JP2002157929A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001151896A JP2002157929A (ja) | 2000-09-08 | 2001-05-22 | 透明導電性薄膜積層体及びそのエッチング方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-272583 | 2000-09-08 | ||
| JP2000272583 | 2000-09-08 | ||
| JP2001151896A JP2002157929A (ja) | 2000-09-08 | 2001-05-22 | 透明導電性薄膜積層体及びそのエッチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002157929A JP2002157929A (ja) | 2002-05-31 |
| JP2002157929A5 true JP2002157929A5 (enExample) | 2009-01-08 |
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ID=26599506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001151896A Pending JP2002157929A (ja) | 2000-09-08 | 2001-05-22 | 透明導電性薄膜積層体及びそのエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002157929A (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009004383A (ja) * | 2003-05-29 | 2009-01-08 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
| JP2005011793A (ja) | 2003-05-29 | 2005-01-13 | Sony Corp | 積層構造の製造方法および積層構造、表示素子ならびに表示装置 |
| JPWO2006061964A1 (ja) * | 2004-12-08 | 2008-06-05 | 旭硝子株式会社 | 導電膜付き基体およびその製造方法 |
| JP5315761B2 (ja) | 2008-04-15 | 2013-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置 |
| JP5914036B2 (ja) * | 2011-04-20 | 2016-05-11 | 日東電工株式会社 | 導電性積層フィルムの製造方法 |
| JP2015173050A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | コニカミノルタ株式会社 | 透明導電体の製造方法及びパターニングされた透明導電体 |
| JP6179433B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2017-08-16 | コニカミノルタ株式会社 | 透明導電体 |
| JP5976970B1 (ja) * | 2015-02-24 | 2016-08-24 | 日東電工株式会社 | 光透過性フィルム |
| JP6048526B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2016-12-21 | Tdk株式会社 | 透明導電体及びタッチパネル |
| JP6052330B2 (ja) | 2015-04-24 | 2016-12-27 | Tdk株式会社 | 透明導電体及びその製造方法、並びにタッチパネル |
| JP6601199B2 (ja) | 2015-12-11 | 2019-11-06 | Ｔｄｋ株式会社 | 透明導電体 |
| US10989966B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-27 | Tdk Corporation | Transparent semiconductor, light control body, and electronic device |
| KR102837276B1 (ko) * | 2021-03-30 | 2025-07-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 표시 장치의 제조방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0897190A (ja) * | 1994-09-22 | 1996-04-12 | Ulvac Japan Ltd | 透明導電性膜のドライエッチング方法 |
| JPH1170610A (ja) * | 1996-07-26 | 1999-03-16 | Asahi Glass Co Ltd | 透明導電膜、および透明電極の形成方法 |
| JPH10278159A (ja) * | 1997-04-08 | 1998-10-20 | Mitsui Chem Inc | 透明導電性薄膜積層体の製造方法 |
| JP2000150466A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-30 | Mitsui Chemicals Inc | Ｉｔｏドライエッチング方法 |
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2001
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