KR20040001590A - 스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법 - Google Patents

스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법 Download PDF

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Abstract

스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법이 개시되어 있다.
이 개시된 3차원 형상 측정장치는, 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 피검체에 대해 소정 각도로 기울어지게 배치되고, 상기 광원에서 조사된 광이 통과되는 격자; 광이 격자를 통과하여 피검체에 형성된 이미지와 격자의 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 기존의 모아레 형상측정 방법과는 다르게 스캔 방식을 이용하므로 높은 공간적 분해능을 가질 수 있을 뿐만 아니라 피검체의 크기에 무관하게 3차원 형상을 측정할 수 있는 이점이 있다.

Description

스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법{Phase-shifting profilometry system using scanning and measuring method thereof}
본 발명은 스캔방식의 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법에 관한 것으로서, 적어도 하나 이상의 격자와 영상감지소자를 구비한 측정 장치를 이용하여 스캔을 통하여 위상천이된 간섭무늬의 이미지를 얻을 수 있는 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법에 관한 것이다.
공간적 간섭무늬를 이용한 3차원 형상측정장치란 검사하고자 하는 물체(이하 피검체라고 함)의 표면에 일정한 형태를 가지는 빛을 조사시켜 공간적인 간섭무늬를 형성하고, 이 간섭무늬를 측정 및 해석하여 물체표면의 높이에 대한 정보를 얻는 장치를 말한다. 이와 같은 측정 방법은 피검체의 3차원 형상을 간단하고 빠르게 얻을 수 있으므로 의학, 산업 분야에서 널리 이용되고 있다. 여기서는 특히, 공간적 간섭무늬인 모아레 간섭 무늬를 이용하는데, 모아레 무늬는 주기성을 가지는 공간적인 무늬들이 겹쳐졌을 때 나타나는 무늬로서 도 1은 모아레 간섭 무늬의 발생을 보여준다. 이러한 모아레 간섭무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에는 다음과 같은 종류들이 있다.
도 2는 종래의 격자를 이용한 그림자식 위상천이 모아레 3차원 형상측정 장치를 나타낸 것이다. 이 측정 장치에서는, 광원(100)에서 나온 광이 격자(103)를 통과하여 피검체(p) 표면에 격자형태의 그림자나 탈보(talbot)효과에 의해 격자형태의 이미지가 생기게 된다. 여기서 사용되는 격자(103)는 투과하는 빛의 세기를 변화시키는 기능을 하며, 이러한 기능은 상기 격자(103) 대신 LCD 평판을 이용하여 구현할 수도 있다. 상기 격자(105)의 그림자 이미지와 격자 자체의 무늬가 합성되어 모아레 무늬가 생기며, 이렇게 생성된 모아레 무늬를 그림자식 모아레라고 한다.(Vol.32, No. 7 Optical Engineering, 1668-1674, 1993) 이 모아레 무늬를 2차원 영상감지소자 배열을 이용하여 측정하는데, 이때 모아레 무늬의 위상을 계산하기 위해서는 위상천이된 다수개의 모아레 무늬가 필요하다.("Phase Shifting Intererometery, in Optical Shop Testing, D. Malacare, 2nd Ed. John Wiley & Sons Inc, New Yo가, 1992)
위상천이된 모아레 무늬를 얻기 위해 상기 격자(103)를 구동수단(D)에 의해 피검체(p)쪽을 향해 또는 그 반대방향으로 이동시킨다. 그러면, 상기 격자(103)의 이동에 따라 간섭무늬의 위상이 변하므로 3개 이상의 위상천이된 모아레 무늬를 얻을 수 있다. 이와 같이 상기 격자(103)를 이동시켜 생긴 위상천이된 모아레 무늬는 이미징렌즈(109)에 의해 영상감지소자(110)에 맺힌다. 상기 영상감지소자(110)에 의해 위상천이된 모아레 무늬의 이미지 측정과 상기 격자(103)의 이동을 순차적으로 반복한다. 여기서 얻은 다수개의 위상천이된 모아레 무늬를 이용하여 이미 공지된 해석방법을 통해 물체의 3차원 형상정보를 얻을 수 있다.
또 다른 3차원 형상측정 장치로는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 격자(112)(115)를 이용한 투영식 모아레 측정장치가 있다. 투영식 모아레 측정장치는, 광원(111)에서 조사된 광이 제1격자(112)를 통과하면서 형성된 이미지를 제1 이미징렌즈(113)에 의해 피검체(p)에 결상시키고 이 피검체(p)의 이미지를 제2 이미징렌즈(114)에 의해 제2 격자(115)에 결상시킨다. 그리고, 상기 제2 격자(115)에 결상된 이미지와 제2 격자(115)의 이미지를 제3 이미징렌즈(116)에 의해 영상감지소자(117)에 결상시켜 모아레 무늬를 얻게 된다.(Vol.37, Optical Engineering, 1005-1010, 1998)
상술한 투영식 모아레 측정장치에서는, 상기 제1 및 제2 격자(112)(115)의상대적인 변위의 변화를 이용하여 모아레 무늬의 위상천이를 얻을 수 있다. 상기 그림자식 모아레 측정장치에서는 격자를 피검체(p)에 대해 전후방향으로 이동시켜 위상천이를 하는데 반해, 투영식 모아레 측정장치에서는 상기 제1 및 제2 격자(112)(115)를 구동수단(D)에 의해 상하 방향으로 수평 이동시키면서 위상천이된 모아레 무늬를 얻는다. 그리고, 여기서 얻은 위상천이된 신호를 공지의 해석방법을 통해 해석함으로써 피검체의 3차원 형상정보를 얻을 수 있다.
종래의 또 다른 3차원 형상 측정장치는 구조화된 형태의 패턴을 피검체에 투영시켜 형상을 측정하는 구조화된 패턴 투영방식의 장치이다. 도 4를 참조하면, 광원(120)으로부터 조사된 광이 격자(121)를 통과하면서 형성된 이미지를 제1 이미징렌즈(122)에 의해 피검체(p)에 결상시키고, 상기 격자(121)가 투영된 피검체(p)의 이미지를 다시 제2 이미징렌즈(124)에 의해 영상감지소자(127)에 결상시킴으로써 격자가 투영된 피검체(p)의 영상을 얻는다. 여기서, 3차원 형상추출을 위해 격자패턴을 수평이동시킴으로써 변위된 투영격자 영상을 얻는다. (Vol.32, Optical Engineering, 610-615, 1997)
상기와 같이 도 2, 도 3 및 도 4에서 설명된 종래의 모아레 3차원 형상 측정장치는 하나 또는 두 개의 격자를 이동시켜 위상천이된 무늬를 얻거나 격자패턴의 이동을 통해 변위된 투영 격자 무늬를 얻게된다. 그런데, 이러한 장치들은 사용되는 2차원 영상감지소자의 픽셀 개수에 따라 측정가능한 물체의 크기와 측정 분해능이 제한된다. 이에, 측정가능한 물체의 크기와 길이의 제한으로 인해 측정 대상이 극히 제한적일 수밖에 없다. 또한, 측정 수행중에는 피검체가 정지 상태에 있어야되는 제약이 따른다. 따라서, 움직이는 물체의 3차원 형상을 측정하는데는 부적합할 뿐만 아니라, 곡률이 있는 물체의 형상을 측정하는 것이 불가능한 구조이므로 그 적용 분야가 매우 한정적일 수밖에 없다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 공간적 분해능을 높이면서 피검체의 크기에 제약을 받지 않을 뿐만 아니라 이동중인 물체의 형상을 측정할 수 있는 스캔식 위상천이 3차원 형상 측정장치 및 측정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 격자를 이동시키지 않고 위상천이된 모아레 무늬나 변위된 투영 격자패턴을 스캔을 통해 측정할 수 있는 장치 및 측정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 모아레 무늬가 형성되는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 종래의 격자를 이용한 그림자식 위상천이 모아레 형상 측정 장치를 나타낸 것이다.
도 3은 종래의 투영식 위상천이 모아레 형상측정 장치를 나타낸 것이다.
도 4는 종래의 구조화된 패턴 투영식 형상측정 장치를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치의 개략적인 구성도이다.
도 6a는 본 발명의 제1실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치에서 위상천이가 일어나는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 6b는 본 발명에 따라 4장의 위상천이된 모아레 간섭무늬를 나타낸 사진이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 제1실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치의 여러 가지 변형예를 도시한 것이다.
도 8a는 본 발명의 제2실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치의 개략적인 구성도이다.
도 8b는 본 발명의 제2실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치에서 위상천이가 일어나는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치의 다른 변형예를 나타낸 것이다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 제3실시예에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치의 개략적인 구성도이다.
도 11은 곡률이 있는 물체의 둘레 표면 형상을 측정하기 위해 본 발명에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치를 적용한 예를 보인 도면이다.
도 12는 본 발명에 따른 스캔식 위상천이 형상측정 장치의 응용예를 보인 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1,11,21...광원 3,12,16,16',22,22'...격자
4,5,14,15,17,23,25...이미징렌즈 6,18,26...영상감지소자
p...피검체 8,8',13,24,36...베이스
7,19,28...3차원 형상측정 장치
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스캔식 위상천이 3차원 형상 측정 장치는, 위상천이된 모아레 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 피검체에 대해 소정 각도로 기울어지게 배치되고, 상기 광원에서 조사된 광이 통과되는 격자; 광이 격자를 통과하여 피검체에 형성된 이미지와 격자의 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 모아레 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스캔식 위상천이 3차원 형상 측정 장치는, 위상천이된 모아레 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 상기 광원으로 조사된 광이 통과되어 피검체에 이미지를 투영하도록 된 제1 격자; 상기 제1격자의 패턴과 서로 어긋나게 패턴이 배열된 제2 격자; 상기 제1격자와 제2격자를 통과하여 투영된 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 모아레 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 영상감지소자는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 이미징렌즈가 상기 단위 영상감지소자에 대응되는 개수로 구비되어 각각의 대응되는 영상감지소자에 대향되도록 배치된 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스캔식 위상천이 3차원 형상 측정 장치는, 위상천이된 투영 격자패턴 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 상기 광원으로 조사된 광이 통과되어 피검체에 이미지를 투영하도록 된 격자; 상기 격자와 피검체 사이에 배치된 제1이미징렌즈; 상기 격자에 의해 투영된 격자패턴 무늬를 측정하는 영상감지소자; 상기 피검체와 상기 영상감지소자 사이에 배치된 제2이미징렌즈;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 투영 격자패턴 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 방법은, 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 방법에 있어서, 광원과, 피검체에 이미지를 형성하는 적어도 하나 이상의 격자 및 상기 적어도 하나 이상의 격자를 경유하여 형성된 간섭 무늬를 측정하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 적어도 하나 이상의 영상감지소자를 포함한 3차원 형상측정 장치 전체를 이동시키거나, 상기 피검체를 이동시켜 스캐닝하는 단계; 상기 3차원 형상측정 장치를 이동시키거나 피검체를 이동시킴으로써 위상천이된 간섭 무늬를 상기 영상감지소자에 의해 측정하는 단계; 상기 영상감지소자에 의해 측정된 간섭무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상에 대한 정보를 연산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스캔식 위상천이 3차원 형상 측정장치 및 측정 방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 제1실시예에 따른 3차원 형상 측정장치(7)는, 도 5를 참조하면 광원(1)과, 상기 광원(1)으로부터 조사된 광이 통과하면서 피검체(p)에 그림자 무늬가 형성되는 격자(3)와, 격자 무늬가 조사된 피검체(p)의 이미지와 격자 자체의 이미지가 중첩되어 형성된 그림자식 모아레 무늬를 수광하여 간섭무늬 영상을 측정하는 영상감지소자(6)를 포함하여 구성된다. 또한, 상기 격자(3)와 영상감지소자(6) 사이에는 그림자식 모아레 무늬를 상기 영상감지소자(6)에 결상하기 위한 이미징렌즈(5)가 구비된다.
본 발명에서는 상기 격자(3)가 피검체(p)에 대해 소정각도(θ)로 기울어져 마주보게 배치되는 것을 특징으로 한다. 상기 소정각도(θ)는 조명의 위치와 영상감지소자들 사이의 간격과 개수 및 위상천이 간격 등에 따라 적절하게 결정된다. 여기서 사용되는 격자는 투과형 격자로서 투과하는 광의 세기를 변화시키는 역할을 한다. 격자를 투과한 광에 의해 피검체 표면에 격자형태의 그림자가 생기거나 탈보(talbot)효과에 의해 격자형태의 이미지가 생기게 된다.
상기와 같이 구성된 3차원 형상 측정장치에서 위상천이된 모아레 무늬를 얻기 위해 상기 3차원 형상 측정 장치(7)를 전체적으로 상기 피검체(p)의 수평방향으로 이동시킴으로써 상기 피검체(p)를 스캐닝한다. 또는, 상기 피검체(p)를 상기 3차원 형상 측정 장치(7)에 대해 수평 방향으로 이동시킴으로써 동일한 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 상기 피검체(p)가 장작된 베이스(8)는 상기 피검체(p)를 이동시킬 수 있는 수송부의 기능도 함께 수행할 수 있도록 되어 있다. 이와 같이 상기 3차원 형상 측정장치(7) 또는 상기 피검체(p)에 이동에 따라 위상천이된 모아레 무늬를 얻을 수 있는 원리가 도 6a에 도시되어 있다.
상기 격자(3)가 피검체(p)에 대해 소정각도(θ)로 기울어져 있기 때문에 상기 3차원 측정장치(7) 또는 피검체(p)의 이동에 따라 상기 격자(3)의 피검체(p)에 대한 상대적인 위치가 변하게 된다. 예를 들어, 피검체(p)를 a1,a2,a3,a4,a5등의 몇 개의 지점으로 나누고 그 중의 한 지점 a3를 고려할 때, t=t1, t=t2, t=t3에서 각각 a3지점에 대한 격자(3)의 상대적인 위치가 변함을 알 수 있다. 이것은 t=t1,t=t2, t=t3일 때 각각의 격자의 위상이 변함을 의미하며, 본 발명에서는 이와 같이 스캔 방식으로 위상천이된 모아레 무늬를 얻는데 특징이 있다. 상기 피검체(p)를 스캐닝하면서 연속적으로 3차원 형상을 측정할 수 있으므로 피검체(p)의 길이에 제한을 받지 않는 이점이 있다.
상술한 바와 같이 스캔 방식을 채용하여 얻은 위상천이된 모아레 무늬를 도 6b에 도시하였다. 이들 위상천이된 모아레 무늬를 해석하여 3차원 형상에 대한 정보를 얻을 수 있다.
한편, 상기 영상감지소자(6)를 이용하여 위상천이된 모아레 이미지를 측정하는데, 상기 영상감지소자(6)는 위상천이된 이미지를 각각 측정할 수 있도록 어레이 구조로 형성될 수 있다. 즉, 다수개의 단위 영상감지소자가 상기 격자(3)에 대응되게 배열되어 각각의 마주보는 영역에 대해 위상천이된 이미지를 측정하도록 되어 있다. 여기서는, 제1, 제2 및 제3의 세개의 단위 영상감지소자(6a)(6b)(6c)가 어레이 구조로 배열된 예를 도시하였다.
이밖에, 도 7a에 도시된 바와 같이 제1 내지 제4 단위 영상감지소자(6a)(6b)(6c)(6d)가 어레이 구조로 배열될 수도 있다. 여기서, 도 5에 도시된 참조번호와 동일한 번호를 사용하는 부재는 그 구성 및 기능이 동일한 것으로 상세한 설명은 생략한다. 상기 광원(1)으로부터 조사된 광이 소정각도로 기울어진 격자(3)를 통과하여 피검체(p)에 격자 그림자를 형성하고, 이 그림자 이미지와 상기 격자(3) 자체의 이미지가 합성되어 상기 영상감지소자(6)에 맺힌다. 그리고, 상기 격자(3)와 영상감지소자(6) 사이에는 모아레이미지를 상기 영상감지소자(6)에결상시키기 위한 이미징렌즈군(4)이 배치될 수 있다. 이 이미징렌즈군(4)은 상기 영상감지소자(6)의 어레이 구조에 대응되게 제1 내지 제4 이미징렌즈(4a)(4b)(4c)(4d)로 구성되어 배열될 수 있다. 이와 같이 소형의 이미징렌즈를 다수개 구비함으로써, 이미징렌즈의 제작을 용이하게 할 수 있고 렌즈 성능을 보다 우수하게 제작할 수 있다.
한편, 상기 격자(3)를 도 5에 도시된 바와 같이 소정각도(θ)로 기울어지게 배치하는 대신, 도 7b에 도시된 바와 같이 제1, 제2 및 제3 단위격자(3a)(3b)(3c)를 피검체(p)에 대해 계단형으로 배치할 수 있다. 상기 제1, 제2 및 제3 단위격자(3a)(3b)(3c)를 소정 간격(d)씩 격차를 두어 계단형으로 배치하고, 3차원 형상 측정장치(7) 전체를 이동시키거나 상기 피검체(p)를 이동시키면 상기 제1 내지 제3 단위격자(3a)(3b)(3c)의 상대적인 변위에 따라 위상천이가 이루어진다. 이로써, 격자를 소정각도(θ)로 기울어지게 배치하여 이동시키는 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다.
더 나아가, 상기 계단형으로 배치된 격자(3)에 대해 도 7a에 도시된 다수개의 단위 이미징렌즈로 구성된 이미징렌즈군(4)을 대응시켜 배열하는 것이 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명에서는 위상천이된 모아레 무늬를 얻기 위해 격자를 구동시키지 않고 스캔 방식을 이용하므로 피검체(p)의 길이에 대한 제약이 없고, 공간적인 분해능도 스캔 분해능에 의해 조절 가능하므로 높은 공간적 분해능을 얻을 수 있다. 또한, 본 발명은 기존의 이미지 스캐너의 제한적인 기능을 향상시킨3차원 형상 스캐너의 구현 방법에 관한 기술을 제공한다.
다음, 본 발명의 제 2실시예에 따른 3차원 형상 측정장치에 대해 도 8a를 참조하여 설명한다.
제 2실시예에 따른 3차원 형상 측정장치는 투영식 모아레 측정장치에 응용된 것으로, 광원(11)과, 제1 및 제2 격자(12)(16)와, 상기 제1 및 제2 격자(12)(16)를 통해 형성된 모아레 이미지를 측정하는 영상감지소자(18)를 구비한다.
상기 광원(11)에서 조사된 광이 상기 제1격자(12)를 통과해 제1 이미징렌즈(14)에 의해 피검체(p)에 투영된다. 상기 피검체(p)에 투영된 제1격자패턴이 제2 이미징렌즈(15)에 의해 제2격자(16)에 투영되며, 이 이미지는 제3 이미징렌즈(17)에 의해 상기 영상감지소자(18)에 결상된다.
상기와 같이 구성된 측정장치(19)는 상기 피검체(p)에 대해 수평방향으로 이동가능하게 설치된다. 이 측정장치(19)가 상기 피검체(p)의 상부쪽에서 스캐닝하면서 이동될 때, 상기 제1 및 제2 격자(12)(16)가 피검체(p)에 대해 상대적인 변위를 일으키므로 위상천이가 이루어진다.
한편, 상기 측정장치(19) 전체를 이동시키는 대신 상기 피검체(p)를 이동시킴으로써 동일한 효과를 얻을 수 있다. 여기서, 상기 피검체(p)를 올려놓는 베이스(13)가 준비되고, 이 베이스(13)가 상기 측정장치(19)를 이동시키는 방향과 반대방향으로 이동됨으로써 모아레 간섭 무늬의 위상천이를 구현할 수 있다.
여기서, 위상천이된 모아레 무늬를 얻을 수 있는 원리를 살펴보면 도 8b에 도시된 바와 같이 광이 제1격자(12)를 통과한 후 상기 제1이미징렌즈(14)에 의해피검체(p)에 투영되면서 형성된 이미지와 상기 제2격자(16)의 이미지가 간섭을 일으켜 모아레 무늬를 형성한다. 여기서, 상기 제1격자(12)와 제2격자(16)의 격자 패턴을 광축을 기준으로 서로 어긋나게 배치하여 간섭무늬를 얻는다. 이때, 상기 측정장치(19)를 이동시키거나 상기 피검체(p)를 이동시키면서 스캐닝함으로써 상기 피검체(p)의 일부영역을 기준으로 볼 때 t1,t2,t3시점마다 각각 다른 위상으로 천이된 간섭무늬가 형성된다.
상기 측정장치(19)의 이동 또는 피검체(p)의 이동에 따라 위상천이된 모아레 무늬가 상기 제3 이미징렌즈(17)에 의해 상기 영상감지소자(18)에 결상되어 3차원 형상에 대한 정보를 얻을 수 있다. 상기 영상감지소자(18)는 복수개의 단위 영상감지소자들이 어레이 구조로 배열되어 구성될 수 있다. 여기서는, 상기 영상감지소자(18)가 제1, 제2 및 제3 단위 영상감지소자(18a)(18b)(18c)의 어레이로 이루어진 경우를 예시하였지만, 이밖에도 더 많은 단위 영상감지소자들의 어레이로 구성될 수도 있다.
도 9는 도 8a와 비교하여 동일한 구성요소로 이루어져 있고, 다만 제2격자(16')가 제1, 제2 및 제3 단위격자(16'a)(16'b)(16'c)로 분리되어 배열된 구조로 된 점에서 구별된다. 상기 제1, 제2 및 제3 단위격자(16'a)(16'b)(16'c)마다 스캐닝을 통해 각각의 대응되는 영역에 대해 위상천이된 영상이 측정된다. 상기 제2격자(16')를 복수개의 단위격자들로 구성하는 대신, 상기 제1격자(12)를 복수개의 단위격자들로 구성할 수도 있다. 이와 같이 격자가 다수개의 단위격자로 분리되어 배열되는 경우에는 부피가 큰 피검체의 형상을 측정할 때 하나의 격자를 사용하면 실제 사용되는 면적에 비해 격자의 크기가 너무 커지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 부피가 큰 피검체에 대응되는 크기를 갖는 격자를 제작하는 것이 어려우므로 보다 경제적으로 격자를 제작할 수 있는 이점이 있다.
다음, 본 발명의 제3 실시예에 따른 스캔식 위상천이 3차원 형상 측정장치는 도 10a에 도시된 바와 같이, 광원(21)과, 이 광원(21)에서 조사된 광이 통과되어 이미지가 형성되는 구조화된 패턴의 격자(22)와, 상기 구조화된 패턴의 격자(22)에 의해 형성된 이미지를 피검체(p)에 투영시키는 제1 이미징렌즈(23)와, 위상천이된 모아레 간섭 무늬를 측정하기 위한 영상감지소자(26)와, 상기 피검체(p)에 투영된 이미지를 상기 영상감지소자(26)에 결상시키기 위한 제2이미징렌즈(25)를 포함한다.
상기 구조화된 패턴의 격자(22)에 의해 형성된 이미지가 상기 피검체(p)에 투영되면서 물체의 3차원 형태에 의해 격자의 변형이 발생한다. 상기 구조화된 패턴의 격자(22)는 격자 자체에 피검체 형태에 의한 변형이 발생하도록 패턴이 형성되어 있으며, 이 구조화된 격자(22)는 그 패턴이 광축을 기준으로 소정각도 회전되어 설치된다.
상기와 같이 구성된 3차원 형상 측정장치(28)는 상기 피검체(p)에 대향되어 이동가능하게 되어 있다. 상기 3차원 형상 측정장치(28)가 이동됨에 따라 상기 피검체(p)에 대해 스캐닝이 이루어지고, 상기 구조화된 격자(22)의 피검체(p)에 대한 상대적인 변위로 인해 위상천이가 일어난다. 이와 같이 위상천이된 이미지는 상기 영상감지소자(26)에 결상되어 피검체(p)의 3차원 형상이 측정된다. 상기 영상감지소자(26)는 복수개의 단위 영상감지소자(26)들이 어레이 구조로 배열되어 구성될 수 있다. 여기서는, 제1, 제2 및 제3 단위 영상감지소자(26)들이 어레이 구조로 배열된 경우를 예시하였지만, 필요에 따라 더 많은 개수의 단위 영상감지소자로 구성할 수도 있음은 물론이다.
또한, 제1실시예에서 설명한 바와 같이 상기 제2이미징렌즈(25)를 일체형으로 형성하는 대신, 상기 제1 내지 제3 단위 영상감지소자(26a)(26b)(26c)에 대응되는 개수의 단위 렌즈로 구성하여 배열할 수도 있다.
한편, 상기 구조화된 패턴의 격자(22)에 의한 이미지를 위상천이시키기 위해 상기 3차원 형상 측정장치(28) 전체를 이동시키는 대신, 상기 피검체(p)를 반대 방향으로 이동시킴으로써 동일한 위상천이 효과를 얻을 수 있음은 전술한 바와 같다. 여기서, 미설명 부호 24는 상기 피검체(p)가 올려지는 베이스로서, 이 베이스(24)가 이동가능하게 구성될 수 있다.
이밖에, 상기 구조화된 패턴의 격자(22)를 일체형으로 형성하지 않고, 도 10b에 도시된 바와 같이 복수개의 단위 격자로 형성하여 적절하게 배열하는 것이 가능하다. 여기서, 구조화된 패턴의 격자(22')는 제1 내지 제3 단위 격자(22'a)(22'b)(22'c)를 포함하여 구성된 경우를 예시하였다. 상기 제1 내지 제3 단위 격자(22'a)(22'b)(22'c)에 의해 상기 피검체(p)에 투영된 이미지는 각각 상기 제1 내지 제3 단위 영상감지소자(26a)(26b)(26c)별로 측정된다. 상기 영상감지소자(26)에 의해 측정된 스캔 영상들은 공지의 해석방법을 통해 해석되어 3차원 형상 정보를 얻을 수 있다.
이상 설명한 제1 내지 제3 실시예에 따른 3차원 형상 측정장치는 스캐닝 방식에 의해 위상천이된 간섭무늬 또는 변형된 격자무늬를 형성하므로 피검체의 길이에 관계없이 3차원 형상을 얻을 수 있으며, 높은 공간적 분해능을 가질 수 있고, 이동중인 물체의 형상을 측정할 수 있으므로 특히, 생산공정에서 유용하게 적용할 수 있다.
뿐만 아니라, 곡률이 있는 피검체의 3차원 형상을 측정하는 데에도 유용하게 적용할 수 있다. 도 11을 참조하면, 예를 들어 원통형 피검체(p)의 3차원 형상을 측정하고자 할 때, 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치를 상기 피검체(p) 주변으로 이동시켜 스캐닝함으로써 쉽게 곡률있는 피검체의 3차원 형상을 측정할 수 있다. 도 11에서는 상기 제1 실시예에 따른 그림자식 모아레 형상 측정장치(7)를 곡률있는 피검체(p) 주변을 따라 이동시키면서 스캐닝하는 것을 보여주고 있다. 또는, 상기 측정장치(7)를 이동시키는 대신, 상기 피검체(p) 자체를 회전시킴으로써 용이하게 위상천이된 모아레 간섭무늬의 측정을 할 수 있다. 도면부호 8'는 상기 피검체(p)를 회전시킬 수 있는 베이스를 나타낸다.
한편, 상기 제1 실시예에 따른 그림자식 3차원 형상 측정장치 외에 제2실시예에 따른 투영식 3차원 형상 측정장치(19) 또는 제3실시예에 따른 구조화된 패턴의 격자 투영식 3차원 형상 측정장치(28)를 상기 곡률있는 피검체(p) 주변을 따라 이동시키면서 스캐닝함으로써 3차원 형상을 측정할 수 있음은 물론이다. 이와 같이 하여 3차원 형상을 측정할 수 있는 피검체의 범위를 한 층 더 넓힐 수 있으며, 이에 따라 그 응용범위가 매우 다양화될 수 있다.
더욱이, 도 12와 같이 상술한 제1 내지 제3 실시예에 따른 3차원 형상 측정장치를 구성하는 세트를 여러 세트로 배열하여 좀더 빠른 속도로 피검체의 3차원 형상을 측정하는 것이 가능하다. 제1, 제2 및 제3 광원(31)(31')(31")과, 제1, 제2, 제3 이미징렌즈(33)(33')(33")와, 제1, 제2 및 제3 영상감지소자(34)(34')(34")를 각각 구비하고, 각각에 대응되는 제1, 제2 및 제3 격자(32)(32')(32")를 소정 간격(d)으로 분리하여 계단형으로 배치한다. 이는 제1실시예에 따른 그림자식 모아레 형상측정 장치를 응용한 예를 도시한 것으로, 이밖에 제2 및 제3 실시예에 따른 형상측정 장치에 대해서도 이와 같이 구성할 수 있다. 상기와 같이 구성된 형상측정 장치(35) 전체를 피검체(p)에 대해 이동시키거나, 피검체(p)가 올려져 있는 베이스(36)를 이동시켜 스캐닝함으로써 피검체의 3차원 형상을 측정을 수행한다.
본 발명은 상술한 여러 가지 실시예를 이용한 스캔방식으로 위상천이된 2장 이상의 모아레 무늬나 2장 이상의 변위된 투영격자 패턴의 이미지로부터 이미지 처리 과정과 연산 처리 과정을 통하여 피검체에 대한 형상정보를 수치적으로 얻을 수 있다.
다음은 본 발명에 따른 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 방법에 대해 설명한다.
본 발명에 따른 3차원 형상 측정 방법은 형상 측정장치를 피검체에 대해 이동시키거나 피검체를 형상 측정장치에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭무늬를 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다.
상술한 제1 내지 제3 실시예에 따른 3차원 형상측정 장치를 이용하여 측정장치 전체를 피검체에 대해 이동시키면서 위상천이된 간섭 무늬를 상기 영상감지소자(6)(18)(26)에 의해 측정한다. 이와 같이 하여 측정된 간섭무늬를 이용하여 공지의 해석방법을 통해 피검체의 3차원 형상에 대한 정보를 얻는다.
본 발명의 3차원 형상 측정방법에 따르면, 스캔방식을 이용하여 위상천이된 간섭무늬를 얻게 되어 있으므로 피검체의 길이에 제약을 받지 않는 이점이 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 스캔식 위상천이 모아레 3차원 형상 측정장치를 이용함으로써, 피검체의 3차원 형상을 정밀하게 측정할 수 있으며, 기존의 모아레 형상측정 방법과는 다르게 스캔 방식을 이용하므로 높은 공간적 분해능을 가질 수 있을 뿐만 아니라 피검체의 크기에 무관하게 측정할 수 있는 이점이 있다. 또한, 이동중인 물체를 측정할 수 있으므로 생산라인에서 효과적으로 적용이 가능하며, 곡률이 있는 피검체의 3차원 형상도 자유롭게 측정할 수 있으므로 의학분야 등 그 적용 분야를 매우 넓게 확대시킬 수 있다.

Claims (12)

  1. 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서,
    광원;
    피검체에 대해 소정 각도로 기울어지게 배치되고, 상기 광원에서 조사된 광이 통과되는 격자;
    광이 격자를 통과하여 피검체에 형성된 이미지와 격자의 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고,
    상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 격자와 영상감지소자 사이의 광경로상에 이미징렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서,
    광원;
    상기 광원으로 조사된 광이 통과되어 피검체에 이미지를 투영하도록 된 제1 격자;
    상기 제1격자의 패턴과 서로 어긋나게 패턴이 배열된 제2 격자;
    상기 제1격자와 제2격자를 통과하여 투영된 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고,
    상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1격자와 상기 피검체 사이 및 상기 피검체와 제2격자 사이에 각각 이미징렌즈가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 영상감지소자는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 이미징렌즈가 상기 단위 영상감지소자에 대응되는 개수로 구비되어 각각의 대응되는 영상감지소자에 대향되도록 배치된 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 격자가 다수개의 단위 격자로 분리되어 계단형으로 배치된 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 제1격자 또는 제2격자가 다수개의 단위 격자로 분리되어 배치된 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 위상천이된 투영 격자패턴 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서,
    광원;
    상기 광원으로 조사된 광이 통과되어 피검체에 이미지를 투영하도록 된 격자;
    상기 격자와 피검체 사이에 배치된 제1이미징렌즈;
    상기 격자에 의해 투영된 격자패턴 무늬를 측정하는 영상감지소자;
    상기 피검체와 상기 영상감지소자 사이에 배치된 제2이미징렌즈;를 포함하고,
    상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 투영 격자패턴 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 영상감지소자는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,
    상기 격자가 다수개의 단위 격자로 분리되어 배치된 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 방법에 있어서,
    광원과, 피검체에 이미지를 형성하는 적어도 하나 이상의 격자 및 상기 적어도 하나 이상의 격자를 경유하여 형성된 간섭 무늬를 측정하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 적어도 하나 이상의 영상감지소자를 포함한 3차원 형상측정 장치 전체를 이동시키거나, 상기 피검체를 이동시켜 스캐닝하는 단계;
    상기 3차원 형상측정 장치를 이동시키거나 피검체를 이동시킴으로써 위상천이된 간섭 무늬를 상기 영상감지소자에 의해 측정하는 단계;
    상기 영상감지소자에 의해 측정된 간섭무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상에 대한 정보를 연산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100856466B1 (ko) * 2008-03-07 2008-09-04 에이티아이 주식회사 스케닝 모아레 측정장치 및 측정방법
KR100893883B1 (ko) * 2007-03-30 2009-04-20 주식회사 고영테크놀러지 모아레와 동적 스테레오 비젼을 이용한 3차원 측정장치 및방법
KR100966307B1 (ko) * 2008-02-19 2010-06-28 넥스타테크놀로지 주식회사 모아레 무늬 촬영장치
US10831012B2 (en) 2018-06-29 2020-11-10 Illumina, Inc. Predicting structured illumination parameters
US10901202B2 (en) 2018-09-19 2021-01-26 Illumina, Inc. Structured illumination of a sample
US10928322B2 (en) 2018-01-24 2021-02-23 Illumina, Inc. Structured illumination microscopy with line scanning
US10996453B2 (en) 2018-01-16 2021-05-04 Illumina, Inc. Pattern angle spatial selection structured illumination imaging
US11150455B2 (en) 2018-01-24 2021-10-19 Illumina, Inc. Reduced dimensionality structured illumination microscopy with patterned arrays of nanowells
US11226475B2 (en) 2018-01-16 2022-01-18 Illumina, Inc. Dual optical grating slide structured illumination imaging
US11585757B2 (en) 2018-06-14 2023-02-21 Illumina, Inc. Device for luminescent imaging
US11675175B2 (en) 2018-01-16 2023-06-13 Illumina, Inc. Multi-arm structured illumination imaging
US11953464B2 (en) 2018-01-08 2024-04-09 Illumina, Inc. Semiconductor-based biosensors for base calling

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2431551C2 (de) * 1974-07-01 1981-09-17 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Messung von Bewegungen und Geschwindigkeiten
NL8601876A (nl) * 1986-07-18 1988-02-16 Philips Nv Inrichting voor het aftasten van een optische registratiedrager.
US5064290A (en) * 1987-12-12 1991-11-12 Renishaw Plc Opto-electronic scale-reading apparatus wherein phase-separated secondary orders of diffraction are generated
KR970001846A (ko) * 1995-06-22 1997-01-24 배순훈 블라인더 제어 장치 및 그 방법
KR100389017B1 (ko) * 2000-11-22 2003-06-25 (주) 인텍플러스 모아레무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 모아레방법및 장치

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100893883B1 (ko) * 2007-03-30 2009-04-20 주식회사 고영테크놀러지 모아레와 동적 스테레오 비젼을 이용한 3차원 측정장치 및방법
KR100966307B1 (ko) * 2008-02-19 2010-06-28 넥스타테크놀로지 주식회사 모아레 무늬 촬영장치
KR100856466B1 (ko) * 2008-03-07 2008-09-04 에이티아이 주식회사 스케닝 모아레 측정장치 및 측정방법
US11953464B2 (en) 2018-01-08 2024-04-09 Illumina, Inc. Semiconductor-based biosensors for base calling
US11226475B2 (en) 2018-01-16 2022-01-18 Illumina, Inc. Dual optical grating slide structured illumination imaging
US10996453B2 (en) 2018-01-16 2021-05-04 Illumina, Inc. Pattern angle spatial selection structured illumination imaging
US11675175B2 (en) 2018-01-16 2023-06-13 Illumina, Inc. Multi-arm structured illumination imaging
US10928322B2 (en) 2018-01-24 2021-02-23 Illumina, Inc. Structured illumination microscopy with line scanning
US11150455B2 (en) 2018-01-24 2021-10-19 Illumina, Inc. Reduced dimensionality structured illumination microscopy with patterned arrays of nanowells
US11933728B2 (en) 2018-01-24 2024-03-19 Illumina, Inc. Reduced dimensionality structured illumination microscopy with patterned arrays of nanowells
US11650156B2 (en) 2018-01-24 2023-05-16 Illumina, Inc. Reduced dimensionality structured illumination microscopy with patterned arrays of nanowells
US11585757B2 (en) 2018-06-14 2023-02-21 Illumina, Inc. Device for luminescent imaging
US11119302B2 (en) 2018-06-29 2021-09-14 Illumina, Inc. Predicting structured illumination parameters
US11525993B2 (en) 2018-06-29 2022-12-13 Illumina, Inc. Predicting structured illumination parameters
US10831012B2 (en) 2018-06-29 2020-11-10 Illumina, Inc. Predicting structured illumination parameters
US10901202B2 (en) 2018-09-19 2021-01-26 Illumina, Inc. Structured illumination of a sample
US11604346B2 (en) 2018-09-19 2023-03-14 Illumina, Inc. Structured illumination of a sample

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