JP2002093355A - Ｘ線管ターゲットおよびその製造方法 - Google Patents
Ｘ線管ターゲットおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターゲット層１２で発生した熱の冷却効率を
向上させる。 【解決手段】 金属材料からなる基台１０とターゲット
層１２の間に熱拡散層１１を形成して、電子の衝突によ
りターゲット層に発生した熱をこの熱拡散層１１で拡散
して伝導する。微少面積（焦点）の電子の照射によって
ターゲット層１２の局所に発生した熱も熱拡散層１１で
拡散されることにより基台１０の一部に滞留することが
なくなり、迅速な冷却が可能となる。熱拡散層１１は、
少なくとも基台を形成する金属材料よりも熱伝導率の高
い超硬材料か、または少なくとも基台を形成する金属材
料よりも熱伝導率の高い粒状または粉状の超硬材料を含
む熱拡散材料で構成することが好ましい。
向上させる。 【解決手段】 金属材料からなる基台１０とターゲット
層１２の間に熱拡散層１１を形成して、電子の衝突によ
りターゲット層に発生した熱をこの熱拡散層１１で拡散
して伝導する。微少面積（焦点）の電子の照射によって
ターゲット層１２の局所に発生した熱も熱拡散層１１で
拡散されることにより基台１０の一部に滞留することが
なくなり、迅速な冷却が可能となる。熱拡散層１１は、
少なくとも基台を形成する金属材料よりも熱伝導率の高
い超硬材料か、または少なくとも基台を形成する金属材
料よりも熱伝導率の高い粒状または粉状の超硬材料を含
む熱拡散材料で構成することが好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子銃から発射
された電子の衝突に応じてＸ線を発生するＸ線管ターゲ
ットとその製造方法に関する。
された電子の衝突に応じてＸ線を発生するＸ線管ターゲ
ットとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のとおり、Ｘ線回折装置をはじめと
する各種Ｘ線利用装置のＸ線源に用いられるＸ線管は、
電子銃に対向してＸ線管ターゲット（対陰極）を配置
し、電子銃から発射された電子をＸ線管ターゲットの表
面に衝突させることにより、該Ｘ線管ターゲットの表面
からＸ線を発生させる構造となっている。
する各種Ｘ線利用装置のＸ線源に用いられるＸ線管は、
電子銃に対向してＸ線管ターゲット（対陰極）を配置
し、電子銃から発射された電子をＸ線管ターゲットの表
面に衝突させることにより、該Ｘ線管ターゲットの表面
からＸ線を発生させる構造となっている。
【０００３】図８は従来のＸ線管ターゲットを示す断面
図である。同図に示すＸ線管ターゲットは、基台４０が
軸Ｏを中心に高速回転する回転ターゲットと称する構造
のものであり、基台４０の表面に電子の衝突に応じてＸ
線を発生するターゲット層４１が形成されている。
図である。同図に示すＸ線管ターゲットは、基台４０が
軸Ｏを中心に高速回転する回転ターゲットと称する構造
のものであり、基台４０の表面に電子の衝突に応じてＸ
線を発生するターゲット層４１が形成されている。
【０００４】このターゲット層４１に電子が衝突すると
同層４１は発熱する。電子銃の出力を上げればターゲッ
ト層４１から発生するＸ線量も増大して高い強度のＸ線
を得られるが、それに伴いターゲット層４１の発熱量も
上昇する。そして、ターゲット層４１の温度が同層４１
を形成する金属材料の融点を超えた場合には、同層４１
が溶融してＸ線管ターゲットの損壊につながる。したが
って、高い強度のＸ線を発生させるためには、ターゲッ
ト層４１を効率的に冷却することが必要となる。
同層４１は発熱する。電子銃の出力を上げればターゲッ
ト層４１から発生するＸ線量も増大して高い強度のＸ線
を得られるが、それに伴いターゲット層４１の発熱量も
上昇する。そして、ターゲット層４１の温度が同層４１
を形成する金属材料の融点を超えた場合には、同層４１
が溶融してＸ線管ターゲットの損壊につながる。したが
って、高い強度のＸ線を発生させるためには、ターゲッ
ト層４１を効率的に冷却することが必要となる。
【０００５】従来のＸ線管ターゲットは、基台４０を銅
合金や銀合金等の熱伝導率の良好な金属材料で形成する
とともに、基台４０の裏面側に配管４２，４３を介して
冷却水を循環させることにより、電子の衝突時に発生す
る熱を吸収してターゲット層４１を冷却するようにして
いた。
合金や銀合金等の熱伝導率の良好な金属材料で形成する
とともに、基台４０の裏面側に配管４２，４３を介して
冷却水を循環させることにより、電子の衝突時に発生す
る熱を吸収してターゲット層４１を冷却するようにして
いた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一方、電子銃は少ない
出力で高密度の電子をターゲット層に集中して照射する
ために、その焦点は微小面積に設定されている。例え
ば、Ｘ線回折装置のＸ線源に用いられるＸ線管では、
０．５ｍｍ×１０ｍｍまたは０．１ｍｍ×１ｍｍといっ
た微小焦点の電子銃が一般に用いられている。そのた
め、ターゲット層４１は局所的に電子が衝突して高熱を
発生する。このように局所的に発生した熱は、基台４０
の内部に滞留し易く、冷却された基台４０の裏面側まで
迅速に伝わっていかないという問題があった。本発明は
このような事情に鑑みてなされたもので、ターゲット層
で発生した熱の冷却効率を向上させることにより、いっ
そう高強度のＸ線を取り出し可能とすることを目的とす
る。
出力で高密度の電子をターゲット層に集中して照射する
ために、その焦点は微小面積に設定されている。例え
ば、Ｘ線回折装置のＸ線源に用いられるＸ線管では、
０．５ｍｍ×１０ｍｍまたは０．１ｍｍ×１ｍｍといっ
た微小焦点の電子銃が一般に用いられている。そのた
め、ターゲット層４１は局所的に電子が衝突して高熱を
発生する。このように局所的に発生した熱は、基台４０
の内部に滞留し易く、冷却された基台４０の裏面側まで
迅速に伝わっていかないという問題があった。本発明は
このような事情に鑑みてなされたもので、ターゲット層
で発生した熱の冷却効率を向上させることにより、いっ
そう高強度のＸ線を取り出し可能とすることを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、金属材料からなる基台にターゲット層を
設けたＸ線管ターゲットにおいて、電子の衝突によりタ
ーゲット層に発生した熱を拡散する熱拡散層を形成した
ことを特徴とする（請求項１）。
に、本発明は、金属材料からなる基台にターゲット層を
設けたＸ線管ターゲットにおいて、電子の衝突によりタ
ーゲット層に発生した熱を拡散する熱拡散層を形成した
ことを特徴とする（請求項１）。
【０００８】微少面積（焦点）の電子の照射によってタ
ーゲット層の局所に発生した熱も熱拡散層により拡散さ
れて基台の一部に滞留することがなくなり、迅速な冷却
が可能となる。
ーゲット層の局所に発生した熱も熱拡散層により拡散さ
れて基台の一部に滞留することがなくなり、迅速な冷却
が可能となる。
【０００９】熱拡散層は、少なくとも基台を形成する金
属材料よりも熱伝導率の高い超硬材料か、または少なく
とも基台を形成する金属材料よりも熱伝導率の高い粒状
または粉状の超硬材料を含む熱拡散材料で構成すること
が好ましい（請求項２，４）。
属材料よりも熱伝導率の高い超硬材料か、または少なく
とも基台を形成する金属材料よりも熱伝導率の高い粒状
または粉状の超硬材料を含む熱拡散材料で構成すること
が好ましい（請求項２，４）。
【００１０】基台を形成する金属材料も、銅合金や銀合
金等の熱伝導率の高い金属材料が用いられるが、超硬材
料の中にはこれらの金属材料よりもさらに熱伝導率の高
いものが存在する。例えば、ダイヤモンド、ダイヤモン
ドライクカーボン（ＤＬＣ）、キュービックボロンナイ
トライド（ＣＢＮ）は極めて熱伝導率が高く、本発明の
熱拡散層を形成する材料として好適である（請求項３，
５）。
金等の熱伝導率の高い金属材料が用いられるが、超硬材
料の中にはこれらの金属材料よりもさらに熱伝導率の高
いものが存在する。例えば、ダイヤモンド、ダイヤモン
ドライクカーボン（ＤＬＣ）、キュービックボロンナイ
トライド（ＣＢＮ）は極めて熱伝導率が高く、本発明の
熱拡散層を形成する材料として好適である（請求項３，
５）。
【００１１】このうち、ダイヤモンドライクカーボン
は、化学的気相成長法（ＣＶＤ）等の薄膜形成法をもっ
て成膜することができる。また、キュービックボロンナ
イトライドは、粒状または紛状の形態で提供される。な
お、上述した超硬材料と同等の熱伝導率および硬度を有
する超硬材料であれば、本発明の熱拡散層に適用するこ
とができることは勿論である。
は、化学的気相成長法（ＣＶＤ）等の薄膜形成法をもっ
て成膜することができる。また、キュービックボロンナ
イトライドは、粒状または紛状の形態で提供される。な
お、上述した超硬材料と同等の熱伝導率および硬度を有
する超硬材料であれば、本発明の熱拡散層に適用するこ
とができることは勿論である。
【００１２】本発明のＸ線管ターゲットは、例えば、次
の第１乃至第４の方法により製造することができる。す
なわち、第１の方法は、ターゲット層を形成する金属材
料の表面に、超硬材料の薄膜を気相合成して熱拡散層を
形成する工程と、熱拡散層の裏面を基台に接合する工程
と、を含む製造方法である（請求項６）。
の第１乃至第４の方法により製造することができる。す
なわち、第１の方法は、ターゲット層を形成する金属材
料の表面に、超硬材料の薄膜を気相合成して熱拡散層を
形成する工程と、熱拡散層の裏面を基台に接合する工程
と、を含む製造方法である（請求項６）。
【００１３】第２の方法は、ターゲット層を形成する金
属材料の裏面に熱拡散材料を配置し、これら各材料を加
熱圧縮することにより一体化するとともに熱拡散材料を
固める工程と、この工程により一体化した材料を、ター
ゲット層を外側にして基台へ接合する工程と、を含む製
造方法である（請求項７）。
属材料の裏面に熱拡散材料を配置し、これら各材料を加
熱圧縮することにより一体化するとともに熱拡散材料を
固める工程と、この工程により一体化した材料を、ター
ゲット層を外側にして基台へ接合する工程と、を含む製
造方法である（請求項７）。
【００１４】第３の方法は、基台を形成する金属材料の
外側に熱拡散材料を配置し、これら各材料を加熱圧縮す
ることにより一体化するとともに熱拡散材料を固める工
程と、この工程により一体化した材料の外側にターゲッ
ト層を形成する金属材料を配置し、それら各材料を加熱
圧縮することにより一体化する工程と、を含む製造方法
である（請求項８）。
外側に熱拡散材料を配置し、これら各材料を加熱圧縮す
ることにより一体化するとともに熱拡散材料を固める工
程と、この工程により一体化した材料の外側にターゲッ
ト層を形成する金属材料を配置し、それら各材料を加熱
圧縮することにより一体化する工程と、を含む製造方法
である（請求項８）。
【００１５】第４の方法は、基台を形成する金属材料の
外側に熱拡散材料を配置し、かつ熱拡散材料の外側にタ
ーゲット層を形成する金属材料を配置し、それら各材料
を加熱圧縮することにより一体化するとともに熱拡散材
料を固める工程を含む製造方法である（請求項９）。
外側に熱拡散材料を配置し、かつ熱拡散材料の外側にタ
ーゲット層を形成する金属材料を配置し、それら各材料
を加熱圧縮することにより一体化するとともに熱拡散材
料を固める工程を含む製造方法である（請求項９）。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実
施形態に係るＸ線管ターゲットの構成例を示す部分断面
図である。Ｘ線管ターゲットは、いわゆる回転ターゲッ
トまたは固定ターゲットの形態に構成され、基台１０の
一部に熱拡散層１１を介してターゲット層１２が接合さ
れている。基台１０は、熱伝導率の高い金属材料、例え
ば、銅合金や銀合金で形成してある。ターゲット層１２
は、電子の衝突によりＸ線を発生させるモリブデン、ク
ロム、タングステン、金、銀、銅、鉄等の金属材料で形
成してある。
いて図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実
施形態に係るＸ線管ターゲットの構成例を示す部分断面
図である。Ｘ線管ターゲットは、いわゆる回転ターゲッ
トまたは固定ターゲットの形態に構成され、基台１０の
一部に熱拡散層１１を介してターゲット層１２が接合さ
れている。基台１０は、熱伝導率の高い金属材料、例え
ば、銅合金や銀合金で形成してある。ターゲット層１２
は、電子の衝突によりＸ線を発生させるモリブデン、ク
ロム、タングステン、金、銀、銅、鉄等の金属材料で形
成してある。
【００１７】熱拡散層１１は、ターゲット層１２の裏面
に接しており、電子が衝突したときターゲット層１２に
発生する熱を拡散する機能を有している。図１（ａ）
（ｂ）に示す構成では、ダイヤモンド等の熱伝導率の高
い超硬材料からなる薄膜によって熱拡散層１１を形成し
てある。一方、図１（ｃ）（ｄ）に示す構成では、ダイ
ヤモンド等の熱伝導率の高い超硬材料の粒体または粉体
を含む層によって熱拡散層１１を形成してある。また、
図１（ａ）（ｃ）に示す構成は、熱拡散層１１を基台１
０とターゲット層１２の間に挟み込んであり、図１
（ｂ）（ｄ）に示す構成では、ターゲット層１２の裏面
に熱拡散層１１を形成するとともに、熱拡散層１１の周
縁部を基台１０に接合してある。
に接しており、電子が衝突したときターゲット層１２に
発生する熱を拡散する機能を有している。図１（ａ）
（ｂ）に示す構成では、ダイヤモンド等の熱伝導率の高
い超硬材料からなる薄膜によって熱拡散層１１を形成し
てある。一方、図１（ｃ）（ｄ）に示す構成では、ダイ
ヤモンド等の熱伝導率の高い超硬材料の粒体または粉体
を含む層によって熱拡散層１１を形成してある。また、
図１（ａ）（ｃ）に示す構成は、熱拡散層１１を基台１
０とターゲット層１２の間に挟み込んであり、図１
（ｂ）（ｄ）に示す構成では、ターゲット層１２の裏面
に熱拡散層１１を形成するとともに、熱拡散層１１の周
縁部を基台１０に接合してある。
【００１８】図２は本発明の実施形態に係るＸ線管ター
ゲットの第１の製造方法を示す工程図である。同図に示
す製造方法では、ターゲット層１２を形成する板状の金
属材料１２ａの表面に、超硬材料の薄膜を気相合成して
熱拡散層１１を形成し（同図（ａ））、この熱拡散層１
１の裏面を基台１０に接合している（同図（ｂ））。
ゲットの第１の製造方法を示す工程図である。同図に示
す製造方法では、ターゲット層１２を形成する板状の金
属材料１２ａの表面に、超硬材料の薄膜を気相合成して
熱拡散層１１を形成し（同図（ａ））、この熱拡散層１
１の裏面を基台１０に接合している（同図（ｂ））。
【００１９】超硬材料の薄膜を気相合成する手法として
は、各種の化学的気相成長法（ＣＶＤ）が適用できる。
この種の気相合成により得られる超硬材料の薄膜として
は、例えばダイヤモンド薄膜やダイヤモンドライクカー
ボン（ＤＬＣ）がある。これらの超硬材料からなる薄膜
は、熱伝導率が極めて高く、優れた熱拡散性能を示す。
なお、ダイヤモンドの気相合成は、３０〜２００Ｔｏｒ
ｒの高ガス圧で温度８００〜９００°Ｃの雰囲気下で行
われる。したがって、高ガス圧下でのプラズマ発生制御
や不純物の混入抑制、基板材料となるターゲット層１２
を形成する金属材料１２ａの耐熱性等に考慮が必要であ
る。
は、各種の化学的気相成長法（ＣＶＤ）が適用できる。
この種の気相合成により得られる超硬材料の薄膜として
は、例えばダイヤモンド薄膜やダイヤモンドライクカー
ボン（ＤＬＣ）がある。これらの超硬材料からなる薄膜
は、熱伝導率が極めて高く、優れた熱拡散性能を示す。
なお、ダイヤモンドの気相合成は、３０〜２００Ｔｏｒ
ｒの高ガス圧で温度８００〜９００°Ｃの雰囲気下で行
われる。したがって、高ガス圧下でのプラズマ発生制御
や不純物の混入抑制、基板材料となるターゲット層１２
を形成する金属材料１２ａの耐熱性等に考慮が必要であ
る。
【００２０】図２に示した製造方法では、固定ターゲッ
トの形態をした基台１０に、加熱圧縮やろう付け等の手
法をもってターゲット層１２を接合している。なお、加
熱圧縮をもって基台１０へ接合する場合には、接合され
る熱拡散層１１の裏面に接合剤としてのチタンをメッキ
または蒸着を施しておくことが好ましい。
トの形態をした基台１０に、加熱圧縮やろう付け等の手
法をもってターゲット層１２を接合している。なお、加
熱圧縮をもって基台１０へ接合する場合には、接合され
る熱拡散層１１の裏面に接合剤としてのチタンをメッキ
または蒸着を施しておくことが好ましい。
【００２１】図３は本発明の実施形態に係るＸ線管ター
ゲットの第２の製造方法を示す工程図である。同図に示
す製造方法は、ターゲット層１２を形成する金属材料１
２ａの裏面に熱拡散材料１１ａを配置して加熱圧縮する
工程（同図（ａ））と、この加熱圧縮工程によって得ら
れた塊からターゲット層１２と熱拡散層１１の積層体１
３を切り出す工程（同図（ｂ））と、切り出した積層体
１３を基台１０へ接合する工程（同図（ｃ））とから構
成されている。
ゲットの第２の製造方法を示す工程図である。同図に示
す製造方法は、ターゲット層１２を形成する金属材料１
２ａの裏面に熱拡散材料１１ａを配置して加熱圧縮する
工程（同図（ａ））と、この加熱圧縮工程によって得ら
れた塊からターゲット層１２と熱拡散層１１の積層体１
３を切り出す工程（同図（ｂ））と、切り出した積層体
１３を基台１０へ接合する工程（同図（ｃ））とから構
成されている。
【００２２】加熱圧縮の工程（同図（ａ））では、まず
加圧に耐えうる鉄製の容器２０の底部にターゲット層１
２を形成する板状の金属材料１２ａを配置し、その上に
熱拡散材料１１ａを充填する。熱拡散材料１１ａとして
は、ダイヤモンド粉を接合剤となる金属粉等と混合した
粉末材料が用いられる。接合剤となる金属粉としては、
チタン、銅、銀等があり、適宜の配合量でタイヤモンド
粉と混合する。
加圧に耐えうる鉄製の容器２０の底部にターゲット層１
２を形成する板状の金属材料１２ａを配置し、その上に
熱拡散材料１１ａを充填する。熱拡散材料１１ａとして
は、ダイヤモンド粉を接合剤となる金属粉等と混合した
粉末材料が用いられる。接合剤となる金属粉としては、
チタン、銅、銀等があり、適宜の配合量でタイヤモンド
粉と混合する。
【００２３】例えば、本発明者は、Ｃｕ＋Ｔｉ（１〜２
％）、Ｃｕ＋Ａｇ（５０％）＋Ｔｉ（１〜２％）、Ａｇ
＋Ｔｉ（２〜５％）の割合にそれぞれ混合した金属粉へ
直径５μｍ以下のダイヤモンド粉を、金属粉：ダイヤモ
ンド粉の割合を１０：１、１０：２の割合にそれぞれ混
合して各種の熱拡散材料１１ａを製作した。これらの熱
拡散材料１１ａを用いて後述する加熱圧縮を実施したと
ころ、いずれも好ましい冷却特性を有するＸ線管ターゲ
ットを製造することができた。
％）、Ｃｕ＋Ａｇ（５０％）＋Ｔｉ（１〜２％）、Ａｇ
＋Ｔｉ（２〜５％）の割合にそれぞれ混合した金属粉へ
直径５μｍ以下のダイヤモンド粉を、金属粉：ダイヤモ
ンド粉の割合を１０：１、１０：２の割合にそれぞれ混
合して各種の熱拡散材料１１ａを製作した。これらの熱
拡散材料１１ａを用いて後述する加熱圧縮を実施したと
ころ、いずれも好ましい冷却特性を有するＸ線管ターゲ
ットを製造することができた。
【００２４】ターゲット層１２を形成する金属材料１２
ａと熱拡散材料１１ａを充填した後、容器２０の開口部
を鉄製の蓋体２１によって閉塞するとともに、蓋体２１
と容器２０を溶接して一体化する。蓋体２１には、容器
２０内部の空気を排気するための吸引口２２が設けてあ
り、この吸引口２２を図示しない真空ポンプに連通さ
せ、容器２０の内部を真空びきする。これにより容器２
０の内部に存在していた空気を放出し、後に作用させる
圧力が容器２０内部の金属材料１２ａおよび熱拡散材料
１１ａへ均一に伝わるようにする。
ａと熱拡散材料１１ａを充填した後、容器２０の開口部
を鉄製の蓋体２１によって閉塞するとともに、蓋体２１
と容器２０を溶接して一体化する。蓋体２１には、容器
２０内部の空気を排気するための吸引口２２が設けてあ
り、この吸引口２２を図示しない真空ポンプに連通さ
せ、容器２０の内部を真空びきする。これにより容器２
０の内部に存在していた空気を放出し、後に作用させる
圧力が容器２０内部の金属材料１２ａおよび熱拡散材料
１１ａへ均一に伝わるようにする。
【００２５】充分な真空びきを行った後、吸引口２２を
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室内に挿入配置する。加圧装置としては、内部に
加熱手段を有するホットプレス装置を用いる。一般にＨ
ＩＰ(熱間均等加圧装置)と称されているホットプレス装
置を利用すれば、容器２０の周囲から充分な圧力を作用
させることができる。
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室内に挿入配置する。加圧装置としては、内部に
加熱手段を有するホットプレス装置を用いる。一般にＨ
ＩＰ(熱間均等加圧装置)と称されているホットプレス装
置を利用すれば、容器２０の周囲から充分な圧力を作用
させることができる。
【００２６】図４は上記ＨＩＰの構成を模式的に示した
図である。加圧室３０内には、ヒータ３１が設置してあ
り、コンピュータ制御によって加圧室３０内を所望の一
定温度に保持することができる。加圧室３０内の不純ガ
スは、排気管３２を介して吸引除去することができ、一
方、Ｎ２ガス等の不活性ガスをガス供給管３３を介して
加圧室３０内に充填することができるようになってい
る。
図である。加圧室３０内には、ヒータ３１が設置してあ
り、コンピュータ制御によって加圧室３０内を所望の一
定温度に保持することができる。加圧室３０内の不純ガ
スは、排気管３２を介して吸引除去することができ、一
方、Ｎ２ガス等の不活性ガスをガス供給管３３を介して
加圧室３０内に充填することができるようになってい
る。
【００２７】加圧室３０内に容器２０を挿入配置し、そ
の周囲から均等に圧力を加えるとともに、所定の温度に
加熱する。この加熱圧縮を適宜の時間継続することによ
り、熱拡散材料が焼結するとともに、熱拡散材料１１ａ
とターゲット層１２を形成する金属材料１２ａとが接合
して一体化する。
の周囲から均等に圧力を加えるとともに、所定の温度に
加熱する。この加熱圧縮を適宜の時間継続することによ
り、熱拡散材料が焼結するとともに、熱拡散材料１１ａ
とターゲット層１２を形成する金属材料１２ａとが接合
して一体化する。
【００２８】また、容器２０と蓋体２１も加熱圧縮の作
用によって金属材料１２ａおよび熱拡散材料１１ａと接
合してしまい一個の塊となる。そこで、この塊を機械加
工等によって切断または研削することにより、ターゲッ
ト層１２と熱拡散層１１の積層体１３を切り出す（図３
（ｂ））。熱拡散層１１は、熱拡散材料１１ａが焼結し
て形成されたものである。
用によって金属材料１２ａおよび熱拡散材料１１ａと接
合してしまい一個の塊となる。そこで、この塊を機械加
工等によって切断または研削することにより、ターゲッ
ト層１２と熱拡散層１１の積層体１３を切り出す（図３
（ｂ））。熱拡散層１１は、熱拡散材料１１ａが焼結し
て形成されたものである。
【００２９】上記の工程により形成されたターゲット層
１２と熱拡散層１１の積層体１３を、固定ターゲットの
形態をした基台１０にろう付けする。このときターゲッ
ト層１２を外側に配置し、熱拡散層１１の裏面を基台１
０に接合する。以上の工程をもって、図３（ｃ）に示す
ようなＸ線管ターゲットが完成する。
１２と熱拡散層１１の積層体１３を、固定ターゲットの
形態をした基台１０にろう付けする。このときターゲッ
ト層１２を外側に配置し、熱拡散層１１の裏面を基台１
０に接合する。以上の工程をもって、図３（ｃ）に示す
ようなＸ線管ターゲットが完成する。
【００３０】図５は本発明の実施形態に係るＸ線管ター
ゲットの第３の製造方法を示す工程図である。同図に示
す製造方法は、基台１０を形成する金属材料１０ａの外
側に熱拡散材料１１ａを配置し、これら各材料１０ａ，
１１ａを加熱圧縮することにより一体化するとともに熱
拡散材料１１ａを固める第１加熱圧縮工程（同図
（ａ））と、この第１加熱圧縮工程によって得られた塊
から熱拡散層１１が形成された基台１０を切り出す工程
（同図（ｂ））と、該基台１０における熱拡散層１１の
外側にターゲット層１２を形成する金属材料１２ａを配
置し加熱圧縮する第２加熱圧縮工程（同図（ｃ））と、
この第２加熱圧縮工程によって得られた塊からターゲッ
ト層１２および熱拡散層１１が形成された基台１０を切
り出す工程（同図（ｄ））とから構成されている。
ゲットの第３の製造方法を示す工程図である。同図に示
す製造方法は、基台１０を形成する金属材料１０ａの外
側に熱拡散材料１１ａを配置し、これら各材料１０ａ，
１１ａを加熱圧縮することにより一体化するとともに熱
拡散材料１１ａを固める第１加熱圧縮工程（同図
（ａ））と、この第１加熱圧縮工程によって得られた塊
から熱拡散層１１が形成された基台１０を切り出す工程
（同図（ｂ））と、該基台１０における熱拡散層１１の
外側にターゲット層１２を形成する金属材料１２ａを配
置し加熱圧縮する第２加熱圧縮工程（同図（ｃ））と、
この第２加熱圧縮工程によって得られた塊からターゲッ
ト層１２および熱拡散層１１が形成された基台１０を切
り出す工程（同図（ｄ））とから構成されている。
【００３１】第１加熱圧縮工程（同図（ａ））では、ま
ず加圧に耐えうる鉄製の容器２０の内部に基台１０を形
成する円柱状の金属材料１０ａを配置し、この金属材料
と容器２０の内周との間に、粉末状の熱拡散材料１１ａ
を充填する。熱拡散材料１１ａは、図３に示した製造方
法で用いたものと同様である。
ず加圧に耐えうる鉄製の容器２０の内部に基台１０を形
成する円柱状の金属材料１０ａを配置し、この金属材料
と容器２０の内周との間に、粉末状の熱拡散材料１１ａ
を充填する。熱拡散材料１１ａは、図３に示した製造方
法で用いたものと同様である。
【００３２】基台１０を形成する金属材料１０ａと熱拡
散材料１１ａとを容器２０内に配置した後、容器２０の
開口部を鉄製の蓋体２１によって閉塞するとともに、蓋
体２１と容器２０を溶接して一体化する。蓋体２１に
は、図３に示した製造方法と同じく容器２０内部の空気
を排気するための吸引口２２が設けてあり、この吸引口
２２を図示しない真空ポンプに連通させ、容器２０の内
部を真空びきする。
散材料１１ａとを容器２０内に配置した後、容器２０の
開口部を鉄製の蓋体２１によって閉塞するとともに、蓋
体２１と容器２０を溶接して一体化する。蓋体２１に
は、図３に示した製造方法と同じく容器２０内部の空気
を排気するための吸引口２２が設けてあり、この吸引口
２２を図示しない真空ポンプに連通させ、容器２０の内
部を真空びきする。
【００３３】充分な真空びきを行った後、吸引口２２を
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室内に挿入配置する。加圧装置としては、図４に
示したようなＨＩＰを用い、加圧室３０内に容器２０を
挿入配置した後、その周囲から均等に圧力を加えるとと
もに、所定の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜の時
間継続することにより、熱拡散材料１１ａが焼結すると
ともに、熱拡散材料１１ａと基台１０を形成する金属材
料１０ａとが接合して一体化する。
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室内に挿入配置する。加圧装置としては、図４に
示したようなＨＩＰを用い、加圧室３０内に容器２０を
挿入配置した後、その周囲から均等に圧力を加えるとと
もに、所定の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜の時
間継続することにより、熱拡散材料１１ａが焼結すると
ともに、熱拡散材料１１ａと基台１０を形成する金属材
料１０ａとが接合して一体化する。
【００３４】また、容器２０と蓋体２１も加熱圧縮の作
用によって金属材料１０ａおよび熱拡散材料１１ａと接
合してしまい一個の塊となる。そこで、この塊を機械加
工等によって切断または研削することにより、熱拡散層
１１が外周に形成された基台１０を円柱形状に切り出す
（図５（ｂ））。熱拡散層１１は、熱拡散材料１１ａが
焼結して形成されたものである。
用によって金属材料１０ａおよび熱拡散材料１１ａと接
合してしまい一個の塊となる。そこで、この塊を機械加
工等によって切断または研削することにより、熱拡散層
１１が外周に形成された基台１０を円柱形状に切り出す
（図５（ｂ））。熱拡散層１１は、熱拡散材料１１ａが
焼結して形成されたものである。
【００３５】次いで、第２加熱圧工程（図５（ｃ））を
実施する。この工程では、熱拡散層１１が形成された基
台１０の外周に、ターゲット層１２を形成する管状の金
属材料１２ａを配置するとともに、さらにこの金属材料
１２ａの外周に鉄製の環状部材１４を外嵌する。ここ
で、ターゲット層１２を形成する金属材料１２ａの内周
面には、接合剤としてのチタンを０．２μｍ程度の厚さ
でメッキまたは蒸着しておく。また、基台１０と環状部
材１４の間は、溶接して一体化しておく。
実施する。この工程では、熱拡散層１１が形成された基
台１０の外周に、ターゲット層１２を形成する管状の金
属材料１２ａを配置するとともに、さらにこの金属材料
１２ａの外周に鉄製の環状部材１４を外嵌する。ここ
で、ターゲット層１２を形成する金属材料１２ａの内周
面には、接合剤としてのチタンを０．２μｍ程度の厚さ
でメッキまたは蒸着しておく。また、基台１０と環状部
材１４の間は、溶接して一体化しておく。
【００３６】このようにして熱拡散層１１が形成された
基台１０、ターゲット層１２を形成する管状の金属材料
１２ａ、および鉄製の環状部材１４を組み合わせた処理
対象を、加圧装置の加圧室内に挿入配置する。加圧装置
としては、第１加熱圧縮工程と同様、図４に示したよう
なＨＩＰを用い、加圧室３０内に処理対象を挿入配置し
た後、その周囲から均等に圧力を加えるとともに、所定
の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜の時間継続する
ことにより、接着剤としてのチタンが液相拡散して基台
１０とターゲット層１２を形成する管状の金属材料１２
ａとが接合される。
基台１０、ターゲット層１２を形成する管状の金属材料
１２ａ、および鉄製の環状部材１４を組み合わせた処理
対象を、加圧装置の加圧室内に挿入配置する。加圧装置
としては、第１加熱圧縮工程と同様、図４に示したよう
なＨＩＰを用い、加圧室３０内に処理対象を挿入配置し
た後、その周囲から均等に圧力を加えるとともに、所定
の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜の時間継続する
ことにより、接着剤としてのチタンが液相拡散して基台
１０とターゲット層１２を形成する管状の金属材料１２
ａとが接合される。
【００３７】また、鉄製の環状部材１４も加熱圧縮の作
用によって基台１０およびターゲット層１２を形成する
管状の金属材料１２ａと接合してしまい一個の塊とな
る。そこで、この塊を機械加工等によって切断または研
削することにより、ターゲット層１２および熱拡散層１
１が形成された基台１０を切り出すとともに、その基台
１０を回転ターゲットの形態に加工する（図５
（ｄ））。このようにしてターゲット層１２の裏面側に
熱拡散層１１が形成されたＸ線管ターゲットが完成す
る。
用によって基台１０およびターゲット層１２を形成する
管状の金属材料１２ａと接合してしまい一個の塊とな
る。そこで、この塊を機械加工等によって切断または研
削することにより、ターゲット層１２および熱拡散層１
１が形成された基台１０を切り出すとともに、その基台
１０を回転ターゲットの形態に加工する（図５
（ｄ））。このようにしてターゲット層１２の裏面側に
熱拡散層１１が形成されたＸ線管ターゲットが完成す
る。
【００３８】図６は本発明の実施形態に係るＸ線管ター
ゲットの第４の製造方法を示す工程図である。上述した
第３の製造方法では、２回の加熱圧縮工程が必要となり
作業工数が多い。第４の製造方法ではこの点を改善し、
１回の加熱圧縮工程によりＸ線管ターゲットを製造でき
るようにしてある。
ゲットの第４の製造方法を示す工程図である。上述した
第３の製造方法では、２回の加熱圧縮工程が必要となり
作業工数が多い。第４の製造方法ではこの点を改善し、
１回の加熱圧縮工程によりＸ線管ターゲットを製造でき
るようにしてある。
【００３９】この第４の製造方法は、基台１０を形成す
る金属材料１０ａの外側に一定の隙間をあけてターゲッ
ト層１２を形成する環状の金属材料１２ａを配置すると
ともに、基台１０を形成する金属材料１０ａとターゲッ
ト層１２を形成する環状の金属材料１２ａとの隙間に、
熱拡散層１１を形成する熱拡散材料１１ａを充填し、こ
れら各材料１０ａ，１１ａ，１２ａを加熱圧縮すること
により一体化するとともに熱拡散材料１１ａを固める加
熱圧縮工程（図６（ａ））と、この加熱圧縮工程によっ
て得られた塊からターゲット層１２および熱拡散層１１
が形成された基台１０を切り出す工程（図６（ｂ））と
から構成されている。
る金属材料１０ａの外側に一定の隙間をあけてターゲッ
ト層１２を形成する環状の金属材料１２ａを配置すると
ともに、基台１０を形成する金属材料１０ａとターゲッ
ト層１２を形成する環状の金属材料１２ａとの隙間に、
熱拡散層１１を形成する熱拡散材料１１ａを充填し、こ
れら各材料１０ａ，１１ａ，１２ａを加熱圧縮すること
により一体化するとともに熱拡散材料１１ａを固める加
熱圧縮工程（図６（ａ））と、この加熱圧縮工程によっ
て得られた塊からターゲット層１２および熱拡散層１１
が形成された基台１０を切り出す工程（図６（ｂ））と
から構成されている。
【００４０】熱拡散工程（同図（ａ））では、まず加圧
に耐えうる鉄製の容器２０の内部に基台１０を形成する
円柱状の金属材料１０ａを配置するとともに、その外周
に一定の隙間をあけてターゲット層１２を形成する管状
の金属材料１２ａを配置する。そして、各金属材料１２
ａの隙間に、粉末状の熱拡散材料１１ａを充填する。熱
拡散材料１１ａは、図３に示した製造方法で用いたもの
と同様である。
に耐えうる鉄製の容器２０の内部に基台１０を形成する
円柱状の金属材料１０ａを配置するとともに、その外周
に一定の隙間をあけてターゲット層１２を形成する管状
の金属材料１２ａを配置する。そして、各金属材料１２
ａの隙間に、粉末状の熱拡散材料１１ａを充填する。熱
拡散材料１１ａは、図３に示した製造方法で用いたもの
と同様である。
【００４１】その後、容器２０の開口部を鉄製の蓋体２
１によって閉塞するとともに、蓋体２１と容器２０を溶
接して一体化する。蓋体２１には、図３に示した製造方
法と同じく容器２０内部の空気を排気するための吸引口
２２が設けてあり、この吸引口２２を図示しない真空ポ
ンプに連通させ、容器２０の内部を真空びきする。
１によって閉塞するとともに、蓋体２１と容器２０を溶
接して一体化する。蓋体２１には、図３に示した製造方
法と同じく容器２０内部の空気を排気するための吸引口
２２が設けてあり、この吸引口２２を図示しない真空ポ
ンプに連通させ、容器２０の内部を真空びきする。
【００４２】充分な真空びきを行った後、吸引口２２を
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室３０内に挿入配置する。加圧装置としては、図
４に示したようなＨＩＰを用い、加圧室３０内に容器２
０を挿入配置した後、その周囲から均等に圧力を加える
とともに、所定の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜
の時間継続することにより、熱拡散材料１１ａが焼結す
るとともに、ターゲット層１２を形成する金属材料１２
ａと熱拡散材料１１ａ、および熱拡散材料１１ａと基台
１０を形成する金属材料１０ａとが互いに接合して一体
化する。
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室３０内に挿入配置する。加圧装置としては、図
４に示したようなＨＩＰを用い、加圧室３０内に容器２
０を挿入配置した後、その周囲から均等に圧力を加える
とともに、所定の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜
の時間継続することにより、熱拡散材料１１ａが焼結す
るとともに、ターゲット層１２を形成する金属材料１２
ａと熱拡散材料１１ａ、および熱拡散材料１１ａと基台
１０を形成する金属材料１０ａとが互いに接合して一体
化する。
【００４３】また、容器２０と蓋体２１も加熱圧縮の作
用によって各金属材料１０ａ，１２ａと接合してしまい
一個の塊となる。そこで、この塊を機械加工等によって
切断または研削することにより、ターゲット層１２およ
び熱拡散層１１が形成された基台１０を切り出すととも
に、その基台１０を回転ターゲットの形態に加工する
（図６（ｂ））。熱拡散層１１は、熱拡散材料１１ａが
焼結して形成されたものである。このようにしてターゲ
ット層１２の裏面側に熱拡散層１１が形成されたＸ線管
ターゲットが完成する。
用によって各金属材料１０ａ，１２ａと接合してしまい
一個の塊となる。そこで、この塊を機械加工等によって
切断または研削することにより、ターゲット層１２およ
び熱拡散層１１が形成された基台１０を切り出すととも
に、その基台１０を回転ターゲットの形態に加工する
（図６（ｂ））。熱拡散層１１は、熱拡散材料１１ａが
焼結して形成されたものである。このようにしてターゲ
ット層１２の裏面側に熱拡散層１１が形成されたＸ線管
ターゲットが完成する。
【００４４】図７は本発明の実施形態に係るＸ線管ター
ゲットの第５の製造方法を示す工程図である。この第５
の製造方法は、基台１０を形成する円柱状をした金属材
料１０ａの外周面に、超硬材料の薄膜を気相合成して熱
拡散層１１を形成する工程（同図（ａ））と、この熱拡
散層１１が形成された基台１０の外周にターゲット層１
２を形成する金属材料１２ａを加熱圧縮することにより
一体化する加熱圧縮工程（同図（ｂ））と、この加熱圧
縮工程によって得られた塊からターゲット層１２および
熱拡散層１１が形成された基台１０を切り出す工程（同
図（ｃ））とから構成されている。
ゲットの第５の製造方法を示す工程図である。この第５
の製造方法は、基台１０を形成する円柱状をした金属材
料１０ａの外周面に、超硬材料の薄膜を気相合成して熱
拡散層１１を形成する工程（同図（ａ））と、この熱拡
散層１１が形成された基台１０の外周にターゲット層１
２を形成する金属材料１２ａを加熱圧縮することにより
一体化する加熱圧縮工程（同図（ｂ））と、この加熱圧
縮工程によって得られた塊からターゲット層１２および
熱拡散層１１が形成された基台１０を切り出す工程（同
図（ｃ））とから構成されている。
【００４５】超硬材料の薄膜を気相合成する手法として
は、第１の製造方法と同様、各種の化学的気相成長法
（ＣＶＤ）が適用でき、基台１０を形成する金属材料１
０ａを回転しながらその周面に熱拡散材料１１ａの薄膜
を均一に気相合成していく（図７（ａ））。
は、第１の製造方法と同様、各種の化学的気相成長法
（ＣＶＤ）が適用でき、基台１０を形成する金属材料１
０ａを回転しながらその周面に熱拡散材料１１ａの薄膜
を均一に気相合成していく（図７（ａ））。
【００４６】気相合成された熱拡散材料１１ａの薄膜に
は、さらに接合剤としてのチタンをメッキまたは蒸着し
ておく。
は、さらに接合剤としてのチタンをメッキまたは蒸着し
ておく。
【００４７】次いで、加圧に耐えうる鉄製の容器２０の
内部に、熱拡散材料１１ａの薄膜を形成した基台１０を
配置するとともに、その外周にターゲット層１２を形成
する管状の金属材料１２ａを配置する。その後、容器２
０の開口部を鉄製の蓋体２１によって閉塞するととも
に、蓋体２１と容器２０を溶接して一体化する。蓋体２
１には、図３に示した製造方法と同じく容器２０内部の
空気を排気するための吸引口２２が設けてあり、この吸
引口２２を図示しない真空ポンプに連通させ、容器２０
の内部を真空びきする。
内部に、熱拡散材料１１ａの薄膜を形成した基台１０を
配置するとともに、その外周にターゲット層１２を形成
する管状の金属材料１２ａを配置する。その後、容器２
０の開口部を鉄製の蓋体２１によって閉塞するととも
に、蓋体２１と容器２０を溶接して一体化する。蓋体２
１には、図３に示した製造方法と同じく容器２０内部の
空気を排気するための吸引口２２が設けてあり、この吸
引口２２を図示しない真空ポンプに連通させ、容器２０
の内部を真空びきする。
【００４８】充分な真空びきを行った後、吸引口２２を
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室内に挿入配置する。加圧装置としては、図４に
示したようなＨＩＰを用い、加圧室３０内に容器２０を
挿入配置した後、その周囲から均等に圧力を加えるとと
もに、所定の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜の時
間継続することにより、ターゲット層１２を形成する金
属材料１２ａが熱拡散材料１１ａの薄膜を形成した基台
１０の外周面に接合して一体化する。
閉塞して真空ポンプから切り離し、容器２０を加圧装置
の加圧室内に挿入配置する。加圧装置としては、図４に
示したようなＨＩＰを用い、加圧室３０内に容器２０を
挿入配置した後、その周囲から均等に圧力を加えるとと
もに、所定の温度に加熱する。この加熱圧縮を適宜の時
間継続することにより、ターゲット層１２を形成する金
属材料１２ａが熱拡散材料１１ａの薄膜を形成した基台
１０の外周面に接合して一体化する。
【００４９】また、容器２０と蓋体２１も加熱圧縮の作
用によって接合してしまい一個の塊となる。そこで、こ
の塊を機械加工等によって切断または研削することによ
り、ターゲット層１２および熱拡散層１１が形成された
基台１０を切り出すとともに、その基台１０を回転ター
ゲットの形態に加工する（図７（ｃ））。このようにし
てターゲット層１２の裏面側に熱拡散層１１が形成され
たＸ線管ターゲットが完成する。
用によって接合してしまい一個の塊となる。そこで、こ
の塊を機械加工等によって切断または研削することによ
り、ターゲット層１２および熱拡散層１１が形成された
基台１０を切り出すとともに、その基台１０を回転ター
ゲットの形態に加工する（図７（ｃ））。このようにし
てターゲット層１２の裏面側に熱拡散層１１が形成され
たＸ線管ターゲットが完成する。
【００５０】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば、Ｘ線管ターゲットは任意の
形状に形成でき、製造方法についても適宜工程を組み替
えて実施することが可能である。
れるものではなく、例えば、Ｘ線管ターゲットは任意の
形状に形成でき、製造方法についても適宜工程を組み替
えて実施することが可能である。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば熱
拡散層を形成したことにより、微少面積（焦点）の電子
の照射によってターゲット層の局所に発生した熱も熱拡
散層により拡散されて基台の一部に滞留することがなく
なる結果、冷却効率が向上していっそう高強度のＸ線が
取り出し可能となる。
拡散層を形成したことにより、微少面積（焦点）の電子
の照射によってターゲット層の局所に発生した熱も熱拡
散層により拡散されて基台の一部に滞留することがなく
なる結果、冷却効率が向上していっそう高強度のＸ線が
取り出し可能となる。
【図１】本発明の実施形態に係るＸ線管ターゲットの構
成例を示す部分断面図である。
成例を示す部分断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るＸ線管ターゲットの第
１の製造方法を示す工程図である。
１の製造方法を示す工程図である。
【図３】本発明の実施形態に係るＸ線管ターゲットの第
２の製造方法を示す工程図である。
２の製造方法を示す工程図である。
【図４】ＨＩＰの構成を模式的に示した図である。
【図５】本発明の実施形態に係るＸ線管ターゲットの第
３の製造方法を示す工程図である。
３の製造方法を示す工程図である。
【図６】本発明の実施形態に係るＸ線管ターゲットの第
４の製造方法を示す工程図である。
４の製造方法を示す工程図である。
【図７】本発明の実施形態に係るＸ線管ターゲットの第
５の製造方法を示す工程図である。
５の製造方法を示す工程図である。
【図８】従来のＸ線管ターゲットを示す断面図である。
１０：基台 １１：熱拡散層 １１ａ：熱拡散材料 １２：ターゲット層 ２０：容器 ２１：蓋体 ２２：吸引口 ３０：加圧室 ３１：ヒータ ３２：排気管 ３３：ガス供給管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ２２Ｃ 26/00 Ｃ２２Ｃ 26/00 Ｚ 29/16 29/16 Ａ Ｈ０１Ｊ 9/14 Ｈ０１Ｊ 9/14 Ｍ
Claims (9)
- 【請求項１】 金属材料からなる基台にターゲット層が
設けられたＸ線管ターゲットにおいて、 電子の衝突により前記ターゲット層に発生した熱を拡散
する熱拡散層を形成したことを特徴とするＸ線管ターゲ
ット。 - 【請求項２】 請求項１記載のＸ線管ターゲットにおい
て、 前記熱拡散層は、少なくとも基台を形成する金属材料よ
りも熱伝導率の高い超硬材料からなることを特徴とする
Ｘ線管ターゲット。 - 【請求項３】 請求項２記載のＸ線管ターゲットにおい
て、 前記超硬材料は、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカ
ーボン、またはこれらの材料と同等の熱伝導率および硬
度を有する材料であることを特徴とするＸ線管ターゲッ
ト。 - 【請求項４】 請求項１記載のＸ線管ターゲットにおい
て、 前記熱拡散層は、少なくとも基台を形成する金属材料よ
りも熱伝導率の高い粒状または粉状の超硬材料を含む熱
拡散材料からなることを特徴とするＸ線管ターゲット。 - 【請求項５】 請求項４記載のＸ線管ターゲットにおい
て、 前記超硬材料は、ダイヤモンド、キュービックボロンナ
イトライド、またはこれらの材料と同等の熱伝導率およ
び硬度を有する材料であることを特徴とするＸ線管ター
ゲット。 - 【請求項６】 請求項２記載のＸ線管ターゲットの製造
方法であって、 ターゲット層を形成する金属材料の表面に、前記超硬材
料の薄膜を気相合成して熱拡散層を形成する工程と、 前記熱拡散層の裏面を基台に接合する工程と、 を含むＸ線管ターゲットの製造方法。 - 【請求項７】 請求項４記載のＸ線管ターゲットの製造
方法であって、 ターゲット層を形成する金属材料の裏面に前記熱拡散材
料を配置し、これら各材料を加熱圧縮することにより一
体化するとともに前記熱拡散材料を固める工程と、 前記工程により一体化した材料を、前記ターゲット層を
外側にして基台へ接合する工程と、 を含むＸ線管ターゲットの製造方法。 - 【請求項８】 請求項４記載のＸ線管ターゲットの製造
方法であって、 基台を形成する金属材料の外側に前記熱拡散材料を配置
し、これら各材料を加熱圧縮することにより一体化する
とともに前記熱拡散材料を固める工程と、 前記工程により一体化した材料の外側にターゲット層を
形成する金属材料を配置し、それら各材料を加熱圧縮す
ることにより一体化する工程と、 を含むＸ線管ターゲットの製造方法。 - 【請求項９】 請求項４記載のＸ線管ターゲットの製造
方法であって、 基台を形成する金属材料の外側に前記熱拡散材料を配置
し、かつ熱拡散材料の外側にターゲット層を形成する金
属材料を配置し、それら各材料を加熱圧縮することによ
り一体化するとともに前記熱拡散材料を固める工程を含
むＸ線管ターゲットの製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000280396A JP3731136B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | Ｘ線管ターゲットおよびその製造方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000280396A JP3731136B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | Ｘ線管ターゲットおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002093355A true JP2002093355A (ja) | 2002-03-29 |
| JP3731136B2 JP3731136B2 (ja) | 2006-01-05 |
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|---|---|---|---|
| JP2000280396A Expired - Fee Related JP3731136B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | Ｘ線管ターゲットおよびその製造方法 |
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|---|---|
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004514120A (ja) * | 2000-11-09 | 2004-05-13 | ステリス インコーポレイテッド | 製品用ｘ線ターゲット |
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