JP2002126423A - エアフィルタ用部品、その梱包体及びその梱包方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 梱包されたエアフィルタ用部品に対する有機
物質の付着を抑えることにある。 【解決手段】 このエアフィルタ用部品は、少なくとも
一部に空気清浄可能なフィルタ濾材を有するものであ
り、使用前におけるフィルタ濾材１ｇ当たりのＤＢＰ含
有量は１．０μｇ以下である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも一部に
空気清浄可能なフィルタ濾材を有するエアフィルタ用部
品、その梱包体及びその梱包方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体、液晶表示装置等の電子部品製造
が行われるクリーンルーム及び半導体製造装置には、よ
り細かい浮遊微粒子を捕獲できるよう、高い捕集効率を
有するエアフィルタユニット、例えば、ＨＥＰＡ（high
efficiency particulate air）filter、ＵＬＰＡ（ult
ra low penetration air）filterが用いられている。こ
の種のエアフィルタユニットとして、高捕集型のフィル
タ濾材と、このフィルタ濾材が収納される枠体とを備え
たものがある。フィルタ濾材は、例えば、ポリテトラフ
ルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥ）で形成された多孔膜
と、ＰＴＦＥ多孔膜を両側から狭持するよう配置された
不織布とがラミネートされることにより形成されてい
る。また、フィルタ濾材は、所定の形状に加工され、枠
体の内側に収納されている。

【０００３】このようなエアフィルタユニットをクリー
ンルームの通気口に設置して運転を開始すると、クリー
ンルームの外側の空気は、エアフィルタユニットを通過
して通気口からクリーンルーム内に入り込む。このと
き、空気中の浮遊微粒子は、フィルタ濾材の繊維に衝突
することによりフィルタ濾材に捕獲される。

【０００４】この種のエアフィルタユニットは、一般的
に、製造後はポリエチレン（以下、ＰＥ）等の樹脂製の
袋に詰められ、さらに段ボール等に梱包されて出荷され
る。また、フィルタ濾材や、フィルタ濾材を所定形状に
加工したもの（以下、エアフィルタプリーツパックとい
う）も、それぞれ単独で、ＰＥ袋、段ボール等で梱包さ
れた状態で出荷される場合がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ーム内には、浮遊微粒子だけでなく、クリーンルームの
壁の塗料等から発生したガス状の有機物成分も微量なが
ら浮遊しているが、これらの物質が半導体素子、ウエハ
等に付着すると、電気特性が損なわれる等して製品の品
質低下を招く。特に、ジオクチルフタレート、ジブチル
テレフタレート（以下、ＤＯＰ、ＤＢＰ）、炭素数１５
以上の炭化水素等の高沸点成分は、揮発しにくいため、
一旦製品に付着すると除去するのが困難となる。このた
め、クリーンルームでは、これらの有機物成分を除去す
べく、ケミカルフィルタを設置する等してその浮遊量が
所定の基準以下に抑えられている。

【０００６】しかし、本願出願人による最近の研究で
は、これらの有機物質は、クリーンルーム内で発生する
のみでなく、クリーンルームに設置したエアフィルタユ
ニット自体からも発生していることが分かってきた。し
かも、これらの有機物質は、外気、そして特に梱包材で
ある段ボールから発生してフィルタ濾材に吸着されたも
のであること、また有機物質はＰＥ袋からも発生しうる
ことも明らかとなってきた。

【０００７】前記従来の梱包形態では、エアフィルタユ
ニットと段ボールとの間に、ＰＥ袋等のフィルム材が配
置されているが、段ボールから発生した有機物質はＰＥ
袋を透過してしまうため、使用前において既に有機物質
がフィルタ濾材に付着した状態となる。これと同様な問
題は、フィルタ濾材やエアフィルタプリーツパックがそ
れぞれ単独で梱包された場合にも生じる。そして、特
に、ＰＴＦＥ多孔膜を用いた高捕集型のフィルタ濾材で
は、従来のガラスフィルタ濾材に比べこのような有機物
質を吸着し易くなっている。

【０００８】本発明の目的は、梱包されたエアフィルタ
用部品に対する有機物質の付着を抑えることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のエアフ
ィルタ用部品は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィ
ルタ濾材を有するものであり、使用前におけるフィルタ
濾材１ｇ当たりのＤＢＰ含有量は１．０μｇ以下であ
る。

【００１０】本発明の「エアフィルタ用部品」には、例
えば、フィルタ濾材、エアフィルタプリーツパック及び
エアフィルタユニット（いずれも後述）が含まれる。な
お、以下の説明では、エアフィルタ用部品として主にエ
アフィルタユニットを例に説明する。

【００１１】クリーンルーム内には、前述のように、ク
リーンルームの壁の塗料等から発生したＤＢＰ、ＤＯ
Ｐ、炭素数１５以上の炭化水素等のガス状の有機物成分
も微量ながら浮遊しており、このような有機物質を除去
すべく、クリーンルームでは、ケミカルフィルタを設置
する等してその浮遊量が所定の基準以下に抑えられてい
る。

【００１２】しかし、本願出願人の研究により、このよ
うな有機物質は、クリーンルーム内で発生するのみでな
く、クリーンルーム及び半導体製造装置等に設置された
エアフィルタユニット自体からも発生していることが分
かってきた。しかも、エアフィルタユニットは、使用が
開始される前に既にこれらの有機物質で汚染された状態
となっていることが本願出願人の研究により明らかとな
った。

【００１３】そこで、このエアフィルタ用部品は、使用
前におけるフィルタ濾材１ｇ当たりのＤＢＰ含有量を所
定量以下とし、使用前のエアフィルタ用部品がクリーン
ルームに設置された場合に、クリーンルーム内を汚染す
るのを抑えられるようにしている。

【００１４】なお、「使用前」とは、例えば、エアフィ
ルタ用部品が梱包されている場合にその梱包を解いたと
きをいう。また、使用前におけるフィルタ濾材１ｇ当た
りのＤＢＰ含有量は、好ましくは、０．２μｇ／ｇ以下
である。

【００１５】また、有機物質の含有量が所定量以下に抑
えられたエアフィルタ用部品として、特開平10-286415
号公報に示されるエアフィルタユニットが既に提案され
ている。

【００１６】この公報に示されるエアフィルタユニット
では、有機物質の含有量の測定はパージアンドトラップ
方式により行われる。この方式では、エアフィルタユニ
ットに対し４０℃の空気を所定の流量で吹き付け、この
エアフィルタユニットを透過する空気中から検出される
有機物質の量を測定することにより、エアフィルタユニ
ットに含まれる有機物質の量が測定される。

【００１７】しかし、この方式では、比較的低沸点の有
機物質については有効に測定できるが、沸点が２７０℃
を超えるような高沸点の有機物質については、測定条件
が穏やかであるためにエアフィルタユニットから十分に
遊離させることができず、ＤＢＰ、ＤＯＰ等の高沸点成
分の含有量を有効に測定することができない。

【００１８】したがって、このエアフィルタ用部品で
は、パージアンドトラップ方式に比べ高沸点の有機物質
でも十分な量を遊離させることのできるヘキサン抽出法
（後述）等の測定方法により、ＤＢＰ、ＤＯＰ等の高沸
点成分の含有量の測定を行うことが望ましい。

【００１９】請求項２に記載のエアフィルタ用部品は、
請求項１のエアフィルタ用部品において、使用前におけ
るフィルタ濾材１ｇ当たりのＤＯＰ含有量は１．０μｇ
以下である。

【００２０】このエアフィルタ用部品は使用前において
フィルタ濾材１ｇ当たりのＤＯＰ含有量が所定量以下と
なっている。これにより、使用前のエアフィルタ用部品
がクリーンルームに設置された場合に、クリーンルーム
内を汚染するのを抑えることができる。

【００２１】なお、使用前におけるフィルタ濾材１ｇ当
たりのＤＯＰ含有量は、好ましくは、０．２μｇ／ｇ以
下である。請求項３に記載のエアフィルタ用部品は、請
求項１または２エアフィルタ用部品において、使用前に
おけるフィルタ濾材１ｇ当たりの炭素数１５以上の炭化
水素含有量は５０μｇ以下である。

【００２２】このエアフィルタ用部品は使用前において
フィルタ濾材１ｇ当たりの炭素数１５以上の炭化水素含
有量が所定量以下となっている。これにより、使用前の
エアフィルタ用部品がクリーンルームに設置された場合
に、クリーンルーム内を汚染するのを抑えることができ
る。

【００２３】また、使用前におけるフィルタ濾材１ｇ当
たりの炭素数１５以上の炭化水素含有量は、好ましく
は、２０μｇ／ｇ以下である。請求項４に記載のエアフ
ィルタ用部品は、請求項１から３のいずれかのエアフィ
ルタ用部品において、フィルタ濾材は、ＰＴＦＥからな
るろ過層と、ろ過層の少なくとも片面にラミネートされ
る通気性支持材とを有している。

【００２４】ガラスフィルタ濾材等の従来のエアフィル
タ用濾材は、繊維が太く繊維間の空隙も大きい。このた
め、ガラスフィルタ濾材は、ＤＢＰ、ＤＯＰ等のガス状
の有機物質の吸着は比較的小さい。

【００２５】これに対し、ＰＴＦＥ多孔膜を用いた高捕
集型のフィルタ濾材では、従来のガラスフィルタ濾材に
比べ繊維が細く繊維間の空隙も小さい。しかし、前記Ｐ
ＴＦＥ多孔膜を用いた高捕集型フィルタ濾材は、細かい
繊維径を有しているために、ＤＢＰ、ＤＯＰ等のガス状
の有機物質を、従来のガラスフィルタ濾材に比べ吸着し
易くなっている。

【００２６】そこで、このエアフィルタ用部品では、特
に、ＰＴＦＥ多孔膜を用いたエアフィルタ用部品におい
て、使用前におけるフィルタ濾材１ｇ当たりのＤＢＰ、
ＤＯＰ等の有機物質含有量が所定量以下とされている。
このため、ＰＴＦＥ多孔膜を用いたエアフィルタ用部品
がクリーンルームに設置された場合でも、クリーンルー
ム内を汚染するのを有効に抑えることができる。

【００２７】請求項５に記載のエアフィルタ用部品は、
請求項１から４のいずれかのエアフィルタ用部品におい
て、フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流速で空気を透過
させたときに生じる圧力損失と粒子径が０．１０μｍ以
上０．１２μｍ以下のＤＯＰを用いて測定される捕集効
率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である。

【００２８】フィルタ濾材の性能を示す特性として捕集
効率と圧力損失とがあるが、これら２つの特性のバラン
スをみるための尺度としてＰＦ（Performance factor）
値がしばしば用いられる。フィルタ濾材は、このＰＦ値
が大きい程、捕集効率が高くかつ圧力損失が小さい濾材
であるとされる。

【００２９】そして、ＰＴＦＥ多孔膜を用いた高捕集型
フィルタ濾材は、前述のようにＤＢＰ、ＤＯＰ等の有機
物質を吸着し易くなっているが、ＰＦ値が高いフィルタ
濾材は、特にこのような有機物質を吸着する傾向が強く
なっている。

【００３０】そこで、このエアフィルタ用部品は、特に
ＰＦ値が所定値以上のエアフィルタ用部品において、使
用前におけるＤＢＰ、ＤＯＰ等の有機物質含有量が所定
量以下とされている。このため、ＰＦ値の高いエアフィ
ルタ用部品がクリーンルームに設置された場合でも、ク
リーンルーム内を汚染するのを有効に抑えることができ
る。

【００３１】また、エアフィルタ用部品は、ＰＦ値が大
きくなる程、ＤＢＰ、ＤＯＰ等の有機物質を吸着し易い
構造となっている。この理由として、エアフィルタとし
て用いられるＰＴＦＥ多孔膜の繊維径は、通常０．０５
〜０．２μｍと細く、またＰＦ値が大きくなるほど繊維
径は細かくなり、ＰＦ値が２２を超えるものであれば繊
維径は０．１４μｍ以下、さらには０．０５〜０．１μ
ｍ程度となるからである。したがって、エアフィルタ用
部品のＰＦ値は、好ましくは２２を超えるものである。

【００３２】そこで、請求項６に記載のエアフィルタ用
部品は、請求項５のエアフィルタ用部品において、フィ
ルタ濾材はＰＦ値が２２を超えるものとなっている。請
求項７に記載のエアフィルタ用部品梱包体は、請求項１
から６のいずれかに記載のエアフィルタ用部品と、エア
フィルタ用部品が外気から遮断されるよう配置される梱
包材とを備えている。

【００３３】エアフィルタユニット等のエアフィルタ用
部品は、前述のように、製造後はＰＥ等の樹脂製の袋に
詰められ、さらに段ボール等に梱包されて出荷される。
エアフィルタ用部品は、使用時までこのように外気から
遮断されることで、工場で製造されたときの清浄な状態
を保持し得ると考えられていた。

【００３４】ところが、前述のように、特に高ＰＦ値を
有するＰＴＦＥ多孔膜を使用してなるエアフィルタ用部
品は、使用前において既にＤＢＰ、ＤＯＰ等の有機物質
で汚染されていることが明らかとなった。そして、本願
出願人の研究により、これらの有機物質は、外気、そし
て特に梱包材である段ボールから発生し、さらにＰＥ袋
を透過することによりエアフィルタ用部品に吸着しうる
ことが分かってきた。また、これらの有機物質はＰＥ袋
からも発生しうることも本願出願人の研究により明らか
となってきた。

【００３５】そこで、このエアフィルタ用部品梱包体で
は、エアフィルタ用部品は梱包材により外気から遮断さ
れるよう梱包されており、この梱包されたエアフィルタ
ユニットは、例えば梱包してから一定時間が経過した後
にその梱包が解かれた場合であっても、ＤＢＰ、ＤＯＰ
等の有機物質の含有量が所定量以下となっている。

【００３６】したがって、ここでは、梱包された状態の
エアフィルタ用部品に対するＤＢＰ、ＤＯＰ等の有機物
質の付着が抑えられている。請求項８に記載のエアフィ
ルタ用部品梱包体は、請求項７の梱包体において、梱包
材は、少なくとも一部にポリエステルフィルム層を有す
る第１材を有している。

【００３７】このエアフィルタ用部品梱包体では、梱包
材に含まれる第１材は、ＤＯＰ、ＤＢＰ等の有機物質の
透過を遮断しうるポリエステルフィルム層を有してい
る。このため、外気中の有機物質は第１材を透過して第
１材の内側に侵入することが殆どない。したがって、こ
こでも、梱包された状態のエアフィルタ用部品に対する
有機物質の付着が抑えられている。

【００３８】なお、ポリエステルフィルム層は、好まし
くは、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴ）か
らなるフィルム層である。請求項９に記載のエアフィル
タ用部品梱包体は、請求項７の梱包体において、梱包材
は、少なくとも一部にエチレン−ビニルアルコール共重
合体（以下、ＥＶＯＨ）フィルム層を有する第１材を有
している。

【００３９】ＥＶＯＨも、ポリエステルと同様に、高い
ガスバリア性を有しており、ＤＯＰ、ＤＢＰ等の有機物
の透過を有効に抑えることが可能である。そこで、この
梱包体では、ＥＶＯＨフィルム層を有する第１材でエア
フィルタ用部品を梱包することとし、これにより、梱包
された状態でのエアフィルタ用部品に対する有機物質の
付着を抑えるようにしている。

【００４０】請求項１０に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項７の梱包体において、梱包材は、少なく
とも一部にナイロンフィルム層を有する第１材を有して
いる。

【００４１】ナイロンも、ポリエステル及びＥＶＯＨと
同様に、高いガスバリア性を有しており、ＤＯＰ、ＤＢ
Ｐ等の有機物の透過を有効に抑えることが可能である。
そこで、この梱包体では、ナイロンフィルム層を有する
第１材でエアフィルタ用部品を梱包することとし、これ
により、梱包された状態でのエアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着を抑えるようにしている。

【００４２】請求項１１に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材
を有するエアフィルタ用部品と、エアフィルタ用部品が
外気から遮断されるよう配置される梱包材とを備えてい
る。梱包材は、酸素透過度が２００００ｍｌ／（ｍ²・
ｄａｙ・Ｍｐａ）未満である第１材を有している。

【００４３】前述のように、エアフィルタ用部品は、梱
包材により使用時まで外気から遮断されることで、工場
で製造されたときの清浄な状態を保持し得ると考えられ
ていたが、本願出願人の研究により、これらの有機物質
は、外気、そして特に梱包材である段ボールから発生し
てＰＥ袋を透過することにより吸着されたものであるこ
と、また、これらの有機物質はＰＥ袋からも発生しうる
ことも明らかとなった。

【００４４】そこで、このエアフィルタ用部品梱包体で
は、エアフィルタ用部品を酸素透過度が所定の値より低
い第１材で梱包することとし、これにより、外気中のガ
ス状物質が第１材を透過するのが抑えられている。した
がって、ここでも、梱包された状態のエアフィルタ用部
品に対する有機物質の付着が抑えられている。

【００４５】なお、第１材は、好ましくは、酸素透過度
が１００００ｍｌ／（ｍ²・ｄａｙ・Ｍｐａ）未満であ
り、さらに好ましくは、酸素透過度が０〜５０００ｍｌ
／（ｍ²・ｄａｙ・Ｍｐａ）の範囲にあり、特に好まし
くは、０〜２７００ｍｌ／（ｍ²・ｄａｙ・Ｍｐａ）の
範囲にある。なお、酸素透過度は、ＪＩＳ規格による測
定方法（ＪＩＳ−Ｚ−１７０７）により測定される値で
ある。

【００４６】請求項１２に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１１の梱包体において、フィルタ濾材
は、ＰＴＦＥからなるろ過層と、ろ過層の少なくとも片
面にラミネートされる通気性支持材とを有している。

【００４７】このフィルタ濾材は、好ましくは、両面に
熱融着ラミネートされる通気性支持材を有している。請
求項１３に記載のエアフィルタ用部品梱包体は、請求項
１１または１２の梱包体において、フィルタ濾材は、５
３ｍｍ/秒の流速で空気を透過させたときに生じる圧力
損失と粒子径が０．１０μｍ以上０．１２μｍ以下のＤ
ＯＰを用いて測定される捕集効率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である。

【００４８】請求項１４に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１３の梱包体において、フィルタ濾材は
ＰＦ値が２２を超えるものである。請求項１５に記載の
エアフィルタ用部品梱包体は、請求項１１から１４のい
ずれかの梱包体において、第１材は少なくとも一部にポ
リエステルフィルム層を有している。

【００４９】このエアフィルタ用部品梱包体では、梱包
材に含まれる第１材は、有機物質の透過を遮断しうるポ
リエステルフィルム層を有している。このため、外気中
の有機物質は第１材を透過して第１材の内側に侵入する
ことが殆どない。したがって、ここでも、梱包された状
態のエアフィルタ用部品に対する有機物質の付着が抑え
られている。

【００５０】なお、ポリエステルフィルム層は、好まし
くは、ＰＥＴからなるフィルム層である。請求項１６に
記載のエアフィルタ用部品梱包体は、請求項１１から１
４のいずれかの梱包体において、第１材は少なくとも一
部にＥＶＯＨフィルム層を有している。

【００５１】ＥＶＯＨも、ポリエステルと同様に、高い
ガスバリア性を有しており、ＤＯＰ、ＤＢＰ等の有機物
の透過を有効に抑えることが可能である。そこで、この
梱包体では、ＥＶＯＨフィルム層を有する第１材でエア
フィルタ用部品を梱包することとし、これにより、梱包
された状態でのエアフィルタ用部品に対する有機物質の
付着を抑えるようにしている。

【００５２】請求項１７に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１１から１４のいずれかに記載の梱包体
において、第１材は少なくとも一部にナイロンフィルム
層を有している。

【００５３】ナイロンも、ポリエステル及びＥＶＯＨと
同様に、高いガスバリア性を有しており、ＤＯＰ、ＤＢ
Ｐ等の有機物の透過を有効に抑えることが可能である。
そこで、この梱包体では、ナイロンフィルム層を有する
第１材でエアフィルタ用部品を梱包することとし、これ
により、梱包された状態でのエアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着を抑えるようにしている。

【００５４】請求項１８に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、少なくとも一部にフィルタ濾材を有する空気清
浄可能なエアフィルタ用部品と、エアフィルタ用部品が
外気から遮断されるよう配置される梱包材とを備えてい
る。梱包材は少なくとも一部にポリエステルフィルム層
を有する第１材を有している。また、ポリエステルフィ
ルム層は１μｍ以上の厚みを有している。

【００５５】前述のように、エアフィルタ用部品、特に
高ＰＦ値を有するＰＴＦＥ多孔膜を使用しているエアフ
ィルタ用部品は、梱包材により使用時まで外気から遮断
されることで、工場で製造されたときの清浄な状態を保
持し得ると考えられていたが、本願出願人の研究によ
り、これらの有機物質は、外気、そして特に梱包材であ
る段ボールから発生してＰＥ袋を透過することにより吸
着されたものであること、また、これらの有機物質はＰ
Ｅ袋からも発生しうることも明らかとなってきた。

【００５６】そこで、このエアフィルタ用部品梱包体で
は、第１材として１μｍ以上の厚みを有するポリエステ
ルフィルム層を有するものを用いることにより、酸素透
過度を所定の値より低く抑え、これにより、ガス状物質
が第１材を透過するのを抑えている。したがって、ここ
でも、梱包された状態のエアフィルタ用部品に対する有
機物質の付着が抑えられている。

【００５７】請求項１９に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材
を有するエアフィルタ用部品と、フィルタ濾材が外気か
ら遮断されるよう配置される梱包材とを備えている。梱
包材は少なくとも一部にＥＶＯＨフィルム層を有する第
１材を有しており、ＥＶＯＨフィルム層は１μｍ以上の
厚みを有している。

【００５８】ＥＶＯＨも、ポリエステルと同様に、高い
ガスバリア性を有しており、ＤＯＰ、ＤＢＰ等の有機物
の透過を有効に抑えることが可能であるが、ここでは、
第１材として、１μｍ以上の厚みを有するＥＶＯＨフィ
ルム層を有するものを用いることにより、酸素透過度を
低く抑え、これにより、ガス状物質の透過を抑えるよう
にしている。したがって、ここでも、梱包された状態で
のエアフィルタ用部品に対する有機物質の付着が抑えら
れる。

【００５９】請求項２０に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材
を有するエアフィルタ用部品と、フィルタ濾材が外気か
ら遮断されるよう配置される梱包材とを備えている。梱
包材は少なくとも一部にナイロンフィルム層を有する第
１材を有しており、ナイロンフィルム層は１μｍ以上の
厚みを有している。

【００６０】ナイロンも、ポリエステル及びＥＶＯＨと
同様に、高いガスバリア性を有しており、ＤＯＰ、ＤＢ
Ｐ等の有機物の透過を有効に抑えることが可能である
が、ここでは、第１材として、１μｍ以上の厚みを有す
るナイロンフィルム層を有するものを用いることによ
り、酸素透過度を低く抑え、これにより、ガス状物質の
透過を抑えるようにしている。したがって、ここでも、
梱包された状態でのエアフィルタ用部品に対する有機物
質の付着が抑えられる。

【００６１】請求項２１に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１８から２０のいずれかの梱包体におい
て、フィルタ濾材は、ＰＴＦＥからなるろ過層と、ろ過
層の少なくとも片面にラミネートされる通気性支持材と
を有している。

【００６２】請求項２２に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１８から２１のいずれかの梱包体におい
て、フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流速で空気を透過
させたときに生じる圧力損失と粒子径が０．１０μｍ以
上０．１２μｍ以下のＤＯＰを用いて測定される捕集効
率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である。

【００６３】請求項２３に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項２２の梱包体において、フィルタ濾材は
ＰＦ値が２２を超えるものである。請求項２４に記載の
エアフィルタ用部品梱包体は、請求項１８、２１から２
３のいずれかの梱包体において、ポリエステルフィルム
層は９μｍ以上の厚みを有している。

【００６４】このエアフィルタ用部品梱包体では、第１
材は、９μｍ以上の厚みを有するポリエステルフィルム
層を有することにより、酸素透過度がより低くなってい
る。このため、外気中のガス状物質が第１材を透過する
のをより効果的に抑えることができる。また、ポリエス
テルフィルム層は一定値以上の厚みを有しているため、
第１材を容易に製造することができる。

【００６５】なお、ポリエステルフィルム層は、好まし
くは、９μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有し、さらに好
ましくは、９μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有してい
る。また、このポリエステルフィルム層は、好ましく
は、ＰＥＴからなるフィルム層である。

【００６６】請求項２５に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１９、２１から２３のいずれかの梱包体
において、ＥＶＯＨフィルム層は９μｍ以上の厚みを有
している。

【００６７】このエアフィルタ用部品梱包体では、第１
材は、９μｍ以上の厚みを有するポリエステルフィルム
層を有することにより、酸素透過度がより低くなってい
る。このため、外気中のガス状物質が第１材を透過する
のをより効果的に抑えることができる。また、ポリエス
テルフィルム層は一定値以上の厚みを有しているため、
第１材を容易に製造することができる。

【００６８】なお、ポリエステルフィルム層は、好まし
くは、９μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有し、さらに好
ましくは、９μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有してい
る。また、このポリエステルフィルム層は、好ましく
は、ＰＥＴからなるフィルム層である。

【００６９】この梱包体では、第１材として、ポリエス
テルと同様の高いガスバリア性を有するＥＶＯＨフィル
ム層を有するものを用いているが、ＥＶＯＨフィルム層
は９μｍ以上の厚みを有しているため、酸素透過度がよ
り低くなっており、ここでも、ガス状の有機物質の透過
を有効に抑えることができる。また、このフィルム層は
所定値以上の厚みを有しているため、第１材の加工が容
易になる。

【００７０】なお、ＥＶＯＨフィルム層も、ポリエステ
ルフィルム層と同様、好ましくは、９μｍ以上５０μｍ
以下の厚みを有し、さらに好ましくは、９μｍ以上２０
μｍ以下の厚みを有している。

【００７１】請求項２６に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項２０から２３のいずれかの梱包体におい
て、ナイロンフィルム層は９μｍ以上の厚みを有してい
る。この梱包体では、第１材として、ポリエステル、Ｅ
ＶＯＨ等と同様の高いガスバリア性を有するナイロンフ
ィルム層を有するものを用いているが、ナイロンフィル
ム層は９μｍ以上の厚みを有しているため、酸素透過度
がより低くなっており、ここでも、ガス状の有機物質の
透過を有効に抑えることができる。また、このフィルム
層も所定値以上の厚みを有しているため、第１材の加工
が容易になる。

【００７２】なお、ナイロンフィルム層も、ポリエステ
ル、ＥＶＯＨフィルム層と同様、好ましくは、９μｍ以
上５０μｍ以下の厚みを有し、さらに好ましくは、９μ
ｍ以上２０μｍ以下の厚みを有している。

【００７３】請求項２７に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項８、１５、１８、２１から２４のいずれ
かの梱包体において、ポリエステルフィルム層は第１材
の最も内側に配置されている。

【００７４】このエアフィルタ用部品梱包体では、ポリ
エステルフィルム層は、エアフィルタ用部品に最も近い
位置に配置されているため、例えば第１材の他の層が有
機物質を発生しうる場合でも、有機物質がポリエステル
フィルム層を透過することが殆どない。したがって、エ
アフィルタ用部品に対する有機物質の付着をより確実に
抑えることができる。

【００７５】請求項２８に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項９、１６、１９、２１から２３、２５の
いずれかの梱包体において、ＥＶＯＨフィルム層は第１
材の最も内側に配置されている。

【００７６】この梱包体でも、ガスバリア性の高いＥＶ
ＯＨフィルム層が最も内側に配置されているため、同じ
第１材の他の層から有機物質が発生したとしても、その
透過を抑え、エアフィルタ用部品に付着するのを有効に
抑えることができる。

【００７７】請求項２９に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項１０、１７、２０から２３、２６のいず
れかの梱包体において、ナイロンフィルム層は第１材の
最も内側に配置されている。

【００７８】この梱包体でも、ガスバリア性の高いナイ
ロンフィルム層が最も内側に配置されているため、同じ
第１材の他の層から有機物質が発生したとしても、その
透過を抑え、エアフィルタ用部品に付着するのを有効に
抑えることができる。

【００７９】請求項３０に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項２７から２９のいずれかの梱包体におい
て、第１材はＰＥフィルム層をさらに有している。この
エアフィルタ用部品梱包体では、エアフィルタ用部品
は、有機物質を発生し得るＰＥフィルム層を有する第１
材により梱包されているが、この第１材は同時に最内側
層としてポリエステル、ＥＶＯＨ、ナイロンのいずれか
のフィルム層を有しているため、ＰＥフィルム層から有
機物質が発生しても、有機物質が第１材を完全に透過す
るのを抑えることができる。

【００８０】請求項３１に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項３０の梱包体において、ＰＥフィルム層
は無添加ＰＥフィルム層である。ＰＥは、一般には、可
塑剤、酸化防止剤等の種々の添加剤が添加されたものが
用いられているが、これらの添加剤は、その種類、量等
によっては有機物質の発生源となる場合がある。そこ
で、この梱包体では、無添加ＰＥからなるフィルム層を
第１材に用いることにより、最内側のフィルム層の高い
ガス遮断性と共に、エアフィルタ用部品への有機物質の
付着を抑制するようにしている。

【００８１】請求項３２に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項３０の梱包体において、ＰＥフィルム層
は直鎖状低密度ポリエチレン（以下、ＬＬＤＰＥ）フィ
ルム層である。

【００８２】ＬＬＤＰＥは、例えば従来の低密度ポリエ
チレン（ＬＤＰＥ）に比べ、衝撃強さ、引裂き強さ等に
優れており、エアフィルタ用部品を梱包する資材のため
の材質として適している。そこで、ここでは、ＬＬＤＰ
Ｅフィルム層を有する第１材を用いてエアフィルタ用部
品を梱包することにより、外部からの衝撃等に対し強度
的に優れた梱包体を得ることとしている。

【００８３】請求項３３に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項８から３２のいずれかの梱包体におい
て、梱包材は、第１材の外側に配置される第２材をさら
に有している。

【００８４】このエアフィルタ用部品梱包体では、エア
フィルタ用部品は、第１材により梱包され、第１材の外
側からさらに第２材により梱包されている。ここでは、
第１材は有機物質の透過を遮断しうるポリエステルフィ
ルム層を有しているため、第２材が有機物質を発生しう
る場合でも、第２材から発生した有機物質が第１材を透
過することが殆どない。したがって、このような梱包形
態であっても、エアフィルタ用部品に対する有機物質の
付着を抑えることができる。

【００８５】請求項３４に記載のエアフィルタ用部品梱
包体は、請求項３３の梱包体において、第２材は段ボー
ルである。このエアフィル用部品梱包体では、エアフィ
ルタ用部品は、第１材により梱包され、第１材の外側か
らさらに段ボールで梱包されている。ここでは、第１材
は有機物質の透過を遮断しうるポリエステルフィルム層
を有しているため、段ボールからＤＯＰ、ＤＢＰ等の有
機物質が発生した場合でも、第２材から発生した有機物
質が第１材を透過することが殆どない。したがって、こ
のような梱包形態であっても、エアフィルタ用部品に対
する有機物質の付着を抑えることができる。

【００８６】請求項３５に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、第１工程と第２工程と第３工程とを備えて
いる。第１工程では少なくとも一部に空気清浄可能なフ
ィルタ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する。第
２工程では、エアフィルタ用部品が外気から遮断される
よう、少なくとも一部にポリエステルフィルム層を有す
る第１材でエアフィルタ用部品を梱包する。第３工程で
は、第１材で梱包されたエアフィルタ用部品を、さらに
外気から遮断されるよう第２材で梱包する。

【００８７】前述のように、エアフィルタ用部品は、梱
包材により使用時まで外気から遮断されることで、工場
で製造されたときの清浄な状態を保持し得ると考えられ
ていたが、本願出願人の研究により、これらの有機物質
は、梱包材である段ボールから発生してＰＥ袋を透過す
ることにより吸着されたものであり、また、これらの有
機物質はＰＥ袋からも発生しうることも明らかとなっ
た。

【００８８】そこで、このエアフィルタ用部品の梱包方
法では、エアフィルタ用部品と第２材との間に、有機物
質の透過を遮断しうる第１材を配置することとし、これ
により、第２材から有機物質が発生した場合でも、エア
フィルタ用部品に対する有機物質の付着を抑えている。

【００８９】なお、ポリエステルフィルム層は、好まし
くは、ＰＥＴからなるフィルム層である。請求項３６に
記載のエアフィルタ用部品の梱包方法は、第１工程と第
２工程と第３工程とを備えている。第１工程では、少な
くとも一部に空気清浄可能なフィルタ濾材を有するエア
フィルタ用部品を製造する。第２工程では、エアフィル
タ用部品が外気から遮断されるよう、少なくとも一部に
ＥＶＯＨフィルム層を有する第１材でエアフィルタ用部
品を梱包する。第３工程では、第１材で梱包されたエア
フィルタ用部品を、さらに外気から遮断されるよう第２
材で梱包する。

【００９０】この梱包方法では、エアフィルタ用部品と
第２材との間に、ポリエステルフィルムと同様の高いガ
スバリア性を有するＥＶＯＨ層を有する第１材を配置す
るようにし、これにより、第２材から発生した有機物質
がエアフィルタ用部品に付着するのを抑えている。

【００９１】請求項３７に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、第１工程と第２工程と第３工程と備えてい
る。第１工程は、少なくとも一部に空気清浄可能なフィ
ルタ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する。第２
工程では、エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよ
う、少なくとも一部にナイロンフィルム層を有する第１
材でエアフィルタ用部品を梱包する。第３工程では、第
１材で梱包されたエアフィルタ用部品を、さらに外気か
ら遮断されるよう第２材で梱包する。

【００９２】この梱包方法では、エアフィルタ用部品と
第２材との間に、ポリエステル、ＥＶＯＨフィルムと同
様の高いガスバリア性を有するナイロンフィルム層を有
する第１材を配置するようにし、これにより、第２材か
ら発生した有機物質がエアフィルタ用部品に付着するの
を抑えている。

【００９３】請求項３８に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、請求項３５から３７のいずれかの梱包方法
において、エアフィルタ用部品は、ＰＴＦＥからなるろ
過層とろ過層の少なくとも片面にラミネートされる通気
性支持材とを有するフィルタ濾材を備えている。

【００９４】請求項３９に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、請求項３５から３８のいずれかの梱包方法
において、フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流速で空気
を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が０．１０
μｍ以上０．１２μｍ以下のＤＯＰを用いて測定される
捕集効率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である。

【００９５】請求項４０に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、請求項３９の梱包方法において、フィルタ
濾材はＰＦ値が２２を超えるものである。請求項４１に
記載のエアフィルタ用部品の梱包方法は、請求項３５、
３８から４０のいずれかの梱包方法において、ポリエス
テルフィルム層は第１材の最も内側に配置されている。

【００９６】この方法では、ポリエステルフィルム層
は、エアフィルタ用部品に最も近い位置に配置されるた
め、例えば第１材の他の層が有機物質を発生しうる場合
でも、有機物質がポリエステルフィルム層を透過するこ
とが殆どない。したがって、エアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着をより確実に抑えることができる。

【００９７】請求項４２に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、請求項３６、３８から４０のいずれかの梱
包方法において、ＥＶＯＨフィルム層は第１材の最も内
側に配置されている。

【００９８】この梱包方法では、最内側にＥＶＯＨフィ
ルム層を有する第１材でエアフィルタ用部品を梱包する
ことにより、エアフィルタ用部品に有機物質が付着する
のを抑えるようにしている。

【００９９】請求項４３に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、請求項３７から４０のいずれかの梱包方法
において、ナイロンフィルム層は第１材の最も内側に配
置されている。

【０１００】この梱包方法では、最内側にナイロンフィ
ルム層を有する第１材でエアフィルタ用部品を梱包する
ことにより、エアフィルタ用部品に有機物質が付着する
のを抑えるようにしている。

【０１０１】請求項４４に記載のエアフィルタ用部品の
梱包方法は、請求項３５から４３のいずれかの梱包方法
において、第２材は段ボールである。この方法では、第
１材で梱包されたエアフィルタ用部品は、第１材の外側
からさらに段ボールで梱包される。ここでは、第１材が
有機物質の透過を遮断しうるポリエステルフィルム層を
有しているため、段ボールからＤＯＰ、ＤＢＰ等の有機
物質が発生した場合でも、第２材から発生した有機物質
が第１材を透過することが殆どない。したがって、この
ような梱包形態であっても、エアフィルタ用部品に対す
る有機物質の付着を抑えることができる。なお、このポ
リエステルフィルム層は、好ましくは、ＰＥＴからなる
フィルム層である。

【０１０２】

【発明の実施の形態】［エアフィルタユニット梱包体］
図１に本発明の一実施形態が採用されたエアフィルタユ
ニット梱包体１を示す。エアフィルタユニット梱包体１
は、エアフィルタユニット３と、フィルム材１３と、ケ
ース材１５とを有している。

【０１０３】エアフィルタユニット 図２に、エアフィルタユニット梱包体１に用いられるエ
アフィルタユニット３を示す。エアフィルタユニット３
は、フィルタ濾材１１と、フィルタ濾材１１が収納され
る枠体９とを備えている。

【０１０４】フィルタ濾材１１は、ＰＴＦＥ多孔膜と、
ＰＴＦＥ多孔膜を両側から狭持するよう配置された２枚
の通気性支持材とが熱融着ラミネートされてなるシート
材であり、ＰＴＦＥ多孔膜の厚さが１〜６０μｍ程度
で、繊維径が０．０５〜０．２μｍ、好ましくは０．０
５〜０．１４μｍ、特に好ましくは０．０５〜０．１μ
ｍであり、ＰＦ値は好ましくは２０以上であり、特に好
ましくは２２を超えるものである。通気性支持材として
は、目付が１５〜１００ｇ／ｍ²（好ましくは２０〜７
０ｇ／ｍ²）の不織布、好ましくは芯／鞘構造の繊維か
らなる不織布が用いられる。このフィルタ濾材１１は、
５３ｍｍ／秒の流速で空気を透過させたときに生じる圧
力損失が９８〜９８０ｐａ、粒子径が０．１０〜０．１
２μｍのＤＯＰの捕集効率が９９．０％以上、好ましく
は９９．９％以上、特に好ましくは９９．９９％以上と
なっている。

【０１０５】また、このフィルタ濾材１１は、使用前に
おけるＤＯＰ、ＤＢＰ含有量は１．０μｇ／ｇ以下、好
ましくは０．２μｇ／ｇ以下である。ＤＯＰ、ＤＢＰ含
有量は、後述するヘキサン抽出法により検出されたＤＯ
Ｐ、ＤＢＰの検出量である。そして、フィルタ濾材１１
は、１５〜１５０ｍｍの幅ごとに交互に折り返されて波
型形状にされ、隣接する折り返し部分の間隔がスペ−サ
１９もしくは波型形状のセパレータにより２〜１５ｍｍ
程度に保たれている。この状態をエアフィルター用プリ
ーツパックという。

【０１０６】枠体９は、４本のアルミニウム製枠材が組
み立てられてなり、内側のスペースに、フィルタ濾材１
１がスペーサ１９により所定の形状に保持された状態で
収納される。枠体９とフィルタ濾材１１とは、気密性を
保持すべく接着剤等によりシールされ、エアフィルタユ
ニットとなる。

【０１０７】フィルム材 フィルム材１３は、エアフィルタユニット１の外側を覆
うよう配置される樹脂製の袋（宇部フィルム社製「シュ
ペレン」）である。このフィルム材１３は、内側（エア
フィルタユニット１側）及び外側（外気側）の２つのフ
ィルム層と、両フィルム層の間の中間層とからなる。内
側層は、ＰＥＴフィルム層であり、エアフィルタユニッ
ト１に最も近い層である。外側層は、ＬＬＤＰＥフィル
ム層である。中間層は、２つのフィルム層を接着するた
めの層であり、接着性樹脂（：Adhesive Plastic、以
下、ＡＤＨ）からなる。フィルム材１３の各層の厚さ
は、内側層、中間層、外側層の順に、１５μｍ、１０μ
ｍ、３０μｍである。

【０１０８】なお、このフィルム材は、このような構成
の袋に限定されるものではなく、例えば、内側層のＰＥ
フィルム層と外側層のＰＥＴフィルム層とがアンカーコ
ート（：Anchor Coat、以下、ＡＣ）剤で接着されてな
るフィルム材（藤森工業社製「無地袋」）を裏返しにし
たものであってもよい。このフィルム材の各層の厚さ
は、ＰＥＴフィルム層、ＰＥフィルム層の順に、１２μ
ｍ、５０μｍである（ＡＣ剤層は、実質的に０μｍであ
る）。

【０１０９】ケース材 ケース材１５は、フィルム材１３で梱包したエアフィル
タユニット１の外側をさらに梱包するためのものであ
り、この実施形態では段ボールが用いられている。な
お、ケース材１５は、段ボールの他に、例えば樹脂製の
プラスチックケースであってもよい。

【０１１０】このように構成されたエアフィルタユニッ
ト梱包体１では、フィルム材１３は、ＤＯＰ、ＤＢＰ等
の有機物質の透過を遮断しうるＰＥＴフィルム層を有し
ている。このため、段ボールからこれらの有機物質が発
生してもフィルム材１３を透過してフィルム材１３の内
側に侵入することが殆どない。したがって、このエアフ
ィルタユニット梱包体１では、エアフィルタユニット３
が梱包された状態でのフィルタ濾材に対する有機物質の
付着が抑えられている。

【０１１１】また、このエアフィルタユニット梱包体１
の梱包が解かれエアフィルタユニット３がクリーンルー
ムの通気口及び半導体製造装置に設置された場合、クリ
ーンルームの外側の空気は、フィルタ濾材１１を通過し
てクリーンルーム内に入り込む。このとき、空気中の浮
遊微粒子はＰＴＦＥ多孔膜の繊維に衝突することにより
フィルタ濾材に捕獲され、空気中の浮遊微粒子は徐々に
低減される。

【０１１２】（実験例１）図３に、本発明のエアフィル
タユニット梱包体１に用いるフィルタ濾材１１の有機物
質の抽出試験の概要を示す。ここでは、フィルタ濾材１
１中の有機物質を以下に説明するへキサン抽出法により
抽出した。

【０１１３】なお、従来の有機物質の含有量の測定はパ
ージアンドトラップ方式により行われていた。この方式
では、エアフィルタユニットに対し４０℃の空気を所定
の流量で吹き付け、このエアフィルタユニットを透過す
る空気中から検出される有機物質の量を測定することに
より、エアフィルタユニットに含まれる有機物質の量が
測定される。

【０１１４】しかし、この方式では、比較的低沸点の有
機物質については有効に測定できるが、沸点が２７０℃
を超えるような高沸点の有機物質については、測定条件
が穏やかであるためにエアフィルタユニットから十分に
遊離させることができず、この結果、実際にはＤＢＰ、
ＤＯＰ等の高沸点成分を多く含んでいても、見かけ上こ
れらの成分が含まれていないかのような測定結果しか得
られない。

【０１１５】そこで、この実験例では、パージアンドト
ラップ方式に比べ高沸点の有機物質でも十分な量を遊離
させることのできるヘキサン抽出法により、フィルタ濾
材に含まれるＤＢＰ、ＤＯＰ等の高沸点成分の含有量の
測定を行うこととした。

【０１１６】また、本実験例で用いるフィルタ濾材１１
は、本願出願人により既に提案されている平成11年特許
願第286664号において実施例４に示される方法により製
造した。ここで、その製造方法を説明する。

【０１１７】数平均分子量６２０万のＰＴＦＥファイン
パウダー（ダイキン工業株式会社製ポリフロンファイン
パウダーＦ−１０４Ｕ）１００重量部に、押出助剤とし
ての炭化水素油（エッソ石油株式会社製アイソパー）２
５重量部を加えて混合した。

【０１１８】この混合物をペースト押出により丸棒状に
成形した。この丸棒状成形体を７０℃に加熱したカレン
ダーロールによりフィルム状に成形し、ＰＴＦＥフィル
ムを得た。このフィルムを２５０℃の熱風乾燥炉に通し
て押出助剤を蒸発除去し、平均厚み２００μｍ、平均幅
１５０ｍｍの未焼成フィルムを得た。

【０１１９】次に、この未焼成ＰＴＦＥフィルムを延伸
装置を用いて長手方向に延伸倍率５倍で延伸した。この
ときの延伸温度は２５０℃であった。得られた長手方向
延伸フィルムを連続クリップで挟むことのできる装置
（テンター）を用いて幅方向に延伸倍率３０倍で延伸
し、熱固定を行った。この時の延伸温度は２９０℃、熱
固定温度は３６０℃、また延伸速度は３３０％／秒であ
った。

【０１２０】このようにして得たＰＴＦＥ多孔膜の両面
にポリエチレン／ポリエステル製熱融着性不織布（上
面：商品名エルベスＴ０７０３ＷＤＯ（ユニチカ製）；
下部：商品名エルフィットＥ０３５３ＷＴＯ（ユニチカ
製））をニップロールなしで（実質的に厚み方向に圧力
をかけないで）熱融着し、フィルタ濾材１１を得た。こ
の時の熱融着条件は以下の通りであった。 ロール 加熱温度１６０℃ ライン速度 １５ｍ／分 巻出しテンション ５０ｇ／ｃｍ（不織布の巻出テンシ
ョン） 巻取テンション ２５０ｇ／ｃｍ なお、このようにして得たフィルタ濾材１１から濾材片
を切り出し、この濾材片についてＰＦ値の測定を行った
ところ、ＰＦ値は２６であった。このＰＦ値は、５３ｍ
ｍ／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失（単
位：ｐａ）と、粒子径が０．１０〜０．１２μｍのＤＯ
Ｐを用いて測定される捕集効率（単位：％）とから次
式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により求めた。ただし、以下に説明する有機物含有量の
測定には、このＰＦ値２６のフィルタ濾材１１のうち、
ＰＦ値の測定を行った場所は用いず、ＰＦ値の測定を行
なっていない場所を使用した（実験例２も同様）。

【０１２１】次に、ヘキサン抽出法によるフィルタ濾材
１１の有機物含有量の測定方法について説明する。上述
のようにして得たフィルタ濾材１１について、 １） 梱包前のもの（参考用） ２） 前述のフィルム材（藤森工業社製「無地袋」を裏
返しにしたもの）により梱包し、５０時間以上搬送した
後に梱包を解いたもの（実施例１） ３） 従来のフィルム材（ＬＬＤＰＥフィルム層のみか
らなるフィルム材）で梱包し、５０時間以上搬送した後
に梱包を解いたもの（比較例１）の３種類を用意し、こ
れらのフィルタ濾材１１から、フィルタ濾材片１．０ｇ
をサンプルとして切り出し、それぞれサンプル瓶に入れ
た。次に、各サンプル瓶にヘキサン２０ｍｌを入れ、超
音波洗浄器により１０分間超音波洗浄を行った。超音波
洗浄終了後、各サンプル瓶からサンプルを取り出し、Ｎ
₂雰囲気中、常温でヘキサンを蒸発させた後、新たにヘ
キサン１００μｌを加えた。各ヘキサン溶液から２μｌ
サンプリングし、ガスクロマトグラフィーにより有機物
質の各成分（炭素数が１５以上の炭化水素、ＤＯＰ、Ｄ
ＢＰ）の含有量を測定した。この測定結果を表１に示
す。

【０１２２】

【表１】 表１に示すように、比較例１のフィルタ濾材では、梱包
前のフィルタ濾材に比べ有機物質の含有量が大幅に増加
している。これに対し、実施例１のフィルタ濾材の有機
物質の含有量は、梱包前のフィルタ濾材とほぼ同程度と
なっている。したがって、実施例１のフィルタ濾材は、
比較例１のフィルタ濾材に比べ、梱包中における有機物
質の付着が抑えられていることが分かる。

【０１２３】（実験例２）図４に、本発明のエアフィル
タユニット梱包体１のガスバリア性評価実験におけるシ
ャーレ１７内のサンプルを示す。ここでは、フィルタ濾
材１１を、フィルム材１３のみで梱包したものと、フィ
ルム材１３及び段ボール１５で梱包したものとの有機物
質の含有量の比較を行った。

【０１２４】まず、フィルタ濾材１１から所定の大きさ
のフィルタ濾材片５つをサンプルとして切り出した。こ
れらのサンプルのうち４つを、有機物対策（ケミカルフ
ィルタの設置、有機物質の発生源の排除等）をしたクリ
ーンルーム内で、表２に示す４種のフィルム材でそれぞ
れ包み、空気が流通しないようフィルム材１３の開口部
分を２〜３回折り返した。次に、フィルム材で包んだサ
ンプルを、それぞれ段ボール板１５で挟んでシャーレ１
７に入れ、さらに、不純物を発生しない別のフィルム材
でシャーレ１７ごと包んで密封し（実施例２，３、比較
例２，３）、６０℃のオーブン中で３日間加熱した。加
熱終了後、フィルタ濾材１１をオーブンから取り出し、
ヘキサン抽出法により、フィルタ濾材１１に含まれる有
機不純物量を測定した。また、実施例２，３、比較例
２，３において段ボール板１５で挟まないものについて
も、比較のため、同様の測定を行った。この測定結果を
表３に示す。また、この測定結果から判断される、フィ
ルタ濾材１１の使用可否（フィルタ濾材１１の清浄度及
びガスバリア性）についての判定結果も併せて表３に示
す。なお、表２中「評価結果」は、測定結果から判断さ
れる、各フィルム材１３についてのガスバリア性及び不
純物発生量（○は発生量が少なく、×は発生量が多いこ
とを示す）を示すものである。

【０１２５】

【表２】

【０１２６】

【表３】 表３に示すように、比較例２，３では、段ボールで挟ん
だ場合の有機物質の検出量は、段ボールで挟まない場合
に比べ大幅に増加している。したがって、比較例２，３
に用いたフィルム材では、段ボールで発生した有機物質
が透過してフィルタ濾材に吸着されていると考えられ
る。これに対し、実施例２，３では、段ボールで挟んだ
場合の有機物質の含有量は、段ボールで挟まない場合と
同程度になっている。したがって、実施例２，３で用い
たフィルム材では、段ボールで発生した有機物質を有効
に遮断していると考えられる。

【０１２７】［エアフィルタユニットの梱包方法］本発
明の一実施形態が採用されるエアフィルタユニット３の
梱包方法は、ユニット製造工程と、袋詰め工程と、箱詰
め工程とを有している。

【０１２８】ユニット製造工程ではエアフィルタユニッ
ト３が製造される。エアフィルタユニット３は、前述の
ように、ＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材とからなるフィ
ルタ濾材１１を所定の形状に加工したものを枠体９内に
収納し、フィルタ濾材１１と枠体９との間を接着剤によ
りシールすることにより製造される。

【０１２９】袋詰め工程では、エアフィルタユニット３
のフィルタ濾材１１が、外気から遮断されるようフィル
ム材１３で梱包される。フィルム材１３としては、前述
のフィルム材１３が用いられる。

【０１３０】箱詰め工程では、フィルム材１３で梱包さ
れたエアフィルタユニット３が、さらに外気から遮断さ
れるようケース材１５で梱包される。ケース材１５とし
ては前述の段ボールが用いられる。なお、ケース材１５
は、段ボールの他に、例えば樹脂製のプラスチックケー
スであってもよい。

【０１３１】［他の実施形態］ （ａ）フィルタ濾材１１は、ＰＴＦＥ多孔膜を用いたも
のに限定されず、他の樹脂製多孔膜を用いたフィルタ濾
材であってもよく、また、ガラス繊維からなるガラス濾
材等のフィルタ濾材であってもよい。

【０１３２】（ｂ）エアフィルタユニット梱包体１は、
エアフィルタユニット３の全体を包むように梱包したも
のに限定されず、例えば、フィルタ濾材１１が露出する
部分のみを覆うよう、エアフィルタユニット３の空気導
入口（表面）及び空気排出口（裏面）の２箇所にフィル
ム材１３を張り付けたものであってもよい。

【０１３３】（ｃ）前記実施形態ではエアフィルタユニ
ット３としての形態で梱包した場合について説明した
が、フィルタ濾材１１、エアフィルタプリーツパックと
しての形態で梱包した場合にも外気中の有機物質の付着
を抑えることができる。

【０１３４】（ｄ）前記実施形態では、フィルム材１３
としてＰＥＴフィルム層を有するものについて説明した
が、ＰＥＴフィルム層に代えてＥＶＯＨ、ナイロン等の
高いガスバリア性を有する材質からなるフィルム層を採
用してもよい。

【０１３５】（ｅ）フィルム材１３の外側層は、前記実
施形態で説明したＬＬＤＰＥフィルム層に代えて無添加
ＰＥフィルム層を採用してもよい。

【０１３６】

【発明の効果】本発明によれば、エアフィルタ用部品
は、外気中の有機物質を遮断しうる梱包材により梱包さ
れるため、梱包された状態での有機物質の付着が抑えら
れる。そして、このような有機物質の付着抑制効果は、
特に、フィルタ濾材が高ＰＦ値のＰＴＦＥ多孔膜を有し
ている場合に優れている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態が採用されたエアフィルタ
ユニット梱包体を示す斜視図。

【図２】前記エアフィルタユニット梱包体のエアフィル
タユニットを示す斜視図。

【図３】実験例１の方法を示す説明図。

【図４】実験例２の実験中のサンプルを示す縦断面図。

【符号の説明】

１ エアフィルタユニット梱包体 ３ エアフィルタユニット ５ 梱包材 ９ 枠体 １１ フィルタ濾材 １３ フィルム材 １５ ケース材

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｄ 71/26 Ｂ０１Ｄ 71/26 71/36 71/36 71/38 71/38 71/48 71/48 71/56 71/56 Ｂ６５Ｄ 65/40 Ｂ６５Ｄ 65/40 Ｄ 75/26 75/26 (72)発明者 井上 治 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキン 工業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 大野 真二 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキン 工業株式会社淀川製作所内 Ｆターム(参考） 3E067 AA12 AB99 BA05C BA20B BB02C BB14B BB25B BC06B BC06C CA06 FA01 FC01 3E086 AB01 AD01 BA04 BA15 BB01 CA40 4D006 GA41 GA44 HA72 JA02B JA03C JA04Z JA08Z JB01 MA03 MA08 MA09 MA31 MB03 MB06 MC22 MC22X MC30 MC30X MC34 MC48 MC48X MC54 MC84 NA47 NA64 NA65 NA66 NA69 PA05 PB17 PB62 PB68 PC05 4D019 AA01 BA13 BB08 BB10 BD01 CA02 CB01 CB03 CB04 CB06

Claims (44)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも一部に空気清浄可能なフィルタ
   濾材を有するエアフィルタ用部品であって、 使用前における前記フィルタ濾材１ｇ当たりのジブチル
   フタレート含有量は１．０μｇ以下である、エアフィル
   タ用部品。
2. 【請求項２】使用前における前記フィルタ濾材１ｇ当た
   りのジオクチルフタレート含有量は１．０μｇ以下であ
   る、請求項１に記載のエアフィルタ用部品。
3. 【請求項３】使用前における前記フィルタ濾材１ｇ当た
   りの炭素数１５以上の炭化水素含有量は５０μｇ以下で
   ある、請求項１または２に記載のエアフィルタ用部品。
4. 【請求項４】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオロ
   エチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも片
   面にラミネートされる通気性支持材とを有している、請
   求項１から３のいずれかに記載のエアフィルタ用部品。
5. 【請求項５】前記フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流速
   で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
   ０．１０μｍ以上０．１２μｍ以下のジオクチルフタレ
   ートを用いて測定される捕集効率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
   ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である、請求項１か
   ら４のいずれかに記載のエアフィルタ用部品。
6. 【請求項６】前記フィルタ濾材はＰＦ値が２２を超え
   る、請求項５に記載のエアフィルタ用部品。
7. 【請求項７】請求項１から６のいずれかに記載のエアフ
   ィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
   梱包材と、を備えたエアフィルタ用部品梱包体。
8. 【請求項８】前記梱包材は、少なくとも一部にポリエス
   テルフィルム層を有する第１材を有している、請求項７
   に記載のエアフィルタ用部品梱包体。
9. 【請求項９】前記梱包材は、少なくとも一部にエチレン
   −ビニルアルコール共重合体フィルム層を有する第１材
   を有している、請求項７に記載のエアフィルタ用部品梱
   包体。
10. 【請求項１０】前記梱包材は、少なくとも一部にナイロ
    ンフィルム層を有する第１材を有している、請求項７に
    記載のエアフィルタ用部品梱包体。
11. 【請求項１１】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
    梱包材とを備え、 前記梱包材は、酸素透過度が２００００ｍｌ／（ｍ²・
    ｄａｙ・Ｍｐａ）未満である第１材を有している、エア
    フィルタ用部品梱包体。
12. 【請求項１２】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオ
    ロエチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも
    片面にラミネートされる通気性支持材とを有している、
    請求項１１に記載のエアフィルタ用部品梱包体。
13. 【請求項１３】前記フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流
    速で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
    ０．１０μｍ以上０．１２μｍ以下のジオクチルフタレ
    ートを用いて測定される捕集効率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
    ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である、請求項１１
    または１２に記載のエアフィルタ用部品梱包体。
14. 【請求項１４】前記フィルタ濾材はＰＦ値が２２を超え
    る、請求項１３に記載のエアフィルタ用部品梱包体。
15. 【請求項１５】前記第１材は少なくとも一部にポリエス
    テルフィルム層を有している、請求項１１から１４のい
    ずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。
16. 【請求項１６】前記第１材は少なくとも一部にエチレン
    −ビニルアルコール共重合体フィルム層を有している、
    請求項１１から１４のいずれかに記載のエアフィルタ用
    部品梱包体。
17. 【請求項１７】前記第１材は少なくとも一部にナイロン
    フィルム層を有している、請求項１１から１４のいずれ
    かに記載のエアフィルタ用部品梱包体。
18. 【請求項１８】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
    梱包材とを備え、 前記梱包材は少なくとも一部にポリエステルフィルム層
    を有する第１材を有しており、前記ポリエステルフィル
    ム層は１μｍ以上の厚みを有している、エアフィルタ用
    部品梱包体。
19. 【請求項１９】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
    梱包材とを備え、 前記梱包材は少なくとも一部にエチレン−ビニルアルコ
    ール共重合体フィルム層を有する第１材を有しており、
    前記エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム層は
    １μｍ以上の厚みを有している、エアフィルタ用部品梱
    包体。
20. 【請求項２０】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品と、 前記フィルタ濾材が外気から遮断されるよう配置される
    梱包材とを備え、 前記梱包材は少なくとも一部にナイロンフィルム層を有
    する第１材を有しており、前記ナイロンフィルム層は１
    μｍ以上の厚みを有している、エアフィルタ用部品梱包
    体。
21. 【請求項２１】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオ
    ロエチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも
    片面にラミネートされる通気性支持材とを有している、
    請求項１８から２０のいずれかに記載のエアフィルタ用
    部品梱包体。
22. 【請求項２２】前記フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流
    速で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
    ０．１０μｍ以上０．１２μｍ以下のジオクチルフタレ
    ートを用いて測定される捕集効率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
    ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である、請求項１８
    から２１のいずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包
    体。
23. 【請求項２３】前記フィルタ濾材はＰＦ値が２２を超え
    る、請求項２２に記載のエアフィルタ用部品梱包体。
24. 【請求項２４】前記ポリエステルフィルム層は９μｍ以
    上の厚みを有している、請求項１８、２１から２３のい
    ずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。
25. 【請求項２５】前記エチレン−ビニルアルコール共重合
    体フィルム層は９μｍ以上の厚みを有している、請求項
    １９、２１から２３のいずれかに記載のエアフィルタ用
    部品梱包体。
26. 【請求項２６】前記ナイロンフィルム層は９μｍ以上の
    厚みを有している、請求項２０から２３のいずれかに記
    載のエアフィルタ用部品梱包体。
27. 【請求項２７】前記ポリエステルフィルム層は前記第１
    材の最も内側に配置されている、請求項８、１５、１
    ８、２１から２４のいずれかに記載のエアフィルタ用部
    品梱包体。
28. 【請求項２８】前記エチレン−ビニルアルコール共重合
    体フィルム層は前記第１材の最も内側に配置されてい
    る、請求項９、１６、１９、２１から２３、２５のいず
    れかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。
29. 【請求項２９】前記ナイロンフィルム層は前記第１材の
    最も内側に配置されている、請求項１０、１７、２０か
    ら２３、２６のいずれかに記載のエアフィルタ用部品梱
    包体。
30. 【請求項３０】前記第１材はポリエチレンフィルム層を
    さらに有している、請求項２７から２９のいずれかに記
    載のエアフィルタ用部品梱包体。
31. 【請求項３１】前記ポリエチレンフィルム層は無添加ポ
    リエチレンフィルム層である、請求項３０に記載のエア
    フィルタ用部品梱包体。
32. 【請求項３２】前記ポリエチレンフィルム層は直鎖状低
    密度ポリエチレンフィルム層である、請求項３０に記載
    のエアフィルタ用部品梱包体。
33. 【請求項３３】前記梱包材は、前記第１材の外側に配置
    される第２材をさらに有している、請求項８から３２の
    いずれかに記載のエアフィルタ用部品梱包体。
34. 【請求項３４】前記第２材は段ボールである、請求項３
    ３に記載のエアフィルタ用部品梱包体。
35. 【請求項３５】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する第１工程
    と、 前記エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよう、少
    なくとも一部にポリエステルフィルム層を有する第１材
    で前記エアフィルタ用部品を梱包する第２工程と、 前記第１材で梱包された前記エアフィルタ用部品を、さ
    らに外気から遮断されるよう第２材で梱包する第３工程
    と、を有しているエアフィルタ用部品の梱包方法。
36. 【請求項３６】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する第１工程
    と、 前記エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよう、少
    なくとも一部にエチレン−ビニルアルコール共重合体フ
    ィルム層を有する第１材で前記エアフィルタ用部品を梱
    包する第２工程と、 前記第１材で梱包された前記エアフィルタ用部品を、さ
    らに外気から遮断されるよう第２材で梱包する第３工程
    と、を有しているエアフィルタ用部品の梱包方法。
37. 【請求項３７】少なくとも一部に空気清浄可能なフィル
    タ濾材を有するエアフィルタ用部品を製造する第１工程
    と、 前記エアフィルタ用部品が外気から遮断されるよう、少
    なくとも一部にナイロンフィルム層を有する第１材で前
    記エアフィルタ用部品を梱包する第２工程と、 前記第１材で梱包された前記エアフィルタ用部品を、さ
    らに外気から遮断されるよう第２材で梱包する第３工程
    と、を有しているエアフィルタ用部品の梱包方法。
38. 【請求項３８】前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオ
    ロエチレンからなるろ過層と、前記ろ過層の少なくとも
    片面にラミネートされる通気性支持材とを有している、
    請求項３５から３７のいずれかに記載のエアフィルタ用
    部品の梱包方法。
39. 【請求項３９】前記フィルタ濾材は、５３ｍｍ/秒の流
    速で空気を透過させたときに生じる圧力損失と粒子径が
    ０．１０μｍ以上０．１２μｍ以下のジオクチルフタレ
    ートを用いて測定される捕集効率とから次式： ［数１］ ＰＦ＝[−log（透過率（％）/１００）/（圧力損失（ｐ
    ａ）/９．８）]×１００ （ここで、透過率（％）＝１００−捕集効率（％）） により算出されるＰＦ値が２０以上である、請求項３５
    から３８のいずれかに記載のエアフィルタ用部品の梱包
    方法。
40. 【請求項４０】前記フィルタ濾材はＰＦ値が２２を超え
    る、請求項３９に記載のエアフィルタ用部品の梱包方
    法。
41. 【請求項４１】前記ポリエステルフィルム層は前記第１
    材の最も内側に配置されている、請求項３５、３８から
    ４０のいずれかに記載のエアフィルタ用部品の梱包方
    法。
42. 【請求項４２】前記エチレン−ビニルアルコール共重合
    体フィルム層は前記第１材の最も内側に配置されてい
    る、請求項３６、３８から４０のいずれかに記載のエア
    フィルタ用部品の梱包方法。
43. 【請求項４３】前記ナイロンフィルム層は前記第１材の
    最も内側に配置されている、請求項３７から４０のいず
    れかに記載のエアフィルタ用部品の梱包方法。
44. 【請求項４４】前記第２材は段ボールである、請求項３
    ５から４３のいずれかに記載のエアフィルタ用部品の梱
    包方法。