JP2002100813A - 波長変換ペースト材料と半導体発光装置、及びその製造方法 - Google Patents

波長変換ペースト材料と半導体発光装置、及びその製造方法

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JP2002100813A JP2000288379A JP2000288379A JP2002100813A JP 2002100813 A JP2002100813 A JP 2002100813A JP 2000288379 A JP2000288379 A JP 2000288379A JP 2000288379 A JP2000288379 A JP 2000288379A JP 2002100813 A JP2002100813 A JP 2002100813A
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electrode
emitting device
light
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Toshihide Maeda
俊秀 前田
Takashi Obayashi
孝志 大林
Kazunori Menya
和則 面屋
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フリップチップ型の発光素子の主光取り出し
面からの光を白色に波長変換する波長変換材料と半導体
発光装置、及びその製造方法の提供。 【解決手段】 Siダイオード素子2の上に導通搭載し
たフリップチップ型のLED素子1とを備え、Siダイ
オード素子2を受け皿として、LED素子1の周りをこ
のLED素子1の光の波長変換のための波長変換材料を
含有した波長変換材料層で覆い、発光素子1のサファイ
ア基板1aの上面の光取り出し面と波長変換材料層16
の外郭面との一方または両方をSiダイオード素子2の
裏面電極形成面と平行として、主光取り出し面の上の波
長変換材料層16を一様とし、LED素子1の主光取り
出し面からの光を一様に波長変換して長期的に色度むら
のない発光を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光透過性基板上に
形成された半導体膜で構成される発光ダイオード、発光
レーザーダイオードなどの発光素子とこの発光素子の発
光波長を他の波長に変換する蛍光物質又は発光波長を一
部吸収するフィルター物質を含有した波長変換ペースト
材料と半導体発光装置及びその製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】青色発光の発光ダイオード(以下「LE
Dと略す」)は、近来になって、GaN、GaAlN,
InGaN及びInAlGaN等のGaN系化合物半導
体を利用することによって発光輝度の高い製品が得られ
るようになった。そして、この青のLEDと旧来からの
赤、緑発光のLEDとの組み合わせにより、これらのL
EDの3個を1ドットとする高画質のフルカラー画像の
形成が可能となった。
【0003】LEDの分野では、フルカラー対応には光
の三原色の赤、緑、青が必要であるから、これらの発光
色のLEDより一層の開発と改良が主である。その一方
で、たとえば赤、緑、青の合成によってしか得られない
白色発光を単一のLEDで達成しようとする試みも既に
為されている。このような試みの一つとして、たとえば
特開平7−99345号公報に開示されたものがある。
【0004】この公報に記載のLEDは、図9の概略図
に示すようにいわゆるLEDランプのタイプとしたもの
であり、二股状のリードフレーム80a,80bの一方
のリードフレーム80aに形成したすり鉢状の光反射カ
ップ80cを形成し、この光反射カップ80cの上にG
aNのLED素子60が搭載されている。LED素子6
0は接着剤81によって光反射カップ80cの上に固定
されるサファイア基板61にGaN系化合物半導体を積
層したもので、上端にはn電極68及びp電極69を形
成し、これらの電極68,69をそれぞれリードフレー
ム80a,80bにワイヤー82a,82bによりボン
ディングされている。そして、LED素子60の全体を
含むように波長変換用の蛍光物質84を樹脂に混入した
蛍光物質層83を充填して封止し、ワイヤー82a,8
2bを含んでエポキシ樹脂85で封止している。
【0005】このような波長変換用の蛍光物質84を含
む樹脂の蛍光物質層83でLED素子60を封止するこ
とで、LED素子60からの青色発光の波長が蛍光物質
84によって変えられ、高輝度のGaN系化合物半導体
を利用した青色のLED素子60を白色発光のデバイス
として使えるようにする。すなわち、GaN系化合物半
導体を利用した青色発光のLED素子60の場合では、
それ自身の青色発光の成分と、蛍光物質層83の樹脂に
含まれた蛍光物質84によって波長変換された黄緑色の
成分との混色によって白色発光が得られる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】LEDランプの場合で
は、LED素子60を搭載する光反射カップ80cの内
面を光反射面として利用するので、図示の例のように光
反射カップ80cをすり鉢状とすることが有効である。
ところが、光反射カップ80cがすり鉢状であると、図
10に示すように、LED素子60の発光方向と側面方
向の蛍光物質層83の厚さが異なる場合が多い。なお、
Aは波長変換層の発光素子の発光方向の厚みを示し、B
は波長変換層の発光素子の側面方向の厚みを示してい
る。
【0007】これらの厚さの相違は光反射カップ80c
の形状やLED素子60の大きさ及び蛍光物質層83の
樹脂の充填厚さ等によって様々に変わる。このため、こ
れらの条件を最適化できれば、LED素子60の周りの
全方向で蛍光物質層83の樹脂の層厚を均一にすること
はできる。
【0008】しかしながら、蛍光物質84を含む蛍光物
質層83の樹脂はディスペンサーによって光反射カップ
80cに注入されるので、その厚さを高精度で制御する
ことは非常に難しく、LED素子60の周りの蛍光物質
層83の樹脂の厚さを均一化することは現状では不可能
である。
【0009】LED素子60の周りの蛍光物質層83の
樹脂の厚さが異なると、厚さが大きいほどLED素子6
0からの青色発光が黄緑色に変換される割合も高くな
る。このため、LED素子60の発光方向では良好な白
色が得られても、側面方向では黄緑色の成分が白色を上
回る場合がある。したがって、光反射カップ80cの底
面及び内周面を反射面とする発光なので、中央部では白
色が占め、周辺部では黄色味を帯びた発光となってしま
う。
【0010】このように蛍光物質84を含む蛍光物質層
83のLED素子60に対する全方向の厚さを均一にで
きないことに起因して、純粋な白色光が得られない。す
なわち、青色発光を蛍光物質84によって黄緑色に変換
して本来の青色発光との混色により白色を得るので、L
ED素子60に対する蛍光物質層83の層厚を最適化し
ないかぎり、純粋な白色光は得られない。
【0011】また、蛍光物質層83の樹脂を光反射カッ
プ80cに注入したとき、硬化後の蛍光物質層83に含
まれる蛍光物質84の量の分布が一様でないと、白色発
光の中に黄色の発光が混在することにもなる。すなわ
ち、LED素子60からの光路はその発光方向に三次元
的に広がっているので、蛍光物質84の充填量にばらつ
きがあれば、波長変換度も相違してくるので、黄色の発
光を含むものとなり、純粋な白色光は得られない。
【0012】さらに、LED素子60周辺では強照射強
度の光線にさらされること、LED素子60の昇温や外
部環境からの加熱にもさらされることによって、蛍光体
を含有する樹脂の変色が発生し、光の取り出し効率の低
下や、色調のずれが発生する。
【0013】本発明は、光透過性基板上に形成された半
導体膜で構成される発光ダイオード、発光レーザーダイ
オードなどの発光素子と該発光素子の発光波長を他の波
長に変換する蛍光物質又は発光波長を一部吸収するフィ
ルター物質を含有した波長変換ペースト材料と半導体発
光装置及びその製造方法を提供することによって、たと
えば青色発光素子からの青色発光の分布と波長変換され
た黄緑色の分布とを均一化して純粋な白色の発光を得、
長期的に安定した色調と光取り出し効率が得られるよう
にすることを解決課題とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題解決の
ため、以下の手段を講じている。
【0015】上記課題は、請求項1及び2に記載の波長
変換ペースト材料にて解決される。また、この波長変換
ペースト材料の有利な構成及び製造方法は、請求項3か
ら11に記載されている。すなわち、請求項1及び2に
記載の極めて分散性が高く、波長変換層を形成するのに
最適な波長変換ペースト材料にて、請求項3から5に記
載の半導体発光装置において、発光素子の実装面を除く
全周囲を被覆し、前記波長変換ペースト材料で構成され
る層は前記発光素子の前記実装面を除く主光取り出し面
及び四方の側面の各面に対してそれぞれ平行な外郭面を
合成した外形としてなることを特徴とする。このような
構成では、波長変換ペースト材料中に波長変換材料が均
一に分散されることから、主光取り出し面及び側面から
放出される光のそれぞれについて波長変換度を均一化で
きるので、黄色味を帯びない純粋な白色発光が得られ
る。また、こうした半導体発光装置は、請求項6から1
1に記載の製造方法によって理想的な構成が得られる。
【0016】
【発明の実施の形態】請求項1に記載の発明は、発光素
子が発光した光によって励起され発光する波長変換材料
を含有するペースト材料であって、 1)波長変換材料 2)樹脂 3)硬化剤 4)チクソ性付与剤 5)表面改質剤 6)光安定剤 または 1)波長変換材料 2)樹脂 3)硬化剤 4)分散性付与剤 5)チクソ性付与剤 6)表面改質剤 7)光安定剤 で構成される波長変換ペースト材料である。
【0017】これにより、極めて分散性が高く、波長変
換材料層を形成するのに最適な波長変換ペースト材料が
得られる。
【0018】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の波長変換ペースト材料において、光安定剤がヒンダー
ドアミン系光安定剤であることを特徴とする波長変換ペ
ースト材料である。
【0019】これにより、青色発光素子からの青色発光
の分布と波長変換された黄緑色の分布とを均一化して純
粋な白色の発光を得、長期的に安定した色調と光取り出
し効率が得られるようになる。
【0020】請求項3に記載の発明は、光透過性の基板
上にn型半導体及びp型半導体層を積層し、前記光透過
性基板を上面に向けてこれを主光取り出し面とするとと
もに、下面にはn型半導体層及びp型半導体層に接続す
るn電極及びp電極が形成された発光素子と、前記発光
素子の下に重なる状態で配置され、前記発光素子と対峙
する面上に前記n電極とp電極とにそれぞれ電気的に接
続される第1の電極及び第2の電極を有し、それと反対
の面に裏面電極を有するサブマウント素子と、前記発光
素子の発光波長を他の波長に変換する請求項1または2
に記載の波長変換ペースト材料を備えるとともに、前記
波長変換ペースト材料が、前記サブマウント素子を受け
皿として、前記サブマウント素子の上に配置された前記
発光素子を覆うように塗布されていることを特徴とする
半導体発光装置である。
【0021】これにより、発光素子の下敷きとしてのサ
ブマウント素子が、波長変換材料やフィルター物質を含
む波長変換ペースト材料の受け皿となるために、光反射
カップや筐体の器の有無に関係無く、発光素子を覆うよ
うに波長変換ペースト材料を塗布できるという作用を有
する。
【0022】請求項4に記載の発明は、請求項3に記載
の半導体発光装置において、前記発光素子の主光取り出
し面とこの面上に塗布された波長変換ペースト材料の外
郭面のいずれか一方または両方が受け皿となるサブマウ
ント素子の裏面電極形成面とほぼ平行であることを特徴
とする半導体発光装置である。
【0023】これにより、発光素子の発光方向の全方位
に対して波長変換材料による波長変換度を均一化できる
ので、発光素子自体の発光色と波長変換された発光色と
の混色の発光が一様に得られる。
【0024】請求項5に記載の発明は、請求項3に記載
の半導体発光装置において、前記発光素子の主光取り出
し面上の前記波長変換ペースト材料の厚みがほぼ一定
で、その厚みが20〜110μmの範囲内であることを
特徴とする半導体発光装置である。
【0025】波長変換材料層を最適化することにより、
色むらのない良好な発光が得られる。
【0026】請求項6に記載の発明は、請求項3から5
に記載の半導体発光装置を用いた発光装置であって、リ
ードフレームまたはプリント配線基板のマウント部に前
記半導体発光装置のサブマウント素子の裏面電極を下に
して導電性ペーストを介して搭載し、前記半導体発光装
置のボンディングパッド領域と外部リードとをワイヤー
を介して接続し、前記半導体発光装置を含む前記リード
フレームの先端部またはプリント配線基板の上面を光透
過性の樹脂で封止したことを特徴とする半導体発光装置
である。
【0027】これにより、光反射カップや筐体の器の有
無に関わりなく、色度のバラツキの少ない様々なタイプ
の白色発光の発光装置が実現できる。
【0028】請求項7に記載の発明は、請求項6に記載
の半導体発光装置の製造方法であって、前記発光素子の
n電極及びp電極または前記サブマウント素子の第1の
電極及び第2の電極上にマイクロバンブを形成する工程
と、前記発光素子と前記サブマウント素子の対峙する電
極間を前記マイクロバンプを介して電気的に接続する工
程と、前記サブマウント素子を受け皿として、前記波長
変換ペースト材料が前記発光素子を覆うように塗布する
工程とを有する半導体発光装置の製造方法である。
【0029】これにより、マイクロバンプを用いたフリ
ップチップ接合工法に高さ制御機能を備えることは可能
であり、また波長変換ペースト材料の塗布工法に印刷法
を用いることも可能であるため、基準面であるサブマウ
ント素子の裏面電極形成面に前記発光素子の主光取り出
し面とこの面上に塗布された波長変換ペースト材料の外
郭面のいずれか一方または両方をほぼ平行にすることが
可能となる。
【0030】請求項8に記載の発明は、請求項7に記載
の半導体発光装置の製造方法において、前記発光素子の
p電極及びn電極またはサブマウント素子の第1の電極
及び第2の電極上に前記マイクロバンプとしてスタッド
バンプを形成する工程と、ウエハー状態の前記サブマウ
ント素子を下に置き、前記発光素子を電極形成面を下に
して、前記サブマウント素子の対峙する第1の電極及び
第2の電極上に位置合わせし、前記マイクロバンブを接
触させて溶着し、前記サブマウント素子上に前記発光素
子を固定するとともに、対峙する電極間を前記マイクロ
バンプを介して電気的に接続する工程と、前記サブマウ
ント素子を受け皿として、前記波長変換ペースト材料を
前記発光素子を覆うように塗布し硬化する工程と、前記
波長変換ペースト材料で被覆された前記発光素子と前記
サブマウント素子の一体化素子が形成された、前記ウエ
ハーをチップ単位に分割する工程と、チップ化された前
記一体化素子をリードフレームまたはプリント配線基板
などのマウント部に前記サブマウント素子の裏面電極を
下にして搭載し、導電性ペーストを介して電気的接続を
とりながら固定する工程と、前記サブマウント素子のボ
ンディングパッド領域と前記リードフレームまたはプリ
ント配線基板などのリード部間をワイヤーで搭載する工
程とを備えた半導体発光装置の製造方法である。
【0031】これにより、受け皿としてのサブマウント
素子をウエハーの形状で取り扱えるので、波長変換ペー
スト材料の塗布工程において、ウエハー単位にパターニ
ング可能な印刷法で行うことができ、狙いの色度でバラ
ツキの少ない発光装置の高精度で高効率な製造方法が実
現できる。
【0032】請求項9に記載の発明は、請求項7に記載
の半導体発光装置の製造方法において、前記発光素子の
p電極及びn電極またはサブマウント素子の第1の電極
及び第2の電極上に前記マイクロバンプとしてスタッド
バンプを形成する工程と、ウエハー状態の前記サブマウ
ント素子を下に置き、前記発光素子を電極形成面を下に
して、前記サブマウント素子の対峙する第1の電極及び
第2の電極上に位置合わせし、前記マイクロバンプを接
触させて溶着し、前記サブマウント素子上に前記発光素
子を固定するとともに、対峙する電極間を前記マイクロ
バンプを介して電気的に接続する工程と、前記サブマウ
ント素子を受け皿として、前記波長変換ペースト材料を
前記発光素子を覆うように塗布し硬化する工程と、前記
波長変換ペースト材料で被覆された前記発光素子と前記
サブマウント素子の一体化素子が形成された、前記ウエ
ハーに紫外線を照射し、波長変換ペースト材料をパター
ニングする工程と、前記波長変換ペースト材料で被覆さ
れた前記発光素子と前記サブマウント素子の一体化素子
が形成された前記ウエハーをチップ単位に分割する工程
と、チップ化された前記一体化素子をリードフレームま
たはプリント配線基板などのマウント部に前記サブマウ
ント素子の裏面電極を下にして搭載し、導電性ペースト
を介して電気的接続をとりながら固定する工程と、前記
サブマウント素子のボンディングパッド領域と前記リー
ドフレームまたはプリント配線基板などのリード部間を
ワイヤーで搭載する工程とを備えた半導体発光装置の製
造方法である。
【0033】これにより、受け皿としてのサブマウント
素子をウエハーの状態で取扱えるので、波長変換ペース
ト材料を印刷により塗布した後、フォトリソグラフィー
により、ウエハー単位にパターニング可能となり、狙い
の色度でバラツキの少ない発光装置の高精度で高効率な
製造方法が実現できる。
【0034】請求項10に記載の発明は、請求項9に記
載の半導体発光装置の製造方法であって、前記サブマウ
ント素子を受け皿として、前記波長変換ペースト材料を
前記発光素子を覆うように塗布する工程を、前記波長変
換ペースト材料の印刷により形成することを特徴とする
半導体発光装置の製造方法である。
【0035】これにより、狙いの色度でバラツキの少な
い発光装置の高精度で効率的な製造方法が実現できる。
【0036】請求項11に記載の発明は、請求項9に記
載の半導体発光装置の製造方法であって、前記サブマウ
ント素子を受け皿として、前記波長変換ペースト材料を
前記発光素子を覆うように塗布する工程を、前記波長変
換ペースト材料を転写することにより形成することを特
徴とする半導体発光装置の製造方法である。
【0037】これにより、狙いの色度でバラツキの少な
い発光装置の高精度で効率的な製造方法が実現できる。
【0038】以下、本発明の実施の形態について具体的
に説明する。
【0039】図1の(a)及び(b)は、本発明の一実
施の形態による半導体発光装置の断面図及び平面図であ
る。
【0040】本実施形態の特徴は、基準面であるSiダ
イオード素子2の裏面電極形成面に対し、青色発光のG
aNのLED素子1の主光取り出し面(光透過性基板の
天面)とこの面上に塗布された青色の光をその補色の光
に変換する波長変換材料を含有した波長変換ペースト材
料の外郭面(天面)の両方がこの外郭面のエッジ部を除
いてほぼ平行になっている点である。また、過電圧に弱
い青色GaNのLED素子1が、静電気保護機能を持つ
Siダイオード素子上にマイクロバンプを介して搭載接
合されている点と、GaNのLED素子1の発光波長を
他の波長に変換する波長変換材料を含有した波長変換ペ
ースト材料14が、Siダイオード素子2を受け皿とし
て、LED素子1を覆うように塗布されている。
【0041】図1(a)に示すように、Siダイオード
素子2上にGaNのLED素子1を重なる状態で搭載
し、LED素子1は、透光性のサファイア基板1aを上
面に向けてこれを主光取り出し面とするとともに、下面
にはp型半導体領域に接続するp電極5及びn型半導体
領域に接続するn電極6が形成されている。また、Si
ダイオード素子2は、LED素子1と対向する上面側に
p型半導体領域2bに接続する第1の対向電極であるp
電極7及びn型半導体領域2aに接続する第2のn電極
8を有し、下面にはn型半導体領域2aに接続する裏面
電極9が形成されている。Siダイオード素子2のp電
極7及びn電極8は、LED素子1のn電極6及びp電
極5に対向する配置で形成され、LED素子1のp電極
5とSiダイオード素子2のn電極8とはAuマイクロ
バンプ12を介して、GaNのLED素子1のn電極6
とSiダイオード素子2のp電極7とはAuマイクロバ
ンプ11を介してそれぞれ電気的に接続されているとと
もに、電極とマイクロバンブとの溶着によって固定され
ている。さらにp電極7上の一部にはボンディングパッ
ド部10が形成されており、裏面電極9とボンディング
パッド部10とで外部部材に接続されている構造となっ
ている。また、LED素子1の青色光をその補色の黄緑
色に変換する波長変換材料を含有した波長変換ペースト
材料が、Siダイオード素子2を受け皿として、LED
素子1を覆うように波長変換材料層16として塗布され
ている。波長変換ペースト材料、及び塗布方法の特に好
ましい実施形態においては以下のものがある。なお、1
7は絶縁膜である。
【0042】(第1の実施形態) 1)樹脂 水素添加型ビスフェノールA型エポキシ樹脂
13.4重量% 2)波長変換材料 YAG:Ce 65重量% 3)硬化剤 メチルヘキサヒドロフタル酸無水物 1
3.4重量% 4)チクソ性付与剤 高純度無水シリカ 8重量% 5)表面改質剤 シランカップリング剤 0.2重量% 6)光安定剤 ヒンダードアミン系光安定剤 0.1重
量% 上記材料を所定量配合し、自転公転型の混練機にて予備
混練を実施し、さらに3本ロールを用いて混練を行い、
波長変換ペースト材料とする。これにより、極めて分散
性が高く、波長変換材料層を形成するのに最適な波長変
換ペースト材料が得られる。
【0043】図2は、波長変換ペースト材料を印刷法を
利用して塗布するものである。Siダイオード素子2に
LED素子1を実装した後、予め作製しておいたメタル
マスク13をSiダイオード素子2の上に載せ、波長変
換ペースト材料14を印刷法によって塗布する。波長変
換ペースト材料14を塗布した後には、メタルマスク1
3を取り外し、熱硬化することによってLED素子を覆
うように塗布され、ダイシングによって半導体発光装置
の単体が得られる。
【0044】(第2の実施形態) 1)樹脂 水素添加型ビスフェノールF型エポキシ樹脂
13.4重量% 2)波長変換材料 YAG:Ce 65重量% 3)硬化剤 メチルヘキサヒドロフタル酸無水物 1
3.4重量% 4)チクソ性付与剤 高純度無水シリカ 8重量% 5)表面改質剤 シランカップリング剤 0.2重量% 6)光安定剤 ヒンダードアミン系光安定剤 0.1重
量% 上記材料を所定量配合し、自転公転型の混練機にて予備
混練を実施し、さらに3本ロールを用いて混練を行い、
波長変換ペースト材料とする。これにより、極めて分散
性が高く、波長変換材料層を形成するのに最適な波長変
換ペースト材料が得られる。
【0045】波長変換ペースト材料の塗布方法の例は、
第1の実施形態と同様である。
【0046】(第3の実施形態) 1)樹脂 水素添加型ビスフェノールA型エポキシ樹脂
13.4重量% 2)波長変換材料 YAG:Ce 65重量% 3)硬化剤 トリアルキドヘキサヒドロフタル酸無水物
13.4重量% 4)チクソ性付与剤 高純度無水シリカ 8重量% 5)表面改質剤 シランカップリング剤 0.2重量% 6)光安定剤 ヒンダードアミン系光安定剤 0.1重
量% 上記材料を所定量配合し、自転公転型の混練機にて予備
混練を実施し、さらに3本ロールを用いて混練を行い、
波長変換ペースト材料とする。これにより、極めて分散
性が高く、波長変換材料層を形成するのに最適な波長変
換ペースト材料が得られる。
【0047】波長変換ペースト材料の塗布方法の例は、
第1の実施形態と同様である。
【0048】(第4の実施形態) 1)樹脂 水素添加型ビスフェノールA型エポキシ樹脂
4.9重量% 2)波長変換材料 YAG:Ce 85重量% 3)硬化剤 メチルヘキサヒドロフタル酸無水物 4.
9重量% 4)チクソ性付与剤 高純度無水シリカ 3重量% 5)表面改質剤 シランカップリング剤 0.2重量% 6)分散性付与剤 ブチラール樹脂 2重量% 7)光安定剤 ヒンダードアミン系光安定剤 0.1重
量% 上記材料を所定量配合し、自転公転型の混練機にて予備
混練を実施し、さらに3本ロールを用いて混練を行い、
波長変換ペースト材料とする。これにより、極めて分散
性が高く、波長変換材料層を形成するのに最適な波長変
換ペースト材料が得られる。さらに波長変換材料の分散
性が高まり、上記波長変換ペースト材料を使用した半導
体発光装置はより純粋な白色を発光する。なお、ブチラ
ール樹脂は、ブチラール樹脂:10重量%、酢酸−2−
(2−n−ブトキシエトキシ)エチル:90重量%で予
めブチラール溶液を作製し、ブチラール溶液として配合
する。上記ブチラール樹脂は、固形分換算の配合量であ
る。波長変換ペースト材料の塗布方法の例は、第1の実
施形態と同様である。
【0049】(第5の実施形態) 1)樹脂 水素添加型ビスフェノールA型エポキシ樹脂
18.4重量% 2)波長変換材料 YAG:Ce 80重量% 3)硬化剤 芳香族スルホニウム塩 0.2重量% 4)チクソ性付与剤 高純度無水シリカ 0.3重量% 5)表面改質剤 シランカッブリング剤 0.1重量% 6)分散性付与剤 ブチラール樹脂 1重量% 7)光安定剤 ヒンダードアミン系光安定剤 0.1重
量% 上記材料を所定量配合し、自転公転型の混練機にて予備
混練を実施し、さらに3本ロールを用いて混練を行い、
波長変換ペースト材料とする。これにより、極めて分散
性が高く、波長変換材料層を形成するのに最適な波長変
換ペースト材料が得られる。さらに波長変換材料の分散
性が高まり、上記波長変換ペースト材料を使用した半導
体発光装置はより純粋な白色を発光する。また、波長変
換ペースト材料のポットライフが著しく伸びる。波長変
換ペースト材料の塗布方法の例は、第1の実施形態と同
様である。
【0050】(第6の実施形態)図3は波長変換ペース
ト材料を転写法を利用して塗布するものである。転写版
15の表面に波長変換ペースト材料14を予め塗布した
ものを準備し、GaNのLED素子1を実装したSiダ
イオード素子2を上下に反転した姿勢に保持する。次い
で、GaNのLED素子1が波長変換ペースト材料14
の中に浸漬されるようにSiダイオード素子2を転写版
15の上に被せ、その後Siダイオード素子2を引き上
げると同図の(c)のようにGaNのLED素子1が波
長変換ペースト材料14に覆われたものが得られる。そ
して、ダイシングの後半導体発光装置の単体が得られ
る。
【0051】(第7の実施形態) 1)樹脂 エポキシアクリレート樹脂 14.8重量% 2)波長変換材料 YAG:Ce 80.0重量% 3)硬化剤 ベンジルケタール 2.0重量% 4)チクソ性付与剤 高純度無水シリカ 3.0重量% 5)表面改質剤 シランカップリング剤 0.2重量% 6)光安定剤 ヒンダードアミン系光安定剤 0.1重
量% 上記材料を所定量配合し、自転公転型の混練機にて予備
混練を実施し、さらに三本ロールを用いて混練を行い、
波長変換ペースト材料とする。これにより、極めて分散
性が高く、波長変換材料層を形成するのに最適な波長変
換ペースト材料が得られる。図4は、フォトリソグラフ
ィ法を利用したものである。波長変換ペースト材料14
をGaNのLED素子1を実装したSiダイオード素子
2の表面に一様の厚さで塗布する。波長変換ペースト材
料14を塗布後、同図(b)のようにパターン形成用の
マスク18を被せて上から紫外線を照射し、LED素子
1を被覆する部分の波長変換ペースト材料14を硬化さ
せる。この後、現像工程に移して波長変換ペースト材料
14の不要な部分を除去し、ダイシングによって、半導
体発光装置の単体を得ることができる。
【0052】上記のような構成にすることにより、LE
DランプやチップLEDに用いるリードフレームや筐体
の配線基板の形状には関係なく、つまり、光反射カップ
や筐体の器の有無に関係なく、波長変換材料をLED素
子1を覆うように塗布した発光装置が実現できる。
【0053】前記構成のように、波長変換材料をLED
素子1が発する青色光を補色光に変換する蛍光物質を選
ぶことにより、青色のままで波長変換材料を透過した光
と、蛍光物質で青色の補色に変換された光とが混ざり合
って白色光が得られる。
【0054】また、前記LED素子1で発光される光は
サファイア基板1a側から上方に取り出される。そのた
め、LED素子1のp電極5には、従来のLED素子1
に形成されたような電流拡散用の透明電極は必要でな
く、電流拡散用の部材としては、厚膜のp電極5のみあ
ればよい。
【0055】(第8の実施形態)図5は本発明の別の実
施形態による半導体発光装置の縦断面図である。本実施
形態の特徴は、第1から第5の実施形態の半導体発光装
置において、白色発光の色度とそのバラツキを更に精度
良く制御するために、LED素子1の主光取り出し面と
この面上に塗布された波長変換材料層16の外郭面の一
方または両方を、受け皿となるSiダイオード素子2の
裏面電極形成面とほぼ平行にした点である。
【0056】図5の(a)は、波長変換材料層16の天
面を、また(b)は波長変換材料層16とLED素子1
のサファイア基板1aの天面の両方をSiダイオード素
子2の裏面電極9とほぼ平行にした場合である。すなわ
ち、Siダイオード素子2上に搭載されているLED素
子1のサファイア基板1aの天面上に青色の光を受けて
青色の補色を光を発する波長変換材料を含有した波長変
換ペースト材料による波長変換材料層16が被覆されて
いる。白色の光は、青色のままで波長変換材料層16を
透過した光と、波長変換材料層16で青色の補色に変換
された光とが混ざり合って得られるために、その色度
は、波長変換ペースト材料に含まれている波長変換材料
の含有率と波長変換ペースト材料の厚みDが重要な要素
になる。本発明者らは、ドミナント波長が465nmか
ら470nmのLED素子1を用いて波長変換材料層1
6中の波長変換材料の含有率と厚みDが色度座標(x,
y)にどのように関係するかを調べ、表1に示す結果を
得た。
【0057】
【表1】
【0058】表1から明らかなように、波長変換材料層
16の厚さDが20〜110μmであって、波長変換材
料の含有率が50〜90重量%のとき、白色(x=0.
25〜0.40、y=0.25〜0.40)の値に近似
した値の発光色が得られることがわかる。波長変換材料
の前記含有率の波長変換ペースト材料、例えば含有率5
0重量%のものを用いて色度座標(x,y)=(0.2
8,0.33)の発光色を得るには、波長変換材料層1
6の厚みDは、50μmに設定する必要がある。LED
素子1のサファイア基板1aの天面上に精度良く均一に
50μmの波長変換材料層16を形成するには、ウエハ
ー状のサブマウント素子であるSiダイオード素子2の
裏面電極9の形成面を基準面にして、ウエハー状のSi
ダイオード素子2上にサファイア基板1aの天面が基準
面と平行になるようにLED素子1を搭載接合し、その
上に波長変換材料層16を50μmの厚みでそれと平行
になるように印刷の方法で塗布する工法が最もコントロ
ールしやすい。この場合、波長変換材料層16の外郭面
のエッジ部に角が立つためにこれをなくすためと、波長
変換材料層の厚みDとをより精度良くするため、波長変
換ペースト材料を厚めに塗布しておき、基準面に平行に
研磨することにより制御する。このような方法であれば
任意の色度にコントロールすることも可能であるし、ウ
エハー面内でのバラツキも極めて小さくなる。また、図
5(a)に示すように基準面と平行にLED素子1を搭
載接合することが困難な場合もLED素子1のサファイ
ア基板1aの天面の中心から、波長変換材料層16の天
面までの厚みDを設定値50μmにすればよいし、ま
た、図5(b)のようにLED素子1をウエハーに搭載
後、基準面に平行になるように研磨工程を入れればよ
い。その結果として、図5(a)又は(b)のように白
色の色度およびそのバラツキがコントロールされた半導
体発光装置は、LED素子1のサファイア基板1aの天
面とこの面上に塗布された波長変換材料層16の外郭面
の一方または両方がサブマウント素子の裏面電極形成面
とほぼ平行になっている。
【0059】また、本実施形態でLED素子1がSiC
基板を用いたものの場合は、静電気に強いので、Siダ
イオード素子2を補助素子に置き換えてもよい。
【0060】(第9の実施形態)図6及び図7は、本発
明のさらに別の実施の形態による発光装置の断面図であ
る。本実施形態は、前記半導体発光装置を用いた白色L
EDランプ及び白色チップLEDである。
【0061】図6に示す白色LEDランプは、反射カッ
プ50cを持つリードフレーム50a先端のダイパッド
上に、白色発光の半導体発光装置Wが、Siダイオード
素子2の下面の裏面電極9をダイパッドに接触させなが
ら、Agペースト51によりダイスボンディングされ、
更に、Siダイオード素子2のp電極のボンディングパ
ッド部10とリードフレーム50bとが、Auワイヤー
52により接続されている。リードフレーム50aのダ
イパッド側面には光を上方に反射させるための反射カッ
プ50cが取り付けられている。リードフレーム50
a,50bの先端部分全体が光透過性のエポキシ樹脂5
3でモールドされて、LEDランプが構成されている。
【0062】また、第4の実施形態の配合、及び第4の
実施形態の配合から光安定剤を除いた配合にて図6に示
すような砲弾型のLEDを作製し、その信頼性について
調べ、表2に示す結果を得た。
【0063】
【表2】
【0064】表2から明らかなように、光安定剤を配合
することによって、長期的に安定した光取り出し効率が
得られることがわかる。
【0065】図7に示す白色チップLEDは、絶縁性基
板55にリード55a,55bが形成され、一方のリー
ド55aの上に白色発光の半導体発光装置Wが、Siダ
イオード素子2下面の裏面電極9を下にして搭載され、
Agペースト56により導通固定され、更にSiダイオ
ード素子2のp電極のボンディングパッド部10と他方
のリード55bとが、Auワイヤー57により接続され
ている。そして、半導体発光装置W及びAuワイヤー5
7を含んだボンディングエリア全体を透明なエポキシ樹
脂58でモールドされて、チップLEDが構成されてい
る。
【0066】このようなチップLEDの分野では、リー
ド55a,55bから透明なエポキシ樹脂58の上端ま
での厚さTを薄くすることが、薄型化による実装容積の
低減の点から重要な要素であるが、白色発光の場合、筐
体の器を形成するタイプのチップLEDに比べ、半導体
発光装置Wを用いる形態のほうが、薄型化が可能であり
優位性を持つ。なお、本実施の形態でSiダイオード素
子2を補助素子に置き換えてもよい。
【0067】(第10の実施形態)図8は、本発明の一
実施の形態による発光装置の製造方法であり、この実施
形態の製造方法の特徴は、マイクロバンプをウエハー状
のSiダイオード素子2の上面のp電極7及びn電極8
上にスタッドバンブで形成すること、及びチップ化され
たGaNのLED素子1をウエハー状のSiダイオード
素子2上にチップ接合を行い、Siウエハー3の状態で
波長変換材料を含有した波長変換ペースト材料をLED
素子1を覆うように塗布する点である。
【0068】素子プロセスにより、LED素子1を製造
する。このLED素子1は、前記したようにサファイア
基板1aの上面の上に、GaN系化合物半導体を積層し
た量子井戸構造で、サファイア基板1aと反対の面上に
Alよりなるn電極6とAgとTiとAuよりなるp電
極5が形成されている。GaNのLED素子1は、ウエ
ハーの状態でシートに張り付け、チップ単位にブレイク
後、ピックアップしやすいようにシートをエキスパンド
している。図8はこの状態から記述されている。
【0069】一方、Siウエハー3に、図8に示すSi
ダイオード素子2を行列状に形成し、その上面のp電極
7及びn電極8上にスタッドバンプ形成法でマイクロバ
ンプ11,12を形成する。次にボンダー20でLED
素子1を電極形成面を下にしてピックアップし、前記S
iダイオード素子2の対向する電極7,8に位置合わせ
をし、マイクロバンブ11,12を接触させながら熱、
超音波、荷重を組み合わせて加え、前記マイクロバンプ
11,12を溶着させることにより、電気的接続をとり
ながら固定させる。このチップ接合のタクトは、LED
素子1の認識、搬送、位置合わせ、接合を約3秒以下で
行うことができる。また、この時の位置合わせ精度は、
15μm以下である。このチップ接合で、LED素子1
とSiダイオード素子2との間に15μmの隙間がで
き、ショート不良はほとんど発生しない。
【0070】その後、前記LED素子1とSiダイオー
ド素子2の一体化素子が形成された前記Siウエハー3
上に、波長変換材料を含有した波長変換材料層16をL
ED素子1を覆うように塗布する。この場合、Siダイ
オード素子2のボンディングパッド部を波長変換材料層
16で汚さないように印刷などのパターニング可能な方
法で行う。
【0071】次に、波長変換ペースト材料を塗布済みの
一体化素子が形成されたSiウエハー3をシートに張り
付け、ダイサー21によりチップ単位に分割し、半導体
発光装置Wのチップが形成される。
【0072】その後、半導体発光装置Wをリードフレー
ム50aのマウント部上に前記Siダイオード素子2の
裏面電極9を下にして、Agペースト51を介し、電気
的接続を取りながら固定し、前記Siダイオード素子2
のボンディングパッド部10と他方のリード50b間を
Auワイヤー52で接続した後、半導体発光装置Wを含
むリードフレーム50a,50bの先端部を光透過性の
エポキシ樹脂53でモールドし、白色LEDランプがで
きる。なお、前記実施の形態でリードフレームの代わり
に、絶縁性基板55と置き換えれば、白色チップLED
の製造方法となる。また、Siダイオード素子を補助素
子と置き換えてもよいし、スタッドバンブをメッキバン
プに置き換えてもよい。
【0073】
【発明の効果】本発明によれば、極めて分散性が高く、
波長変換層を形成するのに最適な波長変換ペースト材料
にて、発光素子の実装面を除く全周囲を被覆し、前記波
長変換ペースト材料で構成される層は前記発光素子の前
記実装面を除く主光取り出し面及び四方の側面の各面に
対してそれぞれ平行な外郭面を合成した外形としてなる
ことが可能となる。このような構成では、波長変換ペー
スト材料中に波長変換材料が均一に分散されることか
ら、主光取り出し面及び側面から放出される光のそれぞ
れについて波長変換度を均一化できるので、黄色味を帯
びない純粋な白色発光を得ることができ、さらに、光安
定剤を配合することによって、長期的に安定した色調と
光取り出し効率が得られる。
【0074】また、発光素子の下敷きとしてのサブマウ
ント部材が、波長変換材料を含む波長変換ペースト材料
の受け皿となるために、光反射カップや筐体の器の有無
に関係なく、発光素子を覆うように波長変換ペースト材
料を塗布できる構造となる。
【0075】また、GaNのLED素子のごとく、絶縁
性基板上に形成されたp型半導体領域及びn型半導体領
域を有する発光素子に対して、そのp型半導体領域とn
型半導体領域との間に高電圧が印加されたときに両半導
体領域をバイパスして電流を流すためのダイオード素子
などの静電気保護素子を並列接続させておく構造とした
ので、絶縁基板上に形成されながらも静電気などによる
破壊を防止する機能を持った信頼性の高い半導体発光装
置を提供することができる。
【0076】さらに、発光素子と静電気保護素子との電
気的接続状態や、発光素子からの光の取り出し手段を工
夫することで、発光装置の小型化や光の取り出し効率の
向上を、また、放熱についても改善された構造となる。
【0077】さらに、白色発光の色度とそのバラツキを
制御するために、GaNのLED素子の主光取り出し面
とこの面上に塗布された波長変換ペースト材料の外郭面
を、受け皿となるサブマウント素子の裏面電極形成面を
基準面にして研磨し、ほぼ平行とすることにより、希望
する色度の白色発光の半導体発光装置及び白色発光装置
を歩留まり良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係る半導体発光装置の断面図
及び平面図
【図2】第1の実施形態の、波長変換ペースト材料の塗
布方法を示すフローチャート
【図3】第6の実施形態の製造方法を示すフローチャー
【図4】第7の実施形態の製造方法を示すフローチャー
【図5】第8の実施形態の半導体発光装置の断面図
【図6】第9の実施形態の白色LEDランプの断面図
【図7】第9の実施形態の白色チップLEDの断面図
【図8】第10の実施形態の半導体発光装置及び発光装
置の製造方法を示すフローチャート
【図9】従来の白色LEDランプの縦断面図
【図10】従来の白色LEDランプの断面図
【符号の説明】
1 LED素子(発光素子) 1a サファイア基板 2 Siダイオード素子(静電気保護素子) 2a n型半導体領域 2b p型半導体領域 3 Siウエハー 5 p電極 6 n電極 7 p電極 8 n電極 9 裏面電極 10 ボンディングパッド部 11,12 マイクロバンブ 13 メタルマスク 14 波長変換ペースト材料 15 転写版 16 波長変換材料層 17 絶縁膜 18 マスク 20 ボンダー 21 ダイサー 50a,50b リードフレーム 51 Agペースト 52 Auワイヤー 53 エポキシ樹脂 55 絶縁性基板(プリント配線基板) 55a,55b リード 56 Agペースト 57 Auワイヤー 58 エポキシ樹脂 60 LED素子 61 サファイア基板 68 n電極 69 p電極 80a,80b リードフレーム 80c 光反射カップ 81 接着剤 82a,82b ワイヤー 83 蛍光物質層 84 蛍光物質 85 エポキシ樹脂 D 波長変換層の層の厚み W 半導体発光装置 T 厚さ A 波長変換層の発光素子の発光方向の厚み B 波長変換層の発光素子の側面方向の厚み
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 25/16 H01L 21/92 604J // C08K 5/00 23/30 F C08L 101/00 (72)発明者 面屋 和則 鹿児島県日置郡伊集院町大字徳重字前田平 1786番地の6 鹿児島松下電子株式会社内 Fターム(参考) 4J002 AA001 CD001 CD191 DJ018 EL137 EX009 FD040 FD147 FD206 FD208 GQ05 4M109 AA01 BA07 CA10 EA01 EB02 EC20 GA01 5F041 AA14 AA41 CA40 CA46 CA76 DA07 DA09 DA18 DA20 DA43 DA83 DB01 DB09 EE25 5F061 AA01 BA07 CA10 CB13 FA01

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光素子が発光した光によって励起され
    発光する波長変換材料を含有するペースト材料であっ
    て、 1)波長変換材料 2)樹脂 3)硬化剤 4)チクソ性付与剤 5)表面改質剤 6)光安定剤 または 1)波長変換材料 2)樹脂 3)硬化剤 4)分散性付与剤 5)チクソ性付与剤 6)表面改質剤 7)光安定剤 で構成される波長変換ペースト材料。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の波長変換ペースト材料
    において、光安定剤がヒンダードアミン系光安定剤であ
    ることを特徴とする波長変換ペースト材料。
  3. 【請求項3】 光透過性の基板上にn型半導体及びp型
    半導体層を積層し、前記光透過性基板を上面に向けてこ
    れを主光取り出し面とするとともに、下面にはn型半導
    体層及びp型半導体層に接続するn電極及びp電極が形
    成された発光素子と、前記発光素子の下に重なる状態で
    配置され、前記発光素子と対峙する面上に前記n電極と
    p電極とにそれぞれ電気的に接続される第1の電極及び
    第2の電極を有し、それと反対の面に裏面電極を有する
    サブマウント素子と、前記発光素子の発光波長を他の波
    長に変換する請求項1または2に記載の波長変換ぺース
    ト材料を備えるとともに、前記波長変換ペースト材料
    が、前記サブマウント素子を受け皿として、前記サブマ
    ウント素子の上に配置された前記発光素子を覆うように
    塗布されていることを特徴とする半導体発光装置。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の半導体発光装置におい
    て、前記発光素子の主光取り出し面とこの面上に塗布さ
    れた波長変換ペースト材料の外郭面のいずれか一方また
    は両方が受け皿となるサブマウント素子の裏面電極形成
    面とほぼ平行であることを特徴とする半導体発光装置。
  5. 【請求項5】 請求項3に記載の半導体発光装置におい
    て、前記発光素子の主光取り出し面上の前記波長変換ペ
    ースト材料の厚みがほぼ一定で、その厚みが20〜11
    0μmの範囲内であることを特徴とする半導体発光装
    置。
  6. 【請求項6】 請求項3から5に記載の半導体発光装置
    を用いた発光装置であって、リードフレームまたはプリ
    ント配線基板のマウント部に前記半導体発光装置のサブ
    マウント素子の裏面電極を下にして導電性ペーストを介
    して搭載し、前記半導体発光装置のボンディングパッド
    領域と外部リードとをワイヤーを介して接続し、前記半
    導体発光装置を含む前記リードフレームの先端部または
    プリント配線基板の上面を光透過性の樹脂で封止したこ
    とを特徴とする半導体発光装置。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の半導体発光装置の製造
    方法であって、前記発光素子のn電極及びp電極または
    前記サブマウント素子の第1の電極及び第2の電極上に
    マイクロバンプを形成する工程と、前記発光素子と前記
    サブマウント素子の対峙する電極間を前記マイクロバン
    プを介して電気的に接続する工程と、前記サブマウント
    素子を受け皿として、前記波長変換ペースト材料が前記
    発光素子を覆うように塗布する工程とを有する半導体発
    光装置の製造方法。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の半導体発光装置の製造
    方法において、前記発光素子のp電極及びn電極または
    サブマウント素子の第1の電極及び第2の電極上に前記
    マイクロバンプとしてスタッドバンプを形成する工程
    と、ウエハー状態の前記サブマウント素子を下に置き、
    前記発光素子を電極形成面を下にして、前記サブマウン
    ト素子の対峙する第1の電極及び第2の電極上に位置合
    わせし、前記マイクロバンプを接触させて溶着し、前記
    サブマウント素子上に前記発光素子を固定するととも
    に、対峙する電極間を前記マイクロバンプを介して電気
    的に接続する工程と、前記サブマウント素子を受け皿と
    して、前記波長変換ペースト材料を前記発光素子を覆う
    ように塗布し硬化する工程と、前記波長変換ペースト材
    料で被覆された前記発光素子と前記サブマウント素子の
    一体化素子が形成された、前記ウエハーをチップ単位に
    分割する工程と、チップ化された前記一体化素子をリー
    ドフレームまたはプリント配線基板などのマウント部に
    前記サブマウント素子の裏面電極を下にして搭載し、導
    電性ペーストを介して電気的接続をとりながら固定する
    工程と、前記サブマウント素子のボンディングパッド領
    域と前記リードフレームまたはプリント配線基板などの
    リード部間をワイヤーで搭載する工程とを備えた半導体
    発光装置の製造方法。
  9. 【請求項9】 請求項7に記載の半導体発光装置の製造
    方法において、前記発光素子のp電極及びn電極または
    サブマウント素子の第1の電極及び第2の電極上に前記
    マイクロバンプとしてスタッドバンブを形成する工程
    と、ウエハー状態の前記サブマウント素子を下に置き、
    前記発光素子を電極形成面を下にして、前記サブマウン
    ト素子の対峙する第1の電極及び第2の電極上に位置合
    わせし、前記マイクロバンプを接触させて溶着し、前記
    サブマウント素子上に前記発光素子を固定するととも
    に、対峙する電極間を前記マイクロバンプを介して電気
    的に接続する工程と、前記サブマウント素子を受け皿と
    して、前記波長変換ペースト材料を前記発光素子を覆う
    ように塗布し硬化する工程と、前記波長変換ペースト材
    料で被覆された前記発光素子と前記サブマウント素子の
    一体化素子が形成された、前記ウエハーに紫外線を照射
    し、波長変換ペースト材料をパターニングする工程と、
    前記波長変換ペースト材料で被覆された前記発光素子と
    前記サブマウント素子の一体化素子が形成された前記ウ
    エハーをチップ単位に分割する工程と、チップ化された
    前記一体化素子をリードフレームまたはプリント配線基
    板などのマウント部に前記サブマウント素子の裏面電極
    を下にして搭載し、導電性ペーストを介して電気的接続
    をとりながら固定する工程と、前記サブマウント素子の
    ボンディングパッド領域と前記リードフレームまたはプ
    リント配線基板などのリード部間をワイヤーで搭載する
    工程とを備えた半導体発光装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の半導体発光装置の製
    造方法であって、前記サブマウント素子を受け皿とし
    て、前記波長変換ペースト材料を前記発光素子を覆うよ
    うに塗布する工程を、前記波長変換ペースト材料の印刷
    により形成することを特徴とする半導体発光装置の製造
    方法。
  11. 【請求項11】 請求項9に記載の半導体発光装置の製
    造方法であって、前記サブマウン卜素子を受け皿とし
    て、前記波長変換ペースト材料を前記発光素子を覆うよ
    うに塗布する工程を、前記波長変換ペースト材料を転写
    することにより形成することを特徴とする半導体発光装
    置の製造方法。
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