17 | Quartz glass, quartz glass jig and method for production thereof |
| KR10-2001-0071762A KR100458414B1 (ko) | 2000-12-22 | 2001-11-19 | 석영유리와 석영유리 치구 및 그들의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001008083A JP4132685B2 (ja) | 2001-01-16 | 2001-01-16 | 石英ガラス及びその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002220251A JP2002220251A (ja) | 2002-08-09 |
| JP2002220251A5 true JP2002220251A5 (ja) | 2005-06-30 |
| JP4132685B2 JP4132685B2 (ja) | 2008-08-13 |
Family
ID=18875736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001008083A Expired - Lifetime JP4132685B2 (ja) | 2000-12-22 | 2001-01-16 | 石英ガラス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4132685B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356345A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Tosoh Corp | 耐食性石英ガラスの製造方法、これを用いた部材及び装置 |
| JPWO2004092082A1 (ja) * | 2003-04-11 | 2006-07-06 | 株式会社ニコン | ＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラスの製造方法、ＳｉＯ２−ＴｉＯ２系ガラス及び露光装置 |
| JP4732712B2 (ja) * | 2004-05-27 | 2011-07-27 | 東ソー株式会社 | 耐食性ガラス部材およびその製造方法並びにそれを用いた装置 |
| US7365037B2 (en) * | 2004-09-30 | 2008-04-29 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Quartz glass having excellent resistance against plasma corrosion and method for producing the same |
| JP5001524B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2012-08-15 | 信越石英株式会社 | 石英ガラス製治具の再生方法 |
| JP5992842B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2016-09-14 | 信越石英株式会社 | シリカチタニアガラスの製造方法及びシリカチタニアガラスの選別方法 |
-
2001
- 2001-01-16 JP JP2001008083A patent/JP4132685B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2506200C (en) | Luminescent glass | |
| Karmakar et al. | Glass nanocomposites: synthesis, properties and applications | |
| El-Alaily et al. | Effect of irradiation on some optical properties and density of lithium borate glass | |
| Delben et al. | Synthesis and thermal properties of nanoparticles of bioactive glasses containing silver | |
| JP2007238398A (ja) | ソーダ石灰系ガラス組成物 | |
| Abo-Naf | FTIR and UV–VIS optical absorption spectra of gamma-irradiated MoO3-doped lead borate glasses | |
| CN102745895A (zh) | 玻璃制品及其制造方法 | |
| KR101027363B1 (ko) | 외부전극 형광램프용 외투용기 | |
| JP2002220251A5 (ja) | ||
| Kaur et al. | In-vitro bioactivity of silicate-phosphate glasses using agriculture biomass silica | |
| JPWO2007086441A1 (ja) | ランプ用ガラス組成物の製造方法、ランプ用ガラス組成物およびランプ | |
| SK284554B6 (sk) | Sklený materiál, trubica a banka na elektrické svetelné zdroje | |
| JPS5623741A (en) | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor | |
| CN106966692A (zh) | 一种养生陶制品的泥料配方及其制陶工艺 | |
| TWI610902B (zh) | 玻璃被覆蓄光材料和玻璃被覆蓄光材料的製造方法 | |
| CN101215088B (zh) | 一种铜红玻璃制品及其制备方法 | |
| JP3890418B2 (ja) | 発光器具 | |
| CN103159406A (zh) | 石英玻璃陶瓷型芯的烧结方法 | |
| CN102503124A (zh) | 一种极低钠无铅玻璃及其应用 | |
| CN110482853A (zh) | 一种将电镀废水中有毒金属离子固化于钠钙铝硅酸盐玻璃中的方法及所得玻璃 | |
| Ła̧czka et al. | Rare earth elements as components of special glasses | |
| JP2009527443A (ja) | 多孔質ガラスおよびガラス粉末の製造方法ならびに前記方法を実施するためのガラス材料 | |
| JP2002220242A5 (ja) | ||
| JP5072156B2 (ja) | 紫外線遮断ガラス容器の製造方法 | |
| KR20060102299A (ko) | 기능성 유리구슬 |