JP2002181972A - Ｘ−ｙステージ用モータ式駆動装置 - Google Patents
Ｘ−ｙステージ用モータ式駆動装置Info
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- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
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- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/40—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
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- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
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- B23Q5/385—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously using a gear and rack mechanism or a friction wheel co-operating with a rail
Abstract
(57)【要約】
【課題】 改良されたモータ式駆動装置を有するＸ−Ｙ
ステージ提供すること。 【解決手段】 本発明によるＸ−Ｙステージ１０は、駆
動バーを挟んで両側に配置された２つの駆動モータ１
６，１８を備えている。駆動モータ１６，１８は、可動
ステージ搬器１４に取付けられており、駆動バーに駆動
力を作用させることにより可動ステージ搬器１４がスラ
イド移動する。駆動力は互いに対面し、ステージ搬器１
４の移動方向に対して横断方向を向く駆動力成分がバラ
ンスし、こうして可動ステージ搬器１４の捩れ現象が最
小化される。
ステージ提供すること。 【解決手段】 本発明によるＸ−Ｙステージ１０は、駆
動バーを挟んで両側に配置された２つの駆動モータ１
６，１８を備えている。駆動モータ１６，１８は、可動
ステージ搬器１４に取付けられており、駆動バーに駆動
力を作用させることにより可動ステージ搬器１４がスラ
イド移動する。駆動力は互いに対面し、ステージ搬器１
４の移動方向に対して横断方向を向く駆動力成分がバラ
ンスし、こうして可動ステージ搬器１４の捩れ現象が最
小化される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直交する２方向の
少なくとも一方に沿ってＸ−Ｙステージを駆動するため
のモータ式駆動装置に関するものであり、より詳しく言
えば、ステージが駆動される際に捩れを生じる傾向にあ
る力をバランスさせる装置に関するものである。
少なくとも一方に沿ってＸ−Ｙステージを駆動するため
のモータ式駆動装置に関するものであり、より詳しく言
えば、ステージが駆動される際に捩れを生じる傾向にあ
る力をバランスさせる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ−Ｙステージとして知られる従来の機
構においては、２つの直交する座標軸の一方に沿って第
１ステージを制御しながら移動させる直線スライド式駆
動装置が設けられている。一般的に、第１ステージに
は、スライド可能状態で第２ステージが取付けられてい
る。２つの座標軸方向への２つのステージの移動を組合
せることによって、平面内における任意の点への移動が
実現可能である。
構においては、２つの直交する座標軸の一方に沿って第
１ステージを制御しながら移動させる直線スライド式駆
動装置が設けられている。一般的に、第１ステージに
は、スライド可能状態で第２ステージが取付けられてい
る。２つの座標軸方向への２つのステージの移動を組合
せることによって、平面内における任意の点への移動が
実現可能である。
【０００３】図１を参照すると、ここには従来のＸ−Ｙ
ステージを符号１で示している。このＸ−Ｙステージ
は、モータ３を取付けるためのモータ取付基部２を備え
ている。さらに、細長ステージ基部４が、モータ取付基
部２に固定されるか、またはモータ取付基部２と一体に
形成されている。ステージ基部４には、周知の方式によ
って、ステージ搬器５がスライド可能状態で取付けられ
ている。ステージ基部４にはレール６が固定されてい
る。レール６に形成された溝８内には、ステージ搬器５
の脚部９に対面するローラベアリング７が設けられてい
る。脚部７の内側面はローラベアリング７と回転係合状
態にある。ステージ搬器５の縁部に沿って駆動プレート
６が取付けられ、駆動モータ３に対面している。駆動モ
ータ３は、当技術分野における周知の方式によって駆動
プレート６と係合するように構成され、固定されたモー
タ取付基部２及びステージ基部４に対するステージ搬器
５の移動を制御する。
ステージを符号１で示している。このＸ−Ｙステージ
は、モータ３を取付けるためのモータ取付基部２を備え
ている。さらに、細長ステージ基部４が、モータ取付基
部２に固定されるか、またはモータ取付基部２と一体に
形成されている。ステージ基部４には、周知の方式によ
って、ステージ搬器５がスライド可能状態で取付けられ
ている。ステージ基部４にはレール６が固定されてい
る。レール６に形成された溝８内には、ステージ搬器５
の脚部９に対面するローラベアリング７が設けられてい
る。脚部７の内側面はローラベアリング７と回転係合状
態にある。ステージ搬器５の縁部に沿って駆動プレート
６が取付けられ、駆動モータ３に対面している。駆動モ
ータ３は、当技術分野における周知の方式によって駆動
プレート６と係合するように構成され、固定されたモー
タ取付基部２及びステージ基部４に対するステージ搬器
５の移動を制御する。
【０００４】ステージ搬器５は、ステージ基部４の長手
方向軸に沿った一直線方向に移動可能である。この一直
線方向とは、例えば１つの座標軸Ｘに相当する。Ｘ−Ｙ
ステージ１には、同様の第２ステージ（図示せず）を組
合せてもよく、この場合、第２ステージの移動方向は、
例えばＸ軸と直交するＹ軸方向とされ、こうして、Ｘ
軸、Ｙ軸両方向への制御された移動を実現することがで
きる。
方向軸に沿った一直線方向に移動可能である。この一直
線方向とは、例えば１つの座標軸Ｘに相当する。Ｘ−Ｙ
ステージ１には、同様の第２ステージ（図示せず）を組
合せてもよく、この場合、第２ステージの移動方向は、
例えばＸ軸と直交するＹ軸方向とされ、こうして、Ｘ
軸、Ｙ軸両方向への制御された移動を実現することがで
きる。
【０００５】モータ３及び駆動プレート６は、イスラエ
ル国 Yokneam に所在のNanomotion社から型式No.SP8V-0
2として入手可能である。駆動プレート６は、駆動プレ
ート６と駆動モータ３との間の摩擦接触を助長するよう
な面を備えている。例えば、Nanomotion社から入手可能
な駆動プレート６は、酸化アルミニウムを用いて形成さ
れており、こうして、駆動モータ３による精密な位置制
御を可能にする高精度研摩面が実現されている。加え
て、駆動モータ３はモータフィンガ３ａを介して駆動プ
レート６に継続的に接触しており、従って駆動モータ３
はステージ搬器５に起動力を伝達するだけでなく、制動
力も伝達する。ステージ搬器５は駆動モータ３の作動に
従って移動することが望ましい。このようにして、ステ
ージ搬器５の移動量及び移動速度が自由に制御可能とな
る。
ル国 Yokneam に所在のNanomotion社から型式No.SP8V-0
2として入手可能である。駆動プレート６は、駆動プレ
ート６と駆動モータ３との間の摩擦接触を助長するよう
な面を備えている。例えば、Nanomotion社から入手可能
な駆動プレート６は、酸化アルミニウムを用いて形成さ
れており、こうして、駆動モータ３による精密な位置制
御を可能にする高精度研摩面が実現されている。加え
て、駆動モータ３はモータフィンガ３ａを介して駆動プ
レート６に継続的に接触しており、従って駆動モータ３
はステージ搬器５に起動力を伝達するだけでなく、制動
力も伝達する。ステージ搬器５は駆動モータ３の作動に
従って移動することが望ましい。このようにして、ステ
ージ搬器５の移動量及び移動速度が自由に制御可能とな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１に
示す装置は著しい欠点を有している。１台の駆動モータ
を用いることは、駆動モータ３とステージ搬器５との接
点で伝達されるステージ搬器５の横断方向の力にアンバ
ランスを生じさせる。すなわち、モーメントが生じてス
テージ搬器に捩れを与えたり、さらには固着を生じさせ
たりする可能性がある。その結果、スライド搬器の直線
的移動の精度が低下し、ステージ搬器移動の精密制御
（すなわち、停止／移動開始）能力も低下する。
示す装置は著しい欠点を有している。１台の駆動モータ
を用いることは、駆動モータ３とステージ搬器５との接
点で伝達されるステージ搬器５の横断方向の力にアンバ
ランスを生じさせる。すなわち、モーメントが生じてス
テージ搬器に捩れを与えたり、さらには固着を生じさせ
たりする可能性がある。その結果、スライド搬器の直線
的移動の精度が低下し、ステージ搬器移動の精密制御
（すなわち、停止／移動開始）能力も低下する。
【０００７】本発明の目的は、Ｘ−Ｙステージに使用さ
れる改良されたモータ式駆動装置を提供することであ
る。
れる改良されたモータ式駆動装置を提供することであ
る。
【０００８】本発明の他の目的は、Ｘ−Ｙステージに使
用され、力を均衡させてステージ搬器の捩れを防止でき
るモータ式駆動装置を提供することである。
用され、力を均衡させてステージ搬器の捩れを防止でき
るモータ式駆動装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る上記課題及
びその他の課題は、本発明の一側面としてのＸ−Ｙステ
ージにより解決される。すなわち、本発明によるＸ−Ｙ
ステージは、固定ベースプレートと、該ベースプレート
に対しスライド可能に取付けられた可動ステージ搬器と
を備え、該ステージ搬器は一座標軸方向にスライド可能
とされている。ベースプレート及びステージ搬器のいず
れか一方には第１・第２駆動面が取付けられ、ベースプ
レート及びステージ搬器の他方には第１・第２駆動モー
タが取付けられている。第１・第２駆動モータは、それ
ぞれ第１・第２駆動面に当接してステージ搬器にそれぞ
れ第１・第２駆動力を作用させ、ベースプレートに対し
てステージ搬器を移動させる。第１・第２駆動モータ
は、ステージ搬器の移動方向に対して横断方向を向く第
１・第２駆動力の各成分が、互いに反対方向を向いて搬
器に付与されるように位置決めされている。
びその他の課題は、本発明の一側面としてのＸ−Ｙステ
ージにより解決される。すなわち、本発明によるＸ−Ｙ
ステージは、固定ベースプレートと、該ベースプレート
に対しスライド可能に取付けられた可動ステージ搬器と
を備え、該ステージ搬器は一座標軸方向にスライド可能
とされている。ベースプレート及びステージ搬器のいず
れか一方には第１・第２駆動面が取付けられ、ベースプ
レート及びステージ搬器の他方には第１・第２駆動モー
タが取付けられている。第１・第２駆動モータは、それ
ぞれ第１・第２駆動面に当接してステージ搬器にそれぞ
れ第１・第２駆動力を作用させ、ベースプレートに対し
てステージ搬器を移動させる。第１・第２駆動モータ
は、ステージ搬器の移動方向に対して横断方向を向く第
１・第２駆動力の各成分が、互いに反対方向を向いて搬
器に付与されるように位置決めされている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明の実施形態を説明する。
発明の実施形態を説明する。
【００１１】図２に示すように、Ｘ−Ｙステージには参
照符号１０を付している。Ｘ−Ｙステージ１０は、ベー
スプレート１２と、ベースプレート１２にスライド可能
に取付けられたステージ搬器１４と、第１・第２駆動モ
ータ１６，１８とを備えている。ステージ搬器１４は、
一座標軸に対応した直線運動を行うように構成されてい
る。
照符号１０を付している。Ｘ−Ｙステージ１０は、ベー
スプレート１２と、ベースプレート１２にスライド可能
に取付けられたステージ搬器１４と、第１・第２駆動モ
ータ１６，１８とを備えている。ステージ搬器１４は、
一座標軸に対応した直線運動を行うように構成されてい
る。
【００１２】ベースプレート１２は、図３において両矢
印Ｍで示すステージ搬器の移動方向に長く延在してい
る。ベースプレート１２は、平坦底部２０と、駆動バー
２２を取付けるための上方突出取付面２１とを備えてい
る。駆動バー２２は、好ましくは、底部２０と同じ長さ
に延在しかつ均一な矩形断面を有し、駆動面２４，２６
を備えている。駆動モータ１６，１８は、前述した従来
技術における駆動モータ３と同じであることが好まし
い。駆動バー２２は、駆動プレート６について前述した
ように、酸化アルミニウム材から形成することが好まし
い。一定断面の駆動バー２２を有していることにより、
駆動モータ１６，１８は、駆動バー２２の作動全長にわ
たり均一の駆動力を作用させることができる。駆動バー
２２は、取付面２１に、ねじ締結することが好ましい。
Ｘ−Ｙステージが真空中で用いられる場合には、接着剤
の使用は避けるべきである。なぜなら、接着剤はガスを
発散する傾向があるからである。
印Ｍで示すステージ搬器の移動方向に長く延在してい
る。ベースプレート１２は、平坦底部２０と、駆動バー
２２を取付けるための上方突出取付面２１とを備えてい
る。駆動バー２２は、好ましくは、底部２０と同じ長さ
に延在しかつ均一な矩形断面を有し、駆動面２４，２６
を備えている。駆動モータ１６，１８は、前述した従来
技術における駆動モータ３と同じであることが好まし
い。駆動バー２２は、駆動プレート６について前述した
ように、酸化アルミニウム材から形成することが好まし
い。一定断面の駆動バー２２を有していることにより、
駆動モータ１６，１８は、駆動バー２２の作動全長にわ
たり均一の駆動力を作用させることができる。駆動バー
２２は、取付面２１に、ねじ締結することが好ましい。
Ｘ−Ｙステージが真空中で用いられる場合には、接着剤
の使用は避けるべきである。なぜなら、接着剤はガスを
発散する傾向があるからである。
【００１３】第１・第２駆動モータ１６，１８はステー
ジ搬器１４に堅固に固定されている。駆動バー２２は第
１駆動モータ１６と第２駆動モータ１８との間に配置さ
れ、両駆動モータ１６，１８は、駆動面２４，２６に当
接するモータフィンガ３６を介して駆動力を駆動バー２
２に伝達するように配置されている。さらに、第１・第
２駆動モータ１６，１８は、ステージ搬器１４の移動方
向を横断する方向の駆動力成分が互いに反対を向いて駆
動バー２２に付与されるように配置されており、こうし
てステージ搬器への反作用力が均衡される。対向する力
は実質的に等しいので、駆動モータによりステージ搬器
の横断方向に作用する力が均衡し、ステージ搬器が捩れ
たり、固着したりすることはない。
ジ搬器１４に堅固に固定されている。駆動バー２２は第
１駆動モータ１６と第２駆動モータ１８との間に配置さ
れ、両駆動モータ１６，１８は、駆動面２４，２６に当
接するモータフィンガ３６を介して駆動力を駆動バー２
２に伝達するように配置されている。さらに、第１・第
２駆動モータ１６，１８は、ステージ搬器１４の移動方
向を横断する方向の駆動力成分が互いに反対を向いて駆
動バー２２に付与されるように配置されており、こうし
てステージ搬器への反作用力が均衡される。対向する力
は実質的に等しいので、駆動モータによりステージ搬器
の横断方向に作用する力が均衡し、ステージ搬器が捩れ
たり、固着したりすることはない。
【００１４】図３は、駆動モータ１６が左向きの駆動力
ＦLを駆動バー２２に付与する一方で、駆動モータ１８
が右向きの駆動力ＦRを付与する様子を示している。駆
動力ＦL，ＦRは、単一の軸線、例えばＸ軸に沿って付与
されることが好ましい。駆動力ＦL，ＦRは、駆動モータ
１６，１８によって生起される合力であってもよいこと
を理解されたい。例えば、第１駆動モータ１６は、方向
Ｍに沿って離間しかつ第１駆動面２４に当接する２セッ
トのモータフィンガ３６を備えていてもよい。駆動力Ｆ
Lは、駆動ローラ３６によって付与される２つの力Ｆ′L
とＦ″Lとの合力である。
ＦLを駆動バー２２に付与する一方で、駆動モータ１８
が右向きの駆動力ＦRを付与する様子を示している。駆
動力ＦL，ＦRは、単一の軸線、例えばＸ軸に沿って付与
されることが好ましい。駆動力ＦL，ＦRは、駆動モータ
１６，１８によって生起される合力であってもよいこと
を理解されたい。例えば、第１駆動モータ１６は、方向
Ｍに沿って離間しかつ第１駆動面２４に当接する２セッ
トのモータフィンガ３６を備えていてもよい。駆動力Ｆ
Lは、駆動ローラ３６によって付与される２つの力Ｆ′L
とＦ″Lとの合力である。
【００１５】第１・第２駆動モータ１６，１８は、駆動
モータ制御装置ＭＣによって制御される。前述した好ま
しい駆動モータのための駆動モータ制御装置もまた、Na
nomotion 社から入手可能である。
モータ制御装置ＭＣによって制御される。前述した好ま
しい駆動モータのための駆動モータ制御装置もまた、Na
nomotion 社から入手可能である。
【００１６】図２を参照すると、ステージ搬器１４は、
当業者には公知の技術を用いて、ベースプレート１２に
対しスライド係合状態とされている。非限定的な一形態
として、Ｘ−Ｙステージの各側部に、ベースプレート１
２に取付けられたレール３８を少なくとも１つ配置して
もよい。レール３８の上部には溝４０が形成され、ステ
ージ搬器１４に取付けられたローラベアリング４２が溝
４０に受容されて、回転係合を形成している。レール３
８は２本設けられ、第１・第２駆動モータ１６，１８
は、それぞれ、駆動バー２２と２本のレール３８のうち
の１本との間に配置されていることが好ましい。複数の
レール３８は、駆動バー２２に対して平行に配置されて
いるとさらに好ましい。対面するスライド面同士の接触
を防止するために、例えば駆動バー２２とステージ搬器
１４との間の隙間４４のような、種々の隙間が設けられ
ている。
当業者には公知の技術を用いて、ベースプレート１２に
対しスライド係合状態とされている。非限定的な一形態
として、Ｘ−Ｙステージの各側部に、ベースプレート１
２に取付けられたレール３８を少なくとも１つ配置して
もよい。レール３８の上部には溝４０が形成され、ステ
ージ搬器１４に取付けられたローラベアリング４２が溝
４０に受容されて、回転係合を形成している。レール３
８は２本設けられ、第１・第２駆動モータ１６，１８
は、それぞれ、駆動バー２２と２本のレール３８のうち
の１本との間に配置されていることが好ましい。複数の
レール３８は、駆動バー２２に対して平行に配置されて
いるとさらに好ましい。対面するスライド面同士の接触
を防止するために、例えば駆動バー２２とステージ搬器
１４との間の隙間４４のような、種々の隙間が設けられ
ている。
【００１７】以上、本発明に係る好ましい一実施形態を
詳細に説明してきたが、該実施形態に種々の改良を加え
ることが可能であることは当業者には明らかである。例
えば、Ｘ−Ｙステージ１０は種々の用途に使用可能であ
り、用途によっては、駆動モータを可動ステージ搬器で
はなく、固定ベースプレートに取付けることが好まし
い。この場合、駆動バーが可動ステージ搬器に固定され
る。他の変更形態として、２セット以上の対向モータを
使用することが考えられる。このように構成すると、速
度を高めること、及びステージの剛性を高めることが可
能である。例えば、Ｘ方向ステージに２セットのモータ
を設け、Ｘ方向ステージ上に装着されるＹ方向ステージ
に１セットのモータを設けてもよい。さらなる変更形態
として、駆動バーに用いられている１本の酸化アルミニ
ウム製バーを他の材料に置き換え、駆動モータが当接す
る駆動面に酸化アルミニウム板を取付けてもよい。上記
変更形態、及びその他の変更形態は、特許請求の範囲で
規定される本発明の範囲に含まれる。
詳細に説明してきたが、該実施形態に種々の改良を加え
ることが可能であることは当業者には明らかである。例
えば、Ｘ−Ｙステージ１０は種々の用途に使用可能であ
り、用途によっては、駆動モータを可動ステージ搬器で
はなく、固定ベースプレートに取付けることが好まし
い。この場合、駆動バーが可動ステージ搬器に固定され
る。他の変更形態として、２セット以上の対向モータを
使用することが考えられる。このように構成すると、速
度を高めること、及びステージの剛性を高めることが可
能である。例えば、Ｘ方向ステージに２セットのモータ
を設け、Ｘ方向ステージ上に装着されるＹ方向ステージ
に１セットのモータを設けてもよい。さらなる変更形態
として、駆動バーに用いられている１本の酸化アルミニ
ウム製バーを他の材料に置き換え、駆動モータが当接す
る駆動面に酸化アルミニウム板を取付けてもよい。上記
変更形態、及びその他の変更形態は、特許請求の範囲で
規定される本発明の範囲に含まれる。
【図１】 １つの駆動モータを備えた従来のＸ−Ｙステ
ージの側面図である。
ージの側面図である。
【図２】 本発明に従って構成されたＸ−Ｙステージの
側面図である。
側面図である。
【図３】 図２に示す本発明によるＸ−Ｙステージ装置
において、駆動モータからステージ搬器に作用する力を
示す部分上面図である。
において、駆動モータからステージ搬器に作用する力を
示す部分上面図である。
１０ Ｘ−Ｙステージ １２ ベースプレート １４ ステージ搬器 １６ 第１駆動モータ １８ 第２駆動モータ ２０ 平坦底部 ２２ 駆動バー ２４ 第１駆動面 ２６ 第２駆動面 ３８ レール ４０ 溝 ４２ ローラベアリング ＦL，ＦR 駆動力（横断成分）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マイケル・アール・バスキー アメリカ合衆国・01742・マサチューセッ ツ・コンコード・ウインスロップ・ストリ ート・45・シー／オー・シュラムバーガ ー・ヴェリフィケイション・システムズ Ｆターム(参考） 2F078 CA08 CB09 CB12 CC03 CC13
Claims (12)
- 【請求項１】 固定ベースプレートと；該固定ベースプ
レートにスライド可能状態で取付けられて一座標軸方向
にスライド可能とされた可動ステージ搬器と；前記ベー
スプレート及び前記ステージ搬器のいずれか一方に取付
けられた第１・第２駆動面と；前記ベースプレート及び
前記ステージ搬器の他方に取付けられ、それぞれ前記第
１・第２駆動面に当接し前記ステージ搬器に第１・第２
駆動力を付与して前記ステージ搬器を前記ベースプレー
トに対して移動させる第１・第２駆動モータと；を備え
たＸ−Ｙステージであって、前記第１・第２モータは、
前記ステージ搬器の移動方向に対して横断方向を向く前
記第１・第２駆動力の各成分が、互いに反対方向を向い
て前記搬器に付与されるように配置されていることを特
徴とするＸ−Ｙステージ。 - 【請求項２】 前記第１・第２駆動面は、前記ベースプ
レートに取付けられていることを特徴とする請求項１に
記載のＸ−Ｙステージ。 - 【請求項３】 前記第１・第２駆動力の横断成分は、一
軸線に沿って付与されることを特徴とする請求項１に記
載のＸ−Ｙステージ。 - 【請求項４】 前記第１モータは、前記ベースプレート
に取付けられていることを特徴とする請求項１に記載の
Ｘ−Ｙステージ。 - 【請求項５】 前記第２モータは、前記ベースプレート
に取付けられていることを特徴とする請求項４に記載の
Ｘ−Ｙステージ。 - 【請求項６】 前記ベースプレートは、概して平坦な底
部と、上方に向けて突出した駆動バーと、を備え、該駆
動バーは、前記第１駆動モータと前記第２駆動モータと
の間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載
のＸ−Ｙステージ。 - 【請求項７】 前記駆動バーは、前記第１モータに対面
する前記第１駆動面を備えていることを特徴とする請求
項６に記載のＸ−Ｙステージ。 - 【請求項８】 前記駆動バーは、前記第２モータに対面
する前記第２駆動面を備えていることを特徴とする請求
項７に記載のＸ−Ｙステージ。 - 【請求項９】 少なくとも１つの溝を有しかつ前記ベー
スプレートに取付けられた少なくとも１つのレールと、
前記ステージ搬器に取付けられたローラベアリングと、
をさらに備え、前記ステージ搬器は、前記レールの前記
溝内に回転係合状態で配置された前記ローラベアリング
によって、前記ベースプレートに対してスライド可能に
取付けられていることを特徴とする請求項１に記載のＸ
−Ｙステージ。 - 【請求項１０】 前記ベースプレートは、概して平坦な
底部と、上方に向けて突出した駆動バーと、をさらに備
え、前記レールは前記底部に取付けられ、前記第１駆動
モータは、前記レールを前記駆動バーとの間に配置され
ていることを特徴とする請求項９に記載のＸ−Ｙステー
ジ。 - 【請求項１１】 前記レールは、前記駆動バーに対して
略平行であることを特徴とする請求項９に記載のＸ−Ｙ
ステージ。 - 【請求項１２】 前記第１・第２駆動力の互いに反対方
向を向く前記各成分同士は略等しいことを特徴とする請
求項１に記載のＸ−Ｙステージ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US717,584 | 1991-06-19 | ||
| US71758400A | 2000-11-21 | 2000-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181972A true JP2002181972A (ja) | 2002-06-26 |
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ID=24882631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001282169A Ceased JP2002181972A (ja) | 2000-11-21 | 2001-09-17 | Ｘ−ｙステージ用モータ式駆動装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2002181972A (ja) |
| KR (1) | KR20020039622A (ja) |
| DE (1) | DE10155626A1 (ja) |
| FR (1) | FR2818573A1 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5170876A (en) * | 1988-03-03 | 1992-12-15 | Walter Sticht | Installation for manufacturing and/or assembling components |
| JPH06297286A (ja) * | 1993-03-10 | 1994-10-25 | Max Rhodius Gmbh | 工作機械 |
| JPH09140118A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-05-27 | Fanuc Ltd | リニアモータ駆動型の送り装置 |
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|---|---|---|---|---|
| AT406352B (de) * | 1988-03-03 | 2000-04-25 | Sticht Walter | Anlage zur bearbeitung und bzw. oder montage von bauteilen |
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2001
- 2001-09-17 JP JP2001282169A patent/JP2002181972A/ja not_active Ceased
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- 2001-11-16 FR FR0114858A patent/FR2818573A1/fr active Pending
- 2001-11-20 KR KR1020010072207A patent/KR20020039622A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
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| DE10155626A1 (de) | 2002-07-25 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040608 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20041026 |