JP2002166345A - 研削研磨方法及び研削研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レンズ等のワークを砥石に良好に追従させる
ことにより、ワークの表面粗さおよび面精度の悪化を防
止する。 【解決手段】 砥石２と、ワーク１に砥石２を当接させ
ながら砥石２を回転させる砥石回転手段と、砥石２とワ
ーク１とを相対的に揺動させる揺動手段と、駆動源から
の回転力をワークに伝達させる回転力伝達手段とを有す
る。ワーク１を保持するワ一ク保持体３と、ワーク保持
体３の回転中心軸を中心とする円周上に配設された第１
の磁石１６と、駆動源に連結されると共にワ一ク保持体
３の回転中心軸を支持する支持軸４と、第１の磁石１６
に非接触で対向するように支持軸４上に配設された第２
の磁石１５とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、結晶材
料、セラミック等からなるレンズ、プリズム、ミラー等
の光学素子あるいは成形を行う型材などのワークを研削
研磨する方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１５は特開平７−１３１１号公報に記
載された従来の研削研磨装置の正面図、図１６はその左
側面図である。この研削研磨装置は、レンズを加工する
ものである。

【０００３】研削研磨装置の研磨軸の上軸２１１は加圧
機構（図示省略）を有して上下動可能であり、ネジ２１
２により取付具２１３を介してステー２１４が固定され
ている。ステー２１４の下端部には、横コ字状の第１揺
動部材２１５が、その中心軸線を揺動中心として図１５
の矢印ａ方向に揺動できるように軸受２１６を介して支
軸２１７により支承されている。支軸２１７はステー２
１４に嵌着された受け部材２１８に嵌合すると共に、ス
テー２１４に対して第１揺動部材２１５の反対側からナ
ット２１９によって締め付けされることによってステー
２１４に取り付けられている。

【０００４】第１揺動部材２１５の両先端側には、縦コ
字状の第２揺動部材２２０の両先端部がそれぞれ支軸２
２１により取り付けられている。この第２揺動部材２２
０は支軸２２１を揺動中心として図１６の矢印ｂ方向に
揺動するようになっている。以上の支軸２１７、２２１
の各軸線はＯ点で交わっており、従って第１揺動部材２
１５および第２揺動部材２２０はＯ点を揺動中心として
矢印ａおよびｂ方向に揺動するようになっている。

【０００５】第２揺動部材２２０の中央には、軸受２２
４を介して被加工物であるレンズ２０１の保持体２０２
が回転可能に支持されている。保持体２０２は軸受２２
４に支持される軸部２０２ａと、その下部に一体的に形
成され、その内部でレンズ２０１を吸引保持する逆カッ
プ状部２０２ｂとから構成されている。軸部２０２ａの
中心には、逆カップ状部２０２ｂの中心に連通し、且つ
底面に開口した中空部２０４が貫通している。逆カップ
状部２０２ｂの底面に設けられた溝部には、Ｏリング２
０３が取り付けられ、レンズ２０１の裏面を支持すると
共に、中空部２０４を介してレンズ２０１を吸引保持す
る際の気密性を確保している。

【０００６】上記取付具２１３にはプーリ軸２３０が螺
合しており、このプーリ軸２３０と上軸２１１とが連結
している。取付具２１３とプーリ軸２３０との間にはシ
ール２３１が設けられている。プーリ軸２３０には、軸
受２３２を介してプーリ２３３が回転可能に取り付けら
れている。また、プーリ軸２３０とプーリ２３３の間に
はシール２３４が配置されている。

【０００７】プーリ２３３の下端部と保持体２０２の軸
部２０２ａの上端部は、継手２３５によって連結され、
プーリ２３３の回転を保持体２０２に伝達するようにな
っている。プーリ２３３は、ベルト２３６、プーリ２３
７を介してモータ２３８と連結されており、モータ２３
８を駆動することにより保持体２０２が回転する。

【０００８】一方、保持体２０２に保持されているレン
ズ２０１に対向して、図示しないモータおよび揺動機構
によって回転運動およびレンズ２０１の曲率中心を支点
として球心揺動運動する砥石２２９が配設されている。

【０００９】このような構造による研磨加工は、まず、
レンズ２０１を中空孔２０４により吸引し、保持体２０
２の下端の逆カップ状部２０２ｂ内でレンズ２０１の裏
面をＯリング２０３に当接させて保持する。次に、上軸
２１１を下降させてレンズ２０１の加工面を砥石２２９
に当接させる。

【００１０】そして、レンズ２０１の吸引を解除した
後、レンズ２０１と砥石２２９との間に加工液を供給し
ながら、モータ２３８により、プーリ２３７、ベルト２
３６、プーリ２３３、継手２３５および保持体２０２を
介してレンズ２０１を回転させると共に、砥石２２９を
回転させながら揺動運動を与えてレンズ２０１の加工を
開始する。この加工では、レンズ２０１は砥石２２９よ
り充分小さい回転数で回転させる。加工を終了する際に
は、中空孔２０４によりレンズ２０１を吸引し、上軸２
１１を上昇させてレンズ２０１を砥石２２９から離反さ
せる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上の従来の研削研磨
装置では、砥石２２９の加工面の回転軸に対する偏心お
よび砥石２２９を研磨機に固定するときに発生する球心
位置のズレ、砥石２２９の摩耗による球心位置のズレな
どにレンズ２０１が追従するために、第１揺動部材２１
５および第２揺動部材２２０がそれぞれ支軸２１７、支
軸２２１を支点として傾斜しようとする。しかしなが
ら、モータ２３８の回転をレンズ２０１に伝達するため
の継手２３５が第２揺動部材２２０に配設されているた
め、第１揺動部材２１５および第２揺動部材２２０は継
手２３５の自由度以上の傾斜ができない。また継手２３
５の自由度内の傾斜に対しては、継手２３５を変形させ
るための力量が必要であり、このためレンズ２０１の砥
石２２９への追従性が低下している。

【００１２】従って、レンズ２０１が砥石２２９に追従
することができなくなり、レンズ２０１と砥石２２９と
の間に非接触部分が存在して加工荷重が不均一になった
り、振動が発生している。このため、レンズ２０１の表
面粗さおよび面精度が悪化する問題点がある。

【００１３】さらに第１揺動部材２１５あるいは第２揺
動部材２２０が砥石２２９に追従するために傾斜する
が、このとき、第２揺動部材２２０の重量により慣性モ
ーメントが作用し、傾斜する方向よりも戻る方向に移動
することが困難となり、レンズ２０１の砥石２２９への
追従性が悪くなり、面精度が悪化する問題点がある。

【００１４】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためになされたものであり、砥石の加工面の振れに
ワークが追従してワーク保持体の揺動の自由度を確保で
き、しかもワーク保持体の重量をキャンセルしてワーク
の砥石への追従性を良好にでき、これにより、良好な表
面粗さおよび面精度でワークを加工することが可能な研
削研磨方法および研削研磨装置を提供することを目的と
する。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、光学
素子あるいは型材からなるワークを当接させながら砥石
を回転させ、砥石とワークとを相対的に揺動させると共
に駆動源からの回転力をワ一クに伝達させてワークを回
転させながら研削研磨する方法において、前記駆動源か
らの回転力を磁力によって、ワ一クを保持するワーク保
持体に非接触で伝達し、ワーク保持体の回転中心軸を支
持軸で支持しながらワーク保持体を回転させることを特
徴とする。

【００１６】この発明では、ワークを砥石に当接させ、
砥石を回転させると共にワークと砥石を相対的に揺動さ
せ、駆動源により砥石を回転させる。このとき、ワーク
を保持するワーク保持体の回転中心軸を支持軸が支持
し、さらに、ワーク保持体が磁石に非接触状態で近接
し、磁石の磁力により駆動源の回転力が伝達され、磁石
の回転に連動してワーク保持体が回転し、ワークが回転
する。

【００１７】請求項２の発明は、請求項１記載の発明で
あって、研削研磨加工の後、前記ワークを砥石から離間
させる際に、ワークを回転させながら行うことを特徴と
する。

【００１８】この発明では、請求項１と同様な作用を得
られるのに加えて、加工を終了した後、ワークを砥石か
ら離間するとき、駆動源の回転は停止せずにワークを回
転させながら砥石からワークを離脱してから駆動源の回
転を停止する。これにより、離脱する瞬間に発生する傷
および切り屑、研磨剤、砥石のボンド剤、砥粒等のワー
クへの付着を防止する。

【００１９】請求項３の発明の研削研磨装置は、砥石
と、光学素子あるいは型材からなるワークに砥石を当接
させながら砥石を回転させる砥石回転手段と、砥石とワ
ークとを相対的に揺動させる揺動手段と、駆動源からの
回転力をワークに伝達させる回転力伝達手段と、を有す
る研削研磨装置において、前記ワークを保持するワ一ク
保持体と、ワーク保持体の回転中心軸を中心とする円周
上に配設された第１の磁石と、前記駆動源に連結される
と共に前記ワ一ク保持体の回転中心軸を支持する支持軸
と、前記第１の磁石に非接触で対向するように前記支持
軸上に配設された第２の磁石と、を具備したことを特徴
とする。

【００２０】この発明では、ワークを砥石に当接させて
砥石を回転させると共に、ワークと砥石を相対的に揺動
させ、駆動源に連結された支持軸を介して第２の磁石を
回転させる。このとき、ワークを保持するワーク保持体
の回転中心軸を支持軸が支持すると共に、第２の磁石と
第２の磁石に対して非接触状態で近接したワーク保持体
の第１の磁石との間の磁力によって、駆動源の回転力が
ワーク保持体に伝達されるため、ワーク保持体が磁石の
回転に連動して回転し、これによりワークも回転する。

【００２１】請求項４の発明は、砥石と、光学素子ある
いは型材からなるワークに砥石を当接させながら砥石を
回転させる砥石回転手段と、砥石とワークとを相対的に
揺動させる揺動手段と、駆動源からの回転力をワークに
伝達させる回転力伝達手段と、を有する研削研磨装置に
おいて、前記ワ一クを保持するワーク保持体と、ワーク
保持体の上面で且つワーク保持体の回転中心軸を中心と
する円周上に配設された第１の磁石と、前記駆動源に連
結されると共に前記ワーク保持体の回転中心軸を支持す
る支持軸と、支持軸に固定された磁石保持部材と、前記
第１の磁石に非接触で対向するように磁石保持部材に配
設された第２の磁石と、を具備したことを特徴とする。

【００２２】この発明では、ワークを砥石に当接させて
砥石を回転させると共に、ワークと砥石を相対的に揺動
させ、駆動源に連結された支持軸を回転させ、さらに支
持軸に固定された磁石保持部材を介して第２の磁石を回
転させる。このとき、ワークを保持するワーク保持体の
回転中心軸を支持軸が支持すると共に、第２の磁石と第
２の磁石に対して非接触状態で近接したワーク保持体の
第１の磁石との間の磁力によって駆動源の回転力がワー
ク保持体に伝達されるため、ワーク保持体が磁石の回転
に連動して回転し、ワークも回転する。

【００２３】請求項５の発明は、砥石と、光学素子ある
いは型材からなるワークに砥石を当接させながら砥石を
回転させる砥石回転手段と、砥石とワークとを相対的に
揺動させる揺動手段と、駆動源からの回転力をワークに
伝達させる回転力伝達手段と、を有する研削研磨装置に
おいて、前記ワ一クを保持するワーク保持体と、ワ一ク
保持体の外周面に配設された第１の磁石と、前記駆動源
に連結されると共に前記ワ一ク保持体の回転中心軸を、
先端に設けた球形部で支持する支持軸と、支持軸に固定
された磁石保持部材と、前記第１の磁石に非接触で対向
するよう磁石保持部材に配設された第２の磁石と、を具
備し、前記第１の磁石および第２の磁石は、それぞれ前
記支持軸の先端の球形部を中心とした球面上に配設され
ていることを特徴とする。

【００２４】この発明では、ワークを砥石に当接させて
磁石を回転させると共に、ワークと砥石を相対的に揺動
させ、駆動源に連結された支持軸を回転させ、さらに支
持軸に固定された磁石保持部材を介して第２の磁石を回
転させる。このとき、ワークを保持するワーク保持体の
回転中心軸を支持軸が支持すると共に、第２の磁石と第
２の磁石に対して非接触状態で近接したワーク保持体の
第１の磁石との間の磁力によって駆動源の回転力がワー
ク保持体に伝達されるため、ワーク保持体が磁石の回転
に連動して回転し、ワークも回転する。また、この発明
では、第１の磁石及び第２の磁石は、支持軸の先端部の
球形部の曲率中心を同一の支点として傾斜するため、第
１の磁石及び第２の磁石が干渉することがない。

【００２５】請求項６の発明は、請求項５記載の発明で
あって、前記支持軸の内部に設けた中空部と、前記ワー
ク保持体に固定され、その先端が前記磁石保持部材に接
触した密閉部材と、前記ワ一ク保持体に設けた貫通孔
と、を有し、前記支持軸、磁石保持部材、密閉部材、ワ
ーク保持体およびワークによって密閉空間を形成したこ
とを特徴とする。

【００２６】この発明では、請求項５と同様な作用が得
られると共に、密閉空間、中空部を通じてエアーを吸引
することにより、ワークをワーク保持体に保持したまま
でワークを砥石に当接させる。加工中は、ワーク保持体
が傾斜しても密閉部材が磁石保持部材の球形部と常に接
触して密閉状態を確保する。

【００２７】請求項７の発明は、砥石と、光学素子ある
いは型材からなるワークに砥石を当接させながら砥石を
回転させる砥石回転手段と、砥石とワークとを相対的に
揺動させる揺動手段と、駆動源からの回転力をワークに
伝達させる回転力伝達手段と、を有する研削研磨装置に
おいて、前記ワ一クが貼り付けられる貼付皿と、貼付皿
の開口部に挿入された略カップ形状のワーク保持体と、
ワーク保持体の外周面に配設された第１の磁石と、前記
駆動源に連結されると共にワーク保持体の回転中心軸
を、先端に設けた球形部で支持する支持軸と、前記支持
軸に国定された磁石保持部材と、前記第１の磁石に非接
触で対向するように磁石保持部材に配設された第２の磁
石と、を具備し、前記第１の磁石および第２の磁石は、
それぞれ前記支持軸の先端の球形部を中心とした球面上
に配設されていることを特徴とする。

【００２８】この発明では、貼付皿に貼り付けられたワ
ークを砥石に当接させて砥石を回転させると共に、ワー
クと砥石とを相対的に揺動させ、駆動源に連結された支
持軸を回転させ、さらに支持軸に固定された磁石保持部
材を介して第２の磁石を回転させる。このとき、貼付皿
を保持する略カップ形状のワーク保持体の回転中心軸を
支持軸が支持すると共に、第２の磁石と、第２の磁石に
対して非接触状態で近接したワーク保持体の第１の磁石
との間の磁力によって駆動源の回転力がワーク保持体に
伝達されるため、ワーク保持体が磁石の回転に連動して
回転し、ワークも回転する。

【００２９】請求項８の発明は、砥石と、光学素子ある
いは型材からなるワークに砥石を当接させながら砥石を
回転させる砥石回転手段と、砥石とワークとを相対的に
揺動させる揺動手段と、駆動源からの回転力をワークに
伝達させる回転力伝達手段と、を有する研削研磨装置に
おいて、前記ワ一クが貼り付けられる貼付皿と、貼付皿
の開口部に挿入された略カップ形状のワーク保持体と、
ワーク保持体の内周面に配設された第１の磁石と、前記
駆動源に連結されると共に、前記ワーク保持体の回転中
心軸を支持する支持軸と、前記第１の磁石に非接触で対
向するように前記支持軸の外周面に配設された第２の磁
石と、を具備したことを特徴とする。

【００３０】この発明では、貼付皿に貼り付けられたワ
ークを磁石に当接させて磁石を回転させると共に、ワー
クと砥石とを相対的に揺動させ、駆動源に連結された支
持軸を介して支持軸の外周面に取り付けられた第２の磁
石を回転する。このとき、貼付皿を保持する略カップ形
状のワーク保持体の回転中心軸を支持軸が支持すると共
に、第２の磁石と第２の磁石に対して非接触状態で近接
したワーク保持体の内周面の第１の磁石との間の磁力に
よって駆動源の回転力がワーク保持体に伝達されるた
め、ワーク保持体が磁石の回転に連動して回転し、ワー
クも回転する。

【００３１】請求項９の発明は、請求項３〜８のいずれ
かに記載の発明であって、前記第１の磁石および前記第
２の磁石の対向するそれぞれの磁極が同極または異極と
なるように配設されていることを特徴とする。

【００３２】この発明では、請求項３〜８の発明と同様
な作用を得ることができるのに加えて、第１の磁石と第
２の磁石とが反発し、あるいは相互に引き合って駆動源
からの回転力をワーク保持体に伝達する。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示する実施の形
態により具体的に説明する。なお、各実施の形態におい
て、同一の要素は同一の符号を付して対応させてある。

【００３４】（実施の形態１）図１は実施の形態１の研
削研磨装置の一部を断面にした正面図、図２は図１のＸ
−Ｘ線断面図、図３は要部を示す図２のＹ−Ｙ線断面図
である。

【００３５】図１に示すように、加工面１ａが平面形状
となっているワーク１に対向して、研削研磨用の砥石２
が配設されている。ワーク１はガラス、結晶材料、セラ
ミック等の光学素子あるいは成形型材などからなってい
る。砥石２は図示省略した回転自在な砥石軸に固定され
ている。ワーク１の加工面１ａと反対側の保持面１ｂは
Ｏリング１７（あるいは、保持面１ｂの全面を受けるた
めのシリコン、ポリウレタン等のシート）を介して、ワ
ーク保持体３の開口部３ａの内周面により保持されてい
る。また、ワーク保持体３の上面３ｂの回転中心軸上に
設けた凹部には、支持軸４の先端部に設けた球形部４ａ
が嵌合している。

【００３６】支持軸４はベアリング６を介してアーム部
材５に回転自在に保持されている。なお、２個のベアリ
ング６の間には、スペーサ７、８が配設されている。支
持軸４の上端部は軸継手９を介して、回転のための駆動
源であるモータ１０に連結されている。モータ１０はア
ーム部材５に固定されている。

【００３７】アーム部材５はテーブル１３に固定されて
おり、テーブル１３は研削研磨装置本体のワーク軸部１
１に固定されたレールガイド１２に上下動自在に保持さ
れている。また、アーム部材５の上端部は図示省略した
エアーシリンダーに連結されることにより加圧機構を有
している。

【００３８】ワーク保持体３の上面３ｂに対向し、且つ
非接触状態で磁石保持部材１４が配設されている。磁石
保持部材１４には支持軸４が挿入されており、側面から
の止めネジ１８により支持軸４に固定されている。図２
に示すように、磁石保持部材１４の下面１４ａには、第
２の磁石としての磁石１５が円周上に等間隔に４個埋設
されている。さらに、図３に示すように、ワーク保持体
３の上面３ｂには、第１の磁石としての磁石１６が円周
上に等間隔に４個埋設されている。

【００３９】この実施の形態では、磁石保持部材１４に
埋設された磁石１５とワーク保持体３に埋設された磁石
１６とは、互いに反発する同極同士が対向している。こ
のため、図２に示すように、それぞれの磁石１６は隣接
する２個の磁石１５の中間に、非接触状態で位置するよ
うになる。

【００４０】加工に際しては、図示省略した砥石軸部が
回転運動を行うと共に、左右に直進揺動または遊星揺動
する。また、ワーク１と砥石２には、図示省略した研削
液、あるいは研磨液が供給される。

【００４１】上記構成による精研削、研磨加工では、ま
ずワーク１をワーク保持体３の開口部３ａに挿入し、加
工面１ａを砥石２に当接させる。そして、図示省略した
アーム部材５の加圧機構を駆動することにより、支持軸
４の先端部の球形部４ａがワーク保持体３の上面３ｂの
回転中心軸上に設けた凹部に嵌合し、ワーク保持体３及
びＯリング１７を介してワーク１が砥石２に対し加圧さ
れる。

【００４２】ワーク１と砥石２との間に図示省略した研
削液または研磨液を供給しながら、砥石２を回転させる
と共に、直進揺動または遊星揺動させる。これと同時
に、モータ１０を回転させることにより、軸継手９を介
して支持軸４および磁石保持部材１４が回転する。磁石
保持部材１４の円周上に埋設された磁石１５は、ワーク
保持体３に埋設された磁石１６と反発しているので、磁
石１５が回転すると、それに連動して磁石１６が埋設さ
れているワーク保持体３、さらにワーク１が回転する。

【００４３】加工中におけるワーク保持体３の回転数の
設定について説明する。通常加工では砥石２の回転によ
り、砥石２とワーク１との摩擦力によってワーク１が従
属回転する。このワーク１の従属回転の回転数は砥石２
の回転数の０．７〜０．９８倍であるため、ワーク保持
体３の回転数は砥石２の回転と同一方向に砥石２の回転
数の０．７〜０．９８倍に設定することが好ましい。た
だし、加工速度を向上させるときは、砥石２の回転数の
０．１〜０．７倍に設定する。また、さらに加工速度を
向上させるときは、砥石２と逆方向に回転させる。

【００４４】加工中は、砥石２の加工面２ａの回転およ
び揺動で発生する振れに、ワーク１が追従するためにワ
ーク保持体３が傾斜しようとする。このとき、本実施の
形態によれば、モータ１０からの回転力はワーク保持体
３に対して非接触で磁石１５、１６により伝達されてお
り、ワーク保持体３は支持軸４先端の球形部４ａで支持
されているため、ワーク保持体３の傾斜が規制されるこ
とはない。このため、ワーク１は砥石の振れに対して良
好に追従することができる。

【００４５】このような実施の形態によれば、強制的に
ワーク１を回転させるため、通常加工で発生するような
従属回転不良による面精度の悪化などの問題はない。ま
た、ワーク保持体３が揺動する自由度を維持したまま、
ワーク１を回転させることができるため、ワーク１の砥
石２への追従性が良好となり、表面粗さおよび面精度を
良好に維持することができる。

【００４６】図４はこの実施の形態の変形々態であり、
磁石保持部材１４の部分上面図を示す。この形態では、
磁石保持部材１４に埋設された磁石１５が磁石保持部材
１４の半径方向に長い略長円形状となっている。これに
より、加工中において、ワーク保持体３の傾斜が大きい
ときでも、ワーク保持体３に埋設された磁石１６との反
発力を損なうことなく、モータ１０の回転をワーク保持
体３に伝えることができる。

【００４７】図５は別の変形々態における磁石保持部材
１４の部分上面図である。この形態では、磁石保持部材
１４に埋設された小径の円柱形状の磁石１５が磁石保持
部材１４の半径方向に複数個配設されている。これによ
り、加工中において、ワーク保持体３の傾斜が大きいと
きでも、ワーク保持体３に埋設された磁石１６との反発
力を損なうことなく、モータ１０の回転をワーク保持体
３に伝えることができる。

【００４８】さらに、図４及び図５に示した磁石保持部
材１４の磁石１５の変形々態においては、磁石１５では
なく、ワーク保持体３に埋設された磁石１６に対して行
っても同様な効果が得られる。

【００４９】また、この実施の形態では、磁石１５と磁
石１６とを反発状態で対向させているが、磁石保持部材
１４に固着された各形状の磁石１５とワーク保持体３に
埋設された磁石１６を引き合う同極になるように対向さ
せても良い。この場合には、反発する場合より回転伝達
力は若干低下するが、その分だけ、磁石を大きくするこ
とにより同様な効果が得られる。

【００５０】（実施の形態２）図６〜図８は実施の形態
２を示し、図６は研削研磨装置の一部を断面にした正面
図、図７は図６のＸ−Ｘ線断面図、図８は図６の要部で
ある図７のＹ−Ｙ線断面図である。

【００５１】図６に示すように、加工面１ａが球面の凹
形状を有するワーク１に対向して、研削研磨用の球面形
状の砥石２が配設されている。砥石２は図示省略した回
転自在な砥石軸に固定されている。ワーク１の加工面１
ａと反対側の保持面１ｂはＯリング１７を介してワーク
保持体３の開口部３ａの内周面により保持されている。
ワーク保持体３の上面３ｂの回転中心軸上に設けた凹部
は、支持軸４の先端部に設けた球形部４ａに嵌合されて
いる。また、ワーク保持体３の外周面３ｃは支持軸４の
球形部４ａの中心を中心とした球面形状に形成されてい
る。

【００５２】支持軸４はベアリング６を介してアーム部
材５に回転自在に保持されている。なお、２個のベアリ
ング６の間には、スペーサ７、８が配設されている。支
持軸４の上端部は軸継手９を介して、回転のための駆動
源であるモータ１０に連結されている。モータ１０はア
ーム部材５に固定されている。

【００５３】アーム部材５はテーブル１３に固定されて
おり、テーブル１３は研削研磨装置本体のワーク軸部１
１に固定されたレールガイド１２に上下動自在に保持さ
れている。また、アーム部材５の上端部は図示省略した
エアーシリンダーに連結されており、これにより加圧機
構を有している。

【００５４】ワーク保持体３の上側には、非接触状態で
磁石保持部材１４が配設されている。磁石保持部材１４
には支持軸４が挿入されており、側面からの止めネジ１
８により支持軸４に固定されている。磁石保持部材１４
の開口部１４ａの先端内側面には、第２の磁石としての
平板状の磁石１９が円周上に等間隔に複数個埋設されて
いる。各々の磁石１９はその中心における法線が支持軸
４の先端部に設けた球形部４ａの中心を通るように配設
面３ｂに対向し、且つ非接触状態で磁石保持部材１４が
配設されている。

【００５５】図７および図８に示すように、ワーク保持
体３の外周面３ｃには、第１の磁石としての磁石２０が
円周上に等間隔に埋設されている。磁石２０は上述した
磁石１９と同数となっている。この実施の形態では、磁
石保持部材１４に埋設された磁石１９とワーク保持体３
に埋設された磁石２０とは、互いに反発する同極同士が
対向している。このため、図７に示すように、それぞれ
の磁石１９は隣接する２個の磁石２０の中間に非接触で
位置するようになる。

【００５６】加工に際しては、図６に示すように図示省
略した砥石軸部が回転運動を行うと共に、ワーク１の加
工面１ａの曲率中心Ｏを支点として、傾斜した角度αを
中心角として、左右に角度βで揺動する球心揺動運動を
行う。また、ワーク１と砥石２には、図示省略した研削
液または研磨液が供給される。

【００５７】この構成による精研削、研磨加工では、ま
ずワーク１をワーク保持体３の開口部３ａに挿入し、加
工面１ａを砥石２に当接させる。図示省略したアーム部
材５の加圧機構を駆動することにより、支持軸４の先端
部の球形部４ａがワーク保持体３の上面３ｂの回転中心
軸上に設けた凹部に嵌合し、ワーク保持体３、Ｏリング
１７を介してワーク１が砥石２に対し加圧される。

【００５８】ワーク１と砥石２との間に研削液または研
磨液を供給しながら、砥石２を回転させると共に球心揺
動運動させる。それと同時に、モータ１０を回転させる
ことにより、軸継手９を介して支持軸４および磁石保持
部材１４が回転する。磁石保持部材１４の開口部１４ａ
の先端側内側面に埋設された磁石１９は、ワーク保持体
３の外周面に埋設された磁石２０とは反発しあっている
ため、磁石１９が回転すると、それに連動して磁石２０
が埋設されているワーク保持体３さらにはワーク１が回
転する。

【００５９】加工中は、砥石２の偏心および砥石２を研
削研磨装置に固定するときに発生する球心位置のズレ、
砥石２の摩耗による球心位置のズレなどにワーク１が追
従するためにワーク保持体３が傾斜しようとする。この
とき、本実施の形態によれば、モータ１０からの回転力
はワーク保持体３に対して非接触で磁石１９、２０によ
り伝達されており、ワーク保持体３は支持軸４先端の球
形部４ａで支持されているため、ワーク保持体３の傾斜
が規制されることはない。また、磁石１９、２０は、そ
れぞれ磁石保持部材１４およびワーク保持体３に保持さ
れながら、支持軸４の先端部の球形部４ａの曲率中心を
支点として傾斜するため、磁石１９、２０が干渉するこ
とはない。このため、ワーク１は砥石２の偏心やズレに
対して良好に追従することができる。

【００６０】このような実施の形態によれば、球面形状
のワーク１に対しても実施の形態１と同様な効果が得ら
れる。また、ワーク保持体３の外周面３ｃと磁石保持部
材１４の開口部１４ａとが干渉する限界位置まで、ワー
ク保持体３が大きく傾斜することができるため、球心揺
動運動以外のワーク軸部の直進揺動運動および遊星揺動
運動を行う研削研磨装置にも対応することができる。

【００６１】（実施の形態３）図９〜図１１は本発明の
実施の形態３を示し、図９は研削研磨装置の一部を断面
にした正面図、図１０は図９のＸ−Ｘ線断面図、図１１
は要部である図１０のＹ−Ｙ線断面図である。

【００６２】図９に示すように、加工面１ａが球面の凸
形状を有するワーク１に対向して、研削研磨用の球面形
状の砥石２が配設されている。砥石２は図示省略した回
転自在な砥石軸に固定されている。ワーク１における加
工面１ａと反対側の保持面１ｂはＯリング１７を介して
ワーク保持体３の開口部３ａの内周面により保持されて
いる。ワーク保持体３の上面３ｂの回転中心軸上に設け
た凹部には、支持軸４の先端部に設けた球形部４ａが嵌
合している。

【００６３】ワーク保持体３の外周面３ｃは、支持軸４
の先端部の球形部４ａを中心とする球面の一部を形成し
ている。また、ワーク保持体３の上面３ｂの中輪帯に設
けられた突起部３ｄには、Ｖリング、Ｏリング、シリコ
ンチューブ、ウレタンチューブ等からなる密閉部材２３
が固定されている。さらに、ワーク保持体３の突起部３
ｄより中央寄りには開口部３ａに連通した連通孔３ｅが
設けられている。

【００６４】支持軸４はベアリング６を介してアーム部
材５に回転自在に保持されている。なお、２個のベアリ
ング６の間には、スペーサ７、８が配設されている。支
持軸４の中心部には軸方向の中空部４ｂが形成されてお
り、支持軸４の先端部には中空部４ｂと連通した横孔４
ｃが穿設されている。

【００６５】また、支持軸４の上端部には図示省略した
ロータリジョイントが配設され、図示しないエアーの吸
引排出ユニットに連結されている。さらに、支持軸４の
上方にはプーリ２４が固定され、ベルト２６を介して回
転のための駆動源であるモータ１０のプーリ２５に連結
されている。モータ１０はアーム部材５に固定されてい
る。

【００６６】アーム部材５はテーブル１３に固定されて
おり、テーブル１３は研削研磨装置本体のワーク軸部１
１に固定されたレールガイド１２に上下動自在に保持さ
れている。また、アーム部材５の上端部は図示省略した
エアーシリンダーに連結されることにより、加圧機構を
有している。

【００６７】ワーク保持体３の上側には、磁石保持部材
１４が配設されている。磁石保持部材１４には支持軸４
が挿入されており、側面からの止めネジ１８により支持
軸４に固定されている。磁石保持部材１４の開口部１４
ａの内側面には、第２の磁石としての磁石２１が円周上
に等間隔に複数個埋設されている。磁石２１における開
口部１４ａ側の表面は、支持軸４の先端部の球形部４ａ
の曲率中心を中心とした球面形状に形成されている。

【００６８】さらに、磁石保持部材１４の開口部１４ａ
の内側面のうち磁石２１が埋設された部分よりも上側部
分は、支持軸４の先端部の球形部４ａの曲率中心を中心
とした球面形状に形成された球面部１４ｂを有してい
る。この球面部１４ｂには、密閉部材２３の先端が接触
し、磁石保持部材１４の開口部１４ａから外にエアーが
漏れないように密閉されている。また、磁石保持部材１
４の先端には、ワーク保持体３の外周面３ｃより小径の
内径を有するリング形状の押さえピース２７が固定され
ており、ワーク保持体３が落下するのを防止するための
ストッパーとなっている。

【００６９】図１０および図１１に示すように、ワーク
保持体３の外周面３ｃには、第１の磁石としての磁石２
２が円周上に等間隔に埋設されている。この磁石２２は
磁石２１と同数となっている。この実施の形態では、磁
石保持部材１４に埋設された磁石２１とワーク保持体３
に埋設された磁石２２とは互いに反発する同極同士が対
向するように配置されている。このため、図１０に示す
ように、それぞれの磁石２１は隣接する２個の磁石２２
の中間に非接触で位置するようになる。

【００７０】加工に際しては、図９に示すように図示省
略した砥石軸部が回転運動を行うと共に、ワーク１の加
工面１ａの曲率中心Ｏを支点として、傾斜した角度αを
中心角として左右に角度βで揺動する球心揺動運動を行
う。また、ワーク１と砥石２には、図示省略した研削液
または研磨液が供給される。

【００７１】この構成による精研削、研磨加工では、ま
ずワーク１をワーク保持体３の開口部３ａに挿入し、図
示省略したエアーの吸引排出ユニットによりエアーを吸
引する。支持軸４の中空部４ｂ、横孔４ｃおよび磁石保
持部材１４の開口部１４ａからなる空間は密閉部材２３
により密閉されているので、ワーク保持体３の連通孔３
ｅを通じてワーク保持体３の開口部３ａのワーク１より
上部空間は負の圧力となり、ワーク１が吸引されてワー
ク保持体３に保持される。

【００７２】次に、ワーク軸部１１を降下させると共
に、図示省略したアーム部材５の加圧機構を駆動するこ
とにより、ワーク保持体３およびワーク１が加圧され、
ワーク１が砥石２に当接される。この時点で図示省略し
たエアー供給排出ユニットの吸引を停止する。

【００７３】ワーク１と砥石２との間に図示省略した研
削液または研磨液を供給しながら砥石２を回転させると
共に球心揺動運動させる。それと同時に、モータ１０を
回転させることにより、プーリ２５、ベルト２６、プー
リ２４を介して支持軸４および磁石保持部材１４が回転
する。磁石保持部材１４に埋設された磁石２１は、ワー
ク保持体３に埋設された磁石２２とは反発しているた
め、磁石２１が回転すると、それに連動して磁石２２が
埋設されているワーク保持体３さらにはワーク１が回転
する。

【００７４】加工中は、砥石２の偏心および砥石２を研
削研磨装置に固定するときに発生する球心位置のズレ、
砥石２の摩耗による球心位置のズレなどにワーク１が追
従するためにワーク保持体３が傾斜しようとする。この
とき、本実施の形態によれば、モータ１０からの回転力
がワーク保持体３に対して非接触で磁石２１、２２によ
り伝達されていると共に、ワーク保持体３に固定された
密閉部材２３は、磁石保持部材１４の球形部１４ｂと常
に弱い力で接触している。このため、ワーク保持体３の
傾斜が規制されることはない。また、磁石２１、２２は
それぞれ磁石保持部材１４およびワーク保持体３に保持
されながら支持軸４の先端部の球形部４ａの曲率中心を
支点として傾斜する。このため、磁石２１、２２が干渉
することはない。これらによって、ワーク１は砥石２の
偏心やズレに対して良好に追従することができる。

【００７５】加工を終了するときは、図示しないエアー
供給排出ユニットを作動させ、ワーク１を吸引する。砥
石２を回転させたまま、あるいは停止した状態で、ワー
ク１を砥石２から離脱させるためにワーク軸部１１を上
昇させ、あるいは図示省略したアーム部材５の加圧機構
を停止し、支持軸４を上昇させる。そして、ワーク１が
砥石２から完全に離脱した時点で、モータ１０の回転を
停止する。これにより、ワーク１が砥石２から離脱する
瞬間に、ワーク１への傷の発生および切り屑、研磨剤、
砥石２のボンド剤、砥粒等のワーク１に対する付着を防
止することができる。

【００７６】このような実施の形態によれば、ワーク１
の吸引機構を有する研削研磨装置においても実施の形態
２と同様な効果が得られる。

【００７７】（実施の形態４）図１２は本発明の実施の
形態４を示し、研削研磨装置の一部を断面にした正面図
である。

【００７８】図１２において、加工面１ａが球面の凹形
状を有するワーク１に対向して、研削研磨用の球面形状
の砥石２が配設されている。砥石２は図示省略した回転
自在な砥石軸に固定されている。ワーク１における加工
面１ａの反対面は、熱可塑性樹脂等により貼付皿３０に
貼り付けられている。貼付皿３０の材質は磁性体であ
る。

【００７９】貼付皿３０の上部の開口部３０ａには、略
カップ形状のワーク保持体３１がその開口部３１ａを上
に向けて挿入されている。ワーク保持体３１の底部に
は、貼付皿３０を磁力により保持するための磁石３３が
埋設されている。また、ワーク保持体３１の開口部３１
ａの回転中心軸上には凹部があり、支持軸４の先端部に
設けた球形部に当接されている。

【００８０】ワーク保持体３１の内側面上部にはネジが
切られており、保持体押さえ部材３２が螺合によって取
り付けられている。保持体押さえ部材３２の上面３２ａ
には第１の磁石として磁石２９が埋設されている。この
上面３２ａは支持軸４の先端部に設けた球形部の曲率中
心を中心とした球面形状に形成されている。

【００８１】支持軸４には、先端部に設けた球形部の上
部位置にＯリング３４が固定されている。このＯリング
３４はワーク保持体３１が降下したときに、保持体押さ
え部材３２の下端と当接してワーク保持体３１が落下す
るのを防止している。また、支持軸４はベアリング６を
介してアーム部材５に回転自在に保持されている。な
お、２個のベアリング６の間には、スペーサ７、８が配
設されている。支持軸４の上端部は軸継手９を介して、
回転のための駆動源であるモータ１０に連結されてい
る。モータ１０はアーム部材５に固定されている。

【００８２】アーム部材５はテーブル１３に固定されて
おり、テーブル１３は研削研磨装置本体のワーク軸部１
１に固定されたレールガイド１２に上下動自在に保持さ
れている。また、アーム部材５の上端部は図示省略した
エアーシリンダーに連結されることにより、加圧機構を
有している。

【００８３】保持体押さえ部材３２の上側には非接触状
態で、磁石保持部材１４が配設されている。磁石保持部
材１４には支持軸４が挿入されており、側面からの止め
ネジ１８により支持軸４に固定されている。磁石保持部
材１４の下面１４ｃには、第２の磁石として磁石２８が
埋設されている。この磁石２８の磁石２９に対向する面
は、支持軸４の先端部に設けた球形部の曲率中心を中心
とした球面形状に形成されている。

【００８４】この実施の形態では、磁石保持部材１４に
埋設された磁石２８と保持体押さえ部材３２に埋設され
た磁石２９とは、互いに引き合う異極同士が対向するよ
うに配置されている。

【００８５】加工に際しては、図示省略した砥石軸部が
回転運動を行うと共に、ワーク１の加工面１ａの曲率中
心Ｏを支点として、傾斜した角度αを中心角として、左
右に角度βで揺動する球心揺動運動を行う。また、ワー
ク１と砥石２には、図示省略した研削液または研磨液が
供給される。

【００８６】上記構成による精研削・研磨加工では、ま
ずワーク１を貼り付けた貼付皿３０の開口部３０ａにワ
ーク保持体３１を挿入する。このとき、貼付皿３０が磁
性体のためワーク保持体３１に埋設された磁石３３の磁
力により保持される。

【００８７】次に、ワーク軸部１１を降下させると共
に、図示省略したアーム部材５の加圧機構を駆動するこ
とにより支持軸４の先端部の球形部、ワーク保持体３
１、貼付皿３０を介してワーク１が加圧されワーク１が
砥石２に当接される。その後、ワーク１と砥石２との間
に研削液または研磨液を供給しながら砥石２を回転させ
ると共に、球心揺動運動させる。それと同時にモータ１
０を回転させることにより、軸継手９を介して支持軸４
および磁石保持部材１４が回転する。

【００８８】磁石保持部材１４の下面１４ｃに埋設され
た磁石２８は、保持体押さえ部材３２に埋設された磁石
２９と引き合うようになっているため、磁石２８が回転
すると、それに連動して磁石２９が埋設されている保持
体押さえ部材３２、ワーク保持体３１および貼付皿３０
に貼り付けられたワーク１が回転する。

【００８９】加工中は、砥石２の偏心および砥石２を研
削研磨装置に固定するときに発生する球心位置のズレ、
砥石２の摩耗による球心位置のズレなどにワーク１が追
従するためにワーク保持体３１が傾斜しようとする。こ
のとき、本実施の形態によれば、モータ１０からの回転
力がワーク保持体３１に対して非接触で磁石２８、２９
により伝達されているため、ワーク保持体３１および貼
付皿３０の傾斜が規制されることはない。また磁石２
８、２９は、それぞれ磁石保持部材１４および保持体押
さえ部材３２に保持されながら、支持軸４の先端部の球
形部の曲率中心を支点として傾斜するため、磁石２８、
２９が干渉することはない。これらにより、ワーク１は
砥石２の偏心やズレに対して良好に追従することができ
る。

【００９０】また、従来技術では傾斜する部材（第２揺
動部材２２０）の重量により慣性モーメントが働き、傾
斜する方向よりも戻る方向に移動することが困難であっ
たが、この実施の形態では回転力を伝達するための磁石
２８、２９が引き合っているため、ワーク１、貼付皿３
０、ワーク保持体３１、保持体押さえ部材３２、磁石２
９等の重量が見かけ上減り、慣性モーメントを軽減する
ことができる。このためワーク１の砥石２への追従性が
さらに良好になる。

【００９１】このような実施の形態によれば、ワーク１
を貼付皿３０に貼り付ける研削研磨装置に関しても実施
の形態１と同様な効果が得られる。また、磁石２８と磁
石２９を互いに引き合う構成とすることにより、ワーク
１の砥石２への追従性をさらに高めることができる。

【００９２】なお、磁石保持部材１４に埋設された磁石
２８と保持体押さえ部材３２に埋設された磁石２９を互
いに反発しあう同極同士が対向するように配置すること
も可能であり、この場合でも、磁石保持部材１４を磁性
体とすることにより、保持体押さえ部材３２に埋設され
た磁石２９と引き合うため、ワーク１等の重量をキャン
セルすることができ、上述した実施の形態と同様な効果
が得られる。

【００９３】（実施の形態５）図１３及び図１４は本発
明の実施の形態５を示し、図１３は研削研磨装置の一部
を断面にした正面図、図１４は図１３のＸ−Ｘ線面図で
ある。

【００９４】この実施の形態では、図１３に示すよう
に、実施の形態４における磁石保持部材１４、磁石２
８、２９を廃止している。また、保持体押さえ部材３２
の内側面に第１の磁石としての円弧形状の磁石３５を埋
設し、且つ支持軸４における磁石３５と対向する位置に
第２の磁石としての円弧形状の磁石３６を設けている。
その他の構成は実施の形態４と同様である。

【００９５】この実施の形態による精研削・研磨加工で
は、まずワーク１を貼り付けた貼付皿３０の開口部３０
ａにワーク保持体３１を挿入する。このとき、貼付皿３
０が磁性体のため、ワーク保持体３１に埋設された磁石
３３により保持される。次に、ワーク軸部１１を降下さ
せると共に、図示省略したアーム部材５の加圧機構を駆
動することにより支持軸４の先端部の球形部、ワーク保
持体３１、貼付皿３０を介してワーク１が加圧されワー
ク１が砥石２に当接される。その後、ワーク１と砥石２
との間に図示省略した研削液または研磨液を供給しなが
ら砥石２を回転させると共に、球心揺動運動させる。そ
れと同時にモータ１０を回転させることにより、軸継手
９を介して支持軸４を回転する。

【００９６】この実施の形態では、図１４に示すよう
に、支持軸４に埋設された磁石３６と保持体押さえ部材
３２に埋設された磁石３５とは、共に円周方向に４分割
された円弧形状をなして交互に配設されており、それぞ
れＮ極とＳ極に着磁されているため、互いに引き合うよ
うになっている。このため、磁石３６が回転すると、そ
れに連動して磁石３５が埋設されている保持体押さえ部
材３２、ワーク保持体３１および貼付皿３０に貼り付け
られたワーク１が回転する。

【００９７】加工中は、砥石２の偏心および砥石２を研
削研磨装置に固定するときに発生する球心位置のズレ、
砥石２の摩耗による球心位置のズレなどにワーク１が追
従するためにワーク保持体３１が傾斜しようとする。こ
のとき、本実施の形態によれば、モータ１０からの回転
力がワーク保持体３１に対して非接触で磁石３５、３６
により伝達されているので、ワーク保持体３１および貼
付皿３０の傾斜が規制されることはない。このため、ワ
ーク１は砥石２の偏心やズレに対して良好に追従するこ
とができる。

【００９８】このような実施の形態によれば、実施の形
態４と同様な効果が得られると共に、磁石保持部材１４
を廃止したことにより、ワーク１の回転伝達に要する機
構の軽量化が可能となり、ワーク１の砥石２に対する追
従性が向上する。

【００９９】なお、砥石２の回転に対して、ワーク１の
回転数の比率を大きくする場合にはワーク保持体３１に
よる貼付皿３０の保持を磁石３３の磁力によらずネジに
よる螺着としても良い。また、貼付皿３０の上端部に設
けた切り欠き部にワーク保持体３１あるいは保持体押さ
え部材３２に設けた突起部を嵌合させても良い。

【０１００】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、駆動源からの
回転力をワーク保持体に磁力により非接触状態で伝達す
るため、加工中の砥石の偏心や、球心位置のズレなどに
ワークが追従する際のワーク保持体の傾斜が規制される
ことがなく、ワークの砥石への追従性が良好な状態とな
り、ワークの表面粗さおよび面精度を良好に維持するこ
とができる。

【０１０１】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
と同様な効果を有すると共に、加工が終了するときに、
砥石からワークを離脱してからワークの回転を停止する
ため、離脱する瞬間に発生する傷および切りくず、研磨
剤、砥石のボンド剤、砥粒等のワークへの付着を防止す
ることができる。

【０１０２】請求項３の発明によれば、駆動源からの回
転力をワークを保持するワーク保持体に磁力により非接
触状態で伝達するため、加工中の砥石の偏心や、球心位
置のズレなどにワークが追従する際のワーク保持体の傾
斜が規制されることがなく、ワークの砥石への追従性が
良好な状態となり、ワークの表面粗さおよび面精度を良
好に維持することができる。

【０１０３】請求項４の発明によれば、駆動源からの回
転力をワークを保持するワーク保持体に磁力により非接
触状態で伝達するため、加工中の砥石の偏心や、球心位
置のズレなどにワークが追従する際のワーク保持体の傾
斜が規制されることがなくワークの砥石への追従性が良
好な状態となり、ワークの表面粗さおよび面精度を良好
に維持することができる。

【０１０４】請求項５の発明によれば、駆動源からの回
転力をワークを保持するワーク保持体に磁力により非接
触状態で伝達するため、加工中の砥石の偏心や、球心位
置のズレなどにワークが追従する際のワーク保持体の傾
斜が規制されることがなくワークの砥石への追従性が良
好な状態となり、ワークの表面粗さおよび面精度を良好
に維持することができる。また、第１の磁石、第２の磁
石が支持軸の先端部の球形部の曲率中心を同一の支点と
して傾斜するため、第１の磁石と第２の磁石とが干渉す
ることがない。

【０１０５】請求項６の発明によれば、請求項５の発明
と同様な効果を有すると共に、ワークを吸引するための
密閉部材がワーク保持体の傾斜の妨げにならないように
磁石保持部材の球形部と接触しているため、ワーク保持
体の揺動の自由度を維持することができる。

【０１０６】請求項７の発明によれば、駆動源からの回
転力を貼付皿に貼り付けられたワークを保持するワーク
保持体に磁力により非接触状態で伝達するため、加工中
の砥石の偏心や、球心位置のズレなどにワークが追従す
る際のワーク保持体の傾斜が規制されることがなく、ワ
ークの砥石への追従性が良好な状態となり、ワークの表
面粗さおよび面精度を良好に維持することができる。

【０１０７】請求項８の発明によれば、駆動源からの回
転力を貼付皿に貼り付けられたワークを保持するワーク
保持体に磁力により非接触状態で伝達するため、加工中
の砥石の偏心や、球心位置のズレなどにワークが追従す
る際のワーク保持体の傾斜が規制されることがなく、ワ
ークの砥石への追従性が良好な状態となり、ワークの表
面粗さおよび面精度を良好に維持することができる。ま
た、磁石保持部材を有していないため、回転伝達機構を
軽量化でき、ワークの砥石への追従性がさらに良好にな
る。

【０１０８】請求項９の発明によれば、請求項３〜８の
発明と同様な効果を有すると共に、対向する磁極を同極
とすることにより、ワーク保持体等の重量をキャンセル
することができ、ワークの砥石への追従性がさらに良好
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の研削研磨装置の一部を
断面にした正面図である。

【図２】図１のＸ−Ｘ線断面図である。

【図３】図２のＹ−Ｙ線断面図である。

【図４】実施の形態１の変形々態の断面図である。

【図５】実施の形態１の別の変形々態の断面図である。

【図６】本発明の実施の形態２の研削研磨装置の一部を
断面にした正面図である。

【図７】図６のＸ−Ｘ線断面図である。

【図８】図７のＹ−Ｙ線断面図である。

【図９】本発明の実施の形態３の研削研磨装置の一部を
断面にした正面図である。

【図１０】図９のＸ−Ｘ線断面図である。

【図１１】図１０Ｙ−Ｙ線断面図である。

【図１２】本発明の実施の形態４の研削研磨装置の一部
を断面にした正面図である。

【図１３】本発明の実施の形態５の研削研磨装置の一部
を断面にした正面図である。

【図１４】図１３のＸ−Ｘ線断面図である。

【図１５】従来のレンズ研削研磨加工装置の部分破断正
面図である。

【図１６】従来技術のレンズ研削研磨加工装置の部分破
断左側面図である。

【符号の説明】

１ ワーク ２ 砥石 ３ ワーク保持体 ４ 支持軸 ５ アーム部材 １０ モータ １１ ワーク軸部 １４ 磁石保持部材 １５、１６ 磁石 １９，２０，２１，２２ 磁石 ２３ 密閉部材 ２８，２９ 磁石 ３０ 貼付皿 ３１ ワーク保持体 ３２ 保持体押さえ部材 ３３ 磁石 ３５，３６ 磁石

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学素子あるいは型材からなるワークを
   当接させながら砥石を回転させ、砥石とワークとを相対
   的に揺動させると共に駆動源からの回転力をワ一クに伝
   達させてワークを回転させながら研削研磨する方法にお
   いて、 前記駆動源からの回転力を磁力によって、ワ一クを保持
   するワーク保持体に非接触で伝達し、ワーク保持体の回
   転中心軸を支持軸で支持しながらワーク保持体を回転さ
   せることを特徴とする研削研磨方法。
2. 【請求項２】 研削研磨加工の後、前記ワークを砥石か
   ら離間させる際に、ワークを回転させながら行うことを
   特徴とする請求項１記載の研削研磨方法。
3. 【請求項３】 砥石と、光学素子あるいは型材からなる
   ワークに砥石を当接させながら砥石を回転させる砥石回
   転手段と、砥石とワークとを相対的に揺動させる揺動手
   段と、駆動源からの回転力をワークに伝達させる回転力
   伝達手段と、を有する研削研磨装置において、 前記ワークを保持するワ一ク保持体と、 ワーク保持体の回転中心軸を中心とする円周上に配設さ
   れた第１の磁石と、 前記駆動源に連結されると共に前記ワ一ク保持体の回転
   中心軸を支持する支持軸と、 前記第１の磁石に非接触で対向するように前記支持軸上
   に配設された第２の磁石と、を具備したことを特徴とす
   る研削研磨装置。
4. 【請求項４】 砥石と、光学素子あるいは型材からなる
   ワークに砥石を当接させながら砥石を回転させる砥石回
   転手段と、砥石とワークとを相対的に揺動させる揺動手
   段と、駆動源からの回転力をワークに伝達させる回転力
   伝達手段と、を有する研削研磨装置において、 前記ワ一クを保持するワーク保持体と、 ワーク保持体の上面で且つワーク保持体の回転中心軸を
   中心とする円周上に配設された第１の磁石と、 前記駆動源に連結されると共に前記ワーク保持体の回転
   中心軸を支持する支持軸と、 支持軸に固定された磁石保持部材と、 前記第１の磁石に非接触で対向するように磁石保持部材
   に配設された第２の磁石と、を具備したことを特徴とす
   る研削研磨装置。
5. 【請求項５】 砥石と、光学素子あるいは型材からなる
   ワークに砥石を当接させながら砥石を回転させる砥石回
   転手段と、砥石とワークとを相対的に揺動させる揺動手
   段と、駆動源からの回転力をワークに伝達させる回転力
   伝達手段と、を有する研削研磨装置において、 前記ワ一クを保持するワーク保持体と、 ワ一ク保持体の外周面に配設された第１の磁石と、 前記駆動源に連結されると共に前記ワ一ク保持体の回転
   中心軸を、先端に設けた球形部で支持する支持軸と、 支持軸に固定された磁石保持部材と、 前記第１の磁石に非接触で対向するよう磁石保持部材に
   配設された第２の磁石と、を具備し、 前記第１の磁石および第２の磁石は、それぞれ前記支持
   軸の先端の球形部を中心とした球面上に配設されている
   ことを特徴とする研削研磨装置。
6. 【請求項６】 前記支持軸の内部に設けた中空部と、 前記ワーク保持体に固定され、その先端が前記磁石保持
   部材に接触した密閉部材と、 前記ワ一ク保持体に設けた貫通孔と、を有し、 前記支持軸、磁石保持部材、密閉部材、ワーク保持体お
   よびワークによって密閉空間を形成したことを特徴とす
   る請求項５記載の研削研磨装置。
7. 【請求項７】 砥石と、光学素子あるいは型材からなる
   ワークに砥石を当接させながら砥石を回転させる砥石回
   転手段と、砥石とワークとを相対的に揺動させる揺動手
   段と、駆動源からの回転力をワークに伝達させる回転力
   伝達手段と、を有する研削研磨装置において、 前記ワ一クが貼り付けられる貼付皿と、 貼付皿の開口部に挿入された略カップ形状のワーク保持
   体と、 ワーク保持体の外周面に配設された第１の磁石と、 前記駆動源に連結されると共にワーク保持体の回転中心
   軸を、先端に設けた球形部で支持する支持軸と、 前記支持軸に国定された磁石保持部材と、 前記第１の磁石に非接触で対向するように磁石保持部材
   に配設された第２の磁石と、を具備し、 前記第１の磁石および第２の磁石は、それぞれ前記支持
   軸の先端の球形部を中心とした球面上に配設されている
   ことを特徴とする研削研磨装置。
8. 【請求項８】 砥石と、光学素子あるいは型材からなる
   ワークに砥石を当接させながら砥石を回転させる砥石回
   転手段と、砥石とワークとを相対的に揺動させる揺動手
   段と、駆動源からの回転力をワークに伝達させる回転力
   伝達手段と、を有する研削研磨装置において、 前記ワ一クが貼り付けられる貼付皿と、 貼付皿の開口部に挿入された略カップ形状のワーク保持
   体と、 ワーク保持体の内周面に配設された第１の磁石と、 前記駆動源に連結されると共に、前記ワーク保持体の回
   転中心軸を支持する支持軸と、 前記第１の磁石に非接触で対向するように前記支持軸の
   外周面に配設された第２の磁石と、を具備したことを特
   徴とする研削研磨装置。
9. 【請求項９】 前記第１の磁石および前記第２の磁石の
   対向するそれぞれの磁極が同極または異極となるように
   配設されていることを特徴とする請求項３〜８のいずれ
   かに記載の研削研磨装置。