JP2002112525A - リニアモータ及び電子部品供給装置 - Google Patents

リニアモータ及び電子部品供給装置

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JP2002112525A
JP2002112525A JP2000300338A JP2000300338A JP2002112525A JP 2002112525 A JP2002112525 A JP 2002112525A JP 2000300338 A JP2000300338 A JP 2000300338A JP 2000300338 A JP2000300338 A JP 2000300338A JP 2002112525 A JP2002112525 A JP 2002112525A
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linear motor
electronic component
mover
heat
base
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JP2000300338A
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Yoshinori Kano
良則 狩野
Shigeru Kageyama
茂 影山
Haruhiko Yamaguchi
山口  晴彦
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Sanyo Electric Co Ltd
Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo High Technology Co Ltd
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 リニアモータの発熱源である可動子の熱を放
熱させ、極力温度上昇を抑えること。 【解決手段】 リニアモータ14の可動子48の構造を
以下のようにする。即ち、アルミニウム等の熱伝導性良
好な放熱部材である軸心17が中央を例えば貫通した鉄
心18に励磁コイル20を巻回し、該軸心17の一部を
除き合成樹脂材料でモールドして構成するが、一方の軸
心17の端部には放熱面積を大きくするための放熱フィ
ン19を形成する。そして、この放熱フィン19を空気
吹出口67に面するように配置する。以上の構成とする
ことにより、励磁コイル20が発熱しても、励磁コイル
20から鉄心18に伝わった熱は軸心17へ伝わり、放
熱フィン19により放熱でき、温度上昇を抑えることが
できる。ここで、鉄心18での放熱フィン19が設けら
れた面と反対側部分の熱も軸心17を介して放熱フィン
19へ伝わり可動子48全体の温度上昇を抑えることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動子と固定子と
からなるリニアモータに関するものである。また、詳述
すれば、多数の部品供給ユニットを搭載可能なユニット
ベースと、前記ユニットベースをスライド自在に載置し
た機台と、前記機台に取り付けた固定子及び前記ユニッ
トベースに取り付けた可動子から成るリニアモータとを
備えた電子部品供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の電子部品供給装置として、カセ
ットベースと機台との間に組み込んだリニアモータによ
り、カセットベースを移動させ、高速移動を可能にする
技術が開発されている(特開昭61−239696号公
報等)。
【0003】このリニアモータは、機台に固定した一対
の固定子と、カセットベースの下面に下垂した可動子と
から成り、一対の固定子は可動子をその両側から挟むよ
うに配設されている。そして、固定子は多数のマグネッ
トを機台の長手方向に列設して構成され、可動子は磁性
体の構造物に励磁コイルを巻回して構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記したようにリニア
モータを利用することでカセットベースの高速移動が可
能になったが、連続運転するとモータの可動子が発熱す
る。即ち、定格推力を超える連続運転(実効推力の大き
い運転)を行なうとモータは発熱し、焼き付け防止のた
め許容設定値で停止する。必要な連続動作に耐えるモー
タにすると、外形サイズが大きくなってしまう。この発
熱が周りの構造物へ伝導すると伸びを生じて、部品装着
の精度低下の原因となる。
【0005】そこで、リニアモータの発熱源である可動
子の熱を放熱させ、極力温度上昇を抑えることを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】このため第1の発明は、
可動子と固定子とからなるリニアモータにおいて、前記
可動子の鉄心の中央に設けられた放熱部材の端部に放熱
フィンを形成したことを特徴とする。
【0007】第2の発明は、所定ピッチでキャリアテー
プ内に装填された電子部品を部品取出し位置に順次供給
する多数の部品供給ユニットを搭載可能なユニットベー
スと、前記ユニットベースをスライド自在に載置した機
台と、前記機台に取り付けた固定子及び前記ユニットベ
ースに取り付けた可動子から成るリニアモータとを備え
た電子部品供給装置において、前記ユニットベースに取
り付けた可動子の鉄心の中央に設けられた放熱部材の端
部に放熱フィンを形成したことを特徴とする。
【0008】また第3の発明は、多数の部品供給ユニッ
トを搭載可能なユニットベースと、前記ユニットベース
をスライド自在に載置した機台と、前記機台に取り付け
た固定子及び前記ユニットベースに取り付けた可動子か
ら成るリニアモータとを備えた電子部品供給装置におい
て、前記ユニットベースに取り付けた可動子の熱を放熱
する放熱部材を設けたことを特徴とする。
【0009】更に第4の発明は、前記放熱部材が前記ユ
ニットベースと一体に形成された放熱フィンであること
を特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の一実施形態に係る電子部品供給装置を搭載した高速
型電子部品装着装置について説明する。
【0011】図1は高速型電子部品装着装置の側面図で
あり、図2はその供給系廻りの外観斜視図である。両図
に示すように、この高速型電子部品装着装置1は、装置
本体2を挟んで相互に平行に、電子部品Aを供給する供
給系3と、電子部品Aをプリント基板Bに装着する装着
系4とを配して構成されており、供給系3は電子部品供
給装置(3)で構成されている。
【0012】装置本体2には、駆動系の主体を為すイン
デックスユニット6と、これに連結された回転テーブル
7と、回転テーブル7の外周部に搭載した複数個(例え
ば12個)の装着ヘッド8とが設けられており、回転テ
ーブル7は、インデックスユニット6により、装着ヘッ
ド8の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転される。回
転テーブル7が間欠回転すると、各装着ヘッド8に搭載
した吸着ノズル9が供給系3及び装着系4に適宜臨み、
供給系3から供給された電子部品Aを吸着した後、装着
系4に回転搬送し、装着系4に導入したプリント基板B
にこれを装着する。
【0013】供給系を構成する電子部品供給装置3は、
前後方向に長い機台11と、機台11上にスライド自在
に搭載した4つのスライドベース(ユニットベース)1
2と、各スライドベース12に着脱自在に装着した多数
のテープカセット(部品供給ユニット)13と、機台1
1と各スライドベース12との間に組み込んだリニアモ
ータ14とを備えている。4つのスライドベース12
は、その2つを一組として機台11の前後に配置され、
各組のスライドベース12、12を介して2組のテープ
カセット13群を交互に装置本体2に臨ませるようにし
ている。即ち、それぞれ多数のテープカセット13を搭
載した片側2つのスライドベース12、12が、装置本
体2の位置に移動(スライド)して部品供給動作してい
る間に、ホーム(原点)位置にある他方の2つのスライ
ドベース12、12上では、次の作業に向けてテープカ
セット13の交換作業が行われる。
【0014】図2及び図3に示すように、各テープカセ
ット13は薄手に形成され、この薄手に形成された多数
のテープカセット13は、スライドベース12の上面に
狭い間隙を存して横並び搭載されている。この場合、各
テープカセット13は、スライドベース12の上面に位
置決めされ、且つレバー操作により着脱自在に装着され
ている。そして、スライドベース12に装着されたテー
プカセット13の先端部には、電子部品Aを吸着すべ
く、装置本体2の装着ヘッド8(吸着ノズル9)が臨む
ようになっている。テープカセット13には、所定のピ
ッチで電子部品Aが装填されたキャリアテープCが、テ
ープリール16に巻回された状態で搭載されており、電
子部品Aは、テープリール16から繰り出されたキャリ
アテープCから随時、吸着ノズル9により吸着されてい
く。
【0015】スライドベース12は、左右の接合部材2
1a、21bを介して位置決め固定された上側のベース
ブロック22と下側のスライドブロック23とで構成さ
れている。ベースブロック22の上面には、上記のテー
プカセット13が装着され、スライドブロック23の下
面には左右一対のスライダ24a、24bが設けられて
いる。ベースブロック22は、水平部26と傾斜部27
とで一体に形成され、水平部27に装着されたテープカ
セット13に対し傾斜部27は、テープリール16を逃
げた位置に配設されている。
【0016】スライドブロック23は、上水平部29と
垂直部30と下水平部31とで、断面クランク状に一体
に形成され、また垂直部30から下水平部31にかけて
その外側には、後述の放熱フィン71を避けるように切
り欠かれた適宜数のリブ部32が形成されている。上水
平部29は、一方の接合部材21aを介してベースブロ
ック22の水平部26を支持し、リブ部32は、他方の
接合部材21bを介してベースブロック22の傾斜部2
7を支持している。また、上水平部29の外端部下面に
は上記の第1のスライダ24aが固定されると共に、下
水平部31の外端部下面には上記の第2のスライダ24
bが固定されている。
【0017】71は放熱面積を大きくするための放熱フ
ィン(放熱部材)で、前記スライドブロック23の垂直
部30の前記リブ部32側に突設して該スライドブロッ
ク23と一体に形成される。該放熱フィン71をも含め
て前記スライドブロック23は、例えばアルミニウム等
の熱伝導性の良好な材料で作製され、該可動子48の熱
を放熱するものである。前記放熱フィン71の左右方向
(電子部品装着装置の正面か見て左右方向)の長さは、
前記可動子48の略同じ長さを有している。
【0018】更に、上水平部29の外端部下面には、機
台11に取り付けたスケール34との間にリニアエンコ
ーダ35を構成する光センサ36が垂設されている。ま
た、下水平部31の外端部上面には、ブラケット37を
介してリニアモータ14に制御信号や電力を供給するケ
ーブルベア(登録商標)38の端部が連結されている。
なお、図中の符号39は、フォトインタラプタであり、
このフォトインタラプタ39は、各スライドベース12
がホーム(原点復帰)位置をオーバーランした場合に、
これを検出する。
【0019】機台11は、機台本体41と鉛直ブロック
42とで構成され、鉛直ブロック42の端部上面には、
第1のスライダ24aが係合する第1のスライドレール
43aが取り付けられ、機台本体41の端部上面には、
第2のスライダ24bが係合する第2のスライドレール
43bが取り付けられている。また、鉛直ブロック42
の上面には水平に延びる上マグネットベース44が取り
付けられ、この上マグネットベース44に対応して機台
本体41の上面には下マグネットベース45が取り付け
られている。
【0020】リニアモータ14は、機台11に固定され
た上下一対の固定子47a、47bと、スライドベース
12に固定された可動子48とを備えている。固定子4
7a、47bは、上下のマグネットベース44、45と
上下のマグネット49、49とから構成されている。上
下一対のマグネット49、49のうち上マグネット49
は、上マグネットベース44の下面に下向きに固定さ
れ、下マグネット49は、下マグネットベース45の上
面に上向きに固定されている。一方、可動子48は、ス
ライドベース12とほぼ同じ長さを有しており、スライ
ドブロック23の垂直部30の側面に固定されている。
この状態で、可動子48の上面は上固定子47aに、下
面は下固定子47bにそれぞれ間隙(エアーギャップ)
を存して対峙している。即ち、可動子48と上下両固定
子47a、47bとは上下に対峙し、全体としてリニア
モータ14を構成している。
【0021】各スライドブロック23に固定された可動
子48は、磁性体の構造物に励磁コイルを巻回して構成
され(図示省略)る一方、上下各固定子47a、47b
は、図4に示すように、上下各マグネットベース44、
45の長手方向に多数のマグネット49を列設して構成
されている。この場合、多数のマグネット49は、相互
に微小な間隙50を存して等間隔に列設されており、且
つ各間隙50には、樹脂51がモールドされている。即
ち、上下各固定子47a、47bの表面は、面一になる
ように、多数のマグネット49の各間隙50が樹脂51
でモールドされている。
【0022】60は吸着ノズル9による電子部品取出し
後のキャリアテープCを所定ピッチで切断するカッター
で、部品吸着位置の下方に設けられる。前記カッター6
0で切断した後の屑テープは、吸気ダクト61を介して
回収箱62に導びかれ回収されるが、この回収を促進す
るために回収箱62の出口側に吸気用送風機63が設け
られる。
【0023】一方、前記機台11を構成する鉛直ブロッ
ク42は中空状を呈しており、その中空部を部品吸着動
作時のスライドベース12、12の移動範囲より長い間
隔で両端部を閉塞部材65で閉塞して空気供給通路66
を形成し、かつ部品吸着動作時のスライドベース12、
12の移動範囲内で前記可動子48に面する位置に円形
の空気吹出口67を例えば3個開設すると共に装着系4
に面する位置に空気取入口68を開設する。
【0024】即ち、前記リニアモータ14が頻繁に起動
・停止を繰り返す(実効推力の大きい)運転は、部品吸
着位置付近であり、他の位置では大きな発熱を生じる運
転はなく、大きな発熱を生じる虞れがある部品吸着位置
付近を効率良く冷却するため、あるいはエアの消費流量
低減のために、部品吸着動作時のスライドベース12、
12の移動範囲内で前記可動子48に面する位置に空気
吹出口67を開設するものである。
【0025】しかも、第8図に示すように、リニアモー
タ14の可動子48の横方向の長さと各空気吹出口67
の中心間の間隔とを同じにしており、第7図に示すよう
に真中の空気吹出口67が両スライドベース12、12
(両可動子48、48)間に位置しても、左右両端の空
気吹出口67からの空気が必ず両可動子48、48に当
たることとなる。
【0026】そして、前記空気取入口68と前記吸気用
送風機63とを排気ダクト69で連通させ、吸気用送風
機63により吸気することにより前記カッター60で切
断した後の屑テープを吸気ダクト61を介して回収箱6
2に導びくと共に、前記送風機63からの空気を排気ダ
クト69を介して前記空気供給通路66内に導き、更に
空気吹出口67を介して前記可動子48に当てて該可動
子48を冷却するものである。このように屑テープを回
収箱に回収するための吸気用送風機63を用いて、可動
子48の冷却をも行なうものであるから、わざわざ冷却
用の送風機を設けることがないので、コンパクトでかつ
安価に構成できるものである。
【0027】70は前記各空気吹出口67を外側から覆
うように設けられたフィルターで、前記回収箱62を通
過したテープの小片や、ときに電子部品の破片等を捕捉
するものである。
【0028】以上のような構成により、以下生産運転動
作について説明する。制御装置であるCPU(図示せ
ず)からの生産運転開始指令に基づいてモータドライバ
を介してリニアモータ14が所定移動される。このと
き、当該リニアモータ14は、適正な速度ループゲイン
に基づいて移動駆動されることになり、当該リニアモー
タ14の移動駆動は、エンコーダ35により監視され、
その結果が偏差カウンタ及び速度制御部(共に図示せ
ず)にフィードバックされる。
【0029】そして、スライドベース12の移動によ
り、部品吸着位置に移動してきた所望のテープカセット
13から装置本体2の装着ヘッド8(吸着ノズル9)で
電子部品Aを吸着取出した後、回転テーブル7の回転に
より電子部品Aを吸着した装着ヘッド8(吸着ノズル
9)がプリント基板B上に搬送され、当該基板Bの所望
装着ポイントに前記電子部品Aを装着する。以下、同様
にして部品装着動作が続けられる。
【0030】そして、吸着ノズル9による電子部品取出
し後のキャリアテープCを所定ピッチでカッター60に
より切断し、この切断した後の屑テープは吸気ダクト6
1を介して回収箱62に導びかれて回収されるが、吸気
用送風機63はエアの消費流量低減のために前記スライ
ドベース12、12の運転中のみ運転し、該ベースの停
止中は停止する。
【0031】従って、前記吸気用送風機63が運転して
吸気することにより前記カッター60で切断した後の屑
テープは吸気ダクト61を介して回収箱62に導びかれ
て回収される。更に、前記送風機63からの空気を排気
ダクト69を介して前記空気供給通路66内に導き、更
に空気吹出口67を介して前記可動子48に当てて該可
動子48を冷却する。また、前記スライドベース12、
12が移動することにより、前記スライドブロック23
の垂直部30に形成された放熱フィン71に風が当た
り、前記可動子48の熱はより放熱される。
【0032】尚、フィルター70により前記回収箱62
を通過したテープの小片や、ときに電子部品の破片等は
捕捉される。
【0033】また、図10に示すように、前記リニアモ
ータ14の可動子48の構造を以下のようにする実施形
態について、詳述する。即ち、アルミニウム等の熱伝導
性良好な放熱部材である軸心17が中央を例えば貫通し
た鉄心18に励磁コイル20を巻回し、該軸心17の一
部を除き合成樹脂材料でモールドして構成するが、一方
の軸心17の端部には放熱面積を大きくするための放熱
フィン19を形成する。そして、この放熱フィン19を
前記空気吹出口67に面するように配置する。以上のよ
うに構成することにより、励磁コイル20が発熱して
も、励磁コイル20から鉄心18に伝わった熱は軸心1
7へ伝わり、放熱フィン19により放熱でき、温度上昇
を抑えることができる。ここで、鉄心18での放熱フィ
ン19が設けられた面と反対側部分の熱も軸心17を介
して放熱フィン19へ伝わり可動子48全体の温度上昇
を抑えることができる。
【0034】即ち、前記部品吸着範囲においては、前記
送風機63からの空気が空気吹出口67を介して前記可
動子48、とりわけその放熱フィン19に当たるので、
該可動子48の熱を放熱することができ、また前記スラ
イドベース12、12が移動することにより前記可動子
48が固定された前記スライドブロック23も移動する
ことになるので、この移動に伴い、風が前記放熱フィン
19に当たるので、該可動子48の熱を放熱することが
できる。
【0035】尚本実施形態では、電子部品供給装置を高
速型電子部品装着装置に用いた場合について説明した
が、多機能型電子部品装着装置にも適用できることはい
うまでもない。また、テープカセットに代えてバルクカ
セットなどを搭載する場合にも、この電子部品供給装置
は適用可能である。
【0036】
【発明の効果】本発明によれば、リニアモータの発熱源
である可動子の熱を放熱させ、極力温度上昇を抑えるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置を
備えた高速型電子部品装着装置の側面図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
外観斜視図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
拡大断面図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
固定子廻り断面図である。
【図5】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
一部破断せる要部の平面図である。
【図6】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
要部の平面図である。
【図7】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
要部の正面図である。
【図8】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
要部の正面図である。
【図9】本発明の一実施形態に係る電子部品供給装置の
要部の正面図である。
【図10】本発明のリニアモータの断面図である。
【符号の説明】
1 高速型電子部品装着装置 2 装着本体 3 電子部品供給装置(供給系) 9 吸着ノズル 11 機台 12 スライドベース(ユニットベース) 13 テープカセット 14 リニアモータ 17 軸心 18 鉄心 20 励磁コイル 23 スライドブロック 19 放熱フィン 47a、47b 固定子 48 可動子 61 吸気ダクト 63 吸気用送風機 66 空気供給通路 67 空気吹出口 69 排気ダクト 71 放熱フィン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 影山 茂 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 山口 晴彦 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 Fターム(参考) 5E313 AA02 AA11 AA15 CC01 CC02 DD01 DD02 DD32 DD35 EE24 EE25 FG10 5H609 BB03 BB08 BB18 PP02 PP07 PP08 PP09 QQ02 QQ20 QQ23 RR12 RR27 RR48 RR63 RR69 5H641 BB03 BB06 GG03 HH02 JA02 JB03 JB04

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可動子と固定子とからなるリニアモータ
    において、前記可動子の鉄心の中央に設けられた放熱部
    材の端部に放熱フィンを形成したことを特徴とするリニ
    アモータ。
  2. 【請求項2】 所定ピッチでキャリアテープ内に装填さ
    れた電子部品を部品取出し位置に順次供給する多数の部
    品供給ユニットを搭載可能なユニットベースと、前記ユ
    ニットベースをスライド自在に載置した機台と、前記機
    台に取り付けた固定子及び前記ユニットベースに取り付
    けた可動子から成るリニアモータとを備えた電子部品供
    給装置において、 前記ユニットベースに取り付けた可動子の鉄心の中央に
    設けられた放熱部材の端部に放熱フィンを形成したこと
    を特徴とする電子部品供給装置。
  3. 【請求項3】 多数の部品供給ユニットを搭載可能なユ
    ニットベースと、前記ユニットベースをスライド自在に
    載置した機台と、前記機台に取り付けた固定子及び前記
    ユニットベースに取り付けた可動子から成るリニアモー
    タとを備えた電子部品供給装置において、 前記ユニットベースに取り付けた可動子の熱を放熱する
    放熱部材を設けたことを特徴とする電子部品供給装置。
  4. 【請求項4】 前記放熱部材は、前記ユニットベースと
    一体に形成された放熱フィンであることを特徴とする請
    求項3に記載の電子部品供給装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004338020A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Yamaha Motor Co Ltd リニアモータ式単軸ロボット
WO2015104807A1 (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 富士機械製造株式会社 リニアモータ
RU2563967C1 (ru) * 2014-07-01 2015-09-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Линейный шаговый двигатель исполнительного механизма системы управления и защиты ядерного реактора

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004338020A (ja) * 2003-05-14 2004-12-02 Yamaha Motor Co Ltd リニアモータ式単軸ロボット
JP4105586B2 (ja) * 2003-05-14 2008-06-25 ヤマハ発動機株式会社 リニアモータ式単軸ロボット
WO2015104807A1 (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 富士機械製造株式会社 リニアモータ
JPWO2015104807A1 (ja) * 2014-01-09 2017-03-23 富士機械製造株式会社 リニアモータ
RU2563967C1 (ru) * 2014-07-01 2015-09-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Линейный шаговый двигатель исполнительного механизма системы управления и защиты ядерного реактора

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