JP2002158240A - Method for mounting electronic component - Google Patents

Method for mounting electronic component

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JP2002158240A
JP2002158240A JP2000355408A JP2000355408A JP2002158240A JP 2002158240 A JP2002158240 A JP 2002158240A JP 2000355408 A JP2000355408 A JP 2000355408A JP 2000355408 A JP2000355408 A JP 2000355408A JP 2002158240 A JP2002158240 A JP 2002158240A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for mounting an electronic component capable of correctly carrying a long component without overturning. SOLUTION: The method for mounting the electronic component comprises the steps of taking out a long chip 4 from a supply unit, and mounting the component on the board. The method further comprises the steps of holding the chip 4 placed on a preset stage 17 at a height position to become a gap between a lower surface of the chip 4 sucked to and held by a pickup nozzle 9 of a prescribed size C2 and an upper surface of the stage 17, when the chip 4 is centered to be positioned by a positioning pawl 20; vacuum sucking the chip 4 from a suction hole 21 of a contact part 20a in a state in which the chip 4 is held at a position, where a gap between the part 20a of the pawl 20 and a side face of the chip 4 becomes a prescribed size C3; and sucking and holding the chip 4 to and at the part 20a. Thus, the chip 4 can be correctly carried without overturning the chip 4 without generating an overturning moment due to the simultaneous contact of the upper and lower parts of the chip 4 with another object.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を基板に
実装する電子部品実装方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component mounting method for mounting an electronic component on a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体チップなどの電子部品の実装にお
いては、電子部品はトレイなどの容器に収容された状態
から取り出され基板へ移送搭載される。この実装動作で
は、電子部品は取り出しヘッドや搭載ヘッドなどの移載
ヘッドにより、真空吸着によって保持される。この真空
吸着による方法では、吸着ノズルを電子部品に当接させ
て吸引することにより電子部品を吸着保持する。
2. Description of the Related Art In mounting electronic components such as semiconductor chips, the electronic components are taken out of a state of being housed in a container such as a tray and are transferred and mounted on a substrate. In this mounting operation, the electronic component is held by a transfer head such as an extraction head or a mounting head by vacuum suction. In the vacuum suction method, the electronic component is sucked and held by bringing the suction nozzle into contact with the electronic component and sucking the electronic component.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで近年電子部品
の種類として、イメージセンサなどに用いられるチップ
部品のように、実装姿勢におけるチップの幅寸法に対し
て高さ寸法が大きいいわゆる縦長形状部品が用いられる
ようになっている。このような電子部品は形状的に姿勢
が不安定であるため、供給部から電子部品を取り出し基
板へ実装するまでのピックアップ動作や載置動作など電
子部品の受け渡しを伴う移載動作時に電子部品の転倒が
生じやすく、移載ミスが多発するという問題点があっ
た。
In recent years, as a kind of electronic component, a so-called vertically long component having a larger height than a width of a chip in a mounting posture, such as a chip component used in an image sensor, has been used. It is supposed to be. Since the posture of such an electronic component is unstable in shape, the electronic component is removed during a transfer operation involving the delivery of the electronic component, such as a pick-up operation or a mounting operation, until the electronic component is taken out of the supply unit and mounted on a substrate. There has been a problem that a fall is likely to occur and a transfer error frequently occurs.

【0004】そこで本発明は、縦長形状の電子部品を対
象とする場合にあっても、電子部品の転倒を生じること
なく正しく移載することができる電子部品実装方法を提
供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting method capable of correctly transferring electronic components having a vertically long shape without causing the electronic components to overturn. .

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の電子部品
実装方法は、取り出しヘッドによって載置ステージに載
置された電子部品を位置決め部材によって所定位置に位
置決めし、位置決めされた電子部品を基板に搭載する電
子部品実装方法であって、前記電子部品を吸着保持した
取り出しヘッドを載置ステージに対して下降させ電子部
品の下面と載置ステージの上面との隙間が所定寸法とな
る高さ位置で停止させる工程と、前記位置決め部材を前
記高さ位置に保持された電子部品に対して水平移動させ
位置決め部材に設けられた当接部と前記電子部品の側面
との隙間が所定寸法となる位置で停止させる工程と、前
記位置決め部材の当接部に設けられた吸着孔から真空吸
引することにより電子部品を前記当接部に吸着保持する
工程と、電子部品を保持した位置決め部材を移動させて
この電子部品を位置決めする工程とを含む。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an electronic component mounting method, wherein an electronic component mounted on a mounting stage is positioned at a predetermined position by a take-out head, and the positioned electronic component is mounted on a substrate. An electronic component mounting method for mounting the electronic component on a mounting stage, wherein a take-out head holding the electronic component by suction is lowered with respect to a mounting stage so that a gap between a lower surface of the electronic component and an upper surface of the mounting stage has a predetermined size. And a position where the gap between a contact portion provided on the positioning member and a side surface of the electronic component has a predetermined size by horizontally moving the positioning member with respect to the electronic component held at the height position. Stopping the electronic component on the contacting portion of the positioning member by vacuum suction from a suction hole provided in the contacting portion of the positioning member; and Moving the positioning member holding comprises a step of positioning the electronic parts.

【0006】請求項2記載の電子部品実装方法は、載置
ステージに載置された電子部品を位置決め部材によって
所定位置に位置決めした後、位置決めされた電子部品を
搭載ヘッドに備えられた吸着ノズルによって取り出して
基板に搭載する電子部品実装方法であって、前記搭載ヘ
ッドを下降させ吸着ノズルの下面と前記位置決め部材に
よって側面を吸着保持された電子部品の上面との隙間が
所定寸法となる高さ位置で停止させる工程と、吸着ノズ
ルから真空吸引することにより電子部品を吸着ノズルに
当接させて吸着保持する工程と、搭載ヘッドを上昇させ
て電子部品を載置ステージから取り出す工程とを含む。
According to the electronic component mounting method of the present invention, after the electronic component mounted on the mounting stage is positioned at a predetermined position by the positioning member, the positioned electronic component is moved by the suction nozzle provided on the mounting head. An electronic component mounting method of taking out and mounting the electronic component on a substrate, wherein the mounting head is lowered and a gap between a lower surface of a suction nozzle and an upper surface of an electronic component whose side surface is suction-held by the positioning member has a predetermined size. And a step of sucking and holding the electronic component by suctioning the electronic component from the suction nozzle by vacuum suction from the suction nozzle, and a step of lifting the mounting head to take out the electronic component from the mounting stage.

【0007】本発明によれば、供給部から取り出され載
置ステージに載置された電子部品を位置決め部材によっ
て所定位置に位置決めするセンタリング動作において、
位置決め部材と電子部品との間に隙間を保った状態で位
置決め部材から真空吸引し、また電子部品を位置決め部
材によって所定位置に位置決めした後に搭載ヘッドに備
えられた吸着ノズルによって取り出す吸着動作におい
て、電子部品と吸着ノズルとの間に隙間を保った状態で
吸着ノズルから真空吸引することにより、電子部品の上
下が他の物体と同時に当接状態にあることによって生じ
る転倒モーメントが発生せず、電子部品の転倒を生じる
ことなく正しく移載することができる。
According to the present invention, in the centering operation of positioning the electronic component taken out of the supply unit and mounted on the mounting stage at a predetermined position by the positioning member,
In a suction operation in which a vacuum is sucked from the positioning member while keeping a gap between the positioning member and the electronic component, and the electronic component is positioned at a predetermined position by the positioning member, and is taken out by a suction nozzle provided in the mounting head, Vacuum suction from the suction nozzle while maintaining a gap between the component and the suction nozzle prevents the electronic component from overturning due to the fact that the top and bottom of the electronic component are in contact with other objects at the same time. It can be correctly transferred without falling down.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子
部品実装装置の斜視図、図2(a)は本発明の一実施の
形態の電子部品実装装置のチップ供給部の構成を示すブ
ロック図、図2(b)は本発明の一実施の形態の電子部
品実装装置のチップ供給部の部分断面図、図3は本発明
の一実施の形態の電子部品実装方法におけるピックアッ
プ動作の説明図、図4(a)は本発明の一実施の形態の
プリセンタ部の斜視図、図4(b)は本発明の一実施の
形態のプリセンタ部の位置決め爪の部分斜視図、図5は
本発明の一実施の形態の電子部品実装方法におけるセン
タリング動作の説明図、図6は本発明の一実施の形態の
電子部品実装方法における吸着動作の説明図、図7は本
発明の一実施の形態の電子部品実装方法における載置動
作の説明図、図8、図9は本発明の一実施の形態の電子
部品実装方法におけるボンディング動作の説明図、図1
0、図11は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置
のボンディングツールの構造説明図である。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2A is a block diagram illustrating a configuration of a chip supply unit of the electronic component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention. 4B is a partial cross-sectional view of a chip supply unit of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 3 is an explanatory diagram of a pickup operation in the electronic component mounting method according to the embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4A is a perspective view of a pre-center portion of one embodiment of the present invention, FIG. 4B is a partial perspective view of a positioning claw of the pre-center portion of one embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram of a centering operation in an electronic component mounting method according to an embodiment, FIG. 6 is an explanatory diagram of a suction operation in an electronic component mounting method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an electronic component mounting method according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 and FIG. 9 are explanatory views of the placing operation in FIG. Illustration of the bonding operation in the electronic component mounting method of the facilities in the form, Fig. 1
FIGS. 0 and 11 are explanatory views of the structure of the bonding tool of the electronic component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention.

【0009】まず図1を参照して電子部品実装装置の構
造を説明する。図1において、電子部品実装装置はチッ
プ供給部1(供給部)、プリセンタ部15、ボンディン
グ部30およびペースト供給部42の各部を備えてい
る。実装対象の電子部品である縦長形状の断面を有する
チップ4(図2,図3参照)は、取り出しヘッド12に
よりチップ供給部1から取り出され、プリセンタ部15
に設けられたプリセンタステージ17(載置ステージ)
に載置されてセンタリングされた後、搭載ヘッド32に
よって吸着されてボンディング部30に移送される。そ
してチップ4は予めペースト塗布ヘッド46によってペ
ースト37が塗布された基板34上にボンディングされ
る。
First, the structure of the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. In FIG. 1, the electronic component mounting apparatus includes a chip supply unit 1 (supply unit), a pre-center unit 15, a bonding unit 30, and a paste supply unit 42. A chip 4 (see FIGS. 2 and 3) having a vertically long cross-section, which is an electronic component to be mounted, is taken out of the chip supply unit 1 by a take-out head 12, and the pre-center unit 15
Pre-center stage 17 (mounting stage)
After being placed on the center and centered, it is sucked by the mounting head 32 and transferred to the bonding section 30. Then, the chip 4 is bonded by the paste application head 46 on the substrate 34 on which the paste 37 has been applied in advance.

【0010】以下、各部について説明する。チップ供給
部1は支持台2上にチップ4を収容する容器である凹部
3aが設けられたトレイ3を載置した構成となってお
り、図2(b)に示すように凹部3a内にはチップ4が
収容されている。凹部3aの底面にはトレイ3を貫通し
て貫通孔3bが設けられており、各貫通孔3bは支持台
に形成された吸引空間2aに連通する。図2に示すよう
に、吸引空間2aは吸引路2bおよび吸引管5を介して
バルブ6に接続されている。バルブ6はレギュレータ7
を介して真空吸引源11に接続されている。レギュレー
タ7の設定を調整することにより、貫通孔3bからの真
空吸引力を所望値に設定することができる。
Hereinafter, each unit will be described. The chip supply unit 1 has a configuration in which a tray 3 provided with a concave portion 3a which is a container for accommodating the chip 4 is placed on a support base 2, and as shown in FIG. The chip 4 is accommodated. Through holes 3b are provided in the bottom surface of the concave portion 3a so as to penetrate the tray 3, and each through hole 3b communicates with a suction space 2a formed in the support base. As shown in FIG. 2, the suction space 2a is connected to a valve 6 via a suction path 2b and a suction pipe 5. Valve 6 is a regulator 7
Is connected to the vacuum suction source 11 via the. By adjusting the setting of the regulator 7, the vacuum suction force from the through hole 3b can be set to a desired value.

【0011】制御部10によってバルブ6を制御するこ
とにより、凹部3aの貫通孔3bから真空吸引し、凹部
3aの内に収容されたチップ4を吸着保持する。このと
き、図2(b)に示すようにチップ4が凹部3a内で傾
斜状態にあっても、適切な吸引力で貫通孔3bから真空
吸引することにより、チップ4を正常姿勢(直立姿勢)
に矯正して保持することができる。
By controlling the valve 6 by the control unit 10, vacuum suction is performed through the through hole 3b of the concave portion 3a, and the chip 4 accommodated in the concave portion 3a is suction-held. At this time, as shown in FIG. 2 (b), even if the chip 4 is inclined in the recess 3a, the chip 4 is sucked in vacuum from the through hole 3b with an appropriate suction force, so that the chip 4 is in a normal posture (upright posture).
Can be corrected and held.

【0012】取り出しヘッド12はチップ取り出し用の
ピックアップノズル9を備えており、ピックアップノズ
ル9はバルブ8を介して真空吸引源11に接続されてい
る。制御部10によってバルブ8を制御することによ
り、ピックアップノズル9から真空吸引する。ピックア
ップノズル9の吸着面で真空吸引することにより、ピッ
クアップノズル9によってチップ4を吸着保持すること
ができる。
The pick-up head 12 has a pick-up nozzle 9 for picking up chips, and the pick-up nozzle 9 is connected to a vacuum suction source 11 via a valve 8. By controlling the valve 8 by the control unit 10, vacuum suction is performed from the pickup nozzle 9. By performing vacuum suction on the suction surface of the pickup nozzle 9, the chip 4 can be suction-held by the pickup nozzle 9.

【0013】このピックアップノズル9によるチップ4
のピックアップ動作について、図3を参照して説明す
る。まず、トレイ3の凹部3a内に収容されたチップ4
は、吸着孔3bから真空吸引することにより正常姿勢に
保持されている。次に、図3(a)に示すように、取り
出しヘッド12を下降させて凹部3a内に吸着保持され
たチップ4の直上にピックアップノズル9を位置させ
る。このとき、ピックアップノズル9の吸着面とチップ
4の上面との隙間が所定寸法C1となる高さ位置で、取
り出しヘッド12の下降を停止させる。
The chip 4 formed by the pickup nozzle 9
Will be described with reference to FIG. First, the chips 4 accommodated in the recesses 3a of the tray 3
Is held in a normal posture by vacuum suction through the suction hole 3b. Next, as shown in FIG. 3A, the take-out head 12 is lowered to position the pickup nozzle 9 immediately above the chip 4 sucked and held in the recess 3a. At this time, the lowering of the take-out head 12 is stopped at a height position where the gap between the suction surface of the pickup nozzle 9 and the upper surface of the chip 4 has a predetermined dimension C1.

【0014】次いで、バルブ8を制御してピックアップ
ノズル9から真空吸引することにより、図3(b)に示
すようにチップ4をピックアップノズル9の吸着面に当
接させて吸着保持する。そして取り出しヘッド12を上
昇させることにより、チップ4をピックアップする。こ
のピックアップ動作において、前述のようにピックアッ
プノズル9の吸着面がチップ4の上面に当接しない位置
で停止させることにより、縦長形状で転倒しやすい形状
のチップ4の上下が同時に他の物体に当接することによ
る転倒モーメントが発生せず、ピックアップ動作時のチ
ップ4の転倒によるピックアップミスを防止することが
できる。
Next, by controlling the valve 8 and sucking the vacuum from the pickup nozzle 9, the chip 4 is brought into contact with the suction surface of the pickup nozzle 9 and held by suction as shown in FIG. Then, the chip 4 is picked up by raising the take-out head 12. In this pickup operation, as described above, by stopping the suction surface of the pickup nozzle 9 at a position where the suction surface does not come into contact with the upper surface of the chip 4, the vertical and easily falling tip of the chip 4 simultaneously hits another object. No overturning moment is generated by the contact, and it is possible to prevent a pickup error due to the tip 4 falling over during the pickup operation.

【0015】なお、このピックアップ動作時には、貫通
孔3bからの真空吸引によるチップ4の吸着保持の解除
タイミングと、ピックアップノズル9による真空吸引の
開始タイミング、さらには貫通孔3bからの真空吸引力
を、チップ4の特性との関係に応じて調整すれば、更に
安定したピックアップ動作を確保することができる。
At the time of this pickup operation, the timing for releasing the suction holding of the chip 4 by the vacuum suction from the through-hole 3b, the timing for starting the vacuum suction by the pickup nozzle 9, and the vacuum suction force from the through-hole 3b are: If the adjustment is made according to the relationship with the characteristics of the chip 4, a more stable pickup operation can be ensured.

【0016】例えば、きわめて倒れ易い形状のチップ4
を対象とする場合には、ピックアップ動作開始時の所定
時間において、貫通孔3bからの真空吸引によってチッ
プ4を下方に吸着するとともにピックアップノズル9か
ら同時に真空吸引を行うようにする。これにより、チッ
プ4は上下両方向から引っ張られた状態となり、ピック
アップ動作開始時のチップの姿勢を安定させることがで
きる。そしてチップ4の姿勢が安定した後に貫通孔3b
からの真空吸引を解除することにより、チップ4は確実
にピックアップノズル9によって直立姿勢のままピック
アップされる。このとき、レギュレータ7によって貫通
孔3bからの真空吸引力を調整することにより、さらに
安定したピックアップ動作が可能となる。
For example, a chip 4 having a shape that is extremely easy to fall down
In the case of the target, the chip 4 is sucked downward by the vacuum suction from the through hole 3b and the vacuum suction is simultaneously performed from the pickup nozzle 9 at a predetermined time at the start of the pickup operation. Accordingly, the chip 4 is pulled from both the upper and lower directions, and the posture of the chip at the start of the pickup operation can be stabilized. After the posture of the chip 4 is stabilized, the through hole 3b
By releasing the vacuum suction from, the chip 4 is reliably picked up by the pickup nozzle 9 in the upright posture. At this time, by adjusting the vacuum suction force from the through hole 3b by the regulator 7, a more stable pickup operation becomes possible.

【0017】次に図4を参照してプリセンタ部15につ
いて説明する。図4(a)において載置台16上には略
半円形状のプリセンタステージ17が設けられている。
プリセンタステージ17の鎖線枠22内はチップ4の吸
着エリアとなっており、吸着エリア内には多数の吸着孔
23(図5参照)が格子状に設けられている。図示しな
い真空吸引源を駆動することにより吸着孔23から真空
吸引し、プリセンタステージ17上に載置されたチップ
4を、吸着孔23によって縦姿勢で吸着保持することが
できる。
Next, the pre-center unit 15 will be described with reference to FIG. In FIG. 4A, a pre-center stage 17 having a substantially semicircular shape is provided on a mounting table 16.
The inside of the dashed line frame 22 of the pre-center stage 17 is a suction area for the chips 4, and a large number of suction holes 23 (see FIG. 5) are provided in a grid in the suction area. By driving a vacuum suction source (not shown), vacuum suction is performed from the suction hole 23, and the chip 4 mounted on the pre-center stage 17 can be suction-held by the suction hole 23 in a vertical posture.

【0018】プリセンタステージ17上には側方から位
置決め爪20(位置決め部材)が延出しており、位置決
め爪駆動部19(図1参照)を駆動することにより、位
置決め爪20は矢印a方向に往復動する。位置決め爪2
0の先端部には、矢印a方向と直交する方向に当接部2
0aが設けられており、当接部20aはプリセンタステ
ージ17上に縦姿勢で載置されたチップ4の側面に当接
する。当接部20aには吸着溝21が設けられており、
吸着溝21は位置決め爪20の下面に形成された凹部2
0bと連通している。
A positioning claw 20 (positioning member) extends from the side on the pre-center stage 17, and by driving a positioning claw driving unit 19 (see FIG. 1), the positioning claw 20 moves in the direction of arrow a. Reciprocate. Positioning claw 2
0 has a contact portion 2 in a direction orthogonal to the direction of arrow a.
0 a is provided, and the contact portion 20 a contacts the side surface of the chip 4 placed on the pre-center stage 17 in a vertical posture. The contact portion 20a is provided with a suction groove 21.
The suction groove 21 is formed in the concave portion 2 formed on the lower surface of the positioning claw 20.
0b.

【0019】図5に示すように、位置決め爪20をプリ
センタステージ17の上面の吸着孔23が設けられた吸
着エリア上に位置させた状態で、吸着孔23から真空吸
引することにより、上方至近に位置する凹部20b内が
真空吸引され、したがって当接部20aに開孔した吸着
溝21から真空吸引される。これにより位置決め爪20
は、当接部20aに側面を当接させた状態でプリセンタ
ステージ17上に直立姿勢で載置されたチップ4を吸着
保持することができる。
As shown in FIG. 5, the positioning claw 20 is positioned above the suction area on the upper surface of the pre-center stage 17 where the suction hole 23 is provided. Is sucked in vacuum from the recess 20b located in the contact portion 20a, and is thus sucked from the suction groove 21 opened in the contact portion 20a. Thereby, the positioning claw 20
Can suck and hold the chip 4 placed on the pre-center stage 17 in an upright posture with the side surface in contact with the contact portion 20a.

【0020】プリセンタステージ17の手前側には、チ
ップ検出センサ24が配設されており、チップ検出セン
サ24はプリセンタステージ17上に直立姿勢で載置さ
れた状態のチップ4を検出する。ここでチップ4がプリ
センタステージ17上に載置された場合にあっても、姿
勢が転倒状態にある場合にはチップ4は検出されない。
この場合にはチップ4が姿勢不良であると判定され、こ
の判定結果は制御部10に伝達される。制御部10はこ
の信号を受けて位置決め爪駆動部19に位置決め爪20
の駆動を指令する。これにより位置決め爪20は手前側
に移動し、プリセンタステージ17上に転倒状態にある
チップ4を手前側に配設された回収部18内に落下させ
る。
A chip detection sensor 24 is provided in front of the pre-center stage 17, and the chip detection sensor 24 detects the chip 4 placed on the pre-center stage 17 in an upright posture. Here, even when the chip 4 is placed on the pre-center stage 17, the chip 4 is not detected if the posture is in the overturned state.
In this case, it is determined that the chip 4 has a poor posture, and this determination result is transmitted to the control unit 10. Upon receiving this signal, the control unit 10 sends the positioning claw 20 to the positioning claw driving unit 19.
Command. As a result, the positioning claw 20 moves to the near side, and the chip 4 that has been overturned on the pre-center stage 17 falls into the collecting section 18 disposed on the near side.

【0021】次に図5、図6を参照してプリセンタ部1
5において行われるチップ4のセンタリング動作および
センタリング後の吸着動作について説明する。まず図5
を参照して取り出しヘッド12のピックアップノズル9
によってチップ供給部1から取り出され、プリセンタス
テージ17に載置されたチップ4を位置決め爪20によ
って所定位置に位置決めするセンタリング動作について
説明する。
Next, referring to FIG. 5 and FIG.
The centering operation of the chip 4 and the suction operation after the centering performed in the step 5 will be described. First, FIG.
The pickup nozzle 9 of the take-out head 12 with reference to
The centering operation for positioning the chip 4 taken out of the chip supply unit 1 and placed on the pre-center stage 17 at a predetermined position by the positioning claw 20 will be described.

【0022】図5(a)において、チップ供給部1から
取り出しヘッド12によって取り出されたチップ4は、
ピックアップノズル9によって吸着保持された状態で
(図3参照)は、プリセンタステージ17上の載置位置
に移動する。そしてここで取り出しヘッド12のピック
アップノズル9をプリセンタステージ17に対して下降
させる(矢印b)。このとき、チップ4の下面とプリセ
ンタステージ17の上面との隙間が所定寸法C2となる
高さ位置で取り出しヘッド12の下降を停止する。
In FIG. 5A, the chip 4 taken out from the chip supply unit 1 by the take-out head 12 is
While being sucked and held by the pick-up nozzle 9 (see FIG. 3), it moves to the mounting position on the pre-center stage 17. Then, the pickup nozzle 9 of the take-out head 12 is lowered with respect to the pre-center stage 17 (arrow b). At this time, the lowering of the take-out head 12 is stopped at a height position where the gap between the lower surface of the chip 4 and the upper surface of the pre-center stage 17 has a predetermined dimension C2.

【0023】次いで位置決め爪20をピックアップノズ
ル9に保持された状態のチップ4に対して水平方向に移
動させる(矢印c)。このとき、当接部20aとチップ
4の側面との隙間が所定寸法C3となる位置で位置決め
爪20の移動を停止させる。
Next, the positioning claw 20 is moved horizontally with respect to the chip 4 held by the pickup nozzle 9 (arrow c). At this time, the movement of the positioning claw 20 is stopped at a position where the gap between the contact portion 20a and the side surface of the chip 4 has a predetermined dimension C3.

【0024】そして吸着孔23から真空吸引を開始した
後に、ピックアップノズル9からの真空吸引を停止す
る。これにより図5(b)に示すように、チップ4は凹
部20bを介して吸引される吸着溝21によって生じる
側方への吸引力と吸着孔23による下方への吸引力に捕
捉されて、ピックアップノズル9から離脱し当接部20
aに直立姿勢のまま吸着保持される。この後、ピックア
ップノズル9は上方へ退避し、図5(c)に示すように
位置決め爪20を駆動して、当接部20aをアライメン
ト位置PAまで移動させて位置決めする(矢印d)。こ
れによりチップ4のセンタリングが完了する。
After the vacuum suction from the suction hole 23 is started, the vacuum suction from the pickup nozzle 9 is stopped. As a result, as shown in FIG. 5B, the chip 4 is captured by the lateral suction force generated by the suction groove 21 sucked through the recess 20b and the downward suction force by the suction hole 23, and is picked up. Abutting portion 20 which is detached from nozzle 9
a is held by suction in the upright posture. Thereafter, the pickup nozzle 9 retreats upward, and drives the positioning claw 20 to move the contact portion 20a to the alignment position PA for positioning as shown in FIG. 5C (arrow d). Thus, the centering of the chip 4 is completed.

【0025】なお、チップ4を取り出す取り出しヘッド
12に装着されるピックアップノズルとして、上述のよ
うな下端部がフラットな形状のピックアップノズル9に
替えて、図7に示すように下端部に部分的に下方に突出
した当接端部9’aが設けられたピックアップノズル
9’を用いるようにしてもよい。
As shown in FIG. 7, the pick-up nozzle mounted on the pick-up head 12 for picking up the chip 4 is partially replaced with the pick-up nozzle 9 having a flat lower end as shown in FIG. A pickup nozzle 9 'provided with a contact end 9'a projecting downward may be used.

【0026】このピックアップノズル9’を用いてチッ
プ4をプリセンタステージ17に載置する載置動作にお
いては、まず図7(a)に示すようにチップ4を吸着保
持したピックアップノズル9’をプリセンタステージ1
7に対して下降させる。すると当接端部9’aがプリセ
ンタステージ17の上面に当接する。このとき、チップ
4の下面とプリセンタステージ17の上面との間の隙間
が所定寸法C2となるように、当接端部9’aの高さ寸
法が設定されている。そしてこの状態から、ピックアッ
プノズル9’による真空吸着を解除することにより、チ
ップ4はプリセンタステージ17の吸着孔23によって
吸着され、載置動作が完了する。
In the placing operation of placing the chip 4 on the pre-center stage 17 using the pickup nozzle 9 ', first, as shown in FIG. Center stage 1
Lower to 7. Then, the contact end 9 ′ a contacts the upper surface of the pre-center stage 17. At this time, the height of the contact end 9′a is set so that the gap between the lower surface of the chip 4 and the upper surface of the pre-center stage 17 has a predetermined size C2. Then, from this state, the vacuum suction by the pickup nozzle 9 ′ is released, whereby the chip 4 is sucked by the suction hole 23 of the pre-center stage 17, and the mounting operation is completed.

【0027】このような形状のピックアップノズル9’
を用いることにより、載置動作時にチップ4の下面とプ
リセンタステージ17の上面との間の隙間が常に所定寸
法C2に保たれるという利点がある。ただし、このよう
な当接端部9’aを備えたピックアップノズル9’aを
用いる場合には、チップ供給部1のトレイ3の形状を、
ピックアップ動作時に当接端部9’aが干渉しないよう
な形状に設定する必要がある。
A pickup nozzle 9 'having such a shape.
Is advantageous in that the gap between the lower surface of the chip 4 and the upper surface of the pre-center stage 17 is always kept at the predetermined dimension C2 during the mounting operation. However, when the pickup nozzle 9'a having such a contact end 9'a is used, the shape of the tray 3 of the chip supply unit 1 is changed.
It is necessary to set the shape so that the contact end 9′a does not interfere during the pickup operation.

【0028】次に図6を参照して、上述のセンタリング
によって所定位置に位置決めされたチップ4を搭載ヘッ
ド32に備えられた吸着ノズル29によって取り出す吸
着動作について説明する。ここで用いられる吸着ノズル
29は、図9、図10にて示すように、チップ4の側面
と当接する当接面53と、チップ4の上面と当接する当
接面54を備えている。
Next, with reference to FIG. 6, a description will be given of a suction operation in which the chip 4 positioned at a predetermined position by the above-described centering is taken out by the suction nozzle 29 provided in the mounting head 32. As shown in FIGS. 9 and 10, the suction nozzle 29 used here has a contact surface 53 that contacts the side surface of the chip 4 and a contact surface 54 that contacts the upper surface of the chip 4.

【0029】図6(a)において、チップ4は吸着孔2
3および位置決め爪20によって側面を吸着保持されて
アライメント位置PA(図5(c)参照)にある。この
状態で搭載ヘッド32によって吸着ノズル29を下降さ
せる(矢印e)。このとき、吸着ノズル29の前述の2
つの当接面53,54と、チップ4の側面、上面との隙
間が、それぞれ所定隙間C4、C5となる位置で吸着ノ
ズル29の移動を停止させる。
In FIG. 6 (a), the chip 4 is
3 and the positioning claw 20, the side surface is sucked and held at the alignment position PA (see FIG. 5C). In this state, the suction nozzle 29 is lowered by the mounting head 32 (arrow e). At this time, the aforementioned 2
The movement of the suction nozzle 29 is stopped at a position where the gaps between the two contact surfaces 53 and 54 and the side surface and the upper surface of the chip 4 become predetermined gaps C4 and C5, respectively.

【0030】この後、図6(b)に示すように吸着ノズ
ル29からの真空吸引を開始した後、吸着孔23からの
真空吸引を停止する。これにより、チップ4は吸着ノズ
ル29の吸引力に捕捉され、位置決め爪20およびプリ
センタステージ17から離脱して当接面53,54に当
接し、吸着保持される。そして位置決め爪20が側方へ
退避する(矢印g)とともに、チップ4を吸着保持した
搭載ヘッド32を上昇させて吸着ノズル29を上方に移
動させることにより(矢印f)、プリセンタステージ1
7からチップ4を取り出す。
Thereafter, as shown in FIG. 6B, after the vacuum suction from the suction nozzle 29 is started, the vacuum suction from the suction hole 23 is stopped. As a result, the chip 4 is captured by the suction force of the suction nozzle 29, detaches from the positioning claw 20 and the pre-center stage 17, comes into contact with the contact surfaces 53 and 54, and is held by suction. Then, the positioning claw 20 retreats to the side (arrow g), and the mounting head 32 holding the chip 4 by suction is lifted to move the suction nozzle 29 upward (arrow f), thereby the pre-center stage 1
7. Take out the chip 4 from the chip 7.

【0031】次にボンディング部30について説明す
る。図1において、移動テーブル31上には基板保持部
33が設けられており、基板保持部33はチップ4がボ
ンディングされる基板34を保持する。基板34には、
チップ4の搭載に先立って、ペースト塗布ヘッド46に
よってペースト37が塗布される。ペースト供給部42
に配設されたペースト貯溜容器43内のペースト37は
スキージ45によって表面が整形され、このペースト3
7にペースト塗布ヘッド46の塗布ピン47を下降させ
ることにより、塗布ピン47にはペースト37が貼写さ
れる。そしてペースト塗布ヘッド46をボンディング部
30に移動させ、塗布ピン47を基板34に対して下降
させることにより、基板34のボンディング位置にペー
スト37が塗布される。
Next, the bonding section 30 will be described. In FIG. 1, a substrate holder 33 is provided on a moving table 31, and the substrate holder 33 holds a substrate 34 to which the chip 4 is bonded. The substrate 34 includes
Prior to mounting the chip 4, the paste 37 is applied by the paste application head 46. Paste supply unit 42
The surface of the paste 37 in the paste storage container 43 disposed in the
By lowering the application pin 47 of the paste application head 46 to 7, the paste 37 is pasted on the application pin 47. Then, the paste 37 is applied to the bonding position of the substrate 34 by moving the paste application head 46 to the bonding section 30 and lowering the application pin 47 with respect to the substrate 34.

【0032】基板保持部33の上方には、撮像光学系3
6が可動テーブル35によって水平移動自在に配設され
ている。図8に示すように、撮像光学系36を吸着ノズ
ル29に吸着保持されたチップ4の上方に移動させて認
識対象部位を撮像視野内に位置させることにより、撮像
素子38によってチップ4の認識対象部位の画像を取得
できるようになっている。
Above the substrate holding section 33, the imaging optical system 3
The movable table 6 is horizontally movable by a movable table 35. As shown in FIG. 8, by moving the imaging optical system 36 above the chip 4 sucked and held by the suction nozzle 29 to position the recognition target site in the imaging visual field, the imaging element 38 recognizes the chip 4 An image of the part can be acquired.

【0033】そして撮像素子38によって得られた画像
を認識部39で画像認識することにより、チップ4の位
置が検出される。位置検出結果は制御部10に伝達さ
れ、このチップ4の位置検出結果に基づいて移動テーブ
ル31を制御することにより、保持した基板34を水平
移動させて、吸着ノズル29に保持されたチップ4を基
板34の実装位置に対して相対的に位置決めすることが
できる。撮像光学系36、撮像素子38および認識部3
9は、チップ4を認識する認識手段となっている。
The position of the chip 4 is detected by recognizing the image obtained by the image pickup device 38 with the recognition section 39. The position detection result is transmitted to the control unit 10, and by controlling the moving table 31 based on the position detection result of the chip 4, the held substrate 34 is horizontally moved, and the chip 4 held by the suction nozzle 29 is moved. It can be positioned relatively to the mounting position of the substrate 34. Imaging optical system 36, imaging device 38, and recognition unit 3
Reference numeral 9 denotes recognition means for recognizing the chip 4.

【0034】次に図9を参照して、ボンディング動作に
ついて説明する。このボンディング動作は、搭載ヘッド
32に保持したチップ4を予め基板34の所定ボンディ
ング位置に塗布されたペースト37上に着地させてボン
ディングするものである。図9(a)において、基板3
4上にはペースト37が塗布されており、ペースト37
上にはチップ4が列状に実装される。ペースト37上に
は既にチップ4’が実装されており、既実装のチップ
4’の右側方に、以下の手順で新たにチップ4が実装さ
れる。このとき撮像光学系36は、チップ4’の右側方
を撮像視野内に含むよう予め移動している。
Next, the bonding operation will be described with reference to FIG. In this bonding operation, the chip 4 held by the mounting head 32 is landed on a paste 37 previously applied to a predetermined bonding position of the substrate 34 and bonded. In FIG. 9A, the substrate 3
4 is coated with a paste 37.
Chips 4 are mounted in a row on the top. The chip 4 'is already mounted on the paste 37, and a new chip 4 is mounted on the right side of the already mounted chip 4' in the following procedure. At this time, the imaging optical system 36 has been moved in advance so that the right side of the chip 4 'is included in the imaging field of view.

【0035】まずチップ4を保持した搭載ヘッド32の
吸着ノズル29を移動させて、保持したチップ4の端部
などの位置基準点を、撮像光学系36の撮像視野内に位
置させる。このとき、チップ4は、水平方向には、図9
(a)に示すようにチップ4を正規実装位置から、吸着
ノズル29によるチップ移動方向の反対方向(チップ4
の側面へ当接する当接面53が設けられた方向)に、所
定寸法Dだけオフセットした位置に仮位置決めされる。
これとともに上下方向には、チップ4を水平移動させる
際に基板34上に塗布されたペースト37によってチッ
プ4の移動が阻害されない高さ位置Hに保持される。
First, the suction nozzle 29 of the mounting head 32 holding the chip 4 is moved, and a position reference point such as an end of the held chip 4 is positioned in the field of view of the imaging optical system 36. At this time, the chip 4 is moved horizontally in FIG.
As shown in (a), the chip 4 is moved from the normal mounting position in the direction opposite to the chip moving direction by the suction nozzle 29 (chip 4).
(In the direction in which the contact surface 53 is provided to contact the side surface of the target), the position is provisionally positioned at a position offset by a predetermined dimension D.
At the same time, the paste 4 applied on the substrate 34 when the chip 4 is moved horizontally is held in a vertical position H at which the movement of the chip 4 is not hindered.

【0036】この高さ位置Hは、ペースト37の粘度な
どの性状によって定められるものである。すなわち粘度
が低くチップ4の下面に多少ペースト37が接触しても
チップ4の移動の妨げとならない場合には、チップ4の
姿勢が不安定とならない範囲で高さ位置Hを極力低く設
定することが望ましいが、ペースト37の粘度が高い場
合には、チップ4の下面がペースト37に接触しないよ
うな高さ位置Hに設定される。
The height position H is determined by properties such as the viscosity of the paste 37. In other words, if the viscosity is so low that the paste 4 does not hinder the movement of the chip 4 even if the paste 37 slightly contacts the lower surface of the chip 4, the height position H should be set as low as possible within a range where the posture of the chip 4 is not unstable. However, when the viscosity of the paste 37 is high, the height position H is set so that the lower surface of the chip 4 does not contact the paste 37.

【0037】次に、撮像光学系36を介して撮像素子3
8によってチップ4を撮像し、認識部39によってチッ
プ4の位置を認識する。そして認識結果に基づいて移動
テーブル31を移動させることにより、図9(b)に示
すように吸着ノズル29に保持されたチップ4は基板3
4に対して相対的に水平移動し(矢印h)、これにより
チップ4は正規実装位置に位置合わせされる。次いで図
9(c)に示すように搭載ヘッド32の吸着ノズル29
を下降させて(矢印i)、チップ4をペースト37上に
着地させる。この後、チップ4を吸着ノズル29によっ
て基板34に対して所定時間押圧することにより、チッ
プ4はペースト37によって基板34に固着されボンデ
ィングされる。
Next, the image pickup device 3 via the image pickup optical system 36
The chip 4 is imaged by 8, and the position of the chip 4 is recognized by the recognition unit 39. Then, by moving the moving table 31 based on the recognition result, the chip 4 held by the suction nozzle 29 is moved to the substrate 3 as shown in FIG.
The chip 4 moves horizontally relative to the chip 4 (arrow h), whereby the chip 4 is aligned with the normal mounting position. Next, as shown in FIG. 9C, the suction nozzle 29 of the mounting head 32
Is lowered (arrow i), and the chip 4 lands on the paste 37. Thereafter, the chip 4 is pressed against the substrate 34 by the suction nozzle 29 for a predetermined time, whereby the chip 4 is fixed to the substrate 34 by the paste 37 and bonded.

【0038】上記説明したように、本実施の形態に示す
チップ4の実装過程におけるチップ供給部1からのピッ
クアップ動作、プリセンタステージ17上への載置動
作、センタリング後の吸着動作および基板34へのボン
ディングの各動作においては、縦長形状で転倒しやすい
チップ4の受け渡しを行う際に、チップ4の上部と下部
とを同時に他の物体に当接させる動作を避けるようにし
ている。これによりピックアップ時などの受け渡し動作
において、チップ4に転倒モーメントが作用することが
なく、チップ4の転倒や傾斜を生じることなく縦長形状
のチップ4を良好な姿勢でボンディングすることができ
る。
As described above, the pick-up operation from the chip supply unit 1, the mounting operation on the pre-center stage 17, the suction operation after centering, and the mounting operation on the substrate 34 in the mounting process of the chip 4 shown in this embodiment. In each bonding operation, when the chip 4 having a vertically long shape and easily falling over is delivered, the operation of simultaneously contacting the upper part and the lower part of the chip 4 with another object is avoided. Thus, in a transfer operation such as at the time of pickup, a tipping moment does not act on the chip 4, and the vertically long chip 4 can be bonded in a good posture without tipping or tilting of the chip 4.

【0039】次に図10、図11を参照して、本実施の
形態において用いられる搭載ヘッド32用の吸着ノズル
29について説明する。ここで示す4種類の吸着ノズル
29A〜29Dは、吸引孔50aが設けられた軸部50
の下端にタイプの異なる吸着ブロック51A,51B,
51C,51Dをそれぞれ結合した構成となっており、
図9に示す吸着ブロック51A,51Bは吸着溝56
を、図10に示す吸着ブロック51C,51Dは吸着孔
57を用いてチップ4を吸着保持する例を示している。
Next, the suction nozzle 29 for the mounting head 32 used in the present embodiment will be described with reference to FIGS. The four types of suction nozzles 29 </ b> A to 29 </ b> D shown here are provided with shaft portions 50 provided with suction holes 50 a.
Suction blocks 51A, 51B,
51C and 51D are combined respectively.
The suction blocks 51A and 51B shown in FIG.
10 illustrates an example in which the suction blocks 51C and 51D suction and hold the chip 4 using the suction holes 57.

【0040】図10において、軸部50に結合された吸
着ブロック51A,51Bの内部に設けられた内孔部5
2には軸部50の吸引孔50aが連通している。吸着ブ
ロック51Aにはチップ4の側面、上面にそれぞれ当接
する当接面53,54が設けられており、当接面53に
設けられた吸着溝56は内孔部52と連通している。当
接面53,54をチップ4に当接させた状態で、吸引孔
50aから真空吸引することにより、チップ4は吸着溝
56によって当接面53に吸着保持される。このとき、
チップ4の上面は当接面54によって位置が固定される
ため、縦長形状のチップ4を安定した姿勢で保持するこ
とができる。
In FIG. 10, an inner hole 5 provided inside suction blocks 51A, 51B connected to a shaft 50 is provided.
The suction hole 50a of the shaft part 50 communicates with 2. The suction block 51 </ b> A is provided with contact surfaces 53 and 54 that contact the side surface and the top surface of the chip 4, respectively. The suction groove 56 provided on the contact surface 53 communicates with the inner hole 52. The chip 4 is suction-held on the contact surface 53 by the suction groove 56 by vacuum suction through the suction hole 50 a in a state where the contact surfaces 53 and 54 are in contact with the chip 4. At this time,
Since the position of the upper surface of the chip 4 is fixed by the contact surface 54, the vertically long chip 4 can be held in a stable posture.

【0041】また図10(b)に示す吸着ノズル29B
は、図10(a)に示す当接面54を設ける替わりに下
方に「ハ」の字状に開いたテーパ面54’を設け、チッ
プ4の上面の2つのコーナ部を、吸着ノズル29Bに設
けられテーパ面54’上の2つの当接線55によって保
持するように構成したものである。この吸着ノズル29
Bによっても、チップ4の側面および上面を保持するこ
とができ、縦長形状のチップ4を安定した姿勢で吸着保
持することができる。
The suction nozzle 29B shown in FIG.
Is provided with a tapered surface 54 ′ opened in a “C” shape below instead of providing the contact surface 54 shown in FIG. 10 (a), and the two corner portions on the upper surface of the chip 4 are attached to the suction nozzle 29 </ b> B. It is configured to be held by two contact lines 55 provided on the tapered surface 54 '. This suction nozzle 29
B can also hold the side and top surfaces of the chip 4 and hold the vertically elongated chip 4 by suction in a stable posture.

【0042】更に図11(a),(b)に示す吸着ノズ
ル29C,29Dは、図10(a),(b)に示す吸着
ノズル29A,29Bの吸着溝56を、吸着ブロック5
1C,51Dに設けられた吸着孔57に置き換えたもの
である。このような構成によっても、図10(a),
(b)と同様の機能を有する吸着ノズルが実現される。
Further, the suction nozzles 29C and 29D shown in FIGS. 11A and 11B correspond to the suction grooves 56 of the suction nozzles 29A and 29B shown in FIGS.
This is replaced with suction holes 57 provided in 1C and 51D. Even with such a configuration, FIG.
A suction nozzle having the same function as (b) is realized.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によれば、供給部から取り出され
載置ステージに載置された電子部品を位置決め部材によ
って所定位置に位置決めするセンタリング動作におい
て、位置決め部材と電子部品との間に隙間を保った状態
で位置決め部材から真空吸引し、また電子部品を位置決
め部材によって所定位置に位置決めした後に搭載ヘッド
に備えられた吸着ノズルによって取り出す吸着動作にお
いて、電子部品と吸着ノズルとの間に隙間を保った状態
で吸着ノズルから真空吸引するようにしたので、電子部
品の上下が他の物体と同時に溶接状態にあることによっ
て生じる転倒モーメントが発生せず、電子部品の転倒を
生じることなく正しく移載することができる。
According to the present invention, in the centering operation in which the electronic component taken out of the supply unit and mounted on the mounting stage is positioned at a predetermined position by the positioning member, a gap is provided between the positioning member and the electronic component. In the suction operation in which the vacuum suction is performed from the positioning member while the electronic component is positioned at the predetermined position by the positioning member and the electronic component is taken out by the suction nozzle provided in the mounting head, a gap is maintained between the electronic component and the suction nozzle. Vacuum suction from the suction nozzle in a state where the electronic component is welded on the top and bottom of other electronic components at the same time as other objects does not generate a overturning moment, and the electronic component is correctly transferred without overturning be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜
視図
FIG. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)本発明の一実施の形態の電子部品実装装
置のチップ供給部の構成を示すブロック図 (b)本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のチッ
プ供給部の部分断面図
FIG. 2A is a block diagram illustrating a configuration of a chip supply unit of the electronic component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention; FIG. Sectional view

【図3】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法にお
けるピックアップ動作の説明図
FIG. 3 is an explanatory diagram of a pickup operation in the electronic component mounting method according to one embodiment of the present invention.

【図4】(a)本発明の一実施の形態のプリセンタ部の
斜視図 (b)本発明の一実施の形態のプリセンタ部の位置決め
爪の部分斜視図
FIG. 4A is a perspective view of a pre-center portion according to an embodiment of the present invention. FIG. 4B is a partial perspective view of a positioning claw of the pre-center portion according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法にお
けるセンタリング動作の説明図
FIG. 5 is an explanatory diagram of a centering operation in the electronic component mounting method according to one embodiment of the present invention;

【図6】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法にお
ける吸着動作の説明図
FIG. 6 is an explanatory diagram of a suction operation in the electronic component mounting method according to one embodiment of the present invention;

【図7】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法にお
ける載置動作の説明図
FIG. 7 is an explanatory diagram of a mounting operation in the electronic component mounting method according to one embodiment of the present invention;

【図8】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法にお
けるボンディング動作の説明図
FIG. 8 is an explanatory diagram of a bonding operation in the electronic component mounting method according to one embodiment of the present invention;

【図9】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法にお
けるボンディング動作の説明図
FIG. 9 is an explanatory diagram of a bonding operation in the electronic component mounting method according to one embodiment of the present invention;

【図10】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の
ボンディングツールの構造説明図
FIG. 10 is a structural explanatory view of a bonding tool of the electronic component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention;

【図11】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の
ボンディングツールの構造説明図
FIG. 11 is a structural explanatory view of a bonding tool of the electronic component mounting apparatus according to one embodiment of the present invention;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 チップ供給部 3 トレイ 4 チップ 9 ピックアップノズル 12 取り出しヘッド 17 プリセンタステージ 20 位置決め爪 29 吸着ノズル 32 搭載ヘッド 33 基板保持部 34 基板 37 ペースト 42 ペースト供給部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Chip supply part 3 Tray 4 Chip 9 Pickup nozzle 12 Pickup head 17 Precenter stage 20 Positioning claw 29 Suction nozzle 32 Mounting head 33 Substrate holding part 34 Substrate 37 Paste 42 Paste supply part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】取り出しヘッドによって載置ステージに載
置された電子部品を位置決め部材によって所定位置に位
置決めし、位置決めされた電子部品を基板に搭載する電
子部品実装方法であって、前記電子部品を吸着保持した
取り出しヘッドを載置ステージに対して下降させ電子部
品の下面と載置ステージの上面との隙間が所定寸法とな
る高さ位置で停止させる工程と、前記位置決め部材を前
記高さ位置に保持された電子部品に対して水平移動させ
位置決め部材に設けられた当接部と前記電子部品の側面
との隙間が所定寸法となる位置で停止させる工程と、前
記位置決め部材の当接部に設けられた吸着孔から真空吸
引することにより電子部品を前記当接部に吸着保持する
工程と、電子部品を保持した位置決め部材を移動させて
この電子部品を位置決めする工程とを含むことを特徴と
する電子部品実装方法。
An electronic component mounting method for positioning an electronic component mounted on a mounting stage by a take-out head at a predetermined position by a positioning member and mounting the positioned electronic component on a substrate. A step of lowering the suction head held by suction with respect to the mounting stage and stopping at a height position where a gap between the lower surface of the electronic component and the upper surface of the mounting stage has a predetermined dimension, and moving the positioning member to the height position. Moving the electronic component horizontally with respect to the held electronic component and stopping the electronic component at a position where a gap between a contact portion provided on the positioning member and a side surface of the electronic component has a predetermined dimension; and providing the electronic component at the contact portion of the positioning member. Suctioning and holding the electronic component on the contact portion by vacuum suction from the suction hole provided; and moving the positioning member holding the electronic component to position the electronic component. Electronic component mounting method which comprises the step of determining.
【請求項2】載置ステージに載置された電子部品を位置
決め部材によって所定位置に位置決めした後、位置決め
された電子部品を搭載ヘッドに備えられた吸着ノズルに
よって取り出して基板に搭載する電子部品実装方法であ
って、前記搭載ヘッドを下降させ吸着ノズルの下面と前
記位置決め部材によって側面を吸着保持された電子部品
の上面との隙間が所定寸法となる高さ位置で停止させる
工程と、吸着ノズルから真空吸引することにより電子部
品を吸着ノズルに当接させて吸着保持する工程と、搭載
ヘッドを上昇させて電子部品を載置ステージから取り出
す工程とを含むことを特徴とする電子部品実装方法。
2. An electronic component mounting method comprising: positioning an electronic component mounted on a mounting stage at a predetermined position by a positioning member; extracting the positioned electronic component by a suction nozzle provided on a mounting head; and mounting the electronic component on a substrate. A method of lowering the mounting head and stopping at a height position where a gap between the lower surface of the suction nozzle and the upper surface of the electronic component whose side surface is suction-held by the positioning member has a predetermined dimension; and An electronic component mounting method, comprising: a step of bringing an electronic component into contact with a suction nozzle by vacuum suction to suck and hold the electronic component; and a step of lifting a mounting head to take out the electronic component from a mounting stage.
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