JP2002142438A - Ｘｙｚテーブル - Google Patents

Ｘｙｚテーブル

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JP2002142438A JP2000340365A JP2000340365A JP2002142438A JP 2002142438 A JP2002142438 A JP 2002142438A JP 2000340365 A JP2000340365 A JP 2000340365A JP 2000340365 A JP2000340365 A JP 2000340365A JP 2002142438 A JP2002142438 A JP 2002142438A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のリニアモータ付ＸＹＺテーブルは、漏れ
磁束支持機構の負担の課題がある。 【解決手段】電機子の一方の磁極に磁気的に結合され、
該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第１段及び第２
段に分けて配列した一方の磁極歯列と、可動子の他方の
磁極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略
垂直方向に第１段及び第２段に分けて配列した他方の磁
極配列とを有し、該一方に設けた磁極配列の第１段の磁
極歯と該他方に設けた磁極歯列の第１段の磁極歯が該可
動子の移動方向に対して交互に配置され、該一方に設け
た磁極配列の第２段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列
の第２段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に
配置され、該一方及び該他方の第１段の磁極歯列と該一
方及び該他方に設けた第２段の磁極歯列の間に該可動子
が配列されたリニアモータを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＸＹＺテーブル等
に関し、特に、半導体製造用ステッパ，工作機械、その
他の露光装置におけるマスクの位置合わせ等に使用され
るＸＹＺテーブル等に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸＹＺテーブルにおいて、前記リ
ニアモータを用いる場合、回転機を切り開いて直線駆動
する構造のリニアモータが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＸＹＺテーブルにおい
て、従来の技術に記載のリニアモータは、電機子と可動
子間には漏れ磁束も多く、さらに、電機子と可動子の間
に磁気吸引力が一方方向に働くため、可動子の支持機構
に大きな負担がかかり、構造に歪みが生じる等の課題が
ある。
【０００４】本発明の一の目的は、電機子と可動子間を
通る磁束の漏れを少なくして、電機子と可動子間に生ず
る磁気吸引力を小さくしたＸＹＺテーブルを提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴の一つは、
ベース，複数の直線案内装置，ステージ，Ｘ軸駆動リニ
アモータ，Ｙ軸駆動リニアモータとＺ軸駆動リニアモー
タを設けたＸＹＺテーブルにある。前記リニアモータは
電機子と相対的に移動可能な可動子からなるリニアモー
タであることが望ましい。また、前記リニアモータは更
に前記電機子の一方の磁極に磁気的に結合され、該可動
子の移動方向に対し略垂直方向に第１段及び第２段に分
けて配列した一方の磁極歯列と、前記可動子の他方の磁
極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂
直方向に第１段及び第２段に分けて配列した他方の磁極
配列とを有し、該一方に設けた磁極配列の第１段の磁極
歯と該他方に設けた磁極歯列の第１段の磁極歯が該可動
子の移動方向に対して交互に配置され、該一方に設けた
磁極配列の第２段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の
第２段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に配
置され、該一方及び該他方の第１段の磁極歯列と該一方
及び該他方に設けた第２段の磁極歯列の間に該可動子が
配列されたリニアモータを構成することが望ましい。本
発明の上記特徴及びその他の特徴は、以下で説明され
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。
【０００７】図１は、本発明の一実施形態であるＸＹＺ
テーブルの基本構成図である。
【０００８】図１において、１０１はベースであり、１
０２は直線案内装置のレール、103はステージ、３Ｘは
Ｘ軸駆動リニアモータの電機子、３ＹはＹ軸駆動リニア
モータの電機子、３ＺはＺ軸駆動リニアモータの電機
子、６Ｘ，６Ｙ，６Ｚは各々軸の可動子を示し、１０８
はアーム、等で構成されたリニアモータ付ＸＹＺテーブ
ルである。３Ｘは、Ｘ１とＸ２の部分を有する。３Ｙは
Ｙ１とＹ２の部分を有する。３ＺはＺ１，Ｚ２の部分を
有する。
【０００９】また、ベース１０１とステージ１０３との
間は空気浮上、又は磁気浮上で滑らかな移動を可能にす
る。ベース１０１上のＸ軸，Ｙ軸移動可能な部分をＸＹ
テーブルとみなすことができる。
【００１０】図２は本発明の実施形態のＸＹＺテーブル
に用いる軸駆動用のリニアモータの一例の概略を示す。
【００１１】図２において、該リニアモータは電機子３
と相対的に移動可能な可動子６からなるリニアモータで
あって、該リニアモータは更に前記電機子の一方の磁極
１に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂
直方向に第１段及び第２段に分けて配列した一方の磁極
歯列を持つ。
【００１２】また、前記可動子の他方の磁極２に磁気的
に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第
１段及び第２段に分けて配列した他方の磁極配列とを有
し、該一方に設けた磁極配列の第１段の磁極歯と該他方
に設けた磁極歯列の第１段の磁極歯が該可動子の移動方
向に対して交互に配置され、該一方に設けた磁極配列の
第２段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の第２段の磁
極歯が該可動子の移動方向に対して交互に配置され、該
一方及び該他方の第１段の磁極歯列と該一方及び該他方
に設けた第２段の磁極歯列の間に該可動子が配列された
リニアモータである。
【００１３】ここで、電機子の上部磁極歯１１ａと下部
磁極歯２１ｂを第一の対向部と定義し、下部磁極歯１２
ｂと上部磁極歯２２ａを第二の対向部と定義する。よっ
て、（２ｎ−１）番目の鉄心は第一の対向部、（２ｎ）
番目の鉄心は第二の対向部になるように電機子を構成す
る（但し、ｎ＝１，２，３，……）。
【００１４】また、電機子３には一つの巻線４が収納さ
れる。前記可動子６は前記第一の対向部に挟持され、か
つ、前記可動子が前記第二の対向部に挟持され、前記電
機子とは相対移動することを特徴とするリニアモータで
ある。ここに、前記電機子３は鉄心，永久磁石，巻線４
などからなり、前記可動子６は永久磁石，磁性体，巻線
の単種類、又は複数種類材料の組み合わせにより構成し
ても良い。
【００１５】図３に、本実施形態のリニアモータの磁束
が流れる概念と積層鋼板による組み立てられた概略図を
示す。図２のような構成にすれば、図３（ａ）に示すよ
うに本実施形態のリニアモータ各対向部の上部磁極歯１
１ａ又は２２ａと下部磁極歯２１ｂ又は１２ｂの間のギ
ャップには磁束が上部と下部の磁極歯間を交番して上下
に流れる電機子を形成し、ギャップを通して可動子が相
対移動する構造になる。
【００１６】また、本実施形態のリニアモータでは、可
動子６と上部磁極歯に働く吸引力と可動子６と下部磁極
歯に働く吸引力の大きさはほぼ同じであり、かつ、吸引
力が働く方向は反対であるので、全体の吸引力は小さく
なる。このため、可動子６と電機子３の磁極歯間の吸引
力を小さくすることができ、支持機構の負担を小さくで
きる。
【００１７】図３（ｂ）において、電機子３は積層鋼板
からなり、前記第一の対向部と第二の対向部が交互に複
数個配置された構造である。また、前記電機子の巻線が
配置される鉄心部（図２の鉄心５に相当。）と前記可動
子が挟持される対向部を有する磁極部(上部磁極歯１１
ａ又は２２ａ，下部磁極歯１２ｂ又は２１ｂに相当。)
を積層鋼板により分割製作して組み立てることが可能で
ある。
【００１８】図４は、図３（ｂ）で示した積層鋼板で構
成された電機子をモールドしたイメージを示す。
【００１９】電機子３には直線案内装置のスライダー１
１０と一体化して、スライド溝111には直線案内装置の
レール１０２が挟まれて案内支持されることになる。
【００２０】図５，図６は本実施形態のリニアモータを
用いた制御ブロック図を示す。
【００２１】図５（ａ）は前記電機子と前記可動子から
なるリニアモータ （Motor）と前記電機子と前記可動子
の相対的な変位と磁極を検出するセンサ（図示せず）と
その信号 (Signals)をフィードバックする制御部(Contr
oller)とパワードライブ部(DriverとPower Source)から
なるクローズループ制御システムを構成するブロック図
を示す。
【００２２】図５（ｂ）は前記電機子と前記可動子から
なるリニアモータ （Motor）と制御部(Controller)とパ
ワードライブ部(DriverとPower Source)からなるオープ
ンループ制御システムを構成する他のブロック図例を示
す。
【００２３】図６（ａ）は、前記電機子と前記可動子か
らなるリニアモータ（Motor ）と、電圧センサと、制御
部(Controller)と、パワードライブ部 (DriverとPowerS
ource) からなる磁極センサレス制御システムを構成す
る他のブロック図例を示す。本実施例においては、電圧
センサを用いてリニアモータが発生する誘起電圧（Eo）
を制御部内に読み込んでいる。制御器内では、誘起電圧
の大きさから磁極位置を推定し、リニアモータを駆動す
る信号をパワードライブ部へ出力する。本構成の制御シ
ステムでは、磁極位置センサをリニアモータ部に取り付
けることなく、安定に（脱調することなく）リニアモー
タを駆動できるようになる。
【００２４】図６（ｂ）は、前記電機子と前記可動子か
らなるリニアモータ （Motor）と、電流センサと、制御
部(Controller)と、パワードライブ部(DriverとPowerSo
urce) からなる磁極センサレス制御システムを構成する
他のブロック図例を示す。本実施例においては、電流セ
ンサを用いてリニアモータに流れる電流（Ｉ）を制御部
内に読み込んでいる。制御器内では、リニアモータに印
加している電圧と検出電流値から、リニアモータの誘起
電圧を演算し、磁極位置を推定演算する。本構成の制御
システムでは、磁極位置センサをリニアモータ部に取り
付けることなく、安定に（脱調することなく）リニアモ
ータを駆動できるようになる。
【００２５】図７は図１に示したベース１０１上のＸＹ
テーブル部の詳細図である。前記ベース１０１に前記直
線案内装置のレール１０２を東西南北の４箇所に配置
し、前記レールに案内され自由自在に移動するスライダ
１１０と前記電機子の相対進行方向とは直角になるよう
に一体化させ、前記可動子は十字形になるようにして前
記ステージと連結し、一方の東西方向に配置された該電
機子はＸ軸駆動リニアモータ、他方の南北方向に配置さ
れた該可動子はＹ軸駆動リニアモータとして駆動される
ことを特徴とするリニアモータ付ＸＹテーブルである。
【００２６】本実施形態に用いるリニアモータは、電機
子３Ｘ１（３ＸのうちＸ１の部分）と３Ｘ２（３Ｘのう
ちＸ２の部分）が一組になってＸ軸駆動リニアモータの
電機子を構成するが、Ｙ軸，Ｚ軸も同じ原理である。
【００２７】図７において、一般的には、電機子３Ｘ１
の磁極歯と電機子３Ｘ２の磁極歯間のピッチが（ｋ・Ｐ
＋Ｐ／Ｍ）｛（ｋ＝０，１，２，…），（Ｍ＝２，３，
４，…）｝になるように電機子３Ｘ１と電機子３Ｘ２を
直列に並べる。ここで、Ｐは極ピッチ（極ピッチＰは電
機子磁極ピッチＰｓ又は可動子極ピッチＰｍどちらかを
選ぶ）、Ｍはモータの相数を表わす。可動子６には隣り
合う磁極が異極になるように永久磁石を複数個配置す
る。
【００２８】図７において、電機子３Ｘ１の磁極歯と電
機子３Ｘ２の磁極歯間のピッチが｛（ｋ・Ｐ；ｋ＝０，
１，２，…）｝になるように電機子３Ｘ１と電機子３Ｘ
２を直列に並べて、可動子６Ｘ１（６ＸのうちＸ１の部
分）と可動子６Ｘ２（６ＸのうちＸ２の部分）との磁極
中心が（ｋ・Ｐ＋Ｐ／Ｍ）になるように永久磁石を複数
個配置しても良い。
【００２９】言い替えると、可動子６Ｘ１と可動子６Ｘ
２は、（ｋ・Ｐ＋Ｐ／Ｍ）ピッチだけずらせて一体化す
る。相対的に、可動子６Ｘ１と可動子６Ｘ２は揃えて電
機子３Ｘ１と電機子３Ｘ２の中心間を（ｋ・Ｐ＋Ｐ／
Ｍ）ピッチだけずらせても良い。
【００３０】電機子３Ｘ１と電機子３Ｘ２の巻線４を交
互に移動磁界が発生するように励磁すると、上部磁極面
と下部磁極面の間ギャップ８には極ピッチ毎に反対方向
に磁束が流れ、移動に必須なＰ／２によって推力が発生
し、可動子６が相対移動し、該可動子に連結されたステ
ージ１０３が自由自在に移動する。
【００３１】図７において、可動子６には強磁性体と非
磁性体を組み合わせても良いし、永久磁石を兼用しても
良い。また、可動子６には永久磁石の変わりに移動磁界
が発生する巻線を巻いて、電機子３に界磁電流を流せ
ば、相対的に自由自在に移動するリニアモータになる。
【００３２】ここで、図７では、電機子を２個直列に並
べることについて説明したが、電機子を複数個直列に並
べて構成することもできる。同じく、電機子を２個並列
に並べ、２個の可動子を一体化したり、電機子を複数個
並列に並べ、複数個の可動子を一体化してもよい。
【００３３】なお、本発明の実施形態として、２相リニ
アモータについて説明したが、３相，４相，５相等の多
相リニアモータとして利用することができる。
【００３４】図８，図９，図１０は、本発明における他
の実施例のＸＹテーブルを示す。
【００３５】図８は、図７に示す電機子３Ｘ１と３Ｘ２
を片側の一個所に集めて構成した他の実施例である。前
記ベース１０１に前記直線案内装置のレール１０２をＸ
Ｙ軸が直交するように配置し、前記レール１０２に案内
され自由自在に移動するスライダーと電機子の相対進行
方向とは直角なるように一体化させ、前記可動子６Ｘと
６ＹはＬ字形になるように前記ステージ１０３と連結
し、一方の東西方向に配置された電機子３ＸはＸ軸駆動
リニアモータ、他方の南北方向に配置された電機子３Ｙ
はＹ軸駆動リニアモータとして駆動されることを特徴と
するリニアモータ付ＸＹテーブルである。このように、
リニアモータをまとめることもできるため、配置の自由
度が向上する。また、リニアモータの数を減らすことも
できる。
【００３６】図９は、前記ベースに前記直線案内装置の
レール１０２を東西南北の４箇所に配置し、前記可動子
６Ｘと６Ｙは十字形になるように空隙を保ちながら重ね
て配置しそれらの両端には前記レール１０２に案内され
自由自在に移動するスライダー１１０と可動子の相対進
行方向とは直角になるように連結され、前記複数の電機
子は前記直線案内装置らの内側に集めて前記ステージ１
０３と一体化して形成され、一方の東西方向に配置され
た該電機子３ＸはＸ軸駆動リニアモータ、他方の南北方
向に配置された該電機子３ＹはＹ軸駆動リニアモータと
して駆動されることを特徴としたＸＹテーブルである。
リニアモータをステージ部分にまとめることにより、配
線構造をより簡略化できる。
【００３７】図１０は、ＸＹテーブル，工具(Tool)を具
備したＺ軸直線案内装置のそれぞれに傾きθ駆動の機能
を持たせたことを特徴とするリニアモータ付ＸＹＺテー
ブルである。これにより、工具の加工の自由度が高くな
る。工具の代わりに、印刷装置，顕微鏡等の観察装置を
付加することも可能である。
【００３８】更に、前記ＸＹテーブルと前記ベースの双
方の中央部には貫通孔が設けられることで、長い物をス
テージに載せることが可能である。これにより、取扱う
対象物の範囲を広げることができる。
【００３９】以上説明したように、本発明の実施形態に
よれば、リニアモータは有効磁束の磁気回路の磁路が短
くなり、磁極歯の漏れ磁束を少なくすることができるの
で効率が向上する。また、本実施形態のリニアモータで
は、可動子６と上部磁極歯に働く吸引力と可動子６と下
部磁極歯に働く吸引力の大きさは同じであり、かつ、吸
引力が働く方向は反対であるので、全体の吸引力は小さ
くなる。このため、可動子６と電機子３の磁極歯間の吸
引力を小さくすることができ、支持機構の負担を小さく
できるので耐久性が向上する。更に、部品点数が少な
く、ＸＹテーブルの薄型化も可能である。また、以上に
よればこれらのＸＹＺデーブル又は、ＸＹデーブルを有
する半導体製造用ステッパ，工作機械，露光装置等を提
供できる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、効率がよく、耐久性の
高いＸＹ又はＸＹＺテーブルが提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるリニアモータ付ＸＹ
Ｚテーブルの基本構成図。
【図２】本発明に用いるリニアモータの概略図。
【図３】図２のリニアモータの磁束流れの概念図と分割
コア組み立て図。
【図４】図２のリニアモータのモールド化した概略とス
ライダーの一体図。
【図５】本実施形態のリニアモータを用いた制御ブロッ
ク図。
【図６】本実施形態のリニアモータを用いた他の制御ブ
ロック図。
【図７】本実施形態のリニアモータ付ＸＹテーブル。
【図８】本発明の他の実施形態によるリニアモータ付Ｘ
Ｙテーブル。
【図９】本発明の他の実施形態によるリニアモータ付Ｘ
Ｙテーブル。
【図１０】本発明の他の実施形態によるリニアモータ付
ＸＹＺテーブル。
【符号の説明】
１…磁極、１１ａ…磁極１の上部磁極歯、１２ｂ…磁極
１の下部磁極歯、２…磁極、２１ｂ…磁極２の下部磁極
歯、２２ａ…磁極２の上部磁極歯、３…電機子、４…巻
線（電機子側）、５…鉄心、６…可動子、１０１…ベー
ス、１０２…レール、１０３…ステージ。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｐ 7/00 １０１ Ｈ０２Ｐ 7/00 １０１Ｂ 7/67 7/67 Ｄ (72)発明者 清野 博光 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Ｆターム(参考） 2F078 CA08 CB09 CB10 CB12 CB13 CC16 CC18 5F031 HA53 KA06 LA08 5H540 AA06 AA10 BA03 BB02 BB07 BB08 FA02 FA06 FC02 FC03 5H572 AA20 BB02 DD10 EE03 HC09 LL22 LL24 LL31 5H641 BB06 BB15 BB16 BB18 GG03 GG04 GG06 GG12 GG24 GG26 HH02 HH12 JA02 JA06 JA07 JA09

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ベース，複数の直線案内装置，ステージ，
    Ｘ軸駆動リニアモータ，Ｙ軸駆動リニアモータとＺ軸駆
    動リニアモータを設けたリニアモータ付ＸＹＺテーブル
    において、該リニアモータは電機子と相対的に移動可能
    な可動子からなるリニアモータであって、該リニアモー
    タは更に前記電機子の一方の磁極に磁気的に結合され、
    該可動子の移動方向に対し略垂直方向に第１段及び第２
    段に分けて配列した一方の磁極歯列と、前記可動子の他
    方の磁極に磁気的に結合され、該可動子の移動方向に対
    し略垂直方向に第１段及び第２段に分けて配列した他方
    の磁極配列とを有し、該一方に設けた磁極配列の第１段
    の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列の第１段の磁極歯が
    該可動子の移動方向に対して交互に配置され、該一方に
    設けた磁極配列の第２段の磁極歯と該他方に設けた磁極
    歯列の第２段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交
    互に配置され、該一方及び該他方の第１段の磁極歯列と
    該一方及び該他方に設けた第２段の磁極歯列の間に該可
    動子が配列されたリニアモータを用いることを特徴とす
    るＸＹＺテーブル。
  2. 【請求項２】請求項１において、前記ベースに前記直線
    案内装置のレールを東西南北の４箇所に配置し、前記レ
    ールに案内され自由自在に移動するスライダと前記電機
    子の相対進行方向とは直角になるように一体化させ、前
    記可動子は十字形になるようにして前記ステージと連結
    し、一方の東西方向に配置された該電機子はＸ軸駆動リ
    ニアモータ、他方の南北方向に配置された該可動子はＹ
    軸駆動リニアモータとして駆動されることを特徴とする
    ＸＹテーブル。
  3. 【請求項３】請求項１において、前記ベースに前記直線
    案内装置のレールを東西南北の４箇所に配置し、前記可
    動子は十字形になるように空隙を保ちながら重ねて配置
    しそれらの両端には前記レールに案内され自由自在に移
    動するスライダと可動子の相対進行方向とは直角になる
    ように連結され、前記複数の電機子は前記直線案内装置
    らの内側に集めて前記ステージと一体化して形成され、
    一方の東西方向に配置された該電機子はＸ軸駆動リニア
    モータ、他方の南北方向に配置された該電機子はＹ軸駆
    動リニアモータとして駆動されることを特徴とするＸＹ
    テーブル。
  4. 【請求項４】請求項１において、前記ベースに前記直線
    案内装置のレールをＸＹ軸が直交するように配置し、前
    記レールに案内され自由自在に移動するスライダと電機
    子の相対進行方向とは直角なるように一体化させ、前記
    可動子はＬ字形になるように前記ステージと連結し、一
    方の東西方向に配置された電機子はＸ軸駆動リニアモー
    タ、他方の南北方向に配置された電機子はＹ軸駆動リニ
    アモータとして駆動されることを特徴とするＸＹテーブ
    ル。
  5. 【請求項５】請求項１〜４のいずれにおいて、ＸＹテー
    ブル，Ｚ軸直線案内装置のそれぞれに傾きθ駆動の機能
    を持たせたことを特徴とするＸＹＺテーブル。
  6. 【請求項６】請求項１〜４のいずれにおいて、各々の直
    線案内装置を独立して前記ベースに配置するか、又は一
    方軸直線案内装置の上に他方軸直線案内装置を上乗せて
    前記リニアモータを用いることを特徴とするＸＹテーブ
    ル。
  7. 【請求項７】請求項１から請求項６のいずれかにおい
    て、前記リニアモータと前記電機子と前記可動子の相対
    的な変位と磁極を検出するセンサとその信号をフィード
    バックする制御部とパワードライブ部からなるクローズ
    ループ制御システムを構成することを特徴とするＸＹＺ
    テーブル。
  8. 【請求項８】請求項１から請求項６のいずれかにおい
    て、前記リニアモータと制御部とパワードライブ部から
    なるオープンループ制御システムを構成することを特徴
    とするＸＹＺテーブル。
  9. 【請求項９】請求項１から請求項６のいずれかにおい
    て、前記リニアモータと、パワードライブ部と、前記リ
    ニアモータの誘起電圧を検出し、該電圧検出値に基づい
    て、前記電機子と可動子の相対的な磁極位置を推定する
    手段を含む制御部からなる制御システムを構成すること
    を特徴とするＸＹＺテーブル。
  10. 【請求項１０】請求項１から請求項６のいずれかにおい
    て、前記リニアモータと、パワードライブ部と、前記リ
    ニアモータに流れる電流を検出し、該電流検出値に基づ
    いて、前記電機子と可動子の相対的な磁極位置を推定す
    る手段を含む制御部からなる制御システムを構成するこ
    とを特徴とするＸＹＺテーブル。
  11. 【請求項１１】請求項１から請求項１０において、前記
    同軸駆動リニアモータの前記電機子を複数個並べ、極ピ
    ッチをＰとするとき、隣り合う前記電機子の磁極歯との
    ピッチを（ｋ・Ｐ＋Ｐ／Ｍ）｛（ｋ＝０，１，２，
    …），（Ｍ＝２，３，４，…）｝｛ここに、ｋは隣り合
    う電機子の配置可能範囲で自由に選べる数、Ｍはモータ
    の相数｝とすることを特徴とするリニアモータ。
  12. 【請求項１２】請求項１から請求項１１のいずれかにお
    いて、前記ＸＹテーブルと前記ベースの双方の中央部に
    は貫通孔が設けられることを特徴とするＸＹテーブル。
  13. 【請求項１３】請求項１乃至請求項１２のいずれかにお
    いて、前記ベースと前記ステージの間には圧縮空気浮
    上、又は磁気浮上機能を持たせたことを特徴とするＸＹ
    Ｚテーブル。
  14. 【請求項１４】請求項１乃至請求項１３のいずれか記載
    のＸＹテーブル又はＸＹＺテーブルを有する半導体製造
    用ステッパ，工作機械又は露光装置。
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