JP2002177895A - プローブの清掃剤、清掃方法及び清掃装置 - Google Patents
プローブの清掃剤、清掃方法及び清掃装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 針先の消耗を少なくし、異物を短時間で
美麗に除去することにある。 【解決手段】 プローブの清掃技術は、プローブの少な
くとも針先を、重量比で、７５％から９５％の水と、２
０％から４．５％の水酸化ナトリウムと、５％から０．
５％の塩化亜鉛とを含む混合液に浸漬させる。
美麗に除去することにある。 【解決手段】 プローブの清掃技術は、プローブの少な
くとも針先を、重量比で、７５％から９５％の水と、２
０％から４．５％の水酸化ナトリウムと、５％から０．
５％の塩化亜鉛とを含む混合液に浸漬させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブカード、
プローブブロック等に備えられたプローブを清掃するた
めの、清掃剤、清掃方法及び清掃装置に関する。
プローブブロック等に備えられたプローブを清掃するた
めの、清掃剤、清掃方法及び清掃装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路や液晶基板のような平板上被検
査体の通電試験に用いられるプローブカードやプローブ
ブロックにおいては、異物がプローブの先端すなわち針
先に付着することを避けることができない。この異物
は、プローブの針先がオーバードライブにより被検査体
の電極を擦ることに起因して、電極の表面が削り取ら
れ、その擦り屑（削り屑）が針先から離れることなく針
先に残存することにより、生じる。そのような異物は、
通電試験の回数が多くなるほど、大きく成長する。
査体の通電試験に用いられるプローブカードやプローブ
ブロックにおいては、異物がプローブの先端すなわち針
先に付着することを避けることができない。この異物
は、プローブの針先がオーバードライブにより被検査体
の電極を擦ることに起因して、電極の表面が削り取ら
れ、その擦り屑（削り屑）が針先から離れることなく針
先に残存することにより、生じる。そのような異物は、
通電試験の回数が多くなるほど、大きく成長する。
【０００３】そのような異物が針先に蓄積すると、異物
が電気絶縁性を有する場合は集積回路の電極とプローブ
の針先との間が電気的に接続されなくなり、異物が導電
性を有する場合は隣り合うプローブが電気的に短絡され
る等の不都合を生じる。
が電気絶縁性を有する場合は集積回路の電極とプローブ
の針先との間が電気的に接続されなくなり、異物が導電
性を有する場合は隣り合うプローブが電気的に短絡され
る等の不都合を生じる。
【０００４】このため、プローブカードやプローブブロ
ックにおいては、針先に付着している異物を除去する清
掃が行われる。この種の清掃は、一般に、サンドペーパ
のような研磨シート、研磨用の微粒子を包含させた樹脂
等を用いて、プローブの針先を研磨することにより行わ
れている。しかし、この手法では、針先が研磨のたびに
消耗し、プローブカードが短命になる。
ックにおいては、針先に付着している異物を除去する清
掃が行われる。この種の清掃は、一般に、サンドペーパ
のような研磨シート、研磨用の微粒子を包含させた樹脂
等を用いて、プローブの針先を研磨することにより行わ
れている。しかし、この手法では、針先が研磨のたびに
消耗し、プローブカードが短命になる。
【０００５】超音波や電解研磨等により針先の異物を除
去することが提案されている。しかし、この手法では、
異物をきれいに除去することが難しく、全てのプローブ
の異物の除去に長時間を要する。
去することが提案されている。しかし、この手法では、
異物をきれいに除去することが難しく、全てのプローブ
の異物の除去に長時間を要する。
【０００６】
【解決しようとする課題】それゆえに、本発明の目的
は、プローブの針先を清掃する技術において、針先の消
耗を少なくし、異物を短時間で美麗に除去することにあ
る。
は、プローブの針先を清掃する技術において、針先の消
耗を少なくし、異物を短時間で美麗に除去することにあ
る。
【０００７】
【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブの清
掃剤は、水と水酸化ナトリウムと塩化亜鉛との混合液を
含む。
掃剤は、水と水酸化ナトリウムと塩化亜鉛との混合液を
含む。
【０００８】本発明に係るプローブの清掃方法は、プロ
ーブの少なくとも針先を水と水酸化ナトリウムと塩化亜
鉛との混合液に浸漬することを含む。
ーブの少なくとも針先を水と水酸化ナトリウムと塩化亜
鉛との混合液に浸漬することを含む。
【０００９】本発明に係るプローブの清掃装置は、プロ
ーブ清掃用の混合液を受ける受け部材と、支持体に配置
されたプローブの少なくとも針先を前記受け部材内の混
合液に浸漬させるべく前記支持体を支持する支持装置と
を含む。
ーブ清掃用の混合液を受ける受け部材と、支持体に配置
されたプローブの少なくとも針先を前記受け部材内の混
合液に浸漬させるべく前記支持体を支持する支持装置と
を含む。
【００１０】プローブの針先が上記のような混合液に浸
漬されると、針先に付着している擦り屑のような異物は
短時間で溶解されて消滅するが、針先は溶解されない。
この原因は、異物が主として、プローブの針先による集
積回路のような平板状被検査体の電極の擦り屑（削り
屑）であり、溶解速度が針先に比べて著しく速いため
と、考えられる。
漬されると、針先に付着している擦り屑のような異物は
短時間で溶解されて消滅するが、針先は溶解されない。
この原因は、異物が主として、プローブの針先による集
積回路のような平板状被検査体の電極の擦り屑（削り
屑）であり、溶解速度が針先に比べて著しく速いため
と、考えられる。
【００１１】上記の結果、本発明によれば、針先の消耗
が少なく、異物が短時間で美麗に除去される。また、混
合液が室温であっても異物を除去することができるか
ら、安全である。
が少なく、異物が短時間で美麗に除去される。また、混
合液が室温であっても異物を除去することができるか
ら、安全である。
【００１２】前記混合液は、重量比で、７５％から９５
％の水と、２０％から４．５％の水酸化ナトリウムと、
５％から０．５％の塩化亜鉛とを含むことができる。水
酸化ナトリウム及び塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、２０
％及び５％を越えると、水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛
による針先の消耗が大きくなりすぎる。これに対し、水
酸化ナトリウム及び塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、４．
５％未満及び０．５％未満であると、異物の消滅に時間
がかかり、異物を美麗には除去することができない。
％の水と、２０％から４．５％の水酸化ナトリウムと、
５％から０．５％の塩化亜鉛とを含むことができる。水
酸化ナトリウム及び塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、２０
％及び５％を越えると、水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛
による針先の消耗が大きくなりすぎる。これに対し、水
酸化ナトリウム及び塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、４．
５％未満及び０．５％未満であると、異物の消滅に時間
がかかり、異物を美麗には除去することができない。
【００１３】前記混合液はさらに増粘剤を含むことがで
きる。そのようにすれば、混合液の粘度が高くなるか
ら、狭ピッチに配置された複数のプローブであっても、
多量の混合液が毛細管現象により隣り合うプローブの間
に入り込むことを抑制することができる。
きる。そのようにすれば、混合液の粘度が高くなるか
ら、狭ピッチに配置された複数のプローブであっても、
多量の混合液が毛細管現象により隣り合うプローブの間
に入り込むことを抑制することができる。
【００１４】前記混合液をスポンジのような含浸部材に
含ませ、含浸部材にプローブの針先を刺し込むことがで
きる。そのようにすれば、狭ピッチで配置された複数の
プローブであっても、多量の混合液が毛細管現象により
隣り合うプローブの間に入り込むことを抑制することが
できる。
含ませ、含浸部材にプローブの針先を刺し込むことがで
きる。そのようにすれば、狭ピッチで配置された複数の
プローブであっても、多量の混合液が毛細管現象により
隣り合うプローブの間に入り込むことを抑制することが
できる。
【００１５】前記含浸部材としては、有機バインダ処理
をされたガラス繊維フィルタを含むことができる。その
ようにすれば、狭ピッチで配置された複数のプローブで
あっても、多量の混合液が毛細管現象により隣り合うプ
ローブの間に入り込むことを抑制することができる。
をされたガラス繊維フィルタを含むことができる。その
ようにすれば、狭ピッチで配置された複数のプローブで
あっても、多量の混合液が毛細管現象により隣り合うプ
ローブの間に入り込むことを抑制することができる。
【００１６】混合液をブラシのような適宜な手段で含浸
部材に染み込ませてもよいし、含浸部材内又はその表面
の余分な混合液を吸取紙やスポンジのような適宜な吸取
部材により除去した後にプローブの針先をその含浸部材
に刺し込んでもよい。そのようにすれば、狭ピッチで配
置された複数のプローブであっても、多量の混合液が毛
細管現象により隣り合うプローブの間に入り込むことを
確実に抑制することができる。
部材に染み込ませてもよいし、含浸部材内又はその表面
の余分な混合液を吸取紙やスポンジのような適宜な吸取
部材により除去した後にプローブの針先をその含浸部材
に刺し込んでもよい。そのようにすれば、狭ピッチで配
置された複数のプローブであっても、多量の混合液が毛
細管現象により隣り合うプローブの間に入り込むことを
確実に抑制することができる。
【００１７】浸漬後のプローブの少なくとも針先を、水
を含ませた洗浄部材に刺し込むことができる。そのよう
にすれば、プローブの針先に残存している水酸化ナトリ
ウム及び塩化亜鉛が洗浄部材内の水により洗浄されるか
ら、残存する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先
の損傷を防止することができる。
を含ませた洗浄部材に刺し込むことができる。そのよう
にすれば、プローブの針先に残存している水酸化ナトリ
ウム及び塩化亜鉛が洗浄部材内の水により洗浄されるか
ら、残存する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先
の損傷を防止することができる。
【００１８】前記洗浄部材は、有機バインダ処理をされ
た洗浄用ガラス繊維フィルタを含むことができる。その
ようにすれば、プローブの針先に残存している多くの水
酸化ナトリウム及び塩化亜鉛が洗浄用ガラス繊維フィル
タ内の水により除去されるから、残存する水酸化ナトリ
ウム及び塩化亜鉛による針先の損傷を防止することがで
きる。
た洗浄用ガラス繊維フィルタを含むことができる。その
ようにすれば、プローブの針先に残存している多くの水
酸化ナトリウム及び塩化亜鉛が洗浄用ガラス繊維フィル
タ内の水により除去されるから、残存する水酸化ナトリ
ウム及び塩化亜鉛による針先の損傷を防止することがで
きる。
【００１９】浸漬後にプローブの少なくとも針先を水に
より洗浄し、洗浄後にプローブの少なくとも針先に空気
を吹きかけて乾燥させるようにすることができる。その
ようにすれば、プローブの針先に残存している水酸化ナ
トリウム及び塩化亜鉛が水により除去されるから、残存
する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先の損傷を
防止することができ、またプローブの針先に残存してい
る水が除去されるから、残存する水による針先の損傷を
防止することができる。
より洗浄し、洗浄後にプローブの少なくとも針先に空気
を吹きかけて乾燥させるようにすることができる。その
ようにすれば、プローブの針先に残存している水酸化ナ
トリウム及び塩化亜鉛が水により除去されるから、残存
する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先の損傷を
防止することができ、またプローブの針先に残存してい
る水が除去されるから、残存する水による針先の損傷を
防止することができる。
【００２０】前記支持装置は、前記プローブの針先が下
方となる状態に前記支持体を受けるカードホルダと、該
ホルダと前記受け部材及び前記排水トレイとを前記プロ
ーブの針先が前記受け部材の上方となる第１の位置と前
記洗浄部材の上方となる第２の位置とに選択的に及び相
対的に移動可能に支持すると共に、上下方向へ移動可能
に受ける支持機構とを備えることができる。そのように
すれば、作業者が支持体を把持した状態で、清掃作業を
する必要がない。
方となる状態に前記支持体を受けるカードホルダと、該
ホルダと前記受け部材及び前記排水トレイとを前記プロ
ーブの針先が前記受け部材の上方となる第１の位置と前
記洗浄部材の上方となる第２の位置とに選択的に及び相
対的に移動可能に支持すると共に、上下方向へ移動可能
に受ける支持機構とを備えることができる。そのように
すれば、作業者が支持体を把持した状態で、清掃作業を
する必要がない。
【００２１】上記の代わりに、清掃装置は、さらに、前
記受け部材から間隔をおいた排水トレイと、該排水トレ
イの上にあって前記プローブの少なくとも針先に水をか
けて前記プローブを洗浄する水ノズルと、前記排水トレ
イの上にあって前記プローブの少なくとも針先に空気を
吹きかけて前記プローブを乾燥させる空気ノズルとを含
むことができる。そのようにしても、作業者が支持体を
把持した状態で、清掃作業をする必要がない。
記受け部材から間隔をおいた排水トレイと、該排水トレ
イの上にあって前記プローブの少なくとも針先に水をか
けて前記プローブを洗浄する水ノズルと、前記排水トレ
イの上にあって前記プローブの少なくとも針先に空気を
吹きかけて前記プローブを乾燥させる空気ノズルとを含
むことができる。そのようにしても、作業者が支持体を
把持した状態で、清掃作業をする必要がない。
【００２２】
【発明の実施の形態】図１及び図２を参照するに、清掃
装置１０は、集積回路の通電試験に用いるプローブカー
ド１２に備えられた複数のプローブ１４の先端すなわち
針先に付着している異物の除去に用いられる。
装置１０は、集積回路の通電試験に用いるプローブカー
ド１２に備えられた複数のプローブ１４の先端すなわち
針先に付着している異物の除去に用いられる。
【００２３】プローブ１４は、導電性の金属細線から形
成されたニードルタイプのプローブ（プローブ針）であ
り、また平板状の支持体１６の下面に装着されており、
さらに針先側の領域を下方に曲げられている。支持体１
６は、中央に開口１８を有する円板状の配線基板であ
る。
成されたニードルタイプのプローブ（プローブ針）であ
り、また平板状の支持体１６の下面に装着されており、
さらに針先側の領域を下方に曲げられている。支持体１
６は、中央に開口１８を有する円板状の配線基板であ
る。
【００２４】清掃装置１０は、上方に開放する筐体２０
と、筐体２０内に配置された平板状の支持台２２と、支
持台２２の上に配置された容器２４と、容器２４の隣に
容器２４から間隔をおいて配置された排水トレイ２６
と、プローブカード１２を受けて支持するように筐体２
０内に配置された支持装置２８と、洗浄水をプローブ１
４の針先に作用させるべく排水トレイ２６の上方に配置
された水ノズル３０と、空気をプローブ１４の針先に作
用させるべく排水トレイ２６の上方に配置された空気ノ
ズル３２とを含む。
と、筐体２０内に配置された平板状の支持台２２と、支
持台２２の上に配置された容器２４と、容器２４の隣に
容器２４から間隔をおいて配置された排水トレイ２６
と、プローブカード１２を受けて支持するように筐体２
０内に配置された支持装置２８と、洗浄水をプローブ１
４の針先に作用させるべく排水トレイ２６の上方に配置
された水ノズル３０と、空気をプローブ１４の針先に作
用させるべく排水トレイ２６の上方に配置された空気ノ
ズル３２とを含む。
【００２５】筐体２０は、液密的に形成されている。支
持台２２は、取り外し可能に筐体２０に安定に組み付け
られている。容器２４は、円形の平面形状を有するトレ
イであり、また水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛により浸
食されない材料から製作されており、さらに上方に開放
されている。
持台２２は、取り外し可能に筐体２０に安定に組み付け
られている。容器２４は、円形の平面形状を有するトレ
イであり、また水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛により浸
食されない材料から製作されており、さらに上方に開放
されている。
【００２６】排水トレイ２６は、水ノズル３０から流出
される水を受けるべく上方に開放しており、また底部に
おいて排水路３４に連通された状態に、筐体２０に取り
外し可能に安定に組み付けられている。排水路３４に
は、バルブ３６が配置されている。ノズル３０，３２
は、支持装置２８に組み付けることができる。
される水を受けるべく上方に開放しており、また底部に
おいて排水路３４に連通された状態に、筐体２０に取り
外し可能に安定に組み付けられている。排水路３４に
は、バルブ３６が配置されている。ノズル３０，３２
は、支持装置２８に組み付けることができる。
【００２７】支持装置２８は、容器２４及び排水トレイ
２６を間にして間隔をおいた一対の支持体４０を備え
る。支持体４０は、それらの幅方向が上下方向（図１に
おいて紙面と垂直の方向）となりかつ筐体２０の左右方
向（図１において左右方向）の端部を前後方向（図１に
おいて上下方向）に平行に伸びる状態に筐体２０に組み
付けられている。
２６を間にして間隔をおいた一対の支持体４０を備え
る。支持体４０は、それらの幅方向が上下方向（図１に
おいて紙面と垂直の方向）となりかつ筐体２０の左右方
向（図１において左右方向）の端部を前後方向（図１に
おいて上下方向）に平行に伸びる状態に筐体２０に組み
付けられている。
【００２８】支持体４０には、一対のリニアシャフト４
２が筐体２０内の前後方向における端部を左右方向へ平
行に伸びる状態に組み付けられている。各リニアシャフ
ト４２には、２つのＺガイド４４が左右方向へ移動可能
に支持されている。両Ｚガイド４４は、リニアシャフト
４２と共に、直線的な往復移動を形成するリニアガイド
に用いられているボールブッシュハウジングであり、そ
れぞれＺガイドレール４６の上下移動を案内する。
２が筐体２０内の前後方向における端部を左右方向へ平
行に伸びる状態に組み付けられている。各リニアシャフ
ト４２には、２つのＺガイド４４が左右方向へ移動可能
に支持されている。両Ｚガイド４４は、リニアシャフト
４２と共に、直線的な往復移動を形成するリニアガイド
に用いられているボールブッシュハウジングであり、そ
れぞれＺガイドレール４６の上下移動を案内する。
【００２９】プローブカード１２を保持するカードホル
ダ４８は、前後方向の縁部においてＺガイドレール４６
に組み付けられている。カードホルダ４８は、プローブ
カード１２を上方から受ける平面円形の受け空間５０を
有しており、またプローブ１４の針先を下方に突出させ
るための開口５２を底板の中央に有している。
ダ４８は、前後方向の縁部においてＺガイドレール４６
に組み付けられている。カードホルダ４８は、プローブ
カード１２を上方から受ける平面円形の受け空間５０を
有しており、またプローブ１４の針先を下方に突出させ
るための開口５２を底板の中央に有している。
【００３０】Ｚガイド４４及びＺガイドレール４６の１
つの組は、カードホルダ４８を上下方向へ移動させる手
動操作の上下移動機構により互いに結合されている。上
下移動機構は、図示の例では、１つのＺガイドレール４
６の上端に組み付けられてカードホルダ４８の上方を水
平方向へ伸びる板状の雌ねじブロック５４と、ブロック
５４に形成されたねじ穴に螺合されて雌ねじブロック５
４を上下方向に貫通するボルト５６とを備える。
つの組は、カードホルダ４８を上下方向へ移動させる手
動操作の上下移動機構により互いに結合されている。上
下移動機構は、図示の例では、１つのＺガイドレール４
６の上端に組み付けられてカードホルダ４８の上方を水
平方向へ伸びる板状の雌ねじブロック５４と、ブロック
５４に形成されたねじ穴に螺合されて雌ねじブロック５
４を上下方向に貫通するボルト５６とを備える。
【００３１】ボルト５６はその先端をカードホルダ４８
に回転可能に結合されている。Ｚガイド４４及びＺガイ
ドレール４６は、ブロック５４及びねじ部材５６によ
り、カードホルダ４８を介して互いに結合されている。
カードホルダ４８の高さ位置は、雌ねじブロック５４へ
のボルト５６のねじ込み量を変更することにより、変更
することができる。
に回転可能に結合されている。Ｚガイド４４及びＺガイ
ドレール４６は、ブロック５４及びねじ部材５６によ
り、カードホルダ４８を介して互いに結合されている。
カードホルダ４８の高さ位置は、雌ねじブロック５４へ
のボルト５６のねじ込み量を変更することにより、変更
することができる。
【００３２】清掃すべきプローブカード１２は、プロー
ブ１４の針先がカードホルダ４８の開口５２から下方へ
突出した状態に受け空間５０に配置されて、カードホル
ダ４８に備えられた押え爪５８によりカードホルダ４８
に移動不能及び解除可能に組み付けられる。
ブ１４の針先がカードホルダ４８の開口５２から下方へ
突出した状態に受け空間５０に配置されて、カードホル
ダ４８に備えられた押え爪５８によりカードホルダ４８
に移動不能及び解除可能に組み付けられる。
【００３３】容器２４には、清掃用の混合液を含ませた
含浸部材としてのスポンジ６０が配置される。このた
め、容器２４は、支持台２２に安定に組み付けられてい
るが、支持台２２から取り外し可能である。清掃用の混
合液は、水（好ましくは蒸留水）と、水酸化ナトリウム
と、塩化亜鉛とを混合した液体である。図示の例では、
容器２４とスポンジ６０とは混合液の受け部材として作
用する。
含浸部材としてのスポンジ６０が配置される。このた
め、容器２４は、支持台２２に安定に組み付けられてい
るが、支持台２２から取り外し可能である。清掃用の混
合液は、水（好ましくは蒸留水）と、水酸化ナトリウム
と、塩化亜鉛とを混合した液体である。図示の例では、
容器２４とスポンジ６０とは混合液の受け部材として作
用する。
【００３４】水酸化ナトリウムとしては、濃度（純度）
が９０から９９％程度、好ましくは９７％程度の液体を
用いることができる。塩化亜鉛ととしては、濃度（純
度）が９０から９９％程度、好ましくは９６％程度の液
体を用いることができる。
が９０から９９％程度、好ましくは９７％程度の液体を
用いることができる。塩化亜鉛ととしては、濃度（純
度）が９０から９９％程度、好ましくは９６％程度の液
体を用いることができる。
【００３５】水、水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛の混合
割合は、重量比で、水が７５％から９５％、水酸化ナト
リウムが２０％から４．５％、塩化亜鉛が５％から０．
５％とすることができる。しかし、それらの混合割合
は、重量比で、水が９０％、水酸化ナトリウムが９％、
塩化亜鉛が１％とすることが好ましい。
割合は、重量比で、水が７５％から９５％、水酸化ナト
リウムが２０％から４．５％、塩化亜鉛が５％から０．
５％とすることができる。しかし、それらの混合割合
は、重量比で、水が９０％、水酸化ナトリウムが９％、
塩化亜鉛が１％とすることが好ましい。
【００３６】清掃時、先ず上記のような混合液が容器２
４内に入れられて、スポンジ６０に均一に含浸される。
４内に入れられて、スポンジ６０に均一に含浸される。
【００３７】次いで、プローブカード１２が上記のよう
にカードホルダ４８に配置され、プローブ１４の針先が
容器２４の上方となる位置にカードホルダ４８がプロー
ブカード１２と共に手動により移動される。プローブ１
４の針先には、図３に示すように、異物６２が付着して
いる。
にカードホルダ４８に配置され、プローブ１４の針先が
容器２４の上方となる位置にカードホルダ４８がプロー
ブカード１２と共に手動により移動される。プローブ１
４の針先には、図３に示すように、異物６２が付着して
いる。
【００３８】次いで、雌ねじブロック５４へのボルト５
６のねじ込み量が手動により大きくされる。これによ
り、カードホルダ４８がこれに受けているプローブカー
ド１２と共に下降されて、プローブ１４の針先が図３に
示すように容器２４内のスポンジ６０に刺し込まれる。
これにより、プローブ１４の針先はスポンジ６０に含浸
された混合液に浸漬される。
６のねじ込み量が手動により大きくされる。これによ
り、カードホルダ４８がこれに受けているプローブカー
ド１２と共に下降されて、プローブ１４の針先が図３に
示すように容器２４内のスポンジ６０に刺し込まれる。
これにより、プローブ１４の針先はスポンジ６０に含浸
された混合液に浸漬される。
【００３９】上記の状態はほぼ１０分程度維持される。
これにより、集積回路のような平板状被検査体の電極の
擦り屑（削り屑）のように、プローブ１４の針先に付着
している異物６２が混合液、特に塩酸亜鉛により溶解さ
れて、除去される。しかし、プローブ１４の針先が混合
液により溶解されることはない。
これにより、集積回路のような平板状被検査体の電極の
擦り屑（削り屑）のように、プローブ１４の針先に付着
している異物６２が混合液、特に塩酸亜鉛により溶解さ
れて、除去される。しかし、プローブ１４の針先が混合
液により溶解されることはない。
【００４０】スポンジ６０に刺し込むとき、プローブ１
４の針先に付着している異物６２がスポンジ６０により
擦り作用を受けて、多くの異物６２がプローブ１４の針
先から浮き上がるから、そのような異物は、混合液に接
する表面積を大きくされて、混合液に溶解されやすくな
る。
４の針先に付着している異物６２がスポンジ６０により
擦り作用を受けて、多くの異物６２がプローブ１４の針
先から浮き上がるから、そのような異物は、混合液に接
する表面積を大きくされて、混合液に溶解されやすくな
る。
【００４１】次いで、雌ねじブロック５４へのボルト５
６のねじ込み量が手動により減じられる。これにより、
カードホルダ４８はプローブカード１２と共に上昇さ
れ、プローブ１４の針先は、容器２４から引き上げられ
て、混合液を含んでいるスポンジ６０から引き抜かれ
る。
６のねじ込み量が手動により減じられる。これにより、
カードホルダ４８はプローブカード１２と共に上昇さ
れ、プローブ１４の針先は、容器２４から引き上げられ
て、混合液を含んでいるスポンジ６０から引き抜かれ
る。
【００４２】プローブ１４を引き上げるときに、多少の
異物６２が針先に残存していても、残存する多くの異物
６２は、プローブ１４の針先がスポンジ６０から抜かれ
るときに、スポンジ６０による擦り作用を受けて、プロ
ーブ１４の針先から強制的に除去される。このため、多
くの異物がプローブ１４の針先から除去される。
異物６２が針先に残存していても、残存する多くの異物
６２は、プローブ１４の針先がスポンジ６０から抜かれ
るときに、スポンジ６０による擦り作用を受けて、プロ
ーブ１４の針先から強制的に除去される。このため、多
くの異物がプローブ１４の針先から除去される。
【００４３】次いで、プローブ１４の針先が排水トレイ
２６の上方となる位置にカードホルダ４８がプローブカ
ード１２と共に手動により移動される。
２６の上方となる位置にカードホルダ４８がプローブカ
ード１２と共に手動により移動される。
【００４４】次いで、ボルト５６が再び手動により雌ね
じブロック５４にねじ込まれる。これにより、カードホ
ルダ４８がこれに受けているプローブカード１２と共に
下降されて、プローブ１４の針先の高さ位置が排水トレ
イ２６に向けて下げられる。
じブロック５４にねじ込まれる。これにより、カードホ
ルダ４８がこれに受けているプローブカード１２と共に
下降されて、プローブ１４の針先の高さ位置が排水トレ
イ２６に向けて下げられる。
【００４５】次いで、上記の状態で、水が水ノズル３０
から流出されて、その水がプローブカード１２の上方か
ら開口１８を介してプローブ１４の少なくとも針先にか
けられる。これにより、プローブ１４の針先に付着して
いる水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛が水により洗い流さ
れて、プローブ１４の針先が洗浄されるから、針先に残
存する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛によるプローブ１
４の針先の損耗が防止される。
から流出されて、その水がプローブカード１２の上方か
ら開口１８を介してプローブ１４の少なくとも針先にか
けられる。これにより、プローブ１４の針先に付着して
いる水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛が水により洗い流さ
れて、プローブ１４の針先が洗浄されるから、針先に残
存する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛によるプローブ１
４の針先の損耗が防止される。
【００４６】上記水は、水ノズル３０から高圧で噴出さ
せる必要はなく、水ノズル３０から流れ落とすように流
下させる程度でよい。水ノズル３０からの水は、プロー
ブ１４の針先を洗浄した後、排水トレイ２６に受けら
れ、排水トレイ２６から排水路３４及びバルブ３６を介
して清掃装置１０の外に排水される。
せる必要はなく、水ノズル３０から流れ落とすように流
下させる程度でよい。水ノズル３０からの水は、プロー
ブ１４の針先を洗浄した後、排水トレイ２６に受けら
れ、排水トレイ２６から排水路３４及びバルブ３６を介
して清掃装置１０の外に排水される。
【００４７】次いで、乾燥した空気が空気ノズル３２か
ら流出されて、その空気がプローブカード１２の上方か
ら開口１８を介してプローブ１４の少なくとも針先に吹
きかけられる。これにより、プローブ１４の針先に付着
していた水が除去されて、針先が乾燥されるから、針先
に残存する水に起因する針先の損耗が防止される。
ら流出されて、その空気がプローブカード１２の上方か
ら開口１８を介してプローブ１４の少なくとも針先に吹
きかけられる。これにより、プローブ１４の針先に付着
していた水が除去されて、針先が乾燥されるから、針先
に残存する水に起因する針先の損耗が防止される。
【００４８】その後、雌ねじブロック５４へのボルト５
６のねじ込み量が手動により減じられる。これにより、
カードホルダ４８は、プローブカード１２と共に上昇さ
れ、最終的にカードホルダ４８から外されて、所定の箇
所に移される。
６のねじ込み量が手動により減じられる。これにより、
カードホルダ４８は、プローブカード１２と共に上昇さ
れ、最終的にカードホルダ４８から外されて、所定の箇
所に移される。
【００４９】実験によれば、針先に付着している異物が
集積回路のアルミニウム製パッド電極の擦り屑（アルミ
屑）である場合、混合液の混合割合を重量比で、水が９
０％、水酸化ナトリウムが９％、塩化亜鉛が１％するこ
とにより、常温（２５度Ｃ）において針先を混合液に１
０分程度浸漬させることにより、前記のような異物をき
れいに除去することができた。
集積回路のアルミニウム製パッド電極の擦り屑（アルミ
屑）である場合、混合液の混合割合を重量比で、水が９
０％、水酸化ナトリウムが９％、塩化亜鉛が１％するこ
とにより、常温（２５度Ｃ）において針先を混合液に１
０分程度浸漬させることにより、前記のような異物をき
れいに除去することができた。
【００５０】実験によれば、また、水酸化ナトリウム及
び塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、２０％及び５％を越え
ると、水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先の消耗
が大きくなりすぎてしまい、逆に水酸化ナトリウム及び
塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、４．５％未満及び０．５
％未満であると、異物の消滅に時間がかかり、異物を美
麗に除去することができなかった。
び塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、２０％及び５％を越え
ると、水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先の消耗
が大きくなりすぎてしまい、逆に水酸化ナトリウム及び
塩化亜鉛の濃度が、それぞれ、４．５％未満及び０．５
％未満であると、異物の消滅に時間がかかり、異物を美
麗に除去することができなかった。
【００５１】混合液中の水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛
による針先の消耗を低減する上から、混合液はさらに増
粘剤を含むことができる。そのようにすれば、混合液の
粘度が高くなるから、狭ピッチで配置された複数のプロ
ーブであっても、毛細管現象により隣り合うプローブの
間に入り込む混合液の量が抑制され、その結果混合液に
よる針先の消耗が低減すると共に、一回の清掃に消費さ
れる混合液の量が減少して、連続して使用可能の時間が
長くなる。
による針先の消耗を低減する上から、混合液はさらに増
粘剤を含むことができる。そのようにすれば、混合液の
粘度が高くなるから、狭ピッチで配置された複数のプロ
ーブであっても、毛細管現象により隣り合うプローブの
間に入り込む混合液の量が抑制され、その結果混合液に
よる針先の消耗が低減すると共に、一回の清掃に消費さ
れる混合液の量が減少して、連続して使用可能の時間が
長くなる。
【００５２】増粘剤の一例として、ラウリン酸カリ石鹸
水溶液や、ラウリルアミンオキシド水溶液等あげること
ができる。そのような増粘剤として、新日本理化株式会
社製のアルムール Ｋ−２００（ラウリン酸カリ石鹸水
溶液）及びワンダミン Ｘ−３００（ラウリルアミンオ
キシド水溶液）を併用することができる。
水溶液や、ラウリルアミンオキシド水溶液等あげること
ができる。そのような増粘剤として、新日本理化株式会
社製のアルムール Ｋ−２００（ラウリン酸カリ石鹸水
溶液）及びワンダミン Ｘ−３００（ラウリルアミンオ
キシド水溶液）を併用することができる。
【００５３】上記実施例では、混合液を含浸させる含浸
部材として、スポンジを用いているが、厚く重ねた布状
の部材、布製の袋に綿を詰めた布状の部材等、液体を含
浸させることができる部材であれば、他の部材であって
もよい。また、混合液をそのような部材に含ませること
なく、混合液を直接容器に収容してもよい。いずれの場
合も、狭ピッチで配置された複数のプローブであって
も、多量の混合液が毛細管現象により隣り合うプローブ
の間に入り込むことが抑制される。
部材として、スポンジを用いているが、厚く重ねた布状
の部材、布製の袋に綿を詰めた布状の部材等、液体を含
浸させることができる部材であれば、他の部材であって
もよい。また、混合液をそのような部材に含ませること
なく、混合液を直接容器に収容してもよい。いずれの場
合も、狭ピッチで配置された複数のプローブであって
も、多量の混合液が毛細管現象により隣り合うプローブ
の間に入り込むことが抑制される。
【００５４】図４に示すように、混合液を含浸させる含
浸部材６２として、シート状のゲルや、有機バインダ処
理をされたガラス繊維フィルタを用いることが好まし
い。そのようなゲル及びガラス繊維フィルタの厚さ寸法
ｔは、０．３ｍｍから１．５ｍｍ、好ましくは０．４ｍ
ｍから１ｍｍ程度とすることができる。含浸部材６２の
大きさは、１つのプローブカードの備えられた全てのプ
ローブの針先を一度に刺し込むことができる大きさ以上
とすることが好ましい。
浸部材６２として、シート状のゲルや、有機バインダ処
理をされたガラス繊維フィルタを用いることが好まし
い。そのようなゲル及びガラス繊維フィルタの厚さ寸法
ｔは、０．３ｍｍから１．５ｍｍ、好ましくは０．４ｍ
ｍから１ｍｍ程度とすることができる。含浸部材６２の
大きさは、１つのプローブカードの備えられた全てのプ
ローブの針先を一度に刺し込むことができる大きさ以上
とすることが好ましい。
【００５５】シート状ゲルとしては、ポリアクリルアミ
ドゲルのように、上記した混合液を含浸可能のゲルであ
ることが好ましい。フィルタとしては、アクリル樹脂処
理をされたガラス繊維フィルタをあげることができる。
その例として、アドバンテック東洋株式会社のＧＣ−９
０及びＧＳ−２５等がある。
ドゲルのように、上記した混合液を含浸可能のゲルであ
ることが好ましい。フィルタとしては、アクリル樹脂処
理をされたガラス繊維フィルタをあげることができる。
その例として、アドバンテック東洋株式会社のＧＣ−９
０及びＧＳ−２５等がある。
【００５６】上記した混合液をシート状ゲル又はガラス
繊維フィルタを用いた含浸部材６２に含浸させ、そのよ
うな含浸部材６２にプローブ１４の針先を差し込むと、
含浸部材６２に含浸される混合液の量がスポンジや布等
に比べて少ないから、狭ピッチで配置された複数のプロ
ーブ１４であっても、毛細管現象により隣り合うプロー
ブの間に入り込む混合液の量が著しく抑制される。
繊維フィルタを用いた含浸部材６２に含浸させ、そのよ
うな含浸部材６２にプローブ１４の針先を差し込むと、
含浸部材６２に含浸される混合液の量がスポンジや布等
に比べて少ないから、狭ピッチで配置された複数のプロ
ーブ１４であっても、毛細管現象により隣り合うプロー
ブの間に入り込む混合液の量が著しく抑制される。
【００５７】また、アクリル樹脂処理のような有機バイ
ンダ処理をされたガラス繊維フィルタを含浸部材として
用いると、ゲルを用いる場合に比べ、含浸部材が長命に
なるから、長時間連続して使用することができる。
ンダ処理をされたガラス繊維フィルタを含浸部材として
用いると、ゲルを用いる場合に比べ、含浸部材が長命に
なるから、長時間連続して使用することができる。
【００５８】混合液は、刷毛、筆等の適宜な塗布部材に
より含浸部材に染み込ませてもよいし、含浸部材内又は
その表面の余分な混合液を吸取紙やスポンジのような適
宜な吸取部材により除去した後にプローブの針先を含浸
部材に刺し込んでもよい。そのようにすれば、含浸部材
への混合液の含浸量が著しく少なくなるから、狭ピッチ
で配置された複数のプローブであっても、毛細管現象に
より隣り合うプローブの間に入り込む混合液の量が確実
に抑制される。
より含浸部材に染み込ませてもよいし、含浸部材内又は
その表面の余分な混合液を吸取紙やスポンジのような適
宜な吸取部材により除去した後にプローブの針先を含浸
部材に刺し込んでもよい。そのようにすれば、含浸部材
への混合液の含浸量が著しく少なくなるから、狭ピッチ
で配置された複数のプローブであっても、毛細管現象に
より隣り合うプローブの間に入り込む混合液の量が確実
に抑制される。
【００５９】浸漬後のプローブの針先に水をかけてその
箇所を洗浄する代わりに、上記した混合液を含浸可能の
洗浄部材に水特に純水をブラシ又は滴下により含浸さ
せ、混合液に浸漬させた後のプローブの少なくとも針先
をその洗浄部材に刺し込んでもよい。そのようにすれ
ば、プローブの針先に残存している水酸化ナトリウム及
び塩化亜鉛が洗浄部材内の水により洗浄されるから、残
存する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先の損傷
を防止することができるのみならず、プローブに付着し
て残存する洗浄水の量が少なくなり、プローブを短時間
で乾燥させることができる。
箇所を洗浄する代わりに、上記した混合液を含浸可能の
洗浄部材に水特に純水をブラシ又は滴下により含浸さ
せ、混合液に浸漬させた後のプローブの少なくとも針先
をその洗浄部材に刺し込んでもよい。そのようにすれ
ば、プローブの針先に残存している水酸化ナトリウム及
び塩化亜鉛が洗浄部材内の水により洗浄されるから、残
存する水酸化ナトリウム及び塩化亜鉛による針先の損傷
を防止することができるのみならず、プローブに付着し
て残存する洗浄水の量が少なくなり、プローブを短時間
で乾燥させることができる。
【００６０】上記のような洗浄部材として、スポンジ、
厚く重ねた布状の部材、布製の袋に綿を詰めた布状の部
材、シート状ゲル、有機バインダ処理をされたガラス繊
維フィルタ等、含浸部材と同種の部材を用いることがで
きる。その中でも、シート状ゲルとガラス繊維フィルタ
とが好ましく、特にガラス繊維フィルタが好ましい。
厚く重ねた布状の部材、布製の袋に綿を詰めた布状の部
材、シート状ゲル、有機バインダ処理をされたガラス繊
維フィルタ等、含浸部材と同種の部材を用いることがで
きる。その中でも、シート状ゲルとガラス繊維フィルタ
とが好ましく、特にガラス繊維フィルタが好ましい。
【００６１】プローブを上記いずれの手法により洗浄し
た場合においても、洗浄後にプローブの少なくとも針先
に乾燥した空気を吹きかけて乾燥させるようにすること
ができる。そのようにすれば、プローブの針先に残存し
ている水が短時間で除去されるから、残存する水による
針先の損傷を防止することができる。
た場合においても、洗浄後にプローブの少なくとも針先
に乾燥した空気を吹きかけて乾燥させるようにすること
ができる。そのようにすれば、プローブの針先に残存し
ている水が短時間で除去されるから、残存する水による
針先の損傷を防止することができる。
【００６２】図５は、既に述べたシート状ゲル又は有機
バインダ処理をされたガラス繊維フィルタを含浸部材６
２として用いると共に、同種のシート状ゲル又は有機バ
インダ処理をされたガラス繊維フィルタを洗浄部材６４
として用いた洗浄装置７０の一実施例を示す。
バインダ処理をされたガラス繊維フィルタを含浸部材６
２として用いると共に、同種のシート状ゲル又は有機バ
インダ処理をされたガラス繊維フィルタを洗浄部材６４
として用いた洗浄装置７０の一実施例を示す。
【００６３】洗浄装置７０は、混合液による清掃ステー
ションに配置された容器７２の中に支持台７４を配置
し、この支持台７４の上に洗浄部材６２を配置し、水に
よる洗浄ステーションに配置された容器７６内に支持台
７８を配置し、この支持台７８の上に洗浄部材６４を配
置している。
ションに配置された容器７２の中に支持台７４を配置
し、この支持台７４の上に洗浄部材６２を配置し、水に
よる洗浄ステーションに配置された容器７６内に支持台
７８を配置し、この支持台７８の上に洗浄部材６４を配
置している。
【００６４】支持台７４，７８は、いずれも、少なくと
も上面をガラス面とされており、そのようなガラス面に
含浸部材６２又は洗浄部材６４を配置している。含浸部
材６２への混合液の含浸及び洗浄部材６４への水の含浸
は、ブラシのような塗布部材を用いて行ってもよいし、
混合液又は水を滴下させてもよい。洗浄水は、純水特に
超純水を用いることが望ましい。
も上面をガラス面とされており、そのようなガラス面に
含浸部材６２又は洗浄部材６４を配置している。含浸部
材６２への混合液の含浸及び洗浄部材６４への水の含浸
は、ブラシのような塗布部材を用いて行ってもよいし、
混合液又は水を滴下させてもよい。洗浄水は、純水特に
超純水を用いることが望ましい。
【００６５】本発明は、金属細線から形成されたニード
ルタイプのプローブのみならず、ブレードタイプのプロ
ーブ、フィルム状プローブの配線に形成したバンプ電極
のような突起電極を用いるフィルムタイプのプローブ、
ポゴピンのような縦型のプローブ等、他のタイプのプロ
ーブ及び他の導電性材料から形成されたプローブの清掃
にも適用することができる。
ルタイプのプローブのみならず、ブレードタイプのプロ
ーブ、フィルム状プローブの配線に形成したバンプ電極
のような突起電極を用いるフィルムタイプのプローブ、
ポゴピンのような縦型のプローブ等、他のタイプのプロ
ーブ及び他の導電性材料から形成されたプローブの清掃
にも適用することができる。
【００６６】また、本発明は、集積回路用のプローブの
みならず、液晶表示パネルのような他の平板状被検査体
用のプローブの清掃にも適用することができる。さら
に、本発明は、プローブカードの基板のような支持体に
配置されたプローブのみならず、プローブブロックに備
えられた支持ブロックのような他の支持体に配置された
プローブの清掃にも適用することができる。
みならず、液晶表示パネルのような他の平板状被検査体
用のプローブの清掃にも適用することができる。さら
に、本発明は、プローブカードの基板のような支持体に
配置されたプローブのみならず、プローブブロックに備
えられた支持ブロックのような他の支持体に配置された
プローブの清掃にも適用することができる。
【００６７】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
【図１】本発明に係るプローブの清掃装置の一実施例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図３】針先をスポンジに刺し込んだ状態を示す拡大図
である。
である。
【図４】含浸部材の他の実施例を示す斜視図である。
【図５】本発明に係るプローブの清掃装置の他の実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１０，７０ 清掃装置 １２ プローブカード １４ プローブ １６ 基板（支持体） ２０ 筐体 ２２ 支持台 ２４ 混合液を収容する容器 ２６ 排水トレイ ２８ 支持装置 ３０ 水ノズル ３２ 空気ノズル ３４ 排水路 ４０ 支持板 ４２ リニアシャフト ４４ Ｚガイド（ボールブッシュハウジング） ４６ Ｚガイドレール ４８ カードホルダ ５４ 雌ねじブロック ５６ ボルト ５８ 押え爪 ６０ スポンジ（含浸部材） ６２ 異物 ６２ 含浸部材 ６４ 洗浄部材 ７２，７６ 容器 ７４，７８ 支持台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ１１Ｄ 17/08 Ｃ１１Ｄ 17/08 Ｆターム(参考） 3B116 AA46 BA08 BB21 CC03 3B201 AA46 BA08 BB21 BB92 BB98 CC12 4H003 BA12 DA14 DA15 DB01 DC01 EA19 EA21 ED02 FA15 FA21
Claims (19)
- 【請求項１】 水と水酸化ナトリウムと塩化亜鉛との混
合液を含む、プローブの清掃剤。 - 【請求項２】 前記混合液は、重量比で、７５％から９
５％の水と、２０％から４．５％の水酸化ナトリウム
と、５％から０．５％の塩化亜鉛とを含む、請求項１に
記載の清掃剤。 - 【請求項３】 前記混合液はさらに増粘剤を含む、請求
項１又は２に記載の清掃剤。 - 【請求項４】 プローブの少なくとも針先を水と水酸化
ナトリウムと塩化亜鉛との混合液に浸漬することを含
む、プローブの清掃方法。 - 【請求項５】 前記混合液は、重量比で、７５％から９
５％の水と、２０％から４．５％の水酸化ナトリウム
と、５％から０．５％の塩化亜鉛とを含む、請求項４に
記載の清掃方法。 - 【請求項６】 前記混合液はさらに増粘剤を含む、請求
項４又は５に記載の清掃方法。 - 【請求項７】 前記少なくとも針先は前記混合液を含ま
せた含浸部材に刺し込まれる、請求項４，５又は６に記
載の清掃方法。 - 【請求項８】 前記含浸部材は、有機バインダ処理をさ
れたガラス繊維フィルタを含む、請求項６又は７に記載
の清掃方法。 - 【請求項９】 さらに、前記含浸部材に前記少なくとも
針先を刺し込む前に、前記含浸部材の余分な混合液を吸
取部材により除去することを含む、請求項４から８のい
ずれか１項に記載の清掃方法。 - 【請求項１０】 さらに、浸漬後のプローブの少なくと
も針先を、水を含ませた洗浄部材に刺し込むことを含
む、請求項４から９のいずれか１項に記載の清掃方法。 - 【請求項１１】 前記洗浄部材は、有機バインダ処理を
されたガラス繊維フィルタを含む、請求項１０に記載の
清掃方法。 - 【請求項１２】 さらに、浸漬後のプローブの少なくと
も針先を水により洗浄し、洗浄後にプローブの少なくと
も針先に空気を吹きかけて乾燥させることを含む、請求
項４から９のいずれか１項に記載の清掃方法。 - 【請求項１３】 プローブ清掃用の混合液を受ける受け
部材と、支持体に配置されたプローブの少なくとも針先
を前記受け部材内の混合液に浸漬させるべく前記支持体
を支持する支持装置とを含む、プローブの清掃装置。 - 【請求項１４】 前記受け部材は、前記混合液が含ませ
られかつ前記少なくとも針先が刺し込まれる含浸部材を
含む、請求項１３に記載の清掃装置。 - 【請求項１５】 前記含浸部材は、有機バインダ処理を
されたガラス繊維フィルタを含む、請求項１４に記載の
清掃装置。 - 【請求項１６】 さらに、水を含むことができる含浸部
材であって浸漬後のプローブの少なくとも針先が刺し込
まれる洗浄部材を含む、請求項１３又は１４に記載の清
掃装置。 - 【請求項１７】 前記洗浄部材は、有機バインダ処理を
された洗浄用ガラス繊維フィルタを含む、請求項１６に
記載の清掃装置。 - 【請求項１８】 前記支持装置は、前記プローブの針先
が下方となる状態に前記支持体を受けるホルダと、該ホ
ルダと前記受け部材及び前記排水トレイとを前記プロー
ブの針先が前記受け部材の上方となる第１の位置と前記
洗浄部材の上方となる第２の位置とに選択的に及び相対
的に移動可能に支持すると共に、上下方向へ移動可能に
受ける支持機構とを備える、請求項１６又は１７に記載
の清掃装置。 - 【請求項１９】 さらに、前記受け部材から間隔をおい
た排水トレイと、該排水トレイの上にあって前記プロー
ブの少なくとも針先に水をかけて前記プローブを洗浄す
る水ノズルと、前記排水トレイの上にあって前記プロー
ブの少なくとも針先に空気を吹きかけて前記プローブを
乾燥させる空気ノズルとを含む、請求項１３から１５の
いずれか１項に記載の清掃装置。
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2001
- 2001-06-05 JP JP2001169960A patent/JP3490984B2/ja not_active Expired - Lifetime
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