JP2002107409A - オートハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラ - Google Patents
オートハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラInfo
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- JP2002107409A JP2002107409A JP2000295020A JP2000295020A JP2002107409A JP 2002107409 A JP2002107409 A JP 2002107409A JP 2000295020 A JP2000295020 A JP 2000295020A JP 2000295020 A JP2000295020 A JP 2000295020A JP 2002107409 A JP2002107409 A JP 2002107409A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オートハンドラのサイクルタイムを短縮する
こと。 【解決手段】 複数のブロック７を、ＩＣ挿入穴７０を
中心に互いに接近・離反自在な形でリンク８Ｂ等により
連結し、接近・離反駆動のための押しピン１０を設け、
ハンド４Ａが接近する際に、押しピン１０が操作されて
ＩＣ挿入穴７０を広げてＩＣ２Ａを挿入しやすくし、ハ
ンド４Ａが離反する際に、押しピン１０の操作が解除さ
れてＩＣ挿入穴７０を狭めることによりＩＣ２Ａの姿勢
を矯正するように電極ユニット１Ｂを構成した。これに
よりアライメントステージが不要になる。
こと。 【解決手段】 複数のブロック７を、ＩＣ挿入穴７０を
中心に互いに接近・離反自在な形でリンク８Ｂ等により
連結し、接近・離反駆動のための押しピン１０を設け、
ハンド４Ａが接近する際に、押しピン１０が操作されて
ＩＣ挿入穴７０を広げてＩＣ２Ａを挿入しやすくし、ハ
ンド４Ａが離反する際に、押しピン１０の操作が解除さ
れてＩＣ挿入穴７０を狭めることによりＩＣ２Ａの姿勢
を矯正するように電極ユニット１Ｂを構成した。これに
よりアライメントステージが不要になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ（Integrated
Circuit：集積回路）の検査工程において、被試験ＩＣ
をＩＣ試験装置の電極ユニットへ搬送し選別するオート
ハンドラ用の電極ユニット及びオートハンドラに関する
ものである。
Circuit：集積回路）の検査工程において、被試験ＩＣ
をＩＣ試験装置の電極ユニットへ搬送し選別するオート
ハンドラ用の電極ユニット及びオートハンドラに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】固有欠陥の半導体デバイス、または製造
上のばらつきから時間とストレス依存する故障を起こす
デバイスを除くために選別試験する試験装置がある。こ
のような半導体デバイスであるＩＣを、ＩＣ試験装置の
電極ユニットへ搬送し選別するオートハンドラがある。
なお、オートハンドラに適用されるデバイスには、例え
ば、表面実装タイプであるＢＧＡ型またはＱＦＰ型ある
いはＴＳＯＰ型ＩＣなどがある。
上のばらつきから時間とストレス依存する故障を起こす
デバイスを除くために選別試験する試験装置がある。こ
のような半導体デバイスであるＩＣを、ＩＣ試験装置の
電極ユニットへ搬送し選別するオートハンドラがある。
なお、オートハンドラに適用されるデバイスには、例え
ば、表面実装タイプであるＢＧＡ型またはＱＦＰ型ある
いはＴＳＯＰ型ＩＣなどがある。
【０００３】従来のオートハンドラの構成を図３により
説明する。図３の１Ａは電極ユニット、２Ａは被試験Ｉ
Ｃ（以下、ＩＣと短称する）、４Ａと４Ｂはハンド、５
Ａから５Ｃはトレー、６はアライメントステージであ
る。
説明する。図３の１Ａは電極ユニット、２Ａは被試験Ｉ
Ｃ（以下、ＩＣと短称する）、４Ａと４Ｂはハンド、５
Ａから５Ｃはトレー、６はアライメントステージであ
る。
【０００４】図３において、トレー５Ａには縦横に凹部
が形成され、前記凹部にＩＣ２Ａが搭載される。トレー
５Ａの凹部は作業者がＩＣ２Ａを取り出し易くするため
にＩＣ２Ａの外形より少し大きく形成されている。した
がって、凹部でＩＣ２Ａの姿勢は整っていない。
が形成され、前記凹部にＩＣ２Ａが搭載される。トレー
５Ａの凹部は作業者がＩＣ２Ａを取り出し易くするため
にＩＣ２Ａの外形より少し大きく形成されている。した
がって、凹部でＩＣ２Ａの姿勢は整っていない。
【０００５】次に、真空吸着方式によるハンド４Ａで逐
次、ＩＣ２Ａはアライメントステージ６に搬送される。
次、ＩＣ２Ａはアライメントステージ６に搬送される。
【０００６】アライメントステージ６には、ＩＣの外形
より微少大きい凹部が形成され、前記凹部にＩＣ２Ａが
載置されて、ＩＣ２Ａの姿勢が矯正される。矯正された
ＩＣ２Ａはアライメントステージ６から電極ユニット１
Ａに真空吸着方式によるハンド４Ｂで搬送される。
より微少大きい凹部が形成され、前記凹部にＩＣ２Ａが
載置されて、ＩＣ２Ａの姿勢が矯正される。矯正された
ＩＣ２Ａはアライメントステージ６から電極ユニット１
Ａに真空吸着方式によるハンド４Ｂで搬送される。
【０００７】電極ユニット１Ａには電気接触の媒体とな
るコンタクトピン１Ｄが配置され、前記コンタクトピン
１ＤはＩＣテスタ（図示せず）と電気接続している。前
記コンタクトピン１Ｄに接触するＩＣ２ＡはＩＣテスタ
で試験される。
るコンタクトピン１Ｄが配置され、前記コンタクトピン
１ＤはＩＣテスタ（図示せず）と電気接続している。前
記コンタクトピン１Ｄに接触するＩＣ２ＡはＩＣテスタ
で試験される。
【０００８】電極ユニット１Ａの位置において、ＩＣテ
スタで良品と判定されたＩＣ２Ａは、真空吸着方式によ
るハンド４Ｂでトレー５Ｂに搬送され、トレー５Ｂ上の
凹部に収容される。
スタで良品と判定されたＩＣ２Ａは、真空吸着方式によ
るハンド４Ｂでトレー５Ｂに搬送され、トレー５Ｂ上の
凹部に収容される。
【０００９】前記電極ユニット１Ａの位置において、不
良品と判定されたＩＣ２Ａは、真空吸着方式によるハン
ド４Ｂでトレー５Ｃに搬送され、トレー５Ｃ上の凹部に
収容される。トレー５Ａに対して、すべてのＩＣ２Ａが
搬送され、ＩＣテスタにて判定後、トレー５Ｂまたはト
レー５Ｃに収容されると、オートハンドラとして一連の
動作を終了する。なお、良品のＩＣ２Ａをトレー５Ｃに
収容し、不良品のＩＣ２Ａをトレー５Ｂに収容すること
は任意に設定できる。
良品と判定されたＩＣ２Ａは、真空吸着方式によるハン
ド４Ｂでトレー５Ｃに搬送され、トレー５Ｃ上の凹部に
収容される。トレー５Ａに対して、すべてのＩＣ２Ａが
搬送され、ＩＣテスタにて判定後、トレー５Ｂまたはト
レー５Ｃに収容されると、オートハンドラとして一連の
動作を終了する。なお、良品のＩＣ２Ａをトレー５Ｃに
収容し、不良品のＩＣ２Ａをトレー５Ｂに収容すること
は任意に設定できる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のオートハンドラでは、アライメントステージで、一
旦、ＩＣの姿勢を矯正している。そのため、オートハン
ドラのサイクルタイムに無駄が生じている。
のオートハンドラでは、アライメントステージで、一
旦、ＩＣの姿勢を矯正している。そのため、オートハン
ドラのサイクルタイムに無駄が生じている。
【００１１】そこで本発明は、上記事情に鑑み、試験前
のＩＣが搭載されたトレーから、ＩＣテスタにより試験
するための電極ユニットへ該ＩＣを直接搬送し、オート
ハンドラのサイクルタイムを短縮することのできるオー
トハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラを提供す
ることを目的とする。
のＩＣが搭載されたトレーから、ＩＣテスタにより試験
するための電極ユニットへ該ＩＣを直接搬送し、オート
ハンドラのサイクルタイムを短縮することのできるオー
トハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラを提供す
ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めの本発明のうち請求項１は、ＩＣ挿入穴（７０）が形
成されたガイド体（７，１７）と、前記ＩＣ挿入穴（７
０）内に配置され、ＩＣ（２Ａ）を搭載自在なＩＣ搭載
部（９）と、該ＩＣ搭載部（９）に搭載されるＩＣ（２
Ａ）と電気接触自在で、かつオートハンドラのＩＣ試験
装置と電気接触自在な電気接触部材（１Ｄ）と、を備え
たオートハンドラ用電極ユニットであって、前記ガイド
体は、前記ＩＣ挿入穴（７０）を挟んで配置される複数
のブロック（７）を有し、前記複数のブロック（７）
を、前記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに接近・離反
自在な連動機構（８Ｂ，９）で連結し、前記複数のブロ
ック（７）を、前記連動機構（８Ｂ，９）を介して、前
記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに接近・離反駆動す
る駆動操作手段（８Ａ，１０）を有し、オートハンドラ
の搬送手段（４Ａ）が前記ガイド体に接近する際に、前
記駆動操作手段（１０）が操作されて、前記複数のブロ
ック（７）が前記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに離
反駆動され、前記搬送手段（４Ａ）が前記ガイド体から
離反する際に、前記駆動操作手段（１０）の操作が解除
されて、前記複数のブロック（７）が前記ＩＣ挿入穴
（７０）を中心に互いに接近駆動されるように、前記駆
動操作手段（１０）を配置した、ことを特徴とするオー
トハンドラ用電極ユニットにある。
めの本発明のうち請求項１は、ＩＣ挿入穴（７０）が形
成されたガイド体（７，１７）と、前記ＩＣ挿入穴（７
０）内に配置され、ＩＣ（２Ａ）を搭載自在なＩＣ搭載
部（９）と、該ＩＣ搭載部（９）に搭載されるＩＣ（２
Ａ）と電気接触自在で、かつオートハンドラのＩＣ試験
装置と電気接触自在な電気接触部材（１Ｄ）と、を備え
たオートハンドラ用電極ユニットであって、前記ガイド
体は、前記ＩＣ挿入穴（７０）を挟んで配置される複数
のブロック（７）を有し、前記複数のブロック（７）
を、前記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに接近・離反
自在な連動機構（８Ｂ，９）で連結し、前記複数のブロ
ック（７）を、前記連動機構（８Ｂ，９）を介して、前
記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに接近・離反駆動す
る駆動操作手段（８Ａ，１０）を有し、オートハンドラ
の搬送手段（４Ａ）が前記ガイド体に接近する際に、前
記駆動操作手段（１０）が操作されて、前記複数のブロ
ック（７）が前記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに離
反駆動され、前記搬送手段（４Ａ）が前記ガイド体から
離反する際に、前記駆動操作手段（１０）の操作が解除
されて、前記複数のブロック（７）が前記ＩＣ挿入穴
（７０）を中心に互いに接近駆動されるように、前記駆
動操作手段（１０）を配置した、ことを特徴とするオー
トハンドラ用電極ユニットにある。
【００１３】本発明のうち請求項２は、前記ＩＣ搭載部
（９）は、前記電気接触部材（１Ｄ）に対して、前記Ｉ
Ｃ搭載部（９）の上面から前記電気接触部材（１Ｄ）が
突出する第１の位置と、前記ＩＣ搭載部（９）の上面か
ら前記電気接触部材（１Ｄ）が下方に引っ込む第２の位
置と、の間で上下移動自在に設け、前記ＩＣ搭載部
（９）と前記複数のブロック（７）とは、これらブロッ
ク（７）が前記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに接近
する際に前記ＩＣ搭載部（９）が前記第１の位置に下降
し、これらブロック（７）が前記ＩＣ挿入穴（７０）を
中心に互いに離反する際に前記ＩＣ搭載部（９）が前記
第２の位置に上昇するように、搭載部連動機構（８Ｂ）
により接続した、ことを特徴とする請求項１記載のオー
トハンドラ用電極ユニットにある。
（９）は、前記電気接触部材（１Ｄ）に対して、前記Ｉ
Ｃ搭載部（９）の上面から前記電気接触部材（１Ｄ）が
突出する第１の位置と、前記ＩＣ搭載部（９）の上面か
ら前記電気接触部材（１Ｄ）が下方に引っ込む第２の位
置と、の間で上下移動自在に設け、前記ＩＣ搭載部
（９）と前記複数のブロック（７）とは、これらブロッ
ク（７）が前記ＩＣ挿入穴（７０）を中心に互いに接近
する際に前記ＩＣ搭載部（９）が前記第１の位置に下降
し、これらブロック（７）が前記ＩＣ挿入穴（７０）を
中心に互いに離反する際に前記ＩＣ搭載部（９）が前記
第２の位置に上昇するように、搭載部連動機構（８Ｂ）
により接続した、ことを特徴とする請求項１記載のオー
トハンドラ用電極ユニットにある。
【００１４】本発明のうち請求項３は、請求項１又は２
記載のオートハンドラ用電極ユニット（１Ｂ）と、ＩＣ
（２Ａ）を保持自在なＩＣ保持手段（５Ａ）と、ＩＣ
（２Ａ）を、前記ＩＣ保持手段（５Ａ）と前記オートハ
ンドラ用電極ユニット（１Ｂ）との間で、直行搬送する
搬送手段（４Ａ）と、を備えた、ことを特徴としている
オートハンドラにある。
記載のオートハンドラ用電極ユニット（１Ｂ）と、ＩＣ
（２Ａ）を保持自在なＩＣ保持手段（５Ａ）と、ＩＣ
（２Ａ）を、前記ＩＣ保持手段（５Ａ）と前記オートハ
ンドラ用電極ユニット（１Ｂ）との間で、直行搬送する
搬送手段（４Ａ）と、を備えた、ことを特徴としている
オートハンドラにある。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明のオートハンドラの実施の
形態を図面を参照して説明する。図１及び図２は本発明
のオートハンドラの実施の形態を示す構成図であり、図
１は電極ユニットの詳細図、図２はオートハンドラの全
体図である。
形態を図面を参照して説明する。図１及び図２は本発明
のオートハンドラの実施の形態を示す構成図であり、図
１は電極ユニットの詳細図、図２はオートハンドラの全
体図である。
【００１６】本実施形態のオートハンドラは、図２に示
すように、被試験ＩＣ２Ａを吸着搬送自在なハンド４Ａ
及び４Ｂ、試験前のＩＣ２Ａが搭載されるトレー５Ａ、
良品として選別されるＩＣ２Ａが搭載されるトレー５
Ｂ、不良品として選別されるＩＣ２Ａが搭載されるトレ
ー５Ｃを備えている。これらは「従来の技術」で説明し
たオートハンドラ（図３）と同様であるので、同一の符
号を付して詳細な説明は割愛する。
すように、被試験ＩＣ２Ａを吸着搬送自在なハンド４Ａ
及び４Ｂ、試験前のＩＣ２Ａが搭載されるトレー５Ａ、
良品として選別されるＩＣ２Ａが搭載されるトレー５
Ｂ、不良品として選別されるＩＣ２Ａが搭載されるトレ
ー５Ｃを備えている。これらは「従来の技術」で説明し
たオートハンドラ（図３）と同様であるので、同一の符
号を付して詳細な説明は割愛する。
【００１７】また本実施形態のオートハンドラは、従来
のオートハンドラとは異なり、アライメントステージ
（図３の符号６）を有しておらず、従来のものとは異な
る電極ユニット１Ｂを有している。
のオートハンドラとは異なり、アライメントステージ
（図３の符号６）を有しておらず、従来のものとは異な
る電極ユニット１Ｂを有している。
【００１８】電極ユニット１Ｂは、図１及び図２に示す
ように、中央に穴７０を形成して配置されたベース１７
を有し、該ベース１７上には上記穴７０の周囲に配置し
た複数のブロック７が設けられている。ブロック７が包
囲する穴７０はＩＣ挿入穴７０となっており、ＩＣ挿入
穴７０を挟む形で水平方向の縦及び横で、一対のブロッ
ク７がそれぞれ位置する。この一対のブロック７の位置
関係は図１において詳細に示している。
ように、中央に穴７０を形成して配置されたベース１７
を有し、該ベース１７上には上記穴７０の周囲に配置し
た複数のブロック７が設けられている。ブロック７が包
囲する穴７０はＩＣ挿入穴７０となっており、ＩＣ挿入
穴７０を挟む形で水平方向の縦及び横で、一対のブロッ
ク７がそれぞれ位置する。この一対のブロック７の位置
関係は図１において詳細に示している。
【００１９】各ブロック７の下には、図１に示すよう
に、一対のブロック７の対向方向である図１の矢印Ａ，
Ｂ方向に直交する水平なピン１２Ｃがベース１７に支持
されて設けられており、該ピン１２Ｃによりリンク８Ｂ
が回転自在に保持されている。該リンク８Ｂの先端部は
ＩＣ挿入穴７０側に伸びており、前記ピン１２Ｃと平行
な支持ピン１２Ｂが設けられている。そして矢印Ａ，Ｂ
方向に対向する上記一対のリンク８Ｂは、支持ピン１２
Ｂを介して水平な板状のポップアッププレート９が連結
している。
に、一対のブロック７の対向方向である図１の矢印Ａ，
Ｂ方向に直交する水平なピン１２Ｃがベース１７に支持
されて設けられており、該ピン１２Ｃによりリンク８Ｂ
が回転自在に保持されている。該リンク８Ｂの先端部は
ＩＣ挿入穴７０側に伸びており、前記ピン１２Ｃと平行
な支持ピン１２Ｂが設けられている。そして矢印Ａ，Ｂ
方向に対向する上記一対のリンク８Ｂは、支持ピン１２
Ｂを介して水平な板状のポップアッププレート９が連結
している。
【００２０】ポップアッププレート９上にはＩＣ２Ａを
搭載自在であり、ポップアッププレート９には、前記搭
載されるＩＣ２Ａの端子と接触するコンタクトピン１Ｄ
が貫通して設けられている。コンタクトピン１Ｄの下端
側は図示しないＩＣテスタに電気接続されている。
搭載自在であり、ポップアッププレート９には、前記搭
載されるＩＣ２Ａの端子と接触するコンタクトピン１Ｄ
が貫通して設けられている。コンタクトピン１Ｄの下端
側は図示しないＩＣテスタに電気接続されている。
【００２１】一方、各ブロック７には、上述したピン１
２Ｂ，１２Ｃと平行な支持ピン１２Ａが支持されてお
り、前記リンク８Ｂのうち前記支持ピン１２Ｂが設けら
れた側とは別の一端側が支持ピン１２Ａに係合してい
る。更に、支持ピン１２Ａにはリンク８Ａが設けられて
おり、リンク８Ａの先端側には、上述したピン１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃと平行なピン１２Ｄを介して上下方向の
押しピン１０が接続されている。
２Ｂ，１２Ｃと平行な支持ピン１２Ａが支持されてお
り、前記リンク８Ｂのうち前記支持ピン１２Ｂが設けら
れた側とは別の一端側が支持ピン１２Ａに係合してい
る。更に、支持ピン１２Ａにはリンク８Ａが設けられて
おり、リンク８Ａの先端側には、上述したピン１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃと平行なピン１２Ｄを介して上下方向の
押しピン１０が接続されている。
【００２２】押しピン１０は上端側をブロック７上方に
突出させた形で配置されており、押しピン１０には復帰
バネ１１が設けられている。即ち、押しピン１０を上方
から押圧すると復帰バネ１１に抗して押しピン１０が下
方に移動し、該押しピン１０の押圧を解除すると復帰バ
ネ１１により前記押しピン１０はもとの位置に上昇復帰
する。
突出させた形で配置されており、押しピン１０には復帰
バネ１１が設けられている。即ち、押しピン１０を上方
から押圧すると復帰バネ１１に抗して押しピン１０が下
方に移動し、該押しピン１０の押圧を解除すると復帰バ
ネ１１により前記押しピン１０はもとの位置に上昇復帰
する。
【００２３】次に、一連の動作を説明する。図２におい
て、トレー５Ａには試験前のＩＣ２Ａが積載されてい
る。該トレー５には縦横に凹部が形成され、この凹部に
ＩＣ２Ａが積載される。トレー５の凹部は作業者がＩＣ
２Ａを取り出し易くするためにＩＣ２Ａの外形より少し
大きく形成されている。したがって、凹部でのＩＣ２Ａ
の姿勢は整っていない。
て、トレー５Ａには試験前のＩＣ２Ａが積載されてい
る。該トレー５には縦横に凹部が形成され、この凹部に
ＩＣ２Ａが積載される。トレー５の凹部は作業者がＩＣ
２Ａを取り出し易くするためにＩＣ２Ａの外形より少し
大きく形成されている。したがって、凹部でのＩＣ２Ａ
の姿勢は整っていない。
【００２４】トレー５のＩＣ２Ａは真空吸着方式による
ハンド４Ａで逐次、電極ユニット１Ｂに直接搬送され
る。即ち、従来のようなアライメントステージは使用し
ない。電極ユニット１Ｂには、ＩＣ２Ａを吸着した状態
のハンド４Ａは、図１（ａ）に示すように、吸着したＩ
Ｃ２Ａを、ＩＣ挿入穴７０に対して上方から下方へと挿
入していく。この際、ハンド４Ａの一部が、該ＩＣ挿入
穴７０近傍の複数の押しピン１０に当たり、これら押し
ピン１０を下方に押圧する。
ハンド４Ａで逐次、電極ユニット１Ｂに直接搬送され
る。即ち、従来のようなアライメントステージは使用し
ない。電極ユニット１Ｂには、ＩＣ２Ａを吸着した状態
のハンド４Ａは、図１（ａ）に示すように、吸着したＩ
Ｃ２Ａを、ＩＣ挿入穴７０に対して上方から下方へと挿
入していく。この際、ハンド４Ａの一部が、該ＩＣ挿入
穴７０近傍の複数の押しピン１０に当たり、これら押し
ピン１０を下方に押圧する。
【００２５】上記押しピン１０が押し下げられるとリン
ク８Ａが回転する。該リンク８Ａの支持ピン１２Ａがブ
ロック７に支持されているので、該ブロック７はベース
１７上をＩＣ挿入穴７０より遠ざかる方向（外側）に移
動する。つまりＩＣ挿入穴７０が広がるので、ＩＣ２Ａ
の姿勢が矯正されていなくてもＩＣ挿入穴７０へ容易に
挿入される。また、リンク８Ａに連動してリンク８Ｂが
回転すると、別の支持ピン１２Ｂを上方に押し上げるの
で、これに結合されているポップアッププレート９が押
し上げられる（第２の位置）。
ク８Ａが回転する。該リンク８Ａの支持ピン１２Ａがブ
ロック７に支持されているので、該ブロック７はベース
１７上をＩＣ挿入穴７０より遠ざかる方向（外側）に移
動する。つまりＩＣ挿入穴７０が広がるので、ＩＣ２Ａ
の姿勢が矯正されていなくてもＩＣ挿入穴７０へ容易に
挿入される。また、リンク８Ａに連動してリンク８Ｂが
回転すると、別の支持ピン１２Ｂを上方に押し上げるの
で、これに結合されているポップアッププレート９が押
し上げられる（第２の位置）。
【００２６】ポップアッププレート９が上昇すると、コ
ンタクトピン１Ｄが相対移動するのでポップアッププレ
ート９の上面から下方に引っ込む。これにより、搭載し
ようとするＩＣ２Ａのリードおよび、ボールを傷つけな
いので好都合である。
ンタクトピン１Ｄが相対移動するのでポップアッププレ
ート９の上面から下方に引っ込む。これにより、搭載し
ようとするＩＣ２Ａのリードおよび、ボールを傷つけな
いので好都合である。
【００２７】真空吸着方式によるハンド４Ａは、上方に
押し上げられてたポップアッププレート９にＩＣ２Ａを
着座させて吸着解除し、図１（ｂ）に示すように上昇す
る。ハンド４Ａが上昇すると押しピン１０の押圧も解除
されるので、該押しピン１０は復帰バネ１１によりに上
昇する。押しピン１０が上昇するとリンク８Ａが前記と
は逆方向に回転してブロック７がベース１７上をＩＣ挿
入穴７０に近づく方向（内側）に移動し、移動するブロ
ック７により押されることによってＩＣ２Ａの姿勢が矯
正される。
押し上げられてたポップアッププレート９にＩＣ２Ａを
着座させて吸着解除し、図１（ｂ）に示すように上昇す
る。ハンド４Ａが上昇すると押しピン１０の押圧も解除
されるので、該押しピン１０は復帰バネ１１によりに上
昇する。押しピン１０が上昇するとリンク８Ａが前記と
は逆方向に回転してブロック７がベース１７上をＩＣ挿
入穴７０に近づく方向（内側）に移動し、移動するブロ
ック７により押されることによってＩＣ２Ａの姿勢が矯
正される。
【００２８】なお、リンク８Ｂが回転するとき、ポップ
アッププレート９が下方に下げられる（第１の位置）。
これによりポップアッププレート９に貫通しているコン
タクトピン１Ｄが相対移動によりポップアッププレート
９の上面から突出する。つまりコンタクトピン１ＤとＩ
Ｃ２Ａが電気接触し、図示しないＩＣテスタに電気接続
される。つまり、ポップアッププレート９が下方に移動
した状態でＩＣ２ＡはＩＣテスタにより試験される。
アッププレート９が下方に下げられる（第１の位置）。
これによりポップアッププレート９に貫通しているコン
タクトピン１Ｄが相対移動によりポップアッププレート
９の上面から突出する。つまりコンタクトピン１ＤとＩ
Ｃ２Ａが電気接触し、図示しないＩＣテスタに電気接続
される。つまり、ポップアッププレート９が下方に移動
した状態でＩＣ２ＡはＩＣテスタにより試験される。
【００２９】試験後、図１（ａ）の状態でＩＣ２Ａを吸
着し、ＩＣテスタで良品と判定されたＩＣ２Ａは、図２
に示すように、真空吸着方式によるハンド４Ｂでトレー
５Ｂに搬送され、トレー５Ｂ上の凹部に収容される。不
良品と判定されたＩＣ２Ａは、真空吸着方式によるハン
ド４Ｂでトレー５Ｃに搬送され、トレー５Ｃ上の凹部に
挿入される。
着し、ＩＣテスタで良品と判定されたＩＣ２Ａは、図２
に示すように、真空吸着方式によるハンド４Ｂでトレー
５Ｂに搬送され、トレー５Ｂ上の凹部に収容される。不
良品と判定されたＩＣ２Ａは、真空吸着方式によるハン
ド４Ｂでトレー５Ｃに搬送され、トレー５Ｃ上の凹部に
挿入される。
【００３０】トレー５Ａに対して、すべてのＩＣ１Ａが
移送され、ＩＣテスタにて判定後、トレー５Ｂまたはト
レー５Ｃに収容されると、オートハンドラとして一連の
動作を終了する。
移送され、ＩＣテスタにて判定後、トレー５Ｂまたはト
レー５Ｃに収容されると、オートハンドラとして一連の
動作を終了する。
【００３１】なお、上述した実施形態では、複数のブロ
ック７を互いに接近・離反自在に接続する連動機構とし
てリンク８Ｂ及びポップアッププレート９の組合せを採
用し、これらの駆動操作手段としてリンク８Ａ及び押し
ピン１０の組合せを採用したが、このようなリンク機構
以外にも、ラック・ピニオンギアなどのその他の機構で
連動機構及び駆動操作手段を実現することも可能であ
る。
ック７を互いに接近・離反自在に接続する連動機構とし
てリンク８Ｂ及びポップアッププレート９の組合せを採
用し、これらの駆動操作手段としてリンク８Ａ及び押し
ピン１０の組合せを採用したが、このようなリンク機構
以外にも、ラック・ピニオンギアなどのその他の機構で
連動機構及び駆動操作手段を実現することも可能であ
る。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明の請求項１によれ
ば、搬送手段が接近する際に、駆動操作手段が操作され
て複数のブロックがＩＣ挿入穴を広げるように移動する
ので、前記搬送手段により搬送されてきたＩＣはＩＣ挿
入穴に容易に挿入される。また、搬送手段が離反する際
に、駆動操作手段が解除されて複数のブロックがＩＣ挿
入穴を狭めるように移動するので、ＩＣ挿入穴に挿入さ
れたＩＣは前記ブロックにより姿勢矯正される。従っ
て、本発明のオートハンドラ用電極ユニットによると、
姿勢矯正機能を兼ね備えるのでアライメントステージが
不要になる。つまり、アライメントステージに一時搭載
することなくＩＣの姿勢矯正することができるので、一
時搭載する工程および時間を省略でき、オートハンドラ
のサイクルタイムを短縮できる。更に、別途駆動源にな
るアクチュエータを追加せずにＩＣの姿勢を矯正できる
といった利点も得られる。
ば、搬送手段が接近する際に、駆動操作手段が操作され
て複数のブロックがＩＣ挿入穴を広げるように移動する
ので、前記搬送手段により搬送されてきたＩＣはＩＣ挿
入穴に容易に挿入される。また、搬送手段が離反する際
に、駆動操作手段が解除されて複数のブロックがＩＣ挿
入穴を狭めるように移動するので、ＩＣ挿入穴に挿入さ
れたＩＣは前記ブロックにより姿勢矯正される。従っ
て、本発明のオートハンドラ用電極ユニットによると、
姿勢矯正機能を兼ね備えるのでアライメントステージが
不要になる。つまり、アライメントステージに一時搭載
することなくＩＣの姿勢矯正することができるので、一
時搭載する工程および時間を省略でき、オートハンドラ
のサイクルタイムを短縮できる。更に、別途駆動源にな
るアクチュエータを追加せずにＩＣの姿勢を矯正できる
といった利点も得られる。
【００３３】また本発明の請求項２によれば、ＩＣの姿
勢を矯正させる際、上方に押し上げられているＩＣ搭載
部にＩＣが着座させることができるのでＩＣのリードを
傷つけることなくＩＣの姿勢を矯正できるといった利点
が得られる。
勢を矯正させる際、上方に押し上げられているＩＣ搭載
部にＩＣが着座させることができるのでＩＣのリードを
傷つけることなくＩＣの姿勢を矯正できるといった利点
が得られる。
【００３４】また本発明の請求項３によれば、上記請求
項１又は請求項２と同様の効果を発揮できる、サイクル
タイムを短縮できるオートハンドラオートハンドラが提
供される。
項１又は請求項２と同様の効果を発揮できる、サイクル
タイムを短縮できるオートハンドラオートハンドラが提
供される。
【図１】本発明を適用したオートハンドラの構成図。
【図２】本発明を適用したオートハンドラの構成図。
【図３】従来技術によるオートハンドラの構成図。
１Ａ 電極ユニット １Ｂ 電極ユニット １Ｄ コンタクトピン ２Ａ 被試験ＩＣ ４Ａ ハンド ４Ｂ ハンド ５Ａ トレー ５Ｂ トレー ５Ｃ トレー ６ アライメントステージ ７ ガイドブロック ８Ａ リンク ８Ｂ リンク ９ ポップアッププレート １０ 押しピン １１ 復帰バネ １２Ａ 支持ピン １２Ｂ 支持ピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AG10 AG11 AG12 AG16 AH04 AH07 2G011 AA01 AA15 AA16 AC06 AC14 AE02 AE03 AF02 AF06 AF07 2G032 AA00 AE01 AE02 AF01 AF02 AL00 AL03
Claims (3)
- 【請求項１】 ＩＣ挿入穴が形成されたガイド体と、前
記ＩＣ挿入穴内に配置され、ＩＣを搭載自在なＩＣ搭載
部と、該ＩＣ搭載部に搭載されるＩＣと電気接触自在
で、かつオートハンドラのＩＣ試験装置と電気接触自在
な電気接触部材と、を備えたオートハンドラ用電極ユニ
ットであって、 前記ガイド体は、前記ＩＣ挿入穴を挟んで配置される複
数のブロックを有し、 前記複数のブロックを、前記ＩＣ挿入穴を中心に互いに
接近・離反自在な連動機構で連結し、 前記複数のブロックを、前記連動機構を介して、前記Ｉ
Ｃ挿入穴を中心に互いに接近・離反駆動する駆動操作手
段を有し、 オートハンドラの搬送手段が前記ガイド体に接近する際
に、前記駆動操作手段が操作されて、前記複数のブロッ
クが前記ＩＣ挿入穴を中心に互いに離反駆動され、前記
搬送手段が前記ガイド体から離反する際に、前記駆動操
作手段の操作が解除されて、前記複数のブロックが前記
ＩＣ挿入穴を中心に互いに接近駆動されるように、前記
駆動操作手段を配置した、ことを特徴とするオートハン
ドラ用電極ユニット。 - 【請求項２】 前記ＩＣ搭載部は、前記電気接触部材に
対して、前記ＩＣ搭載部の上面から前記電気接触部材が
突出する第１の位置と、前記ＩＣ搭載部の上面から前記
電気接触部材が下方に引っ込む第２の位置と、の間で上
下移動自在に設け、 前記ＩＣ搭載部と前記複数のブロックとは、これらブロ
ックが前記ＩＣ挿入穴を中心に互いに接近する際に前記
ＩＣ搭載部が前記第１の位置に下降し、これらブロック
が前記ＩＣ挿入穴を中心に互いに離反する際に前記ＩＣ
搭載部が前記第２の位置に上昇するように、搭載部連動
機構により接続した、ことを特徴とする請求項１記載の
オートハンドラ用電極ユニット。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のオートハンドラ用
電極ユニットと、 ＩＣを保持自在なＩＣ保持手段と、 ＩＣを、前記ＩＣ保持手段と前記オートハンドラ用電極
ユニットとの間で、直行搬送する搬送手段と、を備え
た、ことを特徴としているオートハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000295020A JP2002107409A (ja) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | オートハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000295020A JP2002107409A (ja) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | オートハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002107409A true JP2002107409A (ja) | 2002-04-10 |
Family
ID=18777515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000295020A Withdrawn JP2002107409A (ja) | 2000-09-27 | 2000-09-27 | オートハンドラ用電極ユニット及びオートハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002107409A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009139156A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Ueno Seiki Kk | 電子部品測定装置、その制御方法及び制御プログラム |
-
2000
- 2000-09-27 JP JP2000295020A patent/JP2002107409A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009139156A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Ueno Seiki Kk | 電子部品測定装置、その制御方法及び制御プログラム |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041001 |
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