JP2002206135A - 水素透過膜、その製法およびその使用 - Google Patents

水素透過膜、その製法およびその使用

Info

Publication number
JP2002206135A
JP2002206135A JP2001349118A JP2001349118A JP2002206135A JP 2002206135 A JP2002206135 A JP 2002206135A JP 2001349118 A JP2001349118 A JP 2001349118A JP 2001349118 A JP2001349118 A JP 2001349118A JP 2002206135 A JP2002206135 A JP 2002206135A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hydrogen
palladium
permeable membrane
hydrogen permeable
niobium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001349118A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4102560B2 (ja
Inventor
Uwe Jantsch
ヤンチュ ウーヴェ
Harald Manhardt
マンハルト ハラルト
David Francis Dr Lupton
フランシス ラプトン デイヴィッド
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WC Heraus GmbH and Co KG
Original Assignee
WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WC Heraus GmbH and Co KG filed Critical WC Heraus GmbH and Co KG
Publication of JP2002206135A publication Critical patent/JP2002206135A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4102560B2 publication Critical patent/JP4102560B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D67/00Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0072Inorganic membrane manufacture by deposition from the gaseous phase, e.g. sputtering, CVD, PVD
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/22Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
    • B01D53/228Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion characterised by specific membranes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/022Metals
    • B01D71/0221Group 4 or 5 metals
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/022Metals
    • B01D71/0223Group 8, 9 or 10 metals
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/022Metals
    • B01D71/0223Group 8, 9 or 10 metals
    • B01D71/02231Palladium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B3/00Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
    • C01B3/50Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
    • C01B3/501Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion
    • C01B3/503Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion characterised by the membrane
    • C01B3/505Membranes containing palladium
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/06Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues
    • H01M8/0662Treatment of gaseous reactants or gaseous residues, e.g. cleaning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/12Specific ratios of components used
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一方では脆弱化傾向を示さず、他方では第4
および第5副族の金属のように高い水素透過率を有する
費用のかからない貴金属含有水素透過膜の提供。 【解決手段】 パラジウム、ルテニウム、レニウム、白
金、金、ロジウムの群から成る少なくとも1種の元素5
〜25質量%とのニオブ合金から成る水素透過膜。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、水素透過膜、水素
透過膜の製法ならびにその膜の使用に関する。
【0002】
【従来の技術】ガス混合物から選択的に水素を分離でき
る金属膜は、長い間公知であった。できるだけ多い水素
流量を達成するために、高い水素透過率を有する金属か
ら成る薄いフィルムを使用しなくてはならなかった。こ
れには、高い溶解度および十分な分散能を有する金属が
該当する。このタイプの金属としては、例えば、パラジ
ウムおよび4bおよび5b族の金属(チタン、ジルコニ
ウム、ハフニウム、バナジウム、タンタル、ニオブ)が
公知である。しかし、水素吸収の際に前記金属は脆弱化
するため、選択的な水素分離には不適切である。
【0003】これとは反対に、種々のパラジウム合金
(例えば、PdAg、PdCu、PdY)が、水素によ
る脆弱化に対して耐性であり、かつ純粋なパラジウムよ
りも部分的に高い水素透過率を有している。従って、工
業的使用のために、専らパラジウム合金、特にPdAg
25が使用される。
【0004】しかし、第5および第6副族の金属は、パ
ラジウムに対して10の1〜2乗だけ高くてもよい著し
く高い透過率を有しており、その際、ニオブの最も高い
水素透過率が示されている(US 3350846ならびにJourna
l Membrane Science, 85(1993),20-38参照)。
【0005】水素による脆弱化の問題の他に、酸化物層
の形成により表面の不動態化を生じる酸素に対するこれ
らの金属の高い親和性も考慮しなくてはならない。ゆえ
に、酸化に対して耐性の金属、例えば、パラジウムまた
はその合金を、より薄い層(<1μm)の形でフィルム
の両面に設置する付加的な表面の保護が必要がある。従
って、透過率は保護層の厚さに決定的に関係するため、
できるだけ薄く実施されるべきである。
【0006】これらの材料の水素による脆弱化を種々の
合金により抑える試みは、これまで部分的にしか取り組
まれていなかった。例えば、米国特許4496373に
は、原子部分Ti0.5Ta0.3Cu0.10.1
を有する合金が記載されているが、水素による脆弱化
は、T=+300℃で水素分圧1バールまで生じなかっ
た。
【0007】先行技術から公知で、実際に使用可能な水
素透過膜の欠点は、そこで大量の貴金属を処理しなくて
はならない事であり、その結果、高価な貴金属が原因で
工業的使用が僅かな専門分野にまで減少されてしまうこ
とである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前記のことから生じる
問題は、新しい種類の水素透過膜により、かつ相応する
製法により上記の欠点が少なくとも部分的に取り除か
れ、特に一方ではいわば脆弱化傾向を示さず、他方で
は、第4および第5副族の金属に似たような高い水素透
過率を有する費用のかからない貴金属含有の水素透過膜
を提供する。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記の問題は、本発明に
より、請求項3に記載の水素透過膜、請求項4に記載の
方法ならびに請求項6と7に記載の使用により解決され
た。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明による水素透過膜は、パラ
ジウム、ルテニウム、レニウム、白金、金、ロジウムの
群から成る少なくとも1種の元素5〜25質量%を有す
るニオブ合金から成る。
【0011】本発明による膜は、意外にも水素雰囲気下
で僅かに脆弱化傾向を有するが、その際、水素透過率は
相応するパラジウム合金よりも大きい。
【0012】第1に、水素透過膜が付加的にジルコニウ
ムおよび/またはハフニウムを含有する場合に有利であ
る。それというのも、これらの元素は脆弱化の傾向を更
に悪化させる粗粒子形成の恐れを著しく減少させるから
である。
【0013】さらにまた、ジルコニウム0.5〜3.0
質量%とパラジウム10〜20質量%との合金から成る
膜は、実際に有利な方法であることが実証された。
【0014】本発明による水素透過膜、特に上記の水素
透過膜の製法では、第1に、パラジウム、ルテニウム、
レニウム、白金、金、ロジウム、ジルコニウム、ハフニ
ウムの群から成る少なくとも1種の元素の少なくとも1
種の被覆を、ニオブから成る支持体上またはパラジウ
ム、ルテニウム、レニウム、白金、金、ロジウムの群か
ら成る少なくとも1種の元素とのニオブ合金から成る支
持体上に設置し、複合材料を形成させる。引き続き、こ
の複合材料に拡散−熱処理を施す結果、個々の成分が相
互の中に拡散し、従って相応する均質の合金が形成され
得る。
【0015】PVD−メッキ、化学メッキもしくは電気
メッキによるかまたは機械的被着による被覆の設置は、
実際に有利な方法であることが実証された。
【0016】本発明による水素透過膜の使用もしくは本
発明により製造された水素透過膜の燃料電池中の膜とし
ての使用は、非常に有利な結果を示す。
【0017】次の実施例を本発明の解説のために使用す
る。
【0018】
【実施例】例1:厚さ2mmのニオブ薄板に、厚さ0.
126mmのパラジウムフィルムを両面に被着した。引
き続き、このように製造されたPd/Nb/Pd複合材
料の薄板を数回の圧延法により50μmの厚さにした。
この方法で製造された幾つかのフィルムを、オーブン
中、温度1400℃で14時間真空中で焼成した。この
方法の場合に、両方の金属の相互拡散によりニオブ85
%およびパラジウム15%の所定の質量部に一致するN
bPd合金が生じた。フィルムの厚さにおける元素分布
の分析では、フィルムの全部の厚さにわたりニオブとパ
ラジウムの均質な分布が得られた。
【0019】このように製造されたフィルムは、水素吸
収を妨害する可能性として考えられる酸化物層を取り除
くために、周囲の圧力下で純粋な水素下に800℃の温
度まで加熱し、かつこの温度で60分間放置した。この
後、同じ雰囲気下で300℃まで冷却し、かつ試料をこ
の条件下で30分間放置した。
【0020】引き続き、幾つかの試料をオーブンから取
り出し、すぐに急冷により周囲温度にした。フィルムは
亀裂を示さなかった。このように、このフィルムを用い
て行った水素含量を算定するための測定では、NbPd
合金の水素溶解度は、PdAg23合金の約2倍である
ことが判明した。
【0021】オーブン中に残された試料を引き続きゆっ
くりと水素雰囲気下に冷却し、かつその後に亀裂を調べ
た。この試料は亀裂を有していなかった。
【0022】例2:厚さ50μmのニオブフィルムに、
スパッタ装置中で1μmのPdを両面に被覆した。引き
続き、パラジウム層をニオブフィルムの両面でパラジウ
ム電気メッキにより3.2μmに増大させた。次に試料
を真空中で焼成し、引き続き水素下で貯蔵した。
【0023】真空下での処理および水素によるエージン
グは、実施例1と同様に行った。
【0024】このフィルムは処理後に亀裂を有していな
かった。PdAg23と比較して、約2倍高い水素溶解
度が見出された。
【0025】例3:実施例2のように行ったが、しかし
フィルムは合金NbZr1から成る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウーヴェ ヤンチュ ドイツ連邦共和国 フライゲリヒト ダン ゲルヴェーク 24 (72)発明者 ハラルト マンハルト ドイツ連邦共和国 ブルーフケーベル タ ンネンヴェーク 7 (72)発明者 デイヴィッド フランシス ラプトン ドイツ連邦共和国 ゲルンハウゼン アム ライン 8 Fターム(参考) 4G040 FA06 FB09 FC01 FD04 5H027 AA02 BA16

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パラジウム、ルテニウム、レニウム、白
    金、金、ロジウムの群から成る少なくとも1種の元素5
    〜25質量%とのニオブ合金から成る水素透過膜。
  2. 【請求項2】 付加的にジルコニウムおよび/またはハ
    フニウムが含有されている、請求項1に記載の水素透過
    膜。
  3. 【請求項3】 ジルコニウム0.5〜3.0質量%およ
    びパラジウム10〜20質量%との合金から成る、請求
    項1または2に記載の水素透過膜。
  4. 【請求項4】 請求項1から3までのいずれか1項に記
    載の水素透過膜の製法において、 −パラジウム、ルテニウム、レニウム、白金、金、ロジ
    ウム、ジルコニウム、ハフニウムの群から成る少なくと
    も1種の元素の少なくとも1種の被覆を、ニオブから成
    る支持体上またはパラジウム、ルテニウム、レニウム、
    白金、金、ロジウムの群から成る少なくとも1種の元素
    とのニオブ合金から成る支持体上に設置し、複合材料に
    し、 −前記複合材料を拡散−熱処理することを特徴とする、
    水素透過膜の製法。
  5. 【請求項5】 被覆の設置を、PVDメッキ、化学メッ
    キもしくは電気メッキにより、または機械的被着により
    行う、請求項4に記載の方法。
  6. 【請求項6】 請求項1から3までのいずれか1項に記
    載の水素透過膜の燃料電池中の膜としての使用。
  7. 【請求項7】 請求項4または5に記載の方法により製
    造された水素透過膜の燃料電池中の膜としての使用。
JP2001349118A 2000-11-16 2001-11-14 水素透過膜、その製法およびその使用 Expired - Fee Related JP4102560B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10057161.1 2000-11-16
DE10057161A DE10057161C2 (de) 2000-11-16 2000-11-16 Niob-Legierung und eine daraus hergestellte Wasserstoffpermeationsmembran

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002206135A true JP2002206135A (ja) 2002-07-26
JP4102560B2 JP4102560B2 (ja) 2008-06-18

Family

ID=7663723

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001349118A Expired - Fee Related JP4102560B2 (ja) 2000-11-16 2001-11-14 水素透過膜、その製法およびその使用

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6800392B2 (ja)
EP (1) EP1206958B1 (ja)
JP (1) JP4102560B2 (ja)
DE (2) DE10057161C2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009227487A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Tokyo Gas Co Ltd Nb膜からなる水素分離膜による水素分離法
WO2011030902A1 (ja) 2009-09-14 2011-03-17 東京瓦斯株式会社 水素分離膜及び水素分離法
JP2012250234A (ja) * 2012-07-28 2012-12-20 Tokyo Gas Co Ltd Nb−W系合金膜からなる水素分離膜
WO2014098038A1 (ja) * 2012-12-17 2014-06-26 日東電工株式会社 水素排出膜
US8900345B2 (en) 2012-03-19 2014-12-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Separation membrane, hydrogen separation membrane including the separation membrane, and device including the hydrogen separation membrane
US9073007B2 (en) 2012-02-15 2015-07-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Separation membrane, hydrogen separation membrane including the separation membrane, and hydrogen purifier including the hydrogen separation membrane

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7211340B2 (en) * 2003-01-30 2007-05-01 Seagate Technology Llc Thin film structures providing strong basal plane growth orientation and magnetic recording media comprising same
US20080168009A1 (en) 2007-01-08 2008-07-10 Robert Paul Johnson Business methods of renewable hydrocarbon-based fuel
MX2009011368A (es) * 2007-04-27 2009-11-09 Starck H C Inc Aleacion a base de tantalio resistente a corrosion acuosa.
DE102007044918A1 (de) * 2007-09-19 2009-04-09 Bayer Technology Services Gmbh Wasserstoffpermeable Membranen aus metallischem Verbundwerkstoff
FR2927729B1 (fr) * 2008-02-14 2013-06-14 Batscap Sa Dispositif anti-surpression pour un supercondensateur
US20110008201A1 (en) * 2009-07-07 2011-01-13 H.C. Starck Inc. Niobium based alloy that is resistant to aqueous corrosion
US9834829B1 (en) 2009-07-07 2017-12-05 H.C. Starck Inc. Niobium-based alloy that is resistant to aqueous corrosion
CN106669448B (zh) * 2015-11-06 2019-04-23 中国科学院大连化学物理研究所 一种钯膜抗硫抗氯方法
JP2017112368A (ja) * 2015-12-14 2017-06-22 日東電工株式会社 水素排出膜形成用支持体及び水素排出積層膜

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50120414A (ja) * 1974-03-08 1975-09-20
JPH03146122A (ja) * 1989-11-02 1991-06-21 Tokyo Gas Co Ltd 水素分離膜の製造方法
US5149420A (en) * 1990-07-16 1992-09-22 Board Of Trustees, Operating Michigan State University Method for plating palladium
JPH07185277A (ja) * 1993-11-08 1995-07-25 Bend Res Inc 水素分離用複合金属膜
JPH11267477A (ja) * 1998-03-25 1999-10-05 Tokyo Gas Co Ltd 水素透過膜及びその作製方法
JP2000093767A (ja) * 1998-09-22 2000-04-04 Wc Heraeus Gmbh 管形の水素透過膜の製造方法、かかる膜およびその使用
JP2000159503A (ja) * 1998-11-20 2000-06-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Nb合金水素分離膜

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3365276A (en) * 1964-02-17 1968-01-23 Phillips Petroleum Co Process for producing hydrogen from dissociation of a hydrogen halide
US3350846A (en) * 1964-12-29 1967-11-07 Tyco Laboratories Inc Separation of hydrogen by permeation
GB1292025A (en) * 1968-10-18 1972-10-11 Johnson Matthey Co Ltd Improvements in or relating to the separation of hydrogen from gaseous mixtures containing hydrogen
DE3273613D1 (en) * 1981-12-11 1986-11-13 Kernforschungsanlage Juelich Hydrogen diffusion membrane and process for separating hydrogen from gas mixtures by diffusion
US5215729A (en) * 1990-06-22 1993-06-01 Buxbaum Robert E Composite metal membrane for hydrogen extraction
WO1997017125A1 (en) * 1995-11-06 1997-05-15 Buxbaum Robert E Apparatus and methods for gas extraction
DE19803132C1 (de) * 1998-01-28 1999-04-01 Forschungszentrum Juelich Gmbh Brennstoffzelle mit einem protonenleitfähigen Elektrolyten
DE10039596C2 (de) * 2000-08-12 2003-03-27 Omg Ag & Co Kg Geträgerte Metallmembran, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung
DE10039595B4 (de) * 2000-08-12 2006-06-01 Umicore Ag & Co. Kg Verfahren zur Herstellung einer Metallverbundmembran, damit hergestellte Metallverbundmembran und deren Verwendung

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50120414A (ja) * 1974-03-08 1975-09-20
JPH03146122A (ja) * 1989-11-02 1991-06-21 Tokyo Gas Co Ltd 水素分離膜の製造方法
US5149420A (en) * 1990-07-16 1992-09-22 Board Of Trustees, Operating Michigan State University Method for plating palladium
JPH07185277A (ja) * 1993-11-08 1995-07-25 Bend Res Inc 水素分離用複合金属膜
JPH11267477A (ja) * 1998-03-25 1999-10-05 Tokyo Gas Co Ltd 水素透過膜及びその作製方法
JP2000093767A (ja) * 1998-09-22 2000-04-04 Wc Heraeus Gmbh 管形の水素透過膜の製造方法、かかる膜およびその使用
JP2000159503A (ja) * 1998-11-20 2000-06-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Nb合金水素分離膜

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009227487A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Tokyo Gas Co Ltd Nb膜からなる水素分離膜による水素分離法
WO2011030902A1 (ja) 2009-09-14 2011-03-17 東京瓦斯株式会社 水素分離膜及び水素分離法
US8728199B2 (en) 2009-09-14 2014-05-20 Tokyo Gas Co., Ltd. Hydrogen separation membrane and method for separating hydrogen
US9073007B2 (en) 2012-02-15 2015-07-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Separation membrane, hydrogen separation membrane including the separation membrane, and hydrogen purifier including the hydrogen separation membrane
US8900345B2 (en) 2012-03-19 2014-12-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Separation membrane, hydrogen separation membrane including the separation membrane, and device including the hydrogen separation membrane
JP2012250234A (ja) * 2012-07-28 2012-12-20 Tokyo Gas Co Ltd Nb−W系合金膜からなる水素分離膜
WO2014098038A1 (ja) * 2012-12-17 2014-06-26 日東電工株式会社 水素排出膜

Also Published As

Publication number Publication date
DE50103088D1 (de) 2004-09-09
US6800392B2 (en) 2004-10-05
JP4102560B2 (ja) 2008-06-18
DE10057161C2 (de) 2003-08-21
EP1206958A1 (de) 2002-05-22
DE10057161A1 (de) 2002-05-29
EP1206958B1 (de) 2004-08-04
US20020058181A1 (en) 2002-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4857080A (en) Ultrathin composite metal membranes
US5738708A (en) Composite metal membrane
JP2002206135A (ja) 水素透過膜、その製法およびその使用
Nam et al. Preparation of a palladium alloy composite membrane supported in a porous stainless steel by vacuum electrodeposition
Roa et al. The influence of alloy composition on the H2 flux of composite Pd Cu membranes
US3350846A (en) Separation of hydrogen by permeation
JP3882567B2 (ja) 物質分離構造体
Thoen et al. High flux palladium–copper composite membranes for hydrogen separations
WO2000078434A1 (en) Thermally tolerant multilayer metal membrane
EP2128082A1 (en) Hydrogen purification method, hydrogen separation membrane, and hydrogen purification apparatus
US8048199B2 (en) Method of making a leak stable gas separation membrane system
WO2002045832A1 (fr) Structure permeable a l'hydrogene
US3359705A (en) Oxygen permeable membranes
AU2008236737A1 (en) Composite structures with porous anodic oxide layers and methods of fabrication
US8778058B2 (en) Multilayer sulfur-resistant composite metal membranes and methods of making and repairing the same
JP2008012495A (ja) 水素透過合金膜
US6478853B1 (en) Amorphous Ni alloy membrane for separation/dissociation of hydrogen, preparing method and activating method thereof
JPH01262924A (ja) 水素分離膜
US4781734A (en) Non-porous hydrogen diffusion membrane and utilization thereof
Nam et al. Preparation of highly stable palladium alloy composite membranes for hydrogen separation
JP4953278B2 (ja) すぐれた水素透過分離性能を発揮する水素透過分離薄膜
US20220219124A1 (en) Ultrathin Membrane Fabrication
JP3079225B1 (ja) 非晶質ZrNi合金系水素分離・解離用膜、その製造方法及びその活性化処理方法
Potgieter et al. The nature of the passive film on cathodically modified stainless steels
JP2006000722A (ja) 水素透過合金膜及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040331

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20070327

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20070330

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070809

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080324

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110328

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees