JP2002073103A - 駆動機構の制御装置及びその方法並びにコネクタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動機構を制御する装置本体に、持ち運び自
在な操作ユニットを接続して手動で駆動機構を制御する
にあたり作業者の安全を確保すること。 【解決手段】 装置本体側に、開いたときに駆動機構の
電源を遮断する停止回路を設ける一方、操作ユニット側
にｂ接点からなる緊急停止スイッチを設け、このスイッ
チにより停止回路の開閉を行うようにする。また操作ユ
ニットを外しているときに停止回路が開かないようにす
るために、装置本体側に停止回路を閉じる接点を備えた
バイパス回路を設け、操作ユニットを接続したときに例
えば操作ユニット側のコネクタが制御装置側のリミット
スイッチを動作させてバイパス回路の接点が開いて緊急
停止スイッチが有効となるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は駆動機構を備えた装
置本体に、持ち運び自在な操作ユニットを接続してこの
操作ユニットにより駆動機構を制御する制御装置及びそ
の方法、並びに前記制御装置に好適なコネクタ装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスを製造する半導体製造装
置としては、半導体ウエハをバッチで熱処理する縦型熱
処理装置、フォトリソグラフィ−により基板にレジスト
パタ−ンを形成する塗布現像装置、あるいは成膜処理な
どを行う真空処理装置などがある。これら装置は、外装
体をなす筐体の中にプロセス部、基板の搬送系及び制御
部が設けられると共に筐体の外側に操作パネルが設けら
れており、操作パネルにより運転開始操作を行うことに
より所定のレシピに従って自動運転される。ところで装
置の立ち上げ時に搬送系に動作を学習させたり、メンテ
ナンス時に搬送系の動作をチェックする場合などにおい
ては、搬送系の近くでオペレ−タが手動操作を行うこと
が便利であり、そのためオペレ−タが手で持ち運びでき
るティ−チングペンダントなどと呼ばれている操作ユニ
ットを用いることがある。

【０００３】この操作ユニットは、装置本体側の前記操
作パネルや筐体の裏側に設けられているコネクタに操作
ユニット側のコネクタを差し込むことにより、オペレ−
タが手動で搬送系を操作できるものであるが、作業の安
全を図るために搬送系を緊急停止できる緊急停止スイッ
チが設けられている。図９は装置本体（例えば半導体製
造装置本体）１００と操作ユニット２００とを示す図で
あり、操作ユニット２００のコネクタ１１を装置本体１
００側のコネクタ１２に接続することにより、オペレ−
タが装置本体１００の操作パネル１３に代えて操作ユニ
ット２００により装置本体１００内の制御部１４を介し
て搬送系１５を手動で操作できる。この場合作業の安全
を図るために搬送系１５を緊急停止できるａ接点よりな
る緊急停止スイッチ１６が設けられており、このスイッ
チ１６の接点を閉じることにより装置本体１００側の図
示しない検知回路を動作させて強制停止信号により搬送
系１５を停止していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の緊
急停止スイッチ１６は、回路の断線あるいは接続不良な
どが生じた場合には、緊急停止機能が働かなくなってし
まう。そこで緊急停止スイッチ１６の接点としてｂ接点
を用い、前記検知回路とｂ接点を含むル−プ（停止回
路）を開いたときに前記検知回路が緊急停止スイッチ１
６の動作を検知することを検討しているが、この場合に
は操作ユニット２００を装置本体１００に接続していな
いときには前記ル−プが開いてしまうので緊急停止スイ
ッチ１６が動作していると誤検出されてしまう不具合が
ある。

【０００５】本発明はこのような事情の下になされたも
のであり、その目的は操作ユニットにより例えば搬送系
などの駆動機構を確実に緊急停止を行うことができ、し
かも緊急停止の誤検知なくコネクタを着脱することがで
きる装置及び方法を提供することにある。更に他の目的
は、この装置に好適なコネクタ装置を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、駆動機構を制
御する制御部及び第１のコネクタを含む装置本体と、前
記第１のコネクタに対して着脱自在な第２のコネクタを
含み、この第２のコネクタを第１のコネクタに接続する
ことにより前記制御部を介して前記駆動機構を制御する
ことができる操作ユニットと、を備えた駆動機構の制御
装置において、前記装置本体側及び前記操作ユニット側
に分散して設けられ、その回路が開いたときに前記駆動
機構の動作を停止するための停止回路と、この停止回路
を開閉するために前記操作ユニット側に設けられ、前記
駆動機構を緊急停止するためのｂ接点からなる緊急停止
用スイッチと、前記操作ユニットの第２のコネクタが前
記装置本体の第１のコネクタに接続されていないときに
は前記停止回路を閉じ、前記第２のコネクタが第１のコ
ネクタに接続されているときには前記停止回路を開いて
前記緊急停止用スイッチを有効にする接点を備えたバイ
パス回路と、を備えことを特徴とする。より具体的には
例えば第２のコネクタを第１のコネクタに着脱するとき
には、前記装置本体側及び前記操作ユニット側に分散し
て設けられた停止回路が互いに接続されかつ前記バイパ
ス回路の接点が閉じている状態が存在するように構成さ
れる。

【０００７】この発明によれば、緊急停止スイッチの接
点としてｂ接点を用い、この接点が開いた時に駆動機構
を停止するようにしているので、接点不良や接続に不具
合が生じても安全サイドに働き、駆動機構を確実に停止
させることができる。また操作ユニットを装置本体に接
続していないときにはバイパス回路の接点により停止回
路が閉じているので、緊急停止機能が誤動作することも
ない。

【０００８】前記バイパス回路の接点は、例えば第２の
コネクタを第１のコネクタに装着または取り外すときに
動作する作動スイッチにより開閉されるように構成され
る。装置本体側の第１のコネクタは、例えば前後に移動
自在な作動体と、この作動体を前方側に付勢する付勢手
段と、を備え、前記作動体は、第２のコネクタにより押
圧されたときに前記付勢手段の付勢力に抗して後退して
前記作動スイッチを動作させるように構成される。また
第１のコネクタは、装置本体の外面をなす固定板に取り
付けられ、作動体は、前記固定板を貫通して前後に移動
自在に設けられ、前記スイッチを動作させる作動ロッド
と、この作動ロッドの前端部に設けられ、第２のコネク
タにより押圧される作動板と、を備えた構成とすること
ができる。

【０００９】本発明は、上述の装置を実施する方法とし
ても成立するものであり、本発明方法は、その回路が開
かれたときに駆動機構を停止する停止回路を備えた装置
本体と、操作ユニットと、を用い、前記装置本体側の第
１のコネクタに前記操作ユニットの第２のコネクタを接
続し、操作ユニットにより装置本体側の制御部を介して
前記駆動機構を制御する方法において、前記第１のコネ
クタを第２のコネクタに接続する前に前記停止回路がバ
イパス回路の接点を介して閉じている段階と、前記第１
のコネクタを第２のコネクタに結合し、前記停止回路が
操作ユニット側の緊急停止スイッチをなす接点により閉
じかつ前記バイパス回路の接点を介して閉じている段階
と、前記第１のコネクタを第２のコネクタが更に深く結
合し、第２のコネクタにより第１のコネクタ側のスイッ
チが動作して前記バイパス回路の接点が開いて前記緊急
停止スイッチを有効にするする段階と、前記操作ユニッ
トにより前記駆動機構を操作する段階と、を含むことを
特徴とする。

【００１０】また他の発明は、上述の発明に好適に用い
ることができるコネクタ装置の発明であり、一の装置に
設けられた第１のコネクタと、他の装置に設けられ、前
記第１のコネクタに接続して当該他の装置を前記一の装
置に電気的に接続する第２のコネクタと、前記一の装置
側に設けられると共に、第２のコネクタを第１のコネク
タに装着または取り外すときに動作して前記一の装置を
所定の状態にするためのスイッチと、前記第１のコネク
タ側に設けられ、前後に移動自在な作動体と、この作動
体を前方側に付勢する付勢手段と、を備え、前記作動体
は、第２のコネクタを第１のコネクタに接続するときに
当該第２のコネクタにより押圧されて前記付勢手段の付
勢力に抗して後退してスイッチを動作させることを特徴
とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は本発明の駆動機構の制御装
置の実施の形態を概念的に示す説明図であり、この実施
の形態は装置本体２と、作業者が手で持ち運べることが
できる操作ユニット３と、を備えている。前記装置本体
２は、搬送アームなどの駆動機構２１と、この駆動機構
２１を制御するコントロ−ラやプログラムなどを含む制
御部２２と、この制御部２２に例えばプログラムの起動
開始指令などを与える操作部である操作パネル部２３
と、第１のコネクタ２４と、駆動機構２１を緊急停止す
るための停止回路２５と、を有している。

【００１２】一方前記操作ユニット３は操作ユニット本
体３１と第２のコネクタ３２とを備え、第２のコネクタ
３２を装置本体２の前記第１のコネクタ２４に接続する
ことにより、前記操作パネル部２３に代えて制御部２２
を介して駆動機構２１を制御できるように構成されてい
る。また操作ユニット本体３１には後で詳述するよう
に、作動時に開となるｂ接点からなる緊急停止スイッチ
３３が設けられ、この図１では示していない押しボタン
により緊急停止スイッチ３３のｂ接点を開いて前記停止
回路２５を介して駆動機構２１が停止することとなる。

【００１３】図２はこの実施の形態の制御装置の一例と
して縦型熱処理装置を示すものであり、この縦型熱処理
装置について簡単に述べておく。図２中の４は、熱処理
装置本体（本発明の装置本体に相当する。）であり、外
装部をなす筐体４０により囲まれている。４１はキャリ
ア搬入出部、４２はキャリア搬送機構、４３はキャリア
ストッカ、４４は受け渡しステ−ジであり、半導体ウエ
ハＷを収納したキャリアＣは搬入出部４１に搬入され、
キャリア搬送機構４２により例えばキャリアストッカ４
３に一旦保管された後、受け渡しステ−ジ４４に搬送さ
れる。その後ウエハロ−ダ室４５内のウエハ搬送機構４
６により受け渡しステ−ジ４４上のキャリアＣ内から半
導体ウエハＷが取り出され、ボ−トエレベ−タ４７上の
ウエハ保持具４８に移載される。ウエハ保持具４８はボ
−トエレベ−タ４７により上昇し、加熱炉４９内に搬入
される。また筐体４０の前面には操作パネル部２３及び
第１のコネクタ２４が設けられている。図２と図１とを
対応させると、図１の駆動機構２１は、キャリア搬送機
構４２、ウエハ搬送機構４６及びボ−トエレベ−タ４７
に相当し、制御部２２はこれらを制御する図示しないコ
ントロ−ラに相当する。また操作ユニット３は、押すこ
とにより緊急停止スイッチ３３のｂ接点を開く押しボタ
ン３０や例えばキ−ボ−ドなどの入力手段、操作画面な
どを備えている。

【００１４】次にこの実施の形態の回路に関して図３を
参照しながら述べるが、図１に対応する部分は同じ符号
を用いている。図３の向かって右側部分は装置本体４、
左側部分は操作ユニット３、中央部分は装置本体４側の
回路と操作ユニット３側の回路の間に介在する回路基板
５である。装置本体４側には、例えば２４Ｖの電源電圧
を操作ユニット３に供給する電源部６１と、駆動機構２
１を緊急停止するための既述の停止回路２５と、駆動機
構２１への制御信号を生成する信号処理部６２を含む制
御部２２と、が設けられている。停止回路２５は、例え
ばリレ−２６及び及びこのリレ−２６の励磁コイルに電
流を供給する電源部２７を含み、回路が開いたときに励
磁コイルが消磁して駆動機構２１の電源を遮断する役割
を持っている。また操作ユニット３側には、電源部６１
からの電源電圧を信号入出力回路３４などに供給する電
源部３５、駆動機構２１の緊急停止のためのｂ接点から
なる緊急停止スイッチ３３を備えた停止回路３６が設け
られている。

【００１５】装置本体４側の電源部６１は、第１のコネ
クタ２４の接続端子Ａ１，第２のコネクタ３２の接続端
子Ｂ１を介して操作ユニット３側の電源部３５に接続さ
れることになり、装置本体４側の停止回路２５は、第１
のコネクタ２４の接続端子Ａ２，第２のコネクタ３２の
接続端子Ｂ２を介して操作ユニット３側の停止回路３３
に接続されることになる。また装置本体４側の信号処理
部６２は、第１のコネクタ２４の接続端子Ａ３，第２の
コネクタ３２の接続端子Ｂ３を介して操作ユニット３側
の信号出力回路３４に接続されることになる。

【００１６】装置本体４側の停止回路２５は、本来操作
ユニット３の緊急停止スイッチ３３により開閉されるも
のであるが、装置本体４側に緊急停止スイッチ３３をバ
イパスするバイパス回路７が設けられている。このバイ
パス回路７にはリレ−７１の接点（ａ接点）７２が介装
されており、この接点７２は当該リレ−７１の励磁コイ
ル７３の通電により閉じるようになっている。励磁コイ
ル７３は装置本体４側の電源部２８の電源線２８ａ、２
８ｂ間に設けられた接続検出回路７４の中に、作動スイ
ッチからなるリミットスイッチ７５と直列の状態でかつ
ダイオ−ドＤ１と並列の状態で介装されている。なお電
源部６１の電源線６１ａには励磁コイル７３の通電によ
り開く接点（ｂ接点）６３が設けられている。

【００１７】更に前記第１のコネクタ２４、リミットス
イッチ７５及びこれらに関連する部位の構造を図４及び
図５に示す。第１のコネクタ２４は例えば外周面に雄ネ
ジ２４ａが形成されると共に内部に図示しない接続端子
を備えてなり、装置本体４の固定板８１に固定されて突
出している。一方第２のコネクタ３２の先端部には、内
周面に雌ネジが形成された回転自在な固定ネジ部３２ａ
が設けられており、この固定ネジ部３２ａを回動して第
１のコネクタの雄ネジ２４ａに螺合させることにより第
２のコネクタ３２が第１のコネクタ２４に装着されて互
いに接続端子が接続されるようになっている。また第１
のコネクタ２４及び固定板８１を含む部分は、装置本体
４の筐体４０のパネル部４０ａのすぐ内側に位置してお
り、このパネル部４０ａにおける第１のコネクタ２４と
対向する部位には、第２のコネクタ３２よりも少し大き
い開口部４０ｂが形成されている。

【００１８】前記固定板８１の前面には、第１のコネク
タ２４を囲むようにリング状の作動板８２が設けられ、
この作動板８２は、左右に配置されると共に固定板８１
を貫通する２本の作動ロッド８３の先端に固定されてい
る。この例では作動板８２及び作動ロッド８３は作動体
を構成している。作動ロッド８３は固定板８１の背面側
にて、上下に平行に配置された２枚の取り付け板８１
ａ，８１ｂの間に設けられた支持体８４により進退自在
に支持されていると共に、外周面に他のロッド部分より
も径を大きくして形成された拡径部８５が固定板８１の
背面に当接することにより前方側に抜けないように構成
されている。更に前記拡径部８５と支持体８４との間に
おいて前記作動ロッド８３の外周面に沿って付勢手段を
なすコイルバネ８６が介装され、このコイルバネ８６に
より作動ロッド８３は常時前方側に付勢されて拡径部８
５が固定板８１の背面に押しつけられている。

【００１９】前記作動ロッド８３の後端側には、図３に
示したリミットスイッチ７５が設けられており、このリ
ミットスイッチ７５は、ボ−ル保持部７６からスイッチ
端をなすボ−ル７７が常時突出してその接点が開いてい
るように付勢されて構成されている。また前記リミット
スイッチ７５は前記拡径部８５が固定板８１に押しつけ
られている時にはボ−ル７７が突出し、前記作動板８２
が押されて後退したときには作動ロッド８３の後端部に
よりボ−ル７７が押されてボ−ル保持部７６内に沈みそ
の接点が閉じるように位置設定されている。

【００２０】なお上側の取り付け板８１ａには図４に示
すように前記回路基板５が搭載されており、前記リミッ
トスイッチ７５から伸びるリ−ド線７８は、図４及び図
５に示していないが、この回路基板５に接続されてい
る。

【００２１】次に上述実施の作用について説明する。
今、操作ユニット３が装置本体４に接続されていない状
態であるとすると、図６（ａ）に示すように作動ロッド
８３がコイルバネ８６の復元力により前方側に付勢さ
れ、作動ロッド８３の後端部がリミットスイッチ７５の
ボール７７に接触することなく、リミットスイッチ７５
のボ−ル７７が突出している状態にある。このためリミ
ットスイッチ７５の接点が閉じて励磁コイル７３が励磁
状態にあり、図７（ａ）に示すようにバイパス回路７の
接点７２が閉じている。従って装置本体４側の停止回路
２５は閉じた状態にあり、リレ−２６の励磁コイルが通
電されているので駆動機構２１の電源は遮断されない。

【００２２】ここで図８（ａ）に示すように操作ユニッ
ト３側の第２のコネクタ３２を装置本体４側の第１のコ
ネクタ２４に嵌め込み（ステップＳ１）、固定ネジ部３
２ａを締め始める（ステップＳ２）と、この例では接続
端子Ａ１とＢ１、Ａ２とＢ２、Ａ３とＢ３が結合する
（ステップＳ３）。このとき装置本体４側の停止回路２
５は、接点７２によって閉じられていることに加えて、
緊急停止スイッチ３３によっても閉じられている。また
この時点では接点６３は開いているので装置本体４側か
ら操作ユニット３に電力は供給されていない。そして第
２のコネクタ３２により作動板８２が押され、作動ロッ
ド８３がコイルバネ８６の付勢力に抗して後退する。な
お前記パネル部４０ａの開口部４０ｂは狭いため、第２
のコネクタ３２を第１のコネクタ２４に嵌め込むときに
作業者の手が作動板８２に当たるおそれはない。

【００２３】そしてステップＳ４にて固定ネジ部３２ａ
が６割程度締められたところで図６（ｂ）に示すよう
に、作動ロッド８３の後端部によりリミットスイッチ７
５のボ−ル７７が押し込まれ、このためリミットスイッ
チ７５の接点が開いて励磁コイル７３が消磁され、図７
（ｂ）に示すようにバイパス回路７の接点７２が開く。
この結果装置本体４側の停止回路２５と操作ユニット３
側の停止回路３６とが接続され、停止回路２５を開閉す
る接点は操作ユニット３に設けられた緊急停止スイッチ
３３のｂ接点のみになるので、緊急停止スイッチ３３が
有効になる。その後ステップＳ５にて更に固定ネジ部３
２ａを完全に締め、ステップＳ６にて作業者が操作ユニ
ット３を操作して搬送系を動かし例えば動作のチェック
や、動作を学習させるティ−チングを行う。この運用に
おいて、作業者が危険を感じたときに図２に示す操作ユ
ニット３に設けられた押しボタン３０を押して緊急停止
スイッチ３３のｂ接点を開くことにより、停止回路２５
が開くのでリレ−２６の励磁コイルが消磁して搬送系
（駆動機構）の電源が遮断される。

【００２４】図８（ｂ）のステップＳ７に示すように操
作ユニット３による運用が終了すると、固定ネジ部３２
ａを緩め始め（ステップＳ８）、固定ネジ部３２ａを４
割程度緩めたところで、先のステップＳ４と逆の動作が
行われる（ステップＳ９）。即ち作動ロッド８３の後端
部とリミットスイッチ７５のボ−ル７７とが離れてこれ
によりボール７７が突出し、リミットスイッチ７５の接
点が閉じて励磁コイル７３が励磁され、図７（ａ）に示
すようにバイパス回路７の接点７２が閉じる。このとき
停止回路２５は緊急停止スイッチ３３のｂ接点により閉
じている状態に加えてバイパス回路７の接点７２によっ
ても閉じている状態になる。また操作ユニット３への電
力供給が遮断される。更に固定ネジ部３２ａを緩めるこ
とにより接続端子Ａ１、Ａ２、Ａ３がＢ１、Ｂ２、Ｂ３
から外れ（ステップＳ１０）、固定ネジ部３２ａが外れ
て（ステップＳ１１）操作ユニット３の第２のコネクタ
３２が装置本体４側の第１のコネクタ２４から完全に外
れる（ステップＳ１２）。

【００２５】上述の実施の形態によれば、操作ユニット
３の緊急停止スイッチ３３の接点としてｂ接点を用い、
この接点が開いた時に駆動機構２１を電源から切り離し
て駆動機構２１の動作を停止させるようにしているの
で、接点不良や接続に不具合が生じても安全サイドにつ
まり駆動機構２１が停止する方向に働き、駆動機構２１
を確実に停止させることができ、作業者の安全を確保す
ることができる。そして操作ユニット３を装置本体４に
接続していないときにはバイパス回路７の接点７２によ
り停止回路２５が閉じており、また操作ユニット３を装
置本体４に着脱するときにも停止回路２５がバイパス回
路７の接点７２により閉じている状態と緊急停止スイッ
チ３３のｂ接点により閉じている状態との両方の状態が
存在するので駆動機構２１の電源が遮断されることもな
い。電源が遮断されると作業者がブレ−カを戻すといっ
た復帰作業を行わなければならないが、この実施の形態
ではこのような煩わしさはなくなる。

【００２６】上述の実施の形態では、第２のコネクタ３
２を第１のコネクタ２４に接続したことをリミットスイ
ッチ７５で検出しているが、例えば発光部及び受光部か
らなる光学的スイッチを用いるようにしてもよい。

【００２７】上述の実施の形態では、縦型熱処理装置本
体を装置本体としているが、本発明では、その他の半導
体製造装置例えば塗布、現像装置などに対しても適用で
きるし、また例えば装置本体が複数の作業ロボットを備
えている装置においても、各作業ロボットの近傍に操作
ユニット３の差し込み口などのコネクタを設けることに
より本発明を適用できる。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、駆動機構を確実に停止
させることができ、また操作ユニットを装置本体に接続
していないときにはバイパス回路の接点により停止回路
が閉じているので、緊急停止機能が誤動作することもな
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の駆動機構の制御装置の実施の形態を概
念的に示す構成図である。

【図２】本発明を縦型熱処理装置に適用した場合の実施
の形態を示す斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態に用いられる回路をしめす
回路図である。

【図４】装置本体側の第１のコネクタ及びその周辺部位
を示す斜視図である。

【図５】装置本体側の第１のコネクタ及びその周辺部位
を示す側面図である。

【図６】第２のコネクタを第１のコネクタから外してい
る状態及び装着している状態をしめす側面図である。

【図７】第２のコネクタを第１のコネクタから外してい
る状態及び装着している状態をしめす回路図である。

【図８】本発明の実施の形態の作用を示すフロ−図であ
る。

【図９】従来の駆動機構の制御装置を概念的に示す説明
図である。

【符号の説明】

２ 装置本体 ２１ 駆動機構 ２２ 制御部 ２３ 操作パネル部 ２４ 第１のコネクタ ２５ 停止回路 ２６ リレ− ２７ 電源部 ３ 操作ユニット ３２ 第２のコネクタ ３３ 緊急停止スイッチ ４ 装置本体 ５ 回路基板 ７ バイパス回路 ７２ 接点 ７５ リミットスイッチ ８１ 固定板 ８２ 作動板 ８３ 作動ロッド ８６ コイルバネ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 榎本 忠 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 (72)発明者 大倉 成幸 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 Ｆターム(参考） 2F073 AA33 AA40 AB14 BB04 BC01 CC07 EE12 FF14 FF17 GG01 GG02 GG04 5E021 FA05 FB07 FB13 MA23 MB05 5H209 AA05 DD08 FF08 GG08 GG13 HH04 JJ01 JJ09

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動機構を制御する制御部及び第１のコ
   ネクタを含む装置本体と、前記第１のコネクタに対して
   着脱自在な第２のコネクタを含み、この第２のコネクタ
   を第１のコネクタに接続することにより前記制御部を介
   して前記駆動機構を制御することができる操作ユニット
   と、を備えた駆動機構の制御装置において、 前記装置本体側及び前記操作ユニット側に分散して設け
   られ、その回路が開いたときに前記駆動機構の動作を停
   止するための停止回路と、 この停止回路を開閉するために前記操作ユニット側に設
   けられ、前記駆動機構を緊急停止するためのｂ接点から
   なる緊急停止用スイッチと、 前記操作ユニットの第２のコネクタが前記装置本体の第
   １のコネクタに接続されていないときには前記停止回路
   を閉じ、前記第２のコネクタが第１のコネクタに接続さ
   れているときには前記停止回路を開いて前記緊急停止用
   スイッチを有効にする接点を備えたバイパス回路と、を
   備えたことを特徴とする駆動機構の制御装置。
2. 【請求項２】 第２のコネクタを第１のコネクタに着脱
   するときには、前記装置本体側及び前記操作ユニット側
   に分散して設けられた停止回路が互いに接続されかつ前
   記バイパス回路の接点が閉じている状態が存在するよう
   に構成されていることを特徴とする請求項１記載の駆動
   機構の制御装置。
3. 【請求項３】 前記バイパス回路の接点は、第２のコネ
   クタを第１のコネクタに装着または取り外すときに動作
   する作動スイッチにより開閉されるように構成されたこ
   とを特徴とする請求項１または２記載の駆動機構の制御
   装置。
4. 【請求項４】 装置本体側の第１のコネクタは、前後に
   移動自在な作動体と、この作動体を前方側に付勢する付
   勢手段と、を備え、前記作動体は、第２のコネクタによ
   り押圧されたときに前記付勢手段の付勢力に抗して後退
   して作動スイッチを動作させることを特徴とする請求項
   ３記載の駆動機構の制御装置。
5. 【請求項５】 第１のコネクタは、装置本体の外面をな
   す固定板に取り付けられ、 作動体は、前記固定板を貫通して前後に移動自在に設け
   られ、前記作動スイッチを動作させる作動ロッドと、こ
   の作動ロッドの前端部に設けられ、第２のコネクタによ
   り押圧される作動板と、を備えたことを特徴とする請求
   項４記載の駆動機構の制御装置。
6. 【請求項６】 その回路が開かれたときに駆動機構を停
   止する停止回路を備えた装置本体と、操作ユニットと、
   を用い、前記装置本体側の第１のコネクタに前記操作ユ
   ニットの第２のコネクタを接続し、操作ユニットにより
   装置本体側の制御部を介して前記駆動機構を制御する方
   法において、 前記第１のコネクタを第２のコネクタに接続する前に前
   記停止回路がバイパス回路の接点を介して閉じている段
   階と、 前記第１のコネクタを第２のコネクタに結合し、前記停
   止回路が操作ユニット側の緊急停止スイッチをなす接点
   により閉じかつ前記バイパス回路の接点を介して閉じて
   いる段階と、 前記第１のコネクタを第２のコネクタが更に深く結合
   し、第２のコネクタにより第１のコネクタ側のスイッチ
   が動作して前記バイパス回路の接点が開いて前記緊急停
   止スイッチを有効にするする段階と、 前記操作ユニットにより前記駆動機構を操作する段階
   と、を含むことを特徴とする駆動機構の制御方法。
7. 【請求項７】 一の装置に設けられた第１のコネクタ
   と、 他の装置に設けられ、前記第１のコネクタに接続して当
   該他の装置を前記一の装置に電気的に接続する第２のコ
   ネクタと、 前記一の装置側に設けられると共に、第２のコネクタを
   第１のコネクタに装着または取り外すときに動作して前
   記一の装置を所定の状態にするためのスイッチと、 前記第１のコネクタ側に設けられ、前後に移動自在な作
   動体と、 この作動体を前方側に付勢する付勢手段と、を備え、 前記作動体は、第２のコネクタを第１のコネクタに接続
   するときに当該第２のコネクタにより押圧されて前記付
   勢手段の付勢力に抗して後退してスイッチを動作させる
   ことを特徴とするコネクタ装置。