JP2002130209A - 揺動形アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 揺動形アクチュエータの揺動範囲を高精度に
設定し得るようにすることである。 【解決手段】 ストッパ４６ａは円形断面の円柱形の形
状をもつため規制面５１，５２とストッパ４６ａの接触
面５３ａとの接点位置は、ストッパ４６ａの揺動軸の中
心からの揺動半径の内側であって、規制面５１，５２か
ら離れる方向に変化することになる。したがって、ショ
ックアブソーバ４７，４８のねじ込み量に対するテーブ
ルの回転角、つまりはテーブルの偏角度αは小さくな
り、精度のよい作動範囲や停止位置の調整が可能とな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、揺動形アクチュエ
ータに関し、特にラックアンドピニオン形揺動アクチュ
エータに適用して有効な技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】被駆動部材を３６０度以下の角度で揺動
往復動するための揺動形アクチュエータとしては、ラッ
クが設けられたピストンを流体圧により直線運動し、ピ
ストンの直線往復動を被駆動部材の揺動往復動に変換す
るようにしたピストンタイプと、被駆動部材に連結され
たベーンを流体圧により揺動往復動するようにしたベー
ンタイプとがある。

【０００３】ピストンタイプの揺動形アクチュエータに
は、例えば実用新案登録第２５１３８３９号公報に記述
されているようなラックアンドピニオン形揺動アクチュ
エータがあり、この揺動形アクチュエータは、揺動軸と
一体のピニオンにそれぞれ噛み合う一対のラックが軸方
向に摺動自在に装着されたシリンダ本体を有し、シリン
ダ本体に形成された流体圧室内にはラックを駆動するた
めのピストンがラックの一端側に設けられ、他端側には
ストッパが設けられている。揺動軸の揺動角度を設定す
るために、ストッパに当接するストローク調整用のボル
トがアクチュエータ本体の端部に取り付けられている。

【０００４】ストローク調整用のボルトをアクチュエー
タ本体の端部に取り付けると、アクチュエータ本体の長
さ寸法が大きくなるが、揺動軸にストッパを取り付け、
アクチュエータ本体の幅方向にストッパと接触するボル
トやショックアブソーバなどのストローク調整部材を取
り付けるようにすると、アクチュエータ本体の長さ寸法
を短くすることができる。

【０００５】そこで、ラックアンドピニオン形揺動アク
チュエータにあっては、揺動軸にその径方向に向けてス
トッパを取り付けるようにしたものがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、揺動軸にスト
ッパを径方向に突出させて取り付けるようにした場合に
は、ストローク調整部材が接触するストッパの接触面は
径方向に真っ直ぐに伸びた平坦面となるので、ストロー
ク調整部材とストッパとが接触する位置を変化させる
と、ストローク調整部材とストッパとの接点位置がスト
ッパの径方向に大きく変化することになる。そのため、
ストローク調整部材の調整量に対する揺動軸の回転角で
ある偏角度が大きくなり揺動範囲の微調整が困難となっ
ている。

【０００７】本発明の目的は、揺動形アクチュエータの
揺動範囲を高精度に設定し得るようにすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の揺動形アクチュ
エータは、作動流体により駆動される揺動部材を揺動往
復動自在に支持するアクチュエータ本体と、前記揺動部
材に設けられ、前記揺動部材と一体に揺動往復動するス
トッパと、前記アクチュエータ本体に設けられ、前記揺
動部材が一方の揺動ストローク端となったときに前記ス
トッパに当接する第１揺動範囲規制部材と、前記アクチ
ュエータ本体に設けられ、前記揺動部材が他方の揺動ス
トローク端となったときに前記ストッパに当接する第２
揺動範囲規制部材と、前記第１および第２揺動範囲規制
部材の少なくとも一方の規制面に接触するように前記ス
トッパに形成された接触面に、前記ストッパの最大スト
ローク端のときに点接触する接点から揺動半径の内側に
前記規制面から離れる方向に変位した湾曲面を形成した
ことを特徴とする。

【０００９】本発明の揺動形アクチュエータの前記スト
ッパは断面円形の円柱部材であるのがよい。

【００１０】本発明の揺動形アクチュエータの前記揺動
範囲規制部材はショックアブソーバ本体に軸方向に進退
移動自在に装着されたロッドであるのがよい。

【００１１】本発明の揺動形アクチュエータは、前記ア
クチュエータ本体に形成された流体圧室に軸方向に往復
動自在に装着されたピストンと、前記ピストンに形成さ
れたラックと、前記ラックに噛み合い前記揺動部材に形
成されたピニオンとを有するものがよい。

【００１２】本発明にあっては、ストッパと揺動範囲規
制部材の規制面との接触面をストッパの最大ストローク
端のときに点接触する接点から揺動半径の内側に規制面
から離れる方向に変位した湾曲面としたことにより、揺
動範囲規制部材の調整量に対する揺動部材の偏角度を小
さくすることができ、揺動形アクチュエータの揺動範囲
を高精度に設定することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１４】（実施の形態１）図１（ａ），（ｂ）は本
発明の一実施の形態である揺動形アクチュエータを示す
斜視図であり、アクチュエータ本体１は、ほぼ直方体の
形状を有し、その上部には揺動部材としての円形のテー
ブル２が設けられている。テーブル２上にワークや治具
等の機器を搭載することにより、ワークや治具等の機器
を回転揺動運動させ、またその位置決めをすることによ
り所定の作業ができるようになっている。

【００１５】図２は図１（ａ）に示す揺動形アクチュエ
ータのＡ−Ａ断面を示す断面図であり、図３は図２に示
すＢ−Ｂ断面を示す断面図である。

【００１６】図２に示すアクチュエータ本体１にはテー
ブル２と一体に形成されたピニオン３が回転自在に支持
されており、このピニオン３の両脇には２つのシリンダ
室４，５が並列に形成されている。

【００１７】シリンダ室４の両端は、それぞれ外周にＯ
リング６ａ，７ａを有するエンドプレート６，７をスナ
ップリング８，９にて固定することにより閉塞されてい
る。同様に、シリンダ室５の両端も、それぞれ外周にＯ
リング１０ａ，１１ａを有するエンドプレート１０，１
１をスナップリング１２，１３にて固定することにより
閉塞されている。

【００１８】２つのシリンダ室４，５には、それぞれピ
ニオン３に噛み合わされたラック１４，１５が対となっ
て、それぞれ軸方向に摺動自在に設けられており、ラッ
ク１４，１５が互いに相反する方向に往復直線運動する
とピニオン３が揺動往復動するようになっている。

【００１９】ラック１４，１５の内部には、それぞれマ
グネット押さえ１６，１７とＯリング１８，１９に支持
されたマグネット２０，２１が取り付けられており、マ
グネット２０，２１の磁力に感応してラック１４，１５
がストローク端の位置となったことを検出するための図
示しないセンサが図１（ａ），（ｂ）に示すセンサ取付
溝２２，２３に取り付けられるようになっている。

【００２０】マグネット２０，２１は、この揺動形アク
チュエータの使用用途に応じて、取り外したり、もしく
はどちらか一方のラックにのみ取り付けたりすることが
できるようになっている。

【００２１】ラック１４の両端にはそれぞれピストン２
４，２５が取り付けられており、シリンダ室４内に２つ
の流体圧室４ａ，４ｂを形成している。なお、ピストン
２４，２５の外周にはそれぞれシール部材２４ａ，２５
ａが設けられている。

【００２２】ラック１４と同様に、ラック１５の両端に
はそれぞれシール部材２６ａ，２７ａが設けられたピス
トン２６，２７が取り付けられており、シリンダ室５内
に２つの流体圧室５ａ，５ｂを形成している。

【００２３】流体圧室４ｂ，５ａに開口する作動流体給
排口２８，２９は、アクチュエータ本体１に設けられた
作動流体給排流路３０により、図示しない作動流体供給
源に接続された給排ポート３１に連通されており、給排
ポート３１に作動流体を供給することにより流体圧室４
ｂ，５ａに同時に作動流体が流入するようになってい
る。流体圧室４ｂ，５ａに同時に流入した作動流体がそ
れぞれピストン２５，２６を軸方向に押すことにより、
ラック１４は図中左方向へ、ラック１５は図中右方向へ
直線運動し、ピニオン３を図中反時計回りに回転させ
る。

【００２４】流体圧室４ａ，５ｂには流体圧室４ａ，５
ｂの図２に示すのと逆側の側面に開口する２点鎖線で示
す作動流体給排口３２，３３が設けられている。作動流
体給排口３２，３３は図３に示す作動流体給排流路３４
により、図１（ｂ）に示す給排ポート３５に連通されて
おり、給排ポート３５に作動流体を供給することにより
流体圧室４ａ，５ｂに同時に作動流体が流入するように
なっている。

【００２５】流体圧室４ａ，５ｂに同時に流入した作動
流体がそれぞれピストン２４，２７を軸方向に押すこと
により、ラック１４は図中右方向へ、ラック１５は図中
左方向へ直線運動しピニオン３を図中時計回りに回転さ
せる。

【００２６】したがって、流体圧室４ｂ，５ａと流体圧
室４ａ，５ｂとに交互に作動流体を供給することによ
り、ラック１４，１５が軸方向に往復直線運動し、ピニ
オン３は揺動往復動することができる。

【００２７】作動流体給排流路３０は給排ポート３１の
他に給排ポート３６，３７，３８とを有しており、それ
ぞれの給排ポート３６，３７，３８は、図１（ａ），
（ｂ）や図２に示すようにプラグ３６ａ，３７ａ，３８
ａにて閉塞されている。同様に作動流体給排流路３４は
給排ポート３５の他に、給排ポート３９，４０，４１と
を有しており、それぞれの給排ポート３９，４０，４１
はプラグ３９ａ，４０ａ，４１ａにて閉塞されている。
本実施例では給排ポート３１，３５を作動流体供給源に
接続させ、他の給排ポートをプラグにて閉塞させた場合
を示しているが、給排ポート３１，３５を含めたそれぞ
れ４つの給排ポートのうちいずれか１つの給排ポートを
作動流体供給源と接続し、残りの給排ポートをそれぞれ
プラグにて閉塞することにより、作動流体を供給する給
排ポートの作動流体供給源との接続位置を変更すること
ができる。

【００２８】したがって、任意の給排ポートに作動流体
供給源を接続することにより、この揺動形アクチュエー
タの設置の自由度が増すことになる。

【００２９】ピニオン３は図３に示すようにテーブル２
と一体に形成されており、このテーブル２はテーブル押
さえねじ４２により軸受としての２つのアンギュラベア
リング４３，４４を挟み込む形でアクチュエータ本体１
に取り付けられている。このような構造としたことによ
り、テーブル押さえねじ４２の締め付けトルクによりア
ンギュラベアリング４３，４４に予圧を加えることがで
きるようになり確実なテーブル２の取付が可能となる。
なお、テーブル押さえねじ４２とアンギュラベアリング
４３との間には、テーブル押さえねじ４２の緩み防止の
ためのばね座金４５が組み込まれている。

【００３０】テーブル２はピニオン３と一体に形成され
ているので、ピニオン３と一体に揺動往復動することに
なる。

【００３１】テーブル２には断面円形の円柱部材からな
るストッパ４６ａが取り付けられており、テーブル２と
一体に揺動往復動するようになっている。

【００３２】図４（ａ）は図３に示すＣ−Ｃ断面を示す
断面図であり、図４（ａ）に示すように、アクチュエー
タ本体１には図５にその詳細を示すショックアブソーバ
４７，４８が取り付けられている。ショックアブソーバ
４７，４８の軸方向に進退移動自在に装着された揺動範
囲規制部材としてのロッド４９，５０の先端に設けられ
た規制面５１，５２は円弧状になっており、これらの規
制面がそれぞれテーブル２の揺動ストローク端において
当接するストッパ４６ａの外周は湾曲面としての円形の
接触面５３ａとなっている。したがって、ストローク端
の位置が図４（ａ）において実線で示す位置を最大スト
ローク端とし、破線で示す位置を最小ストローク端と
し、これらの間でストローク端の位置を変化させると、
ストッパ４６ａの接触面５３ａと規制面５１との接点
は、ストッパ４６ａの揺動軸の中心からの揺動半径の内
側であって、ストッパ４６ａの規制面５１から離れる方
向に形成された接触面５３ａ上を変位することになる。
これにより、ロッド４９の軸方向の変化に比してストロ
ーク端の角度を小さくすることができる。

【００３３】図５はショックアブソーバの詳細を示す断
面図であり、図５に示すようにショックアブソーバ４７
はショックアブソーバ本体５４内に設けられたオイル室
５４ａ内にピストンリング５５が軸方向に摺動自在に設
けられており、このピストンリング５５はロッド４９の
一端に取り付けられた第１ピストン５６と第２ピストン
５７との間に生じる溝に嵌め込まれこの溝の範囲内にお
いて軸方向に往復動自在となっている。ロッド４９はシ
ョックアブソーバ本体５４の一端に設けられたストッパ
ホルダ５８に支持されており、ショックアブソーバ本体
５４内に進退移動自在となっている。

【００３４】通常ロッド４９は、オイル室５４ａ内に第
２ピストン５７に向けて設けられたスプリング５９のば
ね力によりロッド４９をショックアブソーバ本体５４か
ら突出させる向きに保持されている。ロッド４９に外力
が加わりロッド４９がショックアブソーバ本体５４内に
収縮すると、ピストンリング５５は第１ピストン５６に
押されてオイル室５４ａ内を図中右方向に移動する。こ
のとき、オイル室５４ａ内に満たされているオイルが第
１ピストン５６とピストンリング５５との接触面の隙間
を流れることにより抵抗が発生し、またオイル室５４ａ
の一端に設けられたアキュムレータ６０にてオイル室５
４ａ内の圧力を吸収することによりショックアブソーバ
としての機能を発揮することになる。

【００３５】ショックアブソーバ４８もショックアブソ
ーバ４７と同一の構造と機能を有するものである。

【００３６】テーブル２と共に回転揺動するストッパ４
６ａが時計回りに回転し、接触面５３ａが規制面５１に
接触すると、ロッド４９はテーブル２の回転エネルギを
吸収しながらショックアブソーバ４７内に収縮して揺動
ストローク端においてテーブル２を停止させる。同様
に、ストッパ４６ａが反時計回りに回転し、規制面５２
に接触すると、ロッド５０はテーブル２の回転エネルギ
を吸収しながらショックアブソーバ４８内に収縮して揺
動ストローク端においてテーブル２を停止させる。

【００３７】したがって、テーブル２はロッド４９，５
０により揺動範囲が制限され、その揺動ストローク端に
おいて位置決めされることになる。

【００３８】ショックアブソーバ４７，４８はそれぞれ
本体外周部にねじ山６１，６２を有しており、アクチュ
エータ本体１に設けられた揺動範囲規制部材取付用ねじ
孔６３，６４にねじ込まれ六角ナット６５，６６にて固
定されている。この六角ナット６５，６６を緩めて、シ
ョックアブソーバ４７，４８のねじ込み量を調整するこ
とによりテーブル２の作動範囲や停止位置を調整するこ
とができるようになっている。

【００３９】図４（ｂ）は揺動形アクチュエータの従来
例を示す断面図であり、テーブル２の作動範囲や停止位
置を調整する際、図４（ｂ）に示す従来のブロック形の
ストッパ４６ｂを用いた揺動形アクチュエータの場合に
は、ショックアブソーバ４７，４８のねじ込み量を調整
すると、ストッパ４６ｂはロッド４９，５０の先端に設
けられた規制面５１，５２に押されてテーブル２の回転
軸を中心として回転される。このとき規制面５１，５２
が接触するストッパ４６ｂの接触面５３ｂは径方向に真
っ直ぐに伸びた平坦面となるので、ショックアブソーバ
４７，４８のねじ込み量を調整すると、規制面５１，５
２とストッパ４６ｂの接触面５３ｂとの接点位置は径方
向に大きく変化することになる。そのため、ショックア
ブソーバ４７，４８のねじ込み量に対するテーブル２の
回転角、つまりはテーブル２の偏角度βが大きくなり、
精度のよい作動範囲や停止位置の調整が困難となる。

【００４０】同様に、ねじ込み量が固定された状態のシ
ョックアブソーバ４７，４８に対してストッパ４６ｂが
突入してから停止するまで、いわゆるショックアブソー
バ４７，４８のストロークの範囲内においても規制面５
１，５２とストッパ４６ｂの接触面５３ｂとの接点位置
は径方向に大きく変化する。したがって、ストッパ４６
ｂがショックアブソーバ４７，４８に突入する際の偏角
度βは大きくなる。

【００４１】これに対し図４（ａ）に示すストッパ４６
ａは円形断面の円柱形の形状をもつため規制面５１，５
２とストッパ４６ａの接触面５３ａとの接点位置は、ス
トッパ４６ａの揺動軸の中心からの揺動半径の内側であ
って、規制面５１，５２から離れる方向に形成された接
触面５３ａに沿って変化することになる。したがって、
ショックアブソーバ４７，４８のねじ込み量に対するテ
ーブル２の回転角、つまりテーブル２の偏角度αはスト
ッパ４６ｂを用いた場合の偏角度βに比して小さくな
り、揺動形アクチュエータの揺動範囲を高精度に設定す
ることができる。

【００４２】同様に、ねじ込み量が固定された状態のシ
ョックアブソーバ４７，４８に対してストッパ４６ａが
突入してから停止するまで、いわゆるショックアブソー
バ４７，４８のストロークの範囲内においても規制面５
１，５２とストッパ４６ａの接触面５３ａとの接点位置
は、ストッパ４６ａの揺動軸の中心からの揺動半径の内
側であって、規制面５１，５２から離れる方向に形成さ
れた接触面５３ａに沿って変化することになる。したが
って、ショックアブソーバ４７，４８のストロークに対
するストッパ４６ａのショックアブソーバ４７，４８に
突入する際の偏角度αが小さくなるので、ショックアブ
ソーバ４７，４８はそのストロークを十分に確保するこ
とができる。

【００４３】図６は横軸にショックアブソーバのストロ
ーク、縦軸にショックアブソーバのストロークに対する
テーブル２の偏角度を表す相関図である。ストローク０
の点はストッパがショックアブソーバにより停止される
位置とする。

【００４４】図６から、ストッパ４０ｂを用いた場合は
ショックアブソーバ４７，４８のストロークを増してい
くとテーブル２の偏角度βは大きく増加するが、ストッ
パ４６ａを用いた場合はショックアブソーバのストロー
クを増してもテーブル２の偏角度αの変化は少ないこと
がわかる。図６中には示さないが、ショックアブソーバ
４７，４８のストロークを調整量に置き換えた場合のテ
ーブル２の偏角度も同様な傾向となる。

【００４５】したがって、ストッパ４６ａを用いること
によりショックアブソーバ４７，４８の調整量に対する
テーブル２の偏角度を小さくすることができるので揺動
形アクチュエータの揺動範囲を高精度に設定することが
できる。

【００４６】（実施の形態２）図７は、本発明の他の実
施の形態である揺動形アクチュエータの構造を示す断面
図であり、大きな出力を必要としない場合などに用いら
れるものである。

【００４７】図２に示したアクチュエータ本体１と同様
に、図７に示すアクチュエータ本体１にはピニオン３が
回転自在に支持されており、このピニオン３の両脇に並
列に形成されたシリンダ室４，５には、ピニオン３に噛
み合わされたラック１４，１５が対となってそれぞれ軸
方向に摺動自在に設けられ、ラック１４，１５がシリン
ダ室内を往復直線運動するとことによりピニオン３が揺
動往復動するようになっている。

【００４８】ラック１４の両端にはそれぞれシール部材
２４ａ，２５ａが設けられたピストン２４，２５が取り
付けられており、シリンダ室４内に２つの流体圧室４
ａ，４ｂを形成している。ラック１４に対しラック１５
にはピストンは取り付けられず、ピニオン３を介してラ
ック１４に追従して駆動されるようになっている。

【００４９】流体圧室４ａ，４ｂに開口する作動流体給
排口６７，６８は、図示しない作動流体供給源に接続さ
れた給排ポート６９，７０に連通されており、給排ポー
ト６９に作動流体を供給することにより流体圧室４ａに
作動流体が流入されるようになっている。流体圧室４ａ
に流入した作動流体がピストン２４を軸方向に押すこと
により、ラック１４は図中右方向へ直線運動し、ピニオ
ン３を図中時計回りに回転させる。このとき、ピニオン
３を介してラック１４に追従して駆動されるラック１５
は図中左方向へ直線運動し、ラック１５の内部にマグネ
ット押さえ１６とＯリング１８とに支持され取り付けら
れたマグネット２１と、アクチュエータ本体１のセンサ
取付溝２２に取り付けられる図示しないセンサスイッチ
によりラック１５がストローク端の位置となったことを
検出できるようになっている。

【００５０】同様に、給排ポート７０に作動流体を供給
することにより流体圧室４ｂに作動流体が流入されるよ
うになっており、流体圧室４ｂに流入した作動流体がピ
ストン２５を軸方向に押すことにより、ラック１４は図
中左方向へ直線運動し、ピニオン３を図中反時計回りに
回転させる。このとき、ピニオン３を介してラック１４
に追従して駆動されるラック１５は図中右方向へ直線運
動される。

【００５１】したがって、流体圧室４ａと流体圧室４ｂ
とに交互に作動流体を供給することにより、ラック１４
が軸方向に往復直線運動し、ピニオン３は揺動往復動す
ることができるようになっている。

【００５２】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５３】例えば、実施の形態１において断面円形の
円柱部材としたストッパ４６ａの形状は、ロッド４９，
５０の規制面５１，５２との接触面５３ａが、ストッパ
４６ａの最大ストローク端のときに規制面５１，５２と
点接触する接点から揺動半径の内側に規制面５１，５２
から離れる方向に変位した湾曲面に形成されていればそ
れ以外の部分の形状は問わず、図８（ａ）〜（ｃ）に示
すような断面形状のものでもよい。

【００５４】また、アクチュエータ本体１は図２に示す
ようなラックアンドピニオン形揺動アクチュエータに限
らず、ベーン形揺動アクチュエータやクランク形揺動ア
クチュエータでもよい。

【００５５】

【発明の効果】本発明にあっては、ストッパの揺動範囲
規制部材との接触面に、ストッパの最大ストローク端の
ときに規制面と点接触する接点から揺動半径の内側に規
制面から離れる方向に変位した湾曲面を形成したことに
より、揺動範囲規制部材の調整量に対する揺動部材の偏
角度を小さくすることができ、揺動形アクチュエータの
揺動範囲を高精度に設定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態である
揺動形アクチュエータを示す斜視図である。

【図２】図１に示す揺動形アクチュエータのＡ−Ａ断面
を示す断面図である。

【図３】図２に示す揺動形アクチュエータのＢ−Ｂ断面
を示す断面図である。

【図４】（ａ）は図３に示す揺動形アクチュエータのＣ
−Ｃ断面を示す断面図であり、（ｂ）は揺動形アクチュ
エータの従来例を示す断面図である。

【図５】図４に示すショックアブソーバの詳細を示す断
面図である。

【図６】ショックアブソーバの調整量と偏角度の関係を
表す相関図である。

【図７】本発明の他の実施の形態である揺動形アクチュ
エータの構造を示す断面図である。

【図８】（ａ）〜（ｃ）は図４に示す揺動形アクチュエ
ータのストッパの断面形状の変形例を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１ アクチュエータ本体 ２ テーブル ３ ピニオン ４ シリンダ室 ４ａ，４ｂ 流体圧室 ５ シリンダ室 ５ａ，５ｂ 流体圧室 ６，７，１０，１１ エンドプレート ６ａ，７ａ，１０ａ，１１ａ Ｏリング ８，９，１２，１３ スナップリング １４，１５ ラック １６，１７ マグネット押さえ １８，１９ Ｏリング ２０，２１ マグネット ２２，２３ センサ取付溝 ２４，２５，２６，２７ ピストン ２４ａ，２５ａ，２６ａ，２７ａ シール部材 ２８，２９，３２，３３ 作動流体給排口 ３０，３４ 作動流体給排流路 ３１，３５，３６，３７，３８，３９，４０，４１ 給
排ポート ３６ａ，３７ａ，３８ａ，３９ａ，４０ａ，４１ａ プ
ラグ ４２ テーブル押さえねじ ４３，４４ アンギュラベアリング ４５ ばね座金 ４６ａ，４６ｂ ストッパ ４７，４８ ショックアブソーバ ４９，５０ ロッド ５１，５２ 規制面 ５３ａ，５３ｂ 接触面 ５４ ショックアブソーバ本体 ５４ａ オイル室 ５５ ピストンリング ５６ 第１ピストン ５７ 第２ピストン ５８ ストッパホルダ ５９ スプリング ６０ アキュムレータ ６１，６２ ねじ山 ６３，６４ 揺動範囲規制部材取付用ねじ孔 ６５，６６ 六角ナット ６７，６８ 作動流体給排口 ６９，７０ 給排ポート α 偏角度 β 偏角度

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 作動流体により駆動される揺動部材を揺
   動往復動自在に支持するアクチュエータ本体と、 前記揺動部材に設けられ、前記揺動部材と一体に揺動往
   復動するストッパと、 前記アクチュエータ本体に設けられ、前記揺動部材が一
   方の揺動ストローク端となったときに前記ストッパに当
   接する第１揺動範囲規制部材と、 前記アクチュエータ本体に設けられ、前記揺動部材が他
   方の揺動ストローク端となったときに前記ストッパに当
   接する第２揺動範囲規制部材と、 前記第１および第２揺動範囲規制部材の少なくとも一方
   の規制面に接触するように前記ストッパに形成された接
   触面に、前記ストッパの最大ストローク端のときに点接
   触する接点から揺動半径の内側に前記規制面から離れる
   方向に変位した湾曲面を形成したことを特徴とする揺動
   形アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の揺動形アクチュエータに
   おいて、前記ストッパは断面円形の円柱部材であること
   を特徴とする揺動形アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の揺動形アクチュ
   エータにおいて、前記揺動範囲規制部材はショックアブ
   ソーバ本体に軸方向に進退移動自在に装着されたロッド
   であることを特徴とする揺動形アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１，２または３のいずれか１項に
   記載の揺動形アクチュエータにおいて、前記アクチュエ
   ータ本体に形成された流体圧室に軸方向に往復動自在に
   装着されたピストンと、前記ピストンに形成されたラッ
   クと、前記ラックに噛み合い前記揺動部材に形成された
   ピニオンとを有することを特徴とする揺動形アクチュエ
   ータ。