JP2002182024A5 - - Google Patents
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従来では、例えば、半導体製造プロセスと同様な方法を用いてホログラムの微細な形状をシリコン基板上に形成し、その形状を電鋳等によって金属に転写していた。しかし、ホログラムの微細な形状は、レンズ面等の曲面への形成ができない、平面であっても彫りの深いホログラム形状は形成することができない、断面形状がノコギリ形状をした、所謂ブレーズドホログラムは露光調整が困難であるという点から形成が困難である、電鋳の際に形状変形や傷等が発生し易い、電鋳プロセスの制約から比較的軟らかい金属しか使用できないため金型としての寿命が短い、更に、ガラス用の金型（ガラスレンズをプレスするための金型）に上記光学インサートを使用することも不可能であった。
典型的なホログラムの形状は、図５にレンズ１のレンズ面の一部を拡大して示すように、非常に微細なノコギリ形状を全面に亘って光学精度で形成したものである。尚、光学精度とは、例えば、ＣＤ用の光源波長が７８０ｎｍの光学ピックアップに用いられる対物レンズの場合においては、形状精度がＰＶで０．１μｍ以下、面粗度がＲａで２０ｎｍ以下が要求される。
従って、本発明においては、光学インサート４の材質には、焼き入れ等の熱処理を行ったステンレス鋼材や、元々硬い材料で切削加工を施すのが困難な超硬合金、炭化珪素の脆性材料が用いられる。
Priority Applications (1)
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| JP2000378703A JP2002182024A (ja) | 2000-12-13 | 2000-12-13 | レンズ及びその製造方法 |
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| JP2000378703A JP2002182024A (ja) | 2000-12-13 | 2000-12-13 | レンズ及びその製造方法 |
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| JP2002182024A JP2002182024A (ja) | 2002-06-26 |
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| JP2006188416A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-07-20 | Pentax Corp | ガラス光学素子用成形型の製造方法 |
| JP2006159673A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Konica Minolta Holdings Inc | 金型の製作方法、素子の製作方法及び素子 |
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