JP2002139462A - X-ray diffraction device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線回折装置に関
し、特に試料の固定に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray diffractometer, and more particularly to fixing a sample.
【０００２】[0002]
【従来の技術】Ｘ線回折装置では、Ｘ線源から発せられ
たＸ線を試料の分析位置に照射し、該分析位置で回折さ
れたＸ線を検出器で検出する。この分析位置に対するＸ
線源と検出器のそれぞれの入射角を等しくする機構とし
て水平ゴニオメータ等の機構が用いられている。通常、
試料は、試料取付け部上において、水平ゴニオメータの
ゴニオメータ中心軸の位置に機械的に固定している。ま
た、Ｘ線回折装置において、水平ゴニオメータに対する
試料の位置を調整するために、試料取付け部の下方にＲ
−θステージ等のステージ機構を設け、このステージ機
構によって試料を直線方向及び回転方向に移動させるも
のがある。従来、試料を試料取付け部上に固定するに
は、試料取付け部にネジ止めされた押え板や板ばねや等
の固定材を用い、試料をこの押え板や板ばねによって試
料取付け部面に対して押えることによって行っている。2. Description of the Related Art In an X-ray diffractometer, an X-ray emitted from an X-ray source is irradiated to an analysis position of a sample, and the X-ray diffracted at the analysis position is detected by a detector. X for this analysis position
A mechanism such as a horizontal goniometer is used as a mechanism for equalizing the incident angles of the radiation source and the detector. Normal,
The sample is mechanically fixed on the sample mounting portion at the position of the center axis of the goniometer of the horizontal goniometer. Further, in the X-ray diffraction apparatus, in order to adjust the position of the sample with respect to the horizontal goniometer, R
A stage mechanism such as a −θ stage is provided, and the stage mechanism moves a sample in a linear direction and a rotating direction. Conventionally, to fix a sample on the sample mounting part, a fixing material such as a holding plate or a leaf spring screwed to the sample mounting part is used, and the sample is held against the surface of the sample mounting part by the holding plate or the leaf spring. It is done by holding down.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のＸ線回折装置で
は、試料の試料取付け部に対する固定の点で問題があ
る。従来のＸ線回折装置では、押え板やばね材等の固定
材によって試料を上方から押えることにより試料を試料
取付け部に固定しており、通常、この押え板やばね材
は、試料取付け部に対して所定位置にネジ止めされてい
る。従来の押え板やばね材による固定では、押え板やば
ね材の設定位置や大きさによって固定できる試料に制限
があり、試料の形状によっては押え板やばね材の設定位
置に位置合わせすることができない場合、あるいは厚い
試料については押え板やばね材で押えることができない
といった場合が生じ、試料を試料取付け部上に固定する
ことができないという問題がある。The conventional X-ray diffractometer has a problem in fixing a sample to a sample mounting portion. In the conventional X-ray diffractometer, the sample is fixed to the sample mounting portion by pressing the sample from above with a fixing member such as a holding plate or a spring material. Usually, the holding plate or the spring material is attached to the sample mounting portion. On the other hand, it is screwed at a predetermined position. In the conventional fixing with a holding plate or spring material, there are limitations on the sample that can be fixed depending on the setting position and size of the holding plate or spring material, and depending on the shape of the sample, it may be possible to adjust the position to the setting position of the holding plate or spring material. In some cases, it may not be possible to hold a thick sample with a holding plate or a spring material, so that the sample cannot be fixed on the sample mounting portion.
【０００４】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決し、Ｘ線回折装置において、試料の形状や厚みに係
わらず、任意の形状や厚みの試料を固定することを目的
とする。[0004] Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to fix a sample having an arbitrary shape and thickness in an X-ray diffraction apparatus regardless of the shape and thickness of the sample.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、試料の固定を
試料を上方から押えることに代えて試料を横方向から押
えることによって、試料の形状や厚みに係わらず、任意
の形状や厚みの試料を固定する。本発明のＸ線回折装置
の一態様は、試料を支持する試料取付け部と、試料取付
け部に対して移動及び固定可能な固定部を有し、固定部
は試料の側部と当接状態で固定する構成を備えるもので
ある。固定部は、試料の側部と当接し、この当接状態で
試料取付け部に対して固定することによって、試料を試
料取付け部上で固定する。固定部は、試料の側部と当接
することによって、試料の形状や厚みに係わらず固定す
ることができる。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, by fixing a sample from the lateral direction instead of pressing the sample from above, the sample is fixed to an arbitrary shape or thickness regardless of the shape or thickness of the sample. Fix the sample. One embodiment of the X-ray diffraction apparatus of the present invention has a sample mounting portion that supports a sample, and a fixed portion that can be moved and fixed with respect to the sample mounting portion, and the fixed portion is in contact with a side portion of the sample. It has a configuration for fixing. The fixing portion is in contact with the side portion of the sample, and is fixed to the sample mounting portion in this contact state, thereby fixing the sample on the sample mounting portion. The fixing portion can be fixed irrespective of the shape and thickness of the sample by contacting the side portion of the sample.
【０００６】固定部は、試料の側部と当接する位置決め
ピン、及びこの位置決めピンを試料取付け部に形成した
溝部に沿って移動及び固定可能とするブロックで構成す
ることができ、ブロックを試料取付け部の溝部に対する
固定は、固定ネジで行うことができる。試料を試料取付
け部上で固定するには、固定ネジを弛めてブロックを溝
部に対して移動可能な状態とし、該ブロックを溝部に沿
って移動させ、試料取付け部上において所定位置に載置
した試料の側部に位置決めピンを当接させる。位置決め
ピンを試料の側部に当接させた後、固定ネジを締め付け
てブロックを溝部に固定する。この固定によって、試料
は位置決めピンにより試料取付け部上の所定位置で固定
される。The fixing portion can be constituted by a positioning pin which comes into contact with a side portion of the sample, and a block which can move and fix the positioning pin along a groove formed in the sample mounting portion. The fixing of the portion to the groove can be performed by a fixing screw. To fix the sample on the sample mounting part, loosen the fixing screw so that the block can be moved with respect to the groove, move the block along the groove, and place it at a predetermined position on the sample mounting part. The positioning pin is brought into contact with the side of the sample. After the positioning pin is brought into contact with the side of the sample, the fixing screw is tightened to fix the block in the groove. By this fixing, the sample is fixed at a predetermined position on the sample mounting portion by the positioning pin.
【０００７】位置決めピンは、試料の外形を挟むように
して固定するため、試料の形成に係わらず固定すること
ができる。また、位置決めピンは試料の側部から当接し
て位置決めし固定するため、試料の厚みに係わらず固定
することができる。固定部は、複数あるいは一つで構成
することができ、複数の固定部による場合には、該固定
部の移動方向は試料を挟む方向とする。また、一つの固
定部による場合には、試料取付け部上に試料を挟む位置
に設けた保持部との間で試料を挟むことによって固定す
る。Since the positioning pin is fixed so as to sandwich the outer shape of the sample, the positioning pin can be fixed regardless of the formation of the sample. Further, since the positioning pin is positioned and fixed by abutting from the side of the sample, it can be fixed regardless of the thickness of the sample. The fixing part can be constituted by a plurality or one, and in the case of a plurality of fixing parts, the moving direction of the fixing part is a direction sandwiching the sample. In the case of using one fixing portion, the sample is fixed by sandwiching the sample between a holding portion provided at a position where the sample is sandwiched on the sample mounting portion.
【０００８】本発明の態様によれば、少なくとも一つの
ブロックを緩めることによって、試料の着脱を行うこと
ができ、試料交換の操作性の向上、及び操作時間の短縮
を図ることができる。According to the aspect of the present invention, the sample can be attached and detached by loosening at least one block, thereby improving the operability of exchanging the sample and shortening the operation time.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を参照しながら詳細に説明する。図１，２は本発明のＸ
線回折装置を説明するための概略図であり、図１（ａ）
は水平ゴニオメータを後方に見る位置を示し、図２
（ａ）は水平ゴニオメータを横に見る位置を示してい
る。また、図１（ｂ），図２（ｂ）は試料取付け部を上
方から見た概略を示している。Ｘ線回折装置１は、試料
取付け部５上に配置した試料Ｓに対してＸ線を照射する
Ｘ線源２と、試料Ｓで回折された回折Ｘ線を検出する検
出器３とが水平ゴニオメータ４に取付けられた構成さ
れ、さらに、試料取付け部５はベース部６上にＲ−θス
テージ９、第１支持部１０及び第２支持部２０によって
支持される構成である。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. 1 and 2 show X of the present invention.
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a line diffraction apparatus, and FIG.
2 shows the position where the horizontal goniometer is viewed backward, and FIG.
(A) has shown the position which looks at a horizontal goniometer sideways. 1 (b) and 2 (b) schematically show the sample mounting portion as viewed from above. The X-ray diffraction apparatus 1 includes an X-ray source 2 for irradiating a sample S arranged on a sample mounting portion 5 with X-rays, and a detector 3 for detecting a diffracted X-ray diffracted by the sample S, using a horizontal goniometer. The sample mounting unit 5 is supported on the base unit 6 by the R-θ stage 9, the first support unit 10, and the second support unit 20.
【００１０】水平ゴニオメータ４は、試料Ｓに対する入
射Ｘ線及び出射Ｘ線の角度を同一角度に合わせる機構で
あり、ベース部６に対して固定されている。Ｒ−θステ
ージ９は直線方向（Ｒ方向）及び回転方向（θ方向）に
移動可能なステージであり、直線方向（Ｒ方向）に移動
することによって水平ゴニオメータ４に対する距離を調
整し、また、回転方向（θ方向）に移動することによっ
て水平ゴニオメータ４に対する回転位置を調整すること
ができ、この直線方向及び回転方向の調整によって、上
方に支持する試料取付け部５の直線方向及び回転方向の
位置調整を行い、さらに試料取付け部５上に載置される
試料Ｓの平面方向の分析位置を調整する。The horizontal goniometer 4 is a mechanism for adjusting the angles of incident X-rays and outgoing X-rays to the sample S at the same angle, and is fixed to the base 6. The R-θ stage 9 is a stage that can move in a linear direction (R direction) and a rotating direction (θ direction), and adjusts the distance to the horizontal goniometer 4 by moving in the linear direction (R direction). The rotational position with respect to the horizontal goniometer 4 can be adjusted by moving in the direction (θ direction). By adjusting the linear direction and the rotational direction, the position adjustment of the sample mounting portion 5 supported above in the linear direction and the rotational direction can be performed. Then, the analysis position in the plane direction of the sample S placed on the sample mounting section 5 is adjusted.
【００１１】Ｒ−θステージ９の一構成例は、Ｒ方向駆
動部９ａとθ方向駆動部９ｂを備える。Ｒ方向駆動部９
ａは、直線移動方向に配置された駆動軸９ｄ及び駆動モ
ータ９ｃを備え、駆動モータ９ｃを回転させることによ
って駆動軸９ｄを駆動し、ベース部６及び水平ゴニオメ
ータ４に対して直線移動を行わせる。また、θ方向駆動
部９ｂは駆動モータ９ｅを備え、第１基準部７をＲ方向
駆動部９ａ上に回転可能に軸支する。駆動モータ９ｅを
回転させることによって第１基準部７を回し、ベース部
６及び水平ゴニオメータ４に対して回転移動を行わせ
る。図２中に示す試料取付け部５，５’はＲ方向駆動部
９ａによる直線移動の状態を示している。An example of the configuration of the R-θ stage 9 includes an R direction drive section 9a and a θ direction drive section 9b. R direction drive unit 9
a includes a drive shaft 9d and a drive motor 9c arranged in a linear movement direction, drives the drive shaft 9d by rotating the drive motor 9c, and causes the base unit 6 and the horizontal goniometer 4 to perform a linear movement. . The θ-direction drive unit 9b includes a drive motor 9e, and rotatably supports the first reference unit 7 on the R-direction drive unit 9a. By rotating the drive motor 9e, the first reference portion 7 is rotated, and the base portion 6 and the horizontal goniometer 4 are rotated. The sample mounting portions 5 and 5 ′ shown in FIG. 2 show a state of linear movement by the R-direction driving portion 9a.
【００１２】本発明のＸ線回折装置は高さ調整を行う機
構として、段階的な高さ調整を行う第１支持部１０、及
び連続的な高さ調整を行う第２支持部２０を備える。第
１支持部１０は、Ｒ−θステージ９上の第１基準部７
と、試料取付け部５側の第２基準部８との間の距離を段
階的に調整する機構であり、少なくとも３本の支持ブロ
ック１１、１２、１３で形成される。この支持ブロック
１１、１２、１３は所定の長さに形成され、取付ける支
持ブロックの長さを変えることによって高さ調整を行う
ことができ、第１基準部７及び第２基準部８の円周上に
所定角度で３個所に配置される。なお、円周上に配置す
る角度間隔は同角度とすることも、任意に角度とするこ
ともでる。また、配置数も３個所に限らないが、安定性
を考慮すると３個所以上が望ましい。なお、図１，２に
示す構成では、第１支持部１０は３個所で支持する構成
としているが、３個所以上で支持する構成とすることも
できる。The X-ray diffraction apparatus according to the present invention includes, as a mechanism for adjusting the height, a first support portion 10 for performing a stepwise height adjustment and a second support portion 20 for performing a continuous height adjustment. The first support section 10 is provided on the first reference section 7 on the R-θ stage 9.
This is a mechanism for adjusting the distance between the sample and the second reference portion 8 on the sample mounting portion 5 side in a stepwise manner, and is formed by at least three support blocks 11, 12, and 13. The support blocks 11, 12, and 13 are formed to have a predetermined length, and the height can be adjusted by changing the length of the support block to be attached. The circumference of the first reference portion 7 and the second reference portion 8 can be adjusted. It is arranged at three places at a predetermined angle on the top. Note that the angular intervals arranged on the circumference may be the same angle or may be arbitrarily set. The number of arrangements is not limited to three, but three or more are desirable in consideration of stability. In the configuration shown in FIGS. 1 and 2, the first support portion 10 is configured to be supported at three locations, but may be configured to be supported at three or more locations.
【００１３】第２支持部２０は、第２基準部８と試料取
付け部５との間の距離を連続的に調整する機構であり、
少なくとも３つの送りネジ２１、２２、２３で形成され
る。送りネジ２１、２２、２３は、ネジを駆動すること
によって試料取付け部５の高さ調整を行う機構であり、
該ネジと螺合する試料取付け部５、及び第２基準部８と
の間隔を変更させ、これによって試料取付け部５の高さ
調整を行う。なお、送りネジ２３によって試料取付け部
５と作用する部分は、連結部材を介して連結される作用
端２４としている。The second support section 20 is a mechanism for continuously adjusting the distance between the second reference section 8 and the sample mounting section 5,
It is formed by at least three lead screws 21, 22, 23. The feed screws 21, 22, and 23 are mechanisms for adjusting the height of the sample mounting section 5 by driving the screws.
The height of the sample mounting portion 5 is adjusted by changing the distance between the sample mounting portion 5 and the second reference portion 8 which are screwed with the screw. In addition, the part which works with the sample mounting part 5 by the feed screw 23 is the working end 24 connected via a connecting member.
【００１４】本発明のＸ線回折装置１は、試料Ｓを試料
取付け部５上に固定する手段として固定部３０を備え
る。固定部３０は、試料Ｓを試料取付け部５上で位置決
めするための位置決めピン３０ａ、試料取付け部５に固
定するための固定ネジ３０ｂ、及び試料取付け部５に対
してスライド移動させるためのブロック３０ｃ（図１，
２には示していない）を備え、位置決めピン３０ａを試
料Ｓの側部に当接させて固定することによって、試料Ｓ
を固定する。一方、試料取付け部５には、固定部３０の
ブロック３０ｃをスライド移動させると共に、固定部３
０を固定するための溝部３１が形成される。図１，２で
は、試料取付け部５の中心を通って直交する２本の溝部
３１が形成された例を示してるが、溝部はこの構成に限
らず、固定部３０が試料を挟む位置であれば任意の本数
及び位置に設けることができる。The X-ray diffraction apparatus 1 of the present invention includes a fixing section 30 as a means for fixing the sample S on the sample mounting section 5. The fixing portion 30 includes a positioning pin 30a for positioning the sample S on the sample mounting portion 5, a fixing screw 30b for fixing the sample S to the sample mounting portion 5, and a block 30c for sliding with respect to the sample mounting portion 5. (Figure 1,
2 (not shown in FIG. 2), and the positioning pin 30a is brought into contact with the side portion of the sample S and fixed, whereby the sample S
Is fixed. On the other hand, the block 30c of the fixing section 30 is slid and moved to the sample mounting section 5 while the fixing section 3 is moved.
A groove 31 for fixing 0 is formed. FIGS. 1 and 2 show an example in which two grooves 31 which are orthogonal to each other passing through the center of the sample mounting portion 5 are formed. However, the grooves are not limited to this configuration, and may be any position where the fixing portion 30 sandwiches the sample. Any number and positions can be provided.
【００１５】次に、図３，４，５を用いて本発明の固定
部について説明する。図３は本発明の固定部を説明する
ための斜視図であり、図４は溝部の長手方向における固
定部断面を示し、図５は溝部の長手方向と直交する方向
における固定部断面を示している。また、図５（ａ）は
図４中のＡ方向から見た断面を示し、図５（ｂ）は図４
中のＢ方向から見た断面を示している。Next, the fixing portion of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a perspective view for explaining the fixing portion of the present invention, FIG. 4 shows a cross section of the fixing portion in the longitudinal direction of the groove portion, and FIG. 5 shows a cross section of the fixing portion in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the groove portion. I have. FIG. 5A shows a cross section viewed from the direction A in FIG. 4, and FIG.
The cross section viewed from the B direction in the middle is shown.
【００１６】図３，４，５では、試料取付け部５の断面
と共に固定部を示している。固定部３０は、ブロック３
０ｃと、該ブロック３０ｃ上に上方に向かって設定され
る位置決めピン３０ａと、同じくブロック３０ｃ上にネ
ジ止めによって取り付けられる固定ネジ３０ｂ及び固定
のための固定板３０ｄとを備える。ブロック３０ｃは、
試料取付け部５に形成した断面形状がＴ字形状の溝部３
１内において、支持バネ３０ｅによって上方に付勢され
ながら溝部３１の長さ方向にスライド移動可能に取り付
けられる。固定部３０の移動は、固定ネジ３０ｂを持っ
て溝部３１の長手方向にスライドさせる（図３，４中の
矢印方向の移動）ことによって行うことができる。FIGS. 3, 4, and 5 show a cross section of the sample mounting section 5 and a fixing section. The fixing unit 30 is a block 3
0c, a positioning pin 30a set upward on the block 30c, and a fixing screw 30b and a fixing plate 30d for fixing, which are also mounted on the block 30c by screwing. Block 30c is
A groove 3 having a T-shaped cross section formed in the sample mounting portion 5
1, it is slidably attached in the length direction of the groove 31 while being urged upward by the support spring 30 e. The movement of the fixing portion 30 can be performed by holding the fixing screw 30b and sliding in the longitudinal direction of the groove portion 31 (moving in the direction of the arrow in FIGS. 3 and 4).
【００１７】位置決めピン３０ａはブロック３０ｃに取
り付けられ、その先端は、試料取付け部５の表面よりも
上方に突出する。位置決めピン３０ａの側面は、試料Ｓ
と当接して位置決めする部分となり、ブロック３０ｃを
溝部３１内でスライド移動させることによって、位置決
めピン３０ａの側面を試料取付け部５上に載置した試料
Ｓの側部と当接させる。また、固定ネジ３０ｂは、固定
板３０ｄ及び溝部３１の片部分を構成する試料取付け部
５の一部を挟んで、ブロック３０ｃにネジ止めされる。
固定ネジ３０ｂを回してネジを緩めると、固定板３０ｄ
とブロック３０ｃとによる溝部３１の片部分の把持動作
が解除された状態となり、ブロック３０ｃは溝部３１内
において溝部３１の長さ方向にスライド移動可能とな
る。これによって、位置決めピン３０ａを試料Ｓの側部
に対して当接させたり、あるいは当接を解除することが
できる。The positioning pin 30a is attached to the block 30c, and its tip projects above the surface of the sample attaching section 5. The side surface of the positioning pin 30a is
The side surface of the positioning pin 30a is brought into contact with the side portion of the sample S placed on the sample mounting portion 5 by sliding the block 30c within the groove portion 31. Further, the fixing screw 30b is screwed to the block 30c with a part of the sample mounting part 5 constituting one part of the fixing plate 30d and the groove 31 interposed therebetween.
When the fixing screw 30b is turned to loosen the screw, the fixing plate 30d
The gripping operation of one portion of the groove portion 31 by the and the block 30c is released, and the block 30c is slidable within the groove portion 31 in the length direction of the groove portion 31. Thereby, the positioning pin 30a can be brought into contact with the side portion of the sample S, or the contact can be released.
【００１８】また、固定ネジ３０ｂを逆方向に回してネ
ジを絞めると、ブロック３０ｃと固定板３０ｄとを溝部
３１の片部分を挟んで把持し、ブロック３０ｃを溝部３
１及び試料取付け部５に対して固定される。これによっ
て、位置決めピン３０ａは試料取付け部５の所定位置に
固定され、位置決めピン３０ａが試料Ｓの側部と当接し
ている場合には、図示しない他の位置決めピン３０ａに
よる当接と共に、試料Ｓを挟むようにして試料取付け部
５の所定位置に固定することになる。位置決めピン３０
ａは試料Ｓに対して横方向から当接し固定する。この固
定は、位置決めピン３０ａの少なくも一個所が試料Ｓと
当接していれば行うことができるため、試料Ｓの厚みに
依存することなく固定を行うことができる。When the fixing screw 30b is turned in the opposite direction to tighten the screw, the block 30c and the fixing plate 30d are gripped with one part of the groove 31 interposed therebetween, and the block 30c is held in the groove 3
1 and the sample mounting portion 5. As a result, the positioning pin 30a is fixed at a predetermined position of the sample mounting portion 5, and when the positioning pin 30a is in contact with the side of the sample S, the sample S is fixed together with the other positioning pins 30a (not shown). Is fixed at a predetermined position of the sample mounting portion 5 so as to sandwich the sample. Positioning pin 30
a abuts against the sample S from the lateral direction and is fixed. This fixation can be performed as long as at least one portion of the positioning pin 30a is in contact with the sample S, so that the fixation can be performed without depending on the thickness of the sample S.
【００１９】この固定状態から、固定ネジ３０ｂを逆方
向に回してネジを緩めると、ブロック３０ｃは溝部３１
内の長さ方向に移動可能な状態となる。この状態におい
て、ブロック３０ｃを溝部３１内において試料Ｓから離
れる方向にスライド移動させることによって、位置決め
ピン３０ａは試料Ｓから離すことができ、試料Ｓの交換
あるいは位置調整を行うことができる。なお、支持バネ
３０ｅは、ブロック３０ｃの上端面の一部を溝部３１の
片部分に押し当てることによって、ブロック３０ｃの移
動時及び固定ネジ３０ｂによる固定操作時において、ブ
ロック３０ｃが溝部３１内でぐらつくことを防止して、
スライド移動及び固定操作を円滑なものする。From this fixed state, when the fixing screw 30b is turned in the opposite direction to loosen the screw, the block 30c
It becomes possible to move in the longitudinal direction of the inside. In this state, by sliding the block 30c in the direction away from the sample S in the groove 31, the positioning pin 30a can be separated from the sample S, and exchange or position adjustment of the sample S can be performed. The support spring 30e presses a part of the upper end surface of the block 30c against one part of the groove 31 so that the block 30c moves in the groove 31 when the block 30c is moved and when the block 30c is fixed by the fixing screw 30b. To prevent
Smooth slide movement and fixing operation.
【００２０】図６は、本発明の固定部による試料の固定
状態を示す概略図である。図６（ａ）は試料Ｓの形状が
４角形の場合を示し、図６（ｂ）は試料Ｓの形状が５角
形の場合を示している。いずれにおいても、固定部は溝
部３１に沿ってスライド移動することによって、位置決
めピン３０ａを試料Ｓの側部と当接させ、試料Ｓを挟む
ように固定することができる。この位置決めピン３０ａ
と試料Ｓの側部との当接は、試料Ｓの形状が４角形や５
角形に限らず任意の形状に対応することができる。ま
た、溝部内で固定部が移動可能な範囲内であれば、試料
Ｓの大きさに限らず固定することができる。したがっ
て、本発明の固定部によれば、試料の形状や厚みに係わ
らず試料を固定することができる。FIG. 6 is a schematic view showing a fixed state of a sample by the fixing section of the present invention. FIG. 6A shows a case where the shape of the sample S is a quadrangle, and FIG. 6B shows a case where the shape of the sample S is a pentagon. In any case, the fixing portion slides along the groove portion 31 so that the positioning pin 30a is brought into contact with the side portion of the sample S, and can be fixed so as to sandwich the sample S. This positioning pin 30a
The contact between the sample S and the side of the sample S is performed when the shape of the sample S is square or 5
It can correspond to any shape, not limited to a square shape. In addition, as long as the fixing portion is within a movable range in the groove, the fixing can be performed regardless of the size of the sample S. Therefore, according to the fixing portion of the present invention, the sample can be fixed regardless of the shape and thickness of the sample.
【００２１】また、本発明の固定部によれば、試料Ｓが
試料取付け部５上で位置ずれすることを確実に抑制する
ことができる。図７は、本発明によって試料の位置ずれ
が抑えられることを示している。図７（ａ）に示すよう
に試料Ｓの厚みが一様でない場合、Ｘ線回折装置で試料
Ｓの表示分析を行うには、試料取付け部５上で試料Ｓの
分析面を水平面とする必要がある。そこで、図７（ｂ）
に示すように試料Ｓを固定部３０の位置決めピン３０ａ
で挟んで固定した後、図７（ｃ）に示すように試料取付
け部５を傾斜させて試料Ｓの表面を水平に調整する。本
発明の固定部は、位置決めピンによって試料Ｓを横方向
から位置決めし固定しているため、試料Ｓが試料取付け
部５上をスライドして位置ずれすることを抑制すること
ができる。Further, according to the fixing portion of the present invention, the displacement of the sample S on the sample mounting portion 5 can be reliably suppressed. FIG. 7 shows that the displacement of the sample is suppressed by the present invention. When the thickness of the sample S is not uniform as shown in FIG. 7A, the analysis surface of the sample S needs to be a horizontal surface on the sample mounting portion 5 in order to perform the display analysis of the sample S with the X-ray diffractometer. There is. Therefore, FIG.
As shown in FIG.
Then, the sample mounting part 5 is inclined to adjust the surface of the sample S horizontally, as shown in FIG. 7C. Since the fixing portion of the present invention positions and fixes the sample S from the lateral direction by the positioning pin, it is possible to suppress the sample S from sliding on the sample mounting portion 5 and being displaced.
【００２２】一方、図７（ｄ）は、従来の押え板による
試料の固定状態を示している。この押え板４０による固
定では、試料Ｓを上から抑えるだけであるため、試料Ｓ
のスライドを止めることが難しく、位置ずれを防止する
ことが困難となる。また、本発明に用いる固定部は、前
記構成例に示したように、直交する２つの溝部にそれぞ
れ対向させて２つ設ける構成に限らず、試料Ｓを横方向
で挟んで固定する構成であれば、溝部の本数及び固定部
の個数は種々に設定することができる。図８は、本発明
の固定部の他の配置構成を示している。On the other hand, FIG. 7D shows a state in which the sample is fixed by the conventional holding plate. The fixing by the holding plate 40 only suppresses the sample S from above.
Is difficult to stop, and it is difficult to prevent displacement. Further, the fixing portion used in the present invention is not limited to a configuration in which two fixing portions are provided so as to be opposed to two orthogonal groove portions, as shown in the above configuration example, and may be a configuration in which the sample S is sandwiched and fixed in the lateral direction. For example, the number of grooves and the number of fixing portions can be set variously. FIG. 8 shows another arrangement of the fixing portion of the present invention.
【００２３】図８（ａ）は、３本の溝部３１を試料取付
け部の中心から放射状に配置し、各溝部３１に固定部３
０を一つずつ備える構成であり、３つの固定部３０によ
って試料（図示していない）を固定することができる。
図８（ｂ）は、２本の溝部３１を試料取付け部の中心か
ら放射状に配置し、各溝部３１に固定部３０を一つずつ
備えると共に、一つの保持部３２を備える構成であり、
２つの固定部３０と一つの保持部３２によって試料（図
示していない）を固定することができる。図８（ｃ）
は、１本の溝部３１を試料取付け部の中心から放射状に
配置し、当該溝部３１に固定部３０を一つ備えると共
に、二つの保持部３２を備える構成であり、一つの固定
部３０と二つの保持部３２によって試料（図示していな
い）を固定することができる。FIG. 8A shows that three grooves 31 are arranged radially from the center of the sample mounting portion, and the fixing portion 3 is provided in each groove 31.
In this configuration, a sample (not shown) can be fixed by three fixing portions 30.
FIG. 8B shows a configuration in which two groove portions 31 are radially arranged from the center of the sample mounting portion, and one fixing portion 30 is provided in each groove portion 31 and one holding portion 32 is provided.
A sample (not shown) can be fixed by two fixing parts 30 and one holding part 32. FIG. 8 (c)
Has a configuration in which one groove 31 is radially arranged from the center of the sample mounting portion, and one fixing portion 30 is provided in the groove 31 and two holding portions 32 are provided. The sample (not shown) can be fixed by the two holding parts 32.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＸ線回折
装置によれば、試料の形状や厚みに係わらず任意の形状
や厚みの試料を固定することができる。As described above, according to the X-ray diffraction apparatus of the present invention, a sample having an arbitrary shape and thickness can be fixed regardless of the shape and thickness of the sample.
【図１】本発明のＸ線回折装置を説明するための概略図
である。FIG. 1 is a schematic diagram for explaining an X-ray diffraction apparatus of the present invention.
【図２】本発明のＸ線回折装置を説明するための概略図
である。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the X-ray diffraction device of the present invention.
【図３】本発明の固定部を説明するための斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view for explaining a fixing portion of the present invention.
【図４】本発明の固定部の溝部の長手方向における断面
を示している。FIG. 4 shows a cross section in the longitudinal direction of the groove of the fixing portion of the present invention.
【図５】本発明の固定部の溝部の長手方向と直交する方
向における断面を示している。FIG. 5 shows a cross section in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the groove of the fixing portion of the present invention.
【図６】本発明の固定部による試料の固定状態を示す概
略図である。FIG. 6 is a schematic view showing a fixed state of a sample by a fixing unit of the present invention.
【図７】本発明による試料の位置ずれ防止を説明するた
めの図である。FIG. 7 is a view for explaining prevention of displacement of a sample according to the present invention.
【図８】本発明の固定部の他の配置構成を示す図であ
る。FIG. 8 is a view showing another arrangement configuration of the fixing portion of the present invention.
１…Ｘ線回折装置、２…Ｘ線源、３…検出器、４…水平
ゴニオメータ、５…試料取付け部、６…ベース部、７…
第１基部、８…第２基部、９…Ｒ−θステージ、９ａ…
Ｒ方向駆動部、９ｂ…θ方向駆動部、９ｃ，９ｅ…駆動
モータ、９ｄ…駆動軸、１０…第１支持部、１１，１
２，１３…支持ブロック、２０…第２支持部、２１、２
２，２３…送りネジ、２４…作用端、３０…固定部、３
０ａ…位置決めピン、３０ｂ…固定ネジ、３０ｃ…ブロ
ック、３０ｄ…固定板、３０ｅ…支持バネ、３１…溝
部、３２…保持部。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray diffractometer, 2 ... X-ray source, 3 ... Detector, 4 ... Horizontal goniometer, 5 ... Sample mounting part, 6 ... Base part, 7 ...
1st base, 8 ... 2nd base, 9 ... R-theta stage, 9a ...
R-direction drive unit, 9b ... θ-direction drive unit, 9c, 9e ... drive motor, 9d ... drive shaft, 10 ... first support unit, 11, 1
2, 13: support block, 20: second support portion, 21, 2
2, 23 ... feed screw, 24 ... working end, 30 ... fixed part, 3
0a: positioning pin, 30b: fixing screw, 30c: block, 30d: fixing plate, 30e: support spring, 31: groove, 32: holding part.
Claims (2)
料取付け部に対して移動及び固定可能な固定部を備え、
前記固定部は、試料の側部と当接状態で固定することに
よって試料を固定することを特徴とするＸ線回折装置。1. A sample mounting portion for supporting a sample, and a fixing portion movable and fixed with respect to the sample mounting portion,
The X-ray diffraction apparatus according to claim 1, wherein the fixing unit fixes the sample by fixing the sample in contact with a side portion of the sample.
置決めピン、及び当該位置決めピンを前記試料取付け部
に形成した溝に沿って移動及び固定可能とするブロック
を備えたことを特徴とする、請求項１記載のＸ線回折装
置。2. The method according to claim 1, wherein the fixing portion includes a positioning pin that contacts a side portion of the sample, and a block that can move and fix the positioning pin along a groove formed in the sample mounting portion. The X-ray diffraction apparatus according to claim 1, wherein
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