JP2002198580A

JP2002198580A - アクチュエータ

Info

Publication number: JP2002198580A
Application number: JP2000395997A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Setoguchi; 剛瀬戸口
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2000-12-26
Filing date: 2000-12-26
Publication date: 2002-07-12
Anticipated expiration: 2020-12-26
Also published as: JP4991047B2

Abstract

(57)【要約】【課題】荷重変化や温度変化が生じた場合でも、常に積
層型圧電素子の積層方向に予荷重が印加された状態で長
期間駆動させることができる圧電アクチュエータを提供
する。【解決手段】金属ケース１内に、圧電体５と内部電極７
とを交互に積層してなる積層型圧電素子２を収容し、該
積層型圧電素子２を伸縮させることにより、金属ケース
１を伸縮させるアクチュエータであって、金属ケース１
に、積層型圧電素子２を収容固定するとともに、積層型
圧電素子２の伸縮方向に加重を印可する予荷重印加部１
７と、該予荷重印加部１７に隣接して設けられ、積層型
圧電素子２に固定された変位伝達部材１９により伸縮変
形する易変形部２１とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータに
係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め装置や振動
防止用の駆動素子、自動車用エンジンの燃料噴射用の駆
動素子等に使用されるアクチュエータに関するものであ
る。

【０００２】

【従来技術】従来、圧電体は、電圧を印加することによ
り伸縮する逆圧電効果を有している。しかしながら、圧
電体１枚１枚の伸縮量は微量であることから、圧電体を
複数枚積層して形成した積層型圧電アクチュエータを作
製していた。この積層型圧電アクチュエータは、圧電体
に電圧を印加して数〜数十μｍ伸長させ、アクチュエー
タの駆動力源とするものである。

【０００３】ところで、従来、外気との遮断を行い、耐
湿性の向上、及びオイルや燃料等の異物の侵入を防止す
るため、積層型圧電素子を金属ケース内に収容してアク
チュエータが構成されており、積層型圧電素子の変位を
金属ケースに伝達し、金属ケース自体を変位させること
が行われている。

【０００４】このようなアクチュエータとして、特開平
６−２８３７７８号公報に開示されるようなものが知ら
れている。この公報に開示されたアクチュエータでは、
積層型圧電素子を金属ケースに封入することにより、外
気との遮断を行い、耐湿性の向上、及びオイルや燃料等
の侵入を防止することができる。

【０００５】また、この公報によると、積層型圧電素子
と蛇腹（ダイヤフラム）の内壁との間に、荷重印加保持
手段を設けることにより、積層型圧電素子に変位方向と
逆向きの予荷重が印加されるため、積層型圧電素子に全
く接着剤を使用せず搭載することが可能となり、接着剤
のアウトガスによる腐食などの不具合が発生しない構造
となっている。

【０００６】即ち、この公報に開示されたアクチュエー
タでは、蛇腹（ダイヤフラム）が積層型圧電素子への予
荷重の印加、及び変位量の伝達を行っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平６−２８３７７８号報に開示されたアクチュエータ
では、蛇腹により、積層型圧電素子に予荷重を印加する
とともに、この蛇腹が変形することにより、変位を伝達
していたので、積層型圧電素子を高速で長期間変位させ
ると、経時的に蛇腹が劣化していき、予荷重を印加でき
なくなり、アクチュエータとして機能しなくなるという
問題があった。

【０００８】また、このようなアクチュエータでは、積
層型圧電素子に印加された荷重が除去された場合や温度
変化が生じた場合に、金属ケース内の積層型圧電素子に
寸法変化（寸法収縮）が生じるため、組み付け時に印加
された予荷重が設計通りに印加できなくなり、金属ケー
ス内にて積層型圧電素子がフリーな状態となり、金属ケ
ース内にて自由に移動してしまうという問題があった。

【０００９】また、この荷重フリーな状態で金属ケース
内にて積層型圧電素子が動き、傾いた状態にてセットさ
れると、片当たりの状態が生じ、この状態で荷重印加や
電圧印加による駆動を行った場合、積層型圧電素子に曲
げ応力が加わり、更に、これが長期に渡ると積層型圧電
素子が破損するという問題があった。

【００１０】即ち、本発明者等によれば、積層型圧電素
子は、図４の荷重印加及び荷重除去時の積層型圧電素子
の寸法変化に示すように、積層型圧電素子は印加荷重の
増加に伴い積層方向に収縮しており、この荷重を除去し
た場合、元の寸法（0点）に戻らずに、積層方向の寸法
に収縮が生じることを確認した。

【００１１】また、近年、アクチュエータは、その使用
目的から、０℃以下の低温下や、２００℃前後の高温下
など、様々な幅広い温度下で使用されるようになってき
ている。このような使用環境下において、図５に示した
雰囲気温度と積層型圧電素子の寸法変化との関係に示す
ように、温度上昇に伴って積層方向の寸法が収縮してい
ることを確認した。

【００１２】この現象は、積層型圧電素子に使用される
圧電磁器は、分極処理を施すことによって、電圧を印加
した際に逆圧電効果を生じて伸長しているが、分極処理
を施した圧電磁器は、温度上昇に伴いその材料のキュリ
ー温度に近づくにつれ、分極処理によって１方向に向い
ていたドメインが未分極時の状態に戻っていくために発
生しているためである。

【００１３】これらの現象から、上記特開平６−２８３
７７８号報に開示されたアクチュエータでは、積層型圧
電素子に印加された荷重が除去された場合や温度変化が
生じた場合に、金属ケース内の積層型圧電素子に寸法変
化（寸法収縮）が生じるため、組み付け時に印加された
予荷重がかからない状態となり、金属ケース内にて積層
型圧電素子がフリーな状態となるという問題があった。

【００１４】本発明は、積層型圧電素子を金属ケースに
封入することにより、外気との遮断を行い耐湿性の向
上、及びオイルや燃料の侵入の防止を行なうとともに、
荷重変化や温度変化が生じた場合でも、常に積層型圧電
素子の積層方向に予荷重が印加された状態で長期間駆動
させることができるアクチュエータを提供することを目
的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明のアクチュエータ
は、金属ケース内に、圧電体と内部電極とを交互に積層
してなる積層型圧電素子を収容し、該積層型圧電素子を
伸縮させることにより、前記金属ケースを伸縮させるア
クチュエータであって、前記金属ケースに、前記積層型
圧電素子を収容固定するとともに、前記積層型圧電素子
の伸縮方向に荷重を印加する予荷重印加部と、該予荷重
印加部に隣接して設けられ、前記積層型圧電素子に固定
された変位伝達部材により伸縮変形する易変形部とを設
けたことを特徴とする。

【００１６】このようなアクチュエータでは、積層型圧
電素子が駆動すると、変位伝達部材により、金属ケース
の易変形部が変位し、積層型圧電素子の伸縮方向に荷重
を印加する予荷重印加部は変位しないため、積層型圧電
素子を駆動しても予荷重印加部は変形せず、予荷重印加
部は長期間の駆動により劣化することがなく、これによ
り、荷重変化や温度変化が生じた場合でも、常に積層型
圧電素子の積層方向に予荷重が印加された状態で変位を
伝達することが可能となる。

【００１７】また、本発明のアクチュエータでは、易変
形部は、金属ケースを蛇腹状に形成して構成されている
ことが望ましい。これにより、絞り加工等の塑性加工に
より金属ケースを安価に作製することができるととも
に、金属ケースの易変形部が容易に変形できる。

【００１８】さらに、本発明のアクチュエータでは、金
属ケースの易変形部のバネ定数が３０〜１００ｋｇｆ／
ｍｍであることが望ましい。これにより、積層型圧電素
子が発生する変位量を低下することなく伝達することが
できるとともに、積層型圧電素子が変位する際に易変形
部から受ける反力による衝撃を小さくできるため、耐久
性を向上できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明のアクチュエータは、図１
に示すように、金属ケース１内に積層型圧電素子２を収
容して構成されている。この積層型圧電素子２は、図２
に示すように、圧電体５と内部電極７とを交互に積層し
て構成された素子本体９と、この素子本体９の外面に形
成された一対の外部電極１１とから構成されている。

【００２０】内部電極２の端部には１層おきに絶縁体１
３が形成され、絶縁体１３が形成されていない内部電極
７の端部が、同一の外部電極１１に接続されている。

【００２１】圧電体５は、例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃（以下ＰＺＴと略す）或い
は、チタン酸バリウムＢａＴｉＯ₃を主成分とする圧電
セラミック材料などが使用されるが、これらに限定され
るものではなく、圧電性を有するセラミックスであれば
何れでも良い。

【００２２】なお、この圧電体５材料としては、圧電歪
み定数ｄ₃₃が高いものが望ましい。また、圧電体５の厚
み、つまり内部電極７間の距離は、小型化および高い電
界を印加するという点から０．０５〜０．２５ｍｍであ
ることが望ましい。

【００２３】内部電極７は、素子本体９の全ての側面に
露出しているが、そのうち２つの側面において、内部電
極２端部を含む圧電体５の端部１層おきに溝が形成さ
れ、該溝部にガラス、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、
ポリアミドイミド樹脂、シリコーンゴム等の絶縁体１３
が充填されている。なお、絶縁体１３は低ヤング率の材
質、例えばシリコーンゴム等が好ましい。

【００２４】このように、内部電極７は互い違いに１層
おきに絶縁され、絶縁されていない内部電極７の他方の
端面は、予め素子本体９の側面に塗布しておいた導電性
耐熱接着剤に導電性部材を密着させた状態で、熱硬化性
導電性接着剤を塗布し加熱硬化させることにより、外部
電極１１を形成することができる。

【００２５】また、素子本体９の積層方向の両端面に
は、素子本体９を機械的に保持し、発生する力を外部へ
伝達するための不活性部１４が積層され、接合されてい
る。

【００２６】金属ケース１は、断面が円柱状のケース本
体１ａと、このケース本体１ａの下端に嵌入されたベー
ス部材１ｂと、ケース本体１ａの上面に配置された上端
封止部材１ｃとから構成され、内部の積層型圧電素子２
が気密に収納されている。

【００２７】ベース部材１ｂには積層型圧電素子２が固
定されており、また、ベース部材１ｂには、一対のハー
メチックリードピン１５が設けられており、これらのハ
ーメチックリードピン１５の一端は、ベース部材１ｂに
固定された積層型圧電素子２の外部電極１１にそれぞれ
接続されている。

【００２８】そして、本発明のアクチュエータでは、図
１に示すように、金属ケース１には、積層型圧電素子２
が収容固定され、積層型圧電素子２に伸縮方向（圧電体
の積層方向）に荷重を印加する予荷重印加部１７と、こ
の予荷重印加部１７の上部に設けられ、積層型圧電素子
２に固定された変位伝達部材１９により伸縮変形する易
変形部２１とが設けられている。

【００２９】即ち、予荷重印加部１７は、ケース本体１
ａの内周に嵌合する荷重印加リング２３と、この荷重印
加リング２３の下面に当接し、積層型圧電素子２を下方
に押圧するバネ部材２５とから構成され、荷重印加リン
グ２３を反力として、バネ部材２５により、積層型圧電
素子２が、ベース部材１ｂ側に押圧されている。

【００３０】易変形部２１は、上端が上端封止部材１ｃ
に当接するピンからなる変位伝達部材１９を有してお
り、下端が荷重印加リング２３を挿通し、積層型圧電素
子２の上面に当接している。また、易変形部材２１にお
けるケース本体１ａは蛇腹状に形成されている。これに
より、絞り加工等の塑性加工によりケース本体１ａを安
価に作製することができるとともに、ケース本体１ａの
易変形部２１が容易に変形できる。

【００３１】易変形部２１は、厚み０．１〜０．４ｍｍ
のＳＵＳ３０４やＳＵＳ４０１Ｌなどの金属製円筒を絞
り加工等の塑性加工することにより得られる。尚、本発
明では、ケース本体１ａ全体が上記材料から構成されて
いる。

【００３２】また、金属ケース１の易変形部２１のバネ
定数は３０〜１００ｋｇｆ／ｍｍとされている。易変形
部２１のバネ定数は、図３に示すバネ定数と積層型圧電
素子の変位量との関係から理解されるように、予荷重印
加用のバネ部材２５のバネ定数が高くなるに伴い、積層
型圧電素子の変位量が低下しているため、積層型圧電素
子２の変位を低下させることなく伝達するために、３０
〜１００ｋｇｆ／ｍｍであることが望ましい。

【００３３】また、積層型圧電素子２が変位する際、易
変形部２１の反力による衝撃が積層型圧電素子２に加わ
り、特に電圧のパルス印加による連続駆動などでは、こ
の衝撃が繰り返し印加されるため、積層型圧電素子２の
耐久性を向上させるため、バネ定数は、特に３０〜６０
ｋｇｆ／ｍｍが望ましい。そして、易変形部２１のバネ
定数がバネ部材２５より大きくなると、積層型圧電素子
２の発生する変位が、この易変形部２１により拘束さ
れ、変位が低下するため、易変形部２１のバネ定数は、
バネ部材２５のよりも小さいことが望ましい。

【００３４】さらに、予荷重印加部１７にはＳＵＳ等の
金属製荷重印加用リング２３がレーザー溶接など方法で
溶接されており、コイルバネや皿バネなどのバネ部材２
５を荷重印加用リング２５で押すことにより積層型圧電
素子２に荷重印加を行なっているため、このバネ部材２
５のバネ定数も易変形部２１のバネ定数と同様に、積層
型圧電素子２の変位を低下させることがないように、３
０〜１００ｋｇｆ／ｍｍが望ましい。

【００３５】積層型圧電素子２の封止に用いた、ケース
本体１ａ、荷重印加用リング２３、ベース部材１ｂ、及
び上端封止部材１ｃは、レーザー溶接などによりそれぞ
れ溶接されている。この際、各部材が異種材の場合、各
部材の線膨張差の影響により、溶接後の冷却時に溶接部
にクラックが生じるため、気密封止が困難となるため、
これらの部材は同材質とすることが望ましい。

【００３６】本発明の圧電アクチュエータは以下のよう
にして作製される。積層型圧電素子は、先ず、チタン酸
ジルコン酸鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃などの圧電体セラ
ミックスの仮焼粉末と、有機高分子からなるバインダー
と、可塑剤とを混合したスラリーを作製し、スリップキ
ャステイング法により、厚み５０〜２５０μｍのセラミ
ックグリーンシートを作製する。

【００３７】このグリーンシートの片面に内部電極７と
なる銀−パラジウムを主成分とする導電性ペーストをス
クリーン印刷法により１〜１０μｍの厚みに印刷する。
この導電性ペーストを乾燥させた後、導電性ペーストが
塗布された複数のグリーンシートを所定の枚数だけ積層
し、この積層体の積層方向の両端部に、導電性ペースト
が塗布されていないグリーンシートを積層する。

【００３８】次に、この積層体を５０〜２００℃で加熱
を行いながら加圧を行い、積層体を一体化する。一体化
された積層体は所定の大きさに切断された後、４００〜
８００℃で５〜４０時間、脱バインダが行われ、９００
〜１２００℃で２〜５時間の本焼成が行われ、素子本体
９となる積層焼結体を得る。この素子本体９の側面に
は、内部電極７の端部が露出している。

【００３９】その後、素子本体９の２つの側面におい
て、内部電極７端部を含む圧電体５の端部に該２側面に
おいて互い違いになるように、１層おきに深さ５０〜５
００μｍ、積層方向の幅５０〜３００μｍの溝を形成
し、該溝部にシリコーンゴム等の絶縁体３を充填する。

【００４０】このあと、素子本体９の側面において内部
電極７は互い違いに１層おきに絶縁されており、この素
子本体９の側面に外部電極ペーストを塗布し、乾燥して
外部電極１１を形成し、積層型圧電素子２の外周面にデ
イッピング等の方法により、シリコーンゴムを被覆す
る。その後、外部電極１１に０．１〜３ｋＶの分極電圧
を印加し、積層型圧電素子２全体を分極処理すること
で、最終的な積層型圧電素子２を得る。

【００４１】この様にして得られた積層型圧電素子２
を、接着剤を用いてベース部材１ｂに固定した後、積層
型圧電素子２の外部電極１１とハーメチックリードピン
１５とを半田などで接続する。次に、凸形状の変位伝達
部材１９に皿バネなどのバネ部材２５をセットし、積層
型圧電素子２の上端に乗せ、荷重印加用リング２３がレ
ーザー溶接などの方法で溶接されたケース本体１ａを被
せ、加圧用プレス器にて５０〜１５０ｋｇｆの予荷重を
印加した状態にて、ケース本体１ａの下端部とベース部
材１ｂとをレーザー溶接などの方法で溶接する。その
後、上端封止部材１ｃをケース本体１ａの上面に乗せ変
位伝達部材１９が上端封止部材１ｃに接触するように加
圧用プレス器にて荷重５〜２０ｋｇｆを印加し、レーザ
ー溶接等の方法で溶接することにより、本発明のアクチ
ュエータを作製できる。

【００４２】

【実施例】チタン酸ジルコン酸鉛Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ
₃などの圧電体セラミックスの仮焼粉末と、有機高分子
からなるバインダーと、可塑剤とを混合したスラリーを
作製し、スリップキャステイング法により、厚み１５０
μｍのセラミックグリーンシートを作製した。

【００４３】このグリーンシートの片面に内部電極７と
なる銀−パラジウムを主成分とする導電性ペーストをス
クリーン印刷法により５μｍの厚みに印刷し、導電性ペ
ーストを乾燥させた後、導電性ペーストが塗布された複
数のグリーンシートを４００枚積層し、この積層体の積
層方向の両端部に、導電性ペーストが塗布されていない
グリーンシートを１０枚積層した。

【００４４】次に、この積層体を１００℃で加熱を行い
ながら加圧を行い、積層体を一体し、１０ｍｍ×１０ｍ
ｍの大きさに切断した後、８００℃で１０時間の脱バイ
ンダを行い、１１００℃で２時間の本焼成を行ない素子
本体９となる積層焼結体を得た。

【００４５】その後、素子本体９の２つの側面におい
て、内部電極７端部を含む圧電体５の端部に該２側面に
おいて互い違いになるように、１層おきに深さ１００μ
ｍ、積層方向の幅５０μｍの溝を形成し、絶縁体１３を
充填した。この後、絶縁されていない内部電極７の他方
の端面は、予め塗布しておいた導電性耐熱接着剤に厚み
０．５ｍｍの導電性部材の銀箔を密着させた状態で２０
０℃で加熱し、加熱硬化させることにより、外部電極１
１を形成し、この後、積層型圧電素子の外周面にデイッ
ピング法により、シリコーンゴムを被覆した後、１ｋＶ
の分極電圧を印加し、素子全体を分極処理して積層型圧
電素子２を作製した。

【００４６】この積層型圧電素子とＳＵＳ３０４製のベ
ース部材１ｂをエポキシ樹脂にて接着した後、ハーメチ
ックリードピン１５と外部電極１１を半田にて接続し
た。次に、荷重印加部のバネ定数が５０ｋｇｆ／ｍｍと
なるように３直列に並べたＪＩＳＨ４の皿バネを、交互
に重ねて４並列に設定し、これを変位伝達部材１９に乗
せた後、積層型圧電素子２上部へ置いた。

【００４７】ＳＵＳ３０４製の厚み０．１５ｍｍの円筒
を絞り加工にて、バネ定数が３０ｋｇｆ／ｍｍとなるよ
うに易変形部２１を形成し、ＳＵＳ３０４製の荷重印加
用リング２３をレーザー溶接して作製したケース本体１
ａを被せ、加圧用プレス器予荷重５０ｋｇｆを印加し
て、レーザー溶接器にて溶接した。

【００４８】この後、上端封止部材１ｃをケース本体１
ａに乗せ、変位伝達部材１９が上端封止部材１ｃに接触
するように加圧用プレス器にて荷重５ｋｇｆを印加し、
レーザー溶接し、積層型圧電素子を気密封止して、本発
明のアクチュエータを作製した。

【００４９】また、比較の為に、バネ定数３０ｋｇｆの
蛇腹部を形成した金属ケース内に積層型圧電素子２を収
容し、蛇腹部を用いて予荷重印加を行う従来の特開平６
−２８３７７８号報に開示されたアクチュエータを作製
した。尚、上端封止部材を溶接する際、５ｋｇｆの荷重
を印加してレーザー溶接を行った。

【００５０】まず、これらの変位特性を比較するため
に、印加電圧０〜２００Ｖにて電圧・変位特性を測定し
た結果、両アクチュエータともに、変位量４０μｍを発
生しており、変位特性に差がないことが分かった。

【００５１】次に、耐久性を比較するために、雰囲気温
度１００℃、湿度９０％下で、０Ｖから＋２００Ｖの直
流電界を５０Ｈｚの周波数にて印加する耐久試験を行っ
た。その結果、本発明品は変位量４０μｍで１×１０⁹
回でも問題無く駆動するのを確認した。また、耐久試験
終了後に、金属ケース外観を観察した結果、長期駆動に
よるクラック等の発生がなく、易駆動部、及び予荷重印
加部共に劣化がないことを確認した。

【００５２】また、比較用のアクチュエータータでは、
１×１０⁷回にて駆動しなくなった。この積層型圧電ア
クチュエータを分解し、封止した積層型圧電素子を観察
した結果、不活性部近傍より、クラックが生じ、この部
位を起点に両極間にてショートしているのが確認され
た。この不活性部近傍のクラックは、温度上昇に伴なう
積層型圧電素子の寸法変化により、金属ケース内にて積
層型圧電素子が片当たりの状態となり、曲げの応力が生
じたために発生した。

【００５３】また、特開平６−２８３７７８号報に開示
されたアクチュエータにて、長期間駆動による易駆動部
２１の劣化がないか確認するために、寸法変化が生じて
も位置ズレが発生しないように、蛇腹部を用いて予荷重
５０ｋｇｆを印加し、レーザー溶接を行い、比較用アク
チュエータを作製した。このアクチュエータを雰囲気温
度１００℃、湿度９０％下で、０Ｖから＋２００Ｖの直
流電界を５０Ｈｚの周波数にて印加する耐久試験を行っ
た。

【００５４】その結果、変位量４０μｍで１×１０⁹回
でも問題無く駆動するのを確認したものの、蛇腹部外観
を観察した結果、クラックが発生しているのを確認し
た。これは、蛇腹部を用いて予荷重５０ｋｇｆを印加し
たために、長期駆動による蛇腹部の劣化が促進されたた
めと考えられる。この結果から、本発明品は、金属ケー
スに予荷重印加部と易変形部を分けて設けていることか
ら、長期間駆動においても、金属ケースの劣化がなく、
耐久性に優れていることが判る。

【００５５】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のアクチュエ
ータでは、金属ケースに、積層型圧電素子に伸縮方向に
荷重を印可する予荷重印加部と、該予荷重印加部に隣接
して設けられ、積層型圧電素子に固定された変位伝達部
材により伸縮変形する易変形部とを設けたので、金属ケ
ースの易変形部が変位し、積層型圧電素子の伸縮方向に
荷重を印可する予荷重印加部は変位しないため、積層型
圧電素子の駆動しても予荷重印加部は変形しないため、
予荷重印加部は長期間の駆動により劣化することがな
く、これにより、荷重変化や温度変化が生じた場合で
も、常に積層型圧電素子の積層方向に予荷重が印加され
た状態で変位を伝達することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアクチュエータを示す縦断面図であ
る。

【図２】積層型圧電素子の一例を示す斜視図である。

【図３】バネ定数と積層型圧電素子の変位量の関係を示
すグラフである。

【図４】荷重印加及び荷重除去時の積層型圧電素子の寸
法変化を示すグラフである。

【図５】雰囲気温度と積層型圧電素子の寸法変化の関係
を示すグラフである。

【符号の説明】

１・・・金属ケース２・・・積層型圧電素子５・・・圧電体７・・・内部電極１１・・・外部電極１７・・・予荷重印加部１９・・・変位伝達部材２１・・・易変形部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属ケース内に、圧電体と内部電極とを交
互に積層してなる積層型圧電素子を収容し、該積層型圧
電素子を伸縮させることにより、前記金属ケースを伸縮
させるアクチュエータであって、前記金属ケースに、前
記積層型圧電素子を収容固定するとともに、前記積層型
圧電素子の伸縮方向に荷重を印加する予荷重印加部と、
該予荷重印加部に隣接して設けられ、前記積層型圧電素
子に固定された変位伝達部材により伸縮変形する易変形
部とを設けたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】易変形部は、金属ケースを蛇腹状に形成し
て構成されていることを特徴とする請求項１項記載のア
クチュエータ。
【請求項３】金属ケースの易変形部のバネ定数が３０〜
１００ｋｇｆ／ｍｍであることを特徴とする請求項１ま
たは２項記載のアクチュエータ。