JP4502097B2

JP4502097B2 - X-ray diffractometer

Info

Publication number: JP4502097B2
Application number: JP2000332785A
Authority: JP
Inventors: 寛治小林
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2000-10-31
Filing date: 2000-10-31
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2020-10-31
Also published as: JP2002139462A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線回折装置に関し、特に試料の固定に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線回折装置では、Ｘ線源から発せられたＸ線を試料の分析位置に照射し、該分析位置で回折されたＸ線を検出器で検出する。この分析位置に対するＸ線源と検出器のそれぞれの入射角を等しくする機構として水平ゴニオメータ等の機構が用いられている。通常、試料は、試料取付け部上において、水平ゴニオメータのゴニオメータ中心軸の位置に機械的に固定している。
また、Ｘ線回折装置において、水平ゴニオメータに対する試料の位置を調整するために、試料取付け部の下方にＲ−θステージ等のステージ機構を設け、このステージ機構によって試料を直線方向及び回転方向に移動させるものがある。
従来、試料を試料取付け部上に固定するには、試料取付け部にネジ止めされた押え板や板ばねや等の固定材を用い、試料をこの押え板や板ばねによって試料取付け部面に対して押えることによって行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＸ線回折装置では、試料の試料取付け部に対する固定の点で問題がある。従来のＸ線回折装置では、押え板やばね材等の固定材によって試料を上方から押えることにより試料を試料取付け部に固定しており、通常、この押え板やばね材は、試料取付け部に対して所定位置にネジ止めされている。
従来の押え板やばね材による固定では、押え板やばね材の設定位置や大きさによって固定できる試料に制限があり、試料の形状によっては押え板やばね材の設定位置に位置合わせすることができない場合、あるいは厚い試料については押え板やばね材で押えることができないといった場合が生じ、試料を試料取付け部上に固定することができないという問題がある。
【０００４】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、Ｘ線回折装置において、試料の形状や厚みに係わらず、任意の形状や厚みの試料を固定することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、試料の固定を試料を上方から押えることに代えて試料を横方向から押えることによって、試料の形状や厚みに係わらず、任意の形状や厚みの試料を固定する。
本発明のＸ線回折装置の一態様は、試料を支持する試料取付け部と、試料取付け部に対して移動及び固定可能な固定部を有し、固定部は試料の側部と当接状態で固定する構成を備えるものである。固定部は、試料の側部と当接し、この当接状態で試料取付け部に対して固定することによって、試料を試料取付け部上で固定する。固定部は、試料の側部と当接することによって、試料の形状や厚みに係わらず固定することができる。
【０００６】
固定部は、試料の側部と当接する位置決めピン、及びこの位置決めピンを試料取付け部に形成した溝部に沿って移動及び固定可能とするブロックで構成することができ、ブロックを試料取付け部の溝部に対する固定は、固定ネジで行うことができる。
試料を試料取付け部上で固定するには、固定ネジを弛めてブロックを溝部に対して移動可能な状態とし、該ブロックを溝部に沿って移動させ、試料取付け部上において所定位置に載置した試料の側部に位置決めピンを当接させる。位置決めピンを試料の側部に当接させた後、固定ネジを締め付けてブロックを溝部に固定する。この固定によって、試料は位置決めピンにより試料取付け部上の所定位置で固定される。
【０００７】
位置決めピンは、試料の外形を挟むようにして固定するため、試料の形成に係わらず固定することができる。また、位置決めピンは試料の側部から当接して位置決めし固定するため、試料の厚みに係わらず固定することができる。
固定部は、複数あるいは一つで構成することができ、複数の固定部による場合には、該固定部の移動方向は試料を挟む方向とする。また、一つの固定部による場合には、試料取付け部上に試料を挟む位置に設けた保持部との間で試料を挟むことによって固定する。
【０００８】
本発明の態様によれば、少なくとも一つのブロックを緩めることによって、試料の着脱を行うことができ、試料交換の操作性の向上、及び操作時間の短縮を図ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図を参照しながら詳細に説明する。
図１，２は本発明のＸ線回折装置を説明するための概略図であり、図１（ａ）は水平ゴニオメータを後方に見る位置を示し、図２（ａ）は水平ゴニオメータを横に見る位置を示している。また、図１（ｂ），図２（ｂ）は試料取付け部を上方から見た概略を示している。
Ｘ線回折装置１は、試料取付け部５上に配置した試料Ｓに対してＸ線を照射するＸ線源２と、試料Ｓで回折された回折Ｘ線を検出する検出器３とが水平ゴニオメータ４に取付けられた構成され、さらに、試料取付け部５はベース部６上にＲ−θステージ９、第１支持部１０及び第２支持部２０によって支持される構成である。
【００１０】
水平ゴニオメータ４は、試料Ｓに対する入射Ｘ線及び出射Ｘ線の角度を同一角度に合わせる機構であり、ベース部６に対して固定されている。Ｒ−θステージ９は直線方向（Ｒ方向）及び回転方向（θ方向）に移動可能なステージであり、直線方向（Ｒ方向）に移動することによって水平ゴニオメータ４に対する距離を調整し、また、回転方向（θ方向）に移動することによって水平ゴニオメータ４に対する回転位置を調整することができ、この直線方向及び回転方向の調整によって、上方に支持する試料取付け部５の直線方向及び回転方向の位置調整を行い、さらに試料取付け部５上に載置される試料Ｓの平面方向の分析位置を調整する。
【００１１】
Ｒ−θステージ９の一構成例は、Ｒ方向駆動部９ａとθ方向駆動部９ｂを備える。Ｒ方向駆動部９ａは、直線移動方向に配置された駆動軸９ｄ及び駆動モータ９ｃを備え、駆動モータ９ｃを回転させることによって駆動軸９ｄを駆動し、ベース部６及び水平ゴニオメータ４に対して直線移動を行わせる。また、θ方向駆動部９ｂは駆動モータ９ｅを備え、第１基準部７をＲ方向駆動部９ａ上に回転可能に軸支する。駆動モータ９ｅを回転させることによって第１基準部７を回し、ベース部６及び水平ゴニオメータ４に対して回転移動を行わせる。図２中に示す試料取付け部５，５’はＲ方向駆動部９ａによる直線移動の状態を示している。
【００１２】
本発明のＸ線回折装置は高さ調整を行う機構として、段階的な高さ調整を行う第１支持部１０、及び連続的な高さ調整を行う第２支持部２０を備える。
第１支持部１０は、Ｒ−θステージ９上の第１基準部７と、試料取付け部５側の第２基準部８との間の距離を段階的に調整する機構であり、少なくとも３本の支持ブロック１１、１２、１３で形成される。この支持ブロック１１、１２、１３は所定の長さに形成され、取付ける支持ブロックの長さを変えることによって高さ調整を行うことができ、第１基準部７及び第２基準部８の円周上に所定角度で３個所に配置される。なお、円周上に配置する角度間隔は同角度とすることも、任意に角度とすることもでる。また、配置数も３個所に限らないが、安定性を考慮すると３個所以上が望ましい。なお、図１，２に示す構成では、第１支持部１０は３個所で支持する構成としているが、３個所以上で支持する構成とすることもできる。
【００１３】
第２支持部２０は、第２基準部８と試料取付け部５との間の距離を連続的に調整する機構であり、少なくとも３つの送りネジ２１、２２、２３で形成される。送りネジ２１、２２、２３は、ネジを駆動することによって試料取付け部５の高さ調整を行う機構であり、該ネジと螺合する試料取付け部５、及び第２基準部８との間隔を変更させ、これによって試料取付け部５の高さ調整を行う。なお、送りネジ２３によって試料取付け部５と作用する部分は、連結部材を介して連結される作用端２４としている。
【００１４】
本発明のＸ線回折装置１は、試料Ｓを試料取付け部５上に固定する手段として固定部３０を備える。固定部３０は、試料Ｓを試料取付け部５上で位置決めするための位置決めピン３０ａ、試料取付け部５に固定するための固定ネジ３０ｂ、及び試料取付け部５に対してスライド移動させるためのブロック３０ｃ（図１，２には示していない）を備え、位置決めピン３０ａを試料Ｓの側部に当接させて固定することによって、試料Ｓを固定する。
一方、試料取付け部５には、固定部３０のブロック３０ｃをスライド移動させると共に、固定部３０を固定するための溝部３１が形成される。図１，２では、試料取付け部５の中心を通って直交する２本の溝部３１が形成された例を示してるが、溝部はこの構成に限らず、固定部３０が試料を挟む位置であれば任意の本数及び位置に設けることができる。
【００１５】
次に、図３，４，５を用いて本発明の固定部について説明する。図３は本発明の固定部を説明するための斜視図であり、図４は溝部の長手方向における固定部断面を示し、図５は溝部の長手方向と直交する方向における固定部断面を示している。また、図５（ａ）は図４中のＡ方向から見た断面を示し、図５（ｂ）は図４中のＢ方向から見た断面を示している。
【００１６】
図３，４，５では、試料取付け部５の断面と共に固定部を示している。固定部３０は、ブロック３０ｃと、該ブロック３０ｃ上に上方に向かって設定される位置決めピン３０ａと、同じくブロック３０ｃ上にネジ止めによって取り付けられる固定ネジ３０ｂ及び固定のための固定板３０ｄとを備える。ブロック３０ｃは、試料取付け部５に形成した断面形状がＴ字形状の溝部３１内において、支持バネ３０ｅによって上方に付勢されながら溝部３１の長さ方向にスライド移動可能に取り付けられる。固定部３０の移動は、固定ネジ３０ｂを持って溝部３１の長手方向にスライドさせる（図３，４中の矢印方向の移動）ことによって行うことができる。
【００１７】
位置決めピン３０ａはブロック３０ｃに取り付けられ、その先端は、試料取付け部５の表面よりも上方に突出する。位置決めピン３０ａの側面は、試料Ｓと当接して位置決めする部分となり、ブロック３０ｃを溝部３１内でスライド移動させることによって、位置決めピン３０ａの側面を試料取付け部５上に載置した試料Ｓの側部と当接させる。
また、固定ネジ３０ｂは、固定板３０ｄ及び溝部３１の片部分を構成する試料取付け部５の一部を挟んで、ブロック３０ｃにネジ止めされる。固定ネジ３０ｂを回してネジを緩めると、固定板３０ｄとブロック３０ｃとによる溝部３１の片部分の把持動作が解除された状態となり、ブロック３０ｃは溝部３１内において溝部３１の長さ方向にスライド移動可能となる。これによって、位置決めピン３０ａを試料Ｓの側部に対して当接させたり、あるいは当接を解除することができる。
【００１８】
また、固定ネジ３０ｂを逆方向に回してネジを絞めると、ブロック３０ｃと固定板３０ｄとを溝部３１の片部分を挟んで把持し、ブロック３０ｃを溝部３１及び試料取付け部５に対して固定される。これによって、位置決めピン３０ａは試料取付け部５の所定位置に固定され、位置決めピン３０ａが試料Ｓの側部と当接している場合には、図示しない他の位置決めピン３０ａによる当接と共に、試料Ｓを挟むようにして試料取付け部５の所定位置に固定することになる。
位置決めピン３０ａは試料Ｓに対して横方向から当接し固定する。この固定は、位置決めピン３０ａの少なくも一個所が試料Ｓと当接していれば行うことができるため、試料Ｓの厚みに依存することなく固定を行うことができる。
【００１９】
この固定状態から、固定ネジ３０ｂを逆方向に回してネジを緩めると、ブロック３０ｃは溝部３１内の長さ方向に移動可能な状態となる。この状態において、ブロック３０ｃを溝部３１内において試料Ｓから離れる方向にスライド移動させることによって、位置決めピン３０ａは試料Ｓから離すことができ、試料Ｓの交換あるいは位置調整を行うことができる。
なお、支持バネ３０ｅは、ブロック３０ｃの上端面の一部を溝部３１の片部分に押し当てることによって、ブロック３０ｃの移動時及び固定ネジ３０ｂによる固定操作時において、ブロック３０ｃが溝部３１内でぐらつくことを防止して、スライド移動及び固定操作を円滑なものする。
【００２０】
図６は、本発明の固定部による試料の固定状態を示す概略図である。図６（ａ）は試料Ｓの形状が４角形の場合を示し、図６（ｂ）は試料Ｓの形状が５角形の場合を示している。いずれにおいても、固定部は溝部３１に沿ってスライド移動することによって、位置決めピン３０ａを試料Ｓの側部と当接させ、試料Ｓを挟むように固定することができる。この位置決めピン３０ａと試料Ｓの側部との当接は、試料Ｓの形状が４角形や５角形に限らず任意の形状に対応することができる。また、溝部内で固定部が移動可能な範囲内であれば、試料Ｓの大きさに限らず固定することができる。
したがって、本発明の固定部によれば、試料の形状や厚みに係わらず試料を固定することができる。
【００２１】
また、本発明の固定部によれば、試料Ｓが試料取付け部５上で位置ずれすることを確実に抑制することができる。図７は、本発明によって試料の位置ずれが抑えられることを示している。図７（ａ）に示すように試料Ｓの厚みが一様でない場合、Ｘ線回折装置で試料Ｓの表示分析を行うには、試料取付け部５上で試料Ｓの分析面を水平面とする必要がある。そこで、図７（ｂ）に示すように試料Ｓを固定部３０の位置決めピン３０ａで挟んで固定した後、図７（ｃ）に示すように試料取付け部５を傾斜させて試料Ｓの表面を水平に調整する。本発明の固定部は、位置決めピンによって試料Ｓを横方向から位置決めし固定しているため、試料Ｓが試料取付け部５上をスライドして位置ずれすることを抑制することができる。
【００２２】
一方、図７（ｄ）は、従来の押え板による試料の固定状態を示している。この押え板４０による固定では、試料Ｓを上から抑えるだけであるため、試料Ｓのスライドを止めることが難しく、位置ずれを防止することが困難となる。
また、本発明に用いる固定部は、前記構成例に示したように、直交する２つの溝部にそれぞれ対向させて２つ設ける構成に限らず、試料Ｓを横方向で挟んで固定する構成であれば、溝部の本数及び固定部の個数は種々に設定することができる。図８は、本発明の固定部の他の配置構成を示している。
【００２３】
図８（ａ）は、３本の溝部３１を試料取付け部の中心から放射状に配置し、各溝部３１に固定部３０を一つずつ備える構成であり、３つの固定部３０によって試料（図示していない）を固定することができる。
図８（ｂ）は、２本の溝部３１を試料取付け部の中心から放射状に配置し、各溝部３１に固定部３０を一つずつ備えると共に、一つの保持部３２を備える構成であり、２つの固定部３０と一つの保持部３２によって試料（図示していない）を固定することができる。
図８（ｃ）は、１本の溝部３１を試料取付け部の中心から放射状に配置し、当該溝部３１に固定部３０を一つ備えると共に、二つの保持部３２を備える構成であり、一つの固定部３０と二つの保持部３２によって試料（図示していない）を固定することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のＸ線回折装置によれば、試料の形状や厚みに係わらず任意の形状や厚みの試料を固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線回折装置を説明するための概略図である。
【図２】本発明のＸ線回折装置を説明するための概略図である。
【図３】本発明の固定部を説明するための斜視図である。
【図４】本発明の固定部の溝部の長手方向における断面を示している。
【図５】本発明の固定部の溝部の長手方向と直交する方向における断面を示している。
【図６】本発明の固定部による試料の固定状態を示す概略図である。
【図７】本発明による試料の位置ずれ防止を説明するための図である。
【図８】本発明の固定部の他の配置構成を示す図である。
【符号の説明】
１…Ｘ線回折装置、２…Ｘ線源、３…検出器、４…水平ゴニオメータ、５…試料取付け部、６…ベース部、７…第１基部、８…第２基部、９…Ｒ−θステージ、９ａ…Ｒ方向駆動部、９ｂ…θ方向駆動部、９ｃ，９ｅ…駆動モータ、９ｄ…駆動軸、１０…第１支持部、１１，１２，１３…支持ブロック、２０…第２支持部、２１、２２，２３…送りネジ、２４…作用端、３０…固定部、３０ａ…位置決めピン、３０ｂ…固定ネジ、３０ｃ…ブロック、３０ｄ…固定板、３０ｅ…支持バネ、３１…溝部、３２…保持部。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray diffractometer, and more particularly to fixing a sample.
[0002]
[Prior art]
In an X-ray diffractometer, X-rays emitted from an X-ray source are irradiated to an analysis position of a sample, and X-rays diffracted at the analysis position are detected by a detector. A mechanism such as a horizontal goniometer is used as a mechanism for equalizing the incident angles of the X-ray source and the detector with respect to the analysis position. Usually, the sample is mechanically fixed at the position of the goniometer central axis of the horizontal goniometer on the sample mounting portion.
In the X-ray diffractometer, in order to adjust the position of the sample with respect to the horizontal goniometer, a stage mechanism such as an R-θ stage is provided below the sample mounting portion, and the sample is moved in the linear direction and the rotational direction by this stage mechanism. There is something to make.
Conventionally, in order to fix the sample on the sample mounting portion, a fixing material such as a holding plate or a leaf spring screwed to the sample mounting portion is used, and the sample is fixed to the surface of the sample mounting portion by the holding plate or the leaf spring. It is done by pressing.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional X-ray diffractometer has a problem in fixing the sample to the sample mounting portion. In a conventional X-ray diffractometer, the sample is fixed to the sample mounting portion by pressing the sample from above with a fixing material such as a holding plate or a spring material. Usually, this holding plate or spring material is attached to the sample mounting portion. On the other hand, it is screwed in place.
In the conventional fixing with a presser plate or spring material, there is a limit to the sample that can be fixed depending on the setting position and size of the presser plate and spring material, and depending on the shape of the sample, it can be aligned to the set position of the presser plate or spring material. If it is not possible, or a thick sample cannot be pressed by a pressing plate or a spring material, there is a problem that the sample cannot be fixed on the sample mounting portion.
[0004]
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described conventional problems and to fix a sample having an arbitrary shape and thickness regardless of the shape and thickness of the sample in an X-ray diffraction apparatus.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The present invention fixes a sample having an arbitrary shape or thickness regardless of the shape or thickness of the sample by pressing the sample from the lateral direction instead of pressing the sample from above.
One aspect of the X-ray diffractometer of the present invention has a sample mounting portion that supports a sample and a fixing portion that can be moved and fixed with respect to the sample mounting portion, and the fixing portion is in contact with the side portion of the sample. It has a configuration to be fixed. The fixing portion abuts on the side portion of the sample, and the sample is fixed on the sample mounting portion by fixing to the sample mounting portion in this contact state. The fixing portion can be fixed regardless of the shape and thickness of the sample by contacting the side portion of the sample.
[0006]
The fixing part can be composed of a positioning pin that comes into contact with the side of the sample, and a block that can move and fix the positioning pin along a groove formed in the sample mounting part. Can be fixed with a fixing screw.
To fix the sample on the sample mounting part, loosen the fixing screw so that the block can move with respect to the groove part, move the block along the groove part, and place it at a predetermined position on the sample mounting part. A positioning pin is brought into contact with the side portion of the sample. After the positioning pin is brought into contact with the side of the sample, the fixing screw is tightened to fix the block in the groove. By this fixing, the sample is fixed at a predetermined position on the sample mounting portion by the positioning pin.
[0007]
Since the positioning pin is fixed so as to sandwich the outer shape of the sample, it can be fixed regardless of the formation of the sample. Further, since the positioning pins are positioned and fixed from the side of the sample, they can be fixed regardless of the thickness of the sample.
The fixing part can be composed of a plurality or one. When a plurality of fixing parts are used, the moving direction of the fixing part is the direction in which the sample is sandwiched. Further, in the case of using a single fixing portion, the sample is fixed by being sandwiched between a holding portion provided at a position where the sample is sandwiched on the sample mounting portion.
[0008]
According to the aspect of the present invention, the sample can be attached and detached by loosening at least one block, and the operability of sample exchange can be improved and the operation time can be shortened.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 and 2 are schematic views for explaining the X-ray diffraction apparatus of the present invention. FIG. 1 (a) shows a position where the horizontal goniometer is viewed backward, and FIG. 2 (a) shows the horizontal goniometer laterally. Indicates the position. FIG. 1B and FIG. 2B schematically show the sample mounting portion as viewed from above.
The X-ray diffractometer 1 includes a horizontal goniometer in which an X-ray source 2 that irradiates a sample S disposed on a sample mounting portion 5 with X-rays and a detector 3 that detects diffracted X-rays diffracted by the sample S 4, and the sample mounting portion 5 is supported on the base portion 6 by the R-θ stage 9, the first support portion 10, and the second support portion 20.
[0010]
The horizontal goniometer 4 is a mechanism that adjusts the angles of incident X-rays and outgoing X-rays with respect to the sample S to the same angle, and is fixed to the base portion 6. The R-θ stage 9 is a stage that can move in the linear direction (R direction) and the rotational direction (θ direction), and adjusts the distance to the horizontal goniometer 4 by moving in the linear direction (R direction) and rotates. The rotational position with respect to the horizontal goniometer 4 can be adjusted by moving in the direction (θ direction), and by adjusting the linear direction and rotational direction, the position of the sample mounting portion 5 supported above in the linear direction and rotational direction is adjusted. Further, the analysis position in the planar direction of the sample S placed on the sample mounting portion 5 is adjusted.
[0011]
One configuration example of the R-θ stage 9 includes an R-direction drive unit 9a and a θ-direction drive unit 9b. The R-direction drive unit 9 a includes a drive shaft 9 d and a drive motor 9 c that are arranged in the linear movement direction, drives the drive shaft 9 d by rotating the drive motor 9 c, and is linear with respect to the base unit 6 and the horizontal goniometer 4. Make the move. The θ-direction drive unit 9b includes a drive motor 9e, and pivotally supports the first reference unit 7 on the R-direction drive unit 9a. The first reference unit 7 is rotated by rotating the drive motor 9e, and the base unit 6 and the horizontal goniometer 4 are rotated. The sample attaching portions 5 and 5 ′ shown in FIG. 2 indicate the state of linear movement by the R direction drive portion 9a.
[0012]
The X-ray diffractometer of the present invention includes a first support portion 10 that performs stepwise height adjustment and a second support portion 20 that performs continuous height adjustment as mechanisms for adjusting height.
The first support portion 10 is a mechanism that adjusts the distance between the first reference portion 7 on the R-θ stage 9 and the second reference portion 8 on the sample mounting portion 5 side by step, and includes at least three. The support blocks 11, 12 and 13 are formed. The support blocks 11, 12, and 13 are formed to a predetermined length, and the height can be adjusted by changing the length of the support block to be attached. The circumferences of the first reference portion 7 and the second reference portion 8 can be adjusted. It is arranged at three positions at a predetermined angle on the top. In addition, the angular interval arrange | positioned on a circumference can also be made into the same angle, or can also be arbitrarily set as an angle. Further, the number of arrangements is not limited to three, but three or more are desirable in consideration of stability. In the configuration shown in FIGS. 1 and 2, the first support portion 10 is configured to be supported at three locations, but may be configured to be supported at three or more locations.
[0013]
The second support portion 20 is a mechanism that continuously adjusts the distance between the second reference portion 8 and the sample mounting portion 5, and is formed by at least three feed screws 21, 22, and 23. The feed screws 21, 22, and 23 are mechanisms for adjusting the height of the sample mounting portion 5 by driving the screws. The distance between the sample mounting portion 5 and the second reference portion 8 that are screwed to the screw is set. Thus, the height of the sample mounting portion 5 is adjusted. In addition, the part which acts with the sample attaching part 5 with the feed screw 23 is made into the action | operation end 24 connected via a connection member.
[0014]
The X-ray diffractometer 1 of the present invention includes a fixing portion 30 as means for fixing the sample S on the sample mounting portion 5. The fixing unit 30 includes a positioning pin 30a for positioning the sample S on the sample mounting unit 5, a fixing screw 30b for fixing the sample S to the sample mounting unit 5, and a block 30c for sliding the sample S relative to the sample mounting unit 5. (Not shown in FIGS. 1 and 2), the sample S is fixed by abutting and fixing the positioning pin 30a to the side of the sample S.
On the other hand, a groove 31 for fixing the fixing part 30 is formed in the sample mounting part 5 while sliding the block 30 c of the fixing part 30. 1 and 2 show an example in which two orthogonal groove portions 31 are formed through the center of the sample mounting portion 5. However, the groove portion is not limited to this configuration, and the fixing portion 30 may be positioned between the sample. Any number and position can be provided.
[0015]
Next, the fixing part of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a perspective view for explaining the fixing portion of the present invention, FIG. 4 shows a cross section of the fixing portion in the longitudinal direction of the groove portion, and FIG. 5 shows a cross section of the fixing portion in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the groove portion. Yes. 5A shows a cross section viewed from the A direction in FIG. 4, and FIG. 5B shows a cross section viewed from the B direction in FIG.
[0016]
3, 4, and 5, the fixed portion is shown together with the cross section of the sample mounting portion 5. The fixing unit 30 includes a block 30c, a positioning pin 30a set upward on the block 30c, and a fixing screw 30b and a fixing plate 30d for fixing, which are similarly attached to the block 30c by screwing. . The block 30c is attached to be slidable in the length direction of the groove portion 31 while being urged upward by the support spring 30e in the groove portion 31 having a T-shaped cross section formed in the sample attachment portion 5. The movement of the fixing part 30 can be performed by holding the fixing screw 30b and sliding it in the longitudinal direction of the groove part 31 (movement in the arrow direction in FIGS. 3 and 4).
[0017]
The positioning pin 30a is attached to the block 30c, and its tip protrudes above the surface of the sample attachment portion 5. The side surface of the positioning pin 30a is a portion that contacts and positions the sample S, and the side of the positioning pin 30a is placed on the sample mounting portion 5 by sliding the block 30c in the groove 31. It is made to contact with the part.
The fixing screw 30b is screwed to the block 30c with a part of the fixing plate 30d and a part of the sample mounting part 5 constituting one part of the groove 31 interposed therebetween. When the fixing screw 30b is turned to loosen the screw, the gripping operation of one part of the groove 31 by the fixing plate 30d and the block 30c is released, and the block 30c slides in the groove 31 in the length direction of the groove 31. It becomes possible. Thereby, the positioning pin 30a can be brought into contact with the side portion of the sample S, or the contact can be released.
[0018]
Further, when the fixing screw 30b is turned in the opposite direction and the screw is tightened, the block 30c and the fixing plate 30d are gripped with one part of the groove 31 interposed therebetween, and the block 30c is fixed to the groove 31 and the sample mounting portion 5. The As a result, the positioning pin 30a is fixed at a predetermined position of the sample mounting portion 5, and when the positioning pin 30a is in contact with the side portion of the sample S, the sample S is brought into contact with the other positioning pin 30a (not shown). Is fixed at a predetermined position of the sample mounting portion 5.
The positioning pin 30a abuts against the sample S from the lateral direction and is fixed. This fixing can be performed as long as at least one of the positioning pins 30a is in contact with the sample S. Therefore, the fixing can be performed without depending on the thickness of the sample S.
[0019]
From this fixed state, when the fixing screw 30b is turned in the opposite direction to loosen the screw, the block 30c becomes movable in the length direction in the groove 31. In this state, the positioning pin 30a can be separated from the sample S by sliding the block 30c in the groove portion 31 in the direction away from the sample S, and the sample S can be replaced or adjusted.
The support spring 30e presses a part of the upper end surface of the block 30c against one part of the groove 31 so that the block 30c wobbles in the groove 31 when the block 30c is moved and when the fixing operation is performed by the fixing screw 30b. To prevent this from happening and smooth the slide movement and fixing operation.
[0020]
FIG. 6 is a schematic view showing a fixed state of the sample by the fixing portion of the present invention. FIG. 6A shows a case where the shape of the sample S is a tetragon, and FIG. 6B shows a case where the shape of the sample S is a pentagon. In any case, the fixing portion can slide and move along the groove portion 31 to bring the positioning pin 30a into contact with the side portion of the sample S and fix the sample S so as to sandwich the sample S. The contact between the positioning pin 30a and the side portion of the sample S can correspond to an arbitrary shape as well as the shape of the sample S is not limited to a quadrangle or a pentagon. Moreover, if it is in the range which can move a fixing | fixed part within a groove part, not only the magnitude | size of the sample S but it can fix.
Therefore, according to the fixing portion of the present invention, the sample can be fixed regardless of the shape and thickness of the sample.
[0021]
Further, according to the fixing portion of the present invention, it is possible to reliably suppress the displacement of the sample S on the sample mounting portion 5. FIG. 7 shows that the positional deviation of the sample can be suppressed by the present invention. When the thickness of the sample S is not uniform as shown in FIG. 7A, in order to perform display analysis of the sample S with the X-ray diffractometer, the analysis surface of the sample S needs to be a horizontal plane on the sample mounting portion 5. There is. Therefore, as shown in FIG. 7B, the sample S is fixed by being sandwiched between the positioning pins 30a of the fixing portion 30, and then the sample mounting portion 5 is inclined as shown in FIG. Adjust horizontally. Since the fixing part of the present invention positions and fixes the sample S from the lateral direction by the positioning pins, the sample S can be prevented from sliding and being displaced on the sample mounting part 5.
[0022]
On the other hand, FIG.7 (d) has shown the fixed state of the sample by the conventional presser plate. The fixing with the presser plate 40 only suppresses the sample S from above, so that it is difficult to stop the slide of the sample S, and it is difficult to prevent displacement.
In addition, as shown in the above configuration example, the fixing portion used in the present invention is not limited to the configuration in which two fixing portions are provided so as to be opposed to two orthogonal groove portions, but may be a configuration in which the sample S is sandwiched and fixed in the lateral direction. For example, the number of the groove portions and the number of the fixing portions can be variously set. FIG. 8 shows another arrangement configuration of the fixing portion of the present invention.
[0023]
FIG. 8A shows a configuration in which three groove portions 31 are arranged radially from the center of the sample mounting portion, and one fixing portion 30 is provided in each groove portion 31. Can not be fixed).
FIG. 8B shows a configuration in which two groove portions 31 are arranged radially from the center of the sample mounting portion, each fixing portion 30 is provided in each groove portion 31, and one holding portion 32 is provided. A sample (not shown) can be fixed by one fixing portion 30 and one holding portion 32.
FIG. 8C shows a configuration in which one groove portion 31 is arranged radially from the center of the sample mounting portion, the fixing portion 30 is provided in the groove portion 31 and two holding portions 32 are provided. A sample (not shown) can be fixed by the fixing portion 30 and the two holding portions 32.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the X-ray diffraction apparatus of the present invention, a sample having an arbitrary shape and thickness can be fixed regardless of the shape and thickness of the sample.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view for explaining an X-ray diffraction apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view for explaining an X-ray diffraction apparatus of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view for explaining a fixing portion of the present invention.
FIG. 4 shows a cross section in the longitudinal direction of a groove portion of the fixing portion of the present invention.
FIG. 5 shows a cross section in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the groove portion of the fixed portion of the present invention.
FIG. 6 is a schematic view showing a fixed state of a sample by a fixing portion of the present invention.
FIG. 7 is a view for explaining prevention of a positional deviation of a sample according to the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing another arrangement configuration of the fixing portion of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray diffraction apparatus, 2 ... X-ray source, 3 ... Detector, 4 ... Horizontal goniometer, 5 ... Sample mounting part, 6 ... Base part, 7 ... 1st base, 8 ... 2nd base, 9 ... R- .theta. stage, 9a... R direction drive section, 9b .theta. direction drive section, 9c, 9e... drive motor, 9d... drive shaft, 10... first support section, 11, 12, 13. , 21, 22, 23 ... feed screw, 24 ... working end, 30 ... fixing part, 30 a ... positioning pin, 30 b ... fixing screw, 30 c ... block, 30 d ... fixing plate, 30 e ... support spring, 31 ... groove part, 32 ... holding part.

Claims

A sample mounting part for supporting the sample;
A fixed portion that can be moved and fixed with respect to the sample mounting portion;
The fixing portion includes a plurality of positioning pins that contact a side portion of the sample, a block that allows the positioning pins to move and be fixed along a groove formed in the sample mounting portion, and the block in the longitudinal direction of the groove. It has a fixing screw to fix it at any position,
The plurality of positioning pins can be independently positioned with respect to the sample mounting portion by the block,
An X-ray diffraction apparatus, wherein the sample is fixed by fixing the block to the groove with a fixing screw and fixing the positioning pin in contact with the side portion of the sample.