JP2002188957A - 光パワーセンサ - Google Patents
光パワーセンサInfo
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光パワーセンサにおいて、光学系を大型化す
ることなく、測定し得る光パワーの上限を高める。 【解決手段】 被測定ファイバ２から出射した光を平行
光又は収束光に変換するレンズ４と、レンズ４で変換し
た平行光又は収束光を減衰する減衰フィルタ７と、減衰
フィルタ７で減衰した光を受光するフォトダイオード２
とを備える光パワーセンサ１０である。減衰フィルタ７
の手前には、表面反射により前記平行光又は収束光のパ
ワーを減衰する減衰用ガラス板７が少なくとも１枚以上
配置されている。
ることなく、測定し得る光パワーの上限を高める。 【解決手段】 被測定ファイバ２から出射した光を平行
光又は収束光に変換するレンズ４と、レンズ４で変換し
た平行光又は収束光を減衰する減衰フィルタ７と、減衰
フィルタ７で減衰した光を受光するフォトダイオード２
とを備える光パワーセンサ１０である。減衰フィルタ７
の手前には、表面反射により前記平行光又は収束光のパ
ワーを減衰する減衰用ガラス板７が少なくとも１枚以上
配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光のパワー測定に
用いられる光パワーセンサに関する。
用いられる光パワーセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光パワーセンサについて、図７を
参照しながら説明する。図７の光パワーセンサは主にハ
イパワーの光パワー測定に用いられるもので、被測定フ
ァイバ１から出射した光を平行光に変換するレンズ４
と、レンズ４で変換した平行光を減衰する減衰フィルタ
３（波長特性のフラットなＮＤフィルタが一般的）と、
減衰フィルタ３で減衰した光を受光するフォトダイオー
ド（受光素子）２とを備えて構成されている。減衰フィ
ルタ３とフォトダイオード２との間には、フォトダイオ
ード２の受光径内に光を集光するためのレンズ５が配置
されている。上記光パワーセンサにおいて、被測定ファ
イバ１から出射した光はレンズ４により平行光に変換さ
れた後、減衰フィルタ３により減衰され、その後、フォ
トダイオード２によって受光される。フォトダイオード
２は受光した光の強度に比例した電流を出力し、その出
力電流に基づいて図示省略の測定部が光のパワーを測定
する。
参照しながら説明する。図７の光パワーセンサは主にハ
イパワーの光パワー測定に用いられるもので、被測定フ
ァイバ１から出射した光を平行光に変換するレンズ４
と、レンズ４で変換した平行光を減衰する減衰フィルタ
３（波長特性のフラットなＮＤフィルタが一般的）と、
減衰フィルタ３で減衰した光を受光するフォトダイオー
ド（受光素子）２とを備えて構成されている。減衰フィ
ルタ３とフォトダイオード２との間には、フォトダイオ
ード２の受光径内に光を集光するためのレンズ５が配置
されている。上記光パワーセンサにおいて、被測定ファ
イバ１から出射した光はレンズ４により平行光に変換さ
れた後、減衰フィルタ３により減衰され、その後、フォ
トダイオード２によって受光される。フォトダイオード
２は受光した光の強度に比例した電流を出力し、その出
力電流に基づいて図示省略の測定部が光のパワーを測定
する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の光パワーセ
ンサでは、小型化のため、減衰フィルタ３に入射させる
光のビーム径を０．５ｍｍ前後に設定するのが一般的で
あるが、その場合、減衰フィルタ３の耐光入力から１０
〜２０ｄＢの減衰がやっとであった。例えば、２０ｄＢ
以上の減衰フィルタを用いた場合でも、膜のもつ吸収特
性により、膜自身が焼損してしまうおそれがあるため、
光パワーの上限が制限されていた。また、例えば、図８
に示すように、上記ビーム径を大きくすることで光のパ
ワー密度を低下させ結果的に減衰フィルタ３の耐光入力
限界を高めることも可能であるが、ビーム径を大きくす
るには、被測定ファイバ１の出射ＮＡ（ビームの広がり
角）が小さいため焦点距離の長い大口径レンズを各レン
ズ４、５に使用しなければならず、光学系が大型化して
しまうという問題点があった。
ンサでは、小型化のため、減衰フィルタ３に入射させる
光のビーム径を０．５ｍｍ前後に設定するのが一般的で
あるが、その場合、減衰フィルタ３の耐光入力から１０
〜２０ｄＢの減衰がやっとであった。例えば、２０ｄＢ
以上の減衰フィルタを用いた場合でも、膜のもつ吸収特
性により、膜自身が焼損してしまうおそれがあるため、
光パワーの上限が制限されていた。また、例えば、図８
に示すように、上記ビーム径を大きくすることで光のパ
ワー密度を低下させ結果的に減衰フィルタ３の耐光入力
限界を高めることも可能であるが、ビーム径を大きくす
るには、被測定ファイバ１の出射ＮＡ（ビームの広がり
角）が小さいため焦点距離の長い大口径レンズを各レン
ズ４、５に使用しなければならず、光学系が大型化して
しまうという問題点があった。
【０００４】本発明の課題は、光パワーセンサにおい
て、光学系を大型化することなく、測定し得る光パワー
の上限を高めることである。
て、光学系を大型化することなく、測定し得る光パワー
の上限を高めることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１に示すよう
に、被測定ファイバ２から出射した光を平行光又は収束
光に変換するレンズ４と、前記レンズで変換した平行光
又は収束光を減衰する減衰フィルタ７と、前記減衰フィ
ルタで減衰した光を受光する受光素子（例えば、フォト
ダイオード２など）とを備える光パワーセンサ１０にお
いて、前記減衰フィルタの手前に、表面反射により前記
平行光又は収束光のパワーを減衰する減衰用ガラス板７
を配置したことを特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１に示すよう
に、被測定ファイバ２から出射した光を平行光又は収束
光に変換するレンズ４と、前記レンズで変換した平行光
又は収束光を減衰する減衰フィルタ７と、前記減衰フィ
ルタで減衰した光を受光する受光素子（例えば、フォト
ダイオード２など）とを備える光パワーセンサ１０にお
いて、前記減衰フィルタの手前に、表面反射により前記
平行光又は収束光のパワーを減衰する減衰用ガラス板７
を配置したことを特徴とする。
【０００６】請求項１記載の発明によれば、減衰用ガラ
ス板で表面反射したフレネル反射光を減衰フィルタに入
射させるようにした（つまり、減衰用ガラス板で１次減
衰した光を減衰フィルタに入射させるようにした）の
で、減衰フィルタのみで測定光を減衰する場合に比べ
て、測定光の減衰量を大きくすることができる。しか
も、減衰フィルタに入射される前の段階で測定光のパワ
ーが弱められることとなるので、小径ビームであっても
減衰フィルタに焼損が生じ難い。従って、光学系を大型
化することなく、測定し得る光パワーの上限を高めるこ
とができる。また、減衰用ガラス板で表面反射したフレ
ネル反射光を光パワーの測定に利用するようにしたの
で、光パワーセンサの各構成部品を直線的に配置する従
来の場合と比べて、各構成部品を集約させることが可能
となり、全体の構造をコンパクトにすることができる。
ス板で表面反射したフレネル反射光を減衰フィルタに入
射させるようにした（つまり、減衰用ガラス板で１次減
衰した光を減衰フィルタに入射させるようにした）の
で、減衰フィルタのみで測定光を減衰する場合に比べ
て、測定光の減衰量を大きくすることができる。しか
も、減衰フィルタに入射される前の段階で測定光のパワ
ーが弱められることとなるので、小径ビームであっても
減衰フィルタに焼損が生じ難い。従って、光学系を大型
化することなく、測定し得る光パワーの上限を高めるこ
とができる。また、減衰用ガラス板で表面反射したフレ
ネル反射光を光パワーの測定に利用するようにしたの
で、光パワーセンサの各構成部品を直線的に配置する従
来の場合と比べて、各構成部品を集約させることが可能
となり、全体の構造をコンパクトにすることができる。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の光
パワーセンサにおいて、例えば、図４に示すように、前
記減衰フィルタの手前に前記減衰用ガラス板を複数枚
（例えば、２枚）配置したことを特徴とする。
パワーセンサにおいて、例えば、図４に示すように、前
記減衰フィルタの手前に前記減衰用ガラス板を複数枚
（例えば、２枚）配置したことを特徴とする。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、減衰フィル
タの手前に減衰用ガラス板を複数枚配置するようにした
ので、測定光の減衰量をさらに拡大することが可能とな
る。従って、測定し得る光パワーの上限をさらに高める
ことができる。
タの手前に減衰用ガラス板を複数枚配置するようにした
ので、測定光の減衰量をさらに拡大することが可能とな
る。従って、測定し得る光パワーの上限をさらに高める
ことができる。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１又は２に
記載の光パワーセンサにおいて、例えば、図１及び図２
に示すように、前記減衰用ガラス板７は、一方の端面が
他方の端面に対してくさび形に傾斜したウエッジ板７ａ
又は直角プリズム７ｂであることを特徴とする。
記載の光パワーセンサにおいて、例えば、図１及び図２
に示すように、前記減衰用ガラス板７は、一方の端面が
他方の端面に対してくさび形に傾斜したウエッジ板７ａ
又は直角プリズム７ｂであることを特徴とする。
【００１０】請求項３記載の発明によれば、減衰用ガラ
ス板をウエッジ板又は直角プリズムで構成するようにし
たので、減衰用ガラス板で表面反射するフレネル反射光
以外の不要光を強制的に光軸から逃がすことができ、不
要光が受光素子に入射するのを防止できる。従って、光
パワーの測定精度を高めることができる。
ス板をウエッジ板又は直角プリズムで構成するようにし
たので、減衰用ガラス板で表面反射するフレネル反射光
以外の不要光を強制的に光軸から逃がすことができ、不
要光が受光素子に入射するのを防止できる。従って、光
パワーの測定精度を高めることができる。
【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の光パワーセンサにおいて、前記減衰用ガラ
ス板の表面には反射防止膜が施されていることを特徴と
する。
れかに記載の光パワーセンサにおいて、前記減衰用ガラ
ス板の表面には反射防止膜が施されていることを特徴と
する。
【００１２】請求項４記載の発明によれば、減衰用ガラ
ス板の表面に反射防止膜を施すようにしたので、減衰用
ガラス板で表面反射するフレネル反射光の割合を減少さ
せることができる。従って、測定光の減衰量をさらに拡
大することが可能となる。
ス板の表面に反射防止膜を施すようにしたので、減衰用
ガラス板で表面反射するフレネル反射光の割合を減少さ
せることができる。従って、測定光の減衰量をさらに拡
大することが可能となる。
【００１３】請求項５記載の発明は、請求項１〜４の何
れかに記載の光パワーセンサにおいて、例えば、図３に
示すように、前記被測定ファイバと前記受光素子との間
に、当該光パワーセンサ内で生じる偏光依存性損失（Ｐ
ＤＬ；Polarization Dependent Loss ）を打ち消すため
のＰＤＬ打消用ガラス板６を配置したことを特徴とす
る。
れかに記載の光パワーセンサにおいて、例えば、図３に
示すように、前記被測定ファイバと前記受光素子との間
に、当該光パワーセンサ内で生じる偏光依存性損失（Ｐ
ＤＬ；Polarization Dependent Loss ）を打ち消すため
のＰＤＬ打消用ガラス板６を配置したことを特徴とす
る。
【００１４】請求項５記載の発明によれば、被測定ファ
イバと受光素子との間にＰＤＬ打消用ガラス板を配置す
るようにしたので、当該光パワーセンサ内で生じる偏光
依存性損失を打ち消すことができる。従って、光パワー
の測定に反射光を利用していても、偏光依存性の影響を
受け難くなり、それによる測定精度の低下を回避するこ
とができる。
イバと受光素子との間にＰＤＬ打消用ガラス板を配置す
るようにしたので、当該光パワーセンサ内で生じる偏光
依存性損失を打ち消すことができる。従って、光パワー
の測定に反射光を利用していても、偏光依存性の影響を
受け難くなり、それによる測定精度の低下を回避するこ
とができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図６の図面を参照しながら説明する。
て、図１〜図６の図面を参照しながら説明する。
【００１６】［第１の実施の形態］図１は本発明を適用
した第１の実施の形態の光パワーセンサの概略構成を示
す図である。この実施の形態の光パワーセンサ１０は、
被測定ファイバ１から出射した光を平行光（又は収束
光）に変換するレンズ４と、レンズ４で平行光（又は収
束光）に変換した光のパワーを表面反射により１次減衰
する減衰用ガラス板７と、減衰用ガラス板７で表面反射
したフレネル反射光を２次減衰する減衰フィルタ３と、
減衰フィルタ３で２次減衰した光を受光するフォトダイ
オード（受光素子）２とを備えて構成されている。減衰
用ガラス板７はくさび形のウエッジ板７ａにより構成さ
れ、レンズ４側の端面７ｃの向き（法線）が光軸に対し
て若干傾斜する状態で配置されている。減衰フィルタ３
には波長特性のフラットなＮＤフィルタが用いられ、減
衰フィルタ３とフォトダイオード２との間には、フォト
ダイオード２の受光径内に光を集光するためのレンズ５
が必要に応じて適宜配置される。
した第１の実施の形態の光パワーセンサの概略構成を示
す図である。この実施の形態の光パワーセンサ１０は、
被測定ファイバ１から出射した光を平行光（又は収束
光）に変換するレンズ４と、レンズ４で平行光（又は収
束光）に変換した光のパワーを表面反射により１次減衰
する減衰用ガラス板７と、減衰用ガラス板７で表面反射
したフレネル反射光を２次減衰する減衰フィルタ３と、
減衰フィルタ３で２次減衰した光を受光するフォトダイ
オード（受光素子）２とを備えて構成されている。減衰
用ガラス板７はくさび形のウエッジ板７ａにより構成さ
れ、レンズ４側の端面７ｃの向き（法線）が光軸に対し
て若干傾斜する状態で配置されている。減衰フィルタ３
には波長特性のフラットなＮＤフィルタが用いられ、減
衰フィルタ３とフォトダイオード２との間には、フォト
ダイオード２の受光径内に光を集光するためのレンズ５
が必要に応じて適宜配置される。
【００１７】上記の如く構成される光パワーセンサ１０
において、被測定ファイバ１から出射した光はレンズ４
により平行光に変換された後、減衰用ガラス板７に入射
し、その一部（例えば、全体の約４％）が減衰用ガラス
板７で表面反射して減衰フィルタ３に入射する。一方、
減衰用ガラス板７の表面７ｃを透過した不要光（例え
ば、全体の約９６％）は反対側の傾斜面７ｄを透過或い
は反射してそれぞれ光軸とは異なる方向に進行する。減
衰用ガラス板７で表面反射した光は減衰フィルタ３で２
次減衰された後、フォトダイオード２によって受光され
る。フォトダイオード２は受光した光のパワーに比例し
た電流を出力し、その出力電流に基づいて図示省略の測
定部が光のパワーを測定する。
において、被測定ファイバ１から出射した光はレンズ４
により平行光に変換された後、減衰用ガラス板７に入射
し、その一部（例えば、全体の約４％）が減衰用ガラス
板７で表面反射して減衰フィルタ３に入射する。一方、
減衰用ガラス板７の表面７ｃを透過した不要光（例え
ば、全体の約９６％）は反対側の傾斜面７ｄを透過或い
は反射してそれぞれ光軸とは異なる方向に進行する。減
衰用ガラス板７で表面反射した光は減衰フィルタ３で２
次減衰された後、フォトダイオード２によって受光され
る。フォトダイオード２は受光した光のパワーに比例し
た電流を出力し、その出力電流に基づいて図示省略の測
定部が光のパワーを測定する。
【００１８】つまり、この第１の実施の形態の光パワー
センサ１０によれば、減衰用ガラス板７で表面反射した
フレネル反射光（即ち、減衰用ガラス板７で１次減衰し
た光）を減衰フィルタ３に入射させるようにしたので、
減衰フィルタ３のみで測定光を減衰する場合に比べて、
測定光の減衰量を大きくすることができる。例えば、上
記フレネル反射光の割合を入射光の約４％（つまり、減
衰用ガラス板７による減衰量を１４ｄＢ）、減衰フィル
タ３の減衰量を約２０ｄＢとした場合、フォトダイオー
ド２に受光されるまでに減衰される測定光の減衰量は、
約３４ｄＢとなる。また、この第１の実施の形態の光パ
ワーセンサ１０によれば、減衰フィルタ３に入射される
前の段階で測定光のパワーが弱められることとなるの
で、小径ビームであっても減衰フィルタ３に焼損が生じ
難い。従って、光学系を大型化することなく、測定し得
る光パワーの上限を高めることができる。また、減衰用
ガラス板７で表面反射したフレネル反射光を光パワーの
測定に利用するようにしたので、光パワーセンサ１０の
各構成部品（フォトダイオード２、減衰フィルタ３、レ
ンズ４、５など）を直線的に配置する従来の場合（図
７）と比べて、各構成部品を集約させることが可能とな
り、全体の構造をコンパクトにすることができる。さら
に、減衰用ガラス板７をウエッジ板７ａで構成するよう
にしたので、減衰用ガラス板７で表面反射するフレネル
反射光以外の不要光を強制的に光軸から逃がすことがで
き、不要光がフォトダイオード２に入射するのを防止で
きる。従って、光パワーの測定精度を高めることができ
る。
センサ１０によれば、減衰用ガラス板７で表面反射した
フレネル反射光（即ち、減衰用ガラス板７で１次減衰し
た光）を減衰フィルタ３に入射させるようにしたので、
減衰フィルタ３のみで測定光を減衰する場合に比べて、
測定光の減衰量を大きくすることができる。例えば、上
記フレネル反射光の割合を入射光の約４％（つまり、減
衰用ガラス板７による減衰量を１４ｄＢ）、減衰フィル
タ３の減衰量を約２０ｄＢとした場合、フォトダイオー
ド２に受光されるまでに減衰される測定光の減衰量は、
約３４ｄＢとなる。また、この第１の実施の形態の光パ
ワーセンサ１０によれば、減衰フィルタ３に入射される
前の段階で測定光のパワーが弱められることとなるの
で、小径ビームであっても減衰フィルタ３に焼損が生じ
難い。従って、光学系を大型化することなく、測定し得
る光パワーの上限を高めることができる。また、減衰用
ガラス板７で表面反射したフレネル反射光を光パワーの
測定に利用するようにしたので、光パワーセンサ１０の
各構成部品（フォトダイオード２、減衰フィルタ３、レ
ンズ４、５など）を直線的に配置する従来の場合（図
７）と比べて、各構成部品を集約させることが可能とな
り、全体の構造をコンパクトにすることができる。さら
に、減衰用ガラス板７をウエッジ板７ａで構成するよう
にしたので、減衰用ガラス板７で表面反射するフレネル
反射光以外の不要光を強制的に光軸から逃がすことがで
き、不要光がフォトダイオード２に入射するのを防止で
きる。従って、光パワーの測定精度を高めることができ
る。
【００１９】なお、この第１の実施の形態では、減衰用
ガラス板７をウエッジ板７ａで構成するようにしたが、
これに限られるものではなく、互いに傾斜した２端面を
有するガラス板であれば如何なるものであってもよい。
例えば、図２に示すように、減衰用ガラス板７を直角プ
リズム７ｂによって構成することも可能である。また、
例えば、減衰用ガラス板７の表面７ｃに誘電体多層膜等
からなる反射防止膜（ＡＲコート）を施すようにしても
よく、そうすることで、減衰用ガラス板７で表面反射す
る割合を減少させて、１次減衰量をさらに大きくするこ
とも可能である。
ガラス板７をウエッジ板７ａで構成するようにしたが、
これに限られるものではなく、互いに傾斜した２端面を
有するガラス板であれば如何なるものであってもよい。
例えば、図２に示すように、減衰用ガラス板７を直角プ
リズム７ｂによって構成することも可能である。また、
例えば、減衰用ガラス板７の表面７ｃに誘電体多層膜等
からなる反射防止膜（ＡＲコート）を施すようにしても
よく、そうすることで、減衰用ガラス板７で表面反射す
る割合を減少させて、１次減衰量をさらに大きくするこ
とも可能である。
【００２０】［第２の実施の形態］図３は本発明を適用
した第２の実施の形態の光パワーセンサの概略構成を示
す図である。第２の実施の形態の光パワーセンサ１１は
該光パワーセンサ１１内で生じる偏光依存性損失（ＰＤ
Ｌ；Polarization Dependent Loss ）を打ち消すための
ＰＤＬ打消用ガラス板６を、被測定ファイバ１とフォト
ダイオード２との間に備える構成となっている。ＰＤＬ
打消用ガラス板６は光軸に対して傾けた状態、具体的に
は、減衰用ガラス板７、レンズ４、減衰フィルタ３、被
測定ファイバ１及びフォトダイオード２等の光学部品を
経由する過程で生じる偏光依存性損失を打ち消す向きに
傾けた状態で配置されている。
した第２の実施の形態の光パワーセンサの概略構成を示
す図である。第２の実施の形態の光パワーセンサ１１は
該光パワーセンサ１１内で生じる偏光依存性損失（ＰＤ
Ｌ；Polarization Dependent Loss ）を打ち消すための
ＰＤＬ打消用ガラス板６を、被測定ファイバ１とフォト
ダイオード２との間に備える構成となっている。ＰＤＬ
打消用ガラス板６は光軸に対して傾けた状態、具体的に
は、減衰用ガラス板７、レンズ４、減衰フィルタ３、被
測定ファイバ１及びフォトダイオード２等の光学部品を
経由する過程で生じる偏光依存性損失を打ち消す向きに
傾けた状態で配置されている。
【００２１】従って、光パワーの測定に反射光を利用し
ていても、偏光依存性の影響を受け難くなり、それによ
る測定精度の低下を回避することができる。なお、ＰＤ
Ｌ打消用ガラス板６は、互いに平行な２端面を有するフ
ラットなガラス板によって構成することも可能である
が、ウエッジ板で構成することが望ましい。そうするこ
とで、ＰＤＬ打消用ガラス板６内での多重反射光を光軸
に対し強制的に逃がすことができると共に、板厚の連続
的な変化によって特定波長での共振を抑え、干渉を防止
することができる。
ていても、偏光依存性の影響を受け難くなり、それによ
る測定精度の低下を回避することができる。なお、ＰＤ
Ｌ打消用ガラス板６は、互いに平行な２端面を有するフ
ラットなガラス板によって構成することも可能である
が、ウエッジ板で構成することが望ましい。そうするこ
とで、ＰＤＬ打消用ガラス板６内での多重反射光を光軸
に対し強制的に逃がすことができると共に、板厚の連続
的な変化によって特定波長での共振を抑え、干渉を防止
することができる。
【００２２】［第３の実施の形態］図４は本発明を適用
した第３の実施の形態の光パワーセンサの概略構成を示
す図である。第３の実施の形態の光パワーセンサ１２は
減衰フィルタ３の手前に減衰用ガラス板を複数枚備える
構成となっている。上記の如く構成される光パワーセン
サ１２において、被測定ファイバ１から出射した光はレ
ンズ４により平行光に変換された後、第１の減衰用ガラ
ス板７に入射し、その一部が第１の減衰用ガラス板７で
表面反射して第２の減衰用ガラス板８に入射する。そし
て、第２の減衰用ガラス板８に入射した光の一部が第２
の減衰用ガラス板８で表面反射して減衰フィルタ３に入
射する。即ち、第１の減衰用ガラス板７、第２の減衰用
ガラス板８及び減衰フィルタ３の各々によって測定光が
順次減衰されることとなる。従って、測定光の減衰量を
さらに拡大することができ、これによって、測定し得る
光パワーの上限をさらに高めることができる。
した第３の実施の形態の光パワーセンサの概略構成を示
す図である。第３の実施の形態の光パワーセンサ１２は
減衰フィルタ３の手前に減衰用ガラス板を複数枚備える
構成となっている。上記の如く構成される光パワーセン
サ１２において、被測定ファイバ１から出射した光はレ
ンズ４により平行光に変換された後、第１の減衰用ガラ
ス板７に入射し、その一部が第１の減衰用ガラス板７で
表面反射して第２の減衰用ガラス板８に入射する。そし
て、第２の減衰用ガラス板８に入射した光の一部が第２
の減衰用ガラス板８で表面反射して減衰フィルタ３に入
射する。即ち、第１の減衰用ガラス板７、第２の減衰用
ガラス板８及び減衰フィルタ３の各々によって測定光が
順次減衰されることとなる。従って、測定光の減衰量を
さらに拡大することができ、これによって、測定し得る
光パワーの上限をさらに高めることができる。
【００２３】なお、この第３の実施の形態では、各減衰
用ガラス板７、８をウエッジ板７ａ、８ａで構成するよ
うにしたが、例えば、図５に示すように、直角プリズム
７ｂ、８ｂで構成することも可能である。また、図６に
示すように、被測定ファイバ１とフォトダイオード２と
の間に前述したＰＤＬ打消用ガラス板６を配置するよう
にしてもよい。その他、具体的な細部構造等についても
本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可能である
ことは勿論である。
用ガラス板７、８をウエッジ板７ａ、８ａで構成するよ
うにしたが、例えば、図５に示すように、直角プリズム
７ｂ、８ｂで構成することも可能である。また、図６に
示すように、被測定ファイバ１とフォトダイオード２と
の間に前述したＰＤＬ打消用ガラス板６を配置するよう
にしてもよい。その他、具体的な細部構造等についても
本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可能である
ことは勿論である。
【００２４】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、減衰フィ
ルタのみで測定光を減衰する場合に比べて、測定光の減
衰量を大きくすることが可能となる。また、小径ビーム
であっても減衰フィルタに焼損が生じ難い。従って、光
学系を大型化することなく、測定し得る光パワーの上限
を高めることができる。請求項２記載の発明によれば、
測定光の減衰量をさらに拡大することが可能となる。請
求項３記載の発明によれば、不要光を強制的に光軸から
逃がすことができ、不要光が受光素子に入射するのを防
止できる。請求項４記載の発明によれば、減衰用ガラス
板で表面反射するフレネル反射光の割合を減少させるこ
とができる。従って、測定光の減衰量をさらに拡大する
ことが可能となる。請求項５記載の発明によれば、当該
光パワーセンサ内で生じる偏光依存性損失を打ち消すこ
とができる。従って、光パワーの測定に反射光を利用し
ていても、偏光依存性の影響を受け難くなり、それによ
る測定精度の低下を回避することができる。
ルタのみで測定光を減衰する場合に比べて、測定光の減
衰量を大きくすることが可能となる。また、小径ビーム
であっても減衰フィルタに焼損が生じ難い。従って、光
学系を大型化することなく、測定し得る光パワーの上限
を高めることができる。請求項２記載の発明によれば、
測定光の減衰量をさらに拡大することが可能となる。請
求項３記載の発明によれば、不要光を強制的に光軸から
逃がすことができ、不要光が受光素子に入射するのを防
止できる。請求項４記載の発明によれば、減衰用ガラス
板で表面反射するフレネル反射光の割合を減少させるこ
とができる。従って、測定光の減衰量をさらに拡大する
ことが可能となる。請求項５記載の発明によれば、当該
光パワーセンサ内で生じる偏光依存性損失を打ち消すこ
とができる。従って、光パワーの測定に反射光を利用し
ていても、偏光依存性の影響を受け難くなり、それによ
る測定精度の低下を回避することができる。
【図１】本発明を適用した第１の実施の形態の光パワー
センサの概略構成を示す図である。
センサの概略構成を示す図である。
【図２】図１の光パワーセンサの変形例を示す図であ
る。
る。
【図３】本発明を適用した第２の実施の形態の光パワー
センサの概略構成を示す図である。
センサの概略構成を示す図である。
【図４】本発明を適用した第３の実施の形態の光パワー
センサの概略構成を示す図である。
センサの概略構成を示す図である。
【図５】図４の光パワーセンサの変形例を示す図であ
る。
る。
【図６】図４の光パワーセンサの変形例を示す図であ
る。
る。
【図７】従来の光パワーセンサの概略構成を示す図であ
る。
る。
【図８】図７の光パワーセンサの変形例を示す図であ
る。
る。
１ 被測定ファイバ ２ フォトダイオード（受光素子） ３ 減衰フィルタ ４、５ レンズ ６ ＰＤＬ打消用ガラス板 ７、８ 減衰用ガラス板 １０、１１、１２ 光パワーセンサ
Claims (5)
- 【請求項１】被測定ファイバから出射した光を平行光又
は収束光に変換するレンズと、 前記レンズで変換した平行光又は収束光を減衰する減衰
フィルタと、 前記減衰フィルタで減衰した光を受光する受光素子とを
備える光パワーセンサにおいて、 前記減衰フィルタの手前に、表面反射により前記平行光
又は収束光のパワーを減衰する減衰用ガラス板を配置し
たことを特徴とする光パワーセンサ。 - 【請求項２】前記減衰フィルタの手前に前記減衰用ガラ
ス板を複数枚配置したことを特徴とする請求項１記載の
光パワーセンサ。 - 【請求項３】前記減衰用ガラス板は、一方の端面が他方
の端面に対してくさび形に傾斜したウエッジ板又は直角
プリズムであることを特徴とする請求項１又は２に記載
の光パワーセンサ。 - 【請求項４】前記減衰用ガラス板の表面には反射防止膜
が施されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか
に記載の光パワーセンサ。 - 【請求項５】前記被測定ファイバと前記受光素子との間
に、当該光パワーセンサ内で生じる偏光依存性損失（Ｐ
ＤＬ；Polarization Dependent Loss ）を打ち消すため
のＰＤＬ打消用ガラス板を配置したことを特徴とする請
求項１〜４の何れかに記載の光パワーセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000389179A JP2002188957A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 光パワーセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000389179A JP2002188957A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 光パワーセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002188957A true JP2002188957A (ja) | 2002-07-05 |
Family
ID=18855783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000389179A Withdrawn JP2002188957A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 光パワーセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002188957A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190022337A (ko) * | 2017-08-25 | 2019-03-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 빔 프로파일러 유닛 및 레이저 가공 장치 |
-
2000
- 2000-12-21 JP JP2000389179A patent/JP2002188957A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190022337A (ko) * | 2017-08-25 | 2019-03-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 빔 프로파일러 유닛 및 레이저 가공 장치 |
| JP2019039830A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | 株式会社ディスコ | レーザービームプロファイラユニット及びレーザー加工装置 |
| KR102480251B1 (ko) * | 2017-08-25 | 2022-12-21 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 빔 프로파일러 유닛 및 레이저 가공 장치 |
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