JP2002148307A - Conveyance method of ic handler - Google Patents

Conveyance method of ic handler

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JP2002148307A
JP2002148307A JP2000345465A JP2000345465A JP2002148307A JP 2002148307 A JP2002148307 A JP 2002148307A JP 2000345465 A JP2000345465 A JP 2000345465A JP 2000345465 A JP2000345465 A JP 2000345465A JP 2002148307 A JP2002148307 A JP 2002148307A
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JP
Japan
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transport
hand
transfer
conveyance
handler
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000345465A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Hiraoka
政則 平岡
Kyoji Yabe
鏡司 矢部
Yoshinori Kurita
佳典 栗田
Yoshikatsu Nomura
佳勝 野村
Masashi Tomita
雅志 富田
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Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten to the limit the exchanging time of an IC at the socket position where the IC is inserted, namely, the time for supply discharge, relative to an IC handler. SOLUTION: Adsorption mechanisms and press mechanisms of the IC, and conveyance hands combined with mechanism parts composing the mechanisms are plurally driven individually, and plural sockets are arranged on a straight line, and the waiting conveyance hand is allowed to adjoin, as much as possible, the conveyance layout for exchanging the IC from the orthogonal direction to the array direction and the conveyance hand executing an exchanging work with the socket, to thereby minimize the conveyance time and the conveyance distance.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ICハンドラーに
おけるIC搬送方法に係る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC transport method in an IC handler.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のICハンドラーにおけるICの搬
送方法および装置としては、ICの吸着機構と押込機
構、および、これらを構成する機構部品を兼ね備えた搬
送ハンドを一つとした単独駆動による構成が存在してい
る。また、複数の搬送ヘッドを兼ね備えた構成として
は、例えば特開平6−293434 号公報に記載されている。
前記公知例は、二つ、もしくはそれ以上の搬送ハンドを
一体化し、ICの供給排出を効率よく向上させている。
2. Description of the Related Art As a conventional method and apparatus for transporting an IC in an IC handler, there is a configuration in which an IC suction mechanism, a push mechanism, and a single transport hand having a mechanical component constituting the IC are independently driven. are doing. A configuration having a plurality of transport heads is described in, for example, JP-A-6-293434.
In the known example, two or more transfer hands are integrated, and supply and discharge of ICs are efficiently improved.

【0003】さらに、前記公知例では、二つ、もしくは
複数台の搬送ハンドを一体化した構成となっており、I
Cを挿入するソケット位置と、ICの供給または排出用
の搬送機構の位置が必然的に固定化されている。
Furthermore, in the above-mentioned known example, two or a plurality of transport hands are integrated,
The position of the socket for inserting C and the position of the transport mechanism for supplying or discharging the IC are necessarily fixed.

【0004】さらに、複数のソケットを一直線上に配列
させたICハンドラーにおいて、配列方向と同方向より
ICを入れ替える搬送レイアウトが存在した。
Further, in an IC handler in which a plurality of sockets are arranged in a straight line, there is a transport layout in which ICs are exchanged in the same direction as the arrangement direction.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明による解決する
課題は、ICハンドラーにおいて、ICを挿入するソケ
ット位置でのICの入れ替え時間、すなわち供給排出の
時間を極限まで短縮化するものである。
The problem to be solved by the present invention is to minimize the time required for exchanging ICs at the socket position where ICs are inserted, that is, the time required for supply and discharge, in the IC handler.

【0006】ICが搭載されている供給および排出用の
トレイから、ICを検査測定するソケット位置までの距
離はハンドラーの構成上隣接させることは出来ないた
め、シャトルと呼称されるICの供給または排出用の搬
送機構が設置され、ICは、ICソケット付近まで一旦
搬送される。シャトルからICソケットにICを搬送す
るには、搬送ハンドが使用されるが、搬送ハンドが一つ
では、ICの入れ替え作業に伴う搬送ハンドの往復移動
時間が関与し供給排出の効率向上に期待することは難し
い。
The distance from the supply / discharge tray on which the IC is mounted to the socket position for inspecting and measuring the IC cannot be adjacent to each other due to the configuration of the handler. A transfer mechanism is provided, and the IC is once transferred to the vicinity of the IC socket. A transfer hand is used to transfer an IC from the shuttle to the IC socket. However, with one transfer hand, the reciprocating movement time of the transfer hand involved in the operation of replacing the IC is involved, which is expected to improve supply and discharge efficiency. It is difficult.

【0007】さらに、搬送ハンドを二つ、もしくはそれ
以上を具備しても、複数台の搬送ハンドを一体化した構
成である限り搬送ハンド間のピッチ移動距離分の往復移
動時間が関与され供給排出の効率向上には限界があっ
た。
Further, even if two or more transfer hands are provided, as long as a plurality of transfer hands are integrated, a reciprocating movement time corresponding to a pitch movement distance between the transfer hands is involved, and supply and discharge are performed. There was a limit to the improvement of the efficiency.

【0008】さらに、複数のソケットを一直線上に配列
させたICハンドラーにおいて、配列方向と同方向より
ICを入れ替える搬送レイアウトでは、搬送ハンド間の
ピッチ移動距離分の往復移動時間が関与され供給排出の
効率向上には限界があった。
Further, in an IC handler in which a plurality of sockets are arranged in a straight line, in a transfer layout in which ICs are exchanged in the same direction as the arrangement direction, a reciprocating movement time corresponding to a pitch movement distance between transfer hands is involved, and supply and discharge are performed. There were limits to improving efficiency.

【0009】さらに、本発明による解決する課題は、搬
送ハンドを二つ、もしくはそれ以上具備した場合、IC
および、ICソケットの仕様変更時に、複数台の搬送ハ
ンドを一体化した構成では、ICを挿入するソケット位
置と、ICの供給または排出用の搬送機構、すなわちシ
ャトルの位置が必然的に拘束され、ICおよび、ICソ
ケット、ならびに、その位置を容易に変更修正すること
が出来なかった。
Further, the problem to be solved by the present invention is that when two or more transfer hands are provided, an IC
And, when the specification of the IC socket is changed, in a configuration in which a plurality of transfer hands are integrated, the position of the socket for inserting the IC and the transfer mechanism for supplying or discharging the IC, that is, the position of the shuttle, are necessarily restricted, The IC, the IC socket, and the position thereof could not be easily changed and corrected.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明においては、ICの吸着機構と押込機構、お
よび、これらを構成する機構部品を兼ね備えた搬送ハン
ドを複数台独立駆動させ、複数のソケットを一直線上に
配列し、且つ、配列方向に対し直交方向よりICを入れ
替える搬送レイアウトと、ICソケットにICを入れ替
え作業をしている搬送ハンドに待機中の搬送ハンドを可
能な限り隣接させ搬送時間および搬送距離を最短化する
ことで可能となる。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a plurality of IC hands are provided for independently driving an IC suction mechanism and a pushing mechanism, and a plurality of transfer hands each having a mechanical component constituting these mechanisms. The transfer layout in which the sockets are arranged in a straight line and the ICs are exchanged in a direction orthogonal to the arrangement direction, and the transfer hands that are waiting for the transfer hands that are replacing the ICs in the IC sockets are made as close as possible. This is possible by minimizing the transport time and transport distance.

【0011】さらに、ICおよびICソケットの仕様変
更時に伴うハンドラーの変更修正に対する課題に対して
も、前記同様、ICの吸着機構と押込機構、および、こ
れらを構成する機構部品を兼ね備えた搬送ハンドを複数
台独立駆動させることにより容易に可能となる。
[0011] Furthermore, as for the problem of changing the handler accompanying the change of the specifications of the IC and the IC socket, similarly to the above, an IC suction mechanism, a pushing mechanism, and a transfer hand having both mechanical components constituting these mechanisms are provided. This can be easily achieved by independently driving a plurality of units.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に基づき説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】図1は、本発明の実施例の構成と効果を示
す正面図であり、IC1の吸着機構と押込機構、およ
び、これらを構成する機構部品を兼ね備えた搬送ハンド
4a,4bを複数台独立駆動させた状態において、IC
1をICソケット3に入れ、IC1の検査測定作業をし
ている搬送ハンド4aに待機中の搬送ハンド4bを可能
な限り隣接させ、IC1の入れ替え作業、すなわちIC
1の搬送時間および搬送距離を最短化した図面である。
FIG. 1 is a front view showing the structure and effect of an embodiment of the present invention. A plurality of transfer hands 4a and 4b having both a suction mechanism and a pushing mechanism of the IC 1 and mechanical components constituting the same. When driven independently, the IC
1 is inserted into the IC socket 3, the transfer hand 4b in the standby state is made as close as possible to the transfer hand 4a performing the inspection and measurement work of the IC 1,
2 is a drawing in which the transfer time and the transfer distance of No. 1 are minimized.

【0014】図4は従来の技術を示す図であり、複数の
搬送ハンド4a,4bを一体化した構成によりIC1を
搬送させる手段である。
FIG. 4 is a diagram showing a conventional technique, and is a means for transporting the IC 1 by a configuration in which a plurality of transport hands 4a and 4b are integrated.

【0015】図5は、本発明の搬送レイアウトの平面図
であり、複数のICソケット3aを一直線上に配列さ
せ、且つ、配列方向に対し直交方向よりIC1aを入れ
替える手段である。
FIG. 5 is a plan view of a transport layout according to the present invention, which is a means for arranging a plurality of IC sockets 3a on a straight line and replacing ICs 1a in a direction orthogonal to the arrangement direction.

【0016】図6は、従来の搬送レイアウトの平面図で
あり、複数のICソケット3aを一直線上に配列させ、
配列方向と同方向よりIC1aを入れ替える手段であ
る。
FIG. 6 is a plan view of a conventional transport layout, in which a plurality of IC sockets 3a are arranged in a straight line.
This is a means for replacing the ICs 1a in the same direction as the arrangement direction.

【0017】本発明の作業の流れとして具体的動作順序
は、まず図2に示す本発明の実施例の構成と効果前を示
す正面図から始まる。IC1は、供給用の搬送機構2b
によってICソケット3付近に搬送される。前記搬送機
構は、例えば、シャトルと呼称され、直動軸受等が使用
されることが多い。図2において搬送機構2bによって
IC1は、例えば、奥側から手前側に搬送される。な
お、搬送機構2bを駆動させる例えばモータ等は、図に
記載されていない。
A concrete operation sequence as a work flow of the present invention starts with a front view of the embodiment of the present invention shown in FIG. IC1 is a transport mechanism 2b for supply.
Is transported to the vicinity of the IC socket 3. The transport mechanism is referred to as a shuttle, for example, and a linear motion bearing or the like is often used. In FIG. 2, the IC 1 is transported, for example, from the back side to the front side by the transport mechanism 2b. Note that, for example, a motor for driving the transport mechanism 2b is not shown in the drawing.

【0018】搬送ハンド4bおよび、搬送ハンド4bが
水平方向に移動する際のガイド部品6b、ならびに、搬
送ハンドが水平方向に移動する際のガイド部品を保持し
ている部品7bは、搬送ハンド4bを垂直方向に移動す
るための機構部品8bと、搬送ハンドを垂直方向に移動
するための駆動部品9bによって下降する。搬送ハンド
4bが水平方向に移動する際のガイド部品6bは、例え
ば、直動軸受等が使用されることが多い。また、搬送ハ
ンド4bを垂直方向に移動するための機構部品8bは、
例えば、ボールねじ等が使用されることが多い。さら
に、搬送ハンドを垂直方向に移動するための駆動部品9
bは、例えば、サーボモータが使用されることが多い
が、これら部品は一実施例であり限定はされない。
The transport hand 4b, the guide component 6b when the transport hand 4b moves in the horizontal direction, and the component 7b that holds the guide component when the transport hand moves in the horizontal direction, It is lowered by a mechanical component 8b for moving in the vertical direction and a driving component 9b for moving the transport hand in the vertical direction. For example, a linear motion bearing or the like is often used as the guide component 6b when the transport hand 4b moves in the horizontal direction. In addition, a mechanical component 8b for moving the transport hand 4b in the vertical direction includes:
For example, a ball screw or the like is often used. Further, a driving component 9 for moving the transport hand in the vertical direction.
For b, for example, a servomotor is often used, but these parts are one example and are not limited.

【0019】下降した搬送ハンド4bは、搬送ハンド4
bが具備するIC1の吸着機構によって吸着される。吸
着されたIC1は、図1に示すごとく搬送ハンド4bが
上昇するに伴い上昇され、搬送ハンド4bを水平方向に
移動するための機構部品 10bと、搬送ハンドを水平方向
に移動するための駆動部品11bによって、搬送ハンド
が水平方向に移動する際のガイド部品6bに従事されな
がらICソケット3上でIC1を押込み検査測定待ちを
している搬送ハンド4aに限りなく隣接するよう水平移
動される。前記、隣接する位置での待機が本発明のIC
1を入れ替える作業時間の短縮に大きく寄与される。な
お、搬送ハンドを水平方向に移動するための機構部品1
0bは、例えば、ボールねじ等が使用されることが多
く、搬送ハンドを水平方向に移動するための駆動部品1
1bは、例えば、サーボモータが使用されることが多い
が、これら部品は一実施例であり限定はされない。
The transport hand 4b that has descended is
It is adsorbed by the adsorbing mechanism of IC1 provided in b. The sucked IC 1 is raised as the transport hand 4b is raised as shown in FIG. 1, and a mechanical component 10b for moving the transport hand 4b in the horizontal direction and a driving component for moving the transport hand in the horizontal direction. 11b, the transfer hand is horizontally moved so as to be as close as possible to the transfer hand 4a waiting for inspection and measurement while pushing the IC 1 on the IC socket 3 while being engaged with the guide component 6b when the transfer hand moves in the horizontal direction. Waiting at an adjacent position is an IC of the present invention.
This greatly contributes to shortening of the work time for replacing 1. The mechanism component 1 for moving the transport hand in the horizontal direction
For example, a driving screw 1b for moving the transport hand in the horizontal direction is often used as a ball screw or the like.
For 1b, for example, a servomotor is often used, for example, but these components are one example and are not limited.

【0020】検査測定し終わったIC1を吸着する搬送
ハンド4aは、搬送ハンド4aを垂直方向に移動するた
めの機構部品8aと、搬送ハンドを垂直方向に移動する
ための駆動部品9aによって上昇する。搬送ハンド4a
を垂直方向に移動するための機構部品8aは、例えば、
ボールねじ等が使用されることが多い。さらに、搬送ハ
ンドを垂直方向に移動するための駆動部品9aは、例え
ば、サーボモータが使用されることが多いが、これら部
品は一実施例であり限定はされない。
The transport hand 4a for picking up the IC 1 after the inspection and measurement is lifted by a mechanical component 8a for vertically moving the transport hand 4a and a driving component 9a for vertically moving the transport hand. Transfer hand 4a
The mechanism component 8a for moving the in the vertical direction is, for example,
Ball screws and the like are often used. Further, for example, a servomotor is often used as the driving component 9a for moving the transport hand in the vertical direction, but these components are one embodiment and are not limited.

【0021】上昇した搬送ハンド4aは、図3に示すご
とく検査測定が終了したIC1を排出するために、水平
方向に移動するための機構部品10aと、搬送ハンドを
水平方向に移動するための駆動部品11aによって、搬
送ハンド4aが水平方向に移動する際のガイド部品6a
に従事されながら搬送機構2a上に移動する。そして、
搬送ハンド4aは下降し、IC1を離脱させ、搬送機構
2bと同様の搬送機構2aによってIC1は、例えば、
手前側から奥側に搬送される。なお、搬送機構2aを駆
動させる例えばモータ等は、図に記載されていない。
As shown in FIG. 3, the lifted transfer hand 4a has a mechanical part 10a for moving the transfer hand in the horizontal direction and a drive part for moving the transfer hand in the horizontal direction in order to discharge the IC1 which has been inspected and measured. The guide component 6a when the transport hand 4a moves in the horizontal direction by the component 11a
And moves on the transport mechanism 2a while being engaged in. And
The transport hand 4a descends to release the IC1, and the IC1 is moved by the transport mechanism 2a similar to the transport mechanism 2b, for example,
It is transported from the near side to the far side. Note that, for example, a motor for driving the transport mechanism 2a is not shown in the drawing.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明の効果は、前記ICハンドラーに
おいて、ICを挿入するソケット位置でのICの入れ替
え時間、すなわち供給排出の時間を極限まで短縮化する
有効な搬送方法および装置である。
According to the present invention, there is provided an effective transfer method and apparatus for minimizing the time required for exchanging ICs at the socket position where ICs are inserted, that is, the time required for supply and discharge, in the IC handler.

【0023】さらに、ICハンドラー以外の例えば試験
機、または、生産設備、においても最も効率を高める手
段として広く利用することが出来る。
Further, the present invention can be widely used as a means for maximizing efficiency even in, for example, a test machine or a production facility other than the IC handler.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例であるICハンドラーの搬送装
置を示す正面図。
FIG. 1 is a front view showing a transfer device of an IC handler according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例であるICハンドラーの搬送装
置を示す正面図。
FIG. 2 is a front view showing a transfer device of the IC handler according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例であるICハンドラーの搬送装
置を示す正面図。
FIG. 3 is a front view showing a transfer device of the IC handler according to the embodiment of the present invention.

【図4】従来技術であるICハンドラーの搬送装置を示
す正面図。
FIG. 4 is a front view showing a transfer device of a conventional IC handler.

【図5】本発明の搬送レイアウトの構成を示す平面図。FIG. 5 is a plan view showing the configuration of a transport layout according to the present invention.

【図6】従来技術の搬送レイアウトの構成を示す平面
図。
FIG. 6 is a plan view showing a configuration of a transport layout according to the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…IC、1a…IC、2a…搬送機構、2b…搬送機
構、3…ICソケット、3a…ICソケット、4a…搬
送ハンド、4aa…搬送ハンド、4b…搬送ハンド、4
ba…搬送ハンド、5a…ガイド部品(例えば、直動軸
受)、5b…ガイド部品(例えば、直動軸受)、6a…
ガイド部品(例えば、直動軸受)、6b…ガイド部品
(例えば、直動軸受)、7a…ガイド部品を保持してい
る部品、7b…ガイド部品を保持している部品、8a…
機構部品(例えば、ボールねじ)、8b…機構部品(例
えば、ボールねじ)、9a…駆動部品(例えば、サーボ
モータ)、9b…駆動部品(例えば、サーボモータ)、
10a…機構部品(例えば、ボールねじ)、10b…機
構部品(例えば、ボールねじ)、11a…駆動部品(例
えば、サーボモータ)、11b…駆動部品(例えば、サ
ーボモータ)、12…ハンドラ本体のベース面、13…
ハンドラ本体のベース面、14a…搬送ハンド4aa,
4baの動作、14b…搬送ハンド4aa,4baの動
作。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... IC, 1a ... IC, 2a ... Transport mechanism, 2b ... Transport mechanism, 3 ... IC socket, 3a ... IC socket, 4a ... Transport hand, 4aa ... Transport hand, 4b ... Transport hand, 4
ba: conveying hand, 5a: guide component (for example, linear bearing), 5b: guide component (for example, linear bearing), 6a ...
Guide parts (for example, linear bearings), 6b ... guide parts (for example, linear bearings), 7a ... parts holding guide parts, 7b ... parts holding guide parts, 8a ...
Mechanical parts (for example, ball screws), 8b ... mechanical parts (for example, ball screws), 9a ... drive parts (for example, servo motors), 9b ... drive parts (for example, servo motors),
10a ... mechanical component (for example, ball screw), 10b ... mechanical component (for example, ball screw), 11a ... drive component (for example, servo motor), 11b ... drive component (for example, servo motor), 12 ... base of the handler body Face, 13 ...
Base surface of the handler body, 14a ... Transfer hands 4aa,
4ba operation, 14b ... operation of the transport hands 4aa, 4ba.

フロントページの続き (72)発明者 矢部 鏡司 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 栗田 佳典 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 野村 佳勝 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 富田 雅志 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 2G003 AA07 AG01 AG10 AG11 AH04 3C007 DS06 FS01 FT01 NS17 3F061 AA04 CA01 CB01 DB06 Continued on the front page (72) Inventor Kazushi Yabe 390 Muramatsu, Shimizu-shi, Shizuoka Prefecture Inside Hitachi Shimizu Engineering Co., Ltd. (72) Yoshinori Kurita 390 Muramatsu, Shimizu-shi, Shizuoka Prefecture Inside Hitachi Shimizu Engineering Co., Ltd. 72) Inventor Yoshikatsu Nomura 390 Muramatsu, Shimizu-shi, Shizuoka Prefecture Inside Hitachi Shimizu Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Masashi 390 Muramatsu, Shimizu-shi, Shizuoka Prefecture F-term in Hitachi Shimizu Engineering Co., Ltd. (Reference) 2G003 AA07 AG01 AG10 AG11 AH04 3C007 DS06 FS01 FT01 NS17 3F061 AA04 CA01 CB01 DB06

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ICを最短時間で所定位置のソケットに入
れ替える手段として、ICの吸着機構と押込機構、およ
び、これらを構成する機構部品を兼ね備えた搬送ハンド
を複数台独立させて駆動させ、且つ待機させることを特
徴とする水平搬送型ICハンドラーの搬送方法。
As means for replacing an IC with a socket at a predetermined position in the shortest time, a plurality of IC pick-up mechanisms and push-in mechanisms, and a plurality of transport hands each having a mechanical component constituting them are independently driven, and A method of transporting a horizontal transport type IC handler, wherein the transport is performed by waiting.
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