CN101339914B - 二维电动位移平台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种二维电动位移平台，该位移平台的Y向马达固定于基台上，Y向动台置于基台的Y向导轨上，Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接；X向动台置于Y向动台的X向导轨上；X向马达固定于基台上；X向过渡台置于基台的X向导轨上，X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接；Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上；连动杆一端与X向动台固定连接，另一端与Y向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上，使得运动部件质量得到大幅降低，在马达驱动力矩不变的情况下，实现了大加速度，从而提高了平台的位移速度。

Description

二维电动位移平台
技术领域
本发明涉及一种二维电动位移平台。
背景技术
传统的二维电动位移平台(见图一)包括基台，Y向动台，Y向马达，X向动台，X向马达，X向平台和Y向平台通常采用叠加组合方式，即X向平台加在Y向平台之上，X向马达与Y向动台的一端固定连接。这种二维电动位移平台，当Y向动台在Y向导轨上作往复运动时，输出位移的运动部件(包括X向动台、X向马达、X向驱动杆、Y向动台)质量太大——惯量大，获得大加速度很困难，仅仅实现了位移要求，而在光电仪器尤其是微电子设备中，对其速度要求特别快，简单叠加组合方式的平台达不到快速高效的效果。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种惯量小、位移速度快的二维电动位移平台。
为了解决上述技术问题，本发明的二维电动位移平台包括基台，Y向马达，Y向驱动杆，Y向动台，X向马达，X向驱动杆，X向动台，X向过渡台，Y向过渡台，连动杆；Y向马达固定于基台上，Y向动台置于基台的Y向导轨上，Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接；X向动台置于Y向动台的X向导轨上；X向马达固定于基台上；X向过渡台置于基台的X向导轨上，X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接；Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上；连动杆的一端与X向动台固定连接，另一端与Y向过渡台固定连接。
Y向马达通过Y向驱动杆带动Y向动台在Y向导轨上往复运动，Y向过渡台在X向过渡台上作Y向往复移动，此时X向动台、连动杆随Y向动台及Y向过渡台同时作Y向往复移动。X向马达通过X向驱动杆带动X向过渡台在基台的X向导轨上作往复移动，Y向过渡台随X向过渡台移动，同时X向动台及连动杆在Y向动台的X向导轨上作往复移动。
由于X向马达置于基台之上，使得运动部件(包括X向动台、X向过渡台、Y向过渡台、连动杆)质量得到大幅降低，在马达驱动力矩不变的情况下，实现了大加速度，从而提高了位移速度。
附图说明：
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
图1为现有技术的二维电动位移平台的立体示意图
图2为本发明的二维电动位移平台的立体示意图
具体实施方式：
如图1所示，现有技术的二维电动位移平台包括基台1，Y向马达2，Y向驱动杆3，Y向动台4，X向马达5，X向驱动杆6，X向动台7；Y向马达2固定于基台1上，Y向动台4置于基台1的Y向导轨上，Y向马达2通过Y向驱动杆3与Y向动台4连接；X向马达5与Y向动台4的一端固定连接，X向动台7置于Y向动台4的X向导轨上，X向马达5通过X向驱动杆6与X向动台7连接。
如图2所示，本发明的二维电动位移平台包括基台1，Y向马达2，Y向驱动杆3，Y向动台4，X向马达5，X向驱动杆6，X向动台7，X向过渡台8，Y向过渡台9，连动杆10；Y向马达2固定于基台1上，Y向动台4置于基台1的Y向导轨上，Y向马达2通过Y向驱动杆3与Y向动台4连接，X向动台7置于Y向动台4的X向导轨上；X向马达5固定于基台1上；X向过渡台8置于基台1的X向导轨上，X向马达5通过X向驱动杆6与X向过渡台8连接；Y向过渡台9置于X向过渡台8的Y向导轨上；连动杆10的一端与X向动台7连接为一体，另一端与Y向过渡台9连接为一体或通过焊接、螺钉连接等方式固定连接在一起。

Claims (1)

1.一种二维电动位移平台，包括基台，Y向马达，Y向驱动杆，Y向动台，X向马达，X向驱动杆，X向动台，其特征在于还包括X向过渡台(8)，Y向过渡台(9)，连动杆(10)；X向马达(5)固定于基台(1)上；X向过渡台(8)置于基台(1)的X向导轨上，X向马达(5)通过X向驱动杆(6)与X向过渡台(8)连接；Y向过渡台(9)置于X向过渡台(8)的Y向导轨上；连动杆(10)的一端与X向动台(7)固定连接，另一端与Y向过渡台(9)固定连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN1606822A (zh) * 2000-11-02 2005-04-13 株式会社日立制作所 Xyz轴台板
CN101093813A (zh) * 2006-06-19 2007-12-26 住友重机械工业株式会社 载台装置

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Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: ChangChun GuangHua Micro-electronics Eguipment Engineering Center Co., Ltd.

Assignor: Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sci

Contract record no.: 2011220000051

Denomination of invention: Two-dimensional electricity driving displacement platform

Granted publication date: 20100616

License type: Exclusive License

Open date: 20090107

Record date: 20111009

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CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100616

Termination date: 20170827