JP2002156257A

JP2002156257A - サーボ形容積式流量計

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Publication number: JP2002156257A
Application number: JP2001150430A
Authority: JP
Inventors: Katsuo Misumi; 勝夫三角; Yutaka Ogawa; 胖小川
Original assignee: Oval Corp
Current assignee: Oval Corp
Priority date: 2000-09-07
Filing date: 2001-05-21
Publication date: 2002-05-31
Anticipated expiration: 2021-05-21
Also published as: JP3331212B2

Abstract

(57)【要約】【課題】サーボ形容積式流量計の小流量域から大流量
域における器差特性を改善する。【解決手段】容積式流量計１は、ケーシング２に配設
された計量室３内で、流体差圧により回転し、流入した
一定体積の流体を流出する対をなす第１及び第２回転子
６，７を有し、該回転子の回転から流量を計測する。前
記第１回転子６にはサーボモータ１７が連結されてい
る。容積式流量計１の流入口８と流出口９に設けた圧力
検出口１０，１１の圧力は、導管により差圧計１２に導
かれ、差圧が求められ、サーボ機構が、該差圧信号をｋ
（γ／２ｇ）Ｖ²（但し、γ：被測定流体の密度、Ｖ：
前記回転子の回転速度、ｇ：重力加速度、ｋ：流量計の
構造寸法、管摩擦係数で決まる定数）となるように前記
サーボモータ１７を駆動する。そのときの回転子６の回
転を流量発信器１９により流量信号として取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サーボ形容積式流
量計に関し、より詳細には、小流量域から大流量域ま
で、器差が、ほとんどゼロに近い優れた特性をもつサー
ボ形容積式流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】一対の回転子を有する代表的な容積式流
量計は、計量室と、計量室内で回転する一対の回転子を
有し、計量室と回転子とで形成される容積を基準容積と
して計量室内に流入する被測定流体を回転子の回転に応
じて流出することにより、回転子の回転数から流量を求
める流量計である。すなわち、理想的には、基準容積に
相当する体積の被測定流体が回転子の回転に比例して排
出される。

【０００３】しかし、実際の容積式流量計においては、
回転子の回転を可能とするために回転子と計量室との間
には、微小な隙間が設けられており、回転子は計量室と
接触することなく回転する。また、回転子が回転するた
めには、機械的要素の負荷、例えば軸受摩擦や計数部の
負荷に打ち勝つ回転トルクが必要で、この回転トルクを
被測定流体が回転子に作用する流体差圧による回転モー
メントにより得ている。このため、被測定流体のエネル
ギーで回転子を回転させた場合（自力式容積式流量
計）、この隙間から、極わずかではあるが、入口側から
出口側に漏洩が発生する。

【０００４】図４は、自力式容積式流量計の器差特性の
一例を示す図である。図のように、この漏れの大きさ
は、流体差圧によるモーメントに対して、摩擦トルクの
割合が大きい小流量の範囲で大きく、器差がマイナスと
なり、その他の流量域において生ずる差圧の大きさによ
っても異なり、さらには、全流量域において被測定流体
の粘度に逆比例して大きく変化する。

【０００５】一方、容積式流量計は、直接体積流量が測
定でき精度も高いことから、産業用、取り引き用の流量
計として広く使用されている。しかし、上述したように
原理的に計量室内で回転子が回転するために計量室と回
転子との間に存在する隙間による漏洩が、微少流量の測
定や、さらに高精度を追求する測定の場合には、無視で
きなくなる。また、この漏れ量は、容積式流量計の流出
入口間の圧力損失に比例する。

【０００６】被測定流体の粘度や密度などの物性値に影
響されずに安定した高精度の流量の測定が可能なよう
に、流量計の流出入口間の圧力損失を正確に検出して、
この圧力損失が、常に、ゼロになるように回転子に外部
からサーボモータで駆動力を与えてやり、そのときの回
転子の動作回転数から流量を測定するようにした流量計
が、サーボ形容積式流量計である。

【０００７】図５は、従来のサーボ形容積式流量計の一
実施例の構成を説明するための概念図である。図中、１
は容積式流量計、２はケーシング、３は計量室、４は第
１回転子軸、５は第２回転子軸、６は第１回転子、７は
第２回転子、８は流入口、９は流出口、１０は流入側圧
力検出口、１１は流出側圧力検出口、１２は差圧計、１
３はディストリビュータＡ、１４は調節計、１５は目標
設定器、１６はサーボモータ駆動回路、１７はサーボモ
ータ（Ｓ．Ｍ）、１８はタコジェネレータ（Ｔ.Ｇ）、
１９は流量発信器（Ｐ.Ｇ）である。

【０００８】容積式流量計１は、流入口８と流出口９に
連通し、流路（ケーシング２）に形成された計量室３
と、この計量室３内に固着された第１回転子軸４及び第
２回転子軸５に各々軸支された第１回転子６及び第２回
転子７とからなっている。第１回転子６、及び第２回転
子７には本体外部、すなわち計量室３外部のそれぞれの
回転子に設けたパイロット歯車（図示せず。）との噛合
により、互いに反対方向に、同期回転可能で、第１回転
子６側（本実施例では第１回転子６側となっているが、
第２回転子７側でもよい）のパイロット歯車には、サー
ボモータ（Ｓ．Ｍ）１７の駆動軸が接合されている。

【０００９】容積式流量計１の流入口８と流出口９に
は、それぞれ流入側圧力検出口１０、流出側圧力検出口
１１が設けられ、流入口８及び流出口９の圧力は、両圧
力検出口１０，１１から導管により、差圧計１２に導か
れ、容積式流量計１の流出入口間の圧力損失が測定され
る。サーボモータ（Ｓ．Ｍ）１７の駆動軸には、タコジ
ェネレータ（Ｔ．Ｇ）１８も直結されており、サーボモ
ータ（Ｓ．Ｍ）１７、タコジェネレータ（Ｔ．Ｇ）１８
及び第１回転子６側のパイロット歯車は互いに縦接続さ
れている。

【００１０】タコジェネレータ（Ｔ.Ｇ）１８は、サー
ボモータ（Ｓ.Ｍ）１７の回転に比例した電圧値を発生
して、その出力は、サーボモータ駆動回路１６を介し、
サーボモータ（Ｓ.Ｍ）１７にフィードバックされる。
流量発信器（Ｐ.Ｇ）１９は、第１回転子６（本実施例
では、第１回転子６となっているが、第２回転子７でも
よい）の回転数を計測する機構を有し、流量に比例する
パルスを発生する。

【００１１】差圧計１２からの差圧信号は、ディストリ
ビュータＡ１３を介して差圧に比例した電圧値Ｖｐに変
換されたのち、調節計１４に入力され、目標設定器１５
からの目標設定値と比較され、その出力Ｖ₁は、サーボ
モータ駆動回路１６の一方の入力端子に接続されてい
る。サーボモータ駆動回路１６のもう一方の入力端子に
は、タコジェネレータ（Ｔ.Ｇ）１８の出力Ｖ₂がフィー
ドバックされて接続されて、調節計１４からの容積式流
量計１の流出入口間の圧力損失ΔＰに相当する差圧計１
２からの差圧信号Ｖｐと目標設定値との比較値Ｖ₁と、
サーボモータ（Ｓ.Ｍ）１７の回転数に相当するタコジ
ェネレータ（Ｔ.Ｇ）１８の出力Ｖ₂が等しくなるよう
に、サーボモータ（Ｓ.Ｍ）１７の回転を制御するサー
ボ機構を形成している。

【００１２】被測定流体が、矢印方向に流れた状態で
は、差圧計１２の差圧信号は増加するが、サーボモータ
駆動回路１６とサーボモータ（Ｓ.Ｍ）１７からなるサ
ーボ制御系を駆動することにより、流量計の入口と出口
間の差圧ΔＰを無差圧に制御する。このとき、調節計１
４の目標値を、差圧ゼロに設定し、サーボモータ１７で
回転子を強制的に回転させ、ΔＰをゼロになるよう制御
している。従来、サーボ形容積式流量計は、上記したよ
うに、流量の大小にかかわらず、流量計の入口側と出口
側の差圧ΔＰを、ΔＰ＝０になるように、回転子の回転
をサーボモータで強制駆動し制御していた。これは、容
積式流量計の流出入口間の圧力損失がゼロになるように
流量を測定することができれば、漏れ量もゼロになると
いう理論に基づいたものである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
サーボ形容積式流量計で流量を実際に計測してみると、
小流量域においては、従来の自力式容積式流量計におけ
る大きなマイナス器差が改善されるものの、器差は全般
にプラスに転じ、しかも、流量、密度の上昇と共に増大
する特性を示すようになる。

【００１４】プラス器差の原因としては、容積式流量計
の流出入口間の圧力損失を無差圧に制御するために、サ
ーボモータで回転子を強制的に回転させた場合、容積式
流量計の流出入口間の圧力損失ΔＰがゼロとなっても、
計量室内の回転子の回転方向前面側の圧力は、上昇し、
背面側は降下することになり、回転子の回転方向の前面
と背面側に、差圧ΔＰ₀が発生してしまい、ケーシング
と回転子間に存在する隙間から、この差圧ΔＰ₀によ
り、流出側から流入側に被測定流体の漏洩が発生するこ
とにある。

【００１５】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたものであり、従来、サーボ形容積式流量計の流入側
と流出側の差圧ΔＰをゼロに制御せずに、後述する外部
圧力損失ΔＰ_eで制御することによりΔＰ₀＝０となり、
流出側から流入側への漏洩による器差特性の悪化を防ぐ
ことが可能なサーボ形容積式流量計を提供することを目
的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、流路内に設け
られた計量室と、該計量室内で流体差圧により回転し、
該回転毎に一定体積の流体を流出する対をなす第１及び
第２回転子とを備え、該回転子の回転から流量を計測す
るサーボ形容積式流量計であって、前記第１又は第２回
転子の何れかと連結されたサーボモータと、前記計量室
の上流側と下流側の差圧を検出する差圧計と、該差圧計
の差圧信号を入力し、該差圧信号をｋ（γ／２ｇ）Ｖ²
（但し、γ：被測定流体の密度、Ｖ：流体の流速、ｇ：
重力加速度、ｋ：流量計の各部分の構造寸法、管摩擦係
数で決まる定数）となるように前記サーボモータを駆動
するサーボ機構とを備えたことを特徴としたものであ
る。ここで、ｋは、流量計の入口、出口の形状・寸法及
び、内部形状・寸法、管摩擦係数等で決まる定数で、例
えばｋ＝λ（Ｌ／Ｄ）で表わされ、各部分部分で計算し
た総和である（λ：管摩擦係数、Ｌ：流量計各部の管軸
長さ、Ｄ：流量計各部の内径）。また、Ｖは、管内の流
速または流量としても回転子の回転速度としても良い。

【００１７】さらに、本発明は、前記サーボ形容積式流
量計において、前記γを前記圧力検出器の何れかから
得、そして、前記Ｖを、前記第１又は第２回転子の何れ
かと連結された流量発信器から得て、両者を乗算器で乗
算することにより前記ｋ（γ／２ｇ）Ｖ²を求めるよう
にした気体用サーボ形容積式流量計である。

【００１８】さらに、本発明は、前記サーボ形容積式流
量計において、前記γを外部から入力し、そして、前記
Ｖを、前記第１又は第２回転子の何れかと連結された流
量発信器から得て、両者を乗算器で乗算することにより
前記ｋ（γ／２ｇ）Ｖ²を求めるようにした液体用サー
ボ形容積式流量計である。

【００１９】さらに、本発明は、前記サーボ形容積式流
量計において、前記差圧信号をｋ（γ／２ｇ）Ｖ²とな
るように前記サーボモータを駆動するサーボ機構を、マ
イクロコンピュータに組み込んだプログラムにより実現
するようにしたものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】一般に、容積式流量計に流体を流
したとき、回転子より充分離れた差圧検出位置におい
て、ΔＰの圧力損失が生じたとすると、 ΔＰ＝ΔＰ_i＋ΔＰ_e が成立する。ここで、ΔＰ_iは回転子を回転させるため
に費やされる圧力損失で、流量計内部の漏れに直接関与
するため内部圧力損失という。また、ΔＰ_eは流体が流
量計を流れるために費やされる圧力損失で、漏れには直
接関与しないため外部圧力損失という。

【００２１】一対の回転子を内蔵した容積式流量計にお
いて、流量計内部の漏れに関与する回転子前後の差圧Δ
Ｐ_iに対し、単位時間当たりの流量計内部の漏洩量Δｑ
は、μを流体の粘度、Ｑを流量として、 Δｑ＝ｋ_a・（ΔＰ_i／μ）＋ｋ_b・Ｑ …（１）で表される。ただし、ｋ_a，ｋ_bは回転子とケーシングの
形状により決まる定数である。したがって、単位時間当
たりの流量計内部の漏洩量は、回転子前後の差圧に比例
する一方で流体の粘度に反比例する項と流量に比例する
項に分けられる。

【００２２】ここで、Ｉを校正される受験器の指示量、
Ｑを標準器の真実の値とすると、器差Ｅは、Ｅ＝（（Ｉ−Ｑ）／Ｑ）×１００（％） …（２）で表される。また、流量計内部の漏洩量Δｑとの関係よ
りＩ−Ｑ＝−Δｑ …（３）が成立する。したがって、（１），（２），（３）式よ
り、器差Ｅは、Ｅ＝−（Δｑ／Ｑ）＝−（ｋ_a・（ΔＰ_i／（μ・Ｑ））＋ｋ_b）…（４）で表すことができる。ここで、器差Ｅをゼロにするため
には、（４）式第１項の回転子前後の差圧ΔＰ_iをゼロ
にすれば、流量計内部の漏洩量もゼロとなり、流量は回
転数に正確に比例することにより、器差もだいたいゼロ
付近に表れることになる。なお（４）式の第２項は、メ
ータファクタを変更することにより調節可能であるか
ら、問題にはならない。

【００２３】したがって、サーボ形容積式流量計の器差
をゼロにするためには、圧力損失ΔＰを検出する位置で
の差圧を内部圧力損失ΔＰ_i＝０に制御すればよい。つ
まり、制御目標差圧と外部圧力損失ΔＰ_eが同じになる
ように外部から駆動力を与えることにより、内部圧力損
失ΔＰ_iがゼロになるため、流量計内部のリークがなく
なり、必然的にノンリークつまり器差ゼロの流量計が具
現化できる。

【００２４】図１は、本発明のサーボ形容積式流量計の
原理を説明するための図で、従来のサーボ形容積式流量
計の流体圧分布の状態を示す模式図である。上述のごと
く、サーボ形容積式流量計において流入側と流出側の差
圧ΔＰをゼロに制御した場合には、回転子の回転方向の
前面と背面で差圧ΔＰ₀が発生する。この差圧ΔＰ₀によ
り、ケーシングと回転子の隙間から、流出側から流入側
に漏れる漏洩量は、被測定流体の密度γ及び回転子の回
転速度Ｖと相関する圧力、流量の増加と共に増大し、器
差がプラスとなるのである。

【００２５】本発明は、外部圧力損失ΔＰ_eを鑑み、サ
ーボ形容積式流量計の流入側と流出側の差圧ΔＰをゼロ
に制御せずに、ΔＰ＝Ｐ_i＋ΔＰ_eにおいて、回転子の前
後の圧力損失ΔＰ₀すなわち内部圧力損失ΔＰ_i＝０に制
御するため、ΔＰ＝ΔＰ_e＝ｋ₁（γ／２ｇ）Ｖ²分だ
け、流入側の圧力を高くするようにサーボ形容積式流量
計を制御することにより、回転子の回転方向前面側と背
面側間の内部圧力損失ΔＰ_i＝０とし、ケーシングと回
転子間の隙間からの被測定流体の漏洩をなくすようにし
たものである。ここで、ｋ₁は、流量計の内部形状・寸
法、管摩擦係数で決まる定数で、ｋ₁＝λ（Ｌ／Ｄ）で
表される（λ：管摩擦係数、Ｌ：流量計内部の管軸長
さ、Ｄ：流量計内部の内径）。また、Ｖを回転子の回転
速度としたが管内の流速または流量としても良い。

【００２６】本発明によるサーボ形容積式流量計の実施
形態を、図面に基づいて、以下に説明する。図２は、本
発明に係るサーボ形容積式流量計の構成の一実施例を示
す概念図である。図中、１は容積式流量計、２はケーシ
ング、３は計量室、４は第１回転子軸、５は第２回転子
軸、６は第１回転子、７は第２回転子、８は流入口、９
は流出口、１０は流入側圧力検出口、１１は流出側圧力
検出口、１２は差圧計、１３はディストリビュータＡ、
１４は調節計、１６はサーボモータ駆動回路、１７はサ
ーボモータ（Ｓ．Ｍ）、１８はタコジェネレータ（Ｔ.
Ｇ）、１９は流量発信器（Ｐ.Ｇ）であり、これらは、
図５に示した従来のサーボ形容積式流量計の構成要素と
共通し、同じ機能を有しており（詳細な説明は省略す
る。）、同一の符号を付している。

【００２７】本実施例のサーボ形容積式流量計において
は、図５における従来装置の目標設定器１５の代わり
に、Ｆ／Ｖ変換器２０、リニアライザ２１、圧力計２
２、ディストリビュータＢ２３、乗算器２４を設けてい
る。Ｆ／Ｖ変換器２０は、流量発信器（Ｐ.Ｇ）１９か
らの流量を表すパルス信号を、その周波数に比例するア
ナログ電圧に変換するもので、回転子の回転速度Ｖに相
当する信号を出力する。リニアライザ２１は、Ｆ／Ｖ変
換器２０の出力を平方し、回転子の回転速度Ｖの２乗に
相当する信号Ｖ²を出力する。

【００２８】圧力計２２は、流入側圧力検出口１０（あ
るいは、流出側圧力検出口１１）の圧力を、流体圧力Ｐ
に相当する電圧信号に変換する。ディストリビュータＢ
２３は、圧力計２２からの流体圧力（Ｐ）に相当する電
圧信号を、被測定流体が気体の場合、流体圧力（Ｐ）と
比例する流体密度（γ）に相当する電圧信号に変換す
る。なお、液体の場合は、流体圧力（Ｐ）により流体密
度（γ）は変わらなく、液体の種類により決まるので、
圧力計２２は不要であり、乗算器２４に、直接、外部か
ら乗算器２４に被測定液体に応じた値を設定入力する。

【００２９】乗算器２４は、リニアライザ２１からの回
転子の回転速度（Ｖ）の２乗に相当する信号（Ｖ²）
と、ディストリビュータＢ２３からの密度（γ）に相当
する信号を乗算し、（ｋ₀・γ・Ｖ²）に相当する信号Ｖ
ｓを、調節計１４の目標設定値として出力する。なお、
ｋ₀は定数で、ｋ₀＝ｋ（１／２ｇ）＝λ（Ｌ／Ｄ）・
（１／２ｇ）となる。調節計１４のもう一方の端子に
は、従来の装置と同様、流量計の入口側と出口側の差圧
ΔＰに相当する信号Ｖｐが入力され、調節計１４では、
乗算器２４からの信号Ｖｓと比較され、Ｖｐ−Ｖｓ＝
（ΔＰ−ｋ₀・γ・Ｖ²）に相当する信号Ｖ ₁が、サーボ
モータ駆動回路１６の一方の入力端子に出力される。サ
ーボモータ駆動回路１６のもう一方の入力端子には、タ
コジェネレータ（Ｔ.Ｇ）１８からのサーボモータ（Ｓ.
Ｍ）１７の回転数に比例した電圧Ｖ₂がフィードバック
されて接続されており、調節計１４からの信号Ｖ₁と等
しくなるようにサーボ機構が作動し、サーボモータ
（Ｓ.Ｍ）１７の回転を制御する。

【００３０】被測定流体が、矢印方向に流れた状態で
は、従来のようにサーボ形容積式流量計の流入側と流出
側の差圧ΔＰをゼロに制御せずに、回転子の回転速度
（Ｖ）に応じて流量計内部で発生する外部圧力損失ΔＰ
_e＝ｋ₁（γ／２ｇ）Ｖ²分だけ、流入側の圧力を高くす
るようにサーボ形容積式流量計を制御することにより、
回転子の回転方向前面側と背面側の差圧ΔＰ₀をゼロと
する。これにより、従来のサーボ形容積式流量計におい
て、流入側と流出側の差圧ΔＰをゼロに制御したことに
より生ずる回転子の前後面間の前記差圧ΔＰ₀とは逆方
向の差圧を消去することができ、それに伴うケーシング
と回転子間の隙間からの逆流による漏洩をより少なくす
ることができた。

【００３１】図３は、本実施例のサーボ形容積式流量計
による器差特性の一例を示す図である。なお、図におい
て、Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃は、それぞれ被測定流体の流体圧力
を示す。図のように、本発明によるサーボ形容積式流量
計の器差特性は、被測定流体の圧力の大きさに拘わら
ず、小流量域から大流量域まで、器差が、ほとんどゼロ
に近い直線的な優れた特性を示していることがわかる。

【００３２】なお、回転子の回転速度Ｖは、回転子の先
端と、回転子の根本で、速度が異なるため平均速度で計
算した値で制御するか、ケーシングと回転子の先端との
隙間を考慮し、回転子の先端の速度で計算した値に近い
値の差圧に制御すると、より精度の向上が計られる。

【００３３】以上は、ハード構成で、制御系を構成した
場合であるが、マイクロコンピュータで制御系を組む場
合には、上記と同様な動作処理をソフトウェア化して組
めばよいし、被測定流体の名称と密度の関係をテーブル
化しておけば、被測定流体の名称を選択するだけで、密
度設定ができる。

【００３４】

【発明の効果】本発明は、回転子の回転速度に応じて発
生する差圧分だけ流入側の圧力を高くするようにサーボ
形容積式流量計を制御することにより、回転子の回転方
向前面側と背面側の差圧ΔＰ₀＝０となりケーシングと
回転子間の隙間からのリークをなくすことができるため
高精度の流量計測が可能となる。また、本発明のサーボ
形容積式流量計は、気体用、液体用の何れも適用可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のサーボ形容積式流量計の原理を説明
するための図で、従来のサーボ形容積式流量計の流体圧
分布の状態を示す模式図である。

【図２】本発明に係るサーボ形容積式流量計の構成の
一実施例を示す概念図である。

【図３】図２の実施例のサーボ形容積式流量計による
器差特性の一例を示す図である。

【図４】自力式容積式流量計の器差特性の一例を示す
図である。

【図５】従来のサーボ形容積式流量計の一実施例の構
成を説明するための概念図である。

【符号の説明】

１…容積式流量計、２…ケーシング、３…計量室、４…
第１回転子軸、５…第２回転子軸、６…第１回転子、７
…第２回転子、８…流入口、９…流出口、１０…流入側
圧力検出口、１１…流出側圧力検出口、１２…差圧計、
１３…ディストリビュータＡ、１４…調節計、１５…目
標設定器、１６…サーボモータ駆動回路、１７…サーボ
モータ（Ｓ．Ｍ）、１８…タコジェネレータ（Ｔ.
Ｇ）、１９…流量発信器（Ｐ.Ｇ）、２０…Ｆ／Ｖ変換
器、２１…リニアライザ、２２…圧力計、２３…ディス
トリビュータＢ、２４…乗算器。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流路内に設けられた計量室と、該計量室
内で流体差圧により回転し、該回転毎に一定体積の流体
を流出する対をなす第１及び第２回転子とを備え、該回
転子の回転から流量を計測するサーボ形容積式流量計で
あって、前記第１又は第２回転子の何れかと連結された
サーボモータと、前記計量室の上流側と下流側の差圧を
検出する差圧計と、該差圧計の差圧信号を入力し、該差
圧信号をｋ（γ／２ｇ）Ｖ²（但し、γ：被測定流体の
密度、Ｖ：流体の流速、ｇ：重力加速度、ｋ：流量計の
構造寸法、管摩擦係数等で決まる定数）となるように前
記サーボモータを駆動するサーボ機構とを備えたことを
特徴とするサーボ形容積式流量計。
【請求項２】請求項１に記載のサーボ形容積式流量計
において、前記γを前記圧力検出器の何れかから得、そ
して、前記Ｖを、前記第１又は第２回転子の何れかと連
結された流量発信器から得て、両者を乗算器で乗算する
ことにより前記ｋ（γ／２ｇ）Ｖ²を求めるようにした
ことを特徴とする気体用サーボ形容積式流量計。
【請求項３】請求項１に記載のサーボ形容積式流量計
において、前記γを外部から入力し、そして、前記Ｖ
を、前記第１又は第２回転子の何れかと連結された流量
発信器から得て、両者を乗算器で乗算することにより前
記ｋ（γ／２ｇ）Ｖ²を求めるようにしたことを特徴と
する液体用サーボ形容積式流量計。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれか一項に記載の
サーボ形容積式流量計において、前記差圧信号をｋ（γ
／２ｇ）Ｖ²となるように前記サーボモータを駆動する
サーボ機構を、マイクロコンピュータに組み込んだプロ
グラムにより実現するようにしたことを特徴とするサー
ボ形容積式流量計。