JP2002126423A - エアフィルタ用部品、その梱包体及びその梱包方法 - Google Patents
エアフィルタ用部品、その梱包体及びその梱包方法Info
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Abstract
物質の付着を抑えることにある。 【解決手段】 このエアフィルタ用部品は、少なくとも
一部に空気清浄可能なフィルタ濾材を有するものであ
り、使用前におけるフィルタ濾材1g当たりのDBP含
有量は1.0μg以下である。
Description
空気清浄可能なフィルタ濾材を有するエアフィルタ用部
品、その梱包体及びその梱包方法に関する。
が行われるクリーンルーム及び半導体製造装置には、よ
り細かい浮遊微粒子を捕獲できるよう、高い捕集効率を
有するエアフィルタユニット、例えば、HEPA(high
efficiency particulate air)filter、ULPA(ult
ra low penetration air)filterが用いられている。こ
の種のエアフィルタユニットとして、高捕集型のフィル
タ濾材と、このフィルタ濾材が収納される枠体とを備え
たものがある。フィルタ濾材は、例えば、ポリテトラフ
ルオロエチレン(以下、PTFE)で形成された多孔膜
と、PTFE多孔膜を両側から狭持するよう配置された
不織布とがラミネートされることにより形成されてい
る。また、フィルタ濾材は、所定の形状に加工され、枠
体の内側に収納されている。
ンルームの通気口に設置して運転を開始すると、クリー
ンルームの外側の空気は、エアフィルタユニットを通過
して通気口からクリーンルーム内に入り込む。このと
き、空気中の浮遊微粒子は、フィルタ濾材の繊維に衝突
することによりフィルタ濾材に捕獲される。
に、製造後はポリエチレン(以下、PE)等の樹脂製の
袋に詰められ、さらに段ボール等に梱包されて出荷され
る。また、フィルタ濾材や、フィルタ濾材を所定形状に
加工したもの(以下、エアフィルタプリーツパックとい
う)も、それぞれ単独で、PE袋、段ボール等で梱包さ
れた状態で出荷される場合がある。
ーム内には、浮遊微粒子だけでなく、クリーンルームの
壁の塗料等から発生したガス状の有機物成分も微量なが
ら浮遊しているが、これらの物質が半導体素子、ウエハ
等に付着すると、電気特性が損なわれる等して製品の品
質低下を招く。特に、ジオクチルフタレート、ジブチル
テレフタレート(以下、DOP、DBP)、炭素数15
以上の炭化水素等の高沸点成分は、揮発しにくいため、
一旦製品に付着すると除去するのが困難となる。このた
め、クリーンルームでは、これらの有機物成分を除去す
べく、ケミカルフィルタを設置する等してその浮遊量が
所定の基準以下に抑えられている。
は、これらの有機物質は、クリーンルーム内で発生する
のみでなく、クリーンルームに設置したエアフィルタユ
ニット自体からも発生していることが分かってきた。し
かも、これらの有機物質は、外気、そして特に梱包材で
ある段ボールから発生してフィルタ濾材に吸着されたも
のであること、また有機物質はPE袋からも発生しうる
ことも明らかとなってきた。
ニットと段ボールとの間に、PE袋等のフィルム材が配
置されているが、段ボールから発生した有機物質はPE
袋を透過してしまうため、使用前において既に有機物質
がフィルタ濾材に付着した状態となる。これと同様な問
題は、フィルタ濾材やエアフィルタプリーツパックがそ
れぞれ単独で梱包された場合にも生じる。そして、特
に、PTFE多孔膜を用いた高捕集型のフィルタ濾材で
は、従来のガラスフィルタ濾材に比べこのような有機物
質を吸着し易くなっている。
用部品に対する有機物質の付着を抑えることにある。
ィルタ用部品は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィ
ルタ濾材を有するものであり、使用前におけるフィルタ
濾材1g当たりのDBP含有量は1.0μg以下であ
る。
えば、フィルタ濾材、エアフィルタプリーツパック及び
エアフィルタユニット(いずれも後述)が含まれる。な
お、以下の説明では、エアフィルタ用部品として主にエ
アフィルタユニットを例に説明する。
リーンルームの壁の塗料等から発生したDBP、DO
P、炭素数15以上の炭化水素等のガス状の有機物成分
も微量ながら浮遊しており、このような有機物質を除去
すべく、クリーンルームでは、ケミカルフィルタを設置
する等してその浮遊量が所定の基準以下に抑えられてい
る。
うな有機物質は、クリーンルーム内で発生するのみでな
く、クリーンルーム及び半導体製造装置等に設置された
エアフィルタユニット自体からも発生していることが分
かってきた。しかも、エアフィルタユニットは、使用が
開始される前に既にこれらの有機物質で汚染された状態
となっていることが本願出願人の研究により明らかとな
った。
前におけるフィルタ濾材1g当たりのDBP含有量を所
定量以下とし、使用前のエアフィルタ用部品がクリーン
ルームに設置された場合に、クリーンルーム内を汚染す
るのを抑えられるようにしている。
ルタ用部品が梱包されている場合にその梱包を解いたと
きをいう。また、使用前におけるフィルタ濾材1g当た
りのDBP含有量は、好ましくは、0.2μg/g以下
である。
えられたエアフィルタ用部品として、特開平10-286415
号公報に示されるエアフィルタユニットが既に提案され
ている。
では、有機物質の含有量の測定はパージアンドトラップ
方式により行われる。この方式では、エアフィルタユニ
ットに対し40℃の空気を所定の流量で吹き付け、この
エアフィルタユニットを透過する空気中から検出される
有機物質の量を測定することにより、エアフィルタユニ
ットに含まれる有機物質の量が測定される。
機物質については有効に測定できるが、沸点が270℃
を超えるような高沸点の有機物質については、測定条件
が穏やかであるためにエアフィルタユニットから十分に
遊離させることができず、DBP、DOP等の高沸点成
分の含有量を有効に測定することができない。
は、パージアンドトラップ方式に比べ高沸点の有機物質
でも十分な量を遊離させることのできるヘキサン抽出法
(後述)等の測定方法により、DBP、DOP等の高沸
点成分の含有量の測定を行うことが望ましい。
請求項1のエアフィルタ用部品において、使用前におけ
るフィルタ濾材1g当たりのDOP含有量は1.0μg
以下である。
フィルタ濾材1g当たりのDOP含有量が所定量以下と
なっている。これにより、使用前のエアフィルタ用部品
がクリーンルームに設置された場合に、クリーンルーム
内を汚染するのを抑えることができる。
たりのDOP含有量は、好ましくは、0.2μg/g以
下である。請求項3に記載のエアフィルタ用部品は、請
求項1または2エアフィルタ用部品において、使用前に
おけるフィルタ濾材1g当たりの炭素数15以上の炭化
水素含有量は50μg以下である。
フィルタ濾材1g当たりの炭素数15以上の炭化水素含
有量が所定量以下となっている。これにより、使用前の
エアフィルタ用部品がクリーンルームに設置された場合
に、クリーンルーム内を汚染するのを抑えることができ
る。
たりの炭素数15以上の炭化水素含有量は、好ましく
は、20μg/g以下である。請求項4に記載のエアフ
ィルタ用部品は、請求項1から3のいずれかのエアフィ
ルタ用部品において、フィルタ濾材は、PTFEからな
るろ過層と、ろ過層の少なくとも片面にラミネートされ
る通気性支持材とを有している。
タ用濾材は、繊維が太く繊維間の空隙も大きい。このた
め、ガラスフィルタ濾材は、DBP、DOP等のガス状
の有機物質の吸着は比較的小さい。
集型のフィルタ濾材では、従来のガラスフィルタ濾材に
比べ繊維が細く繊維間の空隙も小さい。しかし、前記P
TFE多孔膜を用いた高捕集型フィルタ濾材は、細かい
繊維径を有しているために、DBP、DOP等のガス状
の有機物質を、従来のガラスフィルタ濾材に比べ吸着し
易くなっている。
に、PTFE多孔膜を用いたエアフィルタ用部品におい
て、使用前におけるフィルタ濾材1g当たりのDBP、
DOP等の有機物質含有量が所定量以下とされている。
このため、PTFE多孔膜を用いたエアフィルタ用部品
がクリーンルームに設置された場合でも、クリーンルー
ム内を汚染するのを有効に抑えることができる。
請求項1から4のいずれかのエアフィルタ用部品におい
て、フィルタ濾材は、53mm/秒の流速で空気を透過
させたときに生じる圧力損失と粒子径が0.10μm以
上0.12μm以下のDOPを用いて測定される捕集効
率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である。
効率と圧力損失とがあるが、これら2つの特性のバラン
スをみるための尺度としてPF(Performance factor)
値がしばしば用いられる。フィルタ濾材は、このPF値
が大きい程、捕集効率が高くかつ圧力損失が小さい濾材
であるとされる。
フィルタ濾材は、前述のようにDBP、DOP等の有機
物質を吸着し易くなっているが、PF値が高いフィルタ
濾材は、特にこのような有機物質を吸着する傾向が強く
なっている。
PF値が所定値以上のエアフィルタ用部品において、使
用前におけるDBP、DOP等の有機物質含有量が所定
量以下とされている。このため、PF値の高いエアフィ
ルタ用部品がクリーンルームに設置された場合でも、ク
リーンルーム内を汚染するのを有効に抑えることができ
る。
きくなる程、DBP、DOP等の有機物質を吸着し易い
構造となっている。この理由として、エアフィルタとし
て用いられるPTFE多孔膜の繊維径は、通常0.05
〜0.2μmと細く、またPF値が大きくなるほど繊維
径は細かくなり、PF値が22を超えるものであれば繊
維径は0.14μm以下、さらには0.05〜0.1μ
m程度となるからである。したがって、エアフィルタ用
部品のPF値は、好ましくは22を超えるものである。
部品は、請求項5のエアフィルタ用部品において、フィ
ルタ濾材はPF値が22を超えるものとなっている。請
求項7に記載のエアフィルタ用部品梱包体は、請求項1
から6のいずれかに記載のエアフィルタ用部品と、エア
フィルタ用部品が外気から遮断されるよう配置される梱
包材とを備えている。
部品は、前述のように、製造後はPE等の樹脂製の袋に
詰められ、さらに段ボール等に梱包されて出荷される。
エアフィルタ用部品は、使用時までこのように外気から
遮断されることで、工場で製造されたときの清浄な状態
を保持し得ると考えられていた。
有するPTFE多孔膜を使用してなるエアフィルタ用部
品は、使用前において既にDBP、DOP等の有機物質
で汚染されていることが明らかとなった。そして、本願
出願人の研究により、これらの有機物質は、外気、そし
て特に梱包材である段ボールから発生し、さらにPE袋
を透過することによりエアフィルタ用部品に吸着しうる
ことが分かってきた。また、これらの有機物質はPE袋
からも発生しうることも本願出願人の研究により明らか
となってきた。
は、エアフィルタ用部品は梱包材により外気から遮断さ
れるよう梱包されており、この梱包されたエアフィルタ
ユニットは、例えば梱包してから一定時間が経過した後
にその梱包が解かれた場合であっても、DBP、DOP
等の有機物質の含有量が所定量以下となっている。
エアフィルタ用部品に対するDBP、DOP等の有機物
質の付着が抑えられている。請求項8に記載のエアフィ
ルタ用部品梱包体は、請求項7の梱包体において、梱包
材は、少なくとも一部にポリエステルフィルム層を有す
る第1材を有している。
材に含まれる第1材は、DOP、DBP等の有機物質の
透過を遮断しうるポリエステルフィルム層を有してい
る。このため、外気中の有機物質は第1材を透過して第
1材の内側に侵入することが殆どない。したがって、こ
こでも、梱包された状態のエアフィルタ用部品に対する
有機物質の付着が抑えられている。
くは、ポリエチレンテレフタレート(以下、PET)か
らなるフィルム層である。請求項9に記載のエアフィル
タ用部品梱包体は、請求項7の梱包体において、梱包材
は、少なくとも一部にエチレン−ビニルアルコール共重
合体(以下、EVOH)フィルム層を有する第1材を有
している。
ガスバリア性を有しており、DOP、DBP等の有機物
の透過を有効に抑えることが可能である。そこで、この
梱包体では、EVOHフィルム層を有する第1材でエア
フィルタ用部品を梱包することとし、これにより、梱包
された状態でのエアフィルタ用部品に対する有機物質の
付着を抑えるようにしている。
包体は、請求項7の梱包体において、梱包材は、少なく
とも一部にナイロンフィルム層を有する第1材を有して
いる。
同様に、高いガスバリア性を有しており、DOP、DB
P等の有機物の透過を有効に抑えることが可能である。
そこで、この梱包体では、ナイロンフィルム層を有する
第1材でエアフィルタ用部品を梱包することとし、これ
により、梱包された状態でのエアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着を抑えるようにしている。
包体は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材
を有するエアフィルタ用部品と、エアフィルタ用部品が
外気から遮断されるよう配置される梱包材とを備えてい
る。梱包材は、酸素透過度が20000ml/(m2・
day・Mpa)未満である第1材を有している。
包材により使用時まで外気から遮断されることで、工場
で製造されたときの清浄な状態を保持し得ると考えられ
ていたが、本願出願人の研究により、これらの有機物質
は、外気、そして特に梱包材である段ボールから発生し
てPE袋を透過することにより吸着されたものであるこ
と、また、これらの有機物質はPE袋からも発生しうる
ことも明らかとなった。
は、エアフィルタ用部品を酸素透過度が所定の値より低
い第1材で梱包することとし、これにより、外気中のガ
ス状物質が第1材を透過するのが抑えられている。した
がって、ここでも、梱包された状態のエアフィルタ用部
品に対する有機物質の付着が抑えられている。
が10000ml/(m2・day・Mpa)未満であ
り、さらに好ましくは、酸素透過度が0〜5000ml
/(m2・day・Mpa)の範囲にあり、特に好まし
くは、0〜2700ml/(m2・day・Mpa)の
範囲にある。なお、酸素透過度は、JIS規格による測
定方法(JIS−Z−1707)により測定される値で
ある。
包体は、請求項11の梱包体において、フィルタ濾材
は、PTFEからなるろ過層と、ろ過層の少なくとも片
面にラミネートされる通気性支持材とを有している。
熱融着ラミネートされる通気性支持材を有している。請
求項13に記載のエアフィルタ用部品梱包体は、請求項
11または12の梱包体において、フィルタ濾材は、5
3mm/秒の流速で空気を透過させたときに生じる圧力
損失と粒子径が0.10μm以上0.12μm以下のD
OPを用いて測定される捕集効率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である。
包体は、請求項13の梱包体において、フィルタ濾材は
PF値が22を超えるものである。請求項15に記載の
エアフィルタ用部品梱包体は、請求項11から14のい
ずれかの梱包体において、第1材は少なくとも一部にポ
リエステルフィルム層を有している。
材に含まれる第1材は、有機物質の透過を遮断しうるポ
リエステルフィルム層を有している。このため、外気中
の有機物質は第1材を透過して第1材の内側に侵入する
ことが殆どない。したがって、ここでも、梱包された状
態のエアフィルタ用部品に対する有機物質の付着が抑え
られている。
くは、PETからなるフィルム層である。請求項16に
記載のエアフィルタ用部品梱包体は、請求項11から1
4のいずれかの梱包体において、第1材は少なくとも一
部にEVOHフィルム層を有している。
ガスバリア性を有しており、DOP、DBP等の有機物
の透過を有効に抑えることが可能である。そこで、この
梱包体では、EVOHフィルム層を有する第1材でエア
フィルタ用部品を梱包することとし、これにより、梱包
された状態でのエアフィルタ用部品に対する有機物質の
付着を抑えるようにしている。
包体は、請求項11から14のいずれかに記載の梱包体
において、第1材は少なくとも一部にナイロンフィルム
層を有している。
同様に、高いガスバリア性を有しており、DOP、DB
P等の有機物の透過を有効に抑えることが可能である。
そこで、この梱包体では、ナイロンフィルム層を有する
第1材でエアフィルタ用部品を梱包することとし、これ
により、梱包された状態でのエアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着を抑えるようにしている。
包体は、少なくとも一部にフィルタ濾材を有する空気清
浄可能なエアフィルタ用部品と、エアフィルタ用部品が
外気から遮断されるよう配置される梱包材とを備えてい
る。梱包材は少なくとも一部にポリエステルフィルム層
を有する第1材を有している。また、ポリエステルフィ
ルム層は1μm以上の厚みを有している。
高PF値を有するPTFE多孔膜を使用しているエアフ
ィルタ用部品は、梱包材により使用時まで外気から遮断
されることで、工場で製造されたときの清浄な状態を保
持し得ると考えられていたが、本願出願人の研究によ
り、これらの有機物質は、外気、そして特に梱包材であ
る段ボールから発生してPE袋を透過することにより吸
着されたものであること、また、これらの有機物質はP
E袋からも発生しうることも明らかとなってきた。
は、第1材として1μm以上の厚みを有するポリエステ
ルフィルム層を有するものを用いることにより、酸素透
過度を所定の値より低く抑え、これにより、ガス状物質
が第1材を透過するのを抑えている。したがって、ここ
でも、梱包された状態のエアフィルタ用部品に対する有
機物質の付着が抑えられている。
包体は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材
を有するエアフィルタ用部品と、フィルタ濾材が外気か
ら遮断されるよう配置される梱包材とを備えている。梱
包材は少なくとも一部にEVOHフィルム層を有する第
1材を有しており、EVOHフィルム層は1μm以上の
厚みを有している。
ガスバリア性を有しており、DOP、DBP等の有機物
の透過を有効に抑えることが可能であるが、ここでは、
第1材として、1μm以上の厚みを有するEVOHフィ
ルム層を有するものを用いることにより、酸素透過度を
低く抑え、これにより、ガス状物質の透過を抑えるよう
にしている。したがって、ここでも、梱包された状態で
のエアフィルタ用部品に対する有機物質の付着が抑えら
れる。
包体は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材
を有するエアフィルタ用部品と、フィルタ濾材が外気か
ら遮断されるよう配置される梱包材とを備えている。梱
包材は少なくとも一部にナイロンフィルム層を有する第
1材を有しており、ナイロンフィルム層は1μm以上の
厚みを有している。
同様に、高いガスバリア性を有しており、DOP、DB
P等の有機物の透過を有効に抑えることが可能である
が、ここでは、第1材として、1μm以上の厚みを有す
るナイロンフィルム層を有するものを用いることによ
り、酸素透過度を低く抑え、これにより、ガス状物質の
透過を抑えるようにしている。したがって、ここでも、
梱包された状態でのエアフィルタ用部品に対する有機物
質の付着が抑えられる。
包体は、請求項18から20のいずれかの梱包体におい
て、フィルタ濾材は、PTFEからなるろ過層と、ろ過
層の少なくとも片面にラミネートされる通気性支持材と
を有している。
包体は、請求項18から21のいずれかの梱包体におい
て、フィルタ濾材は、53mm/秒の流速で空気を透過
させたときに生じる圧力損失と粒子径が0.10μm以
上0.12μm以下のDOPを用いて測定される捕集効
率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である。
包体は、請求項22の梱包体において、フィルタ濾材は
PF値が22を超えるものである。請求項24に記載の
エアフィルタ用部品梱包体は、請求項18、21から2
3のいずれかの梱包体において、ポリエステルフィルム
層は9μm以上の厚みを有している。
材は、9μm以上の厚みを有するポリエステルフィルム
層を有することにより、酸素透過度がより低くなってい
る。このため、外気中のガス状物質が第1材を透過する
のをより効果的に抑えることができる。また、ポリエス
テルフィルム層は一定値以上の厚みを有しているため、
第1材を容易に製造することができる。
くは、9μm以上50μm以下の厚みを有し、さらに好
ましくは、9μm以上20μm以下の厚みを有してい
る。また、このポリエステルフィルム層は、好ましく
は、PETからなるフィルム層である。
包体は、請求項19、21から23のいずれかの梱包体
において、EVOHフィルム層は9μm以上の厚みを有
している。
材は、9μm以上の厚みを有するポリエステルフィルム
層を有することにより、酸素透過度がより低くなってい
る。このため、外気中のガス状物質が第1材を透過する
のをより効果的に抑えることができる。また、ポリエス
テルフィルム層は一定値以上の厚みを有しているため、
第1材を容易に製造することができる。
くは、9μm以上50μm以下の厚みを有し、さらに好
ましくは、9μm以上20μm以下の厚みを有してい
る。また、このポリエステルフィルム層は、好ましく
は、PETからなるフィルム層である。
テルと同様の高いガスバリア性を有するEVOHフィル
ム層を有するものを用いているが、EVOHフィルム層
は9μm以上の厚みを有しているため、酸素透過度がよ
り低くなっており、ここでも、ガス状の有機物質の透過
を有効に抑えることができる。また、このフィルム層は
所定値以上の厚みを有しているため、第1材の加工が容
易になる。
ルフィルム層と同様、好ましくは、9μm以上50μm
以下の厚みを有し、さらに好ましくは、9μm以上20
μm以下の厚みを有している。
包体は、請求項20から23のいずれかの梱包体におい
て、ナイロンフィルム層は9μm以上の厚みを有してい
る。この梱包体では、第1材として、ポリエステル、E
VOH等と同様の高いガスバリア性を有するナイロンフ
ィルム層を有するものを用いているが、ナイロンフィル
ム層は9μm以上の厚みを有しているため、酸素透過度
がより低くなっており、ここでも、ガス状の有機物質の
透過を有効に抑えることができる。また、このフィルム
層も所定値以上の厚みを有しているため、第1材の加工
が容易になる。
ル、EVOHフィルム層と同様、好ましくは、9μm以
上50μm以下の厚みを有し、さらに好ましくは、9μ
m以上20μm以下の厚みを有している。
包体は、請求項8、15、18、21から24のいずれ
かの梱包体において、ポリエステルフィルム層は第1材
の最も内側に配置されている。
エステルフィルム層は、エアフィルタ用部品に最も近い
位置に配置されているため、例えば第1材の他の層が有
機物質を発生しうる場合でも、有機物質がポリエステル
フィルム層を透過することが殆どない。したがって、エ
アフィルタ用部品に対する有機物質の付着をより確実に
抑えることができる。
包体は、請求項9、16、19、21から23、25の
いずれかの梱包体において、EVOHフィルム層は第1
材の最も内側に配置されている。
OHフィルム層が最も内側に配置されているため、同じ
第1材の他の層から有機物質が発生したとしても、その
透過を抑え、エアフィルタ用部品に付着するのを有効に
抑えることができる。
包体は、請求項10、17、20から23、26のいず
れかの梱包体において、ナイロンフィルム層は第1材の
最も内側に配置されている。
ロンフィルム層が最も内側に配置されているため、同じ
第1材の他の層から有機物質が発生したとしても、その
透過を抑え、エアフィルタ用部品に付着するのを有効に
抑えることができる。
包体は、請求項27から29のいずれかの梱包体におい
て、第1材はPEフィルム層をさらに有している。この
エアフィルタ用部品梱包体では、エアフィルタ用部品
は、有機物質を発生し得るPEフィルム層を有する第1
材により梱包されているが、この第1材は同時に最内側
層としてポリエステル、EVOH、ナイロンのいずれか
のフィルム層を有しているため、PEフィルム層から有
機物質が発生しても、有機物質が第1材を完全に透過す
るのを抑えることができる。
包体は、請求項30の梱包体において、PEフィルム層
は無添加PEフィルム層である。PEは、一般には、可
塑剤、酸化防止剤等の種々の添加剤が添加されたものが
用いられているが、これらの添加剤は、その種類、量等
によっては有機物質の発生源となる場合がある。そこ
で、この梱包体では、無添加PEからなるフィルム層を
第1材に用いることにより、最内側のフィルム層の高い
ガス遮断性と共に、エアフィルタ用部品への有機物質の
付着を抑制するようにしている。
包体は、請求項30の梱包体において、PEフィルム層
は直鎖状低密度ポリエチレン(以下、LLDPE)フィ
ルム層である。
チレン(LDPE)に比べ、衝撃強さ、引裂き強さ等に
優れており、エアフィルタ用部品を梱包する資材のため
の材質として適している。そこで、ここでは、LLDP
Eフィルム層を有する第1材を用いてエアフィルタ用部
品を梱包することにより、外部からの衝撃等に対し強度
的に優れた梱包体を得ることとしている。
包体は、請求項8から32のいずれかの梱包体におい
て、梱包材は、第1材の外側に配置される第2材をさら
に有している。
フィルタ用部品は、第1材により梱包され、第1材の外
側からさらに第2材により梱包されている。ここでは、
第1材は有機物質の透過を遮断しうるポリエステルフィ
ルム層を有しているため、第2材が有機物質を発生しう
る場合でも、第2材から発生した有機物質が第1材を透
過することが殆どない。したがって、このような梱包形
態であっても、エアフィルタ用部品に対する有機物質の
付着を抑えることができる。
包体は、請求項33の梱包体において、第2材は段ボー
ルである。このエアフィル用部品梱包体では、エアフィ
ルタ用部品は、第1材により梱包され、第1材の外側か
らさらに段ボールで梱包されている。ここでは、第1材
は有機物質の透過を遮断しうるポリエステルフィルム層
を有しているため、段ボールからDOP、DBP等の有
機物質が発生した場合でも、第2材から発生した有機物
質が第1材を透過することが殆どない。したがって、こ
のような梱包形態であっても、エアフィルタ用部品に対
する有機物質の付着を抑えることができる。
梱包方法は、第1工程と第2工程と第3工程とを備えて
いる。第1工程では少なくとも一部に空気清浄可能なフ
ィルタ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する。第
2工程では、エアフィルタ用部品が外気から遮断される
よう、少なくとも一部にポリエステルフィルム層を有す
る第1材でエアフィルタ用部品を梱包する。第3工程で
は、第1材で梱包されたエアフィルタ用部品を、さらに
外気から遮断されるよう第2材で梱包する。
包材により使用時まで外気から遮断されることで、工場
で製造されたときの清浄な状態を保持し得ると考えられ
ていたが、本願出願人の研究により、これらの有機物質
は、梱包材である段ボールから発生してPE袋を透過す
ることにより吸着されたものであり、また、これらの有
機物質はPE袋からも発生しうることも明らかとなっ
た。
法では、エアフィルタ用部品と第2材との間に、有機物
質の透過を遮断しうる第1材を配置することとし、これ
により、第2材から有機物質が発生した場合でも、エア
フィルタ用部品に対する有機物質の付着を抑えている。
くは、PETからなるフィルム層である。請求項36に
記載のエアフィルタ用部品の梱包方法は、第1工程と第
2工程と第3工程とを備えている。第1工程では、少な
くとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材を有するエア
フィルタ用部品を製造する。第2工程では、エアフィル
タ用部品が外気から遮断されるよう、少なくとも一部に
EVOHフィルム層を有する第1材でエアフィルタ用部
品を梱包する。第3工程では、第1材で梱包されたエア
フィルタ用部品を、さらに外気から遮断されるよう第2
材で梱包する。
第2材との間に、ポリエステルフィルムと同様の高いガ
スバリア性を有するEVOH層を有する第1材を配置す
るようにし、これにより、第2材から発生した有機物質
がエアフィルタ用部品に付着するのを抑えている。
梱包方法は、第1工程と第2工程と第3工程と備えてい
る。第1工程は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィ
ルタ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する。第2
工程では、エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよ
う、少なくとも一部にナイロンフィルム層を有する第1
材でエアフィルタ用部品を梱包する。第3工程では、第
1材で梱包されたエアフィルタ用部品を、さらに外気か
ら遮断されるよう第2材で梱包する。
第2材との間に、ポリエステル、EVOHフィルムと同
様の高いガスバリア性を有するナイロンフィルム層を有
する第1材を配置するようにし、これにより、第2材か
ら発生した有機物質がエアフィルタ用部品に付着するの
を抑えている。
梱包方法は、請求項35から37のいずれかの梱包方法
において、エアフィルタ用部品は、PTFEからなるろ
過層とろ過層の少なくとも片面にラミネートされる通気
性支持材とを有するフィルタ濾材を備えている。
梱包方法は、請求項35から38のいずれかの梱包方法
において、フィルタ濾材は、53mm/秒の流速で空気
を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が0.10
μm以上0.12μm以下のDOPを用いて測定される
捕集効率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である。
梱包方法は、請求項39の梱包方法において、フィルタ
濾材はPF値が22を超えるものである。請求項41に
記載のエアフィルタ用部品の梱包方法は、請求項35、
38から40のいずれかの梱包方法において、ポリエス
テルフィルム層は第1材の最も内側に配置されている。
は、エアフィルタ用部品に最も近い位置に配置されるた
め、例えば第1材の他の層が有機物質を発生しうる場合
でも、有機物質がポリエステルフィルム層を透過するこ
とが殆どない。したがって、エアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着をより確実に抑えることができる。
梱包方法は、請求項36、38から40のいずれかの梱
包方法において、EVOHフィルム層は第1材の最も内
側に配置されている。
ルム層を有する第1材でエアフィルタ用部品を梱包する
ことにより、エアフィルタ用部品に有機物質が付着する
のを抑えるようにしている。
梱包方法は、請求項37から40のいずれかの梱包方法
において、ナイロンフィルム層は第1材の最も内側に配
置されている。
ルム層を有する第1材でエアフィルタ用部品を梱包する
ことにより、エアフィルタ用部品に有機物質が付着する
のを抑えるようにしている。
梱包方法は、請求項35から43のいずれかの梱包方法
において、第2材は段ボールである。この方法では、第
1材で梱包されたエアフィルタ用部品は、第1材の外側
からさらに段ボールで梱包される。ここでは、第1材が
有機物質の透過を遮断しうるポリエステルフィルム層を
有しているため、段ボールからDOP、DBP等の有機
物質が発生した場合でも、第2材から発生した有機物質
が第1材を透過することが殆どない。したがって、この
ような梱包形態であっても、エアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着を抑えることができる。なお、このポ
リエステルフィルム層は、好ましくは、PETからなる
フィルム層である。
図1に本発明の一実施形態が採用されたエアフィルタユ
ニット梱包体1を示す。エアフィルタユニット梱包体1
は、エアフィルタユニット3と、フィルム材13と、ケ
ース材15とを有している。
アフィルタユニット3を示す。エアフィルタユニット3
は、フィルタ濾材11と、フィルタ濾材11が収納され
る枠体9とを備えている。
PTFE多孔膜を両側から狭持するよう配置された2枚
の通気性支持材とが熱融着ラミネートされてなるシート
材であり、PTFE多孔膜の厚さが1〜60μm程度
で、繊維径が0.05〜0.2μm、好ましくは0.0
5〜0.14μm、特に好ましくは0.05〜0.1μ
mであり、PF値は好ましくは20以上であり、特に好
ましくは22を超えるものである。通気性支持材として
は、目付が15〜100g/m2(好ましくは20〜7
0g/m2)の不織布、好ましくは芯/鞘構造の繊維か
らなる不織布が用いられる。このフィルタ濾材11は、
53mm/秒の流速で空気を透過させたときに生じる圧
力損失が98〜980pa、粒子径が0.10〜0.1
2μmのDOPの捕集効率が99.0%以上、好ましく
は99.9%以上、特に好ましくは99.99%以上と
なっている。
おけるDOP、DBP含有量は1.0μg/g以下、好
ましくは0.2μg/g以下である。DOP、DBP含
有量は、後述するヘキサン抽出法により検出されたDO
P、DBPの検出量である。そして、フィルタ濾材11
は、15〜150mmの幅ごとに交互に折り返されて波
型形状にされ、隣接する折り返し部分の間隔がスペ−サ
19もしくは波型形状のセパレータにより2〜15mm
程度に保たれている。この状態をエアフィルター用プリ
ーツパックという。
み立てられてなり、内側のスペースに、フィルタ濾材1
1がスペーサ19により所定の形状に保持された状態で
収納される。枠体9とフィルタ濾材11とは、気密性を
保持すべく接着剤等によりシールされ、エアフィルタユ
ニットとなる。
うよう配置される樹脂製の袋(宇部フィルム社製「シュ
ペレン」)である。このフィルム材13は、内側(エア
フィルタユニット1側)及び外側(外気側)の2つのフ
ィルム層と、両フィルム層の間の中間層とからなる。内
側層は、PETフィルム層であり、エアフィルタユニッ
ト1に最も近い層である。外側層は、LLDPEフィル
ム層である。中間層は、2つのフィルム層を接着するた
めの層であり、接着性樹脂(:Adhesive Plastic、以
下、ADH)からなる。フィルム材13の各層の厚さ
は、内側層、中間層、外側層の順に、15μm、10μ
m、30μmである。
の袋に限定されるものではなく、例えば、内側層のPE
フィルム層と外側層のPETフィルム層とがアンカーコ
ート(:Anchor Coat、以下、AC)剤で接着されてな
るフィルム材(藤森工業社製「無地袋」)を裏返しにし
たものであってもよい。このフィルム材の各層の厚さ
は、PETフィルム層、PEフィルム層の順に、12μ
m、50μmである(AC剤層は、実質的に0μmであ
る)。
タユニット1の外側をさらに梱包するためのものであ
り、この実施形態では段ボールが用いられている。な
お、ケース材15は、段ボールの他に、例えば樹脂製の
プラスチックケースであってもよい。
ト梱包体1では、フィルム材13は、DOP、DBP等
の有機物質の透過を遮断しうるPETフィルム層を有し
ている。このため、段ボールからこれらの有機物質が発
生してもフィルム材13を透過してフィルム材13の内
側に侵入することが殆どない。したがって、このエアフ
ィルタユニット梱包体1では、エアフィルタユニット3
が梱包された状態でのフィルタ濾材に対する有機物質の
付着が抑えられている。
の梱包が解かれエアフィルタユニット3がクリーンルー
ムの通気口及び半導体製造装置に設置された場合、クリ
ーンルームの外側の空気は、フィルタ濾材11を通過し
てクリーンルーム内に入り込む。このとき、空気中の浮
遊微粒子はPTFE多孔膜の繊維に衝突することにより
フィルタ濾材に捕獲され、空気中の浮遊微粒子は徐々に
低減される。
タユニット梱包体1に用いるフィルタ濾材11の有機物
質の抽出試験の概要を示す。ここでは、フィルタ濾材1
1中の有機物質を以下に説明するへキサン抽出法により
抽出した。
ージアンドトラップ方式により行われていた。この方式
では、エアフィルタユニットに対し40℃の空気を所定
の流量で吹き付け、このエアフィルタユニットを透過す
る空気中から検出される有機物質の量を測定することに
より、エアフィルタユニットに含まれる有機物質の量が
測定される。
機物質については有効に測定できるが、沸点が270℃
を超えるような高沸点の有機物質については、測定条件
が穏やかであるためにエアフィルタユニットから十分に
遊離させることができず、この結果、実際にはDBP、
DOP等の高沸点成分を多く含んでいても、見かけ上こ
れらの成分が含まれていないかのような測定結果しか得
られない。
ラップ方式に比べ高沸点の有機物質でも十分な量を遊離
させることのできるヘキサン抽出法により、フィルタ濾
材に含まれるDBP、DOP等の高沸点成分の含有量の
測定を行うこととした。
は、本願出願人により既に提案されている平成11年特許
願第286664号において実施例4に示される方法により製
造した。ここで、その製造方法を説明する。
パウダー(ダイキン工業株式会社製ポリフロンファイン
パウダーF−104U)100重量部に、押出助剤とし
ての炭化水素油(エッソ石油株式会社製アイソパー)2
5重量部を加えて混合した。
成形した。この丸棒状成形体を70℃に加熱したカレン
ダーロールによりフィルム状に成形し、PTFEフィル
ムを得た。このフィルムを250℃の熱風乾燥炉に通し
て押出助剤を蒸発除去し、平均厚み200μm、平均幅
150mmの未焼成フィルムを得た。
装置を用いて長手方向に延伸倍率5倍で延伸した。この
ときの延伸温度は250℃であった。得られた長手方向
延伸フィルムを連続クリップで挟むことのできる装置
(テンター)を用いて幅方向に延伸倍率30倍で延伸
し、熱固定を行った。この時の延伸温度は290℃、熱
固定温度は360℃、また延伸速度は330%/秒であ
った。
にポリエチレン/ポリエステル製熱融着性不織布(上
面:商品名エルベスT0703WDO(ユニチカ製);
下部:商品名エルフィットE0353WTO(ユニチカ
製))をニップロールなしで(実質的に厚み方向に圧力
をかけないで)熱融着し、フィルタ濾材11を得た。こ
の時の熱融着条件は以下の通りであった。 ロール 加熱温度160℃ ライン速度 15m/分 巻出しテンション 50g/cm(不織布の巻出テンシ
ョン) 巻取テンション 250g/cm なお、このようにして得たフィルタ濾材11から濾材片
を切り出し、この濾材片についてPF値の測定を行った
ところ、PF値は26であった。このPF値は、53m
m/秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失(単
位:pa)と、粒子径が0.10〜0.12μmのDO
Pを用いて測定される捕集効率(単位:%)とから次
式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により求めた。ただし、以下に説明する有機物含有量の
測定には、このPF値26のフィルタ濾材11のうち、
PF値の測定を行った場所は用いず、PF値の測定を行
なっていない場所を使用した(実験例2も同様)。
11の有機物含有量の測定方法について説明する。上述
のようにして得たフィルタ濾材11について、 1) 梱包前のもの(参考用) 2) 前述のフィルム材(藤森工業社製「無地袋」を裏
返しにしたもの)により梱包し、50時間以上搬送した
後に梱包を解いたもの(実施例1) 3) 従来のフィルム材(LLDPEフィルム層のみか
らなるフィルム材)で梱包し、50時間以上搬送した後
に梱包を解いたもの(比較例1)の3種類を用意し、こ
れらのフィルタ濾材11から、フィルタ濾材片1.0g
をサンプルとして切り出し、それぞれサンプル瓶に入れ
た。次に、各サンプル瓶にヘキサン20mlを入れ、超
音波洗浄器により10分間超音波洗浄を行った。超音波
洗浄終了後、各サンプル瓶からサンプルを取り出し、N
2雰囲気中、常温でヘキサンを蒸発させた後、新たにヘ
キサン100μlを加えた。各ヘキサン溶液から2μl
サンプリングし、ガスクロマトグラフィーにより有機物
質の各成分(炭素数が15以上の炭化水素、DOP、D
BP)の含有量を測定した。この測定結果を表1に示
す。
前のフィルタ濾材に比べ有機物質の含有量が大幅に増加
している。これに対し、実施例1のフィルタ濾材の有機
物質の含有量は、梱包前のフィルタ濾材とほぼ同程度と
なっている。したがって、実施例1のフィルタ濾材は、
比較例1のフィルタ濾材に比べ、梱包中における有機物
質の付着が抑えられていることが分かる。
タユニット梱包体1のガスバリア性評価実験におけるシ
ャーレ17内のサンプルを示す。ここでは、フィルタ濾
材11を、フィルム材13のみで梱包したものと、フィ
ルム材13及び段ボール15で梱包したものとの有機物
質の含有量の比較を行った。
のフィルタ濾材片5つをサンプルとして切り出した。こ
れらのサンプルのうち4つを、有機物対策(ケミカルフ
ィルタの設置、有機物質の発生源の排除等)をしたクリ
ーンルーム内で、表2に示す4種のフィルム材でそれぞ
れ包み、空気が流通しないようフィルム材13の開口部
分を2〜3回折り返した。次に、フィルム材で包んだサ
ンプルを、それぞれ段ボール板15で挟んでシャーレ1
7に入れ、さらに、不純物を発生しない別のフィルム材
でシャーレ17ごと包んで密封し(実施例2,3、比較
例2,3)、60℃のオーブン中で3日間加熱した。加
熱終了後、フィルタ濾材11をオーブンから取り出し、
ヘキサン抽出法により、フィルタ濾材11に含まれる有
機不純物量を測定した。また、実施例2,3、比較例
2,3において段ボール板15で挟まないものについて
も、比較のため、同様の測定を行った。この測定結果を
表3に示す。また、この測定結果から判断される、フィ
ルタ濾材11の使用可否(フィルタ濾材11の清浄度及
びガスバリア性)についての判定結果も併せて表3に示
す。なお、表2中「評価結果」は、測定結果から判断さ
れる、各フィルム材13についてのガスバリア性及び不
純物発生量(○は発生量が少なく、×は発生量が多いこ
とを示す)を示すものである。
だ場合の有機物質の検出量は、段ボールで挟まない場合
に比べ大幅に増加している。したがって、比較例2,3
に用いたフィルム材では、段ボールで発生した有機物質
が透過してフィルタ濾材に吸着されていると考えられ
る。これに対し、実施例2,3では、段ボールで挟んだ
場合の有機物質の含有量は、段ボールで挟まない場合と
同程度になっている。したがって、実施例2,3で用い
たフィルム材では、段ボールで発生した有機物質を有効
に遮断していると考えられる。
明の一実施形態が採用されるエアフィルタユニット3の
梱包方法は、ユニット製造工程と、袋詰め工程と、箱詰
め工程とを有している。
ト3が製造される。エアフィルタユニット3は、前述の
ように、PTFE多孔膜と通気性支持材とからなるフィ
ルタ濾材11を所定の形状に加工したものを枠体9内に
収納し、フィルタ濾材11と枠体9との間を接着剤によ
りシールすることにより製造される。
のフィルタ濾材11が、外気から遮断されるようフィル
ム材13で梱包される。フィルム材13としては、前述
のフィルム材13が用いられる。
れたエアフィルタユニット3が、さらに外気から遮断さ
れるようケース材15で梱包される。ケース材15とし
ては前述の段ボールが用いられる。なお、ケース材15
は、段ボールの他に、例えば樹脂製のプラスチックケー
スであってもよい。
のに限定されず、他の樹脂製多孔膜を用いたフィルタ濾
材であってもよく、また、ガラス繊維からなるガラス濾
材等のフィルタ濾材であってもよい。
エアフィルタユニット3の全体を包むように梱包したも
のに限定されず、例えば、フィルタ濾材11が露出する
部分のみを覆うよう、エアフィルタユニット3の空気導
入口(表面)及び空気排出口(裏面)の2箇所にフィル
ム材13を張り付けたものであってもよい。
ット3としての形態で梱包した場合について説明した
が、フィルタ濾材11、エアフィルタプリーツパックと
しての形態で梱包した場合にも外気中の有機物質の付着
を抑えることができる。
としてPETフィルム層を有するものについて説明した
が、PETフィルム層に代えてEVOH、ナイロン等の
高いガスバリア性を有する材質からなるフィルム層を採
用してもよい。
施形態で説明したLLDPEフィルム層に代えて無添加
PEフィルム層を採用してもよい。
は、外気中の有機物質を遮断しうる梱包材により梱包さ
れるため、梱包された状態での有機物質の付着が抑えら
れる。そして、このような有機物質の付着抑制効果は、
特に、フィルタ濾材が高PF値のPTFE多孔膜を有し
ている場合に優れている。
ユニット梱包体を示す斜視図。
タユニットを示す斜視図。
Claims (44)
- 【請求項1】少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ
濾材を有するエアフィルタ用部品であって、 使用前における前記フィルタ濾材1g当たりのジブチル
フタレート含有量は1.0μg以下である、エアフィル
タ用部品。 - 【請求項2】使用前における前記フィルタ濾材1g当た
りのジオクチルフタレート含有量は1.0μg以下であ
る、請求項1に記載のエアフィルタ用部品。 - 【請求項3】使用前における前記フィルタ濾材1g当た
りの炭素数15以上の炭化水素含有量は50μg以下で
ある、請求項1または2に記載のエアフィルタ用部品。 - 【請求項4】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオロ
エチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも片
面にラミネートされる通気性支持材とを有している、請
求項1から3のいずれかに記載のエアフィルタ用部品。 - 【請求項5】前記フィルタ濾材は、53mm/秒の流速
で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
0.10μm以上0.12μm以下のジオクチルフタレ
ートを用いて測定される捕集効率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である、請求項1か
ら4のいずれかに記載のエアフィルタ用部品。 - 【請求項6】前記フィルタ濾材はPF値が22を超え
る、請求項5に記載のエアフィルタ用部品。 - 【請求項7】請求項1から6のいずれかに記載のエアフ
ィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
梱包材と、を備えたエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項8】前記梱包材は、少なくとも一部にポリエス
テルフィルム層を有する第1材を有している、請求項7
に記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項9】前記梱包材は、少なくとも一部にエチレン
−ビニルアルコール共重合体フィルム層を有する第1材
を有している、請求項7に記載のエアフィルタ用部品梱
包体。 - 【請求項10】前記梱包材は、少なくとも一部にナイロ
ンフィルム層を有する第1材を有している、請求項7に
記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項11】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
梱包材とを備え、 前記梱包材は、酸素透過度が20000ml/(m2・
day・Mpa)未満である第1材を有している、エア
フィルタ用部品梱包体。 - 【請求項12】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオ
ロエチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも
片面にラミネートされる通気性支持材とを有している、
請求項11に記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項13】前記フィルタ濾材は、53mm/秒の流
速で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
0.10μm以上0.12μm以下のジオクチルフタレ
ートを用いて測定される捕集効率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である、請求項11
または12に記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項14】前記フィルタ濾材はPF値が22を超え
る、請求項13に記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項15】前記第1材は少なくとも一部にポリエス
テルフィルム層を有している、請求項11から14のい
ずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項16】前記第1材は少なくとも一部にエチレン
−ビニルアルコール共重合体フィルム層を有している、
請求項11から14のいずれかに記載のエアフィルタ用
部品梱包体。 - 【請求項17】前記第1材は少なくとも一部にナイロン
フィルム層を有している、請求項11から14のいずれ
かに記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項18】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
梱包材とを備え、 前記梱包材は少なくとも一部にポリエステルフィルム層
を有する第1材を有しており、前記ポリエステルフィル
ム層は1μm以上の厚みを有している、エアフィルタ用
部品梱包体。 - 【請求項19】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
梱包材とを備え、 前記梱包材は少なくとも一部にエチレン−ビニルアルコ
ール共重合体フィルム層を有する第1材を有しており、
前記エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム層は
1μm以上の厚みを有している、エアフィルタ用部品梱
包体。 - 【請求項20】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
梱包材とを備え、 前記梱包材は少なくとも一部にナイロンフィルム層を有
する第1材を有しており、前記ナイロンフィルム層は1
μm以上の厚みを有している、エアフィルタ用部品梱包
体。 - 【請求項21】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオ
ロエチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも
片面にラミネートされる通気性支持材とを有している、
請求項18から20のいずれかに記載のエアフィルタ用
部品梱包体。 - 【請求項22】前記フィルタ濾材は、53mm/秒の流
速で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
0.10μm以上0.12μm以下のジオクチルフタレ
ートを用いて測定される捕集効率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である、請求項18
から21のいずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包
体。 - 【請求項23】前記フィルタ濾材はPF値が22を超え
る、請求項22に記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項24】前記ポリエステルフィルム層は9μm以
上の厚みを有している、請求項18、21から23のい
ずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項25】前記エチレン−ビニルアルコール共重合
体フィルム層は9μm以上の厚みを有している、請求項
19、21から23のいずれかに記載のエアフィルタ用
部品梱包体。 - 【請求項26】前記ナイロンフィルム層は9μm以上の
厚みを有している、請求項20から23のいずれかに記
載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項27】前記ポリエステルフィルム層は前記第1
材の最も内側に配置されている、請求項8、15、1
8、21から24のいずれかに記載のエアフィルタ用部
品梱包体。 - 【請求項28】前記エチレン−ビニルアルコール共重合
体フィルム層は前記第1材の最も内側に配置されてい
る、請求項9、16、19、21から23、25のいず
れかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項29】前記ナイロンフィルム層は前記第1材の
最も内側に配置されている、請求項10、17、20か
ら23、26のいずれかに記載のエアフィルタ用部品梱
包体。 - 【請求項30】前記第1材はポリエチレンフィルム層を
さらに有している、請求項27から29のいずれかに記
載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項31】前記ポリエチレンフィルム層は無添加ポ
リエチレンフィルム層である、請求項30に記載のエア
フィルタ用部品梱包体。 - 【請求項32】前記ポリエチレンフィルム層は直鎖状低
密度ポリエチレンフィルム層である、請求項30に記載
のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項33】前記梱包材は、前記第1材の外側に配置
される第2材をさらに有している、請求項8から32の
いずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項34】前記第2材は段ボールである、請求項3
3に記載のエアフィルタ用部品梱包体。 - 【請求項35】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する第1工程
と、 前記エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよう、少
なくとも一部にポリエステルフィルム層を有する第1材
で前記エアフィルタ用部品を梱包する第2工程と、 前記第1材で梱包された前記エアフィルタ用部品を、さ
らに外気から遮断されるよう第2材で梱包する第3工程
と、を有しているエアフィルタ用部品の梱包方法。 - 【請求項36】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する第1工程
と、 前記エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよう、少
なくとも一部にエチレン−ビニルアルコール共重合体フ
ィルム層を有する第1材で前記エアフィルタ用部品を梱
包する第2工程と、 前記第1材で梱包された前記エアフィルタ用部品を、さ
らに外気から遮断されるよう第2材で梱包する第3工程
と、を有しているエアフィルタ用部品の梱包方法。 - 【請求項37】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
タ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する第1工程
と、 前記エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよう、少
なくとも一部にナイロンフィルム層を有する第1材で前
記エアフィルタ用部品を梱包する第2工程と、 前記第1材で梱包された前記エアフィルタ用部品を、さ
らに外気から遮断されるよう第2材で梱包する第3工程
と、を有しているエアフィルタ用部品の梱包方法。 - 【請求項38】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオ
ロエチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも
片面にラミネートされる通気性支持材とを有している、
請求項35から37のいずれかに記載のエアフィルタ用
部品の梱包方法。 - 【請求項39】前記フィルタ濾材は、53mm/秒の流
速で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
0.10μm以上0.12μm以下のジオクチルフタレ
ートを用いて測定される捕集効率とから次式: [数1] PF=[−log(透過率(%)/100)/(圧力損失(p
a)/9.8)]×100 (ここで、透過率(%)=100−捕集効率(%)) により算出されるPF値が20以上である、請求項35
から38のいずれかに記載のエアフィルタ用部品の梱包
方法。 - 【請求項40】前記フィルタ濾材はPF値が22を超え
る、請求項39に記載のエアフィルタ用部品の梱包方
法。 - 【請求項41】前記ポリエステルフィルム層は前記第1
材の最も内側に配置されている、請求項35、38から
40のいずれかに記載のエアフィルタ用部品の梱包方
法。 - 【請求項42】前記エチレン−ビニルアルコール共重合
体フィルム層は前記第1材の最も内側に配置されてい
る、請求項36、38から40のいずれかに記載のエア
フィルタ用部品の梱包方法。 - 【請求項43】前記ナイロンフィルム層は前記第1材の
最も内側に配置されている、請求項37から40のいず
れかに記載のエアフィルタ用部品の梱包方法。 - 【請求項44】前記第2材は段ボールである、請求項3
5から43のいずれかに記載のエアフィルタ用部品の梱
包方法。
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JP2000245872 | 2000-08-14 | ||
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005177641A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Nitto Denko Corp | エアフィルタユニットおよびその製造方法、並びにエアフィルタユニット集合体 |
JP2008137009A (ja) * | 2008-01-15 | 2008-06-19 | Nitto Denko Corp | エアフィルタユニットおよびその製造方法、並びにエアフィルタユニット集合体 |
JP2021500232A (ja) * | 2017-10-28 | 2021-01-07 | ダイソン・テクノロジー・リミテッド | ろ過媒体 |
-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001162290A patent/JP3512023B2/ja not_active Expired - Lifetime
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