JP2002176220A

JP2002176220A - エキシマレーザ発振器用チャンバ

Info

Publication number: JP2002176220A
Application number: JP2000370146A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Kuriyama; 和也栗山; Natsuyuki Suzuki; 夏志鈴木
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 2000-12-05
Filing date: 2000-12-05
Publication date: 2002-06-21

Abstract

(57)【要約】【課題】軽量化を図ることができ、しかも熱膨張によ
る歪の発生を抑制することが可能なエキシマレーザ発振
器用チャンバーを提供する。【解決手段】筒状本体１と、この筒状本体１の両開口
部を塞ぐ蓋体２、３とを備えたエキシマレーザ発振器用
チャンバーである。上記筒状本体１は、放電ユニット取
付壁５と本体取付用壁６とを有する。この放電ユニット
取付壁５と本体取付用壁６とが略均一の薄肉の連結壁７
にて連結される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマレーザ発
振器用チャンバに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】エキシマレーザ発振器用チャンバは、一
般には、図９に示すように、角筒体からなり、その上壁
が、放電ユニット５０が取付けられる放電ユニット取付
壁５１とされ、その内部に、ファン５２と熱交換器５３
等が配置されている。また、放電ユニット５０は、一対
の主電極５４、５５を備える。すなわち、レーザ触媒ガ
スはファン５２の駆動により放電を持続する主電極５
４、５５の間を流れ、主電極５４、５５間のガスを吹き
払ったのち、熱交換器５３で冷却されて再びファン５２
に戻る。このファン５２によって、生じる圧力差を利用
してフィルタケース５６内に流れを発生させる。この流
れに乗って、レーザ触媒ガスはフィルタケース５６内に
配される図示省略のフィルタを通って濾過され、清浄な
レーザ触媒ガスとなってチャンバ両端のレーザ光用の窓
部に導かれる。これにより窓材へのダストの付着を防止
する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のチャンバで
は、周壁全体が略同一の厚さの設定され、全体として、
重量が大となると共に、内部に熱交換器５３を配置する
必要があって、コンパクト化を図るうえで問題がある。
また、この熱交換器５３は、壁自体に対する冷却に殆ど
寄与せず、チャンバをあまり効果的に冷却することがで
きなかった。そのためチャンバ壁が高温となり、安全上
問題があった。さらに、比較的厚肉の周壁（チャンバ
壁）のため、熱膨張による歪による変形が大であり、変
形すれば、レーザ光の光軸がずれ、発振器として精度的
に劣るものとなっていた。

【０００４】この発明は、上記従来の欠点を解決するた
めになされたものであって、その目的は、軽量化を図る
ことができ、しかも熱膨張による歪の発生を抑制するこ
とが可能なエキシマレーザ発振器用チャンバを提供する
ことにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段及び効果】そこで、本発明
の請求項１記載のエキシマレーザ発振器用チャンバは、
筒状本体１と、この筒状本体１の両開口部を塞ぐ蓋体
２、３とを備えたエキシマレーザ発振器用チャンバであ
って、上記筒状本体１は、放電ユニット取付壁５とフィ
ルタ取付用壁６とを有し、この放電ユニット取付壁５と
フィルタ取付用壁６とが略均一の薄肉の連結壁７にて連
結されてなることを特徴としている。

【０００６】上記請求項１記載のエキシマレーザ発振器
用チャンバでは、筒状本体１は、放電ユニット取付壁５
とフィルタ取付用壁６とを有し、この放電ユニット取付
壁５とフィルタ取付用壁６とが略均一の薄肉の連結壁７
にて連結されてなるので、全体としての軽量化が可能と
なる。また、放電ユニット取付壁５に放電ユニットを取
付けることができ、フィルタ取付壁６にダストフィルタ
ー、ガス導入バルブ等を取付けることができ、チャンバ
としての機能を十分発揮することが可能である。しか
も、連結壁７が薄肉であるので、熱膨張の影響が少なく
歪の発生を抑制することが可能となる。

【０００７】請求項２のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記放電ユニット取付壁５とフィルタ取付用壁６
とが略直角をなすように成形されたことを特徴としてい
る。

【０００８】上記請求項２のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、放電ユニット取付壁とフィルタ取付用壁６
とが略直角をなし、強度向上を果すことが可能となる。

【０００９】請求項３のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記連結壁７の断面形状が略円弧状とされたこと
を特徴としている。

【００１０】上記請求項３のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、連結壁７の成形が容易であり、熱変形がそ
の周囲に均等に生じることになるため熱膨張による影響
を抑えることが可能となる。

【００１１】請求項４のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記筒状本体１の内面に複数の冷却用フィン３８
を設けたことを特徴としている。

【００１２】上記請求項４のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、冷却用フィン３８にて筒状本体１の内面側
を冷却することができ、チャンバ内のガス温度を効率よ
く下げることができる。このためチャンバ壁面の温度上
昇が抑制され、結果としてこのチャンバの変形を抑制す
ることが可能となる。

【００１３】請求項５のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記連結壁７に冷却用流体通路２５を設けたこと
を特徴としている。

【００１４】上記請求項５のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、冷却用流体通路２５の冷却用流体によっ
て、連結壁７を冷却することができ、これによって、連
結壁７の温度上昇を抑制すると共に変形を防止ことが可
能となる。

【００１５】請求項６のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記連結壁７の外面のパイプ支持部２７に支持さ
れるパイプをもって、上記冷却用流体通路２５を形成し
たことを特徴としている。

【００１６】上記請求項６のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、連結壁７のパイプ支持部２７にパイプ２６
を支持させれば、冷却用流体通路２５を形成することが
でき、連結壁７を冷却するための冷却用流体通路２５を
簡単に形成することができる。しかも、パイプ２６は外
部に配置されることになり、狭いチャンバ内部でねじ等
により取り付ける場合と比較して、別個ユニットとして
製作されるため、水漏れの可能性は低く、流体漏れ等が
生じたとしても、その補修を容易に行え、さらにチャン
バ内でのコンタミネーション（contamination）の発生
を避けられるという利点がある。

【００１７】請求項７のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記パイプ２６が銅パイプであることを特徴とし
ている。

【００１８】上記請求項７のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、パイプ２６が銅パイプであるので、耐食性
に優れ、冷却用流体通路２５として長期にわたって冷却
機能を発揮することが可能であり、しかも熱伝導性に優
れ、冷却効果の向上を図ることが可能となる。

【００１９】請求項８のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、パイプ支持部２６は、相対面する一対の突出片２
８を有し、この一対の突出片２８、２８間に上記パイプ
２６が嵌合された状態でこの突出片２８、２８の両端部
が相互に接近するように塑性変形されてこのパイプ２６
を支持することを特徴としている。

【００２０】上記請求項８のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、パイプ２６を簡単かつ確実にパイプ支持部
２６にて支持することができ、冷却用流体通路２５の形
成の簡略化を図ることが可能となる。

【００２１】請求項９のエキシマレーザ発振器用チャン
バは、上記連結壁７の外周に軸心方向に沿って複数の上
記パイプ支持部２６を本体端部近傍まで連設して、この
パイプ支持部２６の突出片２８、２８間に形成される凹
溝３５の端部を、上記蓋体２、３を筒状本体１に取付け
るためのボルト部材のボルト孔３４としたことを特徴と
している。

【００２２】上記請求項９のエキシマレーザ発振器用チ
ャンバでは、パイプ支持部２６の突出片２８、２８間に
形成される凹溝３５の端部にて形成されるボルト孔３４
にボルト部材を螺着することによって、蓋体２、３を筒
状本体１に取付けることができ、このチャンバの組み立
てを簡単に行なうことができる。しかも、ボルト部材の
螺着のために、タップ孔を設けたり、個別にチャンバ全
周を覆うようなフランジを取り付ける必要がなく連結壁
７の全体としてその肉厚を大としたりすることがなく、
この連結壁７を薄肉の状態に維持することが可能であ
り、軽量化に寄与する。

【００２３】請求項１０のエキシマレーザ発振器用チャ
ンバは、ファン３７を上記フィルタ取付用壁６の反放電
ユニット取付壁側の近傍の本体内部に配置すると共に、
このファン３７からの風を上記放電ユニット取付壁５か
ら上記連結壁７に沿って循環させることを特徴としてい
る。

【００２４】上記請求項１０のエキシマレーザ発振器用
チャンバでは、ファン３７によって、このチャンバ内で
ガスの流れが発生して、より効果的な冷却を行なうこと
ができる。これによって、筒状本体１の壁を冷却するこ
とができ、熱膨張による歪の発生を有効に抑制すること
ができる。

【００２５】請求項１１のエキシマレーザ発振器用チャ
ンバは、上記連結壁７に、ユニット取付け用の窓部４６
を開設すると共に、この窓部４６に、受熱部４０と放熱
部４１とを有する熱交換ユニット４２を装着し、さら
に、受熱部４０を本体内部側に配設すると共に、放熱部
４１を本体外部側に配設したことを特徴としている。

【００２６】上記請求項１１のエキシマレーザ発振器用
チャンバでは、熱交換ユニット４２の本体内部側の受熱
部４０にて筒状本体１内の熱を受け、熱交換ユニット４
２の本体外部側の放熱部にて、熱の放熱を行なうことが
できる。すなわち、チャンバ内を循環する高温ガスから
素早く熱を奪い、これを効果的にチャンバ外部へ放熱で
き、効率のよい冷却が可能となる。また、連結壁７に窓
部４６を設け、この窓部４６に熱交換ユニット４２を装
着するものであるので、熱交換器を内部に設置するもの
に比べて、コンパクト化を図ることができると共に、内
部においてガスの流れが生じ易くより冷却効果が向上す
る。また、圧力損失が減少するのでガスが流れやすくな
りファンの効率も向上する。

【００２７】請求項１２のエキシマレーザ発振器用チャ
ンバは、上記受熱部４０がヒートパイプ構造であると共
に、上記放熱部４１が冷却用流体通路４５を有すことを
特徴としている。

【００２８】上記請求項１２のエキシマレーザ発振器用
チャンバでは、受熱部４０がヒートパイプ構造であるの
で、熱交換性能に優れ、より効果的に冷却機能を発揮す
る。しかも、冷却用流体通路４５により放熱部４１の放
熱能率が向上する利点がある。

【００２９】請求項１３のエキシマレーザ発振器用チャ
ンバは、上記筒状本体１がアルミニウム製の押出成形品
であることを特徴としている。

【００３０】上記請求項１３のエキシマレーザ発振器用
チャンバでは、筒状本体１がアルミニウム製の押出成形
品であるので、生産コストの低減及び生産性の向上を図
ることが可能となる。

【００３１】

【発明の実施の形態】次に、この発明のエキシマレーザ
発振器用チャンバの実施の形態について、図面を参照し
つつ詳細に説明する。図１はエキシマレーザ発振器用チ
ャンバの分解斜視図を示し、このチャンバは、筒状本体
１と、この筒状本体１の両開口部を塞ぐ蓋体２、３とを
備える。そして、筒状本体１は、図示省略の放電ユニッ
トが取付けられる放電ユニット取付壁５と、ダストフィ
ルター、ガス導入バルブ等を取付けるフィルタ取付用壁
６とを有し、放電ユニット取付壁５とフィルタ取付用壁
６とが断面略円弧状の連結壁７にて連結される。筒状本
体１は例えばアルミニウムの押出成形品からなる。な
お、上記蓋体２には、ファン取付用孔２ａとレーザ光出
射窓２ｂとが設けられている。

【００３２】放電ユニット取付壁５は、図１と図３に示
すように、相対面する一対の短辺８、９と相対面する一
対の長辺１０、１１からなる矩形枠体からなり、矩形状
の窓部１２が形成される。また、窓部１２には、内鍔部
１３が形成され、この内鍔部１３に多数のネジ孔１４・
・（図１においてはその図示を省略している）が形成さ
れている。さらに、短辺８、９の端面１５、１６には、
ネジ孔１７・・が設けられている。

【００３３】次に、フィルタ取付用壁６は、矩形平板状
体からなり、上記放電ユニット取付壁５と略直角を成す
ように配置される。そして、図１と図２に示すように、
放電ユニット取付壁５とフィルタ取付用壁６のコーナー
部に補強部１８が形成されている。フィルタ取付用壁６
の端面１９、２０（図３参照）には、ネジ孔２１・・が
設けられている。なお、ネジ孔２１・・に対応して、フ
ィルタ取付用壁６の端部側の側面（外面）には、膨出部
２２・・が形成されている。

【００３４】また、連結壁７は、この場合、図２に示す
ように、フィルタ取付用壁５に相対面する第１部２３と
放電ユニット取付壁５に相対面する第２部２４とからな
り、略均一の薄肉であって、その断面形状が全体として
円弧状とされている。ここで、薄肉とは、上記放電ユニ
ット取付壁５及びフィルタ取付用壁６の肉厚より小であ
ることをいい、具体的には、例えば、放電ユニット取付
壁５の肉厚が２５ｍｍ〜３０ｍｍ位とされ、フィルタ取
付用壁６の肉厚が２０ｍｍ〜２５ｍｍ位とされた場合
に、連結壁７の肉厚が８ｍｍ〜１５ｍｍ位に設定され
る。そして、図４に示すように、この連結壁７には、冷
却用流体通路２５が形成されている。この冷却用流体通
路２５は、連結壁７の外面に配設（配置）されるパイプ
２６をもって構成される。すなわち、連結壁７の外面
に、複数のパイプ支持部２７を形成し、このパイプ支持
部２７にパイプ２６を支持させる。ここで、パイプ支持
部２７とは、一対の相対面する突出片２８、２８を有
し、この突出片２８、２８間にパイプ２６を嵌合させる
ものであり、押出成形時に形成される。この場合、図５
に示すように、パイプ２６を嵌合させた状態で突出片２
８、２８の端部を、相互に接近するように塑性変形させ
ることによってこのパイプ２６を支持（保持）する。と
ころで、パイプ２６としては、この場合、耐食性及び熱
伝導性に優れた銅パイプ等が使用され、塑性変形加工の
際には、図５に示す成形ローラ群２９が使用される。成
形ローラ群２９は、外周面が凹曲面とされた複数の鼓状
のローラ３０・・を備え、軸心が本体外方に向かって順
次接近するように配置される相対向するローラ３０、３
０によって、相対面する一対の突出片２８、２８の端部
が相互に接近するように塑性変形される。この実施の形
態においては、図２と図３等に示すように、パイプ支持
部２７は、連結壁７の第１部２３側に５個形成され、連
結壁７の第２部２４側に、２個形成される。また、図４
では、パイプ支持部２７の塑性加工前を示している。そ
して、第２部２４において、軸心方向に沿って配設され
る突条３１、３１が形成され、この各突条３１、３１の
端面には、ネジ孔３２が設けられている。なお、この突
条３１、３１にて外気との接触面積を増加させて、空冷
効果を向上させることが可能である。

【００３５】ところで、一対の突出片２８、２８を備え
たパイプ支持部２７は、本体端部近傍まで形成される
が、図１と図３に示すように、その端部側に欠損部３３
が設けられ、この欠損部３３より端部側のパイプ支持部
２７を、蓋体２、３を取付けるためのボルト孔３４とし
ている。すなわち、突出片２８、２８間に形成される凹
溝３５の端部をもってボルト孔３４を形成している。ま
た、パイプ支持部２７には、ボルト孔３４以外に、パイ
プ２６が装着されるが、この場合、パイプ２６は、パイ
プ支持部２７・・に嵌合される嵌合部２６ａ・・と、嵌
合部２６ａ・・の端部を連結すると共に欠損部３３間に
配設される連結部２６ｂ・・とを備える。すなわち、パ
イプ２６は、その連結部２６ａが一方の端面側と他方の
端面側とで交互に配設され、軸心方向に沿って略平行に
配設される複数の嵌合部２６ａ・・と、この嵌合部２６
ａ・・を連結する連結部２６ａ・・とでもって、いわゆ
るジグザグ状に形成される。そして、パイプ２６に、冷
却用流体としての冷却水等の液体やガス等の冷却媒体が
流される。

【００３６】筒状本体１と蓋体２、３とは、図示省略の
ボルト部材（ネジ部材）にて一体化される。すなわち、
筒状本体１の端面には、ネジ孔１７、２１及びボルト孔
３４が形成されることになって、これらの孔にボルト部
材が螺着され、蓋体２、３が本体１に固定される。ま
た、このチャンバには、図４に示すように、フィルタ取
付用壁６の反放電ユニット取付壁側の近傍の本体内部に
ファン３７が配置される。このファン３７は、矢印Ａの
ように、放電ユニット取付壁５から連結壁７に沿って風
を循環させる。なお、放電ユニット取付壁５には、図示
しないが勿論放電ユニットが取付けられ、フィルタ取付
用壁６にフィルタやバルブが取り付けられる。

【００３７】上記のように構成されたエキシマレーザ発
振器用チャンバによれば、比較的強度が必要である放電
ユニット取付壁５とフィルタ取付用壁６とを肉厚を大と
することができ、しかも、これらの壁５、６は、その断
面形状が倒立Ｌ字状とされ、これによって、筒状本体１
を強度的に安定したものとすることができる。さらに、
放電ユニット取付壁５とフィルタ取付用壁６とは、略均
一の薄肉の連結壁７にて連結され、筒状本体１延いては
このチャンバ全体の軽量化を図ることが可能となる。ま
た、このように軽量化を図っても、上記のように放電ユ
ニット取付壁５とフィルタ取付用壁６によって、強度的
に劣ることがない。ところで、チャンバ内のガス口は高
温状態となるが、冷却用流体通路２５が設けられている
ので、この冷却用流体通路２５を循環する冷却用流体に
て、連結壁７が冷却され、熱膨張によるこの連結壁７の
歪の発生を抑制することができる。しかも、連結壁７は
上記のように略均一の薄肉とされるので、肉厚のものに
比べての熱膨張による歪は少ない。さらに、ファン３７
にて、内部に発生する風が放電ユニット取付壁５から連
結壁７に沿って循環するため、一層の冷却効果を有し、
熱膨張による歪の発生を一層抑制することができる。こ
のように、上記のように構成されたチャンバは、熱膨張
による歪の発生を抑えることができ、光軸のずれが極め
て少なく、波長が均一なレーザ光を発振することがで
き、エキシマレーザ発振器として高精度のものを提供す
ることができる。しかも、筒状本体１はアルミニウムの
押出成形品であるので、生産コストの低減及び生産性の
向上を図ることができる。

【００３８】次に、図６は他の実施の形態を示し、この場
合、筒状本体１の内面に、複数（多数）の冷却用フィン
３８・・が設けられている。冷却用フィン３８・・は、
軸方向に沿って配設される薄肉の板状の内方突出片から
なり、押出成形時に一体的に成形される。この実施の形
態では、筒状本体１のほぼ全周に渡って設けられている
が、連結壁７にのみ設けてもよく、さらには連結壁７の
第１部２３にのみ設けたものであってもよい。なお、こ
の実施の形態において、他の構成は上記図１から図５に
示した実施の形態と同様であるので、それらの説明を省
略する。

【００３９】このため、この図６に示すチャンバにおい
ても、軽量化を図ることが可能となると共に、熱膨張に
よる歪の発生を抑えることができて、高品質のエキシマ
レーザ発振器の提供が可能となる。特に、冷却用フィン
３８・・によって、冷却効果が高められ、歪発生の抑制
が一層可能となる。

【００４０】さらに、図７は別の実施の形態を示し、こ
の場合、ヒートパイプ構造の受熱部４０と、放熱部４１
とを有する熱交換ユニット４２を備えている。すなわ
ち、熱交換ユニット４２は、その受熱部４０が、図８に
示すように、フィンエレメント４３を有し、このフィン
エレメント４３が、放熱部４１を構成するためのアルミ
ニウム製等の基板４４に取付けられている。フィンエレ
メント４３は、内部に作動液が充填されたアルミニウム
製等の平板状体をジグザグに折り曲げて形成したもので
ある。また、基板４４には、冷却用流体通路４５が形成
されている。ところで、冷却用流体としては冷却水を使
用した場合において、上記のように、基板４４にアルミ
ニウムを使用して、この基板４４に孔を設けることによ
って、冷却用流体通路４５を形成すれば、腐蝕しやすい
ので、設けた孔に耐食性に優れた銅パイプ等をこの孔に
挿入することによって、冷却用流体通路４５を構成する
ようにするのが好ましい。勿論、冷却用流体としてアル
ミニウム等と親和性のない液体や気体を使用すれば、銅
パイプ等をこの孔に挿入して冷却用流体通路を構成する
必要がない。

【００４１】そして、連結壁７に窓部４６が開設され、
この窓部４６に熱交換ユニット４２の基板４４が嵌合
（装着）され、受熱部４０を本体内部側に配設すると共
に、放熱部４１を本体外部側に配設する。この場合、こ
の熱交換ユニット４２の固着方法としては、ボルト結
合、ろう付け等の種々のものを採用することができ、さ
らに、いわゆる「摩擦攪拌接合方法」を採用してもよ
い。ここで、「摩擦攪拌接合方法」とは、摩擦熱を利用
して、接合しようとする母材同士の組織を塑性流動化さ
せると同時に、同組織を攪拌させることにより接合させ
る方法である。また、図８では、窓部４６の内周面に段
差部を設けると共に、基板４４の外周面に、窓部４６の
段差部に嵌合する段差部を設けているので、この嵌合さ
せた状態で、ろう付けしたり、この嵌合部にＯリング等
のシール材を介在させて、ボルト部材を螺着したりし
て、この熱交換ユニット４２を筒状本体１に固着すれば
よい。なお、ろう付けする場合には、段差部を設けなく
てもよく、また、上記のように、筒状本体１と熱交換ユ
ニット４２の基板４４をアルミニウム等の同一材質にて
構成すれば、ろう付けする場合等において、容易となる
利点がある。

【００４２】なお、この実施の形態において他の構成
は、上記の図１〜図５の実施の形態と同様であるので、
それらの説明を省略する。また、熱交換ユニット４２
は、市販のものを使用することができると共に、そのピ
ートパイプ構造として、フィンエレメント４３を使用す
ることなく、円筒形のパイプを使用するものであっても
よい。

【００４３】この図７に示すチャンバによれば、熱交換
ユニット４２の本体内部側の受熱部４０にて筒状本体１
内の熱を受け、熱交換ユニット４２の本体外部側の放熱
部にて、熱の放熱を行なうことができる。すなわち、チ
ャンバ内を循環する高温ガスから素早く熱を奪い、これ
を効果的にチャンバ外部へ放熱でき、チャンバ内を効果
的に冷却することが可能となる。これによって、熱膨張
による歪の発生を確実に抑制することができ、より高品
質のエキシマレーザ発振器の提供が可能となる。しか
も、連結壁７に窓部４６を設け、この窓部４６に熱交換
ユニット４２が装着されるものであるので、熱交換ユニ
ット４２をチャンバ内部に配置するに必要がなく、その
その分コンパクト化を図ることができ、しかも、チャン
バ内部においてガスの流れが生じ易くなって、より冷却
効果が向上する利点がある。

【００４４】以上にこの発明のエキシマレーザ発振器用
チャンバの具体的な実施の形態について説明したが、こ
の発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、こ
の発明の範囲内で種々変更して実施することが可能であ
る。放熱ユニット取付壁５とフィルタ取付用壁６とを直
角をなすように配置することなく、放熱ユニット取付壁
５とフィルタ取付用壁６と相対面するように略平行に配
置して、これら一対の相対面する連結壁７、７にて連結
したものであってもよい。また、連結壁７が略均一の薄
肉であるので、本体内部を比較的余裕のあるもとするこ
とができ、これによって、図９の示した従来のチャンバ
に使用された小型の熱交換器を本体内部に設置すること
も可能である。さらに、パイプ支持部２７の数の増減は
自由であり、パイプ支持部２７の突出片３１、３１間寸
法及び突出片３１の突出量としても、使用するパイプ２
６の外径寸法等に応じて変更することが可能で、突出片
３１の肉厚寸法としても、塑性変形させることができし
かも塑性変形させた際に確実にパイプ２６を支持できる
と共に破損しない範囲での変更が可能である。ところ
で、加工が容易であると共に軽量である等の観点から、
筒状本体１及び蓋体２、３をアルミニウムにて構成する
のが望ましいが、勿論ステンレス等の他の金属にて構成
してもよい。また、図６に示すチャンバにおける冷却用
フィン３８の肉厚寸法や突出量等は、内部に配置するフ
ァン３７等に邪魔とならず、冷却用フィン３８としての
機能を果る範囲で変更可能であり、断面積、熱伝導長さ
及び熱伝導率等にとって決定するのが好ましい。さら
に、冷却用流体通路２５、４５に使用するパイプとして
銅パイプに限らず、ステンレスパイプ等であってもよ
い。また、筒状本１を押出成形品とせずに、機械的な組
立てと機械加工等によって製作してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のエキシマレーザ発振器用チャンバの
実施の形態を示す分解斜視図である。

【図２】上記エキシマレーザ発振器用チャンバの筒状本
体の側面図である。

【図３】上記エキシマレーザ発振器用チャンバの筒状本
体の平面図である。

【図４】上記エキシマレーザ発振器用チャンバの筒状本
体の断面図である。

【図５】上記エキシマレーザ発振器用チャンバの筒状本
体の要部拡大断面図である。

【図６】この発明のエキシマレーザ発振器用チャンバの
他の実施の形態を示す断面図である。

【図７】この発明のエキシマレーザ発振器用チャンバの
別の実施の形態を示す断面図である。

【図８】上記エキシマレーザ発振器用チャンバの要部拡
大斜視図である。

【図９】従来のエキシマレーザ発振器用チャンバの断面
図である。

【符号の説明】

１筒状本体２蓋体３蓋体５放電ユニット取付壁６フィルタ取付用壁７連結壁２５冷却用流体通路２６パイプ２８パイプ支持部３４ボルト孔３５凹溝３７ファン３８冷却用フィン４０受熱部４１放熱部４２熱交換器４５冷却用流体通路４６窓部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】筒状本体（１）と、この筒状本体（１）
の両開口部を塞ぐ蓋体（２）（３）とを備えたエキシマ
レーザ発振器用チャンバであって、上記筒状本体（１）
は、放電ユニット取付壁（５）とフィルタ取付用壁
（６）とを有し、この放電ユニット取付壁（５）とフィ
ルタ取付用壁（６）とが略均一の薄肉の連結壁（７）に
て連結されてなることを特徴とするエキシマレーザ発振
器用チャンバ。
【請求項２】上記放電ユニット取付壁（５）とフィル
タ取付用壁（６）とが略直角をなすように成形されたこ
とを特徴とする請求項１のエキシマレーザ発振器用チャ
ンバ。
【請求項３】上記連結壁（７）の断面形状が略円弧状
とされたことを特徴とする請求項１又は請求項２のエキ
シマレーザ発振器用チャンバ。
【請求項４】上記筒状本体（１）の内面に複数の冷却
用フィン（３８）を設けたことを特徴とする請求項１〜
請求項３のいずれかのエキシマレーザ発振器用チャン
バ。
【請求項５】上記連結壁（７）に冷却用流体通路（２
５）を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項４のい
ずれかのエキシマレーザ発振器用チャンバ。
【請求項６】上記連結壁（７）の外面のパイプ支持部
（２６）に支持されるパイプ（２６）をもって、上記冷
却用流体通路（２５）を形成したことを特徴とする請求
項５のエキシマレーザ発振器用チャンバ。
【請求項７】上記パイプ（２６）が銅パイプであるこ
とを特徴とする請求項６のエキシマレーザ発振器用チャ
ンバ。
【請求項８】パイプ支持部（２７）は、相対面する一
対の突出片（２８）（２８）を有し、この一対の突出片
（２８）（２８）間に上記パイプ（２６）が嵌合された
状態でこの突出片（２８）（２８）の両端部が相互に接
近するように塑性変形されてこのパイプ（２６）を支持
することを特徴とする請求項６又は請求項７のいずれか
のエキシマレーザ発振器用チャンバ。
【請求項９】上記連結壁（７）の外周に軸心方向に沿
って複数の上記パイプ支持部（２７）を本体端部近傍ま
で連設して、このパイプ支持部（２７）の突出片（２
８）（２８）間に形成される凹溝（３５）の端部を、上
記蓋体（２）（３）を筒状本体（１）に取付けるための
ボルト部材のボルト孔（３４）としたことを特徴とする
請求項６〜請求項８のいずれかのエキシマレーザ発振器
用チャンバ。
【請求項１０】ファン（３７）を上記フィルタ取付用
壁（６）の反放電ユニット取付壁側の近傍の本体内部に
配置すると共に、このファン（３７）の風を上記放電ユ
ニット取付壁（５）から上記連結壁（７）に沿って循環
させることを特徴とする請求項２〜請求項９のいずれか
のエキシマレーザ発振器用チャンバ。
【請求項１１】上記連結壁（７）に、ユニット取付け
用の窓部（４６）を開設すると共に、この窓部（４６）
に、受熱部（４０）と放熱部（４１）とを有する熱交換
ユニット（４２）を装着し、さらに、受熱部（４０）を
本体内部側に配設すると共に、放熱部（４１）を本体外
部側に配設したことを特徴とする請求項１〜請求項１０
のいずれかのエキシマレーザ発振器用チャンバ。
【請求項１２】上記受熱部（４０）がヒートパイプ構
造であると共に、上記放熱部（４１）が冷却用流体通路
（４５）を有すことを特徴とする請求項１１のエキシマ
レーザ発振器用チャンバ。
【請求項１３】上記筒状本体（１）がアルミニウム製
の押出成形品であることを特徴とする請求項１〜請求項
１２のいずれかのエキシマレーザ発振器用チャンバ。