JP2002165467A - マルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ - Google Patents
マルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータInfo
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- G11B9/1418—Disposition or mounting of heads or record carriers
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- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/872—Positioner
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- Micromachines (AREA)
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- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マルチフォールデッドスプリングを用いたシ
ングルステージマイクロアクチュエータを提供する。 【解決手段】 基板１１と、固定板電極１４と、長方形
のステージ４１と、複数の駆動フレーム３３ａとを具備
する複数の駆動フレーム部３３と、複数のスプリング部
材とスプリング支持部材とを具備する第１スプリング部
３１と、複数の固定フレーム２１を備える固定フレーム
部と、櫛形駆動電極２２と、櫛形固定電極３２と、第２
スプリング部３５とを具備する。駆動部に１つの電極の
みを使用して多軸駆動を行うように構成することによ
り、製造時の絶縁工程が不要となって製造工程が単純化
され、しかもマルチフォールデッドスプリング構造によ
って相異なる方向のカップリング運動が排除される。
ングルステージマイクロアクチュエータを提供する。 【解決手段】 基板１１と、固定板電極１４と、長方形
のステージ４１と、複数の駆動フレーム３３ａとを具備
する複数の駆動フレーム部３３と、複数のスプリング部
材とスプリング支持部材とを具備する第１スプリング部
３１と、複数の固定フレーム２１を備える固定フレーム
部と、櫛形駆動電極２２と、櫛形固定電極３２と、第２
スプリング部３５とを具備する。駆動部に１つの電極の
みを使用して多軸駆動を行うように構成することによ
り、製造時の絶縁工程が不要となって製造工程が単純化
され、しかもマルチフォールデッドスプリング構造によ
って相異なる方向のカップリング運動が排除される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マルチフォールデ
ッドスプリングを有する多軸駆動のためのシングルステ
ージマイクロアクチュエータに係り、特に、ＳＰＭ（Ｓ
ｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走
査型プローブ顕微鏡）の技術を応用したデータ記憶シス
テムに用いられるＸ−Ｙステージマイクロアクチュエー
タに関する。
ッドスプリングを有する多軸駆動のためのシングルステ
ージマイクロアクチュエータに係り、特に、ＳＰＭ（Ｓ
ｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走
査型プローブ顕微鏡）の技術を応用したデータ記憶シス
テムに用いられるＸ−Ｙステージマイクロアクチュエー
タに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＳＰＭ技術を応用したデータ記憶
システムは一般に、記憶媒体、この記憶媒体をステージ
上に装着してＸ−Ｙ軸の面内方向で駆動自在に構成され
るアクチュエータ、前記記憶媒体に情報を書込んだり、
記憶媒体に書込まれた情報の読出しを実行したりするた
めの探針（ｔｉｐ）を少なくとも１つ備えるプローブ、
そしてこのような情報の書込みまたは読出しに用いられ
る情報信号を処理する信号処理部よりなる。
システムは一般に、記憶媒体、この記憶媒体をステージ
上に装着してＸ−Ｙ軸の面内方向で駆動自在に構成され
るアクチュエータ、前記記憶媒体に情報を書込んだり、
記憶媒体に書込まれた情報の読出しを実行したりするた
めの探針（ｔｉｐ）を少なくとも１つ備えるプローブ、
そしてこのような情報の書込みまたは読出しに用いられ
る情報信号を処理する信号処理部よりなる。
【０００３】多重プローブは、同時に１つ以上の情報を
前記記憶媒体に書込んだり、読出したりすることができ
るものである。このため、前記各プローブに備えられる
探針は、記憶媒体に所要の距離で近接させる必要があ
る。したがって、前記多重プローブは、アクチュエー
タ、及びセンサによって精密に制御して操作されること
を必要とする。その際、前記アクチュエータは、多重プ
ローブの探針部を記憶媒体に所要の距離で近接させるよ
うに、多重プローブを精密に駆動させる役割を果たす。
また、前記センサは、記憶媒体上に書込まれた情報に応
じて、前記多重プローブの駆動を感知することにより記
憶媒体から情報の読出しを実行する。
前記記憶媒体に書込んだり、読出したりすることができ
るものである。このため、前記各プローブに備えられる
探針は、記憶媒体に所要の距離で近接させる必要があ
る。したがって、前記多重プローブは、アクチュエー
タ、及びセンサによって精密に制御して操作されること
を必要とする。その際、前記アクチュエータは、多重プ
ローブの探針部を記憶媒体に所要の距離で近接させるよ
うに、多重プローブを精密に駆動させる役割を果たす。
また、前記センサは、記憶媒体上に書込まれた情報に応
じて、前記多重プローブの駆動を感知することにより記
憶媒体から情報の読出しを実行する。
【０００４】前記アクチュエータにおいて、Ｘ軸または
Ｙ軸方向等の２軸以上での駆動を実行するには、１軸で
一方向のみの駆動を実行する場合、駆動部に少なくとも
３つの電極が必要である。また、１軸で双方向の駆動を
実行する場合には、駆動部に少なくとも５つの電極が必
要である。例えば、米国特許５，５３６，９８８号明細
書には、このような複数の電極を備えて多軸駆動を可能
としたアクチュエータを、半導体装置において選択領域
に熱酸化膜を形成させる技術を用いて作製された絶縁体
により、単一のシリコン構造物として構成する技術が開
示されている。このような方法は、多軸駆動を実行する
際に生じる電極に関する問題を解決するものであるが、
製造工程が比較的複雑になるという問題がある。
Ｙ軸方向等の２軸以上での駆動を実行するには、１軸で
一方向のみの駆動を実行する場合、駆動部に少なくとも
３つの電極が必要である。また、１軸で双方向の駆動を
実行する場合には、駆動部に少なくとも５つの電極が必
要である。例えば、米国特許５，５３６，９８８号明細
書には、このような複数の電極を備えて多軸駆動を可能
としたアクチュエータを、半導体装置において選択領域
に熱酸化膜を形成させる技術を用いて作製された絶縁体
により、単一のシリコン構造物として構成する技術が開
示されている。このような方法は、多軸駆動を実行する
際に生じる電極に関する問題を解決するものであるが、
製造工程が比較的複雑になるという問題がある。
【０００５】一方、国際学会であるＭＥＭＳ９２（主催
者：ｔｈｅ ＩＥＥＥ Ｒｏｂｏｔｉｃｓ ａｎｄ Ａ
ｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｉｎ Ｃｏｏｐ
ｅｒａｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ｔｈｅ Ｍｉｃｒｏｍａｃ
ｈｉｎｅ Ｃｅｎｔｅｒ）でＰ．Ｆ．Ｉｎｄｅｒｍｕｅ
ｈｌｅ等は、アクチュエータにおける駆動部の２軸駆動
を実行するにあたって、電極を１つのみ使用するアクチ
ュエータの製造方法を発表した。この製造方法によれ
ば、アクチュエータの形成に前記のような絶縁体を形成
する工程が不要となるのでアクチュエータの製造工程が
比較的簡単となる。しかしながら、この方法では、駆動
部に１つの電極のみを使用するため、構造上、２軸駆動
でカップリングの問題が発生する。
者：ｔｈｅ ＩＥＥＥ Ｒｏｂｏｔｉｃｓ ａｎｄ Ａ
ｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｉｎ Ｃｏｏｐ
ｅｒａｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ｔｈｅ Ｍｉｃｒｏｍａｃ
ｈｉｎｅ Ｃｅｎｔｅｒ）でＰ．Ｆ．Ｉｎｄｅｒｍｕｅ
ｈｌｅ等は、アクチュエータにおける駆動部の２軸駆動
を実行するにあたって、電極を１つのみ使用するアクチ
ュエータの製造方法を発表した。この製造方法によれ
ば、アクチュエータの形成に前記のような絶縁体を形成
する工程が不要となるのでアクチュエータの製造工程が
比較的簡単となる。しかしながら、この方法では、駆動
部に１つの電極のみを使用するため、構造上、２軸駆動
でカップリングの問題が発生する。
【０００６】さらに、このようなアクチュエータでは、
記憶装置のための大面積ステージを備えたアクチュエー
タに直ちに適用するに際し、その構造が構造的に不安定
な要素を内包していること（すなわち、駆動面の垂直方
向を回転軸として回転運動が発生し易い）、そしてマイ
クロアクチュエータ全体の大きさに対してステージで実
際に使用される領域の割合が小さく非効率的であること
（ステージとアクチュエータとの間のスプリングの長さ
による空間損失）といった問題を有している。
記憶装置のための大面積ステージを備えたアクチュエー
タに直ちに適用するに際し、その構造が構造的に不安定
な要素を内包していること（すなわち、駆動面の垂直方
向を回転軸として回転運動が発生し易い）、そしてマイ
クロアクチュエータ全体の大きさに対してステージで実
際に使用される領域の割合が小さく非効率的であること
（ステージとアクチュエータとの間のスプリングの長さ
による空間損失）といった問題を有している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記問題点を解決する
ために、本発明の第１の目的は、駆動部に１つの電極の
みを使用して多軸方向の駆動が実行されるようにして、
製造時の絶縁工程を不要とし、製造工程の単純化を図っ
たマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シ
ングルステージマイクロアクチュエータを提供すること
にある。
ために、本発明の第１の目的は、駆動部に１つの電極の
みを使用して多軸方向の駆動が実行されるようにして、
製造時の絶縁工程を不要とし、製造工程の単純化を図っ
たマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シ
ングルステージマイクロアクチュエータを提供すること
にある。
【０００８】本発明の第２の目的は、ステージのＸ−Ｙ
軸の面内方向での駆動のカップリングが効率的に抑制さ
れ得るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆
動シングルステージマイクロアクチュエータを提供する
ことにある。
軸の面内方向での駆動のカップリングが効率的に抑制さ
れ得るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆
動シングルステージマイクロアクチュエータを提供する
ことにある。
【０００９】本発明の第３の目的は、ステージのＸ−Ｙ
軸の面内方向で実行される駆動以外の駆動の発生が効率
的に抑制され得るマルチフォールデッドスプリングを用
いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータ
を提供することにある。
軸の面内方向で実行される駆動以外の駆動の発生が効率
的に抑制され得るマルチフォールデッドスプリングを用
いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータ
を提供することにある。
【００１０】本発明の第４の目的は、構造物を効率的に
配置させることによって、ステージを拡大した場合に
も、高密度な記憶装置が具現化されるマルチフォールデ
ッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイ
クロアクチュエータを提供することにある。
配置させることによって、ステージを拡大した場合に
も、高密度な記憶装置が具現化されるマルチフォールデ
ッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイ
クロアクチュエータを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の第１の目的を達成するために、本発明は、基
板と、前記基板の中央部に形成された固定板電極と、前
記固定板電極の上方に配置され、互いに直交した第１の
側部と第２の側部とを有する長方形ステージと、前記長
方形ステージの第１の側部と第２の側部の近傍部に備え
られ、各々互いに平行、かつ長方形ステージの側部と直
交する方向に配列された複数の駆動フレームを備える複
数の駆動フレーム部と、前記長方形ステージの第１の側
部、第２の側部、およびこれらに対応する各駆動フレー
ム部にそれぞれ連結され、前記長方形ステージの第１の
側部と第２の側部に平行に延びる複数のスプリング部材
と、これらのスプリング部材を支持するためのスプリン
グ支持部材とを備える第１スプリング部と、前記長方形
ステージの第１の側部と第２の側部にそれぞれ配列され
ると共に、前記駆動フレーム部の駆動フレームに交互に
並んで配列された複数の平行固定フレームを備える固定
フレーム部と、前記各駆動フレーム部の駆動フレームか
ら、前記長方形ステージの第１の側部または第２の側部
に、互いに平行に延びる方向に配置された櫛形駆動電極
と、前記櫛形駆動電極と組み合わされ、前記固定フレー
ム部の各固定フレームから互いに平行に延びる方向に配
置された櫛形固定電極と、前記基板における駆動フレー
ム部を支持すると共に、弾性バイアスにより櫛形駆動電
極の延びる方向で駆動フレーム部を動作させ、駆動フレ
ーム部の駆動フレームに平行に延びる複数のスプリング
部材と、これらのスプリング部材を支持するための複数
のスプリング支持部材とを備える第２スプリング部とを
具備することを特徴とするマルチフォールデッドスプリ
ングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイク
ロアクチュエータを提供する（請求項１）。
の本発明の第１の目的を達成するために、本発明は、基
板と、前記基板の中央部に形成された固定板電極と、前
記固定板電極の上方に配置され、互いに直交した第１の
側部と第２の側部とを有する長方形ステージと、前記長
方形ステージの第１の側部と第２の側部の近傍部に備え
られ、各々互いに平行、かつ長方形ステージの側部と直
交する方向に配列された複数の駆動フレームを備える複
数の駆動フレーム部と、前記長方形ステージの第１の側
部、第２の側部、およびこれらに対応する各駆動フレー
ム部にそれぞれ連結され、前記長方形ステージの第１の
側部と第２の側部に平行に延びる複数のスプリング部材
と、これらのスプリング部材を支持するためのスプリン
グ支持部材とを備える第１スプリング部と、前記長方形
ステージの第１の側部と第２の側部にそれぞれ配列され
ると共に、前記駆動フレーム部の駆動フレームに交互に
並んで配列された複数の平行固定フレームを備える固定
フレーム部と、前記各駆動フレーム部の駆動フレームか
ら、前記長方形ステージの第１の側部または第２の側部
に、互いに平行に延びる方向に配置された櫛形駆動電極
と、前記櫛形駆動電極と組み合わされ、前記固定フレー
ム部の各固定フレームから互いに平行に延びる方向に配
置された櫛形固定電極と、前記基板における駆動フレー
ム部を支持すると共に、弾性バイアスにより櫛形駆動電
極の延びる方向で駆動フレーム部を動作させ、駆動フレ
ーム部の駆動フレームに平行に延びる複数のスプリング
部材と、これらのスプリング部材を支持するための複数
のスプリング支持部材とを備える第２スプリング部とを
具備することを特徴とするマルチフォールデッドスプリ
ングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイク
ロアクチュエータを提供する（請求項１）。
【００１２】前記の本発明に係るマルチフォールデッド
スプリングを用いた多軸駆動のためのマイクロアクチュ
エータにおいて、前記各駆動フレーム部の駆動フレーム
は、補助駆動フレームによって直角に連結され、格子状
長方形に形成されてもよい（請求項２）。また、前記各
固定フレーム部の固定フレームは、各々前記基板に固定
され、各固定フレーム部を分離して電気的に結合されて
構成されることが望ましい（請求項３）。
スプリングを用いた多軸駆動のためのマイクロアクチュ
エータにおいて、前記各駆動フレーム部の駆動フレーム
は、補助駆動フレームによって直角に連結され、格子状
長方形に形成されてもよい（請求項２）。また、前記各
固定フレーム部の固定フレームは、各々前記基板に固定
され、各固定フレーム部を分離して電気的に結合されて
構成されることが望ましい（請求項３）。
【００１３】さらにまた、前記の本発明に係るマルチフ
ォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイ
クロアクチュエータにおいて、前記固定フレーム部の各
固定フレームは、前記駆動フレームと補助駆動フレーム
とによって形成された１つの単位フレームに配置され、
前記固定フレームは、各固定フレーム部に電気的に結合
されてもよい（請求項４）。そして、前記第１スプリン
グ部及び第２スプリング部のスプリング支持部材の端部
は、スプリング連結エレメントによって形成され、前記
各スプリング支持部材は、互いに連結するように隣接し
たスプリング支持部材の間に配置される共に、前記スプ
リング部材より短い長さを有し、前記第２スプリング部
の一側は、基板に固定されたスプリング支持体に連結さ
れて構成されることが望ましい（請求項５）。
ォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイ
クロアクチュエータにおいて、前記固定フレーム部の各
固定フレームは、前記駆動フレームと補助駆動フレーム
とによって形成された１つの単位フレームに配置され、
前記固定フレームは、各固定フレーム部に電気的に結合
されてもよい（請求項４）。そして、前記第１スプリン
グ部及び第２スプリング部のスプリング支持部材の端部
は、スプリング連結エレメントによって形成され、前記
各スプリング支持部材は、互いに連結するように隣接し
たスプリング支持部材の間に配置される共に、前記スプ
リング部材より短い長さを有し、前記第２スプリング部
の一側は、基板に固定されたスプリング支持体に連結さ
れて構成されることが望ましい（請求項５）。
【００１４】そしてまた、前記の本発明に係るマルチフ
ォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイ
クロアクチュエータにおいて、前記第１スプリング部と
第２スプリング部のスプリング支持部材は、スプリング
部材に対して所定角度でジグザグパターンに配列された
複数の連結板を備え、隣接したスプリング部材を連結す
ることが望ましい（請求項６）。
ォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイ
クロアクチュエータにおいて、前記第１スプリング部と
第２スプリング部のスプリング支持部材は、スプリング
部材に対して所定角度でジグザグパターンに配列された
複数の連結板を備え、隣接したスプリング部材を連結す
ることが望ましい（請求項６）。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態に
ついて、添付した図面に基づき詳細に説明する。図１
は、本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用
いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチ
ュエータの一実施形態を模式的に示す平面図である。図
１を参照すると、本発明に係る一実施形態のマルチフォ
ールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシング
ルステージマイクロアクチュエータは、基板１１の上面
中央に記憶媒体（図示省略）が装着され、互いに直交す
る第１の側部及び第２の側部を有する長方形のステージ
４１が配置されて構成される。
ついて、添付した図面に基づき詳細に説明する。図１
は、本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用
いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチ
ュエータの一実施形態を模式的に示す平面図である。図
１を参照すると、本発明に係る一実施形態のマルチフォ
ールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシング
ルステージマイクロアクチュエータは、基板１１の上面
中央に記憶媒体（図示省略）が装着され、互いに直交す
る第１の側部及び第２の側部を有する長方形のステージ
４１が配置されて構成される。
【００１６】ステージ４１の周囲には、第１の側部と第
２の側部に隣接し、各々の近傍部に隣接したステージの
各辺と直交する方向に配列された複数の駆動フレーム３
３ａ、及びこれらを互いに連結する補助駆動フレーム３
３ｂを具備する格子状長方形の駆動フレーム部３３が配
置される。
２の側部に隣接し、各々の近傍部に隣接したステージの
各辺と直交する方向に配列された複数の駆動フレーム３
３ａ、及びこれらを互いに連結する補助駆動フレーム３
３ｂを具備する格子状長方形の駆動フレーム部３３が配
置される。
【００１７】図２は、本発明に係るマルチフォールデッ
ドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステー
ジマイクロアクチュエータに適用される櫛形駆動電極と
櫛形固定電極の構造を模式的に示す主要部の抜粋斜視図
である。図２に示されるように、前記各駆動フレーム３
３ａには、前記ステージ４１の各辺に平行に延びる複数
の櫛形駆動電極２２が平行に延びて形成される。そし
て、後述する固定フレーム２１には、対応する駆動フレ
ーム３３ａの櫛形駆動電極２２と交互に並んで配置され
た櫛形固定電極３２が形成される。また、図１に示され
るように、前記ステージ４１と前記駆動フレーム部３３
との間には第１スプリング部３１が配置される。
ドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステー
ジマイクロアクチュエータに適用される櫛形駆動電極と
櫛形固定電極の構造を模式的に示す主要部の抜粋斜視図
である。図２に示されるように、前記各駆動フレーム３
３ａには、前記ステージ４１の各辺に平行に延びる複数
の櫛形駆動電極２２が平行に延びて形成される。そし
て、後述する固定フレーム２１には、対応する駆動フレ
ーム３３ａの櫛形駆動電極２２と交互に並んで配置され
た櫛形固定電極３２が形成される。また、図１に示され
るように、前記ステージ４１と前記駆動フレーム部３３
との間には第１スプリング部３１が配置される。
【００１８】前記第１スプリング部３１は、図３に示さ
れるように、ステージ４１の対応する辺に平行に延びて
おり、互いに並んで配置された複数の長方形スプリング
部材３１ａと、これらの間に配置されたスプリング部材
３１ａよりも短いスプリング支持部材３１ｂとを具備す
る。前記スプリング部材３１ｂは、ジグザグパターンに
所定角度だけ傾けて連結された連結板３６より構成され
ており、質量が比較的小さく、かつスプリング部材３１
ａを支持するための充分な剛性を有するものである。
れるように、ステージ４１の対応する辺に平行に延びて
おり、互いに並んで配置された複数の長方形スプリング
部材３１ａと、これらの間に配置されたスプリング部材
３１ａよりも短いスプリング支持部材３１ｂとを具備す
る。前記スプリング部材３１ｂは、ジグザグパターンに
所定角度だけ傾けて連結された連結板３６より構成され
ており、質量が比較的小さく、かつスプリング部材３１
ａを支持するための充分な剛性を有するものである。
【００１９】長方形のスプリング部材３１ａは、長方形
の２つの長辺のうち、スプリング支持部材３１ｂが連結
された区間を除いて弾性バイアスが発生する部分のビー
ムスプリングエレメント３７と、長方形の２つの短辺に
配置されてビームスプリングエレメント３７の端部を連
結し、かつ支持し得る充分な剛性を有するビームスプリ
ング連結エレメント３８よりなる。第１スプリング部３
１では、所望の変形方向の剛性と、その変形方向の垂直
方向の剛性とが相対的に大きくなるように、ビームスプ
リングエレメント３７の長さとスプリング部材３１ａの
個数とが決定される。後述する第２スプリング部３５
も、このような第１スプリング部３１の構造と同一な構
造を有する。
の２つの長辺のうち、スプリング支持部材３１ｂが連結
された区間を除いて弾性バイアスが発生する部分のビー
ムスプリングエレメント３７と、長方形の２つの短辺に
配置されてビームスプリングエレメント３７の端部を連
結し、かつ支持し得る充分な剛性を有するビームスプリ
ング連結エレメント３８よりなる。第１スプリング部３
１では、所望の変形方向の剛性と、その変形方向の垂直
方向の剛性とが相対的に大きくなるように、ビームスプ
リングエレメント３７の長さとスプリング部材３１ａの
個数とが決定される。後述する第２スプリング部３５
も、このような第１スプリング部３１の構造と同一な構
造を有する。
【００２０】図４は、第２スプリング部３５と駆動メイ
ンフレーム部３３に含まれる駆動メインフレーム３３ａ
との位置関係を示す図であって、図１のＡ−Ａ線断面図
である。駆動フレーム部３３の内側には固定フレーム部
を構成する固定フレーム２１が配置されている。各固定
フレーム２１は各駆動フレーム３３ａと交互に並んで配
置されている。したがって、固定フレーム２１は格子体
をなす駆動フレーム部３３で四角領域の内側に１つずつ
備えられる（図２参照）。そして、ステージ４１の各辺
に対応する領域単位に固定フレーム２１は、配線電極１
７により電気的に接続されて基板１１の各コーナ部に備
えられた固定フレーム電極パッド１３に接続されてい
る。駆動フレーム部３３も第２スプリング部３５と支持
体１２上に形成された駆動フレーム電極パッド１８を通
じて外部の回路（図示省略）と電気的に接続されてい
る。
ンフレーム部３３に含まれる駆動メインフレーム３３ａ
との位置関係を示す図であって、図１のＡ−Ａ線断面図
である。駆動フレーム部３３の内側には固定フレーム部
を構成する固定フレーム２１が配置されている。各固定
フレーム２１は各駆動フレーム３３ａと交互に並んで配
置されている。したがって、固定フレーム２１は格子体
をなす駆動フレーム部３３で四角領域の内側に１つずつ
備えられる（図２参照）。そして、ステージ４１の各辺
に対応する領域単位に固定フレーム２１は、配線電極１
７により電気的に接続されて基板１１の各コーナ部に備
えられた固定フレーム電極パッド１３に接続されてい
る。駆動フレーム部３３も第２スプリング部３５と支持
体１２上に形成された駆動フレーム電極パッド１８を通
じて外部の回路（図示省略）と電気的に接続されてい
る。
【００２１】図５は、ステージ４１と第１スプリング部
３１及びこれに連結された駆動フレーム部３３との位置
関係を示す図であって、図１のＢ−Ｂ線断面図である。
ステージ４１の各近傍に備えられた駆動フレーム部３３
は、複数の第２スプリング部３５によって支持されてい
る。第２スプリング部３５（図４参照）は、駆動フレー
ム部３３を、各々基板１１に対して支持すると共に、弾
性バイアスにより櫛形駆動電極２２の延長方向に駆動フ
レーム部３３を動作させるものであり、各駆動フレーム
部３３の駆動フレーム３３ａと平行に延びる複数のスプ
リング部材３１ａと、これらスプリング部材３１ａを支
持するスプリング支持部材３１ｂとを具備する。各第２
スプリング部３５は各々、その一側が駆動フレーム部３
３に連結され、その他側は基板１１に備えられたスプリ
ング支持体１２に連結されている。
３１及びこれに連結された駆動フレーム部３３との位置
関係を示す図であって、図１のＢ−Ｂ線断面図である。
ステージ４１の各近傍に備えられた駆動フレーム部３３
は、複数の第２スプリング部３５によって支持されてい
る。第２スプリング部３５（図４参照）は、駆動フレー
ム部３３を、各々基板１１に対して支持すると共に、弾
性バイアスにより櫛形駆動電極２２の延長方向に駆動フ
レーム部３３を動作させるものであり、各駆動フレーム
部３３の駆動フレーム３３ａと平行に延びる複数のスプ
リング部材３１ａと、これらスプリング部材３１ａを支
持するスプリング支持部材３１ｂとを具備する。各第２
スプリング部３５は各々、その一側が駆動フレーム部３
３に連結され、その他側は基板１１に備えられたスプリ
ング支持体１２に連結されている。
【００２２】一方、固定板電極１４は、基板１１の上に
設けられたステージ４１の下方に配置され、配線電極１
５によって基板１１の１つのコーナ部に備えられた固定
板電極パッド１６に接続されている。
設けられたステージ４１の下方に配置され、配線電極１
５によって基板１１の１つのコーナ部に備えられた固定
板電極パッド１６に接続されている。
【００２３】図６は、本発明に係るマルチフォールデッ
ドスプリングを有する多軸駆動シングルステージマイク
ロアクチュエータの駆動を実行するために適用される、
所定の電圧を印加するため電源の配列を示す図面であ
る。本発明にあっては、ステージ４１をＸ−Ｙ軸の面内
方向で移動自在とするために、櫛形駆動電極２２と櫛形
固定電極３２との間の電位差による静電気力を用いる。
すなわち、本発明で用いる静電気力は、各軸に沿った駆
動方向に発生され、ステージ４１を中心として、右方向
をＸ軸の正方向、左方向をＸ軸の負方向、上方をＹ軸の
正方向、下方をＹ軸の負方向として、これら４つの方向
に作用するものである。
ドスプリングを有する多軸駆動シングルステージマイク
ロアクチュエータの駆動を実行するために適用される、
所定の電圧を印加するため電源の配列を示す図面であ
る。本発明にあっては、ステージ４１をＸ−Ｙ軸の面内
方向で移動自在とするために、櫛形駆動電極２２と櫛形
固定電極３２との間の電位差による静電気力を用いる。
すなわち、本発明で用いる静電気力は、各軸に沿った駆
動方向に発生され、ステージ４１を中心として、右方向
をＸ軸の正方向、左方向をＸ軸の負方向、上方をＹ軸の
正方向、下方をＹ軸の負方向として、これら４つの方向
に作用するものである。
【００２４】図６に示されるように、本発明で用いられ
る静電気力の大きさは、各軸に沿った方向によって独立
して形成された固定フレーム２１（図１）の櫛形固定電
極３２（図１）と、駆動フレーム電極２２（図１）との
間に、電源７３、７４、７５、７６によって印加される
電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄによって決定される。すな
わち、電源７３、７４、７５、７６によって印加される
電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄを適宜調節することによ
り、静電気力の大きさが制御され、このようにしてステ
ージ４１の移動量を適切に調節することができる。
る静電気力の大きさは、各軸に沿った方向によって独立
して形成された固定フレーム２１（図１）の櫛形固定電
極３２（図１）と、駆動フレーム電極２２（図１）との
間に、電源７３、７４、７５、７６によって印加される
電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄによって決定される。すな
わち、電源７３、７４、７５、７６によって印加される
電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄを適宜調節することによ
り、静電気力の大きさが制御され、このようにしてステ
ージ４１の移動量を適切に調節することができる。
【００２５】なお、ステージ４１が重力、及びその他の
外部荷重によって、駆動面に垂直な方向に動くこともあ
り得るが、このような動きを防止するためには、固定板
電極１４とステージ４１との間に、電源７７を備えて、
この電源７７から所要の電圧Ｖｅを印加することによ
り、固定板電極１４とステージ４１との間に予め所定の
引力を作用させるように構成するのが有効である。
外部荷重によって、駆動面に垂直な方向に動くこともあ
り得るが、このような動きを防止するためには、固定板
電極１４とステージ４１との間に、電源７７を備えて、
この電源７７から所要の電圧Ｖｅを印加することによ
り、固定板電極１４とステージ４１との間に予め所定の
引力を作用させるように構成するのが有効である。
【００２６】また、図１に示される駆動フレーム部３３
が、１つの電極のみを有するシングルステージを駆動す
る原理を、図７に示す単純化したモデルを用いて説明す
る。図７に示されるシングルステージ４１をＸ軸の正方
向に駆動させる場合、櫛形固定電極２２ｘと２２ｘ’と
の間の電位差を低下させる、さらに、ステージ４１に対
してＹ軸方向の線上に配列された駆動フレーム３３ｘ
（図７）、３３ｘ’（図７）と噛み合うように形成され
ている櫛形駆動電極３２ｘ（図７）と３２ｘ’（図７）
との間の電位差を低下させることにより、図８に示すよ
うな静電気力６１が生起される。このようにして生起さ
れた静電気力６１によって、ステージ４１がＸ軸の正方
向に移動するようになる（５１）。その際、駆動フレー
ム部３３ｘ、３３ｘ’に連結された第２スプリング部３
５ｘ、３５ｘ’が、駆動方向に伸縮することによって駆
動フレーム部３３ｘ、３３ｘ’が駆動方向に動作可能に
構成される（図７参照）。
が、１つの電極のみを有するシングルステージを駆動す
る原理を、図７に示す単純化したモデルを用いて説明す
る。図７に示されるシングルステージ４１をＸ軸の正方
向に駆動させる場合、櫛形固定電極２２ｘと２２ｘ’と
の間の電位差を低下させる、さらに、ステージ４１に対
してＹ軸方向の線上に配列された駆動フレーム３３ｘ
（図７）、３３ｘ’（図７）と噛み合うように形成され
ている櫛形駆動電極３２ｘ（図７）と３２ｘ’（図７）
との間の電位差を低下させることにより、図８に示すよ
うな静電気力６１が生起される。このようにして生起さ
れた静電気力６１によって、ステージ４１がＸ軸の正方
向に移動するようになる（５１）。その際、駆動フレー
ム部３３ｘ、３３ｘ’に連結された第２スプリング部３
５ｘ、３５ｘ’が、駆動方向に伸縮することによって駆
動フレーム部３３ｘ、３３ｘ’が駆動方向に動作可能に
構成される（図７参照）。
【００２７】また、図７に示される駆動フレーム部３３
ｘ、３３ｘ’に連結されている第１スプリング部３１
ｘ、３１ｘ’は、スプリングが変形することなく、駆動
フレーム部３３ｘ、３３ｘ’に沿ってＸ軸の正方向に動
きながら、他の一方に連結されているステージ１１を駆
動方向、すなわちＸ軸の正方向に移動させる。
ｘ、３３ｘ’に連結されている第１スプリング部３１
ｘ、３１ｘ’は、スプリングが変形することなく、駆動
フレーム部３３ｘ、３３ｘ’に沿ってＸ軸の正方向に動
きながら、他の一方に連結されているステージ１１を駆
動方向、すなわちＸ軸の正方向に移動させる。
【００２８】その際、ステージ４１と、Ｙ軸方向に駆動
するときに動作する駆動フレーム部３３ｙ及び３３ｙ’
との間に連結された第１スプリング部３１ｙ、３２ｙ’
は、駆動フレーム部３３ｙ、３３ｙ’に支持され、ステ
ージ４１はＸ軸方向に伸縮するようになる。一方、ステ
ージ４１がＹ軸方向に駆動する場合には、駆動フレーム
部３３ｙ、３３ｙ’がＸ軸方向に駆動するときと同じ原
理によって駆動される。２軸駆動を実行するために、図
８、図９に各々示すような静電気力６１（Ｘ軸の正方
向）、静電気力６２（Ｙ軸の負方向）が作用した場合の
ステージ４１の変位の状態５２は、図８と図９に破線と
実線とで示されるステージ４１の変位と同一である（Ｘ
軸の正方向（図８に示される実線で示されるステージ４
１）、Ｙ軸の負方向（図９に示される実線で示されるス
テージ４１））。
するときに動作する駆動フレーム部３３ｙ及び３３ｙ’
との間に連結された第１スプリング部３１ｙ、３２ｙ’
は、駆動フレーム部３３ｙ、３３ｙ’に支持され、ステ
ージ４１はＸ軸方向に伸縮するようになる。一方、ステ
ージ４１がＹ軸方向に駆動する場合には、駆動フレーム
部３３ｙ、３３ｙ’がＸ軸方向に駆動するときと同じ原
理によって駆動される。２軸駆動を実行するために、図
８、図９に各々示すような静電気力６１（Ｘ軸の正方
向）、静電気力６２（Ｙ軸の負方向）が作用した場合の
ステージ４１の変位の状態５２は、図８と図９に破線と
実線とで示されるステージ４１の変位と同一である（Ｘ
軸の正方向（図８に示される実線で示されるステージ４
１）、Ｙ軸の負方向（図９に示される実線で示されるス
テージ４１））。
【００２９】このような本発明に係るマルチフォールデ
ッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイ
クロアクチュエータの動作機構は、Ｘ−Ｙ軸方向で生じ
る駆動が、互いに重畳された結果として発生すると見な
すことができる。すなわち、第１スプリング部３１ｘ、
３１ｘ’、３１ｙ、３１ｙ’は、それぞれの駆動方向に
対して駆動フレーム３３ｘ、３３ｘ’、３３ｙ、３３
ｙ’が駆動するとき、ステージ４１を前記駆動フレーム
部の駆動方向に移動させる役割を果たすと同時に、ステ
ージ４１が前記駆動フレームの駆動方向と直交した方向
に移動する場合は、ステージ４１を移動可能に変形させ
る役割を同時に果たす。その際、スプリングの構造は、
マルチフォールデッド状となって、カップリングの影響
は充分に抑えられる。
ッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイ
クロアクチュエータの動作機構は、Ｘ−Ｙ軸方向で生じ
る駆動が、互いに重畳された結果として発生すると見な
すことができる。すなわち、第１スプリング部３１ｘ、
３１ｘ’、３１ｙ、３１ｙ’は、それぞれの駆動方向に
対して駆動フレーム３３ｘ、３３ｘ’、３３ｙ、３３
ｙ’が駆動するとき、ステージ４１を前記駆動フレーム
部の駆動方向に移動させる役割を果たすと同時に、ステ
ージ４１が前記駆動フレームの駆動方向と直交した方向
に移動する場合は、ステージ４１を移動可能に変形させ
る役割を同時に果たす。その際、スプリングの構造は、
マルチフォールデッド状となって、カップリングの影響
は充分に抑えられる。
【００３０】図１０は、マルチフォールデッドスプリン
グである第２スプリング部３５（図４参照）の変形前の
状態を示す。図１１及び図１２は、前記駆動フレーム部
が、駆動（８１、８２の矢印方向に駆動）される場合、
マルチフォールデッドスプリングである第２スプリング
部３５（図４参照）が実際に変形する様子を示す図であ
る。図１０は、第２スプリング部３５が伸びた状態を示
す図であり、図１１は、第２スプリング部３５が縮んだ
状態を示す図である。第１スプリング部３１において
も、このような第２スプリング部３５と同様の変形を呈
する。
グである第２スプリング部３５（図４参照）の変形前の
状態を示す。図１１及び図１２は、前記駆動フレーム部
が、駆動（８１、８２の矢印方向に駆動）される場合、
マルチフォールデッドスプリングである第２スプリング
部３５（図４参照）が実際に変形する様子を示す図であ
る。図１０は、第２スプリング部３５が伸びた状態を示
す図であり、図１１は、第２スプリング部３５が縮んだ
状態を示す図である。第１スプリング部３１において
も、このような第２スプリング部３５と同様の変形を呈
する。
【００３１】本発明に係るマイクロアクチュエータは記
憶装置に好適に使われるものであって、駆動部に１つの
電極を使用して多軸駆動を行い、絶縁工程が不要なので
製造工程を単純化することが可能となる。そして、一定
の大きさを有する記憶媒体のメディアを載置するステー
ジを装着してもＸ−Ｙ軸方向の面内運動以外の他の運動
が相対的に発生しにくいスプリング支持構造を有する。
２軸駆動時にスプリングによって発生するカップリング
現象は、マルチフォールデッドスプリング構造により生
じることなく、特に駆動装置の全面積においてステージ
面積（記憶面積）が最大となるように効率的にステージ
の面積を使用できる構造を有する。
憶装置に好適に使われるものであって、駆動部に１つの
電極を使用して多軸駆動を行い、絶縁工程が不要なので
製造工程を単純化することが可能となる。そして、一定
の大きさを有する記憶媒体のメディアを載置するステー
ジを装着してもＸ−Ｙ軸方向の面内運動以外の他の運動
が相対的に発生しにくいスプリング支持構造を有する。
２軸駆動時にスプリングによって発生するカップリング
現象は、マルチフォールデッドスプリング構造により生
じることなく、特に駆動装置の全面積においてステージ
面積（記憶面積）が最大となるように効率的にステージ
の面積を使用できる構造を有する。
【００３２】以上、本発明は、添付した図面に示される
一実施形態に基づいて説明されたが、この実施形態は例
示的なものに過ぎず、当業者であれば、この実施形態か
ら各種の多様な変形、及び均等な他の実施形態が可能で
あることを容易に理解し得る。したがって、本発明の真
の保護範囲は特許請求の範囲によってのみ決まるべきで
ある。
一実施形態に基づいて説明されたが、この実施形態は例
示的なものに過ぎず、当業者であれば、この実施形態か
ら各種の多様な変形、及び均等な他の実施形態が可能で
あることを容易に理解し得る。したがって、本発明の真
の保護範囲は特許請求の範囲によってのみ決まるべきで
ある。
【００３３】
【発明の効果】以上説明した通りに構成される本発明に
よれば、駆動部に１つの電極を使用して多軸駆動を行
い、絶縁工程が不要なので製造工程の単純化を図ること
ができ、マルチフォールデッドスプリング構造によって
相異なる方向のカップリング運動が排除されるマルチフ
ォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシン
グルステージマイクロアクチュエータを提供することが
できる。
よれば、駆動部に１つの電極を使用して多軸駆動を行
い、絶縁工程が不要なので製造工程の単純化を図ること
ができ、マルチフォールデッドスプリング構造によって
相異なる方向のカップリング運動が排除されるマルチフ
ォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシン
グルステージマイクロアクチュエータを提供することが
できる。
【図１】本発明に係るマルチフォールデッドスプリング
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータの一実施形態を示す平面図である。
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータの一実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明に係るマルチフォールデッドスプリング
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータに適用される櫛形駆動電極と櫛形固定電極
の構造を模式的に示す主要部の抜粋斜視図である。
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータに適用される櫛形駆動電極と櫛形固定電極
の構造を模式的に示す主要部の抜粋斜視図である。
【図３】本発明に係るマルチフォールデッドスプリング
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータに適用されるスプリング部の概略的な構造
を、模式的に示す抜粋斜視図である。
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータに適用されるスプリング部の概略的な構造
を、模式的に示す抜粋斜視図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線の断面図である。
【図５】図１のＢ−Ｂ線の断面図である。
【図６】マルチフォールデッドスプリングを用いた多軸
駆動シングルステージマイクロアクチュエータの作動時
に電力を供給する電源の配置図である。
駆動シングルステージマイクロアクチュエータの作動時
に電力を供給する電源の配置図である。
【図７】本発明に係るマルチフォールデッドスプリング
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータの作動原理を説明するための単純化した模
型図である。
を用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロア
クチュエータの作動原理を説明するための単純化した模
型図である。
【図８】本発明に係るマルチフォールデッドスプリング
を用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエ
ータの一方向の駆動を説明するための単純化した模型図
である。
を用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエ
ータの一方向の駆動を説明するための単純化した模型図
である。
【図９】本発明に係るマルチフォールデッドスプリング
を用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエ
ータの二方向の駆動を説明するための単純化した模型図
である。
を用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエ
ータの二方向の駆動を説明するための単純化した模型図
である。
【図１０】本発明に係るマルチフォールデッドスプリン
グを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュ
エータにおいて、変形前のマルチフォールデッドスプリ
ングを模式的に示す図面である。
グを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュ
エータにおいて、変形前のマルチフォールデッドスプリ
ングを模式的に示す図面である。
【図１１】本発明に係るマルチフォールデッドスプリン
グを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュ
エータにおいてマルチフォールデッドスプリングが伸び
たときのスプリングの変形形状を模式的に示す図面であ
る。
グを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュ
エータにおいてマルチフォールデッドスプリングが伸び
たときのスプリングの変形形状を模式的に示す図面であ
る。
【図１２】本発明に係るマルチフォールデッドスプリン
グを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュ
エータにおいてマルチフォールデッドスプリングが縮ん
だときのスプリングの変形形状を模式的に示す図面であ
る。
グを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュ
エータにおいてマルチフォールデッドスプリングが縮ん
だときのスプリングの変形形状を模式的に示す図面であ
る。
１１ 基板 １３ 固定フレーム電極パッド １４ 固定板電極 １５、１７ 配線電極 １６ 固定板電極パッド １８ 駆動フレーム電極パッド ２１ 固定フレーム ２２ 櫛形駆動電極 ３１ 第１スプリング部 ３２ 櫛形固定電極 ３３ 駆動フレーム部 ３３ａ 駆動フレーム ３３ｂ 補助駆動フレーム ３５ 第２スプリング部 ３６ 連結板 ３７ ビームスプリングエレメント ３８ ビームスプリング連結エレメント ４１ ステージ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１２Ｂ 5/00 Ｇ１２Ｂ 5/00 Ｔ
Claims (6)
- 【請求項１】 基板と、 前記基板の中央部に形成された固定板電極と、 前記固定板電極の上方に配置され、互いに直交した第１
の側部と第２の側部とを有する長方形ステージと、 前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部の近傍部
に備えられ、各々互いに平行、かつ長方形ステージの側
部と直交する方向に配列された複数の駆動フレームを備
える複数の駆動フレーム部と、 前記長方形ステージの第１の側部、第２の側部、及びこ
れらに対応する各駆動フレーム部にそれぞれ連結され、
前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部に平行に
延びる複数のスプリング部材と、これらのスプリング部
材を支持するためのスプリング支持部材とを備える第１
スプリング部と、 前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部にそれぞ
れ配列されると共に、前記駆動フレーム部の駆動フレー
ムに交互に並んで配列された複数の平行固定フレームを
備える固定フレーム部と、 前記各駆動フレーム部の駆動フレームから、前記長方形
ステージの第１の側部または第２の側部に、互いに平行
に延びる方向に配置された櫛形駆動電極と、 前記櫛形駆動電極と組み合わされ、前記固定フレーム部
の各固定フレームから互いに平行に延びる方向に配置さ
れた櫛形固定電極と、 前記基板における駆動フレーム部を支持すると共に、弾
性バイアスにより櫛形駆動電極の延びる方向で駆動フレ
ーム部を動作させ、駆動フレーム部の駆動フレームに平
行に延びる複数のスプリング部材と、これらのスプリン
グ部材を支持するための複数のスプリング支持部材とを
備える第２スプリング部と、を具備することを特徴とす
るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動の
ためのシングルステージマイクロアクチュエータ。 - 【請求項２】 前記各駆動フレーム部の駆動フレーム
は、補助駆動フレームによって直角に連結され、格子状
長方形に形成されることを特徴とする請求項１に記載の
マルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のた
めのシングルステージマイクロアクチュエータ。 - 【請求項３】 前記各固定フレーム部の固定フレーム
は、各々前記基板に固定され、各固定フレーム部を分離
して電気的に結合されて構成されることを特徴とする請
求項１または２に記載のマルチフォールデッドスプリン
グを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロ
アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記固定フレーム部の各固定フレーム
は、前記駆動フレームと補助駆動フレームとによって形
成された１つの単位フレームに配置され、 前記固定フレームは、各固定フレーム部に電気的に結合
されることを特徴とする請求項２に記載のマルチフォー
ルデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングル
ステージマイクロアクチュエータ。 - 【請求項５】 前記第１スプリング部及び第２スプリン
グ部のスプリング支持部材の端部は、スプリング連結エ
レメントによって形成され、 前記各スプリング支持部材は、互いに連結するように隣
接したスプリング支持部材の間に配置される共に、前記
スプリング部材より短い長さを有し、 前記第２スプリング部の一側は、基板に固定されたスプ
リング支持体に連結されて構成されることを特徴とする
請求項１から４のいずれか１項に記載のマルチフォール
デッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルス
テージマイクロアクチュエータ。 - 【請求項６】 前記第１スプリング部と第２スプリング
部のスプリング支持部材は、スプリング部材に対して所
定角度でジグザグパターンに配列された複数の連結板を
備え、隣接したスプリング部材を連結することを特徴と
する請求項１から５のいずれか１項に記載のマルチフォ
ールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシング
ルステージマイクロアクチュエータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2000-0041425A KR100493151B1 (ko) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | 멀티폴디스 스프링을 이용한 다축 구동을 위한싱글스테이지 마이크로 구동기 |
| KR2000-41425 | 2000-07-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002165467A true JP2002165467A (ja) | 2002-06-07 |
| JP3543303B2 JP3543303B2 (ja) | 2004-07-14 |
Family
ID=19678805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001217594A Expired - Fee Related JP3543303B2 (ja) | 2000-07-19 | 2001-07-18 | マルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6509670B2 (ja) |
| EP (1) | EP1174995B1 (ja) |
| JP (1) | JP3543303B2 (ja) |
| KR (1) | KR100493151B1 (ja) |
| DE (1) | DE60143509D1 (ja) |
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- 2001-07-17 EP EP01116682A patent/EP1174995B1/en not_active Expired - Lifetime
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| KR20020007895A (ko) | 2002-01-29 |
| US6509670B2 (en) | 2003-01-21 |
| EP1174995A3 (en) | 2003-12-17 |
| EP1174995B1 (en) | 2010-11-24 |
| JP3543303B2 (ja) | 2004-07-14 |
| EP1174995A2 (en) | 2002-01-23 |
| KR100493151B1 (ko) | 2005-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040205 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040303 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040326 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100416 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110416 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120416 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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