JP2002181649A - 圧力センサとその製造方法 - Google Patents
圧力センサとその製造方法Info
- Publication number
- JP2002181649A JP2002181649A JP2000382255A JP2000382255A JP2002181649A JP 2002181649 A JP2002181649 A JP 2002181649A JP 2000382255 A JP2000382255 A JP 2000382255A JP 2000382255 A JP2000382255 A JP 2000382255A JP 2002181649 A JP2002181649 A JP 2002181649A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terminal pin
- connector
- seal
- primer
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コネクタとターミナルピンの界面をオイル等
の流体から長期に亘って確実にシールすることができる
圧力センサを実現する。 【解決手段】 圧力センサは、流体収容室２３と、この
流体収容室２３内に配置されて圧力を電気信号に変換す
るセンサ３８と、流体収容室２３を構成する壁のセンサ
３８側に一端が露出するターミナルピン４２と、このタ
ーミナルピン４２の露出部４２ｂ（突起部４２ａ）とセ
ンサ３８を接続するボンディングワイヤ２６と、流体収
容室２３を構成する側面壁３７ｄとターミナルピン４２
の露出部４２ｂ（突起部４２ａ）間に亘って伸びるシー
ルＳを備えている。そして、この圧力センサは、シール
Ｓとターミナルピン４２の露出部４２ｂ（突起部４２
ａ）またはシールＳと流体収容室２３を構成する側面壁
３７ｄがプライマＰを介して強固に接着されている。
の流体から長期に亘って確実にシールすることができる
圧力センサを実現する。 【解決手段】 圧力センサは、流体収容室２３と、この
流体収容室２３内に配置されて圧力を電気信号に変換す
るセンサ３８と、流体収容室２３を構成する壁のセンサ
３８側に一端が露出するターミナルピン４２と、このタ
ーミナルピン４２の露出部４２ｂ（突起部４２ａ）とセ
ンサ３８を接続するボンディングワイヤ２６と、流体収
容室２３を構成する側面壁３７ｄとターミナルピン４２
の露出部４２ｂ（突起部４２ａ）間に亘って伸びるシー
ルＳを備えている。そして、この圧力センサは、シール
Ｓとターミナルピン４２の露出部４２ｂ（突起部４２
ａ）またはシールＳと流体収容室２３を構成する側面壁
３７ｄがプライマＰを介して強固に接着されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、圧力センサとそ
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来の圧力センサの一例を図６を参照
して説明する。図６は従来技術に係る圧力センサの流体
収容室付近の拡大図を示す。符号３７はコネクタの一部
であり、非導電性材料で形成されており、流体収容室２
３を区画する壁の一部を構成する。流体収容室２３は、
コネクタ３７の壁とダイアフラム２８によって密封され
ており、その密封された流体収容室２３内に非腐食性の
オイル２４が充填されている。流体収容室２３の中央部
には凹部３７ａが形成されている。この凹部３７ａ内に
センサ３８が収容されている。センサ３８は流体収容室
２３内に収容されている非腐食性のオイル２４の圧力に
応じた電気信号を出力する。凹部３７ａの両サイドには
空隙部３７ｂが形成されている。この空隙部３７ｂの底
となるコネクタ３７の底面壁３７ｅには、導電性ターミ
ナルピン４２の露出部４２ｂの下面が固定されている。
この露出部４２ｂの上面は流体収容室２３に露出してお
り、その露出面に突起部４２ａが形成されている。突起
部４２ａは空隙部３７ｂ内に収容されている。突起部４
２ａとセンサ３８はボンディングワイヤ２６で接続され
ている。そして、コネクタ３７とターミナルピン４２の
界面Ｋをオイル２４からシールするようにシールＳが充
填されている。明らかに、この種の圧力センサは、流体
収容室２３と、この流体収容室２３内に配置されて圧力
を電気信号に変換するセンサ３８と、流体収容室２３を
構成する壁のセンサ３８側に一端が露出するターミナル
ピン４２と、このターミナルピン４２の露出部４２ｂ
（突起部４２ａ）とセンサ３８を接続するボンディング
ワイヤ２６と、流体収容室２３を構成する側面壁３７ｄ
とターミナルピン４２の露出部４２ｂ（突起部４２ａ）
間に亘って伸びるシールＳを備えている。
して説明する。図６は従来技術に係る圧力センサの流体
収容室付近の拡大図を示す。符号３７はコネクタの一部
であり、非導電性材料で形成されており、流体収容室２
３を区画する壁の一部を構成する。流体収容室２３は、
コネクタ３７の壁とダイアフラム２８によって密封され
ており、その密封された流体収容室２３内に非腐食性の
オイル２４が充填されている。流体収容室２３の中央部
には凹部３７ａが形成されている。この凹部３７ａ内に
センサ３８が収容されている。センサ３８は流体収容室
２３内に収容されている非腐食性のオイル２４の圧力に
応じた電気信号を出力する。凹部３７ａの両サイドには
空隙部３７ｂが形成されている。この空隙部３７ｂの底
となるコネクタ３７の底面壁３７ｅには、導電性ターミ
ナルピン４２の露出部４２ｂの下面が固定されている。
この露出部４２ｂの上面は流体収容室２３に露出してお
り、その露出面に突起部４２ａが形成されている。突起
部４２ａは空隙部３７ｂ内に収容されている。突起部４
２ａとセンサ３８はボンディングワイヤ２６で接続され
ている。そして、コネクタ３７とターミナルピン４２の
界面Ｋをオイル２４からシールするようにシールＳが充
填されている。明らかに、この種の圧力センサは、流体
収容室２３と、この流体収容室２３内に配置されて圧力
を電気信号に変換するセンサ３８と、流体収容室２３を
構成する壁のセンサ３８側に一端が露出するターミナル
ピン４２と、このターミナルピン４２の露出部４２ｂ
（突起部４２ａ）とセンサ３８を接続するボンディング
ワイヤ２６と、流体収容室２３を構成する側面壁３７ｄ
とターミナルピン４２の露出部４２ｂ（突起部４２ａ）
間に亘って伸びるシールＳを備えている。
【０００３】この種の圧力センサによると、圧力を検出
したい流体が腐食性の場合でも、検出流体の圧力がダイ
アフラム２８から非腐食性のオイル２４を介してセンサ
３８に伝達されるので、腐食性の検出流体がセンサ３８
等に直接接触しない。このためセンサ３８等の腐食を防
止できる。そして、コネクタ３７とターミナルピン４２
の界面Ｋはシール剤Ｓでオイル２４からシールされてい
ることから、流体収容室２３内に封入されているオイル
２４がコネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋに侵
入かつ外部にリークすることを防止できる。
したい流体が腐食性の場合でも、検出流体の圧力がダイ
アフラム２８から非腐食性のオイル２４を介してセンサ
３８に伝達されるので、腐食性の検出流体がセンサ３８
等に直接接触しない。このためセンサ３８等の腐食を防
止できる。そして、コネクタ３７とターミナルピン４２
の界面Ｋはシール剤Ｓでオイル２４からシールされてい
ることから、流体収容室２３内に封入されているオイル
２４がコネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋに侵
入かつ外部にリークすることを防止できる。
【０００４】この種の圧力センサの製造工程の一部を図
７を参照して説明する。図７は従来技術に係る圧力セン
サの製造工程の一部を示した図である。まず金属を成形
してターミナルピン４２を成形する。突起部４２ａもタ
ーミナルピン４２と一体に成形する。成形されたターミ
ナルピン４２にメッキを施す。メッキが施されたターミ
ナルピン４２を型内にセットし、非導電性材料を型内に
充填することによってコネクタ３７をインサート成形す
る。このようにしてインサート成形されたコネクタ３７
にはターミナルピン４２が埋設されている。ターミナル
ピン４２の露出部４２ｂはコネクタ３７を貫通して露出
している。この状態が図７（ａ）に示されている。イン
サート成形されたコネクタ３７を洗浄し、ターミナルピ
ン４２の露出部４２ｂとその近傍のコネクタ３７の側面
壁３７ｄを入念に洗浄する。洗浄されたコネクタ３７に
対して、図７（ｂ）に示すように、コネクタ３７とター
ミナルピン４２の界面Ｋをシールするようにディスペン
サ４６によってシールＳを充填する。その後、図７
（ｃ）に示すように、ターミナルピン４２の露出部４２
ｂ（正確には突起部４２ａ）とセンサ３８をボンディン
グワイヤ２６で接続する。その後、図７（ｄ）に示すよ
うに、流体収容室２３内にオイル２４を注入し、ダイア
フラム２８によって封入する。
７を参照して説明する。図７は従来技術に係る圧力セン
サの製造工程の一部を示した図である。まず金属を成形
してターミナルピン４２を成形する。突起部４２ａもタ
ーミナルピン４２と一体に成形する。成形されたターミ
ナルピン４２にメッキを施す。メッキが施されたターミ
ナルピン４２を型内にセットし、非導電性材料を型内に
充填することによってコネクタ３７をインサート成形す
る。このようにしてインサート成形されたコネクタ３７
にはターミナルピン４２が埋設されている。ターミナル
ピン４２の露出部４２ｂはコネクタ３７を貫通して露出
している。この状態が図７（ａ）に示されている。イン
サート成形されたコネクタ３７を洗浄し、ターミナルピ
ン４２の露出部４２ｂとその近傍のコネクタ３７の側面
壁３７ｄを入念に洗浄する。洗浄されたコネクタ３７に
対して、図７（ｂ）に示すように、コネクタ３７とター
ミナルピン４２の界面Ｋをシールするようにディスペン
サ４６によってシールＳを充填する。その後、図７
（ｃ）に示すように、ターミナルピン４２の露出部４２
ｂ（正確には突起部４２ａ）とセンサ３８をボンディン
グワイヤ２６で接続する。その後、図７（ｄ）に示すよ
うに、流体収容室２３内にオイル２４を注入し、ダイア
フラム２８によって封入する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 従来の圧力センサ
で、コネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋをシー
ルＳで良好にシールするためには、ターミナルピン４２
のメッキ条件を厳しく管理しなければならなかった。即
ち、ターミナルピン４２は、ボンディングワイヤ２６と
の接合強度が高いことが求められ、同時にシールＳが強
固に接着することが求められる。しかしながら、接合強
度が高くてシールＳの接着性も良いという条件は厳し
く、メッキ条件を厳しく管理するする必要があり、管理
がうまくいかないとシールＳの接着力が低下し、シール
が剥がれてオイル２４がコネクタ３７とターミナルピン
４２の界面Ｋに侵入する。また、インサート成形された
コネクタ３７はターミナルピン４２の露出部４２ｂとそ
の近傍のコネクタ３７の側壁部３７ｄにシールＳの接着
を阻害する物質等が強固に付着するため、コネクタ３７
を入念に洗浄しなければならなかった。しかも、洗浄処
理の条件管理が困難であり、念入りに洗浄したはずのも
のでもシールＳの接着力が低下しシールが剥がれて、オ
イル２４がコネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋ
に侵入することがあった。さらに、検出流体の圧力が大
きい場合には、入念にターミナルピン４２のメッキ条件
とコネクタ３７の洗浄条件を管理しても、時間の経過と
ともにシールＳの接着性が徐々に低下していき、最終的
にはコネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋにオイ
ル２４が侵入してしまう場合があった。このような問題
は、検出流体の圧力をセンサ３８で直接的に検出する場
合にも生じていた。
で、コネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋをシー
ルＳで良好にシールするためには、ターミナルピン４２
のメッキ条件を厳しく管理しなければならなかった。即
ち、ターミナルピン４２は、ボンディングワイヤ２６と
の接合強度が高いことが求められ、同時にシールＳが強
固に接着することが求められる。しかしながら、接合強
度が高くてシールＳの接着性も良いという条件は厳し
く、メッキ条件を厳しく管理するする必要があり、管理
がうまくいかないとシールＳの接着力が低下し、シール
が剥がれてオイル２４がコネクタ３７とターミナルピン
４２の界面Ｋに侵入する。また、インサート成形された
コネクタ３７はターミナルピン４２の露出部４２ｂとそ
の近傍のコネクタ３７の側壁部３７ｄにシールＳの接着
を阻害する物質等が強固に付着するため、コネクタ３７
を入念に洗浄しなければならなかった。しかも、洗浄処
理の条件管理が困難であり、念入りに洗浄したはずのも
のでもシールＳの接着力が低下しシールが剥がれて、オ
イル２４がコネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋ
に侵入することがあった。さらに、検出流体の圧力が大
きい場合には、入念にターミナルピン４２のメッキ条件
とコネクタ３７の洗浄条件を管理しても、時間の経過と
ともにシールＳの接着性が徐々に低下していき、最終的
にはコネクタ３７とターミナルピン４２の界面Ｋにオイ
ル２４が侵入してしまう場合があった。このような問題
は、検出流体の圧力をセンサ３８で直接的に検出する場
合にも生じていた。
【０００６】本発明は、コネクタとターミナルピンの界
面をオイル等の流体から長期に亘って確実にシールする
ことができる圧力センサを実現することを目的とする。
また、そのための製造方法を提案する。
面をオイル等の流体から長期に亘って確実にシールする
ことができる圧力センサを実現することを目的とする。
また、そのための製造方法を提案する。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用と効果】 本発
明に係る圧力センサは、流体収容室と、この流体収容室
内に配置されて圧力を電気信号に変換するセンサと、前
記流体収容室を構成する壁の前記センサ側に一端が露出
するターミナルピンと、このターミナルピンの露出部と
前記センサを接続する導体と、前記流体収容室を構成す
る壁と前記ターミナルピンの露出部間に亘って伸びるシ
ールを備えている。そして、この圧力センサは、前記シ
ールと前記ターミナルピンの露出部または前記シールと
前記流体収容室を構成する壁がプライマを介して強固に
接着されていることを特徴とする。ここで、流体収容室
には圧力を検出したい流体が収容されることもあれば、
ダイヤフラム等によって圧力検出流体から分離されたオ
イル等の流体が収容されることもある。シールの材質は
特に限定されず、例えば、シリコンゴム系のシールや、
弾性のあるエポキシ系のシール等を用いればよい。ま
た、プライマの例としては、シランカップリング剤を成
分とするものが挙げられる。
明に係る圧力センサは、流体収容室と、この流体収容室
内に配置されて圧力を電気信号に変換するセンサと、前
記流体収容室を構成する壁の前記センサ側に一端が露出
するターミナルピンと、このターミナルピンの露出部と
前記センサを接続する導体と、前記流体収容室を構成す
る壁と前記ターミナルピンの露出部間に亘って伸びるシ
ールを備えている。そして、この圧力センサは、前記シ
ールと前記ターミナルピンの露出部または前記シールと
前記流体収容室を構成する壁がプライマを介して強固に
接着されていることを特徴とする。ここで、流体収容室
には圧力を検出したい流体が収容されることもあれば、
ダイヤフラム等によって圧力検出流体から分離されたオ
イル等の流体が収容されることもある。シールの材質は
特に限定されず、例えば、シリコンゴム系のシールや、
弾性のあるエポキシ系のシール等を用いればよい。ま
た、プライマの例としては、シランカップリング剤を成
分とするものが挙げられる。
【０００８】本発明に係る圧力センサによると、シール
とターミナルピンの露出部またはシールと流体収容室を
構成する壁がプライマを介して強固に接着されているこ
とから、長期にわたって確実に、コネクタとターミナル
ピンの界面にオイル等の流体が浸入することを防止でき
る。また、従来では厳しく管理する必要のあったターミ
ナルピンのメッキ条件とコネクタの洗浄条件を緩和する
ことができ、管理条件を緩和してもコネクタとターミナ
ルピンの界面にオイル等の流体が浸入することを防止で
きる。
とターミナルピンの露出部またはシールと流体収容室を
構成する壁がプライマを介して強固に接着されているこ
とから、長期にわたって確実に、コネクタとターミナル
ピンの界面にオイル等の流体が浸入することを防止でき
る。また、従来では厳しく管理する必要のあったターミ
ナルピンのメッキ条件とコネクタの洗浄条件を緩和する
ことができ、管理条件を緩和してもコネクタとターミナ
ルピンの界面にオイル等の流体が浸入することを防止で
きる。
【０００９】この圧力センサでは、前記ターミナルピン
の表面はボンディングの接合強度が高く、前記プライマ
は前記ターミナルピンの表面に接着性が高いことが極め
て好ましい。この特性の材料を選択すると、ターミナル
ピンのメッキ条件とコネクタの洗浄条件をより一層緩和
することができ、場合によっては洗浄工程を不要とする
こともできる。
の表面はボンディングの接合強度が高く、前記プライマ
は前記ターミナルピンの表面に接着性が高いことが極め
て好ましい。この特性の材料を選択すると、ターミナル
ピンのメッキ条件とコネクタの洗浄条件をより一層緩和
することができ、場合によっては洗浄工程を不要とする
こともできる。
【００１０】本発明は、また、新規な製造方法を実現し
た。この製造方法は、導電性ターミナルピンを型内にセ
ットしておいて非導電性材料を型内に充填することによ
って、流体収容室に一端が露出したターミナルピンが埋
設されたコネクタをインサート成形する工程と、前記タ
ーミナルピンの露出部と前記ターミナルピンの露出部を
囲むコネクタの壁にプライマを塗布する工程と、このプ
ライマ上にシールを塗布する工程を実行することを特徴
とする。
た。この製造方法は、導電性ターミナルピンを型内にセ
ットしておいて非導電性材料を型内に充填することによ
って、流体収容室に一端が露出したターミナルピンが埋
設されたコネクタをインサート成形する工程と、前記タ
ーミナルピンの露出部と前記ターミナルピンの露出部を
囲むコネクタの壁にプライマを塗布する工程と、このプ
ライマ上にシールを塗布する工程を実行することを特徴
とする。
【００１１】本発明に係る製造方法によると、流体収容
室に露出するターミナルピンとその露出部を囲むコネク
タの壁にプライマを塗布しておいてからシール剤を塗布
するために、シールとターミナルピンの露出部またはシ
ールと流体収容室を構成する壁がプライマを介して強固
に接着される。
室に露出するターミナルピンとその露出部を囲むコネク
タの壁にプライマを塗布しておいてからシール剤を塗布
するために、シールとターミナルピンの露出部またはシ
ールと流体収容室を構成する壁がプライマを介して強固
に接着される。
【００１２】前記プライマを塗布する工程に先立って、
圧力を電気信号に変換するセンサと前記ターミナルピン
の露出部を導体で接続する工程を実行しておくことが好
ましい。この製造方法によると、プライマを塗布する前
にターミナルピンの露出部に導体が接続されることか
ら、ターミナルピンの露出部と導体の接続がプライマに
よって妨げられることがない。
圧力を電気信号に変換するセンサと前記ターミナルピン
の露出部を導体で接続する工程を実行しておくことが好
ましい。この製造方法によると、プライマを塗布する前
にターミナルピンの露出部に導体が接続されることか
ら、ターミナルピンの露出部と導体の接続がプライマに
よって妨げられることがない。
【００１３】
【発明の実施の形態】 この実施の形態では、特に下記
の点を特徴とする。 （形態１） プライマの塗布工程完了からシール剤塗布
工程開始までの時間が３０分以上２４時間以下であるこ
とが好ましい。この条件によると、未乾燥のプライマが
シール剤に侵食することを防止しながらプライマの接着
性を高く維持することができる。
の点を特徴とする。 （形態１） プライマの塗布工程完了からシール剤塗布
工程開始までの時間が３０分以上２４時間以下であるこ
とが好ましい。この条件によると、未乾燥のプライマが
シール剤に侵食することを防止しながらプライマの接着
性を高く維持することができる。
【００１４】
【実施例】 本発明を具現化した好適な実施例を図を参
照して説明する。まず、本実施例に係る圧力センサを図
１から図３を参照して説明する。図１は本実施例に係る
圧力センサの縦断面図であり、図２は本実施例に係る圧
力センサの流体収容室付近の拡大図であり、図３は図２
のＡ−Ａ線の断面図である。図１に示すように、本実施
例に係る圧力センサは、大きく分けて、アウターケース
３６と、このアウターケース３６の内側に取り付けられ
たコネクタ３７を備えている。アウターケース３６に
は、圧力導入部２２が形成されている。この圧力導入部
２２は検出流体の入口である上流側から中流付近までは
径が一定の円筒状に形成されており、下流側は径が徐々
に大きくなっている。圧力導入部２２より下流側にはコ
ネクタ３７が配置されており、圧力導入部２２の下流側
とコネクタ３７の上流側の間を分離するようにダイアフ
ラム２８が取り付けられている。このダイアフラム２８
は、押えリング２９とともにアウターケース３６に溶接
づけされている。このダイアフラム２８で分離されるこ
とによって、コネクタ３７には流体収容室２３が形成さ
れている。また、コネクタ３７には、ターミナルピン４
２が埋め込まれている。ターミナルピン４２は黄銅で形
成されている。ターミナルピン４２の先端部４２ｃはコ
ネクタ３７に形成された中空円筒部３７ｃ内に突出して
いる。なお、アウターケース３６とコネクタ３７の間
は、後に説明するオイル２４の漏れを防止するためにシ
ール部材３４でシールされている。
照して説明する。まず、本実施例に係る圧力センサを図
１から図３を参照して説明する。図１は本実施例に係る
圧力センサの縦断面図であり、図２は本実施例に係る圧
力センサの流体収容室付近の拡大図であり、図３は図２
のＡ−Ａ線の断面図である。図１に示すように、本実施
例に係る圧力センサは、大きく分けて、アウターケース
３６と、このアウターケース３６の内側に取り付けられ
たコネクタ３７を備えている。アウターケース３６に
は、圧力導入部２２が形成されている。この圧力導入部
２２は検出流体の入口である上流側から中流付近までは
径が一定の円筒状に形成されており、下流側は径が徐々
に大きくなっている。圧力導入部２２より下流側にはコ
ネクタ３７が配置されており、圧力導入部２２の下流側
とコネクタ３７の上流側の間を分離するようにダイアフ
ラム２８が取り付けられている。このダイアフラム２８
は、押えリング２９とともにアウターケース３６に溶接
づけされている。このダイアフラム２８で分離されるこ
とによって、コネクタ３７には流体収容室２３が形成さ
れている。また、コネクタ３７には、ターミナルピン４
２が埋め込まれている。ターミナルピン４２は黄銅で形
成されている。ターミナルピン４２の先端部４２ｃはコ
ネクタ３７に形成された中空円筒部３７ｃ内に突出して
いる。なお、アウターケース３６とコネクタ３７の間
は、後に説明するオイル２４の漏れを防止するためにシ
ール部材３４でシールされている。
【００１５】図２の拡大図に示すように、流体収容室２
３の中央部には凹部３７ａが形成されている。この凹部
３７ａ内にセンサ３８が収容されている。このセンサ３
８はピエゾ抵抗素子によって構成されたブリッジ回路を
備えており、ピエゾ効果により圧力に応じた電気信号を
出力する。凹部３７ａの両サイドには周方向に間隔をお
いて複数の空隙部３７ｂが形成されている。この空隙部
３７ｂは、図２のＡ−Ａ線の断面図である図３に示すよ
うに、中空円筒状に形成されている。この空隙部３７ｂ
の底となるコネクタ３７の底面壁３７ｅには、導電性タ
ーミナルピン４２の露出部４２ｂの下面が固定されてい
る。この露出部４２ｂの上面には突起部４２ａが一体成
形され、この突起部４２ａはターミナルピン４２の一部
を構成している。この突起部４２ａは空隙部３７ｂ内に
収容されており、図２のＡ−Ａ線からみると、図３に示
すように円形状に形成されている。突起部４２ａとセン
サ３８はボンディングワイヤ２６で接続されている。ボ
ンディングワイヤ２６の端部は突起部４２ａにボンディ
ング（固相溶接）にて接合されている。ターミナルピン
４２の露出部４２ｂの上面には、プライマＰが塗布され
ている。さらにプライマＰの上面には、コネクタ３７と
ターミナルピン４２の界面Ｋをシールするようにシール
剤（具体的にはシリコンゴム）Ｓが塗布されている。こ
のシール剤Ｓは、ターミナルピン４２の露出部４２ｂの
上面と、突起部４２ａの側面と、コネクタ３７の側壁面
３７ｄのそれぞれの間に強固に接着されている。流体収
容室２３内には非腐食性オイル（具体的にはシリコンオ
イルやフッ素オイル等）２４が充填されている。このオ
イル２４はダイアフラム２８によって流体収容室２３内
に封入されている。
３の中央部には凹部３７ａが形成されている。この凹部
３７ａ内にセンサ３８が収容されている。このセンサ３
８はピエゾ抵抗素子によって構成されたブリッジ回路を
備えており、ピエゾ効果により圧力に応じた電気信号を
出力する。凹部３７ａの両サイドには周方向に間隔をお
いて複数の空隙部３７ｂが形成されている。この空隙部
３７ｂは、図２のＡ−Ａ線の断面図である図３に示すよ
うに、中空円筒状に形成されている。この空隙部３７ｂ
の底となるコネクタ３７の底面壁３７ｅには、導電性タ
ーミナルピン４２の露出部４２ｂの下面が固定されてい
る。この露出部４２ｂの上面には突起部４２ａが一体成
形され、この突起部４２ａはターミナルピン４２の一部
を構成している。この突起部４２ａは空隙部３７ｂ内に
収容されており、図２のＡ−Ａ線からみると、図３に示
すように円形状に形成されている。突起部４２ａとセン
サ３８はボンディングワイヤ２６で接続されている。ボ
ンディングワイヤ２６の端部は突起部４２ａにボンディ
ング（固相溶接）にて接合されている。ターミナルピン
４２の露出部４２ｂの上面には、プライマＰが塗布され
ている。さらにプライマＰの上面には、コネクタ３７と
ターミナルピン４２の界面Ｋをシールするようにシール
剤（具体的にはシリコンゴム）Ｓが塗布されている。こ
のシール剤Ｓは、ターミナルピン４２の露出部４２ｂの
上面と、突起部４２ａの側面と、コネクタ３７の側壁面
３７ｄのそれぞれの間に強固に接着されている。流体収
容室２３内には非腐食性オイル（具体的にはシリコンオ
イルやフッ素オイル等）２４が充填されている。このオ
イル２４はダイアフラム２８によって流体収容室２３内
に封入されている。
【００１６】次に本実施例に係る圧力センサの動作につ
いて説明する。図１に示す圧力導入部２２内の検出流体
の圧力が変化すると、ダイアフラム２８を介して隣接し
ているオイル２４の圧力が変化し、センサ３８から出力
される電気信号が変化する。圧力変化を示す電気信号は
ボンディングワイヤ２６を通じてターミナルピン４２の
突起部４２ａに伝達される。ターミナルピン４２に伝達
された電気信号はターミナルピン４２の先端部４２ｃか
ら外部機器に伝達される。
いて説明する。図１に示す圧力導入部２２内の検出流体
の圧力が変化すると、ダイアフラム２８を介して隣接し
ているオイル２４の圧力が変化し、センサ３８から出力
される電気信号が変化する。圧力変化を示す電気信号は
ボンディングワイヤ２６を通じてターミナルピン４２の
突起部４２ａに伝達される。ターミナルピン４２に伝達
された電気信号はターミナルピン４２の先端部４２ｃか
ら外部機器に伝達される。
【００１７】次に本実施例に係る圧力センサの製造工程
の一部を図４を参照して説明する。図４は本実施例に係
る圧力センサの製造工程の一部を示した図である。まず
黄銅を成形してターミナルピン４２の形状に成形する。
突起部４２ａもターミナルピン４２と一体に成形する。
成形されたターミナルピン４２にニッケル、アルミ等を
メッキ処理する。メッキが施されたターミナルピン４２
を型内にセットし、ＰＰＳ（PolyPhenylene Sulfide）
樹脂を型内に充填することによってコネクタ３７をイン
サート成形する。このようにしてインサート成形された
コネクタ３７にはターミナルピン４２が埋設されてい
る。ターミナルピン４２の露出部４２ｂはコネクタ３７
を貫通して露出している。この状態が図４（ａ）に示さ
れている。なお、インサート成形する際に用いる離型剤
の種類によっては、インサート成形後のコネクタ３７を
簡単に洗浄する。
の一部を図４を参照して説明する。図４は本実施例に係
る圧力センサの製造工程の一部を示した図である。まず
黄銅を成形してターミナルピン４２の形状に成形する。
突起部４２ａもターミナルピン４２と一体に成形する。
成形されたターミナルピン４２にニッケル、アルミ等を
メッキ処理する。メッキが施されたターミナルピン４２
を型内にセットし、ＰＰＳ（PolyPhenylene Sulfide）
樹脂を型内に充填することによってコネクタ３７をイン
サート成形する。このようにしてインサート成形された
コネクタ３７にはターミナルピン４２が埋設されてい
る。ターミナルピン４２の露出部４２ｂはコネクタ３７
を貫通して露出している。この状態が図４（ａ）に示さ
れている。なお、インサート成形する際に用いる離型剤
の種類によっては、インサート成形後のコネクタ３７を
簡単に洗浄する。
【００１８】その後、図４（ｂ）に示すように、ターミ
ナルピン４２の露出部４２ｂ（正確には突起部４２ａ）
とセンサ３８を、アルミ等で形成されたボンディングワ
イヤ２６で接続する。ターミナルピン４２に施すメッキ
処理では、接合性の良いものが選択されており、ボンデ
ィングワイヤ２６は突起部４２ａにしっかりと接合され
る。その後、図４（ｃ）に示すように、ターミナルピン
４２の露出部４２ｂの上面にディスペンサ４６でプライ
マＰを塗布する。このプライマＰはシランカップリング
剤を溶剤で希釈することで生成する。このプライマＰの
塗布量は、接着性を高く維持できる量であればできるだ
け少ない方がよい。プライマＰの塗布量が増えると強度
が低下するからである。さらにプライマＰを、突起部４
２ａの側面と、コネクタ３７の側壁面３７ｄにも塗布す
ることが好ましい。
ナルピン４２の露出部４２ｂ（正確には突起部４２ａ）
とセンサ３８を、アルミ等で形成されたボンディングワ
イヤ２６で接続する。ターミナルピン４２に施すメッキ
処理では、接合性の良いものが選択されており、ボンデ
ィングワイヤ２６は突起部４２ａにしっかりと接合され
る。その後、図４（ｃ）に示すように、ターミナルピン
４２の露出部４２ｂの上面にディスペンサ４６でプライ
マＰを塗布する。このプライマＰはシランカップリング
剤を溶剤で希釈することで生成する。このプライマＰの
塗布量は、接着性を高く維持できる量であればできるだ
け少ない方がよい。プライマＰの塗布量が増えると強度
が低下するからである。さらにプライマＰを、突起部４
２ａの側面と、コネクタ３７の側壁面３７ｄにも塗布す
ることが好ましい。
【００１９】プライマＰの塗布を終了してから３０分経
過後に、図４（ｄ）に示すように、コネクタ３７とター
ミナルピン４２の界面ＫをシールするようにプライマＰ
上にディスペンサ４６でシール剤Ｓを塗布する。そし
て、１３０℃程度でシール剤Ｓを硬化させる。これによ
りシール剤Ｓは、ターミナルピン４２の露出部４２ｂの
上面と、突起部４２ａの側面と、コネクタ３７の側壁面
３７ｄのそれぞれの間を強固に接着させる。プライマＰ
の塗布を終了してから３０分を経過していると、プライ
マＰは十分に乾燥しているため、未乾燥のプライマＰが
シール剤Ｓに侵食することを防止できる。なお、プライ
マＰを塗布後長期間に亘ってシール剤Ｓを塗布しないで
空気中にさらしていると、空気中の水分とプライマＰ中
のシランカップリング剤が結合して、接着性が低下する
ことがある。しかし本発明者の実験によって、プライマ
Ｐを塗布してから２４時間程度であれば、プライマＰの
接着性を高く維持できることが確認されている。その
後、図４（ｅ）に示すように、流体収容室２３内にオイ
ル２４を注入し、ダイアフラム２８によって封入する。
過後に、図４（ｄ）に示すように、コネクタ３７とター
ミナルピン４２の界面ＫをシールするようにプライマＰ
上にディスペンサ４６でシール剤Ｓを塗布する。そし
て、１３０℃程度でシール剤Ｓを硬化させる。これによ
りシール剤Ｓは、ターミナルピン４２の露出部４２ｂの
上面と、突起部４２ａの側面と、コネクタ３７の側壁面
３７ｄのそれぞれの間を強固に接着させる。プライマＰ
の塗布を終了してから３０分を経過していると、プライ
マＰは十分に乾燥しているため、未乾燥のプライマＰが
シール剤Ｓに侵食することを防止できる。なお、プライ
マＰを塗布後長期間に亘ってシール剤Ｓを塗布しないで
空気中にさらしていると、空気中の水分とプライマＰ中
のシランカップリング剤が結合して、接着性が低下する
ことがある。しかし本発明者の実験によって、プライマ
Ｐを塗布してから２４時間程度であれば、プライマＰの
接着性を高く維持できることが確認されている。その
後、図４（ｅ）に示すように、流体収容室２３内にオイ
ル２４を注入し、ダイアフラム２８によって封入する。
【００２０】プライマＰは粘度が低いことから、プライ
マＰを塗布するとその塗布した部位の周囲までプライマ
Ｐの広がり（プライマＰのはい上がり）が生じる場合が
ある。本実施例でいえば、図４に示すように、ターミナ
ルピン４２の露出部４２ｂの上面に塗布するつもりであ
ったプライマＰが、突起部４２ａの先端（ワイヤ２６を
ボンディングする部分）まではい上がってしまう場合が
ある。プライマＰの広がった部位にボンディングワイヤ
２６を接合すると、ボンディングワイヤ２６が短期で外
れやすくなる等の取付不良が生じることがある。本実施
例に係る製造工程によると、プライマＰを塗布する前に
センサ３８とターミナルピン４２の突起部４２ａの間に
ボンディングワイヤ２６を接続することから、プライマ
Ｐのはい上がりによるセンサ３８とターミナルピン４２
の間のボンディングワイヤ２６の取付不良を防止でき
る。
マＰを塗布するとその塗布した部位の周囲までプライマ
Ｐの広がり（プライマＰのはい上がり）が生じる場合が
ある。本実施例でいえば、図４に示すように、ターミナ
ルピン４２の露出部４２ｂの上面に塗布するつもりであ
ったプライマＰが、突起部４２ａの先端（ワイヤ２６を
ボンディングする部分）まではい上がってしまう場合が
ある。プライマＰの広がった部位にボンディングワイヤ
２６を接合すると、ボンディングワイヤ２６が短期で外
れやすくなる等の取付不良が生じることがある。本実施
例に係る製造工程によると、プライマＰを塗布する前に
センサ３８とターミナルピン４２の突起部４２ａの間に
ボンディングワイヤ２６を接続することから、プライマ
Ｐのはい上がりによるセンサ３８とターミナルピン４２
の間のボンディングワイヤ２６の取付不良を防止でき
る。
【００２１】以上、本発明の実施例に係る圧力センサに
ついて説明したが、本発明は上記の実施例になんら限定
されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変
更、改良を施した形態で実施することができる。例え
ば、本実施例では、流体収容室２３内にオイル２４をダ
イアフラム２８によって封入した圧力センサについて説
明したが、本発明の適用範囲はこれに限られず、例え
ば、ダイアフラム２８がなく、検出流体の圧力をセンサ
３８で直接検出する圧力センサにも適用することができ
る。この場合、コネクタ３７とターミナルピン４２の界
面Ｋに検出流体が侵入することを長期に亘って確実に防
止できる。また、本実施例では、抵抗式（ピエゾ抵抗
式）の圧力センサについて説明したが、本発明の適用範
囲はこれに限られず、例えば、静電容量式、振動式等の
すべての圧力センサに適用することができる。
ついて説明したが、本発明は上記の実施例になんら限定
されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変
更、改良を施した形態で実施することができる。例え
ば、本実施例では、流体収容室２３内にオイル２４をダ
イアフラム２８によって封入した圧力センサについて説
明したが、本発明の適用範囲はこれに限られず、例え
ば、ダイアフラム２８がなく、検出流体の圧力をセンサ
３８で直接検出する圧力センサにも適用することができ
る。この場合、コネクタ３７とターミナルピン４２の界
面Ｋに検出流体が侵入することを長期に亘って確実に防
止できる。また、本実施例では、抵抗式（ピエゾ抵抗
式）の圧力センサについて説明したが、本発明の適用範
囲はこれに限られず、例えば、静電容量式、振動式等の
すべての圧力センサに適用することができる。
【図１】本実施例に係る圧力センサの縦断面図。
【図２】本実施例に係る圧力センサの流体収容室付近の
拡大図。
拡大図。
【図３】図２のＡ−Ａ線の断面図
【図４】本実施例に係る圧力センサの製造工程の一部を
示した図。
示した図。
【図５】プライマのはい上がりを示した図。
【図６】従来技術に係る圧力センサの流体収容室付近の
拡大図。
拡大図。
【図７】従来技術に係る圧力センサの製造工程の一部を
示した図。
示した図。
Ｋ：界面 Ｐ：プライマ Ｓ：シール剤 ２２：圧力導入部 ２３：流体収容室 ２４：オイル ２６：ボンディングワイヤ（導体の一例） ２８：ダイアフラム ２９：押えリング ３４：シール部材 ３６：アウターケース ３７：コネクタ、３７ａ：凹部、３７ｂ：空隙部、３７
ｃ：中空円筒部、３７ｄ：側面壁、３７ｅ：底面壁 ３８：センサ ４２：ターミナルピン、４２ａ：突起部、４２ｂ：露出
部、４２ｃ：先端部 ４６：ディスペンサ
ｃ：中空円筒部、３７ｄ：側面壁、３７ｅ：底面壁 ３８：センサ ４２：ターミナルピン、４２ａ：突起部、４２ｂ：露出
部、４２ｃ：先端部 ４６：ディスペンサ
Claims (3)
- 【請求項１】 流体収容室と、この流体収容室内に配置
されて圧力を電気信号に変換するセンサと、前記流体収
容室を構成する壁の前記センサ側に一端が露出するター
ミナルピンと、このターミナルピンの露出部と前記セン
サを接続する導体と、前記流体収容室を構成する壁と前
記ターミナルピンの露出部間に亘って伸びるシールを備
えた圧力センサにおいて、 前記シールと前記ターミナルピンの露出部または前記シ
ールと前記流体収容室を構成する壁がプライマを介して
強固に接着されていることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 導電性ターミナルピンを型内にセットし
ておいて非導電性材料を型内に充填することによって、
流体収容室に一端が露出したターミナルピンが埋設され
たコネクタをインサート成形する工程と、前記ターミナ
ルピンの露出部と前記ターミナルピンの露出部を囲むコ
ネクタの壁にプライマを塗布する工程と、このプライマ
上にシールを塗布する工程を実行することを特徴とする
圧力センサの製造方法。 - 【請求項３】 前記プライマを塗布する工程の前に、圧
力を電気信号に変換するセンサと前記ターミナルピンの
露出部を導体で接続する工程を実行することを特徴とす
る請求項２に記載の圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382255A JP2002181649A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 圧力センサとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382255A JP2002181649A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 圧力センサとその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181649A true JP2002181649A (ja) | 2002-06-26 |
Family
ID=18850115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000382255A Pending JP2002181649A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 圧力センサとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002181649A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006234481A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Bridgestone Corp | センサモジュール及びセンサモジュールを備えた空気入りタイヤ |
| JP2007040772A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ |
| WO2015162890A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494536U (ja) * | 1990-12-26 | 1992-08-17 | ||
| JPH0943076A (ja) * | 1995-07-31 | 1997-02-14 | Denso Corp | 圧力センサ |
| JPH10153507A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-09 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体圧力センサ |
| JPH11304619A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Denso Corp | 半導体圧力センサ装置 |
| JP2000337988A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Denso Corp | 圧力検出装置 |
-
2000
- 2000-12-15 JP JP2000382255A patent/JP2002181649A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494536U (ja) * | 1990-12-26 | 1992-08-17 | ||
| JPH0943076A (ja) * | 1995-07-31 | 1997-02-14 | Denso Corp | 圧力センサ |
| JPH10153507A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-09 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体圧力センサ |
| JPH11304619A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Denso Corp | 半導体圧力センサ装置 |
| JP2000337988A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Denso Corp | 圧力検出装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006234481A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Bridgestone Corp | センサモジュール及びセンサモジュールを備えた空気入りタイヤ |
| JP2007040772A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ |
| WO2015162890A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6948375B2 (en) | Elastic member for attaching sensor device and sensor using the same | |
| JP4052263B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP6032224B2 (ja) | 電気コネクタおよびその製造方法 | |
| US6747346B2 (en) | Container for semiconductor sensor, manufacturing method therefor, and semiconductor sensor device | |
| US6971269B2 (en) | Pressure sensor device with temperature detecting element and attachment method thereof | |
| JP2005265667A (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
| JPH0878287A (ja) | 電解コンデンサの製造方法 | |
| US6494099B1 (en) | Pressure detection apparatus having first and second cases defining pressure detection chamber there between and method of manufacturing the same | |
| JPWO2003062779A1 (ja) | 圧力検出装置，流量計電子部品および、その製造方法 | |
| JP3956809B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP2002181649A (ja) | 圧力センサとその製造方法 | |
| KR101297141B1 (ko) | 압력 센서 및 압력 센서의 부착 구조 | |
| JP4507890B2 (ja) | 圧力センサの製造方法 | |
| JP5929631B2 (ja) | 物理量センサおよびその製造方法 | |
| JP2006194682A (ja) | 温度センサ一体型圧力センサ装置 | |
| JP2006208088A (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
| JP3835317B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP2006145468A (ja) | センサのシール構造及びセンサのシール方法 | |
| JP2000337988A (ja) | 圧力検出装置 | |
| JP2014081271A (ja) | 圧力センサ | |
| JP3617441B2 (ja) | センサ装置 | |
| JP4000939B2 (ja) | 圧力センサ及びその製造方法 | |
| JP4155204B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP4442399B2 (ja) | 圧力センサおよびその組み付け構造 | |
| JP2003294564A (ja) | 圧力センサの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050308 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060301 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060307 |