JP3208996B2 - 偏光依存性の少ない受光方法および受光モジュール - Google Patents
偏光依存性の少ない受光方法および受光モジュールInfo
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3066—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state involving the reflection of light at a particular angle of incidence, e.g. Brewster's angle
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、偏光依存性の少ない
受光方法および受光モジュールについてのものである。
受光モジュールは各種光学部品の偏光特性の評価に用い
られる。
受光方法および受光モジュールについてのものである。
受光モジュールは各種光学部品の偏光特性の評価に用い
られる。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術による受光モジュールの
構成を図８により説明する。図８の２は受光素子であ
り、１Ａは受光素子２の受光面２Ａに照射する入射光で
ある。受光素子２は入射光１Ａを電気信号に変換して入
射光１Ａの光出力を測定する。
構成を図８により説明する。図８の２は受光素子であ
り、１Ａは受光素子２の受光面２Ａに照射する入射光で
ある。受光素子２は入射光１Ａを電気信号に変換して入
射光１Ａの光出力を測定する。
【０００３】図８では、入射光１Ａの光軸に対し受光素
子２の受光面２Ａを数度傾けて入射光１Ａを受光してい
る。受光面２Ａで反射した光が光源側に戻ると、例え
ば、レーザ光では光源側の特性が劣化するので、正確な
光出力が測定できなくなる。このように受光素子を傾け
て反射光による特性の劣化を防止する方法は、例えば、
特公昭54-181号公報に記載されている。
子２の受光面２Ａを数度傾けて入射光１Ａを受光してい
る。受光面２Ａで反射した光が光源側に戻ると、例え
ば、レーザ光では光源側の特性が劣化するので、正確な
光出力が測定できなくなる。このように受光素子を傾け
て反射光による特性の劣化を防止する方法は、例えば、
特公昭54-181号公報に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図８では、入射光１Ａ
の光出力が変化しないとしても、光出力を高精度に測定
すると、入射光１Ａの偏光状態や波長の変化が無視でき
なくなる。図８では、入射光１Ａの光軸に対する受光素
子２の傾きにより、屈折率差の生じる受光素子２の受光
面２Ａにおいて、入射光１Ａの偏光状態に対する透過光
量の差が生ずる。なお、ここでいう透過光量とは、入射
光１Ａの全光量から反射光量を引いた光量で、受光素子
２で検出される光量である。
の光出力が変化しないとしても、光出力を高精度に測定
すると、入射光１Ａの偏光状態や波長の変化が無視でき
なくなる。図８では、入射光１Ａの光軸に対する受光素
子２の傾きにより、屈折率差の生じる受光素子２の受光
面２Ａにおいて、入射光１Ａの偏光状態に対する透過光
量の差が生ずる。なお、ここでいう透過光量とは、入射
光１Ａの全光量から反射光量を引いた光量で、受光素子
２で検出される光量である。
【０００５】図９は、入射光１Ａの光軸に対して受光素
子２の受光面２Ａを傾けた場合に、受光素子２が得る光
出力と、受光面２Ａを入射光１Ａの光軸を中心に回転し
たときの回転角度の関係を示している。また、ここでい
う入射光１Ａは直線偏光である。縦軸は受光素子２が得
る光出力であり、横軸は偏波回転角である。図９では、
受光面２Ａを光軸に対して４度傾けた場合に、後述する
偏光依存性は約0.006ｄＢとなる。
子２の受光面２Ａを傾けた場合に、受光素子２が得る光
出力と、受光面２Ａを入射光１Ａの光軸を中心に回転し
たときの回転角度の関係を示している。また、ここでい
う入射光１Ａは直線偏光である。縦軸は受光素子２が得
る光出力であり、横軸は偏波回転角である。図９では、
受光面２Ａを光軸に対して４度傾けた場合に、後述する
偏光依存性は約0.006ｄＢとなる。
【０００６】図９に示されるように、光出力が一定な入
射光１Ａであっても、偏光状態の変化に伴い、最終的に
受光素子２で検出される光出力が変動してしまうという
問題がある。なお、この変動量を以下、偏光依存性と呼
ぶこととする。
射光１Ａであっても、偏光状態の変化に伴い、最終的に
受光素子２で検出される光出力が変動してしまうという
問題がある。なお、この変動量を以下、偏光依存性と呼
ぶこととする。
【０００７】この発明は、受光素子を入射光の光軸に対
して任意の角度傾けた場合に生ずる偏光依存性を低減
し、入射光の偏光状態変化の影響を受けにくい受光方法
および受光モジュールを提供することを目的とする。
して任意の角度傾けた場合に生ずる偏光依存性を低減
し、入射光の偏光状態変化の影響を受けにくい受光方法
および受光モジュールを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、入射光１
Ａの光軸に対して受光素子２の受光面２Ａを傾けて配置
し、入射光１Ａの光出力を測定する場合に、受光素子２
の受光面２Ａに近接しかつ入射光１Ａの光軸に対して光
透過板３を傾けて配置し、光透過板３を受光素子２の受
光面２Ａの傾きにより生ずる偏光依存性と光透過板３の
傾きにより生ずる偏光依存性とが同じ値になる角度に傾
け、かつ、光透過板３の傾け方向を受光素子２の受光面
２Ａの傾け方向に対して９０度ねじれの位置関係に保持
する。
Ａの光軸に対して受光素子２の受光面２Ａを傾けて配置
し、入射光１Ａの光出力を測定する場合に、受光素子２
の受光面２Ａに近接しかつ入射光１Ａの光軸に対して光
透過板３を傾けて配置し、光透過板３を受光素子２の受
光面２Ａの傾きにより生ずる偏光依存性と光透過板３の
傾きにより生ずる偏光依存性とが同じ値になる角度に傾
け、かつ、光透過板３の傾け方向を受光素子２の受光面
２Ａの傾け方向に対して９０度ねじれの位置関係に保持
する。
【０００９】第２の発明は、光ファイバ４と受光素子２
の受光面２Ａを近接して配置し、光ファイバ４の出射光
４Ａの光軸に対して受光面２Ａを傾けて形成し、出射光
４Ａの光出力を測定する場合に、光ファイバ４の出射端
面４Ｂを出射光１Ａの光軸に対して傾けて成形し、光フ
ァイバ４の出射端面４Ｂを受光素子２の受光面２Ａの傾
きに生ずる偏光依存性と光ファイバ４の出射端面４Ｂの
傾きにより生ずる偏光依存性とが同じ値になる角度に傾
け、かつ、光ファイバ４の出射端面４Ｂの傾け方向が受
光素子２の受光面２Ａの傾け方向に対して９０度ねじれ
の位置関係に保持する。
の受光面２Ａを近接して配置し、光ファイバ４の出射光
４Ａの光軸に対して受光面２Ａを傾けて形成し、出射光
４Ａの光出力を測定する場合に、光ファイバ４の出射端
面４Ｂを出射光１Ａの光軸に対して傾けて成形し、光フ
ァイバ４の出射端面４Ｂを受光素子２の受光面２Ａの傾
きに生ずる偏光依存性と光ファイバ４の出射端面４Ｂの
傾きにより生ずる偏光依存性とが同じ値になる角度に傾
け、かつ、光ファイバ４の出射端面４Ｂの傾け方向が受
光素子２の受光面２Ａの傾け方向に対して９０度ねじれ
の位置関係に保持する。
【００１０】
【作用】第１の発明では、光透過板３は受光素子２で生
ずる偏光依存性と同じ値になるように傾けられ、かつ、
受光素子２の傾け方向に対し９０度ねじれの位置関係と
なるように取り付けられているため、入射光１Ａの偏光
状態が変化したとしても、互いに発生する偏光依存性が
打ち消し合い全体としての入射光１Ａの偏光依存性は抑
圧される。
ずる偏光依存性と同じ値になるように傾けられ、かつ、
受光素子２の傾け方向に対し９０度ねじれの位置関係と
なるように取り付けられているため、入射光１Ａの偏光
状態が変化したとしても、互いに発生する偏光依存性が
打ち消し合い全体としての入射光１Ａの偏光依存性は抑
圧される。
【００１１】第２の発明では、光ファイバ４の出射端面
４Ｂを受光素子２の傾けにより発生した偏光依存性と同
じ偏光依存性となるような角度に配置し、さらに、出射
端面４Ｂを受光素子２の傾け方向に対し９０度ねじれの
位置関係となるように配置することで、受光素子２の傾
けにより生じた偏光依存性を光ファイバ４の出射端面４
Ｂで生じる偏光依存性で打ち消す。
４Ｂを受光素子２の傾けにより発生した偏光依存性と同
じ偏光依存性となるような角度に配置し、さらに、出射
端面４Ｂを受光素子２の傾け方向に対し９０度ねじれの
位置関係となるように配置することで、受光素子２の傾
けにより生じた偏光依存性を光ファイバ４の出射端面４
Ｂで生じる偏光依存性で打ち消す。
【００１２】
【実施例】次に、第１の発明による受光方法を図１によ
り説明する。図１の３は光透過板であり、その他は図８
と同じものである。なお、以下、特に記述の無い場合、
入射光は平行光とし、光透過板３は平行平面ガラス板を
使用するものとする。
り説明する。図１の３は光透過板であり、その他は図８
と同じものである。なお、以下、特に記述の無い場合、
入射光は平行光とし、光透過板３は平行平面ガラス板を
使用するものとする。
【００１３】図１では、入射光１Ａはガラス板３を透過
した後、受光素子２に入射する。受光素子２は、受光面
２Ａでの反射光が光源側へ戻るのを防止するため、入射
光１Ａの光軸に対して数度傾けられている。しかし、傾
け角すなわち入射光１Ａの入射角と、空気と受光素子２
の屈折率差により偏光依存性を生ずる。
した後、受光素子２に入射する。受光素子２は、受光面
２Ａでの反射光が光源側へ戻るのを防止するため、入射
光１Ａの光軸に対して数度傾けられている。しかし、傾
け角すなわち入射光１Ａの入射角と、空気と受光素子２
の屈折率差により偏光依存性を生ずる。
【００１４】ここで、屈折率の異なる界面で生ずる偏光
依存性は、次の数式１により求めることができる。
依存性は、次の数式１により求めることができる。
【数１】
【００１５】図２は、数式１により求めた、ガラス板
（ｎ＝1.45）の入射角に対する偏光依存性の関係を示
す。
（ｎ＝1.45）の入射角に対する偏光依存性の関係を示
す。
【００１６】例えば、２つの傾斜した界面が９０度ねじ
れの位置関係にあるとき、入射した直線偏光は、片方の
面に対して電界が垂直のときには、必ずもう片方の面に
対しては水平である。したがって、個々の界面で生じた
偏光依存性は、入射角の傾き方向が同一方向の場合には
加算され、９０度ねじれの位置関係にあるときには打ち
消し合うことになる。
れの位置関係にあるとき、入射した直線偏光は、片方の
面に対して電界が垂直のときには、必ずもう片方の面に
対しては水平である。したがって、個々の界面で生じた
偏光依存性は、入射角の傾き方向が同一方向の場合には
加算され、９０度ねじれの位置関係にあるときには打ち
消し合うことになる。
【００１７】図１では、ガラス板３は、受光素子２で生
じた偏光依存性と同じ偏光依存性となるよう図２から求
めた角度だけ傾けられ、さらに、ガラス板３の傾け方向
を受光素子２の傾け方向に対して９０度ねじれの位置関
係となるように配置されている。例えば、受光素子２の
偏光依存性が0.006ｄＢｐ−ｐである場合、図２から、
ガラス板２を５度傾ける。
じた偏光依存性と同じ偏光依存性となるよう図２から求
めた角度だけ傾けられ、さらに、ガラス板３の傾け方向
を受光素子２の傾け方向に対して９０度ねじれの位置関
係となるように配置されている。例えば、受光素子２の
偏光依存性が0.006ｄＢｐ−ｐである場合、図２から、
ガラス板２を５度傾ける。
【００１８】図３は受光素子２とガラス板３の偏光依存
性と偏波回転角の関係を示したものである。図３アはガ
ラス板３の偏光依存性を示し、図３イは受光素子２の偏
光依存性を示している。図３では、入射光１Ａの偏光状
態が変化したとしても、受光素子２で生ずる偏光依存性
とガラス板２で生ずる偏光依存性が図３のように逆位相
となるため打ち消され、図３ウの状態になる。
性と偏波回転角の関係を示したものである。図３アはガ
ラス板３の偏光依存性を示し、図３イは受光素子２の偏
光依存性を示している。図３では、入射光１Ａの偏光状
態が変化したとしても、受光素子２で生ずる偏光依存性
とガラス板２で生ずる偏光依存性が図３のように逆位相
となるため打ち消され、図３ウの状態になる。
【００１９】次に、第１の発明による第１の実施例の受
光モジュール５を図４の構成図により説明する。入射光
１Ａを受光素子２で受光する場合、受光素子２は入射光
１Ａの光軸に対し通常４度以上傾けられる。一方、入射
光１Ａの入射角と受光素子２の界面における空気と受光
素子２の屈折率差から、偏光依存性を生ずる。
光モジュール５を図４の構成図により説明する。入射光
１Ａを受光素子２で受光する場合、受光素子２は入射光
１Ａの光軸に対し通常４度以上傾けられる。一方、入射
光１Ａの入射角と受光素子２の界面における空気と受光
素子２の屈折率差から、偏光依存性を生ずる。
【００２０】図４では、受光素子２の受光面２Ａは４度
傾けられた状態でステム５Ａの内底部に固定される。受
光面２Ａを４度傾けた場合の偏光依存性は、受光素子に
ゲルマニウムを使用したときおよそ0.006ｄＢｐ−ｐと
なる。
傾けられた状態でステム５Ａの内底部に固定される。受
光面２Ａを４度傾けた場合の偏光依存性は、受光素子に
ゲルマニウムを使用したときおよそ0.006ｄＢｐ−ｐと
なる。
【００２１】図４では、受光面２Ａの傾けにより生じる
偏光依存性と、ガラス板３１により生じる偏光依存性と
が同じ値になるように、ガラス板３１をキャップ５Ｂの
窓５Ｃに傾けて固定する。さらに、キャップ５Ｂに固定
されたガラス板３１の傾け方向が、受光素子２の傾け方
向に対して９０度ねじれの位置関係となるよう調整され
た後、キャップ５Ｂはステム５Ａに封止される。ガラス
板３１の屈折率をｎ＝1.45とすれば、図２の特性曲線か
ら、ガラス板３１を約５度傾けてキャップ５Ｂに固定す
ればよい。
偏光依存性と、ガラス板３１により生じる偏光依存性と
が同じ値になるように、ガラス板３１をキャップ５Ｂの
窓５Ｃに傾けて固定する。さらに、キャップ５Ｂに固定
されたガラス板３１の傾け方向が、受光素子２の傾け方
向に対して９０度ねじれの位置関係となるよう調整され
た後、キャップ５Ｂはステム５Ａに封止される。ガラス
板３１の屈折率をｎ＝1.45とすれば、図２の特性曲線か
ら、ガラス板３１を約５度傾けてキャップ５Ｂに固定す
ればよい。
【００２２】図４の光モジュール５は、ガラス板３１が
受光素子２で生ずる偏光依存性と同じ値になるように傾
けられ、かつ、ガラス板３１が受光面２Ａの傾け方向に
対して９０度ねじれの位置関係となるように取り付けら
れている。したがって、光モジュール５に入射する光の
偏光状態が変化したとしても、互いに発生する偏光依存
性が打ち消し合い全体としての偏光依存性は抑圧され
る。
受光素子２で生ずる偏光依存性と同じ値になるように傾
けられ、かつ、ガラス板３１が受光面２Ａの傾け方向に
対して９０度ねじれの位置関係となるように取り付けら
れている。したがって、光モジュール５に入射する光の
偏光状態が変化したとしても、互いに発生する偏光依存
性が打ち消し合い全体としての偏光依存性は抑圧され
る。
【００２３】次に、第１の発明による第２の実施例の受
光モジュール６を図５の構成図により説明する。第１の
実施例の受光モジュール５では、光透過板として平行平
面ガラス板を用いて受光素子２の偏光依存性を打ち消し
ている。しかし、平行平面ガラス板では入射光のコヒー
レンシーが高い場合、干渉を生じる。干渉は、平行平面
板を平行光が透過する際、２面間での多重反射によって
生じ、波長や板厚の変化に対し周期的な変動を引き起こ
す。すなわち、干渉が生じた条件下では、偏光依存性を
打ち消しても波長変化により検出光出力が変動してしま
う。
光モジュール６を図５の構成図により説明する。第１の
実施例の受光モジュール５では、光透過板として平行平
面ガラス板を用いて受光素子２の偏光依存性を打ち消し
ている。しかし、平行平面ガラス板では入射光のコヒー
レンシーが高い場合、干渉を生じる。干渉は、平行平面
板を平行光が透過する際、２面間での多重反射によって
生じ、波長や板厚の変化に対し周期的な変動を引き起こ
す。すなわち、干渉が生じた条件下では、偏光依存性を
打ち消しても波長変化により検出光出力が変動してしま
う。
【００２４】こうした、平行平面板による干渉を防止す
るためウェッジ板を用いる方法が考えられる。ウェッジ
板は、片側の面に対しもう片側の面が角度をもったくさ
び形のガラス板で、板内での多重反射光を光軸に対し強
制的に逃がすとともに板厚の連続的な変化によって特定
波長での共振を抑え、透過光量の変動を平均化すること
で干渉を防止している。
るためウェッジ板を用いる方法が考えられる。ウェッジ
板は、片側の面に対しもう片側の面が角度をもったくさ
び形のガラス板で、板内での多重反射光を光軸に対し強
制的に逃がすとともに板厚の連続的な変化によって特定
波長での共振を抑え、透過光量の変動を平均化すること
で干渉を防止している。
【００２５】図５は、光透過板３に前述のウェッジ板を
用いている。すなわち、図５は図４のガラス板３１をウ
ェッジ板３２に置き換えたものである。図５では、図４
と同様に偏光依存性を打ち消しているため、入射光１Ａ
のコヒーレンシーが高い場合であっても、入射光１Ａの
波長や偏光状態の変化に依存しない受光モジュールを得
ることができる。
用いている。すなわち、図５は図４のガラス板３１をウ
ェッジ板３２に置き換えたものである。図５では、図４
と同様に偏光依存性を打ち消しているため、入射光１Ａ
のコヒーレンシーが高い場合であっても、入射光１Ａの
波長や偏光状態の変化に依存しない受光モジュールを得
ることができる。
【００２６】次に、第１の発明による第３の実施例の受
光モジュールを図６の構成図により説明する。図６は、
一般的なキャンパッケージ入りの受光素子を用いた例で
ある。図６では、受光素子２の受光面２Ａとガラス板３
１は各々の面が平行になるようにキャンパッケージ７に
固定されている。
光モジュールを図６の構成図により説明する。図６は、
一般的なキャンパッケージ入りの受光素子を用いた例で
ある。図６では、受光素子２の受光面２Ａとガラス板３
１は各々の面が平行になるようにキャンパッケージ７に
固定されている。
【００２７】図６では、受光素子２およびガラス板３１
からの反射戻り光を防止するため、キャンパッケージ７
を入射光１Ａの光軸に対して傾けた場合、受光素子２と
ガラス板３１は同一方向に傾くことになる。したがっ
て、受光素子２で生ずる偏光依存性とガラス板３１で生
ずる偏光依存性は同位相となり加算される。
からの反射戻り光を防止するため、キャンパッケージ７
を入射光１Ａの光軸に対して傾けた場合、受光素子２と
ガラス板３１は同一方向に傾くことになる。したがっ
て、受光素子２で生ずる偏光依存性とガラス板３１で生
ずる偏光依存性は同位相となり加算される。
【００２８】図６では、キャンパッケージ７の手前に、
入射光１Ａが透過するように平行平面ガラス板３３を配
置する。図６では、受光素子２とガラス板３１によって
生じた偏光依存性の和と同じ偏光依存性になるような角
度に平行平面ガラス板３３を傾け、かつ、受光素子２と
ガラス板３１の傾け方向とガラス板３３の傾け方向とが
９０度ねじれの位置関係となるように配置する。
入射光１Ａが透過するように平行平面ガラス板３３を配
置する。図６では、受光素子２とガラス板３１によって
生じた偏光依存性の和と同じ偏光依存性になるような角
度に平行平面ガラス板３３を傾け、かつ、受光素子２と
ガラス板３１の傾け方向とガラス板３３の傾け方向とが
９０度ねじれの位置関係となるように配置する。
【００２９】図６では、受光素子２とガラス板３１を４
度傾けたときの偏光依存性は、受光素子２がゲルマニウ
ムの場合、およそ0.01ｄＢｐ−ｐである。ガラス板３３
の屈折率を1.45とすれば、図２から、ガラス板３３を約
6.5度傾ければよい。
度傾けたときの偏光依存性は、受光素子２がゲルマニウ
ムの場合、およそ0.01ｄＢｐ−ｐである。ガラス板３３
の屈折率を1.45とすれば、図２から、ガラス板３３を約
6.5度傾ければよい。
【００３０】次に、第２の発明の実施例を図７により説
明する。図７は、光ファイバ４の出射光４Ａを受光素子
２に結合するピッグテール型受光モジュールである。図
７は第１の発明の光透過板３の出射側の端面を光ファイ
バ４の出射端面４Ｂに置き換えている。
明する。図７は、光ファイバ４の出射光４Ａを受光素子
２に結合するピッグテール型受光モジュールである。図
７は第１の発明の光透過板３の出射側の端面を光ファイ
バ４の出射端面４Ｂに置き換えている。
【００３１】図７は、受光面２Ａの傾けにより発生した
偏光依存性と同じ偏光依存性となるような角度に光ファ
イバ４の出射端面４Ｂを形成する。さらに、受光面２Ａ
の傾け方向に対して９０度ねじれの位置関係となるよう
に出射端面４Ｂを配置する。図７では、受光面２Ａの傾
けにより生じた偏光依存性を光ファイバ４の出射端面４
Ｂで生ずる偏光依存性で打ち消すものである。
偏光依存性と同じ偏光依存性となるような角度に光ファ
イバ４の出射端面４Ｂを形成する。さらに、受光面２Ａ
の傾け方向に対して９０度ねじれの位置関係となるよう
に出射端面４Ｂを配置する。図７では、受光面２Ａの傾
けにより生じた偏光依存性を光ファイバ４の出射端面４
Ｂで生ずる偏光依存性で打ち消すものである。
【００３２】第１の発明では、入射光として平行光を例
にとって説明してきたが、第２の発明に示されるよう
に、ＮＡが 0.1〜 0.2程度の比較的小さい拡散光や集束
光でも、第１の発明も同様の効果を得ることができる。
にとって説明してきたが、第２の発明に示されるよう
に、ＮＡが 0.1〜 0.2程度の比較的小さい拡散光や集束
光でも、第１の発明も同様の効果を得ることができる。
【００３３】
【発明の効果】第１の発明は、光透過板は受光素子で生
ずる偏光依存性と同じ値になるように傾けられ、かつ、
受光素子の傾け方向に対し９０度ねじれの位置関係とな
るように取り付けられている。そのため、入射光の偏光
状態が変化したとしても、互いに発生する偏光依存性が
打ち消し合い、全体としての偏光依存性は抑圧される。
ずる偏光依存性と同じ値になるように傾けられ、かつ、
受光素子の傾け方向に対し９０度ねじれの位置関係とな
るように取り付けられている。そのため、入射光の偏光
状態が変化したとしても、互いに発生する偏光依存性が
打ち消し合い、全体としての偏光依存性は抑圧される。
【００３４】第２の発明は、光ファイバの出射端面を受
光素子の傾けにより発生した偏光依存性と同じ偏光依存
性となるような角度に形成し、さらに、出射端面を受光
素子の傾け方向に対し９０度ねじれの位置関係となるよ
うに配置することで、受光素子の傾けにより生じた偏光
依存性を光ファイバの出射端面４Ｂで生じる偏光依存性
で打ち消す。
光素子の傾けにより発生した偏光依存性と同じ偏光依存
性となるような角度に形成し、さらに、出射端面を受光
素子の傾け方向に対し９０度ねじれの位置関係となるよ
うに配置することで、受光素子の傾けにより生じた偏光
依存性を光ファイバの出射端面４Ｂで生じる偏光依存性
で打ち消す。
【００３５】第１と第２の発明では、入射光の偏光状態
が変化したとしても、互いに発生する偏光依存性が打ち
消し合い、全体としての偏光依存性は抑圧され、入射光
の偏光状態変化の影響を受けにくい受光モジュールを得
ることができる。
が変化したとしても、互いに発生する偏光依存性が打ち
消し合い、全体としての偏光依存性は抑圧され、入射光
の偏光状態変化の影響を受けにくい受光モジュールを得
ることができる。
【図１】第１の発明による受光方法を示す受光モジュー
ルの構成図である。
ルの構成図である。
【図２】入射光の入射角と偏光依存性との関係を示す図
である。
である。
【図３】受光素子２とガラス板３の偏光依存性と偏波回
転角の関係を示す図である。
転角の関係を示す図である。
【図４】第１の発明による第１の実施例の受光モジュー
ル５の構成図である。
ル５の構成図である。
【図５】第１の発明による第２の実施例の受光モジュー
ル６の構成図である。
ル６の構成図である。
【図６】第１の発明による第３の実施例の受光モジュー
ルの構成図である。
ルの構成図である。
【図７】第２の発明の実施例による構成図である。
【図８】従来技術による受光モジュールの構成図であ
る。
る。
【図９】受光素子の傾けにより発生する偏光依存性の状
態を示すグラフである。
態を示すグラフである。
１Ａ 入射光 ２ 受光素子 ２Ａ 受光面 ３ 光透過板 ４ 光ファイバ ４Ａ 出射光 ４Ｂ 出射端面 ５Ａ ステム ５Ｂ キャップ ６ キャンパッケージ ３１ 平行平面ガラス板 ３２ ウェッジ板 ３３ 平行平面ガラス板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 31/02 - 31/0232 G02B 6/42 - 6/43
Claims (5)
- 【請求項１】 入射光(1A)の光軸に対して受光素子(2)
の受光面(2A)を傾けて配置し、入射光(1A)の光出力を測
定する場合に、 受光素子(2) の受光面(2A)に近接しかつ入射光(1A)の光
軸に対して光透過板(3) を傾けて配置し、 光透過板(3) を受光素子(2) の受光面(2A)の傾きにより
生ずる偏光依存性と光透過板(3) の傾きにより生ずる偏
光依存性とが同じ値になる角度に傾け、かつ、光透過板
(3) の傾け方向を受光素子(2) の受光面(2A)の傾け方向
に対して９０度ねじれの位置関係に保持することを特徴
とする偏光依存性の少ない受光方法。 - 【請求項２】 光ファイバ(4) と受光素子(2) の受光面
(2A)を近接して配置し、光ファイバ(4) の出射光(4A)の
光軸に対して受光面(2A)を傾けて形成し、出射光(4A)の
光出力を測定する場合に、 光ファイバ(4) の出射端面(4B)を出射光(1A)の光軸に対
して傾けて成形し、 光ファイバ(4) の出射端面(4B)を受光素子(2) の受光面
(2A)の傾きにより生ずる偏光依存性と光ファイバ(4) の
出射端面(4B)の傾きにより生ずる偏光依存性とが同じ値
になる角度に傾け、かつ、光ファイバ(4) の出射端面(4
B)の傾け方向が受光素子(2) の受光面(2A)の傾け方向に
対して９０度ねじれの位置関係に保持することを特徴と
する偏光依存性の少ない受光方法。 - 【請求項３】 ステム(5A)に受光素子(2) を取り付け、
キャップ(5B)の窓に平行平面ガラス板(31)を取り付け、
受光素子(2) の受光面(2A)と平行平面ガラス板(31)を請
求項１の位置関係に保持することを特徴とする第１の受
光モジュール。 - 【請求項４】 ステム(5A)に受光素子(2) を取り付け、
キャップ(5B)の窓に光透過性のウェッジ板(32)を取り付
け、受光素子(2) の受光面(2A)とウェッジ板(32)を請求
項１の位置関係に保持することを特徴とする第２の受光
モジュール。 - 【請求項５】 キャンパッケージ(7) は受光素子(2) の
受光面(2A)とキャップの窓に取り付けられる第１の平行
平面ガラス板(31)が平行に保持され、キャンパッケージ
(7) の入射側に第２の平行平面ガラス板(33)を傾けて配
置し、受光素子(2) の受光面(2A)と第２の平行平面ガラ
ス板(33)を請求項１の位置関係に保持することを特徴と
する第３の受光モジュール。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13114294A JP3208996B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 偏光依存性の少ない受光方法および受光モジュール |
| US08/428,657 US5604636A (en) | 1994-05-20 | 1995-04-25 | Method of receiving light and light receiving module of less polarized light dependency |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13114294A JP3208996B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 偏光依存性の少ない受光方法および受光モジュール |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318766A JPH07318766A (ja) | 1995-12-08 |
| JP3208996B2 true JP3208996B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=15050988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13114294A Expired - Fee Related JP3208996B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 偏光依存性の少ない受光方法および受光モジュール |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3208996B2 (ja) |
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| US5414565A (en) * | 1991-11-27 | 1995-05-09 | Sullivan; Mark T. | Tilting kinematic mount |
| JPH0629190A (ja) * | 1992-05-13 | 1994-02-04 | Sharp Corp | 光縮小投影露光装置 |
| EP0602732A3 (en) * | 1992-12-17 | 1995-09-27 | Philips Electronics Nv | Optical system with astigmatism compensation. |
-
1994
- 1994-05-20 JP JP13114294A patent/JP3208996B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-04-25 US US08/428,657 patent/US5604636A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| US5604636A (en) | 1997-02-18 |
| JPH07318766A (ja) | 1995-12-08 |
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