JP2002122417A - 三次元形状測定装置 - Google Patents
三次元形状測定装置Info
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Abstract
いた三次元形状測定装置を提供する。 【解決手段】 撮像対象物1を置く撮像領域2に、第1
の方向(y’軸方向)に一定の間隔a、第1の方向に直
角な第2の方向(x’軸方向)に間隔aよりも大なる一
定の間隔bで格子状に配列された複数の輝点13aを投
影する投影手段12と;投影手段12から見て所定の方
向(y軸方向)に設置された、撮像対象物1の置かれた
撮像領域2に投影された複数の輝点13aを撮像する撮
像手段11と;撮像手段11で撮像された輝点画像1
a’と、基準画像2a’とを比較して、撮像対象物1の
三次元形状を演算する形状演算手段14とを備え;所定
の方向(y軸方向)と前記第1の方向(y’軸方向)と
のなす角度θは、nを自然数とするとき、arctan
(b/(a・n))にほぼ等しく、且つ輝点の直径をc
とするとき、前記角度はarcsin(c/a)より大
であるように構成されている三次元形状測定装置。
Description
置に関し、特に対象領域内の物体や人物の高さや姿勢の
変化を監視するための三次元形状測定装置に関するもの
である。
のプライバシーを損なわずに、異常を知るための監視装
置として、従来から、監視対象領域に格子状に配列され
た輝点を投影してその画像を撮影し、撮影された画像中
の輝点の基準位置からの位置変化によって対象領域の高
さ変化を検出し、対象領域内の物体や人物の有無や高さ
変化、姿勢変化を監視する装置が提案されている。
では、監視対象領域内に物体などが存在しない状態にお
ける輝点の位置からの、物体が存在するときの輝点の移
動量を調べて物体の高さを計算する。しかしながら、そ
の高さは、物体が存在するときの輝点が、物体が存在し
ないときの隣の輝点の位置まで移動してしまうところで
輝点同士の区別が困難となり、それ以上の測定ができな
かった。図7(a)に監視対象領域に物体が存在しない
場合の輝点画像の様子を、また図7(b)に物体の存在
により、ある場所の輝点が隣の輝点まで移動してしまう
様子を示す。図7(b)では、輝点111c、111d
が移動して隣の輝点111a、111bの図7(a)で
の位置まで移動してしまっており、これ以上の輝点の移
動を生じさせる高さの物体は測定できない。例えば、図
7(b)での111c、111dが更に左に移動してし
まうと、その輝点が111a、111bと区別できなく
なってしまう。
囲が広い、輝点を用いた三次元形状測定装置を提供する
ことを目的とする。
に、請求項1に係る発明による三次元形状測定装置10
は、例えば図1に示すように、撮像対象物1を置く撮像
領域2に、第1の方向(y’軸方向(図2))に一定の
間隔a、第1の方向(y’軸方向)に直角な第2の方向
(x’軸方向)に間隔aよりも大なる一定の間隔bで格
子状に配列された複数の輝点13aを投影する投影手段
12と;投影手段12から見て所定の方向(y軸方向)
に設置された、撮像対象物1の置かれた撮像領域2に投
影された複数の輝点13aを撮像する撮像手段11と;
撮像手段11で撮像された輝点画像1a’と、基準画像
2a’とを比較して、撮像対象物1の三次元形状を演算
する形状演算手段14とを備え;所定の方向(y軸方
向)と前記第1の方向(y’軸方向)とのなす角度θ
は、nを自然数とするとき、arctan(b/(a・
n))にほぼ等しく、且つ輝点の直径をcとするとき、
前記角度はarcsin(c/a)より大であるように
構成されている。
かれていない撮像領域に投影された輝点を撮像した画像
である。ここで輝点画像と基準画像、はイメージ画像に
限らず、輝点の位置を特定する座標によるものであって
もよい。
軸方向(図2))に一定の間隔a、第1の方向に直角な
第2の方向に間隔aよりも大なる一定の間隔bで格子状
に配列された複数の輝点を投影する投影手段と、投影手
段から見て所定の方向に設置された、撮像対象物1の置
かれた撮像領域2に投影された複数の輝点を撮像する撮
像手段とを備える。また所定の方向と第1の方向とのな
す角度は、nを自然数とするとき、arctan(b/
(a・n))にほぼ等しく、且つ輝点の直径をcとする
とき、前記角度はarcsin(c/a)より大である
ように構成されているので、撮像対象物の測定範囲をさ
らに拡大することができる。
ば図2に示すように、請求項1に記載の三次元形状測定
装置10では、投影手段12が、コヒーレント光L1を
発生する光源Lと;光源Lで発生されたコヒーレント光
L1を通過させる2枚の回折格子13とを備え;2枚の
回折格子13は、それぞれの回折方向がほぼ直交するよ
うに配置されている。
3は、ファイバーグレーティングとするとよい。回折格
子を通過したコヒーレント光は干渉によりパターンを生
成する。回折格子は、ファイバーグレーティングの他、
例えば複数のスリットを平行に切ったスリット板、シリ
ンドリカルレンズアレイであってもよい。また2枚のシ
リンドリカルレンズアレイの代わりに、マイクロレンズ
アレイを用いてもよい。
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号または類似符
号を付し、重複した説明は省略する。
形状測定装置10の全体像を示す概念的斜視図である。
図中測定対象物ないしは撮像対象物としての直方体形状
をした物体1が、測定対象領域ないしは撮像対象領域と
しての平面2上に載置されている。XY軸を平面2内に
置くように、直交座標系XYZがとられており、物体1
はXY座標系の第1象限に置かれている。物体の代わり
に人物を撮像対象物としてもよい。
手段としての撮像光学系11が配置されている。ここで
は便宜上撮像光学系は撮像レンズとしての1つの凸レン
ズ11aで構成されているものとして図示してある。撮
像光学系11の撮像レンズ11aは、その光軸がZ軸に
一致するように配置されている。撮像レンズ11aが、
平面2あるいは物体1の像を結像する結像面(イメージ
プレーン)15は、Z軸に直交する面である。結像面1
5内にxy直交座標系をとり、Z軸が、xy座標系の原
点を通るようにする。
撮像レンズ11aからY軸の負の方向に距離dだけ離れ
たところに、ファイバーグレーティング(FG)素子1
3が配置されている。FG素子13を含んで、投影手段
としての輝点投影光学系12が構成されている。ここで
結像面15の中心とFG素子の中心とを結ぶ線を基線と
呼ぶ。基線はy軸方向に向いており、dは基線方向の距
離(基線長)である。図2を参照して後で説明するよう
に、FG素子13には光源Lの発生するレーザー光L1
がZ軸方向に入射して、格子状に点が配列されたパター
ン13aが平面2に照射される。即ち、物体1と平面2
は、パターン状照明光で照明される。撮像光学系11に
は、画像処理手段としてのコンピュータ14が電気的に
接続されている。形状演算手段はコンピュータ14内に
内臓されている。即ち、ハードディスクやRAM等の記
憶部にインストールされた例えば演算プログラムであ
る。
原理を説明する。後で詳しく説明するFG素子13によ
り平面2に投影された輝点パターン13aは、物体1が
存在する部分は、物体1に遮られ平面2には到達しな
い。ここで物体1が存在しなければ、平面2上の点2a
(X,Y,Z)に投射されるべき輝点は、物体1上の点
1a(X1,Y1,Z1)に投射される。輝点が点2a
から点1aに移動したことにより、また撮像レンズ11
aとFG素子13とが距離dだけ離れているところか
ら、結像面15上では、点2a’(x,y)に結像すべ
きところが点1a’(x,y+δ)に結像する。即ち、
y軸方向に距離δだけ移動する。実際は、点1a’は、
y軸上の点でなければx軸方向にもδxだけ移動する
が、ここではその表示は省略してある。
点1aの位置が三次元的に特定できる。このように、あ
る輝点が、物体1が存在しなければ、結像面15上に結
像すべき点と、結像面15上の実際の結像位置との差を
測定することにより、物体1の三次元形状が計測でき
る。あるいは物体1の三次元座標が計測できるといって
もよい。輝点の対応関係が不明にならない程度に、パタ
ーン13aのピッチ、即ち輝点のピッチを細かくすれ
ば、物体1の三次元形状はそれだけ詳細に計測できるこ
とになる。
中心とは、平面2に平行に距離dだけ離して配置されて
おり、撮像レンズ11aから結像面15までの距離はl
(エル)(撮像レンズとしての凸レンズ11aの焦点と
ほぼ等しい)、撮像レンズ11aから平面2までの距離
はh、撮像対象物1の点1aの平面2からの高さはZ
(図1ではZ1と図示)である。撮像対象物1が平面2
上に置かれた結果、結像面15上の点2a’はδだけ離
れた点1a’に移動した。このような関係において、Z
は次の式1のようにδを含む式で表される。この式を用
いれば、トイレ内の人物などの姿勢を三次元的に知るこ
とができる。 Z=(h2・δ)/(d・l+h・δ) …式1
る。FG素子13は、直径が数十ミクロン、長さ10m
m程度の光ファイバを100本程度シート状に並べて、
それを2枚ファイバーが直交するように重ね合わせたも
のである。FG素子は、シートが平面2に平行に(Z軸
に直角に)配置される。このFG素子13に、レーザー
光源Lが発生したレーザー光L1を、Z軸方向に入射さ
せる。するとレーザー光L1は、個々の光ファイバーの
焦点で集光したのち、球面波となって広がって行き、干
渉して、測定領域ないしは撮像領域としての投影面であ
る平面2に、正方格子状に輝点マトリクスである輝点パ
ターン13aが投影される。言いかえれば、平面2また
はその上の物体1は、輝点パターン13aが投影される
ことによって、いわば輝点パターン状照明光で照明され
る。
折効果により、グレーティングからの距離に依らずに点
状光(輝点)のコントラストの良いシャープな照明パタ
ーンを得ることができ、パターンの撮像に好適である。
またこのようなFG素子を用いるときは、輝点の移動量
を測定して演算するだけで三次元形状が測定できるの
で、三次元形状の測定が比較的簡単な演算手段で実現で
きる。また、光量を集中できるので周囲が明るい状態で
も照明パターン(ここでは輝点)の撮像が簡単にでき好
適である。
(図中y軸方向)を向いているとは限らず、xy平面に
平行に、FG素子13の中心を通るZ軸方向に平行な軸
を回転軸とし、θだけ回転させてある。図中、直交する
光ファイバに平行な座標をx’y’座標とすれば、y’
軸はy軸に対し、x’軸はx軸に対し角度θだけ傾いて
いる。即ち、一つの格子方向と基線との成す角がθであ
る。
y’軸に平行な方向の間隔をa、x’軸に平行な方向の
間隔をbとする。また直交する光ファイバの直径は、両
者ほぼ等しいが、y’軸方向の光ファイバの直径をx’
軸方向の光ファイバの直径よりも太くすると、輝点パタ
ーンの輝点同士の間隔は、a<bの関係となる。なお、
図1の輝点パターンは、θ=0の場合を示している。
るようなFG素子を用いた場合の輝点画像である。この
ような輝点画像は図2を参照して説明したようにFG素
子の縦と横のファイバー径即ちファイバーピッチが違う
ような素子を用いることによって実現できる。レーザ及
びFG素子による輝点の位置の計算式は、次の式2に示
すような多重スリットによる干渉による干渉縞の式と同
様に考えられるので、スリット間隔p即ちファイバーピ
ッチを変更すれば、干渉縞の間隔を変えることができ
る。ここで、ymは周期的な鋭い極大を与えるy軸方向
位置、mは自然数、λは光の波長、hはFG素子から照
明面(撮像領域の平面)までの距離、pはスリット間隔
とする。 ym=m・λ・h/p …式2
隔がaの)格子方向と基線との成す角は、θ0、θ1、
θ2、・・・θnのように置くことができる。図3では
説明のためθ4まで表記し、θ5以上は図示を省略して
ある。このように基線の方向を設定することにより、あ
る輝点とその基線方向の隣接輝点の間隔を大きくするこ
とができ、物体1の高さ測定範囲を広げることができ
る。輝点の大きさを無視すると隣接輝点との距離は、下
式のように表される。 θ0の場合・・・・・ a θ1の場合・・・・・(a2+b2)1/2 θ2の場合・・・・・((2・a)2+b2)1/2 θ3の場合・・・・・((3・a)2+b2)1/2 θ4の場合・・・・・((4・a)2+b2)1/2
合は、傾けない場合に比較して隣接輝点間距離が大きく
なる。ここで、輝点が十分に小さい場合でも、実際には
θnのnは無限大ではなく、輝点のスポット径やゆらぎ
などにより制限される。ここでθを一般式で表すと次式
のようになる。θをこのような値にほぼ等しくすると、
隣接輝点との距離を大きくとることができる。 θ=arctan(b/(a・n)) …式3
横同時に輝点間隔を大きくして、高さ測定範囲を拡大す
る方法よりも、単位面積当りの輝点の個数の減少を少な
くすることができ、物体の高さ測定地点を疎にすること
が少なくなるので、より正確な物体の三次元測定が可能
になる。また、基線長dは変えないので低い高さの感度
を低下させることなく、高さ測定範囲を拡大することが
できる。
説明するように、輝点格子方向を基線に対して傾けて基
線方向の隣接輝点間隔を拡げる場合でも、物体により輝
点位置が移動するとき、隣接輝点以外の輝点にぶつかっ
てしまうのを避けることが可能になる。
明する。図中、輝点間隔にはa<bの関係があり、間隔
aの方向と基線との角度はθ=arctan(b/(3
・a))にとられている。このような基線と輝点格子の
配置の場合、図中左下隅の輝点0は物体の高さに伴い、
図中下から2行左から4列の位置の輝点1の方向に移動
するが、この途中で図中下から1行左から2列の輝点2
(または図中下から2行左から3列の輝点3)のすぐ脇
に位置する可能性が発生する。輝点格子間隔を図のよう
に、a、bと定義し、輝点の直径をc、nを自然数とす
ると、輝点0が輝点2に最も近い位置ある時の輝点同士
の隙間sは、次式で表される。 s=a・b/((a・n)2+b2)1/2−c …式4
ると、s及び輝点の大きさを差引いた輝点0−1間の距
離l01(エル)は、図5(a)の表1に示す通りとな
り、n=5以上とすると、輝点同士が重なって見分けが
難しくなることがわかる。これを避けるためには、式4
においてs>0とすればよい。即ち、次式を満たすよう
にすればよい。 θ>arcsin(c/a) …式5
に変更すると、(b)の表2に示すように、ノイズなど
の影響がなければ、n=7の角度まで浅くすることがで
きる。このときは、l01の値も大きくなっており、高
さ測定範囲が拡大していることがわかる。このように、
縦横で違う輝点間隔の輝点画像を用いることにより、基
線方向の隣接輝点を伸ばすことができ、高さ測定範囲を
拡大することが可能になる。
2、θ3・・・・と角度を浅くしていくと(但し0度で
はない)、基線方向の隣接輝点間隔が拡がり、高さ測定
範囲を拡大することができるが、実際には輝点の大きさ
などの影響でこの角度はあまり浅くできない。そこで、
図4で説明したような輝点の配置にすることによって、
角度を浅くすることができるのである。
横でファイバー径の違うFG(ファイバーグレーティン
グ)素子を用いて、格子間隔の違う輝点アレイを実現し
たが、他の手段として一般的な透過型一次元回折格子を
2枚、格子が直交するように重ねあわせることによって
も実現可能である。この場合回折格子のピッチの違うも
のを使用して輝点の格子間隔を縦横で違うようにする。
回折格子やFG素子を用いて作った輝点は、呆けが少な
く、また素子と物体との距離の影響を受けにくいので好
適である。またFG素子の場合、遮光される場所がなく
FG素子に入射した光のほとんどを輝点の生成に利用す
ることができるので、エネルギー効率的が高く、好適で
ある。
示したマイクロレンズアレイ模式構成図に示すように、
小さなレンズが縦横に隙間無く敷詰められたマイクロレ
ンズアレイ(MLA)を用いても実現できる。この場合
も、縦横でレンズピッチの違う素子を用いて輝点の格子
間隔を縦横で違うようにすることができる。このような
MLAは、材料として合成樹脂を用いて、金型によるプ
レス加工で簡単に製作することができるので好適であ
る。また図示のような、各レンズ間に隙間のないMLA
を使用すれば、入射してきた光束のほとんどを輝点の生
成に利用することができ、エネルギー効率が高く好適で
ある。
示したマイクロシリンドリカルレンズアレイ模式構成図
に示すように、FG素子と類似の構成で、小さなシリン
ドリカレンズが隙間無く並んだマイクロシリンドリカル
レンズアレイを2枚重ねてもよい。このとき2枚のアレ
イ間では、屈折力のある方向同士をほぼ直交するように
するとよい。すなわちそれぞれの回折方向がほぼ直交す
るように配置する。この場合も、重ねる2枚のアレイと
して、互いにレンズピッチの違うものを使用して、輝点
の格子間隔を縦横で違うようにする。
次元形状測定装置は、例えば老人介護施設のトイレなど
に用いと、トイレで何か異常が生じたような場合に、プ
ライバシーを損なうことなく、その異常を検知すること
ができる。
としてもよい。このように構成すると、撮像対象物が人
であるときなどに、対象となる人物に気づかれずに撮像
することができる。
CMOS構造の素子を使用してもよい。特にこれらの中
には、素子自体にフレーム間差算や二値化の機能を備え
たものがあり、これらの素子の使用は好適である。
第1の方向に一定の間隔a、第1の方向に直角な第2の
方向に間隔aよりも大なる一定の間隔bで格子状に配列
された複数の輝点を投影する投影手段と、投影手段から
見て所定の方向に設置された、撮像対象物1の置かれた
撮像領域に投影された複数の輝点を撮像する撮像手段を
備え、所定の方向と第1の方向とのなす角度は、nを自
然数とするとき、arctan(b/(a・n))にほ
ぼ等しく、且つ輝点の直径をcとするとき、前記角度は
arcsin(c/a)より大であるように構成されて
いるので、撮像対象物の測定範囲を拡大した三次元形状
測定装置を提供することが可能となる。
の概念的斜視図である。
概念的斜視図である。
る。
る。
間の距離の表を示す図である。
格子のうち、マイクロレンズアレイとマイクロシリンド
リカルレンズアレイを示す模式図である。
点まで移動する輝点のある画像を示す平面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 撮像対象物を置く撮像領域に、第1の方
向に一定の間隔a、前記第1の方向に直角な第2の方向
に前記間隔aよりも大なる一定の間隔bで格子状に配列
された複数の輝点を投影する投影手段と;前記投影手段
から見て所定の方向に設置された、前記撮像対象物の置
かれた撮像領域に投影された複数の輝点を撮像する撮像
手段と;前記撮像手段で撮像された輝点画像と、基準画
像とを比較して、前記撮像対象物の三次元形状を演算す
る形状演算手段とを備え;前記所定の方向と前記第1の
方向とのなす角度は、nを自然数とするとき、arct
an(b/(a・n))にほぼ等しく、且つ輝点の直径
をcとするとき、前記角度はarcsin(c/a)よ
り大であることを特徴とする;三次元形状測定装置。 - 【請求項2】 前記投影手段が、コヒーレント光を発生
する光源と;前記光源で発生されたコヒーレント光を通
過させる2枚の回折格子とを備え;前記2枚の回折格子
は、それぞれの回折方向がほぼ直交するように配置され
ている;請求項1に記載の三次元形状測定装置。 - 【請求項3】 前記回折格子は、ファイバーグレーティ
ングである、請求項2に記載の三次元形状測定装置。
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Cited By (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008075632A1 (ja) * | 2006-12-19 | 2008-06-26 | Panasonic Corporation | 複眼測距装置の検査方法および検査装置並びにそれに用いるチャート |
JP2009530604A (ja) * | 2006-03-14 | 2009-08-27 | プライム センス リミティド | 三次元検知のために深度変化させる光照射野 |
JP2012058729A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-03-22 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
US8150142B2 (en) | 2007-04-02 | 2012-04-03 | Prime Sense Ltd. | Depth mapping using projected patterns |
JP2012098548A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
JP2012194543A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-10-11 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
US8350847B2 (en) | 2007-01-21 | 2013-01-08 | Primesense Ltd | Depth mapping using multi-beam illumination |
JP2013033203A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-02-14 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
JP2013033204A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-02-14 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
US8390821B2 (en) | 2005-10-11 | 2013-03-05 | Primesense Ltd. | Three-dimensional sensing using speckle patterns |
US8400494B2 (en) | 2005-10-11 | 2013-03-19 | Primesense Ltd. | Method and system for object reconstruction |
WO2013046927A1 (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-04 | 三洋電機株式会社 | 情報取得装置および物体検出装置 |
WO2013046928A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 三洋電機株式会社 | 情報取得装置および物体検出装置 |
US8456517B2 (en) | 2008-07-09 | 2013-06-04 | Primesense Ltd. | Integrated processor for 3D mapping |
US8462207B2 (en) | 2009-02-12 | 2013-06-11 | Primesense Ltd. | Depth ranging with Moiré patterns |
US8494252B2 (en) | 2007-06-19 | 2013-07-23 | Primesense Ltd. | Depth mapping using optical elements having non-uniform focal characteristics |
US8493496B2 (en) | 2007-04-02 | 2013-07-23 | Primesense Ltd. | Depth mapping using projected patterns |
JP2014119428A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 距離測定装置、距離測定方法 |
US8786682B2 (en) | 2009-03-05 | 2014-07-22 | Primesense Ltd. | Reference image techniques for three-dimensional sensing |
US8830227B2 (en) | 2009-12-06 | 2014-09-09 | Primesense Ltd. | Depth-based gain control |
US8982182B2 (en) | 2010-03-01 | 2015-03-17 | Apple Inc. | Non-uniform spatial resource allocation for depth mapping |
US9030528B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-05-12 | Apple Inc. | Multi-zone imaging sensor and lens array |
US9066087B2 (en) | 2010-11-19 | 2015-06-23 | Apple Inc. | Depth mapping using time-coded illumination |
US9098931B2 (en) | 2010-08-11 | 2015-08-04 | Apple Inc. | Scanning projectors and image capture modules for 3D mapping |
US9131136B2 (en) | 2010-12-06 | 2015-09-08 | Apple Inc. | Lens arrays for pattern projection and imaging |
US9157790B2 (en) | 2012-02-15 | 2015-10-13 | Apple Inc. | Integrated optoelectronic modules with transmitter, receiver and beam-combining optics for aligning a beam axis with a collection axis |
WO2016017489A1 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-02-04 | アルプス電気株式会社 | 三次元測定装置 |
US9477018B2 (en) | 2010-08-06 | 2016-10-25 | Asahi Glass Company, Limited | Diffractive optical element and measurement device |
CN106154563A (zh) * | 2011-03-03 | 2016-11-23 | 旭硝子株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
US9582889B2 (en) | 2009-07-30 | 2017-02-28 | Apple Inc. | Depth mapping based on pattern matching and stereoscopic information |
CN109061887A (zh) * | 2011-03-03 | 2018-12-21 | Agc株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
WO2022176389A1 (ja) * | 2021-02-16 | 2022-08-25 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光学モジュールおよび距離測定装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3738291B2 (ja) | 2003-06-09 | 2006-01-25 | 住友大阪セメント株式会社 | 三次元形状測定装置 |
-
2000
- 2000-10-16 JP JP2000315211A patent/JP3689720B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8400494B2 (en) | 2005-10-11 | 2013-03-19 | Primesense Ltd. | Method and system for object reconstruction |
US8390821B2 (en) | 2005-10-11 | 2013-03-05 | Primesense Ltd. | Three-dimensional sensing using speckle patterns |
US8374397B2 (en) | 2005-10-11 | 2013-02-12 | Primesense Ltd | Depth-varying light fields for three dimensional sensing |
JP2009530604A (ja) * | 2006-03-14 | 2009-08-27 | プライム センス リミティド | 三次元検知のために深度変化させる光照射野 |
WO2008075632A1 (ja) * | 2006-12-19 | 2008-06-26 | Panasonic Corporation | 複眼測距装置の検査方法および検査装置並びにそれに用いるチャート |
US8350847B2 (en) | 2007-01-21 | 2013-01-08 | Primesense Ltd | Depth mapping using multi-beam illumination |
US8150142B2 (en) | 2007-04-02 | 2012-04-03 | Prime Sense Ltd. | Depth mapping using projected patterns |
US8493496B2 (en) | 2007-04-02 | 2013-07-23 | Primesense Ltd. | Depth mapping using projected patterns |
US8494252B2 (en) | 2007-06-19 | 2013-07-23 | Primesense Ltd. | Depth mapping using optical elements having non-uniform focal characteristics |
US8456517B2 (en) | 2008-07-09 | 2013-06-04 | Primesense Ltd. | Integrated processor for 3D mapping |
US8462207B2 (en) | 2009-02-12 | 2013-06-11 | Primesense Ltd. | Depth ranging with Moiré patterns |
US8786682B2 (en) | 2009-03-05 | 2014-07-22 | Primesense Ltd. | Reference image techniques for three-dimensional sensing |
US9582889B2 (en) | 2009-07-30 | 2017-02-28 | Apple Inc. | Depth mapping based on pattern matching and stereoscopic information |
US8830227B2 (en) | 2009-12-06 | 2014-09-09 | Primesense Ltd. | Depth-based gain control |
US8982182B2 (en) | 2010-03-01 | 2015-03-17 | Apple Inc. | Non-uniform spatial resource allocation for depth mapping |
US9477018B2 (en) | 2010-08-06 | 2016-10-25 | Asahi Glass Company, Limited | Diffractive optical element and measurement device |
JP2012058729A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-03-22 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
US9098931B2 (en) | 2010-08-11 | 2015-08-04 | Apple Inc. | Scanning projectors and image capture modules for 3D mapping |
JP2012098548A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
US8995057B2 (en) | 2010-11-02 | 2015-03-31 | Asahi Glass Company, Limited | Diffractive optical element and measurement instrument |
US9215449B2 (en) | 2010-11-19 | 2015-12-15 | Apple Inc. | Imaging and processing using dual clocks |
US9066087B2 (en) | 2010-11-19 | 2015-06-23 | Apple Inc. | Depth mapping using time-coded illumination |
US9131136B2 (en) | 2010-12-06 | 2015-09-08 | Apple Inc. | Lens arrays for pattern projection and imaging |
US9167138B2 (en) | 2010-12-06 | 2015-10-20 | Apple Inc. | Pattern projection and imaging using lens arrays |
JP2012194543A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-10-11 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
CN109061887B (zh) * | 2011-03-03 | 2021-07-16 | Agc株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
CN106154563B (zh) * | 2011-03-03 | 2019-02-15 | Agc株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
CN109061887A (zh) * | 2011-03-03 | 2018-12-21 | Agc株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
CN106154563A (zh) * | 2011-03-03 | 2016-11-23 | 旭硝子株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
US9030528B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-05-12 | Apple Inc. | Multi-zone imaging sensor and lens array |
JP2013033203A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-02-14 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
JP2013033204A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-02-14 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
WO2013046927A1 (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-04 | 三洋電機株式会社 | 情報取得装置および物体検出装置 |
WO2013046928A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 三洋電機株式会社 | 情報取得装置および物体検出装置 |
US9157790B2 (en) | 2012-02-15 | 2015-10-13 | Apple Inc. | Integrated optoelectronic modules with transmitter, receiver and beam-combining optics for aligning a beam axis with a collection axis |
US9651417B2 (en) | 2012-02-15 | 2017-05-16 | Apple Inc. | Scanning depth engine |
US9595107B2 (en) | 2012-12-19 | 2017-03-14 | Socionext Inc. | Distance measurement apparatus and distance measurement method |
JP2014119428A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 距離測定装置、距離測定方法 |
JP2016033463A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | アルプス電気株式会社 | 三次元測定装置 |
WO2016017489A1 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-02-04 | アルプス電気株式会社 | 三次元測定装置 |
WO2022176389A1 (ja) * | 2021-02-16 | 2022-08-25 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光学モジュールおよび距離測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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