JP2002195960A - ボール検査装置及びボール検査方法 - Google Patents
ボール検査装置及びボール検査方法Info
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- JP2002195960A JP2002195960A JP2000397142A JP2000397142A JP2002195960A JP 2002195960 A JP2002195960 A JP 2002195960A JP 2000397142 A JP2000397142 A JP 2000397142A JP 2000397142 A JP2000397142 A JP 2000397142A JP 2002195960 A JP2002195960 A JP 2002195960A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、輝度の異なる半田ボールが存在する
場合には、輝度の低いボールに対して明（白）と暗
（黒）を判別するしきい値を下げて、白の固まりを抽出
し、ボールを検出することにより確実で迅速なボール検
出を可能とするボール検査装置を提供しようとするもの
である。 【解決手段】本発明は、ボール検査装置に次の手段を採
用した。第１に、ボールの画像を取り込む画像取込手段
と、該画像取込手段で取り込んだ取込画像に対して２値
化するしきい値を設定するしきい値設定手段と、取込画
像から上記しきい値によりボールを検出するボール検出
手段と、ボール検出手段により検出されたボールの良否
を判定するボール判定手段とを備えたボール検査装置と
する。第２に、しきい値設定手段により２値化するしき
い値を変えて、ボール検出手段によりボールを検出す
る。
場合には、輝度の低いボールに対して明（白）と暗
（黒）を判別するしきい値を下げて、白の固まりを抽出
し、ボールを検出することにより確実で迅速なボール検
出を可能とするボール検査装置を提供しようとするもの
である。 【解決手段】本発明は、ボール検査装置に次の手段を採
用した。第１に、ボールの画像を取り込む画像取込手段
と、該画像取込手段で取り込んだ取込画像に対して２値
化するしきい値を設定するしきい値設定手段と、取込画
像から上記しきい値によりボールを検出するボール検出
手段と、ボール検出手段により検出されたボールの良否
を判定するボール判定手段とを備えたボール検査装置と
する。第２に、しきい値設定手段により２値化するしき
い値を変えて、ボール検出手段によりボールを検出す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハや基板に半
田ボール等をマウントするボールマウント装置において
利用されるボール検査装置及びボール検査方法の改良に
関するものであり、主としてマウントヘッドに吸着され
た半田ボールを検査する装置及び方法を主眼に開発され
たものである。
田ボール等をマウントするボールマウント装置において
利用されるボール検査装置及びボール検査方法の改良に
関するものであり、主としてマウントヘッドに吸着され
た半田ボールを検査する装置及び方法を主眼に開発され
たものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から半田ボールマウント装置では、
マウントヘッドに半田ボールが適正に吸着されたか否か
を検査するボール検査装置が存在した。この種のボール
検査装置では、半田ボールに照明を当て、カメラでボー
ルの画像を取り込み、ボールの取込画像からボールを認
識し、ボールの有無の判定（ミッシングボールの判
定）、余分な吸着ボールの判定（エクセスボールの判
定）、ボールサイズ、ボール同士が付着したものの判定
（ダブルボールの判定）、ボールポジション等のボール
検査が行われていた。
マウントヘッドに半田ボールが適正に吸着されたか否か
を検査するボール検査装置が存在した。この種のボール
検査装置では、半田ボールに照明を当て、カメラでボー
ルの画像を取り込み、ボールの取込画像からボールを認
識し、ボールの有無の判定（ミッシングボールの判
定）、余分な吸着ボールの判定（エクセスボールの判
定）、ボールサイズ、ボール同士が付着したものの判定
（ダブルボールの判定）、ボールポジション等のボール
検査が行われていた。
【０００３】このボール検査を行うためには、ボールの
取込画像中背景部分からボール部分を分離（取込画像の
２値化）しなければならない。すなわちボールの取込画
像からボールを検出しなければならないのである。そこ
で、取込画像中背景は輝度が低く、半田ボールは輝度が
高いので、取込画像を輝度により２値化し、背景は黒、
ボールは白で表示し、白く表示されたボールを検出して
いた。
取込画像中背景部分からボール部分を分離（取込画像の
２値化）しなければならない。すなわちボールの取込画
像からボールを検出しなければならないのである。そこ
で、取込画像中背景は輝度が低く、半田ボールは輝度が
高いので、取込画像を輝度により２値化し、背景は黒、
ボールは白で表示し、白く表示されたボールを検出して
いた。
【０００４】従来、このボール検出のための２値化のし
きい値は固定であった。従って、輝度が少し落ちた半田
ボールは半田ボールとして検出されず、適切なボール検
査を行うことが出来なかった。更に２値化のしきい値を
低い値に設定してボールを検出しようとすると本来ボー
ルの存在しないはずの背景部分でも照明の回り込みや反
射光などにより輝度の高い部分が存在し、半田ボールが
存在しない位置であるにも関わらず半田ボール有りとの
判断がなされてしまったり、検査対象が多くなり、検査
の処理時間が長くなってしまうことがあった。
きい値は固定であった。従って、輝度が少し落ちた半田
ボールは半田ボールとして検出されず、適切なボール検
査を行うことが出来なかった。更に２値化のしきい値を
低い値に設定してボールを検出しようとすると本来ボー
ルの存在しないはずの背景部分でも照明の回り込みや反
射光などにより輝度の高い部分が存在し、半田ボールが
存在しない位置であるにも関わらず半田ボール有りとの
判断がなされてしまったり、検査対象が多くなり、検査
の処理時間が長くなってしまうことがあった。
【０００５】そもそも取込画像中の半田ボールの輝度の
違いは、ボール供給部で半田ボール同士が擦れあった
り、マウントヘッドと擦れあって、次第に汚れが付着し
たり、傷が付いたりして生じる。更に、半田ボールをボ
ール供給部で補充する場合でも、新しいボールと古いボ
ールが混在して半田ボール間で輝度差が生じる。特に一
旦マウントヘッドに吸着したボールを検査ＮＧによりボ
ール供給部に戻して再利用するような場合、輝度差の発
生は顕著であった。
違いは、ボール供給部で半田ボール同士が擦れあった
り、マウントヘッドと擦れあって、次第に汚れが付着し
たり、傷が付いたりして生じる。更に、半田ボールをボ
ール供給部で補充する場合でも、新しいボールと古いボ
ールが混在して半田ボール間で輝度差が生じる。特に一
旦マウントヘッドに吸着したボールを検査ＮＧによりボ
ール供給部に戻して再利用するような場合、輝度差の発
生は顕著であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、輝度の異な
る半田ボールが存在する場合には、輝度の低いボールに
対して明（白）と暗（黒）を判別するしきい値を下げ
て、白の固まりを抽出し、ボールを検出することにより
確実で迅速なボール検出を可能とするボール検査装置及
びボール検査方法を提供しようとするものである。
る半田ボールが存在する場合には、輝度の低いボールに
対して明（白）と暗（黒）を判別するしきい値を下げ
て、白の固まりを抽出し、ボールを検出することにより
確実で迅速なボール検出を可能とするボール検査装置及
びボール検査方法を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明中第１の発明は、
上記課題を解決するため、ボール検査装置に次の手段を
採用した。第１に、ボールの画像を取り込む画像取込手
段と、該画像取込手段で取り込んだ取込画像に対して２
値化するしきい値を設定するしきい値設定手段と、取込
画像から上記しきい値によりボールを検出するボール検
出手段と、ボール検出手段により検出されたボールの良
否を判定するボール判定手段とを備えたボール検査装置
とする。第２に、しきい値設定手段により２値化するし
きい値を変えて、ボール検出手段によりボールを検出す
る。
上記課題を解決するため、ボール検査装置に次の手段を
採用した。第１に、ボールの画像を取り込む画像取込手
段と、該画像取込手段で取り込んだ取込画像に対して２
値化するしきい値を設定するしきい値設定手段と、取込
画像から上記しきい値によりボールを検出するボール検
出手段と、ボール検出手段により検出されたボールの良
否を判定するボール判定手段とを備えたボール検査装置
とする。第２に、しきい値設定手段により２値化するし
きい値を変えて、ボール検出手段によりボールを検出す
る。
【０００８】第２の発明は、第１の発明のボール検出手
段により検出されたボールの検出面積が所定値以下の場
合にしきい値を変更するという構成を付加したボール検
査装置である。
段により検出されたボールの検出面積が所定値以下の場
合にしきい値を変更するという構成を付加したボール検
査装置である。
【０００９】第３の発明は、第１の発明に係る装置を用
いたボール検査方法の発明であって、ボールの画像取り
込み後、取込画像に対して２値化するしきい値を所望回
数変えて、ボールを検出し、検出されたボールの良否を
判定することを特徴とするものである。
いたボール検査方法の発明であって、ボールの画像取り
込み後、取込画像に対して２値化するしきい値を所望回
数変えて、ボールを検出し、検出されたボールの良否を
判定することを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発
明に係るボール検査装置が利用された半田ボールマウン
ト装置の側面図である。半田ボールマウント装置１は、
ワークであるウエハに半田ボールを搭載するマウントヘ
ッド２及びその駆動機構３と、ボール供給装置４と、ワ
ーク駆動機構５と、ボール検査装置６とで構成される。
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発
明に係るボール検査装置が利用された半田ボールマウン
ト装置の側面図である。半田ボールマウント装置１は、
ワークであるウエハに半田ボールを搭載するマウントヘ
ッド２及びその駆動機構３と、ボール供給装置４と、ワ
ーク駆動機構５と、ボール検査装置６とで構成される。
【００１１】ボール供給装置４はパーツフィーダのよう
な構成をしており、マウントヘッド２に半田ボールを供
給するボールトレイ７には、バイブレータが取り付けら
れている。バイブレータの振動により半田ボールを斜め
上方に跳ね上げ、上方からの観察では、半田ボールはボ
ールトレイ７内を廻るように移動している。尚、本実施
例で使用する半田ボールは直径０．１ｍｍである。
な構成をしており、マウントヘッド２に半田ボールを供
給するボールトレイ７には、バイブレータが取り付けら
れている。バイブレータの振動により半田ボールを斜め
上方に跳ね上げ、上方からの観察では、半田ボールはボ
ールトレイ７内を廻るように移動している。尚、本実施
例で使用する半田ボールは直径０．１ｍｍである。
【００１２】ワーク駆動機構５には、ウエハステージ１
１が設けられており、ウエハステージ１１を駆動させる
Ｘ軸（図１中前後方向）とΘ軸（回転方向）の２軸の駆
動機構が設けられる。ワークであるウエハはウエハステ
ージ１１に載置されてボールマウント位置８に搬送され
てくる。
１が設けられており、ウエハステージ１１を駆動させる
Ｘ軸（図１中前後方向）とΘ軸（回転方向）の２軸の駆
動機構が設けられる。ワークであるウエハはウエハステ
ージ１１に載置されてボールマウント位置８に搬送され
てくる。
【００１３】マウントヘッド２には、図１に示されるよ
うに、ボール供給装置４とワーク駆動機構５上のボール
マウント位置８との間を往復するＹ軸と、Ｚ軸（昇降
軸）の２軸の駆動機構が設けられている。図中９はＺ軸
駆動モータであり、図中１０はＹ軸駆動モータである。
うに、ボール供給装置４とワーク駆動機構５上のボール
マウント位置８との間を往復するＹ軸と、Ｚ軸（昇降
軸）の２軸の駆動機構が設けられている。図中９はＺ軸
駆動モータであり、図中１０はＹ軸駆動モータである。
【００１４】ボール供給装置４とウエハステージ１１の
間にはボール検査装置６が設置されている。ボール検査
装置６は、ＣＣＤカメラ１２によりマウントヘッド２の
下面に吸着されたボールの画像を取り込み、該取込画像
にしきい値を設定してボールを検出し、ボールサイズ、
ボールずれ量、真円度等により位置ずれボール、ダブル
ボール等の吸着ミスと、搭載ミスであるリメインボール
を判定している。
間にはボール検査装置６が設置されている。ボール検査
装置６は、ＣＣＤカメラ１２によりマウントヘッド２の
下面に吸着されたボールの画像を取り込み、該取込画像
にしきい値を設定してボールを検出し、ボールサイズ、
ボールずれ量、真円度等により位置ずれボール、ダブル
ボール等の吸着ミスと、搭載ミスであるリメインボール
を判定している。
【００１５】ＣＣＤカメラ１２が本発明におけるボール
の画像を取り込む画像取込手段となる。尚、ＣＣＤカメ
ラ１２の近傍にはリング状の照明灯であるリング照明１
３が半田ボールに対して斜め下より照明光を照射してい
る。
の画像を取り込む画像取込手段となる。尚、ＣＣＤカメ
ラ１２の近傍にはリング状の照明灯であるリング照明１
３が半田ボールに対して斜め下より照明光を照射してい
る。
【００１６】ＣＣＤカメラ１２は、制御部３０と接続さ
れている。本発明は、ボール検査装置６の制御部３０に
特徴を有するものである。ボール検査装置６の制御部３
０には、取込画像を記憶する取込画像記憶手段３１、取
込画像を２値化するしきい値を設定するしきい値設定手
段３２、取込画像から上記しきい値によりボールを検出
するボール検出手段３３、検出したボールの良否を判定
するボール判定手段３４とを備えている。
れている。本発明は、ボール検査装置６の制御部３０に
特徴を有するものである。ボール検査装置６の制御部３
０には、取込画像を記憶する取込画像記憶手段３１、取
込画像を２値化するしきい値を設定するしきい値設定手
段３２、取込画像から上記しきい値によりボールを検出
するボール検出手段３３、検出したボールの良否を判定
するボール判定手段３４とを備えている。
【００１７】以下、半田ボールマウント装置１の作動手
順と共に検査装置の動作に付いて図５に従って説明す
る。まず、マウントヘッド２は、ボール供給装置４の上
方より下降して指定位置で停止し、マウントヘッド２に
図示されていないブロアモータより吸引力を与え、半田
ボールをマウントヘッド２下面の吸着孔に吸着させる。
マウントヘッド２の内圧が所定圧力より低くなった時点
で、吸着完了と判断し、マウントヘッド２を上昇させ
る。
順と共に検査装置の動作に付いて図５に従って説明す
る。まず、マウントヘッド２は、ボール供給装置４の上
方より下降して指定位置で停止し、マウントヘッド２に
図示されていないブロアモータより吸引力を与え、半田
ボールをマウントヘッド２下面の吸着孔に吸着させる。
マウントヘッド２の内圧が所定圧力より低くなった時点
で、吸着完了と判断し、マウントヘッド２を上昇させ
る。
【００１８】その後、マウントヘッド２は、ボール検査
装置６上方へ移動し、ボール吸着検査を行う。ボール検
査装置６では、リング照明１３が上昇し、マウントヘッ
ド２下面に吸着された半田ボールに対して照明を当て、
ＣＣＤカメラ１２でボールの画像を取り込み、予め設定
されていた初期しきい値（Ｔ１）に従って２値化し、表
示装置に表示する。
装置６上方へ移動し、ボール吸着検査を行う。ボール検
査装置６では、リング照明１３が上昇し、マウントヘッ
ド２下面に吸着された半田ボールに対して照明を当て、
ＣＣＤカメラ１２でボールの画像を取り込み、予め設定
されていた初期しきい値（Ｔ１）に従って２値化し、表
示装置に表示する。
【００１９】表示装置に表示されるボールの画像は図２
に示すように、輝度の低い背景部分が黒、輝度の高いボ
ール部分１４が白で表示される。尚、実施例ではリング
照明１３にて照明光を斜め下方より照射しているので、
半田ボールの中央部分１５は輝度が低く黒く表示される
が、後述するボールの検出面積に含まれるものとする。
更に、現実の半田ボールより若干小さく（実施例では約
０．８倍）表示されている。図３の左端のボール画像で
ボール部分１４の外側の点線部分１６が正規の半田ボー
ルの大きさを示す。
に示すように、輝度の低い背景部分が黒、輝度の高いボ
ール部分１４が白で表示される。尚、実施例ではリング
照明１３にて照明光を斜め下方より照射しているので、
半田ボールの中央部分１５は輝度が低く黒く表示される
が、後述するボールの検出面積に含まれるものとする。
更に、現実の半田ボールより若干小さく（実施例では約
０．８倍）表示されている。図３の左端のボール画像で
ボール部分１４の外側の点線部分１６が正規の半田ボー
ルの大きさを示す。
【００２０】初期設定のしきい値（Ｔ１）により、ボー
ル検出手段３３によるボール検出プロセスで初期検査を
行う。図２に示すボールの画像の場合、第１段より第４
段までと第５段目左側第１ボール２１は全て適正との判
断がでるので、以上の部分はそのままボール判定手段３
４でのボール判定プロセスに移行する。図３に最下段
（第５段目）のボールの画像を抽出しているが、仮にこ
の状態でボール判定手段３４に移行するならば左より第
２ボール２２（実際にはボールではなくゴミである）が
真円度で不適、第３ボール２３がダブルボール又は位置
ずれで不適、第４及び第５ボール２４，２５が真円度又
は位置ずれで不適の判定となってしまう。
ル検出手段３３によるボール検出プロセスで初期検査を
行う。図２に示すボールの画像の場合、第１段より第４
段までと第５段目左側第１ボール２１は全て適正との判
断がでるので、以上の部分はそのままボール判定手段３
４でのボール判定プロセスに移行する。図３に最下段
（第５段目）のボールの画像を抽出しているが、仮にこ
の状態でボール判定手段３４に移行するならば左より第
２ボール２２（実際にはボールではなくゴミである）が
真円度で不適、第３ボール２３がダブルボール又は位置
ずれで不適、第４及び第５ボール２４，２５が真円度又
は位置ずれで不適の判定となってしまう。
【００２１】そこで本実施例では、ボール検出手段３３
で、白い固まりのボールとして検出された検出面積が所
定値以下の場合に、しきい値を変更するものとした。具
体的には検出ボール面積（Ｓ）が、正規ボール面積
（Ｂ）と設定割合（Ａ：実施例では０．７）の積より小
さい場合にはしきい値を変更する。すなわちＳ＜Ｂ＊Ａ
であるならばしきい値を変更するものとする。
で、白い固まりのボールとして検出された検出面積が所
定値以下の場合に、しきい値を変更するものとした。具
体的には検出ボール面積（Ｓ）が、正規ボール面積
（Ｂ）と設定割合（Ａ：実施例では０．７）の積より小
さい場合にはしきい値を変更する。すなわちＳ＜Ｂ＊Ａ
であるならばしきい値を変更するものとする。
【００２２】そこで、上記初期検査で検出ボール面積
（Ｓ）が正規ボール面積（Ｂ）の設定割合（Ａ）より小
さい対象ボールに対し、２値化するしきい値を変えて
（下げて）ボールを検出するのである。すなわち初期設
定しきい値（Ｔ１）に設定割合（Ｍ：どのくらいしきい
値を下げるかの割合で実施例では０．７）を乗じたしき
い値（Ｔ２）をしきい値設定手段３２により設定し、再
度の検査に移行する。尚、この変更されたしきい値（Ｔ
２）が初期設定しきい値（Ｔ１）の設定割合（Ｅ：下げ
るしきい値の限界の値で実施例では０．４）より小さく
なってはいけない。すなわち、Ｔｎ＜Ｔ１＊Ｅでないこ
とが必要である。
（Ｓ）が正規ボール面積（Ｂ）の設定割合（Ａ）より小
さい対象ボールに対し、２値化するしきい値を変えて
（下げて）ボールを検出するのである。すなわち初期設
定しきい値（Ｔ１）に設定割合（Ｍ：どのくらいしきい
値を下げるかの割合で実施例では０．７）を乗じたしき
い値（Ｔ２）をしきい値設定手段３２により設定し、再
度の検査に移行する。尚、この変更されたしきい値（Ｔ
２）が初期設定しきい値（Ｔ１）の設定割合（Ｅ：下げ
るしきい値の限界の値で実施例では０．４）より小さく
なってはいけない。すなわち、Ｔｎ＜Ｔ１＊Ｅでないこ
とが必要である。
【００２３】図４がしきい値変更でのボールの画像の変
化を示すもので、図３の第２乃至第５ボール２２，２
３，２４，２５に対してしきい値を下げて、しきい値
（Ｔ２）でボールを検出すると、図４第２段のように表
示装置に表示される。その中で第５ボール２５は、ボー
ルと認識されるのでボール判定手段３４でのボール判定
プロセスに移行する。
化を示すもので、図３の第２乃至第５ボール２２，２
３，２４，２５に対してしきい値を下げて、しきい値
（Ｔ２）でボールを検出すると、図４第２段のように表
示装置に表示される。その中で第５ボール２５は、ボー
ルと認識されるのでボール判定手段３４でのボール判定
プロセスに移行する。
【００２４】このとき第２乃至第４ボール２２，２３，
２４は未だ検出ボール面積（Ｓ）が正規ボール面積
（Ｂ）の設定割合（Ａ）より小さいので不適とされる。
図４第２段では、第２ボール乃至第４ボール２２，２
３，２４が不適であるので、再度しきい値を下げ、しき
い値（Ｔ３）でボール検出を行う。その結果、図４第３
段に示すように、第３及び第４のボール２３，２４は、
ボールとして検出され、ボール判定手段３４でのボール
判定プロセスに移行するが、第２ボール２２のみが検出
ボール面積（Ｓ）が正規ボール面積（Ｂ）の設定割合
（Ａ）より小さいのでボール判定プロセスに移行できな
い。
２４は未だ検出ボール面積（Ｓ）が正規ボール面積
（Ｂ）の設定割合（Ａ）より小さいので不適とされる。
図４第２段では、第２ボール乃至第４ボール２２，２
３，２４が不適であるので、再度しきい値を下げ、しき
い値（Ｔ３）でボール検出を行う。その結果、図４第３
段に示すように、第３及び第４のボール２３，２４は、
ボールとして検出され、ボール判定手段３４でのボール
判定プロセスに移行するが、第２ボール２２のみが検出
ボール面積（Ｓ）が正規ボール面積（Ｂ）の設定割合
（Ａ）より小さいのでボール判定プロセスに移行できな
い。
【００２５】第２ボール２２に対して、しきい値（Ｔ
ｎ）が初期設定しきい値（Ｔ１）と設定割合（Ｅ）の積
より小さくなるまでしきい値（Ｔｎ）を下げてボール検
出を繰り返し、それでも検出ボール面積（Ｓ）が正規ボ
ール面積（Ｂ）と設定割合（Ａ）の積より小さいため、
ボール検出をそこまででうち切り、ボール判定手段３４
でのボール判定プロセスへ移行する。この場合、ボール
ではなくゴミであると判断される。
ｎ）が初期設定しきい値（Ｔ１）と設定割合（Ｅ）の積
より小さくなるまでしきい値（Ｔｎ）を下げてボール検
出を繰り返し、それでも検出ボール面積（Ｓ）が正規ボ
ール面積（Ｂ）と設定割合（Ａ）の積より小さいため、
ボール検出をそこまででうち切り、ボール判定手段３４
でのボール判定プロセスへ移行する。この場合、ボール
ではなくゴミであると判断される。
【００２６】検出ボール面積（Ｓ）が正規ボール面積
（Ｂ）の設定割合（Ａ）と等しいか大きくなった場合、
又は、しきい値（Ｔｎ）が初期設定しきい値（Ｔ１）と
設定割合（Ｅ）の積より小さくなった場合には、ボール
検出手段３３でのボール検出プロセスは終了し、ボール
判定手段３４でのボール判定プロセスに移行する。
（Ｂ）の設定割合（Ａ）と等しいか大きくなった場合、
又は、しきい値（Ｔｎ）が初期設定しきい値（Ｔ１）と
設定割合（Ｅ）の積より小さくなった場合には、ボール
検出手段３３でのボール検出プロセスは終了し、ボール
判定手段３４でのボール判定プロセスに移行する。
【００２７】ボール判定手段３４で、ボール吸着ミスが
あった場合、ミッシングボールなら再度ボール供給装置
４へ移動し、吸着動作を繰り返す。ダブルボール等の余
剰ボールがあった場合には、ボール除去手段により余剰
ボールのある列を吸引除去した後、再度ボール供給装置
４へ移動し、吸着動作を繰り返す。
あった場合、ミッシングボールなら再度ボール供給装置
４へ移動し、吸着動作を繰り返す。ダブルボール等の余
剰ボールがあった場合には、ボール除去手段により余剰
ボールのある列を吸引除去した後、再度ボール供給装置
４へ移動し、吸着動作を繰り返す。
【００２８】異常がなかった場合には、ボールマウント
位置８へ移動し、マウントヘッド２は下降し、ボールマ
ウント位置８のウエハ上に半田ボールをマウントする。
位置８へ移動し、マウントヘッド２は下降し、ボールマ
ウント位置８のウエハ上に半田ボールをマウントする。
【００２９】
【発明の効果】本発明は、ボール検査装置が、画像取込
手段で取り込んだ取込画像に対して２値化するしきい値
を設定するしきい値設定手段と、取込画像から上記しき
い値によりボールを検出するボール検出手段とを備えて
おり、しきい値設定手段により２値化するしきい値を変
えて、ボール検出手段によりボールを検出するものであ
るので、取込画像上輝度の相違するボールが存在する場
合にも、正確なボール検査が可能となる。
手段で取り込んだ取込画像に対して２値化するしきい値
を設定するしきい値設定手段と、取込画像から上記しき
い値によりボールを検出するボール検出手段とを備えて
おり、しきい値設定手段により２値化するしきい値を変
えて、ボール検出手段によりボールを検出するものであ
るので、取込画像上輝度の相違するボールが存在する場
合にも、正確なボール検査が可能となる。
【００３０】又、しきい値設定手段により複数回のしき
い値を設定することで初期設定で粗いしきい値を設定し
た場合にも正確な検査が可能であり、更に、しきい値設
定手段が存在することにより、最初からしきい値を低く
設定する必要もなく、低いしきい値を設定した場合に比
べて高速な検査が可能である。
い値を設定することで初期設定で粗いしきい値を設定し
た場合にも正確な検査が可能であり、更に、しきい値設
定手段が存在することにより、最初からしきい値を低く
設定する必要もなく、低いしきい値を設定した場合に比
べて高速な検査が可能である。
【００３１】尚、実施例の効果ではあるが、半田ボール
の径を０．１ｍｍ乃至それ以下のものとすることにより
本発明の効果は特に顕著なものとなる。
の径を０．１ｍｍ乃至それ以下のものとすることにより
本発明の効果は特に顕著なものとなる。
【図１】半田ボールマウント装置の側面図
【図２】取込画像の説明図
【図３】初期検査での取込画像の部分拡大説明図
【図４】繰り返し検査での取込画像の部分拡大説明図
【図５】ボール検出過程を示すフロー図
１．．．．．．．．半田ボールマウント装置 ２．．．．．．．．マウントヘッド ３．．．．．．．．駆動機構 ４．．．．．．．．ボール供給装置 ５．．．．．．．．ワーク駆動機構 ６．．．．．．．．ボール検査装置 ７．．．．．．．．ボールトレイ ８．．．．．．．．ボールマウント位置 ９．．．．．．．．Ｚ軸駆動モータ １０．．．．．．．Ｙ軸駆動モータ １１．．．．．．．ウエハステージ １２．．．．．．．ＣＣＤカメラ １３．．．．．．．リング照明 １４．．．．．．．ボール部分 １５．．．．．．．中央部分 ２１．．．．．．．第１ボール ２２．．．．．．．第２ボール ２３．．．．．．．第３ボール ２４．．．．．．．第４ボール ２５．．．．．．．第５ボール ３０．．．．．．．制御部 ３１．．．．．．．取込画像記憶手段 ３２．．．．．．．しきい値設定手段 ３３．．．．．．．ボール検出手段 ３４．．．．．．．ボール判定手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菱沼 繁 石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株 式会社内 (72)発明者 橋野 英児 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 Ｆターム(参考） 2F065 AA48 AA49 AA51 AA58 AA61 BB07 CC26 DD04 DD06 FF42 GG17 HH12 HH14 JJ03 JJ26 PP00 PP12 PP13 QQ08 QQ21 QQ24 QQ25 QQ26 RR05 SS04 2G051 AA51 AA65 AB14 AC21 BA20 CA04 DA07 EA11 EA14 EB01 EB02 5C054 FC04 FC05 HA00 HA05
Claims (3)
- 【請求項１】ボールの画像を取り込む画像取込手段と、
該画像取込手段で取り込んだ取込画像に対して２値化す
るしきい値を設定するしきい値設定手段と、取込画像か
ら上記しきい値によりボールを検出するボール検出手段
と、ボール検出手段により検出されたボールの良否を判
定するボール判定手段とを備えたボール検査装置におい
て、しきい値設定手段により２値化するしきい値を変え
て、ボール検出手段によりボールを検出することを特徴
とするボール検査装置。 - 【請求項２】ボール検出手段により検出されたボールの
検出面積が所定値以下の場合にしきい値を変更するもの
である請求項１記載のボール検査装置。 - 【請求項３】ボールの画像取り込みの後、取込画像に対
して２値化するしきい値を所望回数変えて、ボールを検
出し、検出されたボールの良否を判定することを特徴と
するボール検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000397142A JP2002195960A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | ボール検査装置及びボール検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000397142A JP2002195960A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | ボール検査装置及びボール検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002195960A true JP2002195960A (ja) | 2002-07-10 |
Family
ID=18862313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000397142A Pending JP2002195960A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | ボール検査装置及びボール検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002195960A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008032553A1 (en) * | 2006-09-13 | 2008-03-20 | Towa Corporation | Method for inspecting mounting status of electronic component |
| CN102590228A (zh) * | 2012-02-10 | 2012-07-18 | 台达电子企业管理（上海）有限公司 | 检测带有电解电容的电路板的方法以及设备 |
| US8262457B2 (en) | 2007-11-01 | 2012-09-11 | Wms Gaming Inc. | Wagering game apparatus and method to provide a trusted gaming environment |
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| JP2000180374A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥検出方法 |
-
2000
- 2000-12-27 JP JP2000397142A patent/JP2002195960A/ja active Pending
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