JP2002181759A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
- Publication number
- JP2002181759A JP2002181759A JP2000382125A JP2000382125A JP2002181759A JP 2002181759 A JP2002181759 A JP 2002181759A JP 2000382125 A JP2000382125 A JP 2000382125A JP 2000382125 A JP2000382125 A JP 2000382125A JP 2002181759 A JP2002181759 A JP 2002181759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- gas
- sensor
- gas sensor
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Emergency Alarm Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス感度特性不良となる感度調整を可能にし
て、特性が均一で製造歩留の優れたガスセンサを得る。 【解決手段】 特定ガスに対して応答して信号を出力す
るガス感知部１と、このガス感知部１の加熱温度を測定
する温度センサ６と、この温度センサ６の測定温度に基
づいてガス感知部１を加熱して一定温度に保つヒータ２
と、ガスセンサ個別の感度に応じてガス感知部１の加熱
温度を任意の温度に設定する温度設定手段とを備え、こ
の温度設定手段として温度センサ６と直列に挿入された
固定抵抗１０を用いる。
て、特性が均一で製造歩留の優れたガスセンサを得る。 【解決手段】 特定ガスに対して応答して信号を出力す
るガス感知部１と、このガス感知部１の加熱温度を測定
する温度センサ６と、この温度センサ６の測定温度に基
づいてガス感知部１を加熱して一定温度に保つヒータ２
と、ガスセンサ個別の感度に応じてガス感知部１の加熱
温度を任意の温度に設定する温度設定手段とを備え、こ
の温度設定手段として温度センサ６と直列に挿入された
固定抵抗１０を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、微量ガス成分を
検出するガスセンサに関し、特に、ガス絶縁電気機器内
部で放電等の異常が有ったときに生成するＳＦ6分解ガ
スを検出するガスセンサに関するものである。
検出するガスセンサに関し、特に、ガス絶縁電気機器内
部で放電等の異常が有ったときに生成するＳＦ6分解ガ
スを検出するガスセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】固体式ガスセンサでは、ガスの存在に応
じてガス感知部で何らかの物理的、化学的反応を起こ
し、それを電気的な信号へと変換を行う。この物理的、
化学的な反応は温度に対して非常に敏感であるため、ガ
スセンサの化学反応を促進、安定させるため、すなわち
ガスセンサの出力を安定させるには、ガスセンサの温度
を高い温度で一定に保つことが必要であり、従って、セ
ンサの加熱による温度制御が必要となることが多く、そ
の場合にはガス感知部にヒータが設けられる。
じてガス感知部で何らかの物理的、化学的反応を起こ
し、それを電気的な信号へと変換を行う。この物理的、
化学的な反応は温度に対して非常に敏感であるため、ガ
スセンサの化学反応を促進、安定させるため、すなわち
ガスセンサの出力を安定させるには、ガスセンサの温度
を高い温度で一定に保つことが必要であり、従って、セ
ンサの加熱による温度制御が必要となることが多く、そ
の場合にはガス感知部にヒータが設けられる。
【０００３】図４は、例えば、特許第２７９０４７４号
公報に記載された炭酸ガスの検出に用いられる従来のガ
スセンサの部分断面図である。図において、１はＮＡＳ
ＩＣＯＮ等の固体電解質からなるガス感知部、２はガス
感知部１を加熱するヒータ、３ａ、３ｂおよび５ａ、５
ｂはリード線である。
公報に記載された炭酸ガスの検出に用いられる従来のガ
スセンサの部分断面図である。図において、１はＮＡＳ
ＩＣＯＮ等の固体電解質からなるガス感知部、２はガス
感知部１を加熱するヒータ、３ａ、３ｂおよび５ａ、５
ｂはリード線である。
【０００４】次に、動作について、説明する。リード線
５ａ、５ｂより供給される電力により、ヒータ２が発熱
してガス感知部１の加熱が行われ、検出するガスの濃度
に応じた信号が、ガス感知部１からリード線３ａ、３ｂ
を通じて得られる。ガス感知部１の加熱はセンサの感度
およびレスポンスを向上するために行うものであるが、
所定の感度を得るためには加熱温度を一定に保つことが
必要であるので、通常はガス感知部１加熱用のヒータに
加えて、加熱温度を一定に制御するための何らかの手段
が設けられる。
５ａ、５ｂより供給される電力により、ヒータ２が発熱
してガス感知部１の加熱が行われ、検出するガスの濃度
に応じた信号が、ガス感知部１からリード線３ａ、３ｂ
を通じて得られる。ガス感知部１の加熱はセンサの感度
およびレスポンスを向上するために行うものであるが、
所定の感度を得るためには加熱温度を一定に保つことが
必要であるので、通常はガス感知部１加熱用のヒータに
加えて、加熱温度を一定に制御するための何らかの手段
が設けられる。
【０００５】図５は、従来のガスセンサにおいて、前述
の加熱温度を制御するための一例を示す構成図である。
なお、図５において、図４と対応する部分には同一符号
を付し、その詳細説明を省略する。図において、４はヒ
ータ用の電源、６はＰｔ（白金）抵抗体等の測温抵抗体
からなる温度センサ、７ａ、７ｂはリード線、８は測温
抵抗体の抵抗値を測定するための電源、９は測温抵抗体
に流れる電流を測定する電流計である。
の加熱温度を制御するための一例を示す構成図である。
なお、図５において、図４と対応する部分には同一符号
を付し、その詳細説明を省略する。図において、４はヒ
ータ用の電源、６はＰｔ（白金）抵抗体等の測温抵抗体
からなる温度センサ、７ａ、７ｂはリード線、８は測温
抵抗体の抵抗値を測定するための電源、９は測温抵抗体
に流れる電流を測定する電流計である。
【０００６】ここで、ガス感知部１の加熱温度に応じて
温度センサ６の抵抗値が変化するので、電源８から供給
される電圧によって温度センサ６に流れる電流が変化
し、その電流を電流計９で測定すれば温度を逆算でき
る。この温度をもとにヒータ２による加熱をフィードバ
ック制御すれば、ガス感知部１を所定の温度で一定制御
することができる。
温度センサ６の抵抗値が変化するので、電源８から供給
される電圧によって温度センサ６に流れる電流が変化
し、その電流を電流計９で測定すれば温度を逆算でき
る。この温度をもとにヒータ２による加熱をフィードバ
ック制御すれば、ガス感知部１を所定の温度で一定制御
することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の従来
のガスセンサにおいては、ガス感知部の製造時の個体バ
ラツキとして、ガス応答感度にバラツキが生じるが、そ
のバラツキを補正する手段が無いため、均一なガスセン
サを得ることが非常に困難であり、ひいてはガスセンサ
の製造歩留の向上が困難であるという問題点があった。
のガスセンサにおいては、ガス感知部の製造時の個体バ
ラツキとして、ガス応答感度にバラツキが生じるが、そ
のバラツキを補正する手段が無いため、均一なガスセン
サを得ることが非常に困難であり、ひいてはガスセンサ
の製造歩留の向上が困難であるという問題点があった。
【０００８】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、ガス感度特性不良となる感度
調整を可能にして、特性が均一で製造歩留の優れたガス
センサを提供することを目的とする。
るためになされたもので、ガス感度特性不良となる感度
調整を可能にして、特性が均一で製造歩留の優れたガス
センサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るガ
スセンサは、特定ガスに対して応答して信号を出力する
ガス感知部と、該ガス感知部の加熱温度を測定する温度
センサと、該温度センサの測定温度に基づいて上記ガス
感知部を加熱して一定温度に保つ加熱手段と、ガスセン
サ個別の感度に応じて上記ガス感知部の加熱温度を任意
の温度に設定する温度設定手段とを備えたものである。
スセンサは、特定ガスに対して応答して信号を出力する
ガス感知部と、該ガス感知部の加熱温度を測定する温度
センサと、該温度センサの測定温度に基づいて上記ガス
感知部を加熱して一定温度に保つ加熱手段と、ガスセン
サ個別の感度に応じて上記ガス感知部の加熱温度を任意
の温度に設定する温度設定手段とを備えたものである。
【００１０】請求項２の発明に係るガスセンサは、請求
項１の発明において、上記温度設定手段として上記温度
センサと直列に挿入された固定抵抗を用いたものであ
る。
項１の発明において、上記温度設定手段として上記温度
センサと直列に挿入された固定抵抗を用いたものであ
る。
【００１１】請求項３の発明に係るガスセンサは、請求
項１の発明において、上記温度設定手段として上記温度
センサと並列に挿入された固定抵抗を用いたものであ
る。
項１の発明において、上記温度設定手段として上記温度
センサと並列に挿入された固定抵抗を用いたものであ
る。
【００１２】請求項４の発明に係るガスセンサは、請求
項１の発明において、上記温度設定手段として上記温度
センサと直列および並列に挿入された可変抵抗を用いた
ものである。
項１の発明において、上記温度設定手段として上記温度
センサと直列および並列に挿入された可変抵抗を用いた
ものである。
【００１３】請求項５の発明に係るガスセンサは、請求
項１〜４のいずれかの発明において、上記温度センサは
白金抵抗体等の測温抵抗体であるものである。
項１〜４のいずれかの発明において、上記温度センサは
白金抵抗体等の測温抵抗体であるものである。
【００１４】請求項６の発明に係るガスセンサは、請求
項１〜５のいずれかの発明において、上記特定ガスはＳ
Ｆ6分解ガスであるものである。
項１〜５のいずれかの発明において、上記特定ガスはＳ
Ｆ6分解ガスであるものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態
を、図を参照して説明する。 実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１を示す
構成図である。図において、図５と対応する部分には同
一符号を付して説明する。図において、１はＮＡＳＩＣ
ＯＮ等の固体電解質からなるガス感知部、２はガス感知
部１を加熱する加熱手段としてのヒータ、３ａ、３ｂお
よび５ａ、５ｂはリード線、４はヒータ用の電源、６は
Ｐｔ（白金）抵抗体等の測温抵抗体からなる温度セン
サ、７ａ、７ｂはリード線、８は測温抵抗体の抵抗値を
測定するための電源、９は測温抵抗体に流れる電流を測
定する電流計、１０は測温抵抗体即ち温度センサ６と直
列に挿入された温度設定手段としての固定抵抗である。
を、図を参照して説明する。 実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１を示す
構成図である。図において、図５と対応する部分には同
一符号を付して説明する。図において、１はＮＡＳＩＣ
ＯＮ等の固体電解質からなるガス感知部、２はガス感知
部１を加熱する加熱手段としてのヒータ、３ａ、３ｂお
よび５ａ、５ｂはリード線、４はヒータ用の電源、６は
Ｐｔ（白金）抵抗体等の測温抵抗体からなる温度セン
サ、７ａ、７ｂはリード線、８は測温抵抗体の抵抗値を
測定するための電源、９は測温抵抗体に流れる電流を測
定する電流計、１０は測温抵抗体即ち温度センサ６と直
列に挿入された温度設定手段としての固定抵抗である。
【００１６】次に、動作について説明する。リード線５
ａ、５ｂより供給される電力により、ヒータ２が発熱し
てガス感知部１の加熱が行われ、検出するガスの濃度に
応じた信号が、ガス感知部１からリード線３ａ、３ｂを
通じて得られる。ガス感知部１の加熱温度に応じて温度
センサ６の抵抗値が変化するので、電源８から供給され
る電圧によって温度センサ６に流れる電流が変化し、そ
の電流を電流計９で測定すれば温度を逆算できる。この
温度をもとにヒータ２による加熱をフィードバック制御
すれば、ガス感知部１を所定の温度で一定制御すること
ができる。
ａ、５ｂより供給される電力により、ヒータ２が発熱し
てガス感知部１の加熱が行われ、検出するガスの濃度に
応じた信号が、ガス感知部１からリード線３ａ、３ｂを
通じて得られる。ガス感知部１の加熱温度に応じて温度
センサ６の抵抗値が変化するので、電源８から供給され
る電圧によって温度センサ６に流れる電流が変化し、そ
の電流を電流計９で測定すれば温度を逆算できる。この
温度をもとにヒータ２による加熱をフィードバック制御
すれば、ガス感知部１を所定の温度で一定制御すること
ができる。
【００１７】ここで、例えば製造時のバラツキによっ
て、ガス感度特性が規定値よりも高く、不良となるセン
サがあった場合、センサの制御温度を変更することによ
ってセンサ出力を下げれば、そのセンサは合格品とする
ことが可能である。化学反応を用いたガスセンサの場
合、通常センサ出力は温度変化に対して正の特性、すな
わち温度が高くなると出力も大きくなる特性を示す。従
って、センサ出力を下げるためには、センサ温度を規定
値よりも低い温度に設定すればよい。
て、ガス感度特性が規定値よりも高く、不良となるセン
サがあった場合、センサの制御温度を変更することによ
ってセンサ出力を下げれば、そのセンサは合格品とする
ことが可能である。化学反応を用いたガスセンサの場
合、通常センサ出力は温度変化に対して正の特性、すな
わち温度が高くなると出力も大きくなる特性を示す。従
って、センサ出力を下げるためには、センサ温度を規定
値よりも低い温度に設定すればよい。
【００１８】例えば、温度センサ６即ち測温抵抗体とし
て０℃の時の抵抗値が１００Ωで、１００℃の時の抵抗
値が１３８Ωある白金抵抗体（Ｐｔ１００）を用いると
すると、設定度温の規定値が１００℃であり、規定値よ
り１０℃高い１１０℃に設定する場合には、一般に白金
抵抗体（Ｐｔ１００）の温度変化に対する抵抗値の変化
は直線的に変化するので、固定抵抗１０として３．８Ω
の固定抵抗を温度センサ６に対して直列に挿入すればよ
い。すなわち、９０℃の時に白金抵抗体の抵抗値は約１
３４．２Ωであるが、固定抵抗１０として３．８Ωの固
定抵抗が挿入されているため、外部回路からは白金抵抗
体の１００℃の時の抵抗値である１３８Ωと測定され、
その結果９０℃にフィードバック制御されることにな
る。この挿入する固定抵抗１０の値は、各々のセンサ感
度に応じて決定すればよい。
て０℃の時の抵抗値が１００Ωで、１００℃の時の抵抗
値が１３８Ωある白金抵抗体（Ｐｔ１００）を用いると
すると、設定度温の規定値が１００℃であり、規定値よ
り１０℃高い１１０℃に設定する場合には、一般に白金
抵抗体（Ｐｔ１００）の温度変化に対する抵抗値の変化
は直線的に変化するので、固定抵抗１０として３．８Ω
の固定抵抗を温度センサ６に対して直列に挿入すればよ
い。すなわち、９０℃の時に白金抵抗体の抵抗値は約１
３４．２Ωであるが、固定抵抗１０として３．８Ωの固
定抵抗が挿入されているため、外部回路からは白金抵抗
体の１００℃の時の抵抗値である１３８Ωと測定され、
その結果９０℃にフィードバック制御されることにな
る。この挿入する固定抵抗１０の値は、各々のセンサ感
度に応じて決定すればよい。
【００１９】このように、本実施の形態では、温度セン
サとしての白金抵抗体等の測温抵抗体に直列に固定抵抗
を挿入して、実質的に測温抵抗体の抵抗測定値にバイア
スを加える機能を持たせることで、ガス感知部の制御温
度をセンサ単体で個別に変更することが可能となり、こ
れによりガス感度特性を任意に変更することができ、ガ
ス感度特性不良となるガスセンサの感度調整が可能とな
り、ひいてはガスセンサの製造歩留を向上できる。
サとしての白金抵抗体等の測温抵抗体に直列に固定抵抗
を挿入して、実質的に測温抵抗体の抵抗測定値にバイア
スを加える機能を持たせることで、ガス感知部の制御温
度をセンサ単体で個別に変更することが可能となり、こ
れによりガス感度特性を任意に変更することができ、ガ
ス感度特性不良となるガスセンサの感度調整が可能とな
り、ひいてはガスセンサの製造歩留を向上できる。
【００２０】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２を示す構成図である。図において、図１と対応する
部分には同一符号を付し、その詳細説明を省略する。本
実施の形態では、固定抵抗１０を測温抵抗体からなる温
度センサ６と並列に挿入したものである。その他の構成
は、図１の場合と同様である。この構成とすることによ
って、上記実施の形態１とは逆にガス感知部１の温度を
規定値より高い温度に制御することが可能となる。例え
ば、同じく白金抵抗体（Ｐｔ１００）で、規定値１００
℃より１０℃高い１１０℃に制御する場合は、５．１５
ｋΩの固定抵抗を並列に挿入すればよい。
態２を示す構成図である。図において、図１と対応する
部分には同一符号を付し、その詳細説明を省略する。本
実施の形態では、固定抵抗１０を測温抵抗体からなる温
度センサ６と並列に挿入したものである。その他の構成
は、図１の場合と同様である。この構成とすることによ
って、上記実施の形態１とは逆にガス感知部１の温度を
規定値より高い温度に制御することが可能となる。例え
ば、同じく白金抵抗体（Ｐｔ１００）で、規定値１００
℃より１０℃高い１１０℃に制御する場合は、５．１５
ｋΩの固定抵抗を並列に挿入すればよい。
【００２１】このように、本実施の形態では、温度セン
サとしての白金抵抗体等の測温抵抗体に並列に固定抵抗
を挿入して、実質的に測温抵抗体の抵抗測定値にバイア
スを加える機能を持たせることで、上記実施の形態１と
同様の効果を得ることができ、特に、ガス感知部の温度
を規定値より高い温度に容易に制御できる。
サとしての白金抵抗体等の測温抵抗体に並列に固定抵抗
を挿入して、実質的に測温抵抗体の抵抗測定値にバイア
スを加える機能を持たせることで、上記実施の形態１と
同様の効果を得ることができ、特に、ガス感知部の温度
を規定値より高い温度に容易に制御できる。
【００２２】実施の形態３．図３はこの発明の実施の形
態３を示す構成図であり、図において、図１と対応する
部分には同一符号を付し、その詳細説明を省略する。本
実施の形態では、可変抵抗を測温抵抗体からなる温度セ
ンサと直列および並列に挿入したものである。図におい
て、１０ａは測温抵抗体即ち温度センサ６と直列に挿入
された温度設定手段としての可変抵抗、１０ｂは測温抵
抗体即ち温度センサ６と並列に挿入された温度設定手段
としての可変抵抗である。その他の構成は、図１の場合
と同様である。この構成とすることによって、挿入され
た可変抵抗１０ａおよび１０ｂを可変にすることによっ
て、センサ温度の上下をより容易にすることが可能とな
る。
態３を示す構成図であり、図において、図１と対応する
部分には同一符号を付し、その詳細説明を省略する。本
実施の形態では、可変抵抗を測温抵抗体からなる温度セ
ンサと直列および並列に挿入したものである。図におい
て、１０ａは測温抵抗体即ち温度センサ６と直列に挿入
された温度設定手段としての可変抵抗、１０ｂは測温抵
抗体即ち温度センサ６と並列に挿入された温度設定手段
としての可変抵抗である。その他の構成は、図１の場合
と同様である。この構成とすることによって、挿入され
た可変抵抗１０ａおよび１０ｂを可変にすることによっ
て、センサ温度の上下をより容易にすることが可能とな
る。
【００２３】このように、本実施の形態では、温度セン
サとしての白金抵抗体等の測温抵抗体に直列および並列
に可変抵抗を挿入して、実質的に測温抵抗体の抵抗測定
値にバイアスを加える機能を持たせることで、上記実施
の形態１と同様の効果を得ることができ、特に、センサ
温度の上下をより容易に制御することが可能となる。
サとしての白金抵抗体等の測温抵抗体に直列および並列
に可変抵抗を挿入して、実質的に測温抵抗体の抵抗測定
値にバイアスを加える機能を持たせることで、上記実施
の形態１と同様の効果を得ることができ、特に、センサ
温度の上下をより容易に制御することが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、特定ガスに対して応答して信号を出力するガス感知
部と、該ガス感知部の加熱温度を測定する温度センサ
と、該温度センサの測定温度に基づいて上記ガス感知部
を加熱して一定温度に保つ加熱手段と、ガスセンサ個別
の感度に応じて上記ガス感知部の加熱温度を任意の温度
に設定する温度設定手段とを備えたので、ガス感度特性
不良となる感度調整を可能にして、特性が均一で製造歩
留の優れたガスセンサが得られるという効果がある。
ば、特定ガスに対して応答して信号を出力するガス感知
部と、該ガス感知部の加熱温度を測定する温度センサ
と、該温度センサの測定温度に基づいて上記ガス感知部
を加熱して一定温度に保つ加熱手段と、ガスセンサ個別
の感度に応じて上記ガス感知部の加熱温度を任意の温度
に設定する温度設定手段とを備えたので、ガス感度特性
不良となる感度調整を可能にして、特性が均一で製造歩
留の優れたガスセンサが得られるという効果がある。
【００２５】また、請求項２の発明によれば、上記温度
設定手段として上記温度センサと直列に挿入された固定
抵抗を用いたので、ガス感知部の制御温度をセンサ単体
で個別に変更することができ、以て、ガス感度特性を任
意に変更することができ、ガス感度特性不良となるガス
センサの感度調整が可能となり、ガスセンサの製造歩留
の向上に寄与できるという効果がある。
設定手段として上記温度センサと直列に挿入された固定
抵抗を用いたので、ガス感知部の制御温度をセンサ単体
で個別に変更することができ、以て、ガス感度特性を任
意に変更することができ、ガス感度特性不良となるガス
センサの感度調整が可能となり、ガスセンサの製造歩留
の向上に寄与できるという効果がある。
【００２６】また、請求項３の発明によれば、上記温度
設定手段として上記温度センサと並列に挿入された固定
抵抗を用いたので、ガス感知部の制御温度をセンサ単体
で個別に変更することができ、以て、ガス感度特性を任
意に変更することができ、ガス感度特性不良となるガス
センサの感度調整が可能となり、ガスセンサの製造歩留
の向上に寄与でき、特に、ガス感知部の温度を規定値よ
り高い温度に制御する場合に有用であるという効果があ
る。
設定手段として上記温度センサと並列に挿入された固定
抵抗を用いたので、ガス感知部の制御温度をセンサ単体
で個別に変更することができ、以て、ガス感度特性を任
意に変更することができ、ガス感度特性不良となるガス
センサの感度調整が可能となり、ガスセンサの製造歩留
の向上に寄与でき、特に、ガス感知部の温度を規定値よ
り高い温度に制御する場合に有用であるという効果があ
る。
【００２７】また、請求項４の発明によれば、上記温度
設定手段として上記温度センサと直列および並列に挿入
された可変抵抗を用いたので、ガス感知部の制御温度を
センサ単体で個別に変更することができ、以て、ガス感
度特性を任意に変更することができ、ガス感度特性不良
となるガスセンサの感度調整が可能となり、ガスセンサ
の製造歩留の向上に寄与でき、特にセンサ温度の上下を
制御する場合に有用であるという効果がある。
設定手段として上記温度センサと直列および並列に挿入
された可変抵抗を用いたので、ガス感知部の制御温度を
センサ単体で個別に変更することができ、以て、ガス感
度特性を任意に変更することができ、ガス感度特性不良
となるガスセンサの感度調整が可能となり、ガスセンサ
の製造歩留の向上に寄与でき、特にセンサ温度の上下を
制御する場合に有用であるという効果がある。
【００２８】また、請求項５の発明によれば、上記温度
センサは白金抵抗体等の測温抵抗体であるので、感度特
性の優れたガスセンサが得られるという効果がある。
センサは白金抵抗体等の測温抵抗体であるので、感度特
性の優れたガスセンサが得られるという効果がある。
【００２９】さらに、請求項６の発明によれば、上記特
定ガスはＳＦ6分解ガスであるので、ガス絶縁電気機器
内部で放電等の異常が有ったときに生成するＳＦ6分解
ガスの場合でも的確に対応できるという効果がある。
定ガスはＳＦ6分解ガスであるので、ガス絶縁電気機器
内部で放電等の異常が有ったときに生成するＳＦ6分解
ガスの場合でも的確に対応できるという効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１を示す構成図であ
る。
る。
【図２】 この発明の実施の形態２を示す構成図であ
る。
る。
【図３】 従来の発明のガスセンサを示す構成図であ
る。
る。
【図４】 従来の発明のガスセンサを示す部分断面図で
ある。
ある。
【図５】 従来の発明のガスセンサにおける温度制御部
分を示す構成図である。
分を示す構成図である。
１ ガス感知部、 ２ ヒータ、 ４ ヒータ用電源、
６ 温度センサ、 ８抵抗値測定用電源、 ９ 抵抗値
測定用電流計、 １０ 固定抵抗、 １０ａ、１０ｂ
可変抵抗。
６ 温度センサ、 ８抵抗値測定用電源、 ９ 抵抗値
測定用電流計、 １０ 固定抵抗、 １０ａ、１０ｂ
可変抵抗。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０８Ｂ 21/14 Ｇ０１Ｎ 27/46 ３７１Ｇ (72)発明者 永尾 栄一 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F056 NA01 2G004 ZA05 2G046 AA01 AA16 BE08 BJ02 DB05 FE31 5C086 AA31 AA60 BA13 CA30 CB13 DA14 DA40 EA01 EA08
Claims (6)
- 【請求項１】 特定ガスに対して応答して信号を出力す
るガス感知部と、 該ガス感知部の加熱温度を測定する温度センサと、 該温度センサの測定温度に基づいて上記ガス感知部を加
熱して一定温度に保つ加熱手段と、 ガスセンサ個別の感度に応じて上記ガス感知部の加熱温
度を任意の温度に設定する温度設定手段とを備えたこと
を特徴とするガスセンサ。 - 【請求項２】 上記温度設定手段として上記温度センサ
と直列に挿入された固定抵抗を用いたことを特徴とする
請求項１記載のガスセンサ。 - 【請求項３】 上記温度設定手段として上記温度センサ
と並列に挿入された固定抵抗を用いたことを特徴とする
請求項１記載のガスセンサ。 - 【請求項４】 上記温度設定手段として上記温度センサ
と直列および並列に挿入された可変抵抗を用いたことを
特徴とする請求項１記載のガスセンサ。 - 【請求項５】 上記温度センサは白金抵抗体等の測温抵
抗体であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに
記載のガスセンサ。 - 【請求項６】 上記特定ガスはＳＦ6分解ガスであるこ
とを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガスセ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382125A JP2002181759A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382125A JP2002181759A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | ガスセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181759A true JP2002181759A (ja) | 2002-06-26 |
Family
ID=18850008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000382125A Pending JP2002181759A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002181759A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101570913B1 (ko) | 2013-12-19 | 2015-11-23 | 한국과학기술원 | 온도 센서 및 이를 포함하는 가스 센싱 시스템 |
| KR20230019644A (ko) * | 2021-08-02 | 2023-02-09 | 울산과학기술원 | 가스 센서를 자가 보정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 가스 센서 보정 시스템 |
-
2000
- 2000-12-15 JP JP2000382125A patent/JP2002181759A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101570913B1 (ko) | 2013-12-19 | 2015-11-23 | 한국과학기술원 | 온도 센서 및 이를 포함하는 가스 센싱 시스템 |
| KR20230019644A (ko) * | 2021-08-02 | 2023-02-09 | 울산과학기술원 | 가스 센서를 자가 보정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 가스 센서 보정 시스템 |
| KR102588967B1 (ko) * | 2021-08-02 | 2023-10-12 | 울산과학기술원 | 가스 센서를 자가 보정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 가스 센서 보정 시스템 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4847783A (en) | Gas sensing instrument | |
| US9244032B2 (en) | Gas detecting apparatus and gas detecting method | |
| JPH0755748A (ja) | 雰囲気計 | |
| US11402347B2 (en) | Gas sensor with a configurable heating element, and methods exploiting the configurability | |
| US20230079310A1 (en) | Gas measurement device and gas measurement method | |
| JPH08136490A (ja) | 温度補償付き雰囲気検出装置 | |
| CN110779963A (zh) | 通过在气体传感器中进行脉冲加热的选择性多气体检测 | |
| JP4528638B2 (ja) | ガス検出装置 | |
| JP2002181759A (ja) | ガスセンサ | |
| RU2438121C1 (ru) | Способ определения параметров газовой среды и устройство для его реализации | |
| US20200278310A1 (en) | Method for operating a gas sensor device and gas sensor device | |
| JP2002357484A (ja) | プログラマブルコントローラ、プログラマブルコントローラの測温抵抗体入力モジュール、測温信号形成方法及び測温信号形成用のプログラム | |
| JP2003042983A (ja) | 熱伝導度検出器 | |
| JP3331070B2 (ja) | 雰囲気検出装置 | |
| JP6373979B2 (ja) | 赤外線センサ | |
| JP2004294433A (ja) | 抵抗温度計用のキャリブレーション装置、気体組成分析計および抵抗温度計のキャリブレーション方法 | |
| JP5467775B2 (ja) | ガスセンサの性能評価方法 | |
| JP3999831B2 (ja) | ガス検出方法及びその装置 | |
| JP6372097B2 (ja) | 検出装置、検出回路、センサモジュール及び画像形成装置 | |
| JP2007155502A (ja) | 検出器 | |
| JP3425638B2 (ja) | 計測方法及び計測素子 | |
| JPH1096703A (ja) | 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 | |
| JPH06151537A (ja) | 配線寿命の評価方法 | |
| JP2001083019A (ja) | 温度計測器 | |
| JP4575862B2 (ja) | ガス検出装置 |