JP2002122545A - ガス検知材 - Google Patents
ガス検知材Info
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- JP2002122545A JP2002122545A JP2000313277A JP2000313277A JP2002122545A JP 2002122545 A JP2002122545 A JP 2002122545A JP 2000313277 A JP2000313277 A JP 2000313277A JP 2000313277 A JP2000313277 A JP 2000313277A JP 2002122545 A JP2002122545 A JP 2002122545A
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- polyhydric alcohol
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- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 乾燥した流体中に含まれる被検ガスを長期間
に亘って高い感度で検出可能な検知材を提供すること。 【解決手段】 被検出ガスと反応して光学的変化を呈す
る発色剤と、多価アルコールとを独立孔が全体に分散し
て多孔質化したセルロース粒状体に含浸させて、セルロ
ースに含浸されている多価アルコールの水分により反応
性を維持する。
に亘って高い感度で検出可能な検知材を提供すること。 【解決手段】 被検出ガスと反応して光学的変化を呈す
る発色剤と、多価アルコールとを独立孔が全体に分散し
て多孔質化したセルロース粒状体に含浸させて、セルロ
ースに含浸されている多価アルコールの水分により反応
性を維持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造設備から排出された有害ガスを分解する処理装置、よ
り詳細には処理カートリッジの処理能力の低下を管理す
るためのモニターに適した検知材に関する。
造設備から排出された有害ガスを分解する処理装置、よ
り詳細には処理カートリッジの処理能力の低下を管理す
るためのモニターに適した検知材に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場で使用されるガスの中に
は有毒なものが存在するため、半導体製造設備が設置さ
れている環境の空気を無毒化、または除害する処理手段
を経由させてから大気に放出する必要がある。このよう
な処理手段の一つとしてガス流入口と流出口が設けられ
た筒体に処理剤を充填したカートリッジを排気流路に接
続することが行われている。そして、処理剤は、その処
理能力が限られているので、カートリッジの下流側に被
処理ガスと反応して光学的濃度の変化する検知材を透明
な筒状体に収容してモニターを形成し、検知材の色変化
からカートリッジの寿命を判断することが行われてい
る。
は有毒なものが存在するため、半導体製造設備が設置さ
れている環境の空気を無毒化、または除害する処理手段
を経由させてから大気に放出する必要がある。このよう
な処理手段の一つとしてガス流入口と流出口が設けられ
た筒体に処理剤を充填したカートリッジを排気流路に接
続することが行われている。そして、処理剤は、その処
理能力が限られているので、カートリッジの下流側に被
処理ガスと反応して光学的濃度の変化する検知材を透明
な筒状体に収容してモニターを形成し、検知材の色変化
からカートリッジの寿命を判断することが行われてい
る。
【０００３】このような検知材は、特開平5−322876号
公報や特開平6−273410号公報に見られるように粒状の
シリカゲルや、シリカアルミナ、アルミナに被検出ガス
と反応して光学的変化を呈する発色剤を含浸させて構成
されている。
公報や特開平6−273410号公報に見られるように粒状の
シリカゲルや、シリカアルミナ、アルミナに被検出ガス
と反応して光学的変化を呈する発色剤を含浸させて構成
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、結露に
よる不都合を防止するために極度に除湿された半導体製
造設備からのガスに対しては検知材に含まれている発色
剤と被検ガスとの反応が遅く、本来の検出感度を発揮す
ることができず、処理剤の寿命を正確に判定することが
困難であるという問題がある。本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は半導体設備等の乾燥ガスに含まれている被検ガスを高
い感度で呈色反応により検出することができる検知材を
提供することである。
よる不都合を防止するために極度に除湿された半導体製
造設備からのガスに対しては検知材に含まれている発色
剤と被検ガスとの反応が遅く、本来の検出感度を発揮す
ることができず、処理剤の寿命を正確に判定することが
困難であるという問題がある。本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は半導体設備等の乾燥ガスに含まれている被検ガスを高
い感度で呈色反応により検出することができる検知材を
提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、被検出ガスと反応して光学
的変化を呈する発色剤と、多価アルコールとを独立孔が
全体に分散して多孔質化したセルロース粒状体に含浸さ
せるようにした。
るために本発明においては、被検出ガスと反応して光学
的変化を呈する発色剤と、多価アルコールとを独立孔が
全体に分散して多孔質化したセルロース粒状体に含浸さ
せるようにした。
【０００６】
【作用】多孔質化したセルロースに含浸されている多価
アルコールが保持している水分により発色剤と被検ガス
との反応性が維持されているため、被検出ガスを含む気
体の湿度に関わり無く、被検ガスに対して確実に発色剤
が反応して光学的に変化を呈する。
アルコールが保持している水分により発色剤と被検ガス
との反応性が維持されているため、被検出ガスを含む気
体の湿度に関わり無く、被検ガスに対して確実に発色剤
が反応して光学的に変化を呈する。
【０００７】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を実施
例に基づいて説明する。被検出ガスに反応して光学的変
化を呈する発色剤、例えば特開平5−322876号公報に見
られるような第二銅塩と金塩との混合物や、特開平6−2
73410号公報に見られるような一般化学式、Ｍ（ＯＲ）
ｎ〔Ｍは金属またはこれに酸素が結合したもの、ＯＲは
アルコキシ基、ｎは正の整数〕で表される金属アルコキ
シドの検知剤であって、銅（ＩＩ）塩と金塩との混合物
と、グリセリンやエチレングリコール等の多価アルコー
ルとを易蒸発性有機溶媒に溶解して調製する。
例に基づいて説明する。被検出ガスに反応して光学的変
化を呈する発色剤、例えば特開平5−322876号公報に見
られるような第二銅塩と金塩との混合物や、特開平6−2
73410号公報に見られるような一般化学式、Ｍ（ＯＲ）
ｎ〔Ｍは金属またはこれに酸素が結合したもの、ＯＲは
アルコキシ基、ｎは正の整数〕で表される金属アルコキ
シドの検知剤であって、銅（ＩＩ）塩と金塩との混合物
と、グリセリンやエチレングリコール等の多価アルコー
ルとを易蒸発性有機溶媒に溶解して調製する。
【０００８】この発色液を特公昭56−21761号公報、特
開平4−41533号公報、特開平5−200268号公報等に見ら
れるセルロースやセルロース誘導体からなる直径０．１
乃至数ミリｍ程度で、複数の独立孔が全体に分散して形
成されている多孔質化されたセルロース粒子に含浸さ
せ、その後、不要な溶媒を揮散させると、粒状の検知材
が完成する。
開平4−41533号公報、特開平5−200268号公報等に見ら
れるセルロースやセルロース誘導体からなる直径０．１
乃至数ミリｍ程度で、複数の独立孔が全体に分散して形
成されている多孔質化されたセルロース粒子に含浸さ
せ、その後、不要な溶媒を揮散させると、粒状の検知材
が完成する。
【０００９】この検知材を、被検ガスの一端から他端に
通過が可能な筒状容器に収容して被検出ガスを一端から
他端に向けて流すと、検知材に含浸されている多価アル
コールの水分により、被検ガスを含む流体の湿度に関わ
り無く発色剤の反応性を維持して、被検ガスと速やかに
反応して光学的変化を呈する。
通過が可能な筒状容器に収容して被検出ガスを一端から
他端に向けて流すと、検知材に含浸されている多価アル
コールの水分により、被検ガスを含む流体の湿度に関わ
り無く発色剤の反応性を維持して、被検ガスと速やかに
反応して光学的変化を呈する。
【００１０】ところで、検知材が多孔質化された粒状の
セルロースを基体として構成されているため、各粒子の
多数の独立孔に発色材、及び多価アルコールが含浸され
ているから、シリカゲルや、シリカアルミナ、アルミナ
の細孔に比較して細孔の平均径が大きいため、多価アル
コールや発色剤を十分に保持し、かつ高い通気性を呈す
るから、各粒子の発色剤が被検ガスと十分に反応する。
セルロースを基体として構成されているため、各粒子の
多数の独立孔に発色材、及び多価アルコールが含浸され
ているから、シリカゲルや、シリカアルミナ、アルミナ
の細孔に比較して細孔の平均径が大きいため、多価アル
コールや発色剤を十分に保持し、かつ高い通気性を呈す
るから、各粒子の発色剤が被検ガスと十分に反応する。
【００１１】この結果、発色材はガス流入側に位置する
ものから順番にその発色剤を被検ガスとの反応により消
費され、図１（ａ）に示したように全体として層状に色
が変化する。
ものから順番にその発色剤を被検ガスとの反応により消
費され、図１（ａ）に示したように全体として層状に色
が変化する。
【００１２】これに対して、シリカゲルや、シリカアル
ミナ、アルミナを基体に使用した発色材は、各粒子のガ
スの透過率が低いため、被検ガスは上流側の粒子の発色
剤と完全に反応しない状態で下流側に流れ込むため、図
１（ｂ）に示したようにガスの流下方向に対して発色材
が離散的に発色してしまい全体として色むらが生じる。
ミナ、アルミナを基体に使用した発色材は、各粒子のガ
スの透過率が低いため、被検ガスは上流側の粒子の発色
剤と完全に反応しない状態で下流側に流れ込むため、図
１（ｂ）に示したようにガスの流下方向に対して発色材
が離散的に発色してしまい全体として色むらが生じる。
【００１３】なお、上述の実施例においては半導体製造
設備から排出された有害ガスを検出する場合に例を採っ
て説明したが、発色剤の組成を、被検ガスに対して呈色
反応するものに適宜変更することにより、乾燥ガスに含
まれる被検ガスの検出に使用できることは明らかであ
る。
設備から排出された有害ガスを検出する場合に例を採っ
て説明したが、発色剤の組成を、被検ガスに対して呈色
反応するものに適宜変更することにより、乾燥ガスに含
まれる被検ガスの検出に使用できることは明らかであ
る。
【００１４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、被検出ガスと反応して光学的変化を呈する発色剤
と、多価アルコールとを独立孔が全体に分散して多孔質
化したセルロース粒状体に含浸させたので、多価アルコ
ールの水分により、被検ガスを含む流体の湿度に関わり
無く高い検出感度を長期間に亘って維持することができ
るばかりでなく、ガスの流下方向に順番に変色させて被
検ガスの量を数量的に検出することができる。
は、被検出ガスと反応して光学的変化を呈する発色剤
と、多価アルコールとを独立孔が全体に分散して多孔質
化したセルロース粒状体に含浸させたので、多価アルコ
ールの水分により、被検ガスを含む流体の湿度に関わり
無く高い検出感度を長期間に亘って維持することができ
るばかりでなく、ガスの流下方向に順番に変色させて被
検ガスの量を数量的に検出することができる。
【図１】図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明の発色材
と、従来の発色材とを被検ガスに晒したときの発色の状
態を模式的に示す図である。
と、従来の発色材とを被検ガスに晒したときの発色の状
態を模式的に示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 明弘 東京都板橋区小豆沢２丁目７番６号 理研 計器株式会社内 Ｆターム(参考） 2G042 AA01 CA03 CB01 DA08 DA09 EA01 FA11 FB06 HA07 2G054 AA01 AB06 BA04 BB01 BB10 CA10 CB10 CD01 CE02 EA01 EA06 FA02 JA02
Claims (1)
- 【請求項１】 被検出ガスと反応して光学的変化を呈す
る発色剤と多価アルコールとを、独立孔が全体に分散し
て多孔質化したセルロース粒状体に含浸させたガス検知
材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000313277A JP3812714B2 (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | ガス検知材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000313277A JP3812714B2 (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | ガス検知材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002122545A true JP2002122545A (ja) | 2002-04-26 |
| JP3812714B2 JP3812714B2 (ja) | 2006-08-23 |
Family
ID=18792722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000313277A Expired - Fee Related JP3812714B2 (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | ガス検知材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3812714B2 (ja) |
-
2000
- 2000-10-13 JP JP2000313277A patent/JP3812714B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3812714B2 (ja) | 2006-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040423 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050810 |
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